JP2002202120A - セラミックグリーンシートの膜厚測定装置及び膜厚測定方法 - Google Patents
セラミックグリーンシートの膜厚測定装置及び膜厚測定方法Info
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- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 セラミックグリーンシートの厚みを、キャリ
アフィルムの厚みのばらつきに影響されることなく、精
度よく測定することを可能ならしめる。 【解決手段】 セラミックグリーンシート２の搬送方向
Ａに所定の間隔をおいて配置され、互いに独立して、セ
ラミックグリーンシート２の搬送と同期したタイミング
で、セラミックグリーンシート２の搬送方向Ａと直交す
る方向Ｂに往復移動し、キャリアフィルム３により裏打
ちされたセラミックグリーンシート２の同一位置におけ
るセラミックグリーンシート２の厚みＴｓとキャリアフ
ィルムの厚みＴｆが合算された膜厚値Ｔ１，Ｔ２を測定
する、第１及び第２の種類の異なる２つの膜厚測定器
６，７と、第１及び第２の膜厚測定器６，７により測定
された膜厚値Ｔ１，Ｔ２を相互演算してセラミックグリ
ーンシート２の厚みＴｓを算出する演算処理手段８を備
えた構成とする。
アフィルムの厚みのばらつきに影響されることなく、精
度よく測定することを可能ならしめる。 【解決手段】 セラミックグリーンシート２の搬送方向
Ａに所定の間隔をおいて配置され、互いに独立して、セ
ラミックグリーンシート２の搬送と同期したタイミング
で、セラミックグリーンシート２の搬送方向Ａと直交す
る方向Ｂに往復移動し、キャリアフィルム３により裏打
ちされたセラミックグリーンシート２の同一位置におけ
るセラミックグリーンシート２の厚みＴｓとキャリアフ
ィルムの厚みＴｆが合算された膜厚値Ｔ１，Ｔ２を測定
する、第１及び第２の種類の異なる２つの膜厚測定器
６，７と、第１及び第２の膜厚測定器６，７により測定
された膜厚値Ｔ１，Ｔ２を相互演算してセラミックグリ
ーンシート２の厚みＴｓを算出する演算処理手段８を備
えた構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本願発明は、セラミックグリ
ーンシートの膜厚測定装置及び膜厚測定方法に関し、さ
らには、これらの膜厚測定装置及び膜厚測定方法を利用
したセラミックグリーンシートの製造装置及び製造方法
に関する。
ーンシートの膜厚測定装置及び膜厚測定方法に関し、さ
らには、これらの膜厚測定装置及び膜厚測定方法を利用
したセラミックグリーンシートの製造装置及び製造方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】従来か
ら、積層コンデンサなどのような積層セラミック電子部
品を製造するに際しては、セラミックグリーンシートを
搬送したり、積層したりすることが行われる。そして、
その際に、セラミックグリーンシートの機械的強度を補
う必要上、キャリアフィルムによりセラミックスラリー
を支持した状態、すなわち、キャリアフィルムにより裏
打ちした状態で、セラミックグリーンシートを取り扱う
ことが行われる場合がある。
ら、積層コンデンサなどのような積層セラミック電子部
品を製造するに際しては、セラミックグリーンシートを
搬送したり、積層したりすることが行われる。そして、
その際に、セラミックグリーンシートの機械的強度を補
う必要上、キャリアフィルムによりセラミックスラリー
を支持した状態、すなわち、キャリアフィルムにより裏
打ちした状態で、セラミックグリーンシートを取り扱う
ことが行われる場合がある。
【０００３】ところで、このようにキャリアフィルムに
裏打ちされた状態のセラミックグリーンシートの膜厚を
測定する場合、従来は、セラミックグリーンシートに対
してダメージを与えない非接触型の膜厚測定装置を用い
て測定する方法が一般的に用いられている。すなわち、
この非接触型の膜厚測定装置を用いるセラミックグリー
ンシートの膜厚測定方法においては、セラミックグリー
ンシートの厚み（シート厚）とキャリアフィルムの厚み
（フィルム厚）との和、すなわち、シート厚とフィルム
厚との合算値を膜厚値として測定し、この膜厚値から、
予め測定しておいたフィルム厚を差し引くことにより、
シート厚が求められる。
裏打ちされた状態のセラミックグリーンシートの膜厚を
測定する場合、従来は、セラミックグリーンシートに対
してダメージを与えない非接触型の膜厚測定装置を用い
て測定する方法が一般的に用いられている。すなわち、
この非接触型の膜厚測定装置を用いるセラミックグリー
ンシートの膜厚測定方法においては、セラミックグリー
ンシートの厚み（シート厚）とキャリアフィルムの厚み
（フィルム厚）との和、すなわち、シート厚とフィルム
厚との合算値を膜厚値として測定し、この膜厚値から、
予め測定しておいたフィルム厚を差し引くことにより、
シート厚が求められる。
【０００４】しかし、このような非接触型の膜厚測定装
置を用いる測定方法においては、測定時の位置ずれなど
に起因する誤差が生じ、正確なシート厚を測定すること
は必ずしも容易ではないのが実情である。
置を用いる測定方法においては、測定時の位置ずれなど
に起因する誤差が生じ、正確なシート厚を測定すること
は必ずしも容易ではないのが実情である。
【０００５】特に、セラミックグリーンシートの厚みが
５μm以下と薄い場合には、シート厚よりもフィルム厚
の方が相対的に厚くなってフィルム厚のばらつきの影響
が支配的になり、シート厚を正確に測定することがさら
に困難になるという問題点がある。
５μm以下と薄い場合には、シート厚よりもフィルム厚
の方が相対的に厚くなってフィルム厚のばらつきの影響
が支配的になり、シート厚を正確に測定することがさら
に困難になるという問題点がある。
【０００６】また、特開昭５９−９９３３９号公報に
は、Ｘ線を用いる厚さ検出器とβ線を用いる厚さ検出器
の２種類の検出器を、キャリアフィルムの流れ方向とは
平行な一体型として配置し、それぞれの放射線吸収係数
差を利用して、演算により塗工量を測定するようにした
塗工量測定装置が開示されている。しかし、この測定装
置においては、２種類の厚さ検出器が一体型であるた
め、キャリアフィルムの走行状態下でＸ線及びβ線それ
ぞれの測定位置を一致させるには、測定ヘッドの、キャ
リアフィルムの走行方向と直交する方向（幅方向）への
移動を停止したうえで、Ｘ線及びβ線それぞれの測定タ
イミングをキャリアフィルムの走行速度と同期させるこ
とが必要になり、セラミックグリーンシートの幅方向に
沿って塗工量（膜厚）を測定することができないという
問題点がある。
は、Ｘ線を用いる厚さ検出器とβ線を用いる厚さ検出器
の２種類の検出器を、キャリアフィルムの流れ方向とは
平行な一体型として配置し、それぞれの放射線吸収係数
差を利用して、演算により塗工量を測定するようにした
塗工量測定装置が開示されている。しかし、この測定装
置においては、２種類の厚さ検出器が一体型であるた
め、キャリアフィルムの走行状態下でＸ線及びβ線それ
ぞれの測定位置を一致させるには、測定ヘッドの、キャ
リアフィルムの走行方向と直交する方向（幅方向）への
移動を停止したうえで、Ｘ線及びβ線それぞれの測定タ
イミングをキャリアフィルムの走行速度と同期させるこ
とが必要になり、セラミックグリーンシートの幅方向に
沿って塗工量（膜厚）を測定することができないという
問題点がある。
【０００７】また、仮に、ある一定の周期で測定ヘッド
をセラミックグリーンシートの幅方向に間欠的に移動さ
せて、セラミックグリーンシートの幅方向に沿って膜厚
を測定するようにしたとしても、間欠的な測定となるこ
とから、セラミックグリーンシートの幅方向における膜
厚を多くのポイントで密に測定することは困難で、信頼
性の高い膜厚測定を行うことができないという問題点が
ある。
をセラミックグリーンシートの幅方向に間欠的に移動さ
せて、セラミックグリーンシートの幅方向に沿って膜厚
を測定するようにしたとしても、間欠的な測定となるこ
とから、セラミックグリーンシートの幅方向における膜
厚を多くのポイントで密に測定することは困難で、信頼
性の高い膜厚測定を行うことができないという問題点が
ある。
【０００８】本願発明は上記問題点を解決するものであ
り、キャリアフィルムの厚みのばらつきに影響されるこ
となく、セラミックグリーンシートの厚みを精度よく測
定することが可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法、さ
らには、これらの膜厚測定装置及び膜厚測定方法を利用
したセラミックグリーンシートの製造装置及び製造方法
を提供することを目的とする。
り、キャリアフィルムの厚みのばらつきに影響されるこ
となく、セラミックグリーンシートの厚みを精度よく測
定することが可能な膜厚測定装置及び膜厚測定方法、さ
らには、これらの膜厚測定装置及び膜厚測定方法を利用
