JP2002197732A - 光ディスク原盤露光装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ターンテーブルの回転ムラなどに起因する基
台の振動を抑制する。 【解決手段】 基台１により支持されたターンテーブル
５と、基台１により支持されてヘッド１０と一体にター
ンテーブル５の半径方向に往復駆動されるスライダ８と
を具備し、ターンテーブル５の回転時にスライダ８の送
り方向におけるターンテーブル５の振動量を測定すると
ともに、スライダ８を所望の位置まで移動させる送り指
令信号ｃとスライダ８の位置変化に対応する位置検出信
号ｄとの差となる偏差信号ｅから基台１の振動量を検出
し、ターンテーブル５の振動の周波数に合せて基台１の
振動量に基づいてその基台１の振動を相殺する相殺出力
ｊを制御手段３７により出力させ、この相殺出力ｊによ
り加振器２０を振動させ、この加振器２０の振動を基台
１に伝え、ターンテーブル５の回転ムラなどによる基台
１の振動を相殺する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、情報記録媒体及び
その情報記録媒体を製作するための原盤などのディスク
を回転させ、このディスクの半径方向に沿ってヘッドを
移動させることにより、ディスクに対する情報の記録を
行う光ディスク原盤露光装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、ディスク状の記録媒体を製作する
原盤としてのディスクに溝を形成する光ディスク原盤露
光装置が知られている。この光ディスク原盤露光装置の
課題は、回転するディスクとヘッドとの相対位置を正確
に維持することが重要である。その点に関し、従来の光
ディスク原盤露光装置について説明する。

【０００３】特開平１０−２９３９２８号公報には、微
小移動手段を介して装置本体に固定されているフォーカ
ス機構により光をディスク原盤に照射するヘッドと、デ
ィスク原盤を支持するターンテーブルが搭載されている
移動ステージとを有し、この移動ステージを移動手段に
よりターンテーブルの直径方向に移動させ、レーザ測長
計からのレーザ光をヘッド側面とターンテーブルの側面
とに照射して装置本体に対するヘッドの位置とターンテ
ーブルの位置との差分を求め、微動移動手段により移動
ステージに対するヘッドの位置を補正することが記載さ
れている。

【０００４】特開平１０−２６１２４５号公報には、記
録用のヘッドと、このヘッドを光ディスク原盤の直径方
向に移動させる送りスライダとをピエゾアクチュエータ
により一体化し、送りスライダの送りムラをレーザ干渉
計又はレーザホロスケールにより検出し、ピエゾアクチ
ュエータの伸縮によりヘッドを動作させることで、送り
スライダの微小な送りムラを補正することが記載されて
いる。

【０００５】特開平８−３２９４７６号公報には、移動
可能なスライダに設けられた露光用光学系からの光を光
ディスク原盤に照射する対物レンズを備えた光ディスク
原盤露光装置において、スライダに接続した粗動テーブ
ルにスライダと同一方向に移動可能な第１微動テーブル
を接続し、この第１の微動テーブルにスライダの移動方
向と直交する方向に移動可能に第２微動テーブルを接続
し、スライダの振動を検出し、圧電素子により第１微動
テーブルをスライダの振動と同じ振幅で逆向きに振動さ
せることでスライダの振動を打ち消すことが記載されて
いる。

【０００６】さらに、光ディスク原盤を支持するターン
テーブルの非同期振れ（回転角度に無関係な振れ）によ
るトラッキングピッチへの影響をなくす方法として、特
開平９−１９０６５１号公報に記載されているように、
ターンテーブルの半径方向に非接触に変位センサを設
け、ターンテーブルの原点パルス信号をトリガとして、
予めターンテーブルの各回転位置での振れ量を計測し、
その各回転位置毎の振れ量を平均した平均値をメモリに
蓄積しておき、露光時には測定した振れ量から各回転角
の位置に対応する平均値を減算して非同期振れ量のみを
出力し、この出力値で露光光の照射位置を補正する方法
がある。この方法によれば、光ディスク原盤露光装置で
はターンテーブルの各回転角の位置に無関係な非同期振
れがリアルタイムに出力できることから、露光注でもト
ラックピッチの精度に重大な悪影響を及ぼす非同期振れ
を作業中に直ちに把握して露光作業を中止することがで
き、また、露光光の照射位置を補正することで、ターン
テーブルの非同期振れによる影響を受けないとされてい
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】通常、光ディスク原盤
は、外径に対して数１０μm程度の偏心があり、換言す
れば、重心が数１０μm程度偏った状態でターンテーブ
ルに搭載される。そのため、ターンテーブルは回転時に
働く遠心力により回転部が振れ回り振動が発生する。し
たがって、特開平１０−２９３９２８号公報に記載され
ているように、レーザ測長計からのレーザ光をヘッド側
面とターンテーブルの側面とに照射して装置本体に対す
るヘッドの位置とターンテーブルの位置との差分を求め
る場合に、ターンテーブル側面のレーザ照射位置が回転
角とともに変わってしまい正確な差分を測定することが
できず、したがって、移動ステージに対するヘッドの位
置を補正することができない。

【０００８】特開平１０−２６１２４５号公報に記載さ
れた提案は、送りスライダの送りムラのみの検出結果か
らその送りスライダの送りムラを補正するので、補正の
制度が悪い。これと同様に、特開平８−３２９４７６号
公報に記載された提案も、スライダのみの振動検出結果
から第１微動テーブルを振動させてスライダの振動を打
ち消すので、補正制度が悪い。

【０００９】特開平９−１９０６５１号公報に記載され
た従来例は、前述のように露光光の照射位置を補正する
ことを目的としてターンテーブルの振れ量の平均値を求
めるためには、光ティスク原盤露光装置を一度露光しな
いで動作させなければならない。そための時間は動作さ
せる線速によっても異なるが３０分ないし１時間ほどか
かるので、ワーク毎にこの動作を繰り返すことは非常に
効率が悪い。

【００１０】本発明の目的は、ターンテーブルの回転ム
ラなどの原因により発生する振動を有効に抑制し、ディ
スクとヘッドとの相対位置関係を精緻に維持し得るよう
にすることである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
基台により支持され装着されるディスクと一体に回転駆
動されるターンテーブルと、前記基台により支持され前
記ディスクと対向するヘッドと一体に前記ターンテーブ
ルの半径方向に往復駆動されるスライダと、前記ターン
テーブルの回転時に前記スライダの送り方向における前
記ターンテーブルの振動量を測定するターンテーブル振
動量測定手段と、前記基台に対する前記スライダの位置
の変化に対応する位置検出信号を出力する位置検出手段
と、前記スライダを所望の位置まで移動させる送り指令
信号と前記位置検出信号との差を偏差信号として認識す
る偏差信号認識手段と、前記ターンテーブル振動量検出
手段から出力される出力の周波数及び位相に合せて前記
偏差信号に対応する大きさに調整可能であって前記基台
が受けた振動を相殺する方向の相殺出力を出力する制御
手段と、前記制御手段からの相殺出力により駆動された
ときに前記基台に作用する振動作用点が前記ターンテー
ブルから前記基台への振動作用点と同一平面上になるよ
うに配置された加振器と、を具備する。

