JP2002207205A - 表示装置の製造方法及びその製造装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 フィルム基板とそれに対向する対向基板との
間に画像表示層を挟着してなる表示装置を、両基板間へ
の気泡混入を抑制して、フィルム基板に皺よりのない、
過度のストレスのない状態で、さらに両基板間の位置ず
れが抑制される状態で、両基板を精度良く貼り合わせて
良好に画像表示できる表示装置を製造する方法及びその
製造装置を提供する。 【解決手段】 フィルム基板Ｓ２と対向基板Ｓ１間に画
像表示層ＬＣを挟着してなる表示装置の製造方法及びそ
の製造装置である。対向基板Ｓ１を支持部材１０１に支
持させる。吸引装置２１３に接続された吸着部材２０１
にフィルム基板Ｓ２を吸着支持させる。基板Ｓ１、Ｓ２
を対向させるとともに両基板の所定端部同士を画像表示
層材料Ｌを間にして重ね合わせる。フィルム基板Ｓ２を
吸着部材２０１から引出しつつ両基板Ｓ１、Ｓ２を押圧
ローラ６１０にて支持部材１０１上で貼り合わせする。
吸着部材２０１の少なくともフィルム基板吸着領域の平
均表面粗さＲａを０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内の
ものとする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は表示装置の製造方法
及びその製造装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】表示装置として、液晶表示装置、エレク
トロルミネッセンス（ＥＬ）表示装置、プラズマディス
プレイ装置などが知られている。近年、液晶表示装置、
ＥＬ表示装置、プラズマディスプレイ装置などの表示装
置は、ＣＲＴに代えて、多く利用されている。

【０００３】かかる表示装置は一対の基板間に画像表示
層を挟持させたものが一般的である。基板としては、ガ
ラス基板が多用されているが、フィルム基板が用いられ
ることもある。いずれにしても基板には電極が形成され
ることがある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】画像表示層を挟持する
基板のうち少なくとも一方をフィルム基板とする表示装
置の製造においては、良好な画像表示のために、両基板
間に気泡が混入したり、フィルム基板に皺がよる、フィ
ルム基板に過度のストレスが加わる等の不都合のない状
態で、さらに両基板の位置ずれが抑制される状態で、両
基板を精度良く貼り合わさなければならない。

【０００５】本発明はかかる要請に応えることができる
表示装置の製造方法及びその製造装置を提供することを
課題とする。

【０００６】特に本発明は、フィルム基板とそれに対向
する対向基板との間に画像表示層を挟着してなる表示装
置を、両基板間への気泡混入を抑制して、フィルム基板
に皺よりのない、過度のストレスのない状態で、さらに
両基板間の位置ずれが抑制される状態で、両基板を精度
良く貼り合わせて良好に画像表示できる表示装置を製造
する方法及びその製造装置を提供することを課題とす
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明者は前記課題を解
決するため研究を重ねたところ、次のことを見出した。

【０００８】すなわち、前記課題を解決するには次のよ
うに表示装置を製作すればよい。先ず、支持部材に対向
基板を支持させ、フィルム基板を吸引するための吸引装
置に接続された吸着部材に該吸引装置の吸引力にてフィ
ルム基板を吸着支持させる。そして対向基板を支持した
支持部材及び前記フィルム基板を吸着支持した吸着部材
のうち少なくとも一方を動かして両基板を対向させると
ともに該両基板の所定端部同士を画像表示層材料を間に
して重ね合わせる。さらに、所定端部同士が重ねあわさ
れた両基板を押圧部材により前記支持部材との間に所定
の加圧力下に挟着しつつ該支持部材を該押圧部材及び吸
着部材に対し相対的に移動させ、前記フィルム基板を該
吸着部材から引き出しつつ該支持部材上で両基板の前記
重ね合わせ端部側から両基板を順次貼り合わせていく。

【０００９】この両基板の貼り合わせにおいては、所定
端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により前記
支持部材との間に所定の加圧力下に挟着しつつ該支持部
材を該押圧部材及び吸着部材に対し相対的に移動させ、
前記フィルム基板を該吸着部材から引き出しつつ該支持
部材上で両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を貼
り合わせていく。そうすることで、両基板間から脱気さ
れつつ、また、両基板内への外気の入り込みが抑制され
つつ両基板が貼り合わされていき、基板の皺よりや気泡
の発生が抑制される。

【００１０】しかしここで注意すべきは、前記吸着部材
のフィルム基板吸着領域の表面粗さが小さすぎたり（換
言すれば表面が平滑すぎたり）、前記吸引装置の吸引力
が強すぎると、フィルム基板が該吸着部材から引き出さ
れるにあたって該吸着部材におけるフィルム基板吸着力
が強くなり過ぎ、このためフィルム基板の引出しが円滑
なされ難くなり、ひいては、両基板間に外気が入り込み
易くなったり、基板の貼り合わせ位置に狂いが生じたり
する。またフィルム基板に過度のストレスがかかって、
例えばフィルム基板に電極が形成されている場合、フィ
ルム基板上の電極の切断などが発生することがある。ま
た、前記吸着部材の表面粗さが大きすぎたり、前記吸引
装置の吸引力が弱すぎると、吸着部材がフィルム基板を
うまく吸着支持できないことがある。

【００１１】そこで本発明者はさらに研究を重ねたとこ
ろ、前記吸着部材の少なくともフィルム基板吸着領域の
平均表面粗さＲａを０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内
のものとすることにより、或いはさらに両基板を順次貼
り合わせていくに際して、前記吸引装置の吸引力を−５
ｋＰａ〜−１５ｋＰａの範囲内のものとすることによ
り、フィルム基板が吸着部材から引き出されるにあたっ
て該吸着部材におけるフィルム基板吸着力が適度なもの
となり、吸着部材によるフィルム基板の吸着支持が良好
に行われるとともに、両基板間への外気混入、基板の貼
り合わせ位置のずれ、フィルム基板の皺よりなどの発生
が抑制され、またフィルム基板に過度のストレスがかか
ることが抑制され、例えばフィルム基板に電極が形成さ
れている場合、フィルム基板上の電極の切断などが回避
される。

【００１２】本発明はかかる知見に基づくものであり、
前記課題を解決するため次の第１及び第２の表示装置の
製造方法を提供する。 （１）第１の表示装置の製造方法 フィルム基板とそれに対向する対向基板との間に画像表
示層を挟持してなる表示装置の製造方法であり、支持部
材に対向基板を支持させる工程と、フィルム基板を吸引
するための吸引装置に接続された吸着部材に該吸引装置
の吸引力にてフィルム基板を吸着支持させる工程と、前
記対向基板を支持した支持部材及び前記フィルム基板を
吸着支持した吸着部材のうち少なくとも一方を動かして
両基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を
画像表示層材料を間にして重ね合わせる工程と、所定端
部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により前記支
持部材との間に所定の加圧力下に挟着しつつ該支持部材
を該押圧部材及び吸着部材に対し相対的に移動させ、前
記フィルム基板を該吸着部材から引き出しつつ該支持部
材上で両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を順次
貼り合わせていく貼り合わせ工程とを含み、前記吸着部
材の少なくともフィルム基板吸着領域の平均表面粗さＲ
ａを０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のものとする表
示装置の製造方法。 （２）第２の表示装置の製造方法 フィルム基板とそれに対向する対向基板との間に画像表
示層を挟持してなる表示装置の製造方法であり、支持部
材に対向基板を支持させる工程と、フィルム基板を吸引
するための吸引装置に接続された吸着部材に該吸引装置
の吸引力にてフィルム基板を吸着支持させる工程と、前
記対向基板を支持した支持部材及び前記フィルム基板を
吸着支持した吸着部材のうち少なくとも一方を動かして
両基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を
画像表示層材料を間にして重ね合わせる工程と、所定端
部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により前記支
持部材との間に所定の加圧力下に挟着しつつ該支持部材
を該押圧部材及び吸着部材に対し相対的に移動させ、前
記フィルム基板を該吸着部材から引き出しつつ該支持部
材上で両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を順次
貼り合わせていく貼り合わせ工程とを含み、前記吸着部
材の少なくともフィルム基板吸着領域の平均表面粗さＲ
ａを０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のものとし、前
記貼り合わせ工程において両基板を順次貼り合わせてい
くに際して、前記吸引装置の吸引力を−５ｋＰａ〜−１
５ｋＰａの範囲内のものとする表示装置の製造方法。

