JP2002208828A - 圧電共振部品の不良検出方法 - Google Patents
圧電共振部品の不良検出方法Info
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- JP2002208828A JP2002208828A JP2001001736A JP2001001736A JP2002208828A JP 2002208828 A JP2002208828 A JP 2002208828A JP 2001001736 A JP2001001736 A JP 2001001736A JP 2001001736 A JP2001001736 A JP 2001001736A JP 2002208828 A JP2002208828 A JP 2002208828A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 圧電共振子が接着剤により基板上に固定され
ている圧電共振部品の不良検出方法であって、短時間で
かつ容易に、さらに熱を加えることなく接着剤量の適・
不適を検出し得る方法を得る。 【解決手段】 圧電共振子３が導電性接着剤１１，１２
により基板２に固定されている圧電共振部品において、
圧電共振子３の利用しようとする振動モード以外の振動
モードの応答を測定し、該応答の大きさにより導電性接
着剤１１，１２の量が適正であるか否かを判別する、不
良検出方法。
ている圧電共振部品の不良検出方法であって、短時間で
かつ容易に、さらに熱を加えることなく接着剤量の適・
不適を検出し得る方法を得る。 【解決手段】 圧電共振子３が導電性接着剤１１，１２
により基板２に固定されている圧電共振部品において、
圧電共振子３の利用しようとする振動モード以外の振動
モードの応答を測定し、該応答の大きさにより導電性接
着剤１１，１２の量が適正であるか否かを判別する、不
良検出方法。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、圧電共振子を用い
た発振子やフィルタなどの圧電共振部品の不良検出方法
に関し、より詳細には、圧電共振子が基板に接着剤を用
いて固定されている圧電共振部品の不良検出方法に関す
る。
た発振子やフィルタなどの圧電共振部品の不良検出方法
に関し、より詳細には、圧電共振子が基板に接着剤を用
いて固定されている圧電共振部品の不良検出方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】圧電共振部品の製造に際し、不良品を選
別するために様々な方法が従来より用いられている。例
えば、特開平５−２９８６２号公報には、図８に示す圧
電共振部品５１の不良検出方法が開示されている。ここ
では、エネルギー閉じ込め型の圧電共振子５２がカップ
部を有する金属端子５３，５４に接合されている。ま
た、圧電共振子５２の周囲が外装材５５により覆われて
いる。
別するために様々な方法が従来より用いられている。例
えば、特開平５−２９８６２号公報には、図８に示す圧
電共振部品５１の不良検出方法が開示されている。ここ
では、エネルギー閉じ込め型の圧電共振子５２がカップ
部を有する金属端子５３，５４に接合されている。ま
た、圧電共振子５２の周囲が外装材５５により覆われて
いる。
【０００３】圧電共振部品５１の不良検出にあたって
は、高温炉に圧電共振部品５１を入れ、例えば１７０℃
程度の高温の熱風で圧電共振部品５１を加熱する。しか
る後、加熱された状態の圧電共振部品５１の電気特性、
例えばインピーダンス特性を測定する。これにより、常
温（１０〜５０℃）での電気的特性では表われない不具
合が検出され、不良品及び良品の選別を高い信頼性を持
って行うことができるとされている。
は、高温炉に圧電共振部品５１を入れ、例えば１７０℃
程度の高温の熱風で圧電共振部品５１を加熱する。しか
る後、加熱された状態の圧電共振部品５１の電気特性、
例えばインピーダンス特性を測定する。これにより、常
温（１０〜５０℃）での電気的特性では表われない不具
合が検出され、不良品及び良品の選別を高い信頼性を持
って行うことができるとされている。
【０００４】他方、圧電共振部品として、基板上に導電
性接着剤を用いて圧電共振子を固定した構造のものも知
られている。また、圧電共振子が接着剤により基板上に
固定されている構造では、接着剤量が少なすぎると、圧
電共振子が基板から外れ、上記のように導通不良が発生
する恐れがある。しかしながら、接着剤量が少なすぎる
場合、利用しようとするメインの振動特性を測定して行
う初期選別工程ではこのような不良品は検出され難い。
従って、実際に接着剤量を観察したり、特開平５−２９
８６２号公報に記載のように熱を加えた不良検出方法を
用いざるを得なかった。特開平５−２９８６２号公報に
記載の不良検出方法を用いた場合には、基板と圧電共振
子との熱膨張係数の差が大きければ、高温が与えられた
場合、接着剤に加わる応力が大きくなる。そのため、該
応力に耐えられない程接着剤の量が少ない場合には、断
線不良が起こり、接着剤量の少ない不良品を検出するこ
とができる。