【００１２】したがって、回転ムラなどの原因によりタ
ーンテーブルが振動すると、基台がスライダの送り方向
に振動するが、そのときのスライダの送り方向における
ターンテーブルの振動量はターンテーブル振動量測定手
段により検出され、ターンテーブルの振動に起因する基
台の実際の振動量は偏差信号により認識される。このと
き、ターンテーブル振動量検出手段から出力される出力
の周波数及び位相に合せて偏差信号により認識される基
台の振動量の大きさに対応する大きさに調整された相殺
出力が制御手段から出力され、この相殺出力で加振器を
振動させることにより、基台が受けた振動を相殺するこ
とが可能となる。

【００１３】請求項２記載発明は、請求項１記載の発明
において、加振器は前記基台に作用する振動作用点が前
記ターンテーブルから前記基台への振動作用点と同一平
面上であって同一直線上になるように配置されている。

【００１４】したがって、加振器の振動がターンテーブ
ルの軸線を中心として基台に作用する回転モーメントの
発生を抑制し、スライダの送り方向における基台の振動
をさらに精度よく相殺することが可能となる。

【００１５】請求項３記載の発明は、基台により支持さ
れ装着されるディスクと一体に回転駆動されるターンテ
ーブルと、前記基台により支持され前記ディスクと対向
するヘッドと一体に前記ターンテーブルの半径方向に往
復駆動されるスライダと、前記ターンテーブルを回転さ
せたときに前記スライダの送り方向での前記ターンテー
ブルから前記基台への振動伝達力を測定する第一の振動
伝達力測定手段と、前記第一の振動伝達力検出手段から
出力される出力の周波数及び大きさに基づいて前記基台
が受けた振動を相殺する方向の相殺出力を出力するサー
ボ制御手段と、前記サーボ制御手段からの相殺出力によ
り駆動されたときに前記基台に作用する振動作用点が前
記ターンテーブルから前記基台への振動作用点と同一平
面上になるように配置された加振器と、を具備する。

【００１６】したがって、回転ムラなどの原因によりタ
ーンテーブルが振動すると、その振動がスライダの送り
方向の振動として基台に伝達されるが、そのときの基台
に伝達される振動伝達力は第一の振動伝達力測定手段に
より検出され、その第一の振動伝達力検出手段から出力
される出力の周波数及び大きさに基づいてサーボ制御手
段から出力される相殺出力で加振器を振動させることに
より、基台が受けた振動を相殺することが可能となる。

【００１７】請求項４記載の発明は、請求項３記載の発
明において、加振器は前記基台に作用する振動作用点が
前記ターンテーブルから前記基台への振動作用点と同一
平面上であって同一直線上になるように配置されてい
る。

【００１８】したがって、加振器の振動がターンテーブ
ルの軸線を中心として基台に作用する回転モーメントの
発生を抑制し、スライダの送り方向における基台の振動
をさらに精度よく相殺することが可能となる。

【００１９】請求項５記載の発明は、基台により支持さ
れ装着されるディスクと一体に回転駆動されるターンテ
ーブルと、前記基台により支持され前記ディスクと対向
するヘッドと一体に前記ターンテーブルの半径方向に往
復駆動されるスライダと、前記基台に対する前記スライ
ダの位置変化に対応する位置検出信号を出力する位置検
出センサと、前記ターンテーブルを回転させたときに前
記スライダの送り方向での前記ターンテーブルから前記
基台を介して前記位置検出センサへの振動伝達力を測定
する第二の振動伝達力測定手段と、前記第二の振動伝達
力検出手段から出力される出力の周波数及び大きさに基
づいて前記基台が受けた振動を相殺する方向の相殺出力
を出力するサーボ制御手段と、前記サーボ制御手段から
の相殺出力により駆動されたときに前記基台に作用する
振動作用点が前記ターンテーブルから前記基台への振動
作用点と同一平面上になるように配置された加振器と、
を具備する。

【００２０】したがって、回転ムラなどの原因によりタ
ーンテーブルが振動すると、その振動がスライダの送り
方向の振動として基台を介して位置検出センサに伝達さ
れるが、そのときの位置検出センサに伝達される振動伝
達力は第二の振動伝達力測定手段により検出され、その
第二の振動伝達力検出手段から出力される出力の周波数
及び大きさに基づいてサーボ制御手段から出力される相
殺出力で加振器を振動させることにより、基台が受けた
振動を相殺することが可能となる。この場合、第二の振
動伝達力検出手段は位置検出センサへの振動伝達力を測
定し、その測定値により加振器を振動させることによ
り、スライダの振動を抑制することが可能である。

【００２１】請求項６記載の発明は、基台により支持さ
れ装着されるディスクと一体に回転駆動されるターンテ
ーブルと、前記基台により支持され前記ディスクと対向
するヘッドと一体に前記ターンテーブルの半径方向に往
復駆動されるスライダと、前記ターンテーブルを回転さ
せたときに前記スライダの送り方向での前記ターンテー
ブルから前記基台への振動伝達力を測定する第一の振動
伝達力測定手段と、前記基台に対する前記スライダの位
置変化に対応する位置検出信号を出力する位置検出セン
サと、前記ターンテーブルを回転させたときに前記スラ
イダの送り方向での前記ターンテーブルから前記基台を
介して前記位置検出センサへの振動伝達力を測定する第
二の振動伝達力測定手段と、前記第一及び第二の振動伝
達力検出手段から出力される出力の周波数及び大きさに
基づいて前記基台が受けた振動を相殺する方向の相殺出
力を出力するサーボ制御手段と、前記サーボ制御手段か
らの相殺出力により駆動されたときに前記基台に作用す
る振動作用点が前記ターンテーブルから前記基台への振
動作用点と同一平面上になるように配置された加振器
と、を具備する。

