JP2002214421A

JP2002214421A - カラーフィルタの製造装置およびカラーフィルタの製造方法

Info

Publication number: JP2002214421A
Application number: JP2001007892A
Authority: JP
Inventors: Akira Narizumi; 顕成住
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2001-01-16
Filing date: 2001-01-16
Publication date: 2002-07-31

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】吐出するインクの飛翔曲り発生の問題を解決
した、インクジェット法によるカラーフィルタの製造方
法と、これに用いられるインクジェット装置を提供す
る。【解決手段】透明基板上に、所定の色に着色された複
数のフィルタエレメントを所定のパターンで配列した、
カラーフィルタの製造装置であって、前記着色されたフ
ィルタエレメントを形成するための着色材をオリフィス
部から吐出するインクジェットヘッドと、前記透明基板
を保持するための保持手段と、前記インクジェットヘッ
ドと前記保持手段との相対位置を移動させるための移動
手段とを備え、前記インクジェットヘッドは、オリフィ
ス部の吐出口を凸として、複数個配列され、凹凸を形成
しており、且つ、その凸部の幅は、各フィルタエレメン
ト間を分離するブラックマトリックス、障壁等のエレメ
ント隔壁間隔より狭く、その高さが、エレメント隔壁の
高さより低い。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、カラーフィルタの
製造装置およびカラーフィルタの製造方法に関し、特
に、インクジェットヘッドをカラーフィルタ形成用の基
材に対して相対的に移動させながら着色材を吐出して、
前記基材上にカラーフィルタの形成を行うカラーフィル
タの製造装置およびカラーフィルタの製造方法に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】近年、パーソナルコンピュータ、携帯電
話の普及に伴い、パーソナルコンピュータ用の液晶ディ
スプレイ、携帯電話用の液晶ディスプレイの需要が増加
する傾向にあり、これらの液晶ディスプレイには、画素
の精細化とコストダウンが、益々、求められるようにな
ってきている。このような中、これらの液晶ディスプレ
イ用のカラーフィルタについても、益々の、画素の精細
化と、その製造のコストダウンが求められている。これ
ら液晶ディスプレイ用のカラーフィルタの製造について
は、従来より、顔料分散法、染色法、電着法、
印刷法、インクジェット法が知られている。顔料分散法は、基板上に顔料を分散した感光性樹脂層
を形成し、これをパターニングすることにより単色のパ
ターンを得る工程を、３回繰り返すことにより、Ｒ，
Ｇ，Ｂのカラーフィルタ層を形成する。染色法は、ガラス基板上に染色用の材料である水溶性
高分子材料を塗布し、これをフォトリソグラフィー工程
により所望の形状にパターニングした後、得られたパタ
ーンを染色浴に浸漬して着色されたパターンを得る工程
を、３回繰り返すことによりＲ，Ｇ，Ｂのカラーフィル
タ層を得る。電着法は、基板上に透明電極をパターニングし、顔
料、樹脂、電解液等の入った電着塗装液に浸漬して第１
の色を電着する工程を、３回繰り返してＲ，Ｇ，Ｂを塗
り分けた後、樹脂を熱硬化させることにより表色層を形
成するものである。印刷法は、熱硬化型の樹脂に顔料を分散させ、印刷を
３回繰り返すことによりＲ，Ｇ，Ｂを塗り分けた後、樹
脂を熱硬化させることにより着色層を形成するものであ
る。〜のいずれの方法においても着色層上に保護層を形
成するのが一般的である。これら〜の方法に共通し
ている点は、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色を着色するために同一の
工程を３回繰り返す必要があり、コスト高になることで
ある。また工程が多いほど歩留まりが低下するという問
題点を有している。さらに、顔料分散法、染色法で
は、ガラス基板への感光剤塗布工程では、スピンコータ
ーを使用することが主流であり、その使用量が多くなる
という問題や、塗布精度が均一ではないという問題もあ
る。さらに、電着法においては、形成可能なパターン
形状が限定されるため、現状の技術ではＴＦＴ方式のカ
ラー液晶ディスプレイには適用が難しい。また、印刷
法は、解像性、平滑性が悪いためファインピッチのパタ
ーンは形成が難しい。