【００１３】本発明に係る第１及び第２の表示装置の製
造方法において、少なくとも前記フィルム基板には電極
が形成されていてもよい。この場合、フィルム基板に形
成される電極としては、インジウム錫酸化物（ＩＴＯ）
からなるものを例示できる。

【００１４】この第１及び第２の表示装置の製造方法で
は、画像表示層材料を間にして所定端部同士が重ねあわ
された両基板を押圧部材により前記支持部材との間に所
定の加圧力下に挟着しつつ該支持部材を該押圧部材及び
吸着部材に対し相対的に移動させ、前記フィルム基板を
該吸着部材から引き出しつつ該支持部材上で両基板の前
記重ね合わせ端部側から両基板を順次貼り合わせしてい
く。

【００１５】そして、本発明に係る第１の表示装置の製
造方法によると、前記吸着部材の少なくともフィルム基
板吸着領域の平均表面粗さＲａを０．８μｍ〜１２．５
μｍの範囲内のものとするので、また、本発明に係る第
２の表示装置の製造方法によると、前記吸着部材の少な
くともフィルム基板吸着領域の平均表面粗さＲａを０．
８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のものとし、前記貼り合
わせ工程において両基板を順次貼り合わせていくに際し
て、前記吸引装置の吸引力を−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａ
の範囲内のものとするので、フィルム基板が吸着部材か
ら引き出されるにあたって該吸着部材におけるフィルム
基板吸着力が適度なものとなり、吸着部材によるフィル
ム基板の吸着支持を良好に行うことができ、両基板間へ
の気泡混入、基板の貼り合わせ位置のずれ、フィルム基
板の皺よりなどの発生を抑制でき、またフィルム基板に
過度のストレスがかかることを抑制でき、例えばフィル
ム基板にＩＴＯ等の電極が形成されている場合、フィル
ム基板上の電極の切断などを回避することができる。

【００１６】従って、両基板を精度良く貼り合わせて、
良好に画像表示できる表示装置を作製できる。

【００１７】第１及び第２の表示装置の製造方法におい
て、上記問題をより効果的に回避するためには吸着部材
の表面粗さＲａを１．６μｍ〜６．３μｍの範囲とし、
さらに効果的に回避するためにはＲａを５μｍ〜１０μ
ｍとすることができる。

【００１８】いずれにしても、前記押圧部材としては例
えば基板に圧接摺動可能の部材や圧接転動可能のローラ
型部材を挙げることができる。

【００１９】前記吸引装置は、それには限定されない
が、代表例として、排気装置を挙げることができる。前
記吸引装置が排気装置である場合、前記吸着部材に吸気
孔を設けることができる。これにより、排気装置に接続
された吸着部材は該排気装置の吸引力にて該吸着部材に
設けた吸気孔にてフィルム基板を吸着支持することがで
きる。

【００２０】いずれにしても本発明に係る第１及び第２
の表示装置の製造方法において、前記貼り合わせ工程で
は、前記吸着部材から引き出されるフィルム基板の該吸
着部材に対する相対的移動にあたり、該吸着部材におけ
るフィルム基板吸着力の変化が小さくなるように前記吸
引装置の吸引力を調整してもよい。こうすることで、両
基板間への気泡混入、基板の貼り合わせ位置のずれ、フ
ィルム基板の皺よりなどの発生を一層抑制することがで
きる。フィルム基板に過度の引っ張りに対するストレス
がかかることも一層抑制できる。

【００２１】前記貼り合わせ工程において前記吸引装置
の吸引力を調整する場合、前記吸着部材から引き出され
るフィルム基板の該吸着部材に対する相対的移動に伴っ
て、前記吸引装置の吸引力を強くしていくように調整し
てもよい。例えば、前記吸引装置が排気装置であり、排
気装置の吸引力にて吸着部材に設けた吸気孔を介してフ
ィルム基板を吸着支持する場合、排気装置は、吸着部材
から引き出されるフィルム基板の該吸着部材に対する相
対的移動に伴って、吸着部材における、フィルム基板を
吸着しなくなった領域の吸気孔からの空気吸い込みによ
りフィルム吸引力が低下していく。これによって前記吸
着部材におけるフィルム基板吸着力が低下してしまう。
そこで、前記吸着部材から引き出されるフィルム基板の
該吸着部材に対する相対的移動に伴って、前記吸引装置
の吸引力を強くするように調整することにより、前記吸
着部材におけるフィルム基板吸着力の変化を小さくする
ことができる。

【００２２】いずれにしても、本発明に係る第１及び第
２の表示装置の製造方法において、前記貼り合わせ工程
を仮貼り合わせ工程とし、さらに両基板を加熱部材によ
り前記支持部材との間で本貼り合わせ温度下に挟着しつ
つ該両基板を該加熱部材に対して相対的に移動させるこ
とで両基板を本貼り合わせする本貼り合わせ工程をさら
に含んでいてもよい。この場合、加熱部材は基板に圧接
転動可能のローラ型部材であってもよい。いずれにして
も加熱部材による本貼り合わせ工程は、支持部材と加熱
部材とによる両基板挟着が円滑、良好な本貼り合わせの
ための加圧力下になされてもよい。

【００２３】いずれにしても、吸着部材にフィルム基板
を吸着支持させる工程では、それよりあとの工程である
対向基板及びフィルム基板の所定端部同士を画像表示層
材料を間にして重ね合わせる工程を実施し易いように、
両基板の所定端部同士を重ね合わせるときのフィルム基
板端部を吸着部材からはみ出させた状態で該吸着部材に
吸着支持させてもよい。

【００２４】また、対向基板及びフィルム基板の貼り合
わせに先立って、両基板をそれぞれの予備加熱温度に加
熱してもよいし、気泡混入を抑制するために、貼り合わ
せ工程（或いは仮貼り合わせ工程及び本貼り合わせ工
程）を所定の減圧雰囲気下で行ってもよい。所定の減圧
雰囲気下で貼り合わせを行う場合、該減圧雰囲気圧とし
て１３Ｐａ〜４０Ｐａ（０．１Ｔｏｒｒ〜０．３ Ｔｏ
ｒｒ）程度を例示できる。

【００２５】また、支持部材による対向基板の支持は、
それには限定されないが、代表例として、支持部材に設
けた吸気孔を介して対向基板を吸着支持する方法を挙げ
ることができる。

【００２６】前記支持部材に対向基板を支持させる工程
では、対向基板を、支持部材を含む第１ステージにおい
て位置合わせして支持させてもよい。前記吸着部材にフ
ィルム基板を吸着支持させる工程では、フィルム基板
を、支持部材を含む第１ステージに対し所定の位置関係
で配置された吸着部材を含む第２ステージにおいて位置
合わせして吸着支持させてもよい。

【００２７】前記の第１ステージにおける対向基板及び
第２ステージにおけるフィルム基板の位置合わせは各種
手法で行える。例えばそれ自体すでに知られている基板
や表示装置の位置合わせ手法を用いて行える。

【００２８】位置合わせの方法として次の方法を例示で
きる。

【００２９】先ず、対向基板、フィルム基板が精度よく
位置合わせされた状態で後ほどの両基板の所定端部同士
の重ね合わせ、それに続く貼り合わせ工程等が実施され
るように位置決めされた合わせマークを第１、第２のそ
れぞれのステージに予め設けておくとともに、対向基板
に第１ステージの合わせマークに合致させるべき合わせ
マークを、フィルム基板に第２ステージの合わせマーク
に合致させるべき合わせマークを予め設けておく。そし
て、（ａ）各ステージ上に対応する基板を配置し、該ス
テージと基板の合わせマークを目視観察又はカメラ観察
しながら該基板を手作業で動かして位置合わせする。或
いは、（ｂ）各ステージ上又はその上方に対応する基板
を配置し、該ステージと基板の合わせマークをカメラ観
察しながら基板をＸ−Ｙ−θ駆動装置で動かして位置合
わせする。ステージ上方に基板を配置して位置合わせす
るときは、位置合わせ後に該基板をステージに載置すれ
ばよい。

【００３０】或いは次の方法も例示できる。すなわち、
ステージにＸ−Ｙ−θ駆動が可能である基板保持部を設
けておき、該保持部に予め位置合わせマークを設けた基
板を保持させ、該基板の合わせマークをカメラで観察し
ながら該保持部をＸ−Ｙ−θ駆動装置で動かすことで基
板の位置合わせを行う。この場合基板の位置合わせは、
対向基板、フィルム基板が精度よく位置合わせされた状
態で後ほどの工程が実施されるように行う。