性接着剤を用いて圧電共振子を固定した構造のものも知
られている。また、圧電共振子が接着剤により基板上に
固定されている構造では、接着剤量が少なすぎると、圧
電共振子が基板から外れ、上記のように導通不良が発生
する恐れがある。しかしながら、接着剤量が少なすぎる
場合、利用しようとするメインの振動特性を測定して行
う初期選別工程ではこのような不良品は検出され難い。
従って、実際に接着剤量を観察したり、特開平５−２９
８６２号公報に記載のように熱を加えた不良検出方法を
用いざるを得なかった。特開平５−２９８６２号公報に
記載の不良検出方法を用いた場合には、基板と圧電共振
子との熱膨張係数の差が大きければ、高温が与えられた
場合、接着剤に加わる応力が大きくなる。そのため、該
応力に耐えられない程接着剤の量が少ない場合には、断
線不良が起こり、接着剤量の少ない不良品を検出するこ
とができる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、接着剤
量を目視で観察する方法では、必ずしも導通不良につな
がる不良品を正確に検出することができず、かつ選別に
長時間を要する。また、熱を加えた上記不良検出方法で
は、熱を加える時間が必要であり、かつ熱を与えるため
の高温炉のような設備が必要となる。また、熱を加える
ことにより、製品が熱劣化する恐れがあった。
量を目視で観察する方法では、必ずしも導通不良につな
がる不良品を正確に検出することができず、かつ選別に
長時間を要する。また、熱を加えた上記不良検出方法で
は、熱を加える時間が必要であり、かつ熱を与えるため
の高温炉のような設備が必要となる。また、熱を加える
ことにより、製品が熱劣化する恐れがあった。
【０００６】本発明の目的は、上述した従来技術の現状
に鑑み、基板上に圧電共振子を接着剤を用いて固定した
圧電共振部品の不良の検出にあたり、接着剤量の異常を
短時間でかつ高い信頼性でもって検出することができ、
さらに付加的な設備や工程を必要としない不良検出方法
を提供することにある。
に鑑み、基板上に圧電共振子を接着剤を用いて固定した
圧電共振部品の不良の検出にあたり、接着剤量の異常を
短時間でかつ高い信頼性でもって検出することができ、
さらに付加的な設備や工程を必要としない不良検出方法
を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明のある広い局面に
よれば、圧電共振子が接着剤により基板上に固定されて
いる構造を備えた圧電共振部品の不良検出方法であっ
て、前記圧電共振子の利用しようとする振動モード以外
の振動モードの応答を測定し、該応答の大きさにより前
記接着剤の量が適正であるか否かを判別することを特徴
とする不良検出方法が提供される。
よれば、圧電共振子が接着剤により基板上に固定されて
いる構造を備えた圧電共振部品の不良検出方法であっ
て、前記圧電共振子の利用しようとする振動モード以外
の振動モードの応答を測定し、該応答の大きさにより前
記接着剤の量が適正であるか否かを判別することを特徴
とする不良検出方法が提供される。
【０００８】本発明の別の広い局面によれば、圧電共振
子が基板上に接着剤を用いて固定されている、圧電共振
部品の不良を検出する方法であって、前記圧電共振子
が、矩形板状の圧電体と、前記圧電体の両主面において
部分的に形成されておりかつ圧電体を介して対向された
第１，第２の共振電極とを備え、第１，第２の共振電極
が対向している部分がエネルギー閉じ込め型の圧電振動
部を構成しているエネルギー閉じ込め型圧電共振子であ
って、前記圧電共振子の利用しようとする振動モード以
外の振動モードの応答を測定し、該応答の大きさにより
前記接着剤の量が適正であるか否かを判別することを特
徴とする不良検出方法が提供される。
子が基板上に接着剤を用いて固定されている、圧電共振
部品の不良を検出する方法であって、前記圧電共振子
が、矩形板状の圧電体と、前記圧電体の両主面において
部分的に形成されておりかつ圧電体を介して対向された
第１，第２の共振電極とを備え、第１，第２の共振電極
が対向している部分がエネルギー閉じ込め型の圧電振動
部を構成しているエネルギー閉じ込め型圧電共振子であ
って、前記圧電共振子の利用しようとする振動モード以
外の振動モードの応答を測定し、該応答の大きさにより
前記接着剤の量が適正であるか否かを判別することを特
徴とする不良検出方法が提供される。
【０００９】本発明が適用される圧電共振部品は特に限
定されるわけではないが、例えばエネルギー閉じ込め型
圧電共振子として、厚み縦振動モードの基本波または三
倍波を用いたエネルギー閉じ込め型厚み縦共振子、厚み
滑りモードを利用したスリップ型圧電共振子、圧電体内
において第１，第２の共振電極と圧電体層を介して対向
するように配置された少なくとも１層の内部電極を備
え、厚み縦振動モードの高調波を利用したエネルギー閉
じ込め型厚み縦共振子などが挙げられる。
定されるわけではないが、例えばエネルギー閉じ込め型
圧電共振子として、厚み縦振動モードの基本波または三
倍波を用いたエネルギー閉じ込め型厚み縦共振子、厚み
滑りモードを利用したスリップ型圧電共振子、圧電体内