【０００３】インクジェット法は、ノズルないしオリ
フィス等の開口から着色剤を含む液（以下、インクない
しペーストとも言う）を吐出してカラーフィルタ部を形
成するもので、上記〜の方法の欠点を補う製造方法
として、特開昭５９−７５２０５号公報、特開昭６３−
２３５９０１号公報、特開昭６３−２９４５０３号公
報、あるいは、特開平１−２１７３２０号公報等に記載
があるように、種々提案されている。最近では、特に、
携帯電話用の液晶ディスプレイの急速の普及に伴い、特
にコストダウンを目的としてインクジェット法が注目
されるようになってきた。

【０００４】しかし、インクジェット法では、インク
ジェットの制御、調整が必要で、且つ難しいという問題
があった。特に、吐出するインク成分の変更（粘度、表
面張力など）により、インクの飛翔曲りが発生する。ま
た、時間の経過と共にインク成分の粘度、表面張力の状
態、オリフィス表面の状態が劣化し、飛翔曲りが発生す
る。そして、この、飛翔曲りを抑えるには、初期調整に
長時間が必要とされていた。また、飛翔曲りは、必ず発
生し、都度、調整が必要となる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】このように、液晶ディ
スプレイ用のカラーフィルタの製造方法として、最近で
は、インクジェット法が注目されるようになってきた
が、この方法には、特に、吐出するインクの飛翔曲りの
発生があり、この対応が求められていた。本発明は、こ
れに対応するもので、吐出するインクの飛翔曲り発生の
問題を解決した、インクジェット法によるカラーフィル
タの製造方法と、これに用いられるインクジェット装置
を提供しようとするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のカラーフィルタ
の製造装置は、透明基板上に、所定の色に着色された複
数のフィルタエレメントを所定のパターンで配列し、且
つ、各フィルタエレメント間を分離するブラックストラ
イプ、ブラックマトリックス、障壁等のエレメント隔壁
を有するカラーフィルタを作製するための、カラーフィ
ルタの製造装置であって、前記着色されたフィルタエレ
メントを形成するための着色材をオリフィス部から吐出
するインクジェットヘッドと、カラーフィルタ形成側を
前記インクジェットヘッドに対向した状態で、前記透明
基板を保持するための保持手段と、前記インクジェット
ヘッドと前記保持手段との相対位置を移動させるための
移動手段とを備え、前記インクジェットヘッドは、オリ
フィス部の吐出口を凸として、複数個配列され、凹凸を
形成しており、且つ、その凸部の幅は、各フィルタエレ
メント間を分離するブラックマトリックス、障壁等のエ
レメント隔壁間隔より狭く、その高さが、エレメント隔
壁の高さより低いことを特徴とするものである。そし
て、上記において、透明基板面からのインクジェットヘ
ッドの位置を制御するための、レーザ光を用いた位置制
御部（機構）を設けていることを特徴とするものであ
る。そしてまた、上記において、作製するカラーフィル
タが、液晶ディスプレイ用の透明基板、ＰＤＰ（プラズ
マディスプレイ）用の透明基板、有機ＥＬパネル用の透
明基板から選ばれた１つに形成するものであることを特
徴とするものである。

【０００７】本発明のカラーフィルタの製造方法は、透
明基板上に、所定の色に着色された複数のフィルタエレ
メントを所定のパターンで配列し、且つ、各フィルタエ
レメント間を分離するブラックストライプ、ブラックマ
トリックス、障壁等のエレメント隔壁を有するカラーフ
ィルタを作製するための、カラーフィルタの製造方法で
あって、前記エレメント隔壁間に、インクジェットヘッ
ドのオリフィス部の吐出口を挿入し、吐出される着色材
をエレメント隔壁間に落とし込むようにして、着色され
たフィルタエレメントを形成することを特徴とするもの
である。尚、「エレメント隔壁間に、インクジェットヘ
ッドのオリフィス部の吐出口を挿入し」とは、オリフィ
ス部の吐出口を凸部とし、エレメント隔壁間（溝とも言
う）に接触せずに、嵌合させることを意味し、勿論、吐
出されエレメント隔壁間に形成された着色材とも接触し
ないことを意味する。