【００３１】いずれにしても、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置によ
る位置合わせは、Ｘ−Ｙ−θ駆動装置を手動操作して行
ってもよいが、カメラで検出されるマーク情報（例えば
その位置情報等）に基づいて基板を位置合わせするよう
にＸ−Ｙ−θ駆動装置動作を制御することで行ってもよ
い。後者の場合には基板、表示装置等の位置合わせのた
めの画像処理法を利用できる。

【００３２】なおＸ−Ｙ−θ駆動装置は、言うまでもな
く、物体を方向Ｘ、これに垂直な方向Ｙに動かすととも
にＸ−Ｙ平面に垂直な軸の周りに回動させることができ
る装置である。

【００３３】前記位置合わせマークは液晶マーク、エレ
クトロルミネッセンスマーク等として通電により発光な
いしは発光するものとしてもよい。また、ダミー電極等
により発光させるものでもよい。

【００３４】本発明方法により製造される表示装置とし
ては、透過光型液晶表示装置（透過光型液晶表示パネ
ル）、反射光型液晶表示装置（反射光型液晶表示パネ
ル）、有機エレクトロルミネッセンス表示装置（有機Ｅ
Ｌ表示パネル）、無機エレクトロルミネッセンス表示装
置（無機ＥＬ表示パネル）、プラズマディスプレイ装置
（プラズマディスプレイパネル）等を例示できる。

【００３５】前記表示装置が液晶表示装置（液晶表示パ
ネル）である場合、基板間に配置される画像表示層は液
晶材料層である。この場合、本発明に係る第１及び第２
の表示装置の製造方法は、対向基板及び（又は）フィル
ム基板に樹脂柱を形成しておく工程、対向基板及び（又
は）フィルム基板にスペーサを散布付着させておく工
程、対向基板及び（又は）フィルム基板にシール壁を形
成する工程、或いは支持部材に支持された対向基板の所
定端部に液晶材料を塗布する液晶材料塗布工程をさらに
含んでいてもよい。対向基板に樹脂柱を形成しておく場
合、支持部材に対向基板を支持させる工程では、支持部
材に対向基板を樹脂柱を設けた面とは反対側の面で支持
させるとよい。また、フィルム基板にスペーサを散布付
着させておいたり、シール壁を形成する場合、吸着部材
にフィルム基板を吸着支持させる工程では、吸着部材に
フィルム基板をスペーサやシール壁を設けた面とは反対
側の面で吸着支持させるとよい。

【００３６】このようにスペーサや樹脂柱を採用する場
合、両基板間に挟着される液晶材料層は該スペーサや樹
脂柱を含んだものとなる。

【００３７】本発明は前記課題を解決するため次の第１
及び第２の表示装置の製造装置も提供する。 （３）第１の表示装置の製造装置 フィルム基板とそれに対向する対向基板との間に画像表
示層を挟持してなる表示装置の製造装置であり、対向基
板を支持する支持部材と、フィルム基板を吸引するため
の吸引装置と、前記吸引装置に接続され、該吸引装置の
吸引力にてフィルム基板を吸着支持する吸着部材と、前
記支持部材上に支持される対向基板及び前記吸着部材上
に吸着支持されるフィルム基板を対向させるとともに該
両基板の所定端部同士を画像表示層材料を間にして重ね
合わせるように該支持部材及び吸着部材を相対的に移動
させる第１駆動装置と、所定端部同士が重ね合わされた
両基板を前記支持部材との間に所定の加圧力下に挟着す
る押圧部材と、両基板が前記押圧部材により前記支持部
材との間に挟着された状態で該支持部材を、前記フィル
ム基板を前記吸着部材から引き出しつつ該支持部材上で
両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を順次貼り合
わせていくように該押圧部材及び吸着部材に対し相対的
に移動させる第２駆動装置とを備えており、前記吸着部
材の少なくともフィルム基板吸着領域の平均表面粗さＲ
ａが０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のものである表
示装置の製造装置。 （４）第２の表示装置の製造装置 フィルム基板とそれに対向する対向基板との間に画像表
示層を挟持してなる表示装置の製造装置であり、対向基
板を支持する支持部材と、フィルム基板を吸引するため
の吸引装置と、前記吸引装置に接続され、該吸引装置の
吸引力にてフィルム基板を吸着支持する吸着部材と、前
記支持部材上に支持される対向基板及び前記吸着部材上
に吸着支持されるフィルム基板を対向させるとともに該
両基板の所定端部同士を画像表示層材料を間にして重ね
合わせるように該支持部材及び吸着部材を相対的に移動
させる第１駆動装置と、所定端部同士が重ね合わされた
両基板を前記支持部材との間に所定の加圧力下に挟着す
る押圧部材と、両基板が前記押圧部材により前記支持部
材との間に挟着された状態で該支持部材を、前記フィル
ム基板を前記吸着部材から引き出しつつ該支持部材上で
両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板を順次貼り合
わせていくように該押圧部材及び吸着部材に対し相対的
に移動させる第２駆動装置とを備えており、前記吸着部
材の少なくともフィルム基板吸着領域の平均表面粗さＲ
ａが０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のものであり、
前記吸引装置の吸引力が少なくとも−５ｋＰａ〜−１５
ｋＰａの範囲内のものである表示装置の製造装置。

【００３８】この第１及び第２の製造装置によると、対
向基板を支持部材に支持させ、フィルム基板を吸着部材
に吸着支持させる。

【００３９】しかるのち、第１駆動装置により支持部材
及び吸着部材を相対的に移動させて支持部材上に支持さ
れた対向基板及び吸着部材上に吸着支持されたフィルム
基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士を画
像表示層材料を間にして重ね合わせる。

【００４０】さらに、所定端部同士が重ね合わされた両
基板を押圧部材と支持部材との間に所定の加圧力下に挟
着する。

【００４１】次いで、第２駆動装置により支持部材を押
圧部材及び吸着部材に対し相対的に移動させて（換言す
れば支持部材に対し押圧部材及び吸着部材を相対的に移
動させて）前記フィルム基板を前記吸着部材から引き出
しつつ前記支持部材上で両基板の前記重ね合わせ端部側
から両基板を順次貼り合わせしていく。このとき、前記
吸着部材の少なくともフィルム基板吸着領域の平均表面
粗さＲａは０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のもので
ある。第２の表示装置の製造装置ではさらに両基板を順
次貼り合わせていくに際して、前記吸引装置の吸引力を
−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａの範囲内のものとされる。

【００４２】いずれにしても、前記吸引装置は、それに
は限定されないが、代表例として、排気装置を挙げるこ
とができる。前記吸引装置が排気装置である場合、前記
吸着部材に吸気孔を設けることができる。これにより、
排気装置に接続された吸着部材は該排気装置の吸引力に
て該吸着部材に設けた吸気孔を介してフィルム基板を吸
着支持することができる。

【００４３】いずれにしても本発明に係る第１及び第２
の表示装置の製造装置において、前記吸着部材から引き
出されるフィルム基板の該吸着部材に対する相対的移動
にあたり、該吸着部材におけるフィルム基板吸着力の変
化が小さくなるように前記吸引装置の吸引力を調整する
手段、代表的には吸着部材からフィルム基板が引き出さ
れていくに伴って吸引装置の吸引力を強くしていく手段
を備えていてもよい。

【００４４】前記吸引力調整手段としては、例えば、前
記吸引装置の吸引力をモニタするモニタ装置と、該モニ
タ装置のモニタ結果に基づいて、前記吸引装置の吸引力
を制御する制御部とを含んでいる手段を挙げることがで
きる。

【００４５】第１及び第２のいずれの製造装置において
も、前記押圧部材としては例えば基板に圧接摺動可能の
部材や圧接転動可能のローラ型部材を挙げることができ
る。

【００４６】いずれにしても本発明の第１及び第２の表
示装置の製造装置は、両基板を支持部材との間に本貼り
合わせ温度下に挟着しつつ支持部材に対して相対的に移
動可能の加熱部材を備えていてもよい。この場合、押圧
部材による貼り合わせを仮貼り合わせとし、加熱部材に
よる貼り合わせを本貼り合わせとすることができる。す
なわち、所定端部同士が重ね合わされた両基板を押圧部
材と支持部材との間に所定の加圧力下に挟着したあと、
第２駆動装置により支持部材を押圧部材及び吸着部材に
対し相対的に移動させて前記フィルム基板を前記吸着部
材から引き出しつつ該支持部材上で両基板の前記重ね合
わせ端部側から両基板を順次仮貼り合わせしていく。そ
して加熱部材により、仮貼り合わせされた部分を支持部
材との間に本貼り合わせ温度下に挟着しつつ、該加熱部
材に対し支持部材を相対的に移動させて（換言すれば支
持部材に対し加熱部材を相対的に移動させて）両基板を
本貼り合わせする。加熱部材は基板に圧接転動可能のロ
ーラ型部材であってもよい。いずれにしても加熱部材に
よる本貼り合わせは、支持部材と加熱部材とによる両基
板挟着が円滑、良好な本貼り合わせのための加圧力下に
なされてもよい。