において第１，第２の共振電極と圧電体層を介して対向
するように配置された少なくとも１層の内部電極を備
え、厚み縦振動モードの高調波を利用したエネルギー閉
じ込め型厚み縦共振子などが挙げられる。
【００１０】また、本発明の他の広い局面によれば、圧
電共振子が基板上に接着剤を用いて固定されている、圧
電共振部品の不良を検出する方法であって、前記圧電共
振子が、矩形板状の圧電体と、前記圧電体の一方主面に
おいて部分的に形成された第１の共振電極と、第１の共
振電極と圧電体層を介して対向するように配置された少
なくとも１層の内部電極とを備え、前記第１の共振電極
と内部電極とが対向している部分がエネルギー閉じ込め
型の圧電振動部を構成しているエネルギー閉じ込め型圧
電共振子であって、前記圧電共振子の利用しようとする
振動モード以外の振動モードの応答を測定し、該応答の
大きさにより前記接着剤の量が適正であるか否かを判別
する、圧電共振部品の不良検出方法が提供される。
電共振子が基板上に接着剤を用いて固定されている、圧
電共振部品の不良を検出する方法であって、前記圧電共
振子が、矩形板状の圧電体と、前記圧電体の一方主面に
おいて部分的に形成された第１の共振電極と、第１の共
振電極と圧電体層を介して対向するように配置された少
なくとも１層の内部電極とを備え、前記第１の共振電極
と内部電極とが対向している部分がエネルギー閉じ込め
型の圧電振動部を構成しているエネルギー閉じ込め型圧
電共振子であって、前記圧電共振子の利用しようとする
振動モード以外の振動モードの応答を測定し、該応答の
大きさにより前記接着剤の量が適正であるか否かを判別
する、圧電共振部品の不良検出方法が提供される。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の具体的な実施例を
説明することにより、本発明を明らかにする。
説明することにより、本発明を明らかにする。
【００１２】図１（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施例
にかかる不良検出方法が適用される圧電共振部品を示す
断面図及び該圧電共振部品に用いられる圧電共振子を説
明するための斜視図である。
にかかる不良検出方法が適用される圧電共振部品を示す
断面図及び該圧電共振部品に用いられる圧電共振子を説
明するための斜視図である。
【００１３】圧電共振部品１は、矩形板状の基板２と、
基板２上に固定された圧電共振子３とを有する。基板２
を構成する材料については特に限定されず、アルミナな
どの絶縁性セラミックスあるいは合成樹脂など適宜の材
料を用いることができる。
基板２上に固定された圧電共振子３とを有する。基板２
を構成する材料については特に限定されず、アルミナな
どの絶縁性セラミックスあるいは合成樹脂など適宜の材
料を用いることができる。
【００１４】基板２の上面２ａには、端子電極４，５が
形成されている。端子電極４，５は、圧電共振子３を固
定するため、並びに圧電共振子３と外部とを電気的に接
続するために設けられている。
形成されている。端子電極４，５は、圧電共振子３を固
定するため、並びに圧電共振子３と外部とを電気的に接
続するために設けられている。
【００１５】圧電共振子３は、厚み縦振動モードの基本
波を用いたエネルギー閉じ込め型の圧電共振子である。
圧電共振子３は、矩形板状の圧電基板６を有する。圧電
基板６は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのよう
な圧電セラミックス、あるいは水晶などの圧電単結晶に
より構成されている。圧電基板６が圧電セラミックスか
らなる場合、厚み方向に分極されている。
波を用いたエネルギー閉じ込め型の圧電共振子である。
圧電共振子３は、矩形板状の圧電基板６を有する。圧電
基板６は、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのよう
な圧電セラミックス、あるいは水晶などの圧電単結晶に
より構成されている。圧電基板６が圧電セラミックスか
らなる場合、厚み方向に分極されている。
【００１６】圧電基板６の上面には、中央に部分的に共
振電極７が形成されている。共振電極７と圧電基板６を
介して表裏対向するように、圧電基板６の下面にも共振
電極８が形成されている。共振電極７，８には、引き出
し電極９，１０が連ねられている。引き出し電極９，１
０は、それぞれ、圧電基板６の上面及び下面から端面６
ａまたは６ｂに至るように形成されている。
振電極７が形成されている。共振電極７と圧電基板６を
介して表裏対向するように、圧電基板６の下面にも共振
電極８が形成されている。共振電極７，８には、引き出
し電極９，１０が連ねられている。引き出し電極９，１
０は、それぞれ、圧電基板６の上面及び下面から端面６
ａまたは６ｂに至るように形成されている。
【００１７】上記圧電共振子３は、導電性接着剤１１，
１２を用いて基板２上の端子電極４，５に接合されてい
る。すなわち、引き出し電極９が導電性接着剤１１によ
り端子電極４に接合されており、他方、引き出し電極１