【０００８】

【作用】本発明のカラーフィルタの製造装置は、このよ
うな構成にすることにより、吐出するインクの飛翔曲り
発生の問題を解決した、インクジェット法によるカラー
フィルタの製造方法を実施できる、カラーフィルタの製
造装置の提供を可能とするものである。具体的には、イ
ンクジェットヘッドは、オリフィス部の吐出口を凸とし
て、複数個配列され、凹凸を形成しており、且つ、その
凸部の幅は、各フィルタエレメント間を分離するブラッ
クマトリックス、障壁等のエレメント隔壁間隔より狭
く、その高さが、エレメント隔壁の高さより低いことに
より、更には、透明基板面からのインクジェットヘッド
の位置を制御するための、レーザ干渉計を用いた位置制
御部（機構）を設けていることにより、エレメント隔壁
間に、インクジェットヘッドのオリフィス部の吐出口を
挿入し、吐出される着色材をエレメント隔壁間に落とし
込むようにして、着色されたフィルタエレメントを形成
することを可能にしている。特に、液晶ディスプレイ用
の透明基板、ＰＤＰ（プラズマディスプレイ）用の透明
基板、有機ＥＬパネル用の透明基板にカラーフィルタを
作製する場合には、有効である。

【０００９】本発明のカラーフィルタの製造方法は、こ
のような構成にすることにより、作製の際に、オリフィ
スから吐出された着色材をエレメント隔壁内にのみ落と
すことができ、不要部分へのインクの飛び散りを防止で
き、歩留まりの向上が期待できる。特に、高精細な塗布
精度を必要とし、かつ、インク成分の変更が多い場合に
は有効である。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の実施の形態の例を図に基
づいて説明する。図１（ａ）は本発明のカラーフィルタ
の製造装置の実施の形態の１例の概略構成図で、図１
（ｂ）はオリフィス部を拡大して示したＡ１部の断面図
で、図１（ｃ）はインクジェットヘッドの図で、図２
（ａ）は本発明のカラーフィルタの製造装置の実施の形
態の別の例の上面図で、図２（ｂ）はそのＢ１−Ｂ２か
ら見た断面図で、図３は位置センサの１例の概略構成を
示した図である。尚、図１（ｂ）中、Ａ２、Ａ３はそれ
ぞれ、オリフィス部の凸部、凹部を示している。図１
（ｂ）、図１（ｃ）の矢印は着色材の流れ方向を示す。
図１、図２、図３中、１１０は処理基板、１１１は透明
基板、１１２はブラックストライプ、１２０はインクジ
ェットヘッド、１２５はオリフィス部、１２６はオリフ
ィス、１２６ａは吐出口、１２７は支持部、１３０はＸ
Ｙステージ（保持手段）、１４０は位置センサ（変位計
とも言う）、１５０はＸＹ駆動部、１６０はピエゾ素
子、２１０は処理基板、２２０はインクジェットヘッ
ド、２２５はオリフィス部、２２７は支持部、２３０は
ステージ、２３１は処理基板保持部、２３２は支持部、
２３３は止め部、２５０はレール、２５５はレール嵌合
部、２６１、２６２、２６３はモータ、２６５、２６
６、２６７はボールネジ、２６５Ａはボールネジ嵌合
部、２７０はボールネジ嵌合部、２７５はレール兼支持
部、３００は変位計、３１０は半導体レーザ駆動回路、
３２０は半導体レーザ（発光素子）、３３０は透光レン
ズ、３４０はレーザ光、３４５は反射光、３５０は受光
レンズ、３６０は光位置検出素子（光センサー部）、３
７０は信号増幅回路、３８０は試料、Ｄ０、Ｄ１、Ｄ２
は試料面、Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２は光位置検出素子（光セン
サー部）の光到達位置である。