【００４７】また、対向基板及びフィルム基板をそれぞ
れの予備加熱温度に加熱する予備加熱装置を備えていて
もよいし、両基板の貼り合わせを所定の減圧雰囲気下で
行うための減圧室を備えていてもよい。減圧室を備えて
いる場合、該減圧雰囲気圧として１３Ｐａ〜４０Ｐａ
（０．１Ｔｏｒｒ〜０．３ Ｔｏｒｒ）程度を例示でき
る。

【００４８】また、支持部材は対向基板保持のための装
置を含んでいてもよい。かかる保持装置としては、それ
には限定されないが、例えば支持部材に設けられ、排気
装置に接続される対向基板吸着のための吸気孔を挙げる
ことができる。

【００４９】さらに、対向基板を、支持部材を含む第１
ステージ上において位置合わせするための手段及びフィ
ルム基板を、吸着部材を含む第２ステージ上において位
置合わせするための手段を備えていてもよい。

【００５０】各基板を対応するステージに位置合わせす
る手段としては次のものを例示できる。 （ａ’）対向基板、フィルム基板が精度よく位置合わせ
された状態で後ほどの両基板の端部重ね合わせ、貼り合
わせがなされるように位置決めされて設けられた第１、
第２の各ステージ上の合わせマーク。

【００５１】かかる合わせマークを利用して前記表示装
置製造方法の位置合わせ方法例（ａ）で述べたように各
ステージに基板を位置合わせできる。 （ｂ’）（ａ’）で述べた各ステージ上の合わせマーク
と、ステージ上又はその上方で該ステージで支持される
べき基板を前記表示装置製造方法の位置合わせ方法例
（ｂ）で述べたように位置合わせするための合わせマー
ク検出カメラ及びＸ−Ｙ−θ駆動装置、或いはさらにカ
メラからの合わせマーク情報（例えばその位置情報）に
基づき基板を位置合わせするようにＸ−Ｙ−θ駆動装置
動作を制御する制御部とを含む位置合わせ装置。

【００５２】また次の位置合わせ装置も例示できる。す
なわち、ステージに設けられた基板保持部、該保持部を
駆動するＸ−Ｙ−θ駆動装置、保持部に保持された基板
の合わせマークを検出するカメラ、及び該カメラからの
合わせマーク情報に基づいて基板を位置合わせするよう
にＸ−Ｙ−θ駆動装置動作を制御する制御部を含む位置
合わせ装置である。

【００５３】前記の第１駆動装置と第２駆動装置は一部
が共通に構成されていてもよい。一方が他方の一部であ
ってもよい。

【００５４】本発明装置により製造される表示装置が液
晶表示装置（液晶表示パネル）である場合、本発明に係
る第１及び第２の表示装置の製造装置において、支持部
材に支持される対向基板の所定端部に液晶材料を塗布す
る液晶材料塗布装置を備えていてもよい。

【００５５】

【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態について
説明する。

【００５６】図１（Ａ）は製造しようとする表示装置の
一例（ここでは液晶表示パネルＡ）の概略断面図であ
る。

【００５７】この液晶表示パネルＡはフィルム基板Ｓ２
とそれに対向する対向基板Ｓ１との間に定められた色で
画像表示するための画像表示層ＬＣ（ここでは液晶材料
層）を挟着したものである。

【００５８】各基板Ｓ１、Ｓ２には、液晶材料層ＬＣに
対向する面にそれぞれ透明電極Ｔ１、Ｔ２が形成されて
いる。電極Ｔ１は細い帯状の電極であり、対向基板Ｓ１
にその長手方向α（図１（Ｂ）参照）に平行に複数本形
成されている。電極Ｔ２も細い帯状の電極であり、フィ
ルム基板Ｓ２にその短手方向βに、従ってパネルＡに垂
直な方向から見て電極Ｔ１に直交する方向に平行に複数
本形成されている。

【００５９】各基板Ｓ１、Ｓ２にはさらに、絶縁膜ＩＳ
及び配向膜Ｆも形成されている。

【００６０】液晶材料層ＬＣにはスペーサＳＰ及び樹脂
柱ＲＣが存在している。スペーサＳＰは両基板間隙を所
定のものに維持するためのものであり、樹脂柱ＲＣは、
それには限定されないがここでは、両基板間隙を所定の
ものに維持するとともに両基板を互いに結合するもので
ある。

【００６１】また液晶材料層ＬＣを囲繞して両基板周縁
部間隙を閉じるシール壁ＳＬも設けられている。

【００６２】それには限定されないが、例えば樹脂柱Ｒ
Ｃは熱可塑性樹脂で形成し、シール壁ＳＬは熱硬化性樹
脂で形成する。

【００６３】図２はかかる液晶表示パネルＡの製造に用
いることができる製造装置例の概略構成を示している。

【００６４】図２に示す装置は、対向基板Ｓ１を保持す
るための第１ステージ１００、フィルム基板Ｓ２を保持
するための、第１ステージ１００に対し所定の位置関係
を維持している第２ステージ２００、第１ステージ１０
０に対向基板Ｓ１を位置合わせする位置合わせ装置４０
０、第２ステージ２００にフィルム基板Ｓ２を位置合わ
せする位置合わせ装置５００、第１ステージ１００に支
持される対向基板Ｓ１に液晶材料Ｌを配置する液晶材料
塗布装置１０００、第１及び第２ステージ１００、２０
０に保持される対向基板Ｓ１及びフィルム基板Ｓ２を対
向させるとともに両基板Ｓ１、Ｓ２の所定端部同士を液
晶材料Ｌを間にして重ね合わせるように第１及び第２ス
テージ１００、２００を相対的に移動させる第１駆動装
置（ステージ１００の駆動装置３１０とステージ２００
の駆動装置３２０の組み合わせ）、該重ね合わされる対
向基板Ｓ１及びフィルム基板Ｓ２の端部を第１ステージ
１００へ所定の加圧力下に押圧する押圧部材６１０、押
圧部材６１０にて両基板Ｓ１、Ｓ２が押圧される第１ス
テージ１００を、該押圧部材による基板加圧状態を維持
しつつ、且つ、フィルム基板Ｓ２を第２ステージ２００
から引き出しつつ第１ステージ１００上で両基板Ｓ１、
Ｓ２を順次仮貼り合わせしていくように、押圧部材６１
０及び第２ステージ２００に対し相対的に移動させる第
２駆動装置３１０、両基板の仮貼り合わせされた部分を
第１ステージ１００の移動に伴って加熱しつつ加圧する
加熱部材７０、フィルム基板Ｓ２を吸引するための吸引
装置２１３、第２ステージ２００から引き出されるフィ
ルム基板Ｓ２の第２ステージ２００に対する相対的移動
にあたり、第２ステージ２００におけるフィルム基板吸
着力を一定又は略一定に保つように吸引装置２１３の吸
引力を調整する吸引力調整手段７００、ステージ１０
０、２００に保持される基板Ｓ１、Ｓ２の周囲雰囲気圧
を所定の減圧状態に設定するための減圧室８及びこれに
接続された排気装置９、及び減圧室８内を両基板Ｓ１、
Ｓ２を所定温度へ予備加熱できるように加熱する予備加
熱装置Ｈを備えている。

【００６５】第２駆動装置３１０は第１駆動装置（第１
ステージの駆動装置３１０及び第２ステージの駆動装置
３２０）の一部でもある。

【００６６】フィルム基板Ｓ２を吸引するための吸引装
置２１３は、ここでは排気装置である。

【００６７】第１ステージ１００は、対向基板Ｓ１を支
持する支持部材１０１（ここでは第１吸着テーブル）及
び対向基板Ｓ１保持のための基板保持装置１１０を含ん
でいる。第２ステージ２００は、排気装置２１３に接続
され、排気装置２１３の吸引力にてフィルム基板Ｓ２を
吸着支持する吸着部材２０１（ここでは第２吸着テーブ
ル）及びフィルム基板Ｓ２保持のための基板保持装置２
１０を含んでいる。