０が導電性接着剤１２により端子電極５に接合されてい
る。
１２を用いて基板２上の端子電極４，５に接合されてい
る。すなわち、引き出し電極９が導電性接着剤１１によ
り端子電極４に接合されており、他方、引き出し電極１
０が導電性接着剤１２により端子電極５に接合されてい
る。
【００１８】この種の圧電共振部品１では、導電性接着
剤１１，１２の量が少なすぎると、前述したように、圧
電共振子３と端子電極４，５との間の導通不良が生じ
る。本実施例では、このような導電性接着剤１１，１２
による圧電共振子３と端子電極４，５との間の接続状態
が適正であるか否かが判別される。
剤１１，１２の量が少なすぎると、前述したように、圧
電共振子３と端子電極４，５との間の導通不良が生じ
る。本実施例では、このような導電性接着剤１１，１２
による圧電共振子３と端子電極４，５との間の接続状態
が適正であるか否かが判別される。
【００１９】本実施例の不良検出方法では、上記基板２
上に圧電共振子３が導電性接着剤１１，１２を用いて固
定された状態において、圧電共振子３を振動させての周
波数特性が測定される。この周波数特性の測定は、従来
より行われている特性選別に際しての測定と同様にして
行われる。
上に圧電共振子３が導電性接着剤１１，１２を用いて固
定された状態において、圧電共振子３を振動させての周
波数特性が測定される。この周波数特性の測定は、従来
より行われている特性選別に際しての測定と同様にして
行われる。
【００２０】もっとも、特性選別工程では、利用しよう
とする振動モード、すなわち圧電共振子３の厚み縦振動
モードの基本波が注目され、該基本波の応答が適正であ
るか否かを基準に良品及び不良品の選別が行われる。
とする振動モード、すなわち圧電共振子３の厚み縦振動
モードの基本波が注目され、該基本波の応答が適正であ
るか否かを基準に良品及び不良品の選別が行われる。
【００２１】これに対して、本実施例の不良検出方法で
は、圧電共振子３の周波数特性を測定した際に、利用し
ようとする振動モードである厚み縦振動の基本波ではな
い他の振動モード、本実施例では長さ振動モードが評価
され、該長さ振動モードの応答の大きさにより、接着剤
量が適正であるか否かが判別される。
は、圧電共振子３の周波数特性を測定した際に、利用し
ようとする振動モードである厚み縦振動の基本波ではな
い他の振動モード、本実施例では長さ振動モードが評価
され、該長さ振動モードの応答の大きさにより、接着剤
量が適正であるか否かが判別される。
【００２２】図２は、圧電共振部品１において導電性接
着剤１１，１２の量が適正である場合の長さ振動モード
の応答を示す図である。ここで、実線はインピーダンス
特性を、破線は位相特性を示す。
着剤１１，１２の量が適正である場合の長さ振動モード
の応答を示す図である。ここで、実線はインピーダンス
特性を、破線は位相特性を示す。
【００２３】他方、図３に示すように、導電性接着剤１
１Ａ，１２Ａの量が異常に少ない場合の長さ振動モード
の特性を図４に示す。図４において、実線はインピーダ
ンス特性を、破線は位相特性を示す。
１Ａ，１２Ａの量が異常に少ない場合の長さ振動モード
の特性を図４に示す。図４において、実線はインピーダ
ンス特性を、破線は位相特性を示す。
【００２４】図２と図４とを比較すれば明らかなよう
に、導電性接着剤の量が異常に少ない場合には、長さ振
動モードの応答が異常に大きくなる。特に、位相特性に
おいてこの異常が顕著に表われていることがわかる。
に、導電性接着剤の量が異常に少ない場合には、長さ振
動モードの応答が異常に大きくなる。特に、位相特性に
おいてこの異常が顕著に表われていることがわかる。
【００２５】図２及び図４の比較から明らかなように、
厚み縦振動モードの基本波を利用した圧電共振子３を用
いた圧電共振部品１では、長さ振動モードの応答の大き
さが、導電性接着剤の量に大きく依存していることがわ
かる。
厚み縦振動モードの基本波を利用した圧電共振子３を用
いた圧電共振部品１では、長さ振動モードの応答の大き
さが、導電性接着剤の量に大きく依存していることがわ
かる。
【００２６】従って、あらかじめ、インピーダンス特性
及び／または位相特性上における長さ振動モードの応答
において、良品及び不良品を選別するしきい値を設定し
ておけば、製造された圧電共振部品１の振動特性を特性
選別工程において測定するに際し、長さ振動モードの応
答を同時に測定し、それによって導電性接着剤の量の適
正及び不適性を容易に判別することができる。
及び／または位相特性上における長さ振動モードの応答
において、良品及び不良品を選別するしきい値を設定し
ておけば、製造された圧電共振部品１の振動特性を特性
選別工程において測定するに際し、長さ振動モードの応
答を同時に測定し、それによって導電性接着剤の量の適
正及び不適性を容易に判別することができる。
【００２７】本実施例の不良検出方法では、上記のよう
に圧電共振部品１の特性選別工程において、利用しよう
とする振動モード以外の振動モードの応答を同時に測定
するだけで、導電性接着剤の量の適正及び不適性を判別
することができる。従って、新たな設備や工程を必要と
することなく、導電性接着剤の量が適正であるか否かを