したセラミックグリーンシートの製造装置及び製造方法
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本願発明（請求項１）のセラミックグリーンシート
の膜厚測定装置は、キャリアフィルムにより裏打ちされ
たセラミックグリーンシートの膜厚測定装置であって、
セラミックグリーンシートの搬送方向に所定の間隔をお
いて配置された種類の異なる２以上の膜厚測定器であっ
て、互いに独立して、セラミックグリーンシートの搬送
と同期したタイミングで、セラミックグリーンシートの
搬送方向と直交する方向に往復移動し、キャリアフィル
ムにより裏打ちされたセラミックグリーンシートの同一
位置におけるセラミックグリーンシートの厚みとキャリ
アフィルムの厚みが合算された膜厚値を測定する膜厚測
定器と、各膜厚測定器により測定された膜厚値を相互演
算してセラミックグリーンシートの厚みを算出する演算
処理手段とを具備することを特徴としている。
め、本願発明（請求項１）のセラミックグリーンシート
の膜厚測定装置は、キャリアフィルムにより裏打ちされ
たセラミックグリーンシートの膜厚測定装置であって、
セラミックグリーンシートの搬送方向に所定の間隔をお
いて配置された種類の異なる２以上の膜厚測定器であっ
て、互いに独立して、セラミックグリーンシートの搬送
と同期したタイミングで、セラミックグリーンシートの
搬送方向と直交する方向に往復移動し、キャリアフィル
ムにより裏打ちされたセラミックグリーンシートの同一
位置におけるセラミックグリーンシートの厚みとキャリ
アフィルムの厚みが合算された膜厚値を測定する膜厚測
定器と、各膜厚測定器により測定された膜厚値を相互演
算してセラミックグリーンシートの厚みを算出する演算
処理手段とを具備することを特徴としている。
【００１０】本願発明（請求項１）にかかるセラミック
グリーンシートの膜厚測定装置においては、種類の異な
る各膜厚測定器が互いに独立しており、各膜厚測定器が
セラミックグリーンシートの搬送と同期しながら搬送方
向と直交する方向（キャリアフィルム及びセラミックグ
リーンシートの幅方向）に往復移動することにより、キ
ャリアフィルムにより裏打ちされたセラミックグリーン
シートの同一位置における膜厚値（セラミックグリーン
シートの厚みとキャリアフィルムの厚みを合算した膜厚
値）を測定することができるようにしているので、測定
時の位置ずれなどに起因する誤差をなくして、膜厚値を
精密に測定することが可能になる。また、種類の異なる
膜厚測定器により測定された膜厚値を演算処理手段によ
り相互演算することにより、セラミックグリーンシート
の厚み及びキャリアフィルムの厚みをそれぞれ算出する
ようにしているので、キャリアフィルムの厚みのばらつ
きに影響されることなく、セラミックグリーンシートの
厚みを正確に測定することができる。
グリーンシートの膜厚測定装置においては、種類の異な
る各膜厚測定器が互いに独立しており、各膜厚測定器が
セラミックグリーンシートの搬送と同期しながら搬送方
向と直交する方向（キャリアフィルム及びセラミックグ
リーンシートの幅方向）に往復移動することにより、キ
ャリアフィルムにより裏打ちされたセラミックグリーン
シートの同一位置における膜厚値（セラミックグリーン
シートの厚みとキャリアフィルムの厚みを合算した膜厚
値）を測定することができるようにしているので、測定
時の位置ずれなどに起因する誤差をなくして、膜厚値を
精密に測定することが可能になる。また、種類の異なる
膜厚測定器により測定された膜厚値を演算処理手段によ
り相互演算することにより、セラミックグリーンシート
の厚み及びキャリアフィルムの厚みをそれぞれ算出する
ようにしているので、キャリアフィルムの厚みのばらつ
きに影響されることなく、セラミックグリーンシートの
厚みを正確に測定することができる。
【００１１】また、請求項２のセラミックグリーンシー
トの膜厚測定装置は、各膜厚測定器の往復移動速度を、
セラミックグリーンシートの搬送速度と比例させたこと
を特徴としている。
トの膜厚測定装置は、各膜厚測定器の往復移動速度を、
セラミックグリーンシートの搬送速度と比例させたこと
を特徴としている。
【００１２】各膜厚測定器の往復移動速度を、セラミッ
クグリーンシートの搬送速度に比例させることにより、
測定ポイントの密度を一定にすることが可能になる。
クグリーンシートの搬送速度に比例させることにより、
測定ポイントの密度を一定にすることが可能になる。
【００１３】また、請求項３のセラミックグリーンシー
トの膜厚測定装置は、膜厚測定器の少なくとも１つが、
Ｘ線、β線、γ線、レーザ光、赤外線からなる群より選
ばれる１種を用いて前記膜厚値を測定するものであるこ
とを特徴としている。
トの膜厚測定装置は、膜厚測定器の少なくとも１つが、
Ｘ線、β線、γ線、レーザ光、赤外線からなる群より選
ばれる１種を用いて前記膜厚値を測定するものであるこ
とを特徴としている。
【００１４】膜厚測定器として、Ｘ線、β線、γ線、レ
ーザ光、赤外線からなる群より選ばれる１種を用いて膜
厚値を測定するものの中から、セラミックグリーンシー
トの構成材料や厚みなどの具体的な条件に応じて、適切
なものを選択し、それらを組み合わせて使用することに
より、各膜厚測定器により測定された膜厚値を演算処理
手段により相互演算して、シート厚及びフィルム厚の正
確な値を得ることが可能になり、本願発明を実効あらし
めることが可能になる。なお、透過率が異なる場合であ
れば、各膜厚測定器において用いられる放射線の種類が
互いに同一であってもよく、例えば、Ｘ線どうし、β線
どうし、γ線どうしというような組み合わせとすること
も可能である。
ーザ光、赤外線からなる群より選ばれる１種を用いて膜
厚値を測定するものの中から、セラミックグリーンシー
トの構成材料や厚みなどの具体的な条件に応じて、適切
なものを選択し、それらを組み合わせて使用することに
より、各膜厚測定器により測定された膜厚値を演算処理
手段により相互演算して、シート厚及びフィルム厚の正
確な値を得ることが可能になり、本願発明を実効あらし
めることが可能になる。なお、透過率が異なる場合であ
れば、各膜厚測定器において用いられる放射線の種類が
互いに同一であってもよく、例えば、Ｘ線どうし、β線
どうし、γ線どうしというような組み合わせとすること
も可能である。
【００１５】また、請求項４のセラミックグリーンシー
トの膜厚測定装置は、前記膜厚測定器として、第１の膜
厚測定器と、第２の膜厚測定器の２つの膜厚測定器を備
えており、第１の膜厚測定器は、セラミックグリーンシ
ートの厚みＴｓに対する吸収係数がμｓ１、キャリアフ
ィルムの厚みＴｆに対する吸収係数がμｆ１である場合
に、（μｓ１×Ｔｓ＋μｆ１×Ｔｆ）で表される第１の
膜厚値Ｔ１を測定するものであり、第２の膜厚測定器
は、セラミックグリーンシートの厚みＴｓに対する吸収
係数がμｓ２、キャリアフィルムの厚みＴｆに対する吸
収係数がμｆ２である場合に、（μｓ２×Ｔｓ＋μｆ２
×Ｔｆ）で表される第２の膜厚値Ｔ２を測定するもので
あり、かつ、前記演算処理手段は、第１及び第２の膜厚
値Ｔ１，Ｔ２を相互演算してセラミックグリーンシート
の厚みＴｓを算出するものであることを特徴としてい
る。
トの膜厚測定装置は、前記膜厚測定器として、第１の膜
厚測定器と、第２の膜厚測定器の２つの膜厚測定器を備
えており、第１の膜厚測定器は、セラミックグリーンシ
ートの厚みＴｓに対する吸収係数がμｓ１、キャリアフ
ィルムの厚みＴｆに対する吸収係数がμｆ１である場合
に、（μｓ１×Ｔｓ＋μｆ１×Ｔｆ）で表される第１の
膜厚値Ｔ１を測定するものであり、第２の膜厚測定器
は、セラミックグリーンシートの厚みＴｓに対する吸収
係数がμｓ２、キャリアフィルムの厚みＴｆに対する吸
収係数がμｆ２である場合に、（μｓ２×Ｔｓ＋μｆ２
×Ｔｆ）で表される第２の膜厚値Ｔ２を測定するもので
あり、かつ、前記演算処理手段は、第１及び第２の膜厚
値Ｔ１，Ｔ２を相互演算してセラミックグリーンシート
の厚みＴｓを算出するものであることを特徴としてい
る。
【００１６】請求項４のセラミックグリーンシートの膜
厚測定装置は、第１の膜厚測定器により第１の膜厚値Ｔ
１を測定し、第２の膜厚測定器により第２の膜厚値Ｔ２
を測定し、演算処理手段において、第１及び第２の膜厚
値Ｔ１，Ｔ２を相互演算してセラミックグリーンシート
の厚みＴｓと、キャリアフィルムの厚みＴｆのそれぞれ
を算出するようにしているので、キャリアフィルムの厚
みのばらつきの影響を受けることなく、セラミックグリ
ーンシートの厚みを正確に測定することが可能になる。
厚測定装置は、第１の膜厚測定器により第１の膜厚値Ｔ
１を測定し、第２の膜厚測定器により第２の膜厚値Ｔ２
を測定し、演算処理手段において、第１及び第２の膜厚
値Ｔ１，Ｔ２を相互演算してセラミックグリーンシート
の厚みＴｓと、キャリアフィルムの厚みＴｆのそれぞれ
を算出するようにしているので、キャリアフィルムの厚
みのばらつきの影響を受けることなく、セラミックグリ