【００１１】本発明のカラーフィルタの製造装置の実施
の形態の１例を図１に基づいて説明する。尚、本例の各
部の説明や動作説明を以って、本発明のカラーフィルタ
の製造方法の実施の形態の説明に代える。本例のカラー
フィルタの製造装置は、携帯電話用の液晶デバイスに用
いられる小サイズのカラーフィルタや、パソコン用等の
大サイズの液晶ディスプレイ用のカラーフィルタで、透
明基板上に、所定の色に着色された複数のフィルタエレ
メントを所定のパターンで配列し、且つ、各フィルタエ
レメント間を分離するブラックストライプからなるエレ
メント隔壁を有するカラーフィルタを作製するための、
カラーフィルタの製造装置であり、図１（ａ）に示すよ
うに、着色されたフィルタエレメントを形成するための
着色材をオリフィス部から吐出するインクジェットヘッ
ド１２０と、カラーフィルタ形成側をインクジェットヘ
ッドに対向した状態で、透明基板を保持するための保持
手段であるＸＹステージ１３０と、インクジェットヘッ
ド１２０とＸＹステージ１３０との相対位置を移動させ
るための移動手段であるＸＹ駆動部１５０と、オリフィ
ス部１２５の先端の吐出部１２５ａの処理基板の透明基
板（図１（ｂ）の１１１に相当）からの距離を感知する
ための位置センサ１４０とを備えている。そして、図１
（ｂ）に示すように、オリフィス１２６を複数配設した
オリフィス部１２５は、オリフィス１２６の吐出口１２
６ａを凸として、複数個配列され、凹凸を形成してお
り、且つ、その凸部（図１（ａ）のＡ２部）の幅は、各
フィルタエレメント間を分離するエレメント隔壁である
ブラックストライプ１１２の間隔より狭く、その高さ
が、エレメント隔壁であるブラックストライプ１１２の
高さより低い。本例の装置においては、ブラックストラ
イプ１１２間に、吐出口１２６ａを設けた凸部Ａ２を、
挿入し、吐出される着色材をエレメント隔壁間に落とし
込むようにして、着色されたフィルタエレメントを形成
するため、不要部への着色材の飛散を無くすことができ
る。尚、ブラックストライプ１１２は、顔料分散法や染
色法によりカラーフィルタを作製する場合には、通常１
μｍ程度の（樹脂製）、０．２μｍ（クロム製）の高さ
を持つが、この方式の場合は６μｍ程度の高さを持つ。

【００１２】本例は、インクジェットヘッド１２０と位
置センサ１４０は、所定のＸＹ位置のまま、ＸＹステー
ジ１３０に保持された処理基板１１０がＸＹ移動しなが
ら、インクジェットヘッド１２０のオリフィス部１２５
から着色材を吐出し、所定位置にカラーフィルタを形成
するもので、インクジェットヘッド１２０と処理基板１
１０とのＺ方向相対距離を、位置センサ１４０からのデ
ータをもとに、目的とする値（ほぼ一定）に保つ。

【００１３】本例においては、着色材の吐出口１２６ａ
からの吐出は、図１（ｃ）に示すように、インクジェッ
トヘッド１２０の側面部にピエゾ素子を設けて、これに
より着色材の吐出を制御しているが、吐出方式はこれに
限定はされない。各種インクジェット方式にも適用でき
る。図１（ｃ）中、太線矢印は着色材の流れ方向を示
す。

【００１４】オリフィス部１２５の材料は、ステンレス
やニッケルが加工し易いが、インクとの反応がなければ
特に制約はない。吐出する液滴量、インクジェットの押
し出しエネルギー、着色材（インク）成分によって決定
する。オリフィス１２６の吐出口１２６ａの、インクジ
ェット装置によって押し出されるインクが装置から空気
中に出される境界面での、穴径（直径）が１５μｍ〜５
０μｍφ程度のものが一般に用いられる。また、インク
の吐出量を上げるために、あるいは安定的に吐出を行な
うため、吐出口１２６ａの周辺表面は、着色材をはじく
撥水性にしておくと良い。また、表面張力の強いインク
によっては親水性にしておいても良い。オリフィス１２
６の吐出口形状（穴形状）は、真円が望ましいが、ノズ
ル（オリフィス）の移動方向によっては、楕円形、粘度
によっては、星形などの形を採用しても良い。