容易にかつ短時間で判別することができる。
に圧電共振部品１の特性選別工程において、利用しよう
とする振動モード以外の振動モードの応答を同時に測定
するだけで、導電性接着剤の量の適正及び不適性を判別
することができる。従って、新たな設備や工程を必要と
することなく、導電性接着剤の量が適正であるか否かを
容易にかつ短時間で判別することができる。
【００２８】上記のように、圧電共振部品１において、
厚み縦振動モード以外の振動モードである長さ振動モー
ドの応答の大きさが導電性接着剤の量に依存するのは、
導電性接着剤の量が少なすぎると長さ振動モードが十分
に抑圧されず、導電性接着剤の量が十分に多い場合には
長さ振動モードが十分に抑圧されるためである。従っ
て、本実施例では、厚み縦振動モード以外の振動モード
として長さ振動モードを利用したが、長さ振動モード以
外の他の振動モード、例えば幅モードなどの振動モード
を用いてもよく、導電性接着剤により振動が抑圧される
様々な振動モードを用いて、導電性接着剤の量が適正で
あるか否かを判別することができる。
厚み縦振動モード以外の振動モードである長さ振動モー
ドの応答の大きさが導電性接着剤の量に依存するのは、
導電性接着剤の量が少なすぎると長さ振動モードが十分
に抑圧されず、導電性接着剤の量が十分に多い場合には
長さ振動モードが十分に抑圧されるためである。従っ
て、本実施例では、厚み縦振動モード以外の振動モード
として長さ振動モードを利用したが、長さ振動モード以
外の他の振動モード、例えば幅モードなどの振動モード
を用いてもよく、導電性接着剤により振動が抑圧される
様々な振動モードを用いて、導電性接着剤の量が適正で
あるか否かを判別することができる。
【００２９】なお、上記実施例では、圧電共振子３とし
て厚み縦振動モードの基本波を用いたエネルギー閉じ込
め型圧電共振子について適用したが、本発明にかかる不
良検出方法は、圧電共振子３に限定されず、様々な圧電
共振子が接着剤により基板上に固定されている圧電共振
部品に広く用いることができる。図５〜図７は、本発明
が適用される圧電共振部品における圧電共振子の他の例
を説明するための各斜視図である。もっとも、本発明が
適用される圧電共振部品における圧電共振子はこれらに
限定されるものではない。
て厚み縦振動モードの基本波を用いたエネルギー閉じ込
め型圧電共振子について適用したが、本発明にかかる不
良検出方法は、圧電共振子３に限定されず、様々な圧電
共振子が接着剤により基板上に固定されている圧電共振
部品に広く用いることができる。図５〜図７は、本発明
が適用される圧電共振部品における圧電共振子の他の例
を説明するための各斜視図である。もっとも、本発明が
適用される圧電共振部品における圧電共振子はこれらに
限定されるものではない。
【００３０】図５に示す圧電共振子２１は、ストリップ
型の厚み縦振動モードの基本波を利用したエネルギー閉
じ込め型圧電共振子である。圧電共振子２１は、細長い
矩形板状、すなわちストリップ状の圧電体２２を有す
る。圧電体２２は、図示の矢印で示すように厚み方向に
分極処理されている。また、圧電体２２の上面には、第
１の共振電極２３が、下面には第２の共振電極２４が形
成されている。共振電極２３，２４は、圧電体２２の長
さ方向中央部において、圧電体２２を介して表裏対向さ
れている。共振電極２３，２４が対向している部分がエ
ネルギー閉じ込め型の圧電振動部を構成している。
型の厚み縦振動モードの基本波を利用したエネルギー閉
じ込め型圧電共振子である。圧電共振子２１は、細長い
矩形板状、すなわちストリップ状の圧電体２２を有す
る。圧電体２２は、図示の矢印で示すように厚み方向に
分極処理されている。また、圧電体２２の上面には、第
１の共振電極２３が、下面には第２の共振電極２４が形
成されている。共振電極２３，２４は、圧電体２２の長
さ方向中央部において、圧電体２２を介して表裏対向さ
れている。共振電極２３，２４が対向している部分がエ
ネルギー閉じ込め型の圧電振動部を構成している。
【００３１】共振電極２３，２４は、それぞれ、圧電体
２２の一方端面２２ａ側及び他方端面２２ｂ側に引き出
されている。さらに、共振電極２３，２４は、端面２２
ａ，２２ｂ上に至るように形成されている。
２２の一方端面２２ａ側及び他方端面２２ｂ側に引き出
されている。さらに、共振電極２３，２４は、端面２２
ａ，２２ｂ上に至るように形成されている。
【００３２】共振電極２３，２４に交流電圧を印加する
ことにより、厚み縦振動モードの基本波を用いたストリ
ップ状のエネルギー閉じ込め型の圧電共振子として動作
する。
ことにより、厚み縦振動モードの基本波を用いたストリ
ップ状のエネルギー閉じ込め型の圧電共振子として動作
する。
【００３３】また、圧電共振子２１では、圧電体２２の
材料及び厚みを選択することにより、厚み縦振動の３倍
波を利用することもできる。すなわち、圧電共振子２１
は、厚み縦振動モードの３倍波を利用したエネルギー閉
じ込め型圧電共振子として用いることもできる。
材料及び厚みを選択することにより、厚み縦振動の３倍
波を利用することもできる。すなわち、圧電共振子２１