【００２２】したがって、回転ムラなどの原因によりタ
ーンテーブルが振動すると、その振動がスライダの送り
方向の振動として基台に伝達されるとともに基台を介し
て位置検出センサに伝達されるが、そのときの基台に伝
達される振動伝達力は第一の振動伝達力測定手段により
検出され、位置検出センサに伝達される振動伝達力は第
二の振動伝達力測定手段により測定され、その第一及び
第二の振動伝達力検出手段から出力される出力の周波数
及び大きさに基づいてサーボ制御手段から出力される相
殺出力で加振器を振動させることにより、基台が受けた
振動を相殺し、さらに、位置検出センサへの振動伝達力
を考慮して加振器を駆動する出力を設定することが可能
であるため、スライダの振動を抑制することが可能であ
る。

【００２３】請求項７記載の発明は、請求項３ないし６
の何れか一記載の発明において、前記サーボ制御手段
は、制御量を力量とする相対的なフィードバック系で構
成されている。

【００２４】したがって、加振器の動作により振動を制
御する制御系の構成要素の特性を直線形として扱うこと
が可能となり、基台の振動をさらに有効に抑制すること
が可能となる。なお、制御量を力量とする相対的なフィ
ードバック系で構成する具体例としては、相殺出力を求
めるためにサーボ制御手段に入力する入力信号を見掛け
上ゼロに収束する構成が挙げられる。

【００２５】請求項８記載の発明は、請求項１ないし７
の何れか一記載の発明において、前記加振器は、コイル
移動型もしくは磁石移動型のボイスコイルモータで構成
され、固有角周波数ωｃと使用回転角周波数ωとの関係
がω／ωｃ＝２^1/2の近似値となるように、一定のバネ
定数をもつ支持バネにより可動部が支持されている。

【００２６】したがって、加振器における振動伝達効率
を大きくし、小型の加振器で基台の振動を抑制すること
が可能となる。

【００２７】請求項９記載の発明は、請求項１ないし８
の何れか一記載の発明において、前記加振器は、コイル
移動型もしくは磁石移動型のボイスコイルモータで構成
され、可動部の質量はディスクの質量と同等に定められ
ている。

【００２８】したがって、ディスクの偏りにより発生す
る振動エネルギーと、これを相殺する加振器の振動エネ
ルギーとを同等の値にすることが容易となり、振動を抑
制する制御がさらに容易である。

【００２９】

【発明の実施の形態】本発明の第一の実施の形態を図１
ないし図４に基づいて説明する。図１は一部を切欠した
光ディスク原盤露光装置の側面図及び電気的接続構造を
示すブロック図、図２は光ディスク原盤露光装置の平面
図、図３は加振器の縦断側面図、図４は各部の振動波形
を示す説明図である。

【００３０】図１において、１は基台である。この基台
１は図示しないが例えば空気圧によるサーボマウンタな
どの除振機構の上に設けられ、この基台１にはＡＣ同期
モータ２が固定的に設けられ、ＡＣ同期モータ２のスピ
ンドル３の先端にはディスク（原盤）４を支持するター
ンテーブル５が固定的に設けられている。このＡＣ同期
モータ２はスピンドル３の回転方向及び回転角を検出す
るためのロータリーエンコーダ６を有している。

【００３１】基台１の上面に設けられたガイド７にはタ
ーンテーブル５の半径方向に往復駆動されるスライダ８
が移動自在に支持され、このスライダ８に固定された移
動台９の先端にヘッド１０が支持されている。このヘッ
ド１０は、レーザ光源１１から照射され露光光学系１２
を通過するレーザ光を偏向するミラー１３と、このミラ
ー１３により偏向されたレーザ光をディスク４の表面に
集光する集光手段１４とを有する。この集光手段１４
は、この例では開口数ＮＡが０．９と同等以上に高い対
物レンズを搭載したボイスコイルアクチュエータにより
構成されている。

【００３２】スライダ８にはこのスライダ８の移動方向
と平行なスケール１５が固定的に設けられ、基台１には
スケール１５の位置情報に応じて位置検出信号を出力す
る位置検出センサ（光センサ）１６が固定的に設けら
れ、このスケール１５と位置検出センサ１６とにより、
基台１に対するスライダ８の位置を検出する位置検出手
段１７が構成されている。もちろん、スライダ８に位置
検出センサ１６を取り付け、基台１にスケール１５を取
り付けて位置検出手段１７を構成しても、基台１に対す
るスライダ８の位置を検出することはできる。

【００３３】基台１の上面には、ターンテーブル５の回
転時にスライダ８の送り方向におけるターンテーブル５
の振動量を測定するターンテーブル振動量測定手段とし
ての非接触型の変位センサ１８が取付金具１９を介して
取り付けられている。本実施の形態では、変位センサ１
８は回転するディスク４の外周面との距離の変化を検出
することでターンテーブル５の振動量を検出するが、ス
ピンドル３の外周面との距離の変化を検出することでも
よい。また、基台１の上面には加振器２０が取付金具２
１を介して取り付けられている。加振器２０の可動部２
２の振動方向はスライダ８の移動方向と平行である。図
２に示すように、本実施の形態において、加振器２０は
スライダ８の移動方向に沿ってターンテーブル５の中心
を通る直線２３に対してＬなる距離を開けて平行な直線
２４上に配置されている。

【００３４】次に、図３を参照して加振器２０の構造に
ついて説明する。加振器２０は、筒状の筐体２５と、そ
れぞれ筐体２５の内周面に固着された継鉄２６、永久磁
石２７、継鉄２８と、外周に駆動コイル２９が装着され
た軸状の可動部３０と、外周部が筐体２５に固定され内
周部で可動部３０の両端を支持する支持バネ３１とによ
り形成されている。駆動コイル２９は継鉄２６の内周面
と、継鉄２８が有する筒状部３２の外周面との間の磁気
ギャップに配設されている。したがって、駆動コイル２
９に電圧を印加することにより可動部３０が軸方向に振
動するように構成されている。

【００３５】次に、図１を参照し電気的接続構造につい
て説明する。光ディスク露光装置全体を制御するコント
ローラ３３の出力ａ，ｂのそれぞれに、ＡＣ同期モータ
２の動作を制御するスピンドルコントローラ３４と、ス
ライダ８を往復駆動させる例えばＤＣリニアモータ（図
示せず）などの駆動部の動作を制御するスライダコント
ローラ３５とが接続され、スライダコントローラ３５に
は偏差表示器３６が接続されている。この偏差表示器３
６は、スライダ８を駆動するリニアモータへの送り指令
信号ｃと、位置検出センサ１６が出力する位置検出信号
ｄとの差としての偏差信号ｅの大きさを表示する。この
偏差信号ｅの大きさは、スケール１５に対する位置検出
センサ１６の相対位置の変化量、すなわち、ターンテー
ブル５の回転時における基台１の振動量に相当する。