【００１５】ＸＹステージ１３０の駆動方式は、本例で
は、モータによるボールネジ駆動であるが、これに限定
はされない。ＸＹステージ１３０の移動は、例えば、図
１（ｂ）に示すように、ブラックストライプ１１２間
に、凸部Ａ２を、挿入した状態で、図２（ａ）のＸ方向
は、Ｙ方向を所定の距離移動後、所定ピッチだけＸ方向
移動をした後、再度、Ｙ方向を所定の距離先と反対方向
に移動する動作を繰り返し行なうもので、インクジェッ
トヘッド１２０に対して、処理基板１１０を相対的に
Ｘ、Ｙ位置移動しながら、且つ、オリフィス部１２５か
ら着色材を吐出しながら、所定領域にカラーフィルタを
形成していく。

【００１６】本例では、携帯電話用の液晶ディスプレイ
に用いられる小サイズのカラーフィルタの作製の場合の
ように、一度、透明基板１１１に対するオリフィス部１
２５の位置を決めてしまえば、再度相対的な調整をする
必要はない場合には、初期設定の際にだけ、位置センサ
１４０を用いて位置決めを行なう。パソコン用の液晶デ
ィスプレイ用のカラーフィルタの作製に適用する場合の
ように、透明基板のサイズが大きく、インクジェットヘ
ッド１２０と処理基板１１０との相対的な移動により、
透明基板１１１に対するオリフィス部１２５の相対距離
が変化する場合には、位置センサ１４０によるデータか
ら位置補正を行ないながら着色材の吐出、前記相対的な
移動を行なう。

【００１７】位置センサ１４０としては、レーザを用い
たものが一般的で、所定の精度が得られれば特に限定は
されない。例えば、図３に示す三角測量式レーザ変位計
が挙げられる。図３に示す三角測量式レーザ変位計の変
位測定原理を簡単に説明する。この変位計３００におい
ては、透光レンズ３３０を介して試料３８０に照射され
た反射光が、試料３８０の面が基準位置Ｄ０にあるとき
受光レンズ３５０を介して光位置検出素子３６０の基準
の位置にＳ０に到達するようになっており、且つ、試料
３８０の面が基準位置Ｄ０からずれたＤ１位置にあると
き、これにともない、試料面Ｄ１からの反射光は、光位
置検出素子３６０のの基準の位置Ｓ０から所定の距離だ
けずれた位置Ｓ１へ到達するようになっており、同様
に、試料３８０の面が基準位置Ｄ０からずれたＤ２位置
にあるとき、これにともない、試料面Ｄ２からの反射光
は、光位置検出素子３６０のの基準の位置Ｓ０から所定
の距離だけずれた位置Ｓ２へ到達するようになってい
る。即ち、光位置検出素子における光到達位置と試料面
の位置とが対応がとれるようになっている。このため、
光位置検出素子における光到達位置を検出することによ
り、試料面の位置を検出ができるものである。