ーンシートの厚みを正確に測定することが可能になる。
【００１７】また、本願発明（請求項５）のセラミック
グリーンシートの膜厚測定方法は、キャリアフィルムに
より裏打ちされたセラミックグリーンシートの膜厚測定
方法であって、セラミックグリーンシートの搬送方向に
所定の間隔をおいて配置され、かつ、互いに独立して、
セラミックグリーンシートの搬送と同期したタイミング
で、セラミックグリーンシートの搬送方向と直交する方
向に往復移動する種類の異なる２以上の膜厚測定器によ
り、キャリアフィルムにより裏打ちされたセラミックグ
リーンシートの同一位置におけるセラミックグリーンシ
ートの厚みとキャリアフィルムの厚みが合算された膜厚
値を測定するとともに、各膜厚測定器で測定された膜厚
値を演算処理手段で相互演算してセラミックグリーンシ
ートの厚みを算出することを特徴としている。
グリーンシートの膜厚測定方法は、キャリアフィルムに
より裏打ちされたセラミックグリーンシートの膜厚測定
方法であって、セラミックグリーンシートの搬送方向に
所定の間隔をおいて配置され、かつ、互いに独立して、
セラミックグリーンシートの搬送と同期したタイミング
で、セラミックグリーンシートの搬送方向と直交する方
向に往復移動する種類の異なる２以上の膜厚測定器によ
り、キャリアフィルムにより裏打ちされたセラミックグ
リーンシートの同一位置におけるセラミックグリーンシ
ートの厚みとキャリアフィルムの厚みが合算された膜厚
値を測定するとともに、各膜厚測定器で測定された膜厚
値を演算処理手段で相互演算してセラミックグリーンシ
ートの厚みを算出することを特徴としている。
【００１８】本願発明（請求項５）のセラミックグリー
ンシートの膜厚測定方法においては、独立してセラミッ
クグリーンシートの搬送方向と直交する方向に往復移動
する種類の異なる２以上の膜厚測定器により、キャリア
フィルムにより裏打ちされたセラミックグリーンシート
の同一位置におけるシート厚とフィルム厚とを合算した
膜厚値を測定するとともに、これらの同一位置で種類の
異なる膜厚測定器により測定された膜厚値どうしを演算
処理手段によって相互演算して、シート厚を算出するよ
うにしているので、フィルム厚のばらつきの影響を受け
ることなくセラミックグリーンシートの厚みを正確に測
定することが可能になる。
ンシートの膜厚測定方法においては、独立してセラミッ
クグリーンシートの搬送方向と直交する方向に往復移動
する種類の異なる２以上の膜厚測定器により、キャリア
フィルムにより裏打ちされたセラミックグリーンシート
の同一位置におけるシート厚とフィルム厚とを合算した
膜厚値を測定するとともに、これらの同一位置で種類の
異なる膜厚測定器により測定された膜厚値どうしを演算
処理手段によって相互演算して、シート厚を算出するよ
うにしているので、フィルム厚のばらつきの影響を受け
ることなくセラミックグリーンシートの厚みを正確に測
定することが可能になる。
【００１９】本願発明（請求項６）のセラミックグリー
ンシートの製造装置は、請求項１〜４のいずれかに記載
のセラミックグリーンシートの膜厚測定装置と、前記膜
厚測定装置で測定されたセラミックグリーンシートの厚
みデータに基づいてセラミックスラリーの供給量を制御
する膜厚フィードバック制御が行われるように構成さ
れ、供給量を制御しながら供給されたセラミックスラリ
ーをキャリアフィルム上に塗布してセラミックグリーン
シートを成形する成形機とを具備することを特徴として
いる。
ンシートの製造装置は、請求項１〜４のいずれかに記載
のセラミックグリーンシートの膜厚測定装置と、前記膜
厚測定装置で測定されたセラミックグリーンシートの厚
みデータに基づいてセラミックスラリーの供給量を制御
する膜厚フィードバック制御が行われるように構成さ
れ、供給量を制御しながら供給されたセラミックスラリ
ーをキャリアフィルム上に塗布してセラミックグリーン
シートを成形する成形機とを具備することを特徴として
いる。
【００２０】本願発明（請求項６）のセラミックグリー
ンシートの製造装置は、セラミックグリーンシートの成
形後において測定された正確なシート厚データが成形機
にフィードバックされ、セラミックスラリーの供給量が
速やかに制御されるように構成されているので、厚みの
均一なセラミックグリーンシートを連続して確実に製造
することが可能になる。
ンシートの製造装置は、セラミックグリーンシートの成
形後において測定された正確なシート厚データが成形機
にフィードバックされ、セラミックスラリーの供給量が
速やかに制御されるように構成されているので、厚みの
均一なセラミックグリーンシートを連続して確実に製造
することが可能になる。
【００２１】本願発明（請求項７）のセラミックグリー
ンシートの製造方法は、請求項５記載のセラミックグリ
ーンシートの膜厚測定方法により算出されたセラミック
グリーンシートの厚みデータに基づいて、供給量を制御
しながら成形機に供給されたセラミックスラリーをキャ
リアフィルム上に塗布してセラミックグリーンシートを
成形することを特徴としている。
ンシートの製造方法は、請求項５記載のセラミックグリ
ーンシートの膜厚測定方法により算出されたセラミック
グリーンシートの厚みデータに基づいて、供給量を制御
しながら成形機に供給されたセラミックスラリーをキャ
リアフィルム上に塗布してセラミックグリーンシートを
成形することを特徴としている。
【００２２】本願発明（請求項７）のセラミックグリー
ンシートの製造方法においては、本願発明の方法により
測定された正確なシート厚データに基づいて、セラミッ
クスラリーの供給量を制御するようにしているので、厚
みの均一なセラミックグリーンシートを連続して確実に
製造することが可能になる。
ンシートの製造方法においては、本願発明の方法により
測定された正確なシート厚データに基づいて、セラミッ
クスラリーの供給量を制御するようにしているので、厚
みの均一なセラミックグリーンシートを連続して確実に
製造することが可能になる。
【００２３】
【発明の実施の形態】以下、本願発明の実施の形態を示
して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明
する。
して、本願発明の特徴とするところをさらに詳しく説明
する。
【００２４】［実施形態１］図１は本願発明の一実施形
態（実施形態１）にかかるセラミックグリーンシートの
膜厚測定装置の構成を簡略化して示す斜視図であり、図
２はその動作状態を示す平面図である。
態（実施形態１）にかかるセラミックグリーンシートの
膜厚測定装置の構成を簡略化して示す斜視図であり、図
２はその動作状態を示す平面図である。
【００２５】この実施形態１の膜厚測定装置１は、キャ
リアフィルム３により裏打ちされたセラミックグリーン
シート２の膜厚を測定するものであり、図１に示すよう
に、膜厚が測定されるセラミックグリーンシート２は、
キャリアフィルム３上にセラミックスラリーを塗布する
ことによって成形され、巻出しロール４に巻回されてお
り、巻出しロール４から繰り出されるセラミックグリー
ンシート２は、キャリアフィルム３とともに巻取りロー
ル５によって巻き取られるように構成されている。そし
て、巻出しロール４から巻取りロール５へと向かうセラ
ミックグリーンシート２の搬送方向Ａに所定の間隔をお
いて、Ｘ線を用いる第１の膜厚測定器６と、β線を用い
る第２の膜厚測定器７の、種類の異なる２つの膜厚測定
器が配設されており、第１及び第２の膜厚測定器６及び
７により、セラミックグリーンシートの厚み（シート
厚）Ｔｓとキャリアフィルムの厚み（フィルム厚）Ｔｆ
とが合算された膜厚値が測定されるように構成されてい
る。第１及び第２の膜厚測定器の６及び７の搬送方向の
間隔には特に制約はなく、互いに独立して、セラミック
グリーンシート２の搬送方向Ａと直交する方向Ｂに往復
移動することが可能な構成とするのに必要な距離を確保
することができればよい。
リアフィルム３により裏打ちされたセラミックグリーン
シート２の膜厚を測定するものであり、図１に示すよう
に、膜厚が測定されるセラミックグリーンシート２は、
キャリアフィルム３上にセラミックスラリーを塗布する
ことによって成形され、巻出しロール４に巻回されてお
り、巻出しロール４から繰り出されるセラミックグリー
ンシート２は、キャリアフィルム３とともに巻取りロー
ル５によって巻き取られるように構成されている。そし
て、巻出しロール４から巻取りロール５へと向かうセラ
ミックグリーンシート２の搬送方向Ａに所定の間隔をお
いて、Ｘ線を用いる第１の膜厚測定器６と、β線を用い
る第２の膜厚測定器７の、種類の異なる２つの膜厚測定
器が配設されており、第１及び第２の膜厚測定器６及び
７により、セラミックグリーンシートの厚み（シート
厚）Ｔｓとキャリアフィルムの厚み（フィルム厚）Ｔｆ
とが合算された膜厚値が測定されるように構成されてい
る。第１及び第２の膜厚測定器の６及び７の搬送方向の
間隔には特に制約はなく、互いに独立して、セラミック