は、厚み縦振動モードの３倍波を利用したエネルギー閉
じ込め型圧電共振子として用いることもできる。
【００３４】図６に示す圧電共振子３１は、ストリップ
状の厚み滑りモードを利用したエネルギー閉じ込め型圧
電共振子である。ここでは、細長い矩形板状、すなわち
ストリップ状の圧電体３２が用いられている。圧電体３
２は、矢印で示すように長さ方向に分極処理されてい
る。圧電体３２の上面及び下面には、それぞれ、第１，
第２の共振電極３３，３４が形成されている。共振電極
３３，３４は、それぞれ、圧電体３２の一方端面３２ａ
及び他方端面３２ｂ側に引き出されており、かつ端面３
２ａ，３２ｂ上に至るように形成されている。
状の厚み滑りモードを利用したエネルギー閉じ込め型圧
電共振子である。ここでは、細長い矩形板状、すなわち
ストリップ状の圧電体３２が用いられている。圧電体３
２は、矢印で示すように長さ方向に分極処理されてい
る。圧電体３２の上面及び下面には、それぞれ、第１，
第２の共振電極３３，３４が形成されている。共振電極
３３，３４は、それぞれ、圧電体３２の一方端面３２ａ
及び他方端面３２ｂ側に引き出されており、かつ端面３
２ａ，３２ｂ上に至るように形成されている。
【００３５】図７に示す圧電共振子４１は、厚み縦振動
の２倍波を利用したストリップ型のエネルギー閉じ込め
型圧電共振子である。ここでは、細長い矩形板状、すな
わちストリップ状の圧電体４２が用いられている。圧電
体４２の上面中央には、第１の共振電極４３が、下面中
央には第２の共振電極４４が形成されている。共振電極
４３，４４は、それぞれ、圧電体４２の一方端面４２ａ
側に引き出されており、かつ端面４２ａ上において共通
接続されている。
の２倍波を利用したストリップ型のエネルギー閉じ込め
型圧電共振子である。ここでは、細長い矩形板状、すな
わちストリップ状の圧電体４２が用いられている。圧電
体４２の上面中央には、第１の共振電極４３が、下面中
央には第２の共振電極４４が形成されている。共振電極
４３，４４は、それぞれ、圧電体４２の一方端面４２ａ
側に引き出されており、かつ端面４２ａ上において共通
接続されている。
【００３６】他方、圧電体４２内には、中間高さ位置に
内部電極４５が形成されている。内部電極４５は、圧電
体層を介して共振電極４３，４４と対向するように配置
されている。内部電極４５は、端面４２ａとは反対側の
端面４２ｂに引き出されている。端面４２ｂには、外部
電極４６が形成されており、外部電極４６が内部電極４
５に電気的に接続されている。
内部電極４５が形成されている。内部電極４５は、圧電
体層を介して共振電極４３，４４と対向するように配置
されている。内部電極４５は、端面４２ａとは反対側の
端面４２ｂに引き出されている。端面４２ｂには、外部
電極４６が形成されており、外部電極４６が内部電極４
５に電気的に接続されている。
【００３７】圧電体４２は厚み方向に一様に分極処理さ
れている。従って、外部電極４６と、共振電極４３，４
４との間に交流電圧を印加することにより、厚み縦振動
モードの２倍波を利用したエネルギー閉じ込め型の圧電
共振子として動作させることができる。なお、圧電共振
子４１に代えて、複数の内部電極を有する圧電体を用
い、それによって厚み縦振動モードのより高い高調波を
利用したエネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子を構成
してもよい。
れている。従って、外部電極４６と、共振電極４３，４
４との間に交流電圧を印加することにより、厚み縦振動
モードの２倍波を利用したエネルギー閉じ込め型の圧電
共振子として動作させることができる。なお、圧電共振
子４１に代えて、複数の内部電極を有する圧電体を用
い、それによって厚み縦振動モードのより高い高調波を
利用したエネルギー閉じ込め型厚み縦圧電共振子を構成
してもよい。
【００３８】また、内部電極４５は、共振電極４３，４
４の少なくとも一方と対向するように配置すればよく、
必ずしも両方と対向する必要はない。さらに、共振電極
４３，４４は、少なくとも一方を形成すればよく、必ず
しも両方を形成する必要はない。すなわち、第１の共振
電極と、該第１の共振電極と圧電体層を介して対向する
ように配置された、少なくとも１層の内部電極とを有す
るエネルギー閉じ込め型の圧電共振子にも本発明を適用
することができる。
４の少なくとも一方と対向するように配置すればよく、
必ずしも両方と対向する必要はない。さらに、共振電極
４３，４４は、少なくとも一方を形成すればよく、必ず
しも両方を形成する必要はない。すなわち、第１の共振
電極と、該第１の共振電極と圧電体層を介して対向する
ように配置された、少なくとも１層の内部電極とを有す
るエネルギー閉じ込め型の圧電共振子にも本発明を適用
することができる。
【００３９】なお、圧電共振子２１〜４１において、圧
電体２２〜４２を構成する材料については特に限定され
ず、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電
セラミックス、あるいはタンタル酸リチウムや水晶など
の圧電単結晶などを用いることができる。