【００１８】次いで、本発明のカラーフィルタの製造装
置の実施の形態の別の例を、図２に基づいて説明する。
本例のカラーフィルタの製造装置は、携帯電話用の液晶
デバイスに用いられる小サイズのカラーフィルタで、透
明基板上に、所定の色に着色された複数のフィルタエレ
メントを所定のパターンで配列し、且つ、各フィルタエ
レメント間を分離するブラックストライプからなるエレ
メント隔壁を有するカラーフィルタを作製するための、
カラーフィルタの製造装置であり、図２（ａ）に示すよ
うに、着色されたフィルタエレメントを形成するための
着色材をオリフィス部２２５から吐出するインクジェッ
トヘッド２２０と、カラーフィルタ形成側をインクジェ
ットヘッドに対向した状態で、透明基板を保持するため
の保持手段であるステージ２３０と、インクジェットヘ
ッド２２０とＸＹステージ２３０との相対位置を移動さ
せるための移動手段としての、モータ駆動により回転す
るボールネジ部２６５、２６６、２６７を備え、且つ、
オリフィス部２２５と処理基板２１０との距離を感知す
るための位置センサ２４０とを備えている。図２に示す
本例のカラーフィルタの製造装置は、処理基板２１０を
静止したステージ２３０に保持し、インクジェットヘッ
ド２２０をＸＹ移動させて、インクジェットヘッド２２
０と処理基板２１０の保持手段であるステージ２３０と
の相対位置を移動させるもので、小サイズの携帯電話の
液晶ディスプレイ用のカラーフィルタを形成するための
装置である。所定のＸＹ位置にて、処理基板２１０とオ
リフィス部２２５のＺ方向位置決めを位置センサ２４０
を用いて行ない、途中再度Ｚ方向位置決めを行なわず
に、着色材の吐出、処理基板２１０とインクジェットヘ
ッド２２０の相対な移動を行ないカラーフィルタを作製
する。このように、本例は、処理基板２１０とインクジ
ェットヘッド２２０の相対な移動の駆動方式が、図１
（ａ）に示す例の装置とは異なるが、それ以外について
は基本的に同じで、オリフィス部２２５のＢ３部（図２
（ｂ））状態も、図１（ａ）に示す例の装置と同様（図
１（ｂ）に相当）で、各部についての説明は省く。

【００１９】ここでは、簡単に、インクジェットヘッド
２２０のＸ、Ｙ、Ｚの位置移動、カラーフィルタ作製の
動作を説明しておく。インクジェットヘッド２２０
は、、モータ２６１、２６２、２６３にそれぞれ駆動さ
れたボールネジ２６５、２６６、２６７にて、それぞ
れ、太線矢印Ｘ，Ｙ、Ｚの方向に移動される。カラーフ
ィルタ作製の動作は例えば、以下のように行なう。はじ
め、位置センサ２４０からのデータをもとに、オリフィ
ス部２２５はＺ方向移動され、所定のＺ方向位置に止め
られる。この状態で、図２（ａ）のＸ方向は、Ｙ方向を
所定の距離移動後、所定ピッチだけＸ方向移動をした
後、再度、Ｙ方向を所定の距離先と反対方向に移動する
動作を繰り返して、インクジェットヘッド２２０のＸ、
Ｙ位置移動しながら、且つ、オリフィス部２２５から着
色材を吐出しながら、所定領域にカラーフィルタを形成
していく。

【００２０】上記例では、ブラックストライプを有する
カラーフィルタを作製する際について述べたが、ブラッ
クマトリックスを有するカラーフィルタを作製する際に
も、これらの装置を適用できる。ブラックマトリックス
を有するカラーフィルタを作製する場合も、インクジェ
ットヘッド１２０に対して、処理基板１１０を相対的に
Ｘ、Ｙ位置移動しながら、且つ、オリフィス部１２５か
ら着色材を吐出しながら、所定領域にカラーフィルタを
形成していくが、この場合は、インクジェットヘッド１
２０に対して、処理基板１１０を相対的Ｘ、Ｙ位置移動
制御や、着色材の吐出の制御が、上記例とは異なるもの
で、これに合った各制御を行なう。

【００２１】また、上記例の装置では、位置センサ（図
１の１４０、図２の２４０）を処理基板の、オリフィス
部（図１の１２５、図２の２２５）とは反対側に設けて
いるが、これを、オリフィス部側に設け、オリフィス部
に対する処理基板の相対位置移動の際に、処理基板の面
位置変化を検知するようにしても良い。

【００２２】また、上記例の装置は、液晶ディスプレイ
用のカラーフィルタ作製を対象としたものであるが、オ
リフィスの吐出口を含む凸部の形状を、処理対象に合わ
せることにより、プラズマディスプレイ用の背面板の障
壁間に各色の蛍光体からなる着色材を形成する際にも、
適用できることは言うまでもない。この場合、図１や図
２に示す例の装置の動作と、基本的には同様に行ない、
蛍光体層を形成できる。