グリーンシート２の搬送方向Ａと直交する方向Ｂに往復
移動することが可能な構成とするのに必要な距離を確保
することができればよい。
【００２６】なお、セラミックグリーンシート２の搬送
方向Ａの後ろ側（上流側）に配設された第１の膜厚測定
器６は、Ｘ線を照射するＸ線照射ヘッド６ａと、Ｘ線の
透過量（吸収量）を検出する測定ヘッド６ｂを備えてお
り、セラミックグリーンシート２の搬送方向Ａの前側
（下流側）に配設された第２の膜厚測定器７は、β線を
照射するβ線照射ヘッド７ａと、β線の透過量（吸収
量）を検出する測定ヘッド７ｂを備えている。
方向Ａの後ろ側（上流側）に配設された第１の膜厚測定
器６は、Ｘ線を照射するＸ線照射ヘッド６ａと、Ｘ線の
透過量（吸収量）を検出する測定ヘッド６ｂを備えてお
り、セラミックグリーンシート２の搬送方向Ａの前側
（下流側）に配設された第２の膜厚測定器７は、β線を
照射するβ線照射ヘッド７ａと、β線の透過量（吸収
量）を検出する測定ヘッド７ｂを備えている。
【００２７】Ｘ線照射ヘッド６ａと測定ヘッド６ｂ（以
下、場合により「ヘッド６ａ，６ｂ」と略称する）、及
びβ線照射ヘッド７ａと測定ヘッド７ｂ（以下、場合に
より「ヘッド７ａ，７ｂ」と略称する）は、それぞれ、
キャリアフィルム３により裏打ちされたセラミックグリ
ーンシート２を挟んで対向する位置に設置されている。
下、場合により「ヘッド６ａ，６ｂ」と略称する）、及
びβ線照射ヘッド７ａと測定ヘッド７ｂ（以下、場合に
より「ヘッド７ａ，７ｂ」と略称する）は、それぞれ、
キャリアフィルム３により裏打ちされたセラミックグリ
ーンシート２を挟んで対向する位置に設置されている。
【００２８】また、第１の膜厚測定器６（を構成するヘ
ッド６ａ，６ｂ）と、第２の膜厚測定器７（を構成する
ヘッド７ａ，７ｂ）は、互いに独立してセラミックグリ
ーンシート２の搬送と同期したタイミングで、セラミッ
クグリーンシート２の搬送方向Ａと直交する方向Ｂに往
復移動するように構成されており、これらの膜厚測定器
６，７により、キャリアフィルム３により裏打ちされた
セラミックグリーンシート２の同一位置におけるシート
厚Ｔｓとフィルム厚Ｔｆとが合算された膜厚値の測定が
行われる。すなわち、第１の膜厚測定器６と第２の膜厚
測定器７のいずれもが、図２に一点鎖線で示す軌跡（測
定位置軌跡）上を重なるように移動して、キャリアフィ
ルム３により裏打ちされたセラミックグリーンシート２
の同一位置におけるシート厚Ｔｓとフィルム厚Ｔｆとが
合算された膜厚値を測定する。なお、これらの膜厚測定
器６，７の、セラミックグリーンシート２の搬送方向Ａ
に直交する方向Ｂへの往復移動は、モータ、シリンダ、
リニアモータなどを駆動源とし、ボールネジ、ラック及
びピニオン、タイミングベルト、ガイドなどを利用した
種々の直動機構により実行させることが可能である。
ッド６ａ，６ｂ）と、第２の膜厚測定器７（を構成する
ヘッド７ａ，７ｂ）は、互いに独立してセラミックグリ
ーンシート２の搬送と同期したタイミングで、セラミッ
クグリーンシート２の搬送方向Ａと直交する方向Ｂに往
復移動するように構成されており、これらの膜厚測定器
６，７により、キャリアフィルム３により裏打ちされた
セラミックグリーンシート２の同一位置におけるシート
厚Ｔｓとフィルム厚Ｔｆとが合算された膜厚値の測定が
行われる。すなわち、第１の膜厚測定器６と第２の膜厚
測定器７のいずれもが、図２に一点鎖線で示す軌跡（測
定位置軌跡）上を重なるように移動して、キャリアフィ
ルム３により裏打ちされたセラミックグリーンシート２
の同一位置におけるシート厚Ｔｓとフィルム厚Ｔｆとが
合算された膜厚値を測定する。なお、これらの膜厚測定
器６，７の、セラミックグリーンシート２の搬送方向Ａ
に直交する方向Ｂへの往復移動は、モータ、シリンダ、
リニアモータなどを駆動源とし、ボールネジ、ラック及
びピニオン、タイミングベルト、ガイドなどを利用した
種々の直動機構により実行させることが可能である。
【００２９】第１及び第２の膜厚測定器６，７の往復移
動速度は、セラミックグリーンシート２の搬送速度と比
例するように予め調整されており、膜厚測定器６，７の
往復移動をセラミックグリーンシート２の搬送に同期さ
せやすいように構成されている。なお、これらの比例関
係を変更することにより、膜厚測定器６，７の往復移動
速度を任意に設定することが可能になる。
動速度は、セラミックグリーンシート２の搬送速度と比
例するように予め調整されており、膜厚測定器６，７の
往復移動をセラミックグリーンシート２の搬送に同期さ
せやすいように構成されている。なお、これらの比例関
係を変更することにより、膜厚測定器６，７の往復移動
速度を任意に設定することが可能になる。
【００３０】この実施形態１にかかる膜厚測定装置にお
いては、第１及び第２の膜厚測定器６，７がセラミック
グリーンシート２の搬送方向Ａに直交する方向Ｂに往復
移動するように構成されているので、図２の平面図で示
すように、これら膜厚測定器６，７の各々は、結果的に
はキャリアフィルム３により裏打ちされたセラミックグ
リーンシート２上をジグザグ状に相対移動することにな
り、各膜厚測定器６，７により、セラミックグリーンシ
ート２の同一位置の膜厚値（シート厚Ｔｓとフィルム厚
Ｔｆが合算された膜厚値）を確実に測定することが可能
になる。
いては、第１及び第２の膜厚測定器６，７がセラミック
グリーンシート２の搬送方向Ａに直交する方向Ｂに往復
移動するように構成されているので、図２の平面図で示
すように、これら膜厚測定器６，７の各々は、結果的に
はキャリアフィルム３により裏打ちされたセラミックグ
リーンシート２上をジグザグ状に相対移動することにな
り、各膜厚測定器６，７により、セラミックグリーンシ
ート２の同一位置の膜厚値（シート厚Ｔｓとフィルム厚
Ｔｆが合算された膜厚値）を確実に測定することが可能
になる。
【００３１】すなわち、第１の膜厚測定器６では、シー
ト厚Ｔｓに対する吸収係数がμｓ１、フィルム厚Ｔｆに
対する吸収係数がμｆ１であるときにおける、（μｓ１
×Ｔｓ＋μｆ１×Ｔｆ）で表される第１の膜厚値Ｔ１が
測定されることになり、第２の膜厚測定器７ではシート
厚Ｔｓに対する吸収係数がμｓ２、フィルム厚Ｔｆに対
する吸収係数がμｆ２であるときにおける、（μｓ２×
Ｔｓ＋μｆ２×Ｔｆ）で表される第２の膜厚値Ｔ２が測
定されることになる。
ト厚Ｔｓに対する吸収係数がμｓ１、フィルム厚Ｔｆに
対する吸収係数がμｆ１であるときにおける、（μｓ１
×Ｔｓ＋μｆ１×Ｔｆ）で表される第１の膜厚値Ｔ１が
測定されることになり、第２の膜厚測定器７ではシート
厚Ｔｓに対する吸収係数がμｓ２、フィルム厚Ｔｆに対
する吸収係数がμｆ２であるときにおける、（μｓ２×
Ｔｓ＋μｆ２×Ｔｆ）で表される第２の膜厚値Ｔ２が測
定されることになる。
【００３２】また、この実施形態１にかかる膜厚測定装
置においては、第１及び第２の膜厚測定器６，７のそれ
ぞれで測定された膜厚値を相互演算してシート厚Ｔｓを
算出する演算処理手段（マイクロコンピュータ）８を具
備しており、膜厚測定器６，７の各々からマイクロコン
ピュータ８に対して、第１及び第２の膜厚値Ｔ１，Ｔ２
が送信されるように構成されており、マイクロコンピュ
ータ８により、膜厚測定器６で測定された第１の膜厚値
Ｔ１＝（μｓ１×Ｔｓ＋μｆ１×Ｔｆ）と、膜厚測定器
７で測定された第２の膜厚値Ｔ２＝（μｓ２×Ｔｓ＋μ
ｆ２×Ｔｆ）を２元連立方程式化して相互演算すること
により、シート厚Ｔｓ及びフィルム厚Ｔｆが算出され
る。
置においては、第１及び第２の膜厚測定器６，７のそれ
ぞれで測定された膜厚値を相互演算してシート厚Ｔｓを
算出する演算処理手段（マイクロコンピュータ）８を具
備しており、膜厚測定器６，７の各々からマイクロコン
ピュータ８に対して、第１及び第２の膜厚値Ｔ１，Ｔ２
が送信されるように構成されており、マイクロコンピュ
ータ８により、膜厚測定器６で測定された第１の膜厚値
Ｔ１＝（μｓ１×Ｔｓ＋μｆ１×Ｔｆ）と、膜厚測定器
７で測定された第２の膜厚値Ｔ２＝（μｓ２×Ｔｓ＋μ
ｆ２×Ｔｆ）を２元連立方程式化して相互演算すること
により、シート厚Ｔｓ及びフィルム厚Ｔｆが算出され
る。
【００３３】すなわち、マイクロコンピュータ８におい
ては、具体的には以下のような手順でシート厚Ｔｓ及び
フィルム厚Ｔｆが算出される。まず、第１及び第２の膜
厚測定器６，７のそれぞれでは、 Ｘ線膜厚データ：Ｘ（g/m2） ＝μＸｓ×シート厚（g/m2）＋μＸｆ×フィルム厚（g/m2）… β線膜厚データ：β（g/m2） ＝μβｆ×フィルム厚（g/m2）＋μβｓ×シート厚（g/m2）… 但し、μＸｓ（＝μｓ１）…セラミックグリーンシート
のＸ線吸収率 μＸｆ（＝μｆ１）…キャリアフィルムのＸ線吸収率 μβｓ（＝μｓ２）…セラミックグリーンシートのβ線
吸収率 μβｆ（＝μｆ２）…キャリアフィルムのβ線吸収率 が測定されることになり、式及び式を変形すること