電体２２〜４２を構成する材料については特に限定され
ず、チタン酸ジルコン酸鉛系セラミックスのような圧電
セラミックス、あるいはタンタル酸リチウムや水晶など
の圧電単結晶などを用いることができる。
【００４０】
【発明の効果】本発明にかかる不良検出方法では、圧電
共振子の利用しようとする振動モード以外の振動モード
の応答の大きさが測定される。この利用しようとする振
動モード以外の振動モードの応答の大きさは接着剤の量
に依存する。従って、該利用しようとする振動モード以
外の振動モードの応答の大きさにより、接着剤の量が適
正であるか否かを容易に判別することができる。
共振子の利用しようとする振動モード以外の振動モード
の応答の大きさが測定される。この利用しようとする振
動モード以外の振動モードの応答の大きさは接着剤の量
に依存する。従って、該利用しようとする振動モード以
外の振動モードの応答の大きさにより、接着剤の量が適
正であるか否かを容易に判別することができる。
【００４１】上記利用しようとする振動モード以外の振
動モードの応答の測定は、従来から行われている基本的
な特性選別工程において利用しようとする振動モードの
測定と同時に行うことができる。従って、本発明にかか
る不良検出方法は、特別の工程及び設備を必要とするこ
となく、短時間でかつ容易に行われる。また、不良検出
にあたり熱を加える必要がないため、電子部品の熱劣化
の恐れもない。
動モードの応答の測定は、従来から行われている基本的
な特性選別工程において利用しようとする振動モードの
測定と同時に行うことができる。従って、本発明にかか
る不良検出方法は、特別の工程及び設備を必要とするこ
となく、短時間でかつ容易に行われる。また、不良検出
にあたり熱を加える必要がないため、電子部品の熱劣化
の恐れもない。
【００４２】従って、本発明によれば、基板上に接着剤
により圧電共振子が固定されている構造における接着剤
量が適正であるか否かを、安価にかつ短時間で、さらに
高い信頼性でもって判別することができる。
により圧電共振子が固定されている構造における接着剤
量が適正であるか否かを、安価にかつ短時間で、さらに
高い信頼性でもって判別することができる。
【図１】（ａ），（ｂ）は、本発明の一実施例において
不良が検出される圧電共振部品を説明するための正面断
面図、及び該圧電共振部品に用いられる圧電共振子を説
明するための斜視図。
不良が検出される圧電共振部品を説明するための正面断
面図、及び該圧電共振部品に用いられる圧電共振子を説
明するための斜視図。
【図２】接着剤量が適正である場合のインピーダンス特
性及び位相特性を示す図。
性及び位相特性を示す図。
【図３】接着剤量が少なすぎる場合の圧電共振部品を示
す正面断面図。
す正面断面図。
【図４】図３に示した接着剤量が異常である場合のイン
ピーダンス特性及び位相特性を示す図。
ピーダンス特性及び位相特性を示す図。
【図５】本発明が適用される圧電共振部品において用い
られる圧電共振子の他の例を示す斜視図。
られる圧電共振子の他の例を示す斜視図。
【図６】本発明が適用される圧電共振部品において用い
られる圧電共振子のさらに他の例を示す斜視図。
られる圧電共振子のさらに他の例を示す斜視図。
【図７】本発明が適用される圧電共振部品において用い
られる圧電共振子の他の例を示す斜視図。
られる圧電共振子の他の例を示す斜視図。
【図８】従来の圧電共振部品の不良検出方法を説明する
ための圧電共振部品の平面断面図。
ための圧電共振部品の平面断面図。
１…圧電共振部品 ２…基板 ３…圧電共振子 ４，５…端子電極 ６…圧電基板 ７，８…第１，第２の共振電極 ９，１０…引き出し電極 １１，１２…導電性接着剤 ２１…圧電共振子 ２２…圧電体 ２３，２４…第１，第２の共振電極 ３１…圧電共振子 ３２…圧電体 ３３，３４…第１，第２の共振電極 ４１…圧電共振子 ４２…圧電体 ４３…第１の共振電極 ４４…第２の共振電極 ４５…内部電極
Claims (6)
- 【請求項１】 圧電共振子が接着剤により基板上に固定
されている構造を備えた圧電共振部品の不良検出方法で
あって、 前記圧電共振子の利用しようとする振動モード以外の振
動モードの応答を測定し、該応答の大きさにより前記接
着剤の量が適正であるか否かを判別することを特徴とす
る、圧電共振部品の不良検出方法。 - 【請求項２】 圧電共振子が基板上に接着剤を用いて固
定されている、圧電共振部品の不良を検出する方法であ
って、 前記圧電共振子が、矩形板状の圧電体と、前記圧電体の
両主面において部分的に形成されておりかつ圧電体を介
して対向された第１，第２の共振電極とを備え、第１，
第２の共振電極が対向している部分がエネルギー閉じ込
め型の圧電振動部を構成しているエネルギー閉じ込め型
圧電共振子であって、 前記圧電共振子の利用しようとする振動モード以外の振
動モードの応答を測定し、該応答の大きさにより前記接
着剤の量が適正であるか否かを判別することを特徴とす
る、圧電共振部品の不良検出方法。 - 【請求項３】 前記エネルギ閉じ込め型圧電共振子が、
厚み縦振動モードの基本波または３倍波を用いたエネル
ギ閉じ込め型厚み縦共振子である、請求項２に記載の圧