【００６８】第２吸着テーブル２０１にはフィルム基板
Ｓ２を保持する領域に基板吸着のための吸気孔２０１ａ
が所定の間隔をおいて複数設けられており、少なくとも
フィルム基板吸着領域の平均表面粗さＲａは０．８μｍ
〜１２．５μｍの範囲のものである。

【００６９】第１吸着テーブル１０１には対向基板Ｓ１
を保持する領域に基板吸着のための吸気孔１０１ａが所
定の間隔をおいて複数設けられている。

【００７０】基板保持装置１１０、２１０はかかる吸気
孔１０１ａ、２０１ａのほか、吸着テーブルにおける排
気室１１１、２１１、フレキシブルチューブ１１２、２
１２、排気装置１１３、既述の排気装置２１３を含んで
いる。

【００７１】排気装置１１３、２１３はチューブ１１
２、２１２の一端部に、チューブ１１２、２１２の他端
部は排気室１１１、２１１にそれぞれ接続されており、
排気室１１１、２１１は吸着テーブル１０１、２０１の
吸気孔１０１ａ、２０１ａにそれぞれ連通している。か
くして排気装置１１３、２１３の運転により、空気が吸
気孔１０１ａ、２０１ａから排気室１１１、２１１、チ
ューブ１１２、２１２を通ってそれぞれ排気される。な
お、排気装置２１３は−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａの吸引
力でフィルム基板Ｓ２を吸引することができる。

【００７２】吸引力調整手段７００はモニタ装置７１０
及び制御部ＣＯＮＴを含んでいる。モニタ装置７１０は
排気装置２１３及び制御部ＣＯＮＴに接続されており、
排気装置２１３の吸引力をモニタし、そのモニタ結果を
制御部ＣＯＮＴに送ることができる。制御部ＣＯＮＴは
モニタ装置７１０及び排気装置２１３に接続されてお
り、モニタ装置７１０から送られてくるモニタ結果に基
づいて、第２吸着テーブル２０１におけるフィルム基板
吸着力を一定又は略一定に保つように排気装置２１３の
吸引力を制御することができる。

【００７３】第１ステージ１００の駆動装置３１０は、
それには限定されないが、ガイドレール３１１に沿って
設けたラックギア３１１ａに第１ステージ１００に設け
たピニオンギア３１３を噛み合わさせ、このピニオンギ
ア３１３を第１ステージ１００に搭載したモータ３１２
で往復回転させるものである。第１ステージ１００は駆
動装置３１０によりガイドレール３１１に沿って移動
し、基板位置合わせ位置Ｑ１、液晶材料塗布位置Ｑ２、
基板仮貼り合わせ開始位置Ｑ３又は基板本貼り合わせ開
始位置Ｑ４等に配置される。この移動にあたっては、第
１ステージ１００に設けたスライダ１０２がガイドレー
ル３１１に沿って摺動する。

【００７４】第２ステージ２００の駆動装置３２０は、
第２ステージ支持アーム３２１とこれを駆動する回転駆
動部３２２を含んでいる。

【００７５】第２ステージ支持アーム３２１は、一端部
で回転駆動部３２２の軸３２２ａに支持されており、他
端部で第２ステージ２００に連結されている。回転駆動
部３２２は定位置に配置されており、軸３２２ａを所定
のタイミングで所定方向（図中Ａ方向）又は該所定方向
とは反対方向（図中Ｂ方向）に回動できる。かくして、
回転駆動部３２２の駆動による軸３２２ａの回動により
支持アーム３２１及び第２ステージ２００が所定のタイ
ミングでＡ方向又はＢ方向に旋回される。

【００７６】押圧部材６１０はここでは断面円形の回転
自在の押圧ローラであり、しかも両端部径より中央部径
が若干小径に形成された押圧ローラである。この押圧ロ
ーラ６１０は図示を省略した昇降駆動装置により昇降可
能である。かくして押圧ローラ６１０が所定のタイミン
グで基板仮貼り合わせ開始位置Ｑ３に位置する対向基板
Ｓ１及びフィルム基板Ｓ２を第１ステージ１００へ所定
加圧力下に押圧する押圧位置Ｐ１又は位置Ｐ１から上方
へ退避する退避位置Ｐ２に配置される。

【００７７】加熱部材７０は直径が一様な断面円形の回
転自在の押圧ローラである。さらにこの加熱ローラ７０
は加熱装置７１を内蔵している。加熱ローラ７０は図示
を省略した昇降駆動装置により昇降可能である。かくし
て加熱ローラ７０が所定のタイミングで基板本貼り合わ
せ開始位置Ｑ４に位置する対向基板Ｓ１及びフィルム基
板Ｓ２を第１ステージ１００へ所定加圧力下に、所定温
度に加熱しつつ押圧する押圧位置Ｐ５又は位置Ｐ５から
上方へ退避する退避位置Ｐ６に配置される。

【００７８】液晶材料塗布装置１０００は、液晶材料塗
布位置Ｑ２の上方に配置されており、図示を省略した昇
降駆動装置により昇降可能である。所定のタイミングで
対向基板Ｓ１に液晶材料Ｌを供給するための液晶材料供
給位置Ｐ３又は位置Ｐ３から上方へ退避する退避位置Ｐ
４に配置される。

【００７９】この液晶材料塗布装置１０００によると、
図示を省略した昇降駆動装置にて所定のタイミングで液
晶材料供給位置Ｐ３に配置して液晶材料Ｌを放出するこ
とで、液晶材料塗布位置Ｑ２に位置する基板Ｓ１の所定
一端部に液晶材料Ｌを配置できる。

【００８０】位置合わせ装置４００は、基板位置合わせ
位置Ｑ１の上方に配置されている。

【００８１】この位置合わせ装置４００は２台のカメラ
４１０（ここではＣＣＤカメラ）、ステージ１００に組
み込まれたＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ１及び制御部４３０を
含んでいる。ステージ１００における吸着テーブル１０
１はＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ１によりＸ−Ｙ−θ駆動可能
である。

【００８２】図２に示すＣＣＤカメラ４１０は制御部４
３０に接続されており、ステージ１００の吸着テーブル
１０１に保持された基板Ｓ１に予め形成された合わせマ
ークを観察し、そのマーク情報を制御部４３０に送るこ
とができる。

【００８３】制御部４３０はカメラ４１０からのマーク
情報に基づき、基板Ｓ１を所定位置に位置合わせするよ
うにＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ１の動作を制御する。

【００８４】位置合わせ装置５００は、第２ステージ２
００の上方に配置されている。

【００８５】この位置合わせ装置５００も２台のカメラ
５１０（ここではＣＣＤカメラ）、ステージ２００に組
み込まれたＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ２及び制御部５３０を
含んでいる。ステージ２００における吸着テーブル２０
１はＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ２によりＸ−Ｙ−θ駆動可能
である。

【００８６】図２に示すＣＣＤカメラ５１０は制御部５
３０に接続されており、ステージ２００の吸着テーブル
２０１に保持された基板Ｓ２に予め形成された合わせマ
ークを観察し、そのマーク情報を制御部５３０に送るこ
とができる。

【００８７】制御部５３０はカメラ５１０からのマーク
情報に基づき、基板Ｓ２を所定位置に位置合わせするよ
うにＸ−Ｙ−θ駆動装置Ｄ２の動作を制御する。

【００８８】位置合わせ装置５００におけるカメラ５１
０は、基板Ｓ２の位置合わせ時以外は第２ステージ２０
０の旋回を許すように図示を省略した装置により上昇退
避している。

【００８９】ステージ１００、２００上での基板Ｓ１、
Ｓ２の位置合わせは、後ほどの両基板Ｓ１、Ｓ２の所定
端部同士の重ね合わせ、押圧ローラ６１０による両基板
の仮貼り合わせ及び加熱ローラ７０による両基板の本貼
り合わせが、両基板が精度よく位置合わせされた状態で
なされるように行われる。

【００９０】なお、減圧室８は基板Ｓ１、Ｓ２を出入す
るための図示を省略した気密ドアを有している。

【００９１】次にかかる装置による図１（Ａ）に示すタ
イプの液晶表示パネルの製造の一例を図３及び図４を参
照しながら説明する。

【００９２】図３は図２に示す液晶表示パネル製造装置
による液晶表示パネル製造工程の一例の一部（１）から
（４）を説明するための図であり、図４は図３に示す工
程の続きの工程（５）から（８）を説明するための図で
ある。