【００３６】ロータリーエンコーダ６の出力ｆは一般に
１周を数１０００等分したＡ相、Ｂ相パルスと１周に１
回発生するＺ相パルスとにより構成され、スピンドルコ
ントローラ３４に接続されている。スピンドルコントロ
ーラ３４の出力ｇはＡＣ同期モータ２に接続されてい
る。また、スピンドルコントローラ３４に取り込まれた
ロータリーエンコーダ６のＺ相パルスの出力ｈは、ター
ンテーブル５の回転動作とスライダ８の送り動作との協
調を図るためにスライダコントローラ３５に接続されて
いる。

【００３７】ここで、前述した変位センサ１８から出力
される出力の周波数及び大きさに基づいて出力される出
力ｉを偏差信号ｅに対応する大きさに調整して加振器２
０に相殺出力ｊを出力する制御手段３７が設けられてい
る。この制御手段３７は、変位センサ１８の出力を取り
込む増幅器３８、ローパスフィルタ３９、振幅調整器４
０、コントローラ３３の出力ｋによりＯＮとなるスイッ
チ４１、加振器２０に接続された駆動回路４２を直列に
接続することにより形成されている。

【００３８】このような構成において、ターンテーブル
５とその上にセットされたディスク４はＡＣ同期モータ
２により回転駆動され、スライダ８はリニアモータによ
り駆動される。これにより集光手段１４がディスク４の
所望の位置に移動し、レーザ光源１１からのレーザ光を
ディスク４上に照射して溝を形成する。

【００３９】この原盤露光に際し、回転ムラなどにより
ターンテーブル５が振動すると基台１が振動し、トラッ
キングピッチ精度に影響を及ぼす。そこで基台１の振動
を加振器２０の振動により相殺しようとするものであ
る。以下、その振動の相殺について説明する。

【００４０】ディスク露光には、ターンテーブル５の回
転数を一定にするＣＡＶ駆動方式と、ターンテーブル５
の線速度を一定にするＣＬＶ駆動方式とがあるが、最初
にＣＡＶ駆動方式について説明する。

【００４１】先ず、駆動前にコントローラ３３からの出
力ｋにより制御手段３７のスイッチ４１がＯＮとなる。
ディスク４の内周側から露光動作を行う場合、スライダ
８の移動により集光手段１４が所望の位置に移動した
後、ＡＣ同期モータ２の回転によりターンテーブル５が
ディスク４とともに回転する。このとき、コントローラ
３３の出力ｂ（動作開始指令信号）をＯＦＦにしてスラ
イダ８の送り動作を一次停止する。ターンテーブル５が
ディスク４とともに所望の一定回転数で回転すると、デ
ィスク４の重心の偏りなどがあると、ＡＣ同期モータ２
のスピンドル３からターンテーブル５及びディスク４ま
での回転系全体が振れ回り振動を起こす。このとき、ス
ライダ８の送り方向におけるターンテーブル５の振動量
は変位センサ１８の出力ｉにより検出され、その出力ｉ
は増幅器３８により増幅される。図４（ａ）は増幅器３
８で増幅された後の変位センサ１８の出力で、ローパス
フィルタ３９により高周波成分が除かれた後に、図４
（ｂ）に示すように正弦波の振れ振動信号となる。

【００４２】一方、ＡＣ同期モータ２のスピンドル３か
らターンテーブル５及びディスク４までの回転系全体の
振れ回り振動は基台１の表面に作用する。このときのス
ライダ８の送り方向における基台１の振動はターンテー
ブル５の中心上の位置Ａで基台１の表面に伝達される。
基台１が図１において右方に移動したときはスライダ８
に固定されたスケール１５が位置検出センサ１６に対し
て相対的に逆の左方向に移動し、基台１が図１において
左方に移動したときはスライダ８に固定されたスケール
１５が位置検出センサ１６に対して相対的に逆の右方向
に移動するため、図４（ｃ）に示すように、偏差信号ｅ
は、図同（ｂ）に示す変位センサ１８の出力ｉとは逆位
相となる。

【００４３】変位センサ１８の出力ｉは、ディスク４や
ターンテーブル５の振れ回り振動量についてはある程度
把握できるが、その他の要因を含めた結果としての基台
１の振動量までは正確に把握することができない。そこ
で、本実施の形態では、スライダ８の送り量を制御する
位置検出手段１７の出力により求められる偏差信号ｅに
よって、スライダ８の移動方向における基台１の振動量
を認識し、その認識の基に振幅調整器４０で振幅量を調
整し、その調整値に基づく電圧を駆動回路４２から加振
器２０の駆動コイル２９に印加して加振器２０を振動さ
せる。これにより、加振器２０の振動がその加振器２０
の真下となる位置Ｂで基台１に伝達される。このときの
基台１の位置Ａでの振動と、Ｂ位置での振動とは互いに
相殺される。

【００４４】すなわち、加振器２０の可動部２２は図４
（ｄ）に示す振動波形で振動する。この振動波形の位相
は変位センサ１８の出力ｉの位相と同じであるが、ター
ンテーブル５の回転時の振動によって基台１が図１にお
いて右側に振れるときは、加振器２０の可動部２２を右
側に振らせその反力を基台１に対して左側に向けて作用
させ、逆に基台１が左側に振れるときは、加振器２０の
可動部２２を左側に振らせその反力を基台１に対して右
側に向けて作用させることで、基台１の振動を加振器２
０の振動によって相殺することができる。

【００４５】上記のように、偏差信号ｅの大きさに応じ
て加振器２０を駆動する電圧を調整するが、スライダ８
を駆動するリニアモータへの送り指令信号ｃと、位置検
出センサ１６が出力する位置検出信号ｄとの差を演算す
る処理は、例えばマイクロコンピュータ構成のコントロ
ーラ３３により実行可能で、その演算処理が偏差信号認
識手段に相当する。この場合、認識した偏差信号ｅに基
づいて振幅調整器４０での振幅調整をソフトプログラム
により行うように構成することは可能である。また、作
業者が偏差表示器３６の表示内容を見て偏差信号ｅを認
識し、振幅調整器４０での振幅調整を作業者が手動操作
により行うように構成することも可能である。後者の場
合は、手動操作可能なボリュウムなどを回路中に備えた
振幅調整器４０を用いる。また、偏差表示器３６は作業
者が視覚にて偏差信号を認識する場合に偏差信号認識手
段としての役目を果たす。

【００４６】このように、加振器２０を駆動する電圧を
調整した後に、コントローラ３３から動作開始信号ｂを
出力させ、スライダ８の送り動作を開始することで、デ
ィスク４への溝の加工が行われる。