により、 シート厚（g/m2） ＝（μβｆ×Ｘ−μＸｓ×β）／（μＸｓ×μβｆ−μＸｆ×μβｓ）… フィルム厚（g/m2） ＝（μβｓ×Ｘ−μＸｓ×β）／（μＸｆ×μβｓ−μＸｓ×μβｆ）… が算出される。
ては、具体的には以下のような手順でシート厚Ｔｓ及び
フィルム厚Ｔｆが算出される。まず、第１及び第２の膜
厚測定器６，７のそれぞれでは、 Ｘ線膜厚データ：Ｘ（g/m2） ＝μＸｓ×シート厚（g/m2）＋μＸｆ×フィルム厚（g/m2）… β線膜厚データ：β（g/m2） ＝μβｆ×フィルム厚（g/m2）＋μβｓ×シート厚（g/m2）… 但し、μＸｓ（＝μｓ１）…セラミックグリーンシート
のＸ線吸収率 μＸｆ（＝μｆ１）…キャリアフィルムのＸ線吸収率 μβｓ（＝μｓ２）…セラミックグリーンシートのβ線
吸収率 μβｆ（＝μｆ２）…キャリアフィルムのβ線吸収率 が測定されることになり、式及び式を変形すること
により、 シート厚（g/m2） ＝（μβｆ×Ｘ−μＸｓ×β）／（μＸｓ×μβｆ−μＸｆ×μβｓ）… フィルム厚（g/m2） ＝（μβｓ×Ｘ−μＸｓ×β）／（μＸｆ×μβｓ−μＸｓ×μβｆ）… が算出される。
【００３４】そこで、セラミックグリーンシート２とキ
ャリアフィルム３との密度を用いて式及び式を換算
すると、 シート厚Ｔｓ（μm）＝シート厚（g/m2）／シート密度 フィルム厚Ｔｆ（μm）＝フィルム厚（g/m2）／フィル
ム密度 が算出されることになる。なお、このようにして算出さ
れたセラミックグリーンシート２の厚み（シート厚）Ｔ
ｓには、フィルム厚Ｔｆのばらつきの影響が含まれな
い。したがって、この実施形態１の測定方法によれば、
例えばシート厚Ｔｓが５μm以下で、フィルム厚Ｔｆの
方が相対的に厚くなるような場合にも、正確なシート厚
Ｔｓを求めることが可能になる。
ャリアフィルム３との密度を用いて式及び式を換算
すると、 シート厚Ｔｓ（μm）＝シート厚（g/m2）／シート密度 フィルム厚Ｔｆ（μm）＝フィルム厚（g/m2）／フィル
ム密度 が算出されることになる。なお、このようにして算出さ
れたセラミックグリーンシート２の厚み（シート厚）Ｔ
ｓには、フィルム厚Ｔｆのばらつきの影響が含まれな
い。したがって、この実施形態１の測定方法によれば、
例えばシート厚Ｔｓが５μm以下で、フィルム厚Ｔｆの
方が相対的に厚くなるような場合にも、正確なシート厚
Ｔｓを求めることが可能になる。
【００３５】なお、この実施形態１では、Ｘ線を用いる
第１の膜厚測定器６を上流側位置（巻出しロール４寄り
の位置）に配置し、β線を用いる第２の膜厚測定器７を
下流側位置（巻取りロール５寄りの位置）に配置してい
るが、第１及び第２の膜厚測定器６，７の位置を逆にす
ることも可能である。
第１の膜厚測定器６を上流側位置（巻出しロール４寄り
の位置）に配置し、β線を用いる第２の膜厚測定器７を
下流側位置（巻取りロール５寄りの位置）に配置してい
るが、第１及び第２の膜厚測定器６，７の位置を逆にす
ることも可能である。
【００３６】また、この実施形態１ではＸ線を用いる第
１の膜厚測定器とβ線を用いる第２の膜厚測定器の２種
類の膜厚測定器６，７を用いているが、３種類以上の膜
厚測定器を用いることも可能である。また、膜厚測定器
の種類は、Ｘ線を用いるもの、β線を用いるものに限定
されるものではなく、例えばγ線、レーザ光、赤外線な
どを用いる膜厚測定器を使用することも可能である。な
お、透過エネルギーの透過率（吸収率）が異なるＸ線や
β線であれば、複数の膜厚測定器のいずれもがＸ線方式
どうしやβ線方式どうしであっても差し支えはない。ま
た、例えば放射線がＸ線であって、ターゲットがチタン
（Ｔｉ）とタングステン（Ｗ）の組み合わせである構成
や、β線であって、線源がプロメチウム（Ｐｍ）とクリ
プトン（Ｋｒ）の組み合わせである構成などのように、
放射線方式が同一であって、ターゲットや線源が異なる
組み合わせた構成を採用することも可能である。
１の膜厚測定器とβ線を用いる第２の膜厚測定器の２種
類の膜厚測定器６，７を用いているが、３種類以上の膜
厚測定器を用いることも可能である。また、膜厚測定器
の種類は、Ｘ線を用いるもの、β線を用いるものに限定
されるものではなく、例えばγ線、レーザ光、赤外線な
どを用いる膜厚測定器を使用することも可能である。な
お、透過エネルギーの透過率（吸収率）が異なるＸ線や
β線であれば、複数の膜厚測定器のいずれもがＸ線方式
どうしやβ線方式どうしであっても差し支えはない。ま
た、例えば放射線がＸ線であって、ターゲットがチタン
（Ｔｉ）とタングステン（Ｗ）の組み合わせである構成
や、β線であって、線源がプロメチウム（Ｐｍ）とクリ
プトン（Ｋｒ）の組み合わせである構成などのように、
放射線方式が同一であって、ターゲットや線源が異なる
組み合わせた構成を採用することも可能である。
【００３７】［実施形態２］図３は本願発明の一実施形
態にかかるセラミックグリーンシートの製造装置の全体
構成を模式的に示す図である。
態にかかるセラミックグリーンシートの製造装置の全体
構成を模式的に示す図である。
【００３８】この実施形態２のセラミックグリーンシー
トの製造装置１１は、上記実施形態１で示した膜厚測定
装置１と、この膜厚測定装置１よりもセラミックグリー
ンシート２の搬送方向Ａに沿った上流側位置に配設さ
れ、膜厚測定装置１で測定されたシート厚Ｔｓのデータ
に基づいてセラミックスラリー１２の供給量を制御する
膜厚フィードバック制御が行われるセラミックグリーン
シート２の成形機１３とを備えている。なお、図３にお
いて、図１及び図２と互いに同一もしくは相当する機器
や部品、部分には同一符号を付している。
トの製造装置１１は、上記実施形態１で示した膜厚測定
装置１と、この膜厚測定装置１よりもセラミックグリー
ンシート２の搬送方向Ａに沿った上流側位置に配設さ
れ、膜厚測定装置１で測定されたシート厚Ｔｓのデータ
に基づいてセラミックスラリー１２の供給量を制御する
膜厚フィードバック制御が行われるセラミックグリーン
シート２の成形機１３とを備えている。なお、図３にお
いて、図１及び図２と互いに同一もしくは相当する機器
や部品、部分には同一符号を付している。
【００３９】この実施形態２のセラミックグリーンシー
トの製造装置１１は、セラミックスラリー１２を、ＰＰ
フィルムやＰＥＴフィルム、あるいはＰＥＮフィルムな
どからなるキャリアフィルム３に塗布し、キャリアフィ
ルム３上でセラミックグリーンシート２を成形するもの
であり、図３に示すように、セラミックスラリー１２を
キャリアフィルム３に塗布するためのスラリーコータ１
４と、このスラリーコータ１４内に設けられたスラリー
室１５の開口部にキャリアフィルム３を圧接して開口部
を閉じるとともに、この開口部の一側縁に形成されたド
クターエッジ１６が下流側となるようにしながらキャリ
アフィルム３を開口部に沿って移動させるバッキングロ
ール１７とからなるセラミックグリーンシート２の成形
機１３を具備している。
トの製造装置１１は、セラミックスラリー１２を、ＰＰ
フィルムやＰＥＴフィルム、あるいはＰＥＮフィルムな
どからなるキャリアフィルム３に塗布し、キャリアフィ
ルム３上でセラミックグリーンシート２を成形するもの
であり、図３に示すように、セラミックスラリー１２を
キャリアフィルム３に塗布するためのスラリーコータ１
４と、このスラリーコータ１４内に設けられたスラリー
室１５の開口部にキャリアフィルム３を圧接して開口部
を閉じるとともに、この開口部の一側縁に形成されたド
クターエッジ１６が下流側となるようにしながらキャリ
アフィルム３を開口部に沿って移動させるバッキングロ
ール１７とからなるセラミックグリーンシート２の成形
機１３を具備している。
【００４０】また、この成形機１３を構成するスラリー
室１５には、スラリーポンプ１８で圧送されたセラミッ
クスラリー１２がスラリータンク１９から供給され、開
口部に沿って移動するキャリアフィルム３にはドクター
エッジ１６によってセラミックスラリー１２が塗布され
るように構成されている。また、スラリー室１５とスラ
リーポンプ１８の間のセラミックスラリー１２の供給路
には、膜厚フィードバック制御を実現するための供給量
制御手段（例えば、電磁バルブ）２０と、電磁式や超音
波式などの流量計２１とが配置されている。
室１５には、スラリーポンプ１８で圧送されたセラミッ
クスラリー１２がスラリータンク１９から供給され、開
口部に沿って移動するキャリアフィルム３にはドクター
エッジ１６によってセラミックスラリー１２が塗布され
るように構成されている。また、スラリー室１５とスラ
リーポンプ１８の間のセラミックスラリー１２の供給路
には、膜厚フィードバック制御を実現するための供給量
制御手段（例えば、電磁バルブ）２０と、電磁式や超音
波式などの流量計２１とが配置されている。
【００４１】また、キャリアフィルム３は、フィルム供
給ロール２２に巻回された状態で用意され、かつ、この
フィルム供給ロール２２から引き出されてバッキングロ
ール１７の周面に供給され、スラリーコータ１４及びバ
ッキングロール１７間を通過する過程で、キャリアフィ