【００９３】なお、図３及び図４では、簡略化のため一
部の部品については図示を省略してある。

【００９４】液晶表示パネルを製造するにあたり、電極
Ｔ１、絶縁膜ＩＳ及び配向膜Ｆを予め形成した基板Ｓ１
を準備するとともに、電極Ｔ２、絶縁膜ＩＳ及び配向膜
Ｆを予め形成した基板Ｓ２を準備する。

【００９５】さらに、対向基板Ｓ１に前記の樹脂柱ＲＣ
を形成し、フィルム基板Ｓ２にスペーサＳＰを散布付着
させるとともに前記のシール壁ＳＬを形成する。そし
て、 （１）対向基板Ｓ１を樹脂柱ＲＣを設けた面とは反対側
の面で第１ステージ１００の第１吸着テーブル１０１に
吸着保持させる。またフィルム基板Ｓ２をスペーサＳＰ
及びシール壁ＳＬを設けた面とは反対側の面でフィルム
基板Ｓ２端部を第２ステージ２００からはみ出させた状
態で第２吸着テーブル２０１に吸着保持させる。

【００９６】さらに第１ステージ１００に保持された基
板Ｓ１を位置合わせ装置４００にて位置合わせするとと
もに第２ステージ２００に保持された基板Ｓ２を位置合
わせ装置５００にて位置合わせする。位置合わせ後、装
置５００におけるカメラ５１０は上昇させておく。

【００９７】また減圧室８内を排気装置９の運転にて減
圧し、それには限定されないが、ここでは１３Ｐａ〜４
０Ｐａ（略０．１Ｔｏｒｒ〜０．３Ｔｏｒｒ）に設定す
るとともに予備加熱装置Ｈを運転して減圧室内雰囲気温
度を上げ、これによりステージ１００、２００に位置合
わせされて保持された基板Ｓ１、Ｓ２を共に７０℃程度
まで予備加熱する。 （２）ステージ１００の駆動装置３１０により対向基板
Ｓ１を吸着保持している第１ステージ１００を基板Ｓ１
の所定端部が液晶材料塗布装置５１０の下方に来る位
置、すなわち液晶材料塗布位置Ｑ２まで移動させ、液晶
材料塗布装置１０００を材料供給位置Ｐ３に降下させ
る。そして基板Ｓ１の所定一端部に液晶材料Ｌを所定量
配置する。このとき、塗布装置５１０は液晶材料Ｌを基
板Ｓ１の端部に基板幅方向にわたりライン状に塗布す
る。 （３）液晶材料塗布装置１０００を上昇させて位置Ｐ３
から退避位置Ｐ４に退避させ、ステージ駆動装置３１０
により対向基板Ｓ１を吸着保持している第１ステージ１
００を、基板Ｓ１の液晶材料が塗布された端部が押圧ロ
ーラ６１０の下方に来る位置、すなわち基板仮貼り合わ
せ開始位置Ｑ３に移動させる。 （４）フィルム基板Ｓ２を吸着保持している第２ステー
ジ２００をステージ駆動装置３２０にてＡ方向に旋回さ
せ、両基板Ｓ１、Ｓ２の所定端部が押圧ローラ６１０の
下方に来る位置まで移動させることで、両基板Ｓ１、Ｓ
２を対向させるとともに両基板Ｓ１、Ｓ２の所定端部同
士を重ね合わせる。なお、この時点では、基板Ｓ２の端
部は必ずしも基板Ｓ１上の液晶材料Ｌに接触する必要は
ない。該液晶材料Ｌの直近上方にあってもよい。 （５）押圧ローラ６１０を基板押圧位置Ｐ１に降下さ
せ、両基板Ｓ１、Ｓ２の重ね合わされた端部を第１ステ
ージ１００へ所定の加圧力下に押圧する。 （６）そのあと、ステージ駆動装置３１０により第１ス
テージ１００を第２ステージ２００及び押圧ローラ６１
０に対し相対的に移動させることで、すなわち押圧ロー
ラ６１０を対向基板Ｓ１及びフィルム基板Ｓ２介在状態
で第１ステージ１００に対し相対的に従動転動させるこ
とで、押圧ローラ６１０による基板加圧状態を維持しつ
つ、且つ、フィルム基板Ｓ２を第２ステージ２００の第
２吸着テーブル２０１から引き出しつつ、さらに両基板
間に液晶材料Ｌを押し広げつつ、第１ステージ１００の
第１吸着テーブル１０１上で両基板を順次仮貼り合わせ
していく。

【００９８】ここで、第２ステージ２００における吸着
部材２０１（ここでは第２吸着テーブル）の少なくとも
フィルム基板吸着領域の平均表面粗さＲａは０．８μｍ
〜１２．５μｍの範囲内のものであり、両基板Ｓ１、Ｓ
２を順次貼り合わせていくに際して、排気装置２１３の
吸引力は−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａの範囲内のものに保
たれるので、フィルム基板Ｓ２が第２吸着テーブル２０
１から引き出されるにあたって吸着テーブル２０１にお
ける適度なフィルム基板吸着力で支持されつつ、フィル
ム基板Ｓ２が第２ステージ２００に対して相対的にすべ
り移動する。

【００９９】また、吸引力調整手段７００は、モニタ装
置７１０にて排気装置２１３の吸引力をモニタし、制御
部ＣＯＮＴにてモニタ装置７１０からのモニタ結果に基
づいて排気装置２１３の吸引力を調整している。ここで
排気装置２１３は、第２吸着テーブル２０１から引き出
されるフィルム基板Ｓ２の第２ステージ２００に対する
相対的移動に伴って、吸着テーブル２０１における、フ
ィルム基板Ｓ２を吸着しなくなった領域の吸気孔２０１
ａからの空気吸い込みにより、フィルム吸引力が低下し
ていく。これによって吸着テーブル２０１におけるフィ
ルム基板吸着力が低下してしまう。そこで、ここでの吸
引力調整手段７００は、吸着テーブル２０１から引き出
されるフィルム基板Ｓ２の第２ステージ２００に対する
相対的移動に伴って、吸着テーブル２０１におけるフィ
ルム基板吸着力を一定又は略一定に保つように、排気装
置２１３の吸引力を次第に強くするように調整してい
る。 （７）引き続き、両基板Ｓ１、Ｓ２の仮貼り合わせされ
た部分を加熱ローラ７０下に通過させる。加熱ローラ７
０は基板到来に先立って内蔵ヒータ７１で加熱されてい
る。そして仮貼り合わせされた基板の前記シール壁ＳＬ
のうち基板進行方向γにおいて最下流側の部分ＳＬａ
（図１（Ｂ）参照）が設けられている基板部位が到来す
るタイミングで押圧位置Ｐ５へ下降せしめられ、これに
より該基板部位で加熱ローラ７０と第１ステージ１００
による所定の加圧力下の挟着が開始される。ステージ１
００の移動に伴い引き続き基板が進行することで、該基
板Ｓ１、Ｓ２は１４０℃程度に加熱されながら本貼り合
わせされていく。この本貼り合わせ温度による加熱によ
りシール壁ＳＬ及び樹脂柱ＲＣが基板に接着するととも
に、それらの高さが両基板間隔を所定のものにするよう
に押圧調整される。 （８）両基板Ｓ１、Ｓ２の終端部まで仮貼り合わせが終
了すると押圧ローラ６１０は退避位置Ｐ２へ退避し、本
貼り合わせが終了すると加熱ローラ７０が退避位置Ｐ６
へ退避する。

【０１００】その後は第１ステージ１００、２００によ
る基板保持力を解除する。

【０１０１】また、第２ステージ２００をＢ方向に旋回
させ、当初位置へ復帰させる。

【０１０２】かくして樹脂柱ＲＣが冷やされて硬化した
ところで液晶表示パネルが得られる。

【０１０３】以上説明した液晶表示パネルの製造では、
対向基板Ｓ１は第１ステージ１００に位置合わせして保
持され、フィルム基板Ｓ２は第１ステージ１００に対し
所定の位置関係で配置された第２ステージ２００に位置
合わせして保持され、その後に貼り合わせされるので、
両基板Ｓ１、Ｓ２が精度よく位置合わせされた液晶表示
パネルが得られる。

【０１０４】また、両基板Ｓ１、Ｓ２は貼り合わせに先
立って所定端部同士が重ね合わされるのであるが、この
端部重ね合わせに際して、もしいずれか一方の基板のみ
加熱され、他方の基板については加熱されていない状態
で端部同士の重ね合わせがなされるならば、加熱されて
いない方の基板端部はその重ね合わせにより速やかに加
熱されるが該端部以外の部分の加熱は遅れ、そのために
該基板において熱膨張差のある部分が生じて基板に皺が
発生したり、基板間液晶材料中に気泡が生じる恐れがあ
る。