【００４７】なお、ディスク駆動系の回転ムラに起因す
る基台１の振動量は、ターンテーブル５に対するディス
ク４の装着の仕方によって異なるので、ＣＡＶ駆動方式
の場合はディスク４をターンテーブル５にセットしたと
きに１回行えばよい。

【００４８】次に、ＣＬＶ駆動方式の場合について説明
する。ＣＬＶ駆動方式の場合はディスク４の半径方向に
おけるヘッド１０の位置に応じて、次式に従ってディス
ク４の回転数を変化させるが、そのディスク４の回転数
を変える都度、逐次偏差信号ｅに応じて加振器２０に印
加する電圧を調整する。その電圧調整動作については前
述した動作と同様である。

【００４９】Ｎ＝６０×Ｖ／２πｒ ただし、Ｎはディスク４の回転数（ｒｐｍ）、Ｖはディ
スク４の線速度（ｍ/ｓ）、ｒはディスク４の半径
（ｍ）である。

【００５０】次に、本発明の第二の実施の形態を図５に
基づいて説明する。本実施の形態及びこれに続く他の実
施の形態において、前記実施の形態と同一部分は同一符
号を用い説明も省略する。図５は光ディスク原盤露光装
置の平面図である。

【００５１】図５に示すように、ディスク４の中心に示
す矢印Ａは、ターンテーブル５から基台１の表面に振動
が伝達される位置と振動方向を示し、加振器２０の中心
に示す矢印Ｂは、加振器２０から基台１の表面に振動が
伝達される位置と振動方向とを示すものであるが、本実
施の形態では、図５で理解されるように、加振器２０は
基台１に作用する振動作用点がターンテーブル５から基
台１への振動作用点と同一平面上であって同一直線上に
なるように配置されている。

【００５２】このような構成において、ターンテーブル
５の回転により発生する振動が基台１に伝達されるが、
加振器２０の振動がターンテーブル５の軸線を中心とし
て基台１に作用する回転モーメントの発生を抑制するこ
とができる。これにより、前記実施の形態よりもスライ
ダ８の送り方向における基台１の振動をさらに精度よく
相殺することができる。

【００５３】次に、本発明の第三の実施の形態を図６な
いし図１０に基づいて説明する。図６は一部を切欠した
光ディスク原盤露光装置の側面図及び電気的接続構造を
示すブロック図、図７は一部を切欠した光ディスク原盤
露光装置の平面図である。本実施の形態では、図１に示
した偏差表示器３６は不用である。そして、変位センサ
１８に代えて、ターンテーブル５を回転させたときにス
ライダ８の送り方向でのターンテーブル５から基台１へ
の振動伝達力を測定する第一の振動伝達力測定手段４３
が設けられている。第一の振動伝達力測定手段４３は受
ける機械的な圧力に応じた電気信号を出力する素子であ
ればよく、実施の形態では第一の歪みセンサ４３と称し
て説明する。また、基台１にはネジ４４を締め付けるこ
とによりＡＣ同期モータ２を固定する予圧ブロック４５
が設けられている。

【００５４】図７に示すように、本実施の形態におい
て、加振器２０はスライダ８の移動方向に沿ってターン
テーブル５の中心を通る直線２３に対してＬなる距離を
開けて平行な直線２４上に配置されている。図６及び図
７に示す矢印Ｃはターンテーブル５から基台１に振動が
伝達される位置、矢印Ｄは加振器２０から基台１に振動
が伝達される位置を示す。

【００５５】そして、第一の歪みセンサ４３から出力さ
れる出力の周波数及び大きさに基づいて基台１が受けた
振動を相殺する方向の相殺出力ｊを出力するサーボ制御
手段４６が設けられている。このサーボ制御手段４６
は、第一の歪みセンサ４３の出力ｎを取り込む増幅器３
８ａ、ローパスフィルタ３９、補償回路４７、ゲイン調
整器４８、コントローラ３３の出力ｋによりＯＮとなる
スイッチ４１、加振器２０に接続された駆動回路４２と
を直列に接続することにより形成されている。

【００５６】ここで、増幅器３８ａには第一の歪みセン
サ４３に加わる予圧分に相当する電圧をキャンセル可能
な増幅器であり、補償回路４７はローパスフィルタ３９
の出力（正弦波の振動）を開ループ周波数特性における
ゲイン余有（１０ｄｂ以上）と位相余有（４５度以上）
を調整するためのものである。

【００５７】本実施の形態は、ターンテーブル５から基
台１に伝達される振動を加振器２０の振動により相殺す
ることについては第一の実施の形態と同様であるが、加
振器２０を駆動する相殺出力ｊの生成が異なるので、そ
の相違点についてのみ説明する。

【００５８】ターンテーブル５がディスク４とともに所
望の一定回転数で回転するとき、ディスク４の重心の偏
りなどがあると、ＡＣ同期モータ２のスビンドル３から
ターンテーブル５及びディスク４までの回転系全体が振
れ回り、正弦波状の振動を起こす。このとき、ＣＡＶ駆
動方式であれば一定周波数の正弦波状の振動が基台１に
伝達され、ＣＬＶ駆動方式であればディスク４の露光位
置の半径が大きくなるに従い周波数が下がる正弦波状の
振動が基台１に伝達される。基台１に伝達される振動は
第一の歪みセンサ４３の出力ｎに相当する。その出力ｎ
は増幅器３８ａにより基台１の振動を相殺し得る出力に
増幅され、ローパスフィルタ３９により高周波成分が除
かれて正弦波の振れ振動信号となる。ローパスフィルタ
３９からの出力は補償回路４７により開ループ周波数特
性におけるゲイン余有（１０ｄｂ以上）と位相余有（４
５度以上）とが調整され、ゲイン調整器４８、スイッチ
４１を介して駆動回路４２に入力され、駆動回路４２か
らの相殺出力ｊ（電圧）により加振器２０が駆動され
る。

【００５９】このように第一の歪みセンサ４３の出力ｎ
は基台１に伝達される振動の大きさと周波数の情報をも
ち、その情報により適正な相殺出力ｊを生成して加振器
２０を駆動する。具体的には第一の実施の形態と同様
に、基台１が図６及び図７において右側に振れるとき
は、加振器２０の可動部２２を右側に振らせその反力を
基台１に対して左側に向けて作用させ、逆に基台１が左
側に振れるときは、加振器２０の可動部２２を左側に振
らせその反力を基台１に対して右側に向けて作用させる
ことで、基台１の振動を加振器２０の振動によって相殺
することができる。