ルム３の表面にセラミックスラリー１２が塗布された
後、セラミックグリーンシート２とともに巻取りロール
５によって巻き取られるように構成されている。
給ロール２２に巻回された状態で用意され、かつ、この
フィルム供給ロール２２から引き出されてバッキングロ
ール１７の周面に供給され、スラリーコータ１４及びバ
ッキングロール１７間を通過する過程で、キャリアフィ
ルム３の表面にセラミックスラリー１２が塗布された
後、セラミックグリーンシート２とともに巻取りロール
５によって巻き取られるように構成されている。
【００４２】また、スラリーコータ１４及びバッキング
ロール１７から巻取りロール５に向かうセラミックグリ
ーンシート２の搬送方向Ａに所定の間隔をおいて、膜厚
測定装置１を構成する放射線方式の膜厚測定器６，７が
配置されており、これら膜厚測定器６，７は、キャリア
フィルム３により裏打ちされたセラミックグリーンシー
ト２の膜厚（シート厚Ｔｓとフィルム厚Ｔｆとを合算し
た第１及び第２の膜厚値Ｔ１，Ｔ２）の測定を行う。
ロール１７から巻取りロール５に向かうセラミックグリ
ーンシート２の搬送方向Ａに所定の間隔をおいて、膜厚
測定装置１を構成する放射線方式の膜厚測定器６，７が
配置されており、これら膜厚測定器６，７は、キャリア
フィルム３により裏打ちされたセラミックグリーンシー
ト２の膜厚（シート厚Ｔｓとフィルム厚Ｔｆとを合算し
た第１及び第２の膜厚値Ｔ１，Ｔ２）の測定を行う。
【００４３】そして、これらの膜厚測定器６，７で測定
された膜厚値Ｔ１，Ｔ２は、マイクロコンピュータ８へ
と送信され、マイクロコンピュータ８で膜厚値Ｔ１，Ｔ
２を相互演算することにより算出されたシート厚Ｔｓの
データが、スラリー室１５及びスラリーポンプ１８間に
配置された供給量制御手段２０に送信され、正確なシー
ト厚Ｔｓのデータに基づいて、供給量が制御されたセラ
ミックスラリー１２がキャリアフィルム２に塗布される
ように構成されている。
された膜厚値Ｔ１，Ｔ２は、マイクロコンピュータ８へ
と送信され、マイクロコンピュータ８で膜厚値Ｔ１，Ｔ
２を相互演算することにより算出されたシート厚Ｔｓの
データが、スラリー室１５及びスラリーポンプ１８間に
配置された供給量制御手段２０に送信され、正確なシー
ト厚Ｔｓのデータに基づいて、供給量が制御されたセラ
ミックスラリー１２がキャリアフィルム２に塗布される
ように構成されている。
【００４４】次に、この実施形態２の製造装置１１を使
用してセラミックグリーンシート２を製造する方法を説
明する。まず、フィルム供給ロール２２から成形機１３
を構成するバッキングロール１７にキャリアフィルム３
が連続的に供給される。そして、キャリアフィルム３
が、バッキングロール１７で圧接されながらスラリー室
１５の開口部に沿って移動する過程で、キャリアフィル
ム３の表面にセラミックスラリー１２が塗布され、キャ
リアフィルム３が搬送されるに伴って、その表面にセラ
ミックグリーンシート２が連続的に成形される。
用してセラミックグリーンシート２を製造する方法を説
明する。まず、フィルム供給ロール２２から成形機１３
を構成するバッキングロール１７にキャリアフィルム３
が連続的に供給される。そして、キャリアフィルム３
が、バッキングロール１７で圧接されながらスラリー室
１５の開口部に沿って移動する過程で、キャリアフィル
ム３の表面にセラミックスラリー１２が塗布され、キャ
リアフィルム３が搬送されるに伴って、その表面にセラ
ミックグリーンシート２が連続的に成形される。
【００４５】そして、成形機１３から巻取りロール５に
向かって搬送されるセラミックグリーンシート２の同一
位置の膜厚値Ｔ１，Ｔ２が、搬送方向Ａに所定の間隔を
おいて配置された２種類の膜厚測定器６，７によって測
定され、マイクロコンピュータ８により膜厚測定器６，
７の各々で測定された膜厚値Ｔ１，Ｔ２を相互演算する
ことにより、正確なシート厚Ｔｓが算出される。そし
て、このマイクロコンピュータ８において算出されたシ
ート厚Ｔｓのデータは、セラミックスラリー１２の膜厚
フィードバック制御を実現する供給量制御手段２０に送
信され、供給量制御手段２０は、シート厚Ｔｓのデータ
に基づいてスラリー室１５に供給されるセラミックスラ
リー１２の供給量の制御を行う。
向かって搬送されるセラミックグリーンシート２の同一
位置の膜厚値Ｔ１，Ｔ２が、搬送方向Ａに所定の間隔を
おいて配置された２種類の膜厚測定器６，７によって測
定され、マイクロコンピュータ８により膜厚測定器６，
７の各々で測定された膜厚値Ｔ１，Ｔ２を相互演算する
ことにより、正確なシート厚Ｔｓが算出される。そし
て、このマイクロコンピュータ８において算出されたシ
ート厚Ｔｓのデータは、セラミックスラリー１２の膜厚
フィードバック制御を実現する供給量制御手段２０に送
信され、供給量制御手段２０は、シート厚Ｔｓのデータ
に基づいてスラリー室１５に供給されるセラミックスラ
リー１２の供給量の制御を行う。
【００４６】その結果、バッキングロール１７によりス
ラリー室１５の開口部に圧接されながらドクターエッジ
１６が下流側となるように移動しているキャリアフィル
ム３に、フィードバックされたシート厚Ｔｓのデータに
基づいて供給量が制御されたセラミックスラリー１２が
塗布されることとなり、フィルム厚Ｔｆのばらつきの影
響を受けることなく、シート厚Ｔｓが高精度に均一化さ
れたセラミックグリーンシート２を効率よく製造するこ
とが可能になる。そして、上述のようにして製造された
キャリアフィルム３に裏打ちされたセラミックグリーン
シート２は、搬送方向Ａに沿って搬送され、巻取りロー
ル５によって巻き取られる。
ラリー室１５の開口部に圧接されながらドクターエッジ
１６が下流側となるように移動しているキャリアフィル
ム３に、フィードバックされたシート厚Ｔｓのデータに
基づいて供給量が制御されたセラミックスラリー１２が
塗布されることとなり、フィルム厚Ｔｆのばらつきの影
響を受けることなく、シート厚Ｔｓが高精度に均一化さ
れたセラミックグリーンシート２を効率よく製造するこ
とが可能になる。そして、上述のようにして製造された
キャリアフィルム３に裏打ちされたセラミックグリーン
シート２は、搬送方向Ａに沿って搬送され、巻取りロー
ル５によって巻き取られる。
【００４７】なお、グリーンシートの厚みが５μm以下
と薄い場合において、上記実施形態２のセラミックグリ
ーンシートの製造方法により製造したセラミックグリー
ンシートと、従来の製造方法で製造したセラミックグリ
ーンシートについて、膜厚測定結果のばらつきと、キャ
リアフィルム状に形成されたセラミックグリーンシート
の膜厚のばらつきを調べた。その結果を表１に示す。
と薄い場合において、上記実施形態２のセラミックグリ
ーンシートの製造方法により製造したセラミックグリー
ンシートと、従来の製造方法で製造したセラミックグリ
ーンシートについて、膜厚測定結果のばらつきと、キャ
リアフィルム状に形成されたセラミックグリーンシート
の膜厚のばらつきを調べた。その結果を表１に示す。
【００４８】
【表１】
【００４９】表１より、本願発明のセラミックグリーン
シートの製造方法によれば、従来のセラミックグリーン
シートの製造方法に比べて、膜厚測定結果のばらつき及
びセラミックグリーンシートの膜厚のばらつきが大幅に
減少することがわかる。なお、上記実施形態２では、セ
ラミックスラリーの塗布としてスラリーコータ方式を用
いているが、セラミックスラリーの塗布方法は、この方
式のみに限定されるものではなく、キャリアフィルムの
搬送方向及び幅方向の塗布膜厚を制御する機能をそなえ
たドクターナイフ方式、あるいは、ロールコーター方式
やエクストルージョン方式などを用いることも可能であ
る。
シートの製造方法によれば、従来のセラミックグリーン
シートの製造方法に比べて、膜厚測定結果のばらつき及
びセラミックグリーンシートの膜厚のばらつきが大幅に
減少することがわかる。なお、上記実施形態２では、セ
ラミックスラリーの塗布としてスラリーコータ方式を用
いているが、セラミックスラリーの塗布方法は、この方
式のみに限定されるものではなく、キャリアフィルムの
搬送方向及び幅方向の塗布膜厚を制御する機能をそなえ
たドクターナイフ方式、あるいは、ロールコーター方式
やエクストルージョン方式などを用いることも可能であ
る。
【００５０】本願発明はさらにその他の点においても、
上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨の
範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能
である。
上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨の
範囲内において、種々の応用、変形を加えることが可能
である。
【００５１】
【発明の効果】上述したように、本願発明（請求項１）
のセラミックグリーンシートの膜厚測定装置において
は、種類の異なる各膜厚測定器が互いに独立しており、