【０１０５】しかしここでは、両基板Ｓ１、Ｓ２がそれ
ぞれの予備加熱温度に加熱されてから、両基板Ｓ１、Ｓ
２の所定端部同士が重ね合わされるので、そのような皺
の発生や気泡の発生が抑制され、両基板の仮貼り合わせ
が良好になされる。

【０１０６】また、両基板Ｓ１、Ｓ２の仮貼り合わせ
は、所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧ローラ
６１０により第１ステージ１００との間に所定の加圧力
下に挟着しつつ第１ステージ１００を該押圧ローラ６１
０に対し相対的に移動させることで両基板間に液晶材料
Ｌを押し広げつつ両基板の前記重ね合わせ端部側から両
基板を仮貼り合わせしていくことでなされるので、両基
板Ｓ１、Ｓ２間から脱気されつつ、また、液晶材料Ｌ中
への外気の入り込みが抑制されつつ両基板Ｓ１、Ｓ２が
貼り合わされていく。この点でも基板の皺よりや気泡の
発生を抑制することができる。

【０１０７】また両基板Ｓ１、Ｓ２は本貼り合わせに先
立って予備加熱されるので、本貼り合わせ工程では熱衝
撃少なく、より高い本貼り合わせ温度のもとに円滑に本
貼り合わせがなされる。

【０１０８】また、両基板Ｓ１、Ｓ２は加熱ローラ７０
による加圧下に本貼り合わせがなされるのであるが、こ
の本貼り合わせに際して、もし加熱ローラ７０と第１ス
テージ１００とによる両基板の挟着開始がシール壁ＳＬ
のある基板部位以外の部位でなされるならば、加熱ロー
ラ７０の接触にて基板、特に基板Ｓ２が自由に熱膨張で
き、基板に皺が生じたり、またそのために両基板間の液
晶材料層ＬＣに気泡が発生したりする恐れがあるとこ
ろ、ここでは、本貼り合わせ工程における加熱ローラ７
０と第１ステージ１００とによる両基板の挟着開始をシ
ール壁ＳＬのある基板部位で行うので、基板Ｓ１、Ｓ２
の自由な膨張がシール壁ＳＬと基板Ｓ１、Ｓ２との加圧
下の接触により妨げられ、それだけ皺の発生、気泡の発
生が抑制され、本貼り合わせが良好になされる。

【０１０９】さらに、吸着部材２０１（ここでは第２吸
着テーブル）の少なくともフィルム基板吸着領域の平均
表面粗さＲａを０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のも
のとし、両基板Ｓ１、Ｓ２を順次貼り合わせていくに際
して、吸引装置２１３（ここでは排気装置）の吸引力を
−５ｋＰａ〜−１５ｋＰａの範囲内のものとし、さらに
吸引装置２１３の吸引力を次第に強くするので、フィル
ム基板Ｓ２が第２吸着テーブル２０１から引き出される
にあたって吸着テーブル２０１におけるフィルム基板吸
着力が適度なものとなり、吸着テーブル２０１によるフ
ィルム基板Ｓ２の吸着支持を良好に行うことができ、両
基板Ｓ１、Ｓ２間への気泡混入、基板の貼り合わせ位置
のずれ、フィルム基板Ｓ２の皺よりなどの発生を抑制で
き、また、フィルム基板Ｓ２に過度なストレスがかかる
ことを抑制でき、フィルム基板Ｓ２上のＩＴＯ電極Ｔ２
の切断などを回避することができる。

【０１１０】従って、両基板Ｓ１、Ｓ２を精度良く貼り
合わせて、良好に画像表示できる液晶表示パネルを作製
できる。

【０１１１】以下、具体的な実験例について、比較実験
例とともに説明する。

【０１１２】各実験例・比較実験例は、図２に示す製造
装置を用い、第２吸着テーブル２０１について、平均表
面粗さの異なるものを種々変更して行った。

【０１１３】すなわち、実験例１ではＪＩＳＢ０６５９
の平均あらさで０．８ａに区別されるものと１．６ａに
区別されるものの２種類の第２吸着テーブル２０１につ
いて実験し、実験例２ではＪＩＳＢ０６５９の平均あら
さで６．３ａのものと１２．５ａのものの２種類の第２
吸着テーブル２０１について実験した。また、比較実験
例１ではＪＩＳＢ０６５９の平均あらさで０．４ａに区
別されるものの第２吸着テーブル２０１を用いて実験
し、比較実験例２ではＪＩＳＢ０６５９の平均あらさが
１２．５ａを超える第２吸着テーブル２０１で実験し
た。

【０１１４】実験条件は以下のとおりである。 ・第２吸着テーブル２０１の吸気孔２０１ａ 大きさ 直径１．０ｍｍ 配列ピッチ ２０ｍｍ ・フィルム基板Ｓ２ 材質 ポリカーボネート（ＰＣ） 大きさ ３００ｍｍ×４００ｍｍ 厚み ０．１ｍｍ ・基板貼り合わせ速度 １０ｍｍ／ｓ その結果、実験例１、２いずれも両基板間への気泡混入
を抑制して、フィルム基板に皺よりのない、過度のスト
レスのない状態で、さらに両基板間の位置ずれが抑制さ
れる状態で、両基板を精度良く貼り合わせることができ
た。なお、実験例１においては、排気装置２１３の吸引
力は基板貼り合わせの初期で−１０ｋＰａ、基板貼り合
わせの最後で−５ｋＰａであった。実験例２において
は、排気装置２１３の吸引力は基板貼り合わせの初期で
−１５ｋＰａ、基板貼り合わせの最後で−１０ｋＰａで
あった。実験例１、２では、排気装置２１３の吸引力は
基板貼り合わせ初期でフィルム基板Ｓ２が第２吸着テー
ブル２０１に全体的に密着しているため高い値になって
いる。そして基板貼り合わせ初期から最後にかけて徐々
に排気装置２１３の吸引力を上昇させているが、吸着テ
ーブル２０１における、フィルム基板Ｓ２を吸着しなく
なった領域の吸気孔２０１ａからの空気吸い込みによ
り、排気装置２１３の吸引力は基板貼り合わせ最後で結
果的に低い値になっている。

【０１１５】これに対し、ＪＩＳＢ０６５９の平均あら
さが０．４ａの第２吸着テーブル２０１を用いた比較実
験例１では、排気装置２１３の吸引力を−５ｋＰａと、
できるだけ小さくしたが、フィルム基板Ｓ２が吸着テー
ブル２０１に密着したままテーブル２０１からスライド
しなかった。また、ＪＩＳＢ０６５９の平均あらさが１
２．５ａを超える第２吸着テーブル２０１を用いた比較
実験例２では、排気装置２１３の吸引力を−１５ｋＰａ
と、できるだけ大きくしたが、吸着テーブル２０１の表
面が粗いため吸気孔２１０ａからの空気吸い込みが生
じ、フィルム基板Ｓ２が吸着テーブル２０１に吸着され
ず、テーブル２０１から落下した。

【０１１６】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係る表示装
置の製造方法及び装置によると、フィルム基板とそれに
対向する対向基板との間に画像表示層を挟着してなる表
示装置を、両基板間への気泡混入を抑制して、フィルム
基板に皺よりのない、過度のストレスのない状態で、さ
らに両基板間の位置ずれが抑制される状態で、両基板を
精度良く貼り合わせて良好に画像表示できる表示装置を
製造する方法及びその製造装置を提供することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】図（Ａ）は製造しようとする表示装置の一例
（ここでは液晶表示パネル）の概略断面図であり、図
（Ｂ）は基板に設けられるシール壁を例示する図であ
る。