【００６０】ここで、図８に第一の歪みセンサ４３の出
力からサーボ制御手段４６により相殺出力ｊを生成する
サーボ系を構成する各要素の特性について説明する。同
図（ａ）は第一の歪みセンサ４３の出力特性図で、歪み
センサ４３の出力（プリロード電圧）は、回転振動伝達
力（歪みセンサ４３に作用する振動伝達力）に対し直線
的に変化することを示している。同図（ｂ）は加振器２
０の振動特性図で、加振器２０の可動部２２の変位量は
印加電圧に対して直線的に変化することを示している。
同図（ｃ）も加振器２０の特性図で、加振器２０の振動
伝達力（基台振動相殺力）は加振器２０の可動部２２の
変位量に対して直線的に変化することを示している。同
図（ｄ）も加振器２０の特性図で、加振器２０の振動伝
達力（基台振動相殺力）は加振器２０への印加電圧に対
して直線的に変化することを示している。

【００６１】このように、サーボ系の特性は直線的であ
るため、基台１の振動をさらに有効に抑制することが可
能となる。

【００６２】次に、加振器２０の計算モデルを図９に、
加振器２０の駆動回路モデルを図１０に示すが、加振器
２０への入力電圧に対する振動伝達力の関係は、以下の
伝達関数Ｇ（ｓ）で示される。

【００６３】Ｇ（ｓ）＝Ｋｆ＊（Ｋ＋Ｃ＊ｓ）／{（ｍ
ｓ²＋Ｃｓ＋Ｋ）＊（Ｒｏ＋Ｒｃ＋Ｌｃｓ）} ここで、Ｋｆは加振器２０の推力定数、ｍは可動部２２
の質量、Ｋは支持バネ３１の定数、Ｃは減衰係数、Ｒｏ
は駆動回路出力抵抗、Ｒｃは加振器２０のコイル抵抗、
Ｌｃは加振器２０のコイルインダクタンスである。

【００６４】次に、本発明の第四の実施の形態を図１１
に基づいて説明する。図１１は一部を切欠した光ディス
ク原盤露光装置の平面図である。

【００６５】図１１に示すように、ディスク４の中心に
示す矢印Ｃは、ターンテーブル５から基台１の表面に振
動が伝達される位置と振動方向を示し、加振器２０の中
心に示す矢印Ｄは、加振器２０から基台１の表面に振動
が伝達される位置と振動方向とを示すものであるが、本
実施の形態では、図１１で理解されるように、加振器２
０は基台１に作用する振動作用点がターンテーブル５か
ら基台１への振動作用点と同一平面上であって同一直線
上になるように配置されている。

【００６６】このような構成において、ターンテーブル
５の回転により発生する振動が基台１に伝達されるが、
加振器２０の振動がターンテーブル５の軸線を中心とし
て基台１に作用する回転モーメントの発生を抑制するこ
とができる。これにより、前記実施の形態よりもスライ
ダ８の送り方向における基台１の振動をさらに精度よく
相殺することができる。

【００６７】次に、本発明の第五の実施の形態を図１２
に基づいて説明する。図１２は一部を切欠した光ディス
ク原盤露光装置の側面図及び電気的接続構造を示すブロ
ック図である。

【００６８】本実施の形態では図６及び図７に示した第
一の歪みセンサは不用である。基台１には、位置検出セ
ンサ１６の取付台４９を挟持する第二の振動伝達力測定
手段５０及び予圧ブロック５１と、この予圧ブロック５
１を取付台４９に押圧するネジ５２とが設けられてい
る。第二の振動伝達力測定手段５０は受ける機械的な圧
力に応じた電気信号を出力する素子であればよく、本実
施の形態では第二の歪みセンサ５０と称して説明する。
この第二の歪みセンサ５０は、ターンテーブル５を回転
させたときにスライダ８の送り方向でのターンテーブル
５から基台１を介して位置検出センサ１６の取付台４９
への振動伝達力を測定する。

【００６９】そして、第二の歪みセンサ５０から出力さ
れる出力の周波数及び大きさに基づいて基台１が受けた
振動を相殺する方向の相殺出力を出力するサーボ制御手
段５３が設けられている。このサーボ制御手段５３は、
第二の歪みセンサ５０の出力ｏを取り込む増幅器３８
ｂ、ローパスフィルタ３９、補償回路４７、ゲイン調整
器４８、コントローラ３３の出力ｋによりＯＮとなるス
イッチ４１、加振器２０に接続された駆動回路４２とを
直列に接続することにより形成されている。

【００７０】本実施の形態は、ターンテーブル５から基
台１に伝達される振動を加振器２０の振動により相殺す
ることについては前記実施の形態と同様であるが、加振
器２０を駆動する相殺出力ｊの生成が異なるので、その
相違点についてのみ説明する。

【００７１】ターンテーブル５がディスク４とともに所
望の一定回転数で回転すると、ディスク４の重心の偏り
などがあると、ＡＣ同期モータ２のスピンドル３からタ
ーンテーブル５及びディスク４までの回転系全体が振れ
回り、正弦波状の振動を起こす。このとき、ＣＡＶ駆動
方式であれば一定周波数の正弦波状の振動が基台１に伝
達され、ＣＬＶ駆動方式であればディスク４の露光位置
の半径が大きくなるに従い周波数が下がる正弦波状の振
動が基台１に伝達される。基台１に伝達される振動はさ
らに第二の歪みセンサ５０を介して位置検出センサ１６
の取付台４９に伝達される。このときに第二の歪みセン
サ５０は位置検出センサ１６と取付台４９との合計質量
と伝達される振動加速度の積で表わされる出力ｏを発生
させる。その出力ｏは増幅器３８ｂにより所望の出力に
増幅され、ローパスフィルタ３９により高周波成分が除
かれて正弦波の振れ振動信号となる。ローパスフィルタ
３９からの出力は補償回路４７により調整され、ゲイン
調整器４８、スイッチ４１を介して駆動回路４２に入力
され、駆動回路４２の相殺出力ｊ（電圧）により加振器
２０が駆動される。

【００７２】このように第二の歪みセンサ５０の出力ｏ
は基台１及び位置検出センサ１６に伝達される振動の大
きさと周波数の情報をもち、その情報により適正な相殺
出力ｊを生成して加振器２０を駆動する。これにより、
基台１の振動を加振器２０の振動によって相殺すること
ができる。

【００７３】さらに、第二の歪みセンサ５０は位置検出
センサ１６への振動伝達力を測定し、その測定値により
加振器２０を振動させることにより、スライダ８の振動
を抑制する制御も可能である。

【００７４】次に、本発明の第六の実施の形態を図１３
に基づいて説明する。図１３は一部を切欠した光ディス
ク原盤露光装置の側面図及び電気的接続構造を示すブロ
ック図である。