各膜厚測定器がセラミックグリーンシートの搬送と同期
しながら搬送方向と直交する方向（キャリアフィルム及
びセラミックグリーンシートの幅方向）に往復移動する
ことにより、キャリアフィルムにより裏打ちされたセラ
ミックグリーンシートの同一位置における膜厚値（セラ
ミックグリーンシートの厚みとキャリアフィルムの厚み
を合算した膜厚値）を測定することができるようにして
いるので、測定時の位置ずれなどに起因する誤差をなく
して、膜厚値を精密に測定することができる。また、種
類の異なる膜厚測定器により測定された膜厚値を演算処
理手段により相互演算することにより、セラミックグリ
ーンシートの厚み及びキャリアフィルムの厚みをそれぞ
れ算出するようにしているので、キャリアフィルムの厚
みのばらつきに影響されることなく、セラミックグリー
ンシートの厚みを正確に測定することができる。
のセラミックグリーンシートの膜厚測定装置において
は、種類の異なる各膜厚測定器が互いに独立しており、
各膜厚測定器がセラミックグリーンシートの搬送と同期
しながら搬送方向と直交する方向（キャリアフィルム及
びセラミックグリーンシートの幅方向）に往復移動する
ことにより、キャリアフィルムにより裏打ちされたセラ
ミックグリーンシートの同一位置における膜厚値（セラ
ミックグリーンシートの厚みとキャリアフィルムの厚み
を合算した膜厚値）を測定することができるようにして
いるので、測定時の位置ずれなどに起因する誤差をなく
して、膜厚値を精密に測定することができる。また、種
類の異なる膜厚測定器により測定された膜厚値を演算処
理手段により相互演算することにより、セラミックグリ
ーンシートの厚み及びキャリアフィルムの厚みをそれぞ
れ算出するようにしているので、キャリアフィルムの厚
みのばらつきに影響されることなく、セラミックグリー
ンシートの厚みを正確に測定することができる。
【００５２】請求項２のセラミックグリーンシートの膜
厚測定装置のように、各膜厚測定器の往復移動速度を、
セラミックグリーンシートの搬送速度に比例させるよう
にした場合、測定ポイントの密度を一定にすることが可
能になり、全体として、測定位置の偏りのない信頼性の
高い膜厚測定を行うことが可能になる。
厚測定装置のように、各膜厚測定器の往復移動速度を、
セラミックグリーンシートの搬送速度に比例させるよう
にした場合、測定ポイントの密度を一定にすることが可
能になり、全体として、測定位置の偏りのない信頼性の
高い膜厚測定を行うことが可能になる。
【００５３】また、請求項３のセラミックグリーンシー
トの膜厚測定装置のように、膜厚測定器として、Ｘ線、
β線、γ線、レーザ光、赤外線からなる群より選ばれる
１種を用いて膜厚値を測定するものの中から、セラミッ
クグリーンシートの構成材料や厚みなどの具体的な条件
に応じて、適切なものを選択し、それらを組み合わせて
使用するようにした場合、各膜厚測定器により測定され
た膜厚値を演算処理手段により相互演算して、シート厚
及びフィルム厚の正確な値を得ることが可能になり、本
願発明を実効あらしめることが可能になる。
トの膜厚測定装置のように、膜厚測定器として、Ｘ線、
β線、γ線、レーザ光、赤外線からなる群より選ばれる
１種を用いて膜厚値を測定するものの中から、セラミッ
クグリーンシートの構成材料や厚みなどの具体的な条件
に応じて、適切なものを選択し、それらを組み合わせて
使用するようにした場合、各膜厚測定器により測定され
た膜厚値を演算処理手段により相互演算して、シート厚
及びフィルム厚の正確な値を得ることが可能になり、本
願発明を実効あらしめることが可能になる。
【００５４】また、請求項４にかかるセラミックグリー
ンシートの膜厚測定装置は、第１の膜厚測定器により第
１の膜厚値Ｔ１を測定し、第２の膜厚測定器により第２
の膜厚値Ｔ２を測定し、演算処理手段において、第１及
び第２の膜厚値Ｔ１，Ｔ２を相互演算してセラミックグ
リーンシートの厚みＴｓと、キャリアフィルムの厚みＴ
ｆのそれぞれを算出するようにしているので、キャリア
フィルムの厚みのばらつきの影響を受けることなく、セ
ラミックグリーンシートの厚みを正確に測定することが
可能になる。
ンシートの膜厚測定装置は、第１の膜厚測定器により第
１の膜厚値Ｔ１を測定し、第２の膜厚測定器により第２
の膜厚値Ｔ２を測定し、演算処理手段において、第１及
び第２の膜厚値Ｔ１，Ｔ２を相互演算してセラミックグ
リーンシートの厚みＴｓと、キャリアフィルムの厚みＴ
ｆのそれぞれを算出するようにしているので、キャリア
フィルムの厚みのばらつきの影響を受けることなく、セ
ラミックグリーンシートの厚みを正確に測定することが
可能になる。
【００５５】本願発明（請求項５）のセラミックグリー
ンシートの膜厚測定方法は、独立してセラミックグリー
ンシートの搬送方向と直交する方向に往復移動する種類
の異なる２以上の膜厚測定器により、キャリアフィルム
により裏打ちされたセラミックグリーンシートの同一位
置におけるシート厚とフィルム厚とを合算した膜厚値を
測定するとともに、これらの同一位置で種類の異なる膜
厚測定器により測定された膜厚値どうしを演算処理手段
によって相互演算して、シート厚を算出するようにして
いるので、フィルム厚のばらつきの影響を受けることな
くセラミックグリーンシートの厚みを正確に測定するこ
とができる。
ンシートの膜厚測定方法は、独立してセラミックグリー
ンシートの搬送方向と直交する方向に往復移動する種類
の異なる２以上の膜厚測定器により、キャリアフィルム
により裏打ちされたセラミックグリーンシートの同一位
置におけるシート厚とフィルム厚とを合算した膜厚値を
測定するとともに、これらの同一位置で種類の異なる膜
厚測定器により測定された膜厚値どうしを演算処理手段
によって相互演算して、シート厚を算出するようにして
いるので、フィルム厚のばらつきの影響を受けることな
くセラミックグリーンシートの厚みを正確に測定するこ
とができる。
【００５６】本願発明（請求項６）セラミックグリーン
シートの製造装置は、セラミックグリーンシートの成形
後において測定された正確なシート厚データが成形機に
フィードバックされ、セラミックスラリーの供給量が速
やかに制御されるように構成されているので、厚みの均
一なセラミックグリーンシートを連続して確実に製造す
ることが可能になる。
シートの製造装置は、セラミックグリーンシートの成形
後において測定された正確なシート厚データが成形機に
フィードバックされ、セラミックスラリーの供給量が速
やかに制御されるように構成されているので、厚みの均
一なセラミックグリーンシートを連続して確実に製造す
ることが可能になる。
【００５７】また、本願発明（請求項７）のセラミック
グリーンシートの製造方法は、本願発明の方法により測
定された正確なシート厚データに基づいて、セラミック
スラリーの供給量を制御するようにしているので、厚み
の均一なセラミックグリーンシートを連続して確実に製
造することが可能になる。
グリーンシートの製造方法は、本願発明の方法により測
定された正確なシート厚データに基づいて、セラミック
スラリーの供給量を制御するようにしているので、厚み
の均一なセラミックグリーンシートを連続して確実に製
造することが可能になる。
【図１】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの膜厚測定装置の構成を簡略
化して示す斜視図である。
セラミックグリーンシートの膜厚測定装置の構成を簡略
化して示す斜視図である。
【図２】本願発明の一実施形態（実施形態１）にかかる
セラミックグリーンシートの膜厚測定装置の動作状態を
示す平面図である。
セラミックグリーンシートの膜厚測定装置の動作状態を
示す平面図である。
【図３】本願発明の一実施形態（実施形態２）にかかる
セラミックグリーンシートの製造装置の全体構成を模式
的に示す図である。
セラミックグリーンシートの製造装置の全体構成を模式
的に示す図である。
１ 膜厚測定装置 ２ セラミックグリーンシート ３ キャリアフィルム ４ 巻出しロール ５ 巻取りロール ６，７ 膜厚測定器 ６ａ Ｘ線照射ヘッド ６ｂ 測定ヘッド ７ａ β線照射ヘッド ７ｂ 測定ヘッド ８ マイクロコンピュータ（演算処理手段） １１ 製造装置 １２ セラミックスラリー １３ 成形機 １４ スラリーコータ １５ スラリー室 １６ ドクターエッジ １７ バッキングロール １８ スラリーポンプ １９ スラリータンク ２０ 供給量制御手段 ２１ 流量計 ２２ フィルム供給ロール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2F065 AA30 BB13 BB15 BB17 CC00 FF46 FF63 JJ05 JJ09 2F067 AA27 BB12 BB16 BB27 HH04 HH05 HH06 JJ03 JJ04 JJ05 KK06 NN03 NN10 2F069 AA46 BB34 BB40 CC06 GG04 GG07 GG08 GG59 JJ19 PP07 4G055 AA08 AC01 EA03