【図２】図１に示す液晶表示パネルを製造するための製
造装置例の概略構成を示す図である。

【図３】図２に示す製造装置による液晶表示パネル製造
工程の一例の一部（１）から（４）を説明するための図
である。

【図４】図３に示す工程の続きの工程（５）から（８）
を説明するための図である。

【符号の説明】

１００ 第１ステージ １０１ 支持部材の一例である第１吸着テーブル １０１ａ 吸気孔 １０２ スライダ １１０ 基板保持装置 １１１ 排気室 １１２ フレキシブルチューブ １１３ 排気装置 １０００ 液晶材料塗布装置 ２００ 第２ステージ ２０１ 吸着部材の一例である第２吸着テーブル ２０１ａ 吸気孔 ２１０ 基板保持装置 ２１１ 排気室 ２１２ フレキシブルチューブ ２１３ 吸引装置の一例である排気装置 ３１０ 第１ステージ１００の駆動装置 ３１１ ガイドレール ３１１ａ ラックギア ３１２ モータ ３１３ ピニオンギア ３２０ 第２ステージ２００の駆動装置 ３２１ 第２ステージ支持アーム ３２２ 回転駆動部 ３２２ａ 軸 ４００、５００ 位置合わせ装置 ４１０、５１０ カメラ ４３０、５３０ 制御部 ６１０ 押圧部材（押圧ローラ） ７０ 加熱部材（加熱ローラ） ７１ 加熱装置 ７００ 吸引力調整手段 ７１０ モニタ装置 ８ 減圧室 ９ 排気装置 Ａ 表示装置の一例である液晶表示パネル ＢＫ 光吸収層 ＣＯＮＴ 制御部 Ｄ１、Ｄ２ Ｘ−Ｙ−θ駆動装置 Ｆ 配向膜 Ｈ 予備加熱装置 ＩＳ 絶縁膜 Ｌ 液晶材料 ＬＣ 液晶材料層 Ｐ１ 押圧位置 Ｐ２ 退避位置 Ｐ３ 液晶材料供給位置 Ｐ４ 退避位置 Ｐ５ 加熱押圧位置 Ｐ６ 退避位置 Ｑ１ 基板位置合わせ位置 Ｑ２ 液晶材料配置位置 Ｑ３ 基板仮貼り合わせ開始位置 Ｑ４ 基板本貼り合わせ開始位置 ＲＣ 樹脂柱 Ｓ１ 対向基板 Ｓ２ フィルム基板 ＳＬ シール壁 ＳＰ スペーサ

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】フィルム基板とそれに対向する対向基板と
   の間に画像表示層を挟持してなる表示装置の製造方法で
   あり、 支持部材に対向基板を支持させる工程と、 フィルム基板を吸引するための吸引装置に接続された吸
   着部材に該吸引装置の吸引力にてフィルム基板を吸着支
   持させる工程と、 前記対向基板を支持した支持部材及び前記フィルム基板
   を吸着支持した吸着部材のうち少なくとも一方を動かし
   て両基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士
   を画像表示層材料を間にして重ね合わせる工程と、 所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により
   前記支持部材との間に所定の加圧力下に挟着しつつ該支
   持部材を該押圧部材及び吸着部材に対し相対的に移動さ
   せ、前記フィルム基板を該吸着部材から引き出しつつ該
   支持部材上で両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板
   を順次貼り合わせていく貼り合わせ工程とを含み、 前記吸着部材の少なくともフィルム基板吸着領域の平均
   表面粗さＲａを０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のも
   のとすることを特徴とする表示装置の製造方法。
2. 【請求項２】フィルム基板とそれに対向する対向基板と
   の間に画像表示層を挟持してなる表示装置の製造方法で
   あり、 支持部材に対向基板を支持させる工程と、 フィルム基板を吸引するための吸引装置に接続された吸
   着部材に該吸引装置の吸引力にてフィルム基板を吸着支
   持させる工程と、 前記対向基板を支持した支持部材及び前記フィルム基板
   を吸着支持した吸着部材のうち少なくとも一方を動かし
   て両基板を対向させるとともに該両基板の所定端部同士
   を画像表示層材料を間にして重ね合わせる工程と、 所定端部同士が重ねあわされた両基板を押圧部材により
   前記支持部材との間に所定の加圧力下に挟着しつつ該支
   持部材を該押圧部材及び吸着部材に対し相対的に移動さ
   せ、前記フィルム基板を該吸着部材から引き出しつつ該
   支持部材上で両基板の前記重ね合わせ端部側から両基板
   を順次貼り合わせていく貼り合わせ工程とを含み、 前記吸着部材の少なくともフィルム基板吸着領域の平均
   表面粗さＲａを０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のも
   のとし、前記貼り合わせ工程において両基板を順次貼り
   合わせていくに際して、前記吸引装置の吸引力を−５ｋ
   Ｐａ〜−１５ｋＰａの範囲内のものとすることを特徴と
   する表示装置の製造方法。
3. 【請求項３】前記貼り合わせ工程では、前記吸着部材か
   ら引き出されるフィルム基板の該吸着部材に対する相対
   的移動にあたり、該吸着部材におけるフィルム基板吸着
   力の変化が小さくなるように前記吸引装置の吸引力を調
   整する請求項１又は２記載の表示装置の製造方法。
4. 【請求項４】前記吸着部材から引き出されるフィルム基
   板の該吸着部材に対する相対的移動に伴って、前記吸引
   装置の吸引力を強くしていくように調整する請求項３記
   載の表示装置の製造方法。
5. 【請求項５】少なくとも前記フィルム基板には電極が形
   成されている請求項１から４のいずれかに記載の表示装
   置の製造方法。
6. 【請求項６】フィルム基板とそれに対向する対向基板と
   の間に画像表示層を挟持してなる表示装置の製造装置で
   あり、 対向基板を支持する支持部材と、 フィルム基板を吸引するための吸引装置と、 前記吸引装置に接続され、該吸引装置の吸引力にてフィ
   ルム基板を吸着支持する吸着部材と、 前記支持部材上に支持される対向基板及び前記吸着部材
   上に吸着支持されるフィルム基板を対向させるとともに
   該両基板の所定端部同士を画像表示層材料を間にして重
   ね合わせるように該支持部材及び吸着部材を相対的に移
   動させる第１駆動装置と、 所定端部同士が重ね合わされた両基板を前記支持部材と
   の間に所定の加圧力下に挟着する押圧部材と、 両基板が前記押圧部材により前記支持部材との間に挟着
   された状態で該支持部材を、前記フィルム基板を前記吸
   着部材から引き出しつつ該支持部材上で両基板の前記重
   ね合わせ端部側から両基板を順次貼り合わせていくよう
   に該押圧部材及び吸着部材に対し相対的に移動させる第
   ２駆動装置とを備えており、 前記吸着部材の少なくともフィルム基板吸着領域の平均
   表面粗さＲａが０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のも
   のであることを特徴とする表示装置の製造装置。
7. 【請求項７】フィルム基板とそれに対向する対向基板と
   の間に画像表示層を挟持してなる表示装置の製造装置で
   あり、 対向基板を支持する支持部材と、 フィルム基板を吸引するための吸引装置と、 前記吸引装置に接続され、該吸引装置の吸引力にてフィ
   ルム基板を吸着支持する吸着部材と、 前記支持部材上に支持される対向基板及び前記吸着部材
   上に吸着支持されるフィルム基板を対向させるとともに
   該両基板の所定端部同士を画像表示層材料を間にして重
   ね合わせるように該支持部材及び吸着部材を相対的に移
   動させる第１駆動装置と、 所定端部同士が重ね合わされた両基板を前記支持部材と
   の間に所定の加圧力下に挟着する押圧部材と、 両基板が前記押圧部材により前記支持部材との間に挟着
   された状態で該支持部材を、前記フィルム基板を前記吸
   着部材から引き出しつつ該支持部材上で両基板の前記重
   ね合わせ端部側から両基板を順次貼り合わせていくよう
   に該押圧部材及び吸着部材に対し相対的に移動させる第
   ２駆動装置とを備えており、 前記吸着部材の少なくともフィルム基板吸着領域の平均
   表面粗さＲａが０．８μｍ〜１２．５μｍの範囲内のも
   のであり、前記吸引装置の吸引力が少なくとも−５ｋＰ
   ａ〜−１５ｋＰａの範囲内のものであることを特徴とす
   る表示装置の製造装置。
8. 【請求項８】前記吸着部材から引き出されるフィルム基
   板の該吸着部材に対する相対的移動にあたり、該吸着部
   材におけるフィルム基板吸着力の変化が小さくなるよう
   に前記吸引装置の吸引力を調整する手段を備えている請
   求項６又は７記載の表示装置の製造装置。
9. 【請求項９】前記吸引力調整手段は、前記吸引装置の吸
   引力をモニタするモニタ装置と、該モニタ装置のモニタ
   結果に基づいて、前記吸引装置の吸引力を制御する制御
   部とを含んでいる請求項８記載の表示装置の製造装置。
10. 【請求項１０】前記吸引装置は排気装置である請求項６
    から９のいずれかに記載の表示装置の製造装置。