【００７５】本実施の形態は、図６及び図７に示した第
一の歪みセンサ４３と、図１２に示した第二の歪みセン
サ５０とを備えている。これらの歪みセンサ４３，５０
及びその支持構造、並びに信号発生動作については前述
した動作と同様につき説明も省略する。

【００７６】第一及び第二の歪みセンサ４３，５０から
出力される出力の周波数及び大きさに基づいて相殺出力
を出力するサーボ制御手段５４について説明する。この
サーボ制御手段５４は、第一の歪みセンサ４３の出力ｎ
を取り込む増幅器３８ａ、ローパスフィルタ３９、加算
器５５、補償回路４７、ゲイン調整器４８、コントロー
ラ３３の出力ｋによりＯＮとなるスイッチ４１、加振器
２０に接続された駆動回路４２を直列に接続し、第二の
歪みセンサ５０の出力ｏを取り込む増幅器３８ｂ、ロー
パスフィルタ３９、コントローラ３３の出力ｐによりＯ
Ｎとなるスイッチ４１を直列に接続し、二つのローパス
フィルタ３９の出力を加算器５５で加算するように構成
されている。

【００７７】このような構成において、ディスク４の重
心の偏りなどがあると、ＡＣ同期モータ２のスピンドル
３からターンテーブル５及びディスク４までの回転系全
体が振れ回り、正弦波状の振動を起こす。基台１に伝達
される振動は第一の歪みセンサ４３の出力ｎに相当す
る。その出力ｎは増幅器３８ａにより所望の値に増幅さ
れ、ローパスフィルタ３９により高周波成分が除かれて
加算器５５に入力される。

【００７８】他方では、基台１に伝達される振動はさら
に第二の歪みセンサ５０を介して位置検出センサ１６の
取付台４９に伝達される。このときに第二の歪みセンサ
５０は位置検出センサ１６と取付台４９との合計質量と
伝達される振動加速度の積で表わされる出力ｏを発生さ
せる。その出力ｏは増幅器３８ｂにより所望の出力に増
幅され、ローパスフィルタ３９により高周波成分が除か
れて加算器５５に入力される。

【００７９】二つのローパスフィルタ３９からの出力は
加算器５５により加算され、補償回路４７により開ルー
プ周波数特性におけるゲイン余有（１０ｄｂ以上）と位
相余有（４５度以上）とが調整され、ゲイン調整器４
８、スイッチ４１を介して駆動回路４２に入力され、駆
動回路４２の相殺出力ｊ（電圧）により加振器２０が駆
動される。

【００８０】このように第一の歪みセンサ４３の出力ｎ
は基台１に伝達される振動の大きさと周波数の情報をも
ち、第二の歪みセンサ５０は基台１を介して位置検出セ
ンサ１６に伝達される振動の大きさと周波数の情報をも
ち、それらの情報により適正な相殺出力ｊを生成して加
振器２０を駆動することがでするため、基台１及びスラ
イダ８の振動を抑制することができる。

【００８１】第一ないし第六の実施の形態において使用
した加振器２０は、可動部２２の質量ｍがディスク４の
質量と等しく設定されている。したがって、ディスク４
の偏りにより発生する振動エネルギーと、これを相殺す
る加振器２０の振動エネルギーとを同等の値にすること
が容易となり、振動を抑制する制御がさらに容易とな
る。

【００８２】また、加振器２０から基台１への振動の伝
達率Ｔａ（振動伝達力Ｐｔと可動部２２に加える力Ｐと
の比Ｐｔ/Ｐ）は以下の式により表わされる。

【００８３】Ｔａ＝{１＋(２ζω／ｐ)²}^1/2／[{１−
(ω／ｐ)²}²＋(２ζω／ｐ)²]^1/2 ここで、ζ＝Ｃ／２＊（ｍＫ）^1/2、ω：使用回転角周
波数 ｐ＝（Ｋ／ｍ）^1/2＝ωｃ、ωｃ：固有角周波数 加振器２０の固有角周波数ωｃを使用回転角周波数ωに
対してω／ωｃの近似値になるように支持バネ３１のバ
ネ定数を設定することにより、可動部２２の加振による
振動伝達効率を大きくすることが可能となり、小さい加
振器２０で基台１の振動を相殺することができる。

【００８４】また、図６及び図１３に示す第一の歪みセ
ンサ４３、図１２及び図１３に示す第二の歪みセンサ５
０の出力が見掛け上ゼロに収束する相対的なフィードバ
ック系を構成することにより、加振器２０に入力する相
殺出力ｊを生成するサーボ系の全ての要素で直線の特性
が得られ（図８参照）、制御特性を向上させることがで
きる。

【００８５】

【発明の効果】請求項１記載の発明によれば、基台によ
り支持されたターンテーブルと、基台により支持されて
ヘッドと一体にターンテーブルの半径方向に往復駆動さ
れるスライダとを具備し、ターンテーブルの回転時にス
ライダの送り方向におけるターンテーブルの振動量を測
定するとともに、スライダを所望の位置まで移動させる
送り指令信号とスライダの位置変化に対応する位置検出
信号との差となる偏差信号から基台の振動量を検出し、
ターンテーブル振動の位相に合せて基台の振動を相殺す
る相殺出力を制御手段により出力させ、この相殺出力に
より加振器を振動させ、この加振器の振動を基台に伝え
るようにしたので、ターンテーブルの回転ムラなどによ
る基台の振動を加振器の振動によって相殺することがで
きる。

【００８６】請求項２記載発明によれば、請求項１記載
の発明において、加振器は基台に作用する振動作用点が
ターンテーブルから基台への振動作用点と同一平面上で
あって同一直線上になるように配置されているので、加
振器の振動がターンテーブルの軸線を中心として基台に
作用する回転モーメントの発生を抑制し、スライダの送
り方向における基台の振動をさらに精度よく相殺するこ
とができる。

【００８７】請求項３記載の発明によれば、基台により
支持されたターンテーブルと、基台により支持されてヘ
ッドと一体にターンテーブルの半径方向に往復駆動され
るスライダとを具備し、ターンテーブルの回転時にスラ
イダの送り方向でのターンテーブルから基台への振動伝
達力を測定し、ターンテーブル振動の周波数の周期と同
期して測定される基台の振動を相殺する相殺出力をサー
ボ制御手段により出力させ、この相殺出力により加振器
を振動させ、この加振器の振動を基台に伝えるようにし
たので、ターンテーブルの回転ムラなどによる基台の振
動を加振器の振動によって相殺することができる。

【００８８】請求項４記載の発明によれば、請求項３記
載の発明において、加振器は前記基台に作用する振動作
用点が前記ターンテーブルから前記基台への振動作用点
と同一平面上であって同一直線上になるように配置され
ているので、加振器の振動がターンテーブルの軸線を中
心として基台に作用する回転モーメントの発生を抑制
し、スライダの送り方向における基台の振動をさらに精
度よく相殺することができる。