電共振部品の不良検出方法。 - 【請求項４】 前記圧電共振子が、厚み滑り振動モード
を利用したストリップ型圧電共振子である、請求項２に
記載の圧電共振部品の不良検出方法。 - 【請求項５】 前記圧電共振子が、前記圧電体内におい
て第１，第２の共振電極の少なくとも１つと圧電体層を
介して対向するように配置された少なくとも１層の内部
電極をさらに備え、厚み縦振動モードの高調波を利用し
たエネルギ閉じ込め型厚み縦共振子である、請求項２に
記載の圧電共振部品の不良検出方法。 - 【請求項６】 圧電共振子が基板上に接着剤を用いて固
定されている、圧電共振部品の不良を検出する方法であ
って、 前記圧電共振子が、矩形板状の圧電体と、前記圧電体の
一方主面において部４的に形成された第１の共振電極
と、第１の共振電極と圧電体層を介して対向するように
配置された少なくとも１層の内部電極とを備え、前記第
１の共振電極と内部電極とが対向している部分がエネル
ギー閉じ込め型の圧電振動部を構成しているエネルギー
閉じ込め型圧電共振子であって、 前記圧電共振子の利用しようとする振動モード以外の振
動モードの応答を測定し、該応答の大きさにより前記接
着剤の量が適正であるか否かを判別する、圧電共振部品
の不良検出方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001001736A JP4691783B2 (ja) | 2001-01-09 | 2001-01-09 | 圧電共振部品の不良検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001001736A JP4691783B2 (ja) | 2001-01-09 | 2001-01-09 | 圧電共振部品の不良検出方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002208828A true JP2002208828A (ja) | 2002-07-26 |
| JP4691783B2 JP4691783B2 (ja) | 2011-06-01 |
Family
ID=18870340
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001001736A Expired - Fee Related JP4691783B2 (ja) | 2001-01-09 | 2001-01-09 | 圧電共振部品の不良検出方法 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4691783B2 (ja) |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01176110A (ja) * | 1987-12-29 | 1989-07-12 | Murata Mfg Co Ltd | 電歪共振装置 |
| JPH0529862A (ja) * | 1991-07-22 | 1993-02-05 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電部品の製造方法 |
| JPH08274573A (ja) * | 1995-03-29 | 1996-10-18 | Olympus Optical Co Ltd | マイクロ圧電振動子、その製法及び圧電トランスデューサ |
| JPH08330884A (ja) * | 1995-05-31 | 1996-12-13 | Toko Inc | チップ型圧電振動部品とその製造方法 |
| JPH10190388A (ja) * | 1996-12-26 | 1998-07-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電セラミック共振子の製造方法 |
| JP2000269764A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-09-29 | Miyota Kk | 水晶振動子の検査方法および検査装置 |
| JP2000286665A (ja) * | 1999-03-29 | 2000-10-13 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振部品 |
| JP2001272286A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Nkk Corp | 応力履歴計測方法および装置 |
-
2001
- 2001-01-09 JP JP2001001736A patent/JP4691783B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP2001272286A (ja) * | 2000-03-27 | 2001-10-05 | Nkk Corp | 応力履歴計測方法および装置 |
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