【００２３】

【発明の効果】本発明は、上記のように、吐出するイン
クの飛翔曲り発生の問題を解決した、インクジェット法
によるカラーフィルタの製造方法と、これに用いられる
インクジェット装置の提供を可能とした。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）は本発明のカラーフィルタの製造装
置の実施の形態の１例の概略構成図で、図１（ｂ）はオ
リフィス部を拡大して示したＡ１部の断面図で、図１
（ｃ）はインクジェットヘッドの図である。

【図２】図２（ａ）は本発明のカラーフィルタの製造装
置の実施の形態の別の例の上面図で、図２（ｂ）はその
Ｂ１−Ｂ２から見た断面図である。

【図３】図３は位置センサの１例の概略構成を示した図

【符号の説明】

１１０処理基板１１１透明基板１１２ブラックストライプ１２０インクジェットヘッド１２５オリフィス部１２６オリフィス１２６ａ吐出口１２７支持部１３０ＸＹステージ（保持手段）１４０位置センサ（変位計とも言う）１５０ＸＹ駆動部１６０ピエゾ素子２１０処理基板２２０インクジェットヘッド２２５オリフィス部２２７支持部２３０ステージ２３１処理基板保持部２３２支持部２３３止め部２５０レール２５５レール嵌合部２６１、２６２、２６３モータ２６５、２６６、２６７ボールネジ２６５Ａボールネジ嵌合部２７０ボールネジ嵌合部２７５レール兼支持部３００変位計３１０半導体レーザ駆動回路３２０半導体レーザ（発光素子）３３０透光レンズ３４０レーザ光３４５反射光３５０受光レンズ３６０光位置検出素子（光センサー部）３７０信号増幅回路３８０試料Ｄ０、Ｄ１、Ｄ２試料面Ｓ０、Ｓ１、Ｓ２光位置検出素子（光センサー部）
の光到達位置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】透明基板上に、所定の色に着色された複
数のフィルタエレメントを所定のパターンで配列し、且
つ、各フィルタエレメント間を分離するブラックストラ
イプ、ブラックマトリックス、障壁等のエレメント隔壁
を有するカラーフィルタを作製するための、カラーフィ
ルタの製造装置であって、前記着色されたフィルタエレ
メントを形成するための着色材をオリフィス部から吐出
するインクジェットヘッドと、カラーフィルタ形成側を
前記インクジェットヘッドに対向した状態で、前記透明
基板を保持するための保持手段と、前記インクジェット
ヘッドと前記保持手段との相対位置を移動させるための
移動手段とを備え、前記インクジェットヘッドは、オリ
フィス部の吐出口を凸として、複数個配列され、凹凸を
形成しており、且つ、その凸部の幅は、各フィルタエレ
メント間を分離するブラックマトリックス、障壁等のエ
レメント隔壁間隔より狭く、その高さが、エレメント隔
壁の高さより低いことを特徴とするカラーフィルタの製
造装置。
【請求項２】請求項１において、透明基板面からのイ
ンクジェットヘッドの位置を制御するための、レーザ光
を用いた位置制御部（機構）を設けていることを特徴と
するカラーフィルタの製造装置。
【請求項３】請求項１ないし２において、作製するカ
ラーフィルタが、液晶ディスプレイ用の透明基板、ＰＤ
Ｐ（プラズマディスプレイ）用の透明基板、有機ＥＬパ
ネル用の透明基板から選ばれた１つに形成するものであ
ることを特徴とするカラーフィルタの製造装置。
【請求項４】透明基板上に、所定の色に着色された複
数のフィルタエレメントを所定のパターンで配列し、且
つ、各フィルタエレメント間を分離するブラックストラ
イプ、ブラックマトリックス、障壁等のエレメント隔壁
を有するカラーフィルタを作製するための、カラーフィ
ルタの製造方法であって、前記エレメント隔壁間に、イ
ンクジェットヘッドのオリフィス部の吐出口を挿入し、
吐出される着色材をエレメント隔壁間に落とし込むよう
にして、着色されたフィルタエレメントを形成すること
を特徴とするカラーフィルタの製造方法。