Claims (7)
- 【請求項１】キャリアフィルムにより裏打ちされたセラ
ミックグリーンシートの膜厚測定装置であって、 セラミックグリーンシートの搬送方向に所定の間隔をお
いて配置された種類の異なる２以上の膜厚測定器であっ
て、互いに独立して、セラミックグリーンシートの搬送
と同期したタイミングで、セラミックグリーンシートの
搬送方向と直交する方向に往復移動し、キャリアフィル
ムにより裏打ちされたセラミックグリーンシートの同一
位置におけるセラミックグリーンシートの厚みとキャリ
アフィルムの厚みが合算された膜厚値を測定する膜厚測
定器と、 各膜厚測定器により測定された膜厚値を相互演算してセ
ラミックグリーンシートの厚みを算出する演算処理手段
とを具備することを特徴とするセラミックグリーンシー
トの膜厚測定装置。 - 【請求項２】各膜厚測定器の往復移動速度を、セラミッ
クグリーンシートの搬送速度と比例させたことを特徴と
する請求項１記載のセラミックグリーンシートの膜厚測
定装置。 - 【請求項３】膜厚測定器の少なくとも１つが、Ｘ線、β
線、γ線、レーザ光、赤外線からなる群より選ばれる１
種を用いて前記膜厚値を測定するものであることを特徴
とする請求項１又は請求項２記載のセラミックグリーン
シートの膜厚測定装置。 - 【請求項４】前記膜厚測定器として、第１の膜厚測定器
と、第２の膜厚測定器の２つの膜厚測定器を備えてお
り、 第１の膜厚測定器は、セラミックグリーンシートの厚み
Ｔｓに対する吸収係数がμｓ１、キャリアフィルムの厚
みＴｆに対する吸収係数がμｆ１である場合に、（μｓ
１×Ｔｓ＋μｆ１×Ｔｆ）で表される第１の膜厚値Ｔ１
を測定するものであり、 第２の膜厚測定器は、セラミックグリーンシートの厚み
Ｔｓに対する吸収係数がμｓ２、キャリアフィルムの厚
みＴｆに対する吸収係数がμｆ２である場合に、（μｓ
２×Ｔｓ＋μｆ２×Ｔｆ）で表される第２の膜厚値Ｔ２
を測定するものであり、かつ、 前記演算処理手段は、第１及び第２の膜厚値Ｔ１，Ｔ２
を相互演算してセラミックグリーンシートの厚みＴｓを
算出するものであることを特徴とする請求項１〜３のい
ずれかに記載のセラミックグリーンシートの膜厚測定装
置。 - 【請求項５】キャリアフィルムにより裏打ちされたセラ
ミックグリーンシートの膜厚測定方法であって、 セラミックグリーンシートの搬送方向に所定の間隔をお
いて配置され、かつ、互いに独立して、セラミックグリ
ーンシートの搬送と同期したタイミングで、セラミック
グリーンシートの搬送方向と直交する方向に往復移動す
る種類の異なる２以上の膜厚測定器により、キャリアフ
ィルムにより裏打ちされたセラミックグリーンシートの
同一位置におけるセラミックグリーンシートの厚みとキ
ャリアフィルムの厚みが合算された膜厚値を測定すると
ともに、 各膜厚測定器で測定された膜厚値を演算処理手段で相互
演算してセラミックグリーンシートの厚みを算出するこ
とを特徴とするセラミックグリーンシートの膜厚測定方
法。 - 【請求項６】請求項１〜４のいずれかに記載のセラミッ
クグリーンシートの膜厚測定装置と、 前記膜厚測定装置で測定されたセラミックグリーンシー
トの厚みデータに基づいてセラミックスラリーの供給量
を制御する膜厚フィードバック制御が行われるように構
成され、供給量を制御しながら供給されたセラミックス
ラリーをキャリアフィルム上に塗布してセラミックグリ
ーンシートを成形する成形機とを具備することを特徴と
するセラミックグリーンシートの製造装置。 - 【請求項７】請求項５記載のセラミックグリーンシート
の膜厚測定方法により算出されたセラミックグリーンシ
ートの厚みデータに基づいて、供給量を制御しながら成
形機に供給されたセラミックスラリーをキャリアフィル
ム上に塗布してセラミックグリーンシートを成形するこ
とを特徴とするセラミックグリーンシートの製造方法。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000401558A JP2002202120A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | セラミックグリーンシートの膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
| KR1020010076208A KR20020055366A (ko) | 2000-12-28 | 2001-12-04 | 세라믹 그린시트의 막두께 측정장치 및 막두께 측정방법 |
| CNB011454202A CN1184451C (zh) | 2000-12-28 | 2001-12-28 | 未烧结陶瓷片制造方法及装置及其膜厚测定装置及方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000401558A JP2002202120A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | セラミックグリーンシートの膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002202120A true JP2002202120A (ja) | 2002-07-19 |
Family
ID=18865972
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000401558A Pending JP2002202120A (ja) | 2000-12-28 | 2000-12-28 | セラミックグリーンシートの膜厚測定装置及び膜厚測定方法 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002202120A (ja) |
| KR (1) | KR20020055366A (ja) |
| CN (1) | CN1184451C (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005106640A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP2006170883A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Toshiba Corp | 厚さプロファイル測定装置 |
| JP2007147661A (ja) * | 2007-03-16 | 2007-06-14 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP2009063478A (ja) * | 2007-09-07 | 2009-03-26 | Yokogawa Electric Corp | センサ駆動装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104729397A (zh) * | 2013-12-24 | 2015-06-24 | 厦门三维丝环保股份有限公司 | 一种ptfe微孔薄膜厚度测试方法 |
-
2000
- 2000-12-28 JP JP2000401558A patent/JP2002202120A/ja active Pending
-
2001
- 2001-12-04 KR KR1020010076208A patent/KR20020055366A/ko active Search and Examination
- 2001-12-28 CN CNB011454202A patent/CN1184451C/zh not_active Expired - Lifetime
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|---|---|---|---|---|
| JP2005106640A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
| JP2006170883A (ja) * | 2004-12-17 | 2006-06-29 | Toshiba Corp | 厚さプロファイル測定装置 |
| JP2007147661A (ja) * | 2007-03-16 | 2007-06-14 | Anritsu Sanki System Co Ltd | Ｘ線検査装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20020055366A (ko) | 2002-07-08 |
| CN1184451C (zh) | 2005-01-12 |
| CN1362610A (zh) | 2002-08-07 |
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