【００８９】請求項５記載の発明によれば、基台により
支持されたターンテーブルと、基台により支持されてヘ
ッドと一体にターンテーブルの半径方向に往復駆動され
るスライダと、基台に対するスライダの位置変化に対応
する位置検出信号を出力する位置検出センサとを具備
し、ターンテーブルの回転時にスライダの送り方向での
ターンテーブルから基台を介して位置検出センサへの振
動伝達力を測定し、ターンテーブルの振動の周波数の周
期に同期して位置検出センサに伝達される振動を相殺す
る相殺出力をサーボ制御手段により出力させ、この相殺
出力により加振器を振動させる、この加振器の振動を基
台に伝えるようにしたので、ターンテーブルの回転ムラ
などによる基台の振動を加振器の振動によって相殺する
ことができ、また、スライダの振動を抑制することがで
きる。

【００９０】請求項６記載の発明によれば、基台により
支持されたターンテーブルと、基台により支持されてヘ
ッドと一体にターンテーブルの半径方向に往復駆動され
るスライダと、基台に対するスライダの位置変化に対応
する位置検出信号を出力する位置検出センサとを具備
し、ターンテーブルの回転時にスライダの送り方向での
ターンテーブルから基台への振動伝達力を測定するとと
もに、スライダの送り方向でのターンテーブルから基台
を介して位置検出センサへの振動伝達力を測定し、ター
ンテーブルの振動の周波数の周期に同期して基台及び位
置検出センサに伝達される振動を相殺する相殺出力をサ
ーボ制御手段により出力させ、この相殺出力により加振
器を振動させる、この加振器の振動を基台に伝えるよう
にしたので、ターンテーブルの回転ムラなどによる基台
の振動を加振器の振動によって相殺することができ、ま
た、スライダの振動を抑制することができる。

【００９１】請求項７記載の発明によれば、請求項３な
いし６の何れか一記載の発明において、サーボ制御手段
は、制御量を力量とする相対的なフィードバック系で構
成されているので、加振器の動作により振動を制御する
制御系の構成要素の特性を直線形として扱うことが可能
となり、基台の振動をさらに有効に抑制することができ
る。

【００９２】請求項８記載の発明によれば、請求項１な
いし７の何れか一記載の発明において、加振器は、コイ
ル移動型もしくは磁石移動型のボイスコイルモータで構
成され、固有角周波数ωｃと使用回転角周波数ωとの関
係がω／ωｃ＝２^1/2の近似値となるように、一定のバ
ネ定数をもつ支持バネにより可動部が支持されているの
で、加振器における振動伝達効率を大きくし、小型の加
振器で基台の振動を抑制することができる。

【００９３】請求項９記載の発明によれば、請求項１な
いし８の何れか一記載の発明において、前記加振器は、
コイル移動型もしくは磁石移動型のボイスコイルモータ
で構成され、可動部の質量はディスクの質量と同等に定
められているので、ディスクの偏りにより発生する振動
エネルギーと、これを相殺する加振器の振動エネルギー
とを同等の値にすることが容易となり、振動を抑制する
制御がさらに容易である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第一の実施の形態における一部を切欠
した光ディスク原盤露光装置の側面図及び電気的接続構
造を示すブロック図である。

【図２】光ディスク原盤露光装置の平面図である。

【図３】加振器の縦断側面図である。

【図４】各部の振動波形を示す説明図である。

【図５】本発明の第二の実施の形態における一部を断面
にした光ディスク原盤露光装置の平面図である。

【図６】本発明の第三の実施の形態における一部を切欠
した光ディスク原盤露光装置の側面図及び電気的接続構
造を示すブロック図である。

【図７】一部を切欠した光ディスク原盤露光装置の平面
図である。

【図８】（ａ）は第一の歪みセンサの出力特性図、
（ｂ）（ｃ）（ｄ）は加振器の振動特性図である。

【図９】加振器の計算モデルを示す説明図である。

【図１０】加振器の駆動回路モデルを示す説明図であ
る。

【図１１】本発明の第四の実施の形態における一部を断
面にした光ディスク原盤露光装置の平面図である。

【図１２】本発明の第五の実施の形態における一部を切
欠した光ディスク原盤露光装置の側面図及び電気的接続
構造を示すブロック図である。

【図１３】本発明の第六の実施の形態における一部を切
欠した光ディスク原盤露光装置の側面図及び電気的接続
構造を示すブロック図である。

【符号の説明】

１ 基台 ４ ディスク ５ ターンテーブル ８ スライダ、 １０ ヘッド １８ ターンテーブル振動量測定手段 １６ 位置検出センサ １７ 位置検出手段 ２０ 加振器 ２２ 可動部 ３１ 支持バネ ３７ 制御手段 ４３ 第一の振動伝達力測定手段 ４６ サーボ制御手段 ５０ 第二の振動伝達力測定手段 ５３，５４ サーボ制御手段

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基台により支持され装着されるディスク
   と一体に回転駆動されるターンテーブルと、 前記基台により支持され前記ディスクと対向するヘッド
   と一体に前記ターンテーブルの半径方向に往復駆動され
   るスライダと、 前記ターンテーブルの回転時に前記スライダの送り方向
   における前記ターンテーブルの振動量を測定するターン
   テーブル振動量測定手段と、 前記基台に対する前記スライダの位置の変化に対応する
   位置検出信号を出力する位置検出手段と、 前記スライダを所望の位置まで移動させる送り指令信号
   と前記位置検出信号との差を偏差信号として認識する偏
   差信号認識手段と、 前記ターンテーブル振動量検出手段から出力される出力
   の周波数及び位相に合せて前記偏差信号に対応する大き
   さに調整可能であって前記基台が受けた振動を相殺する
   方向の相殺出力を出力する制御手段と、 前記制御手段からの相殺出力により駆動されたときに前
   記基台に作用する振動作用点が前記ターンテーブルから
   前記基台への振動作用点と同一平面上になるように配置
   された加振器と、を具備することを特徴とする光ディス
   ク原盤露光装置。
2. 【請求項２】 加振器は前記基台に作用する振動作用点
   が前記ターンテーブルから前記基台への振動作用点と同
   一平面上であって同一直線上になるように配置されてい
   ることを特徴とする請求項１記載の光ディスク原盤露光
   装置。
3. 【請求項３】 加振器は前記基台に作用する振動作用点
   が前記ターンテーブルから前記基台への振動作用点と同
   一平面上であって同一直線上になるように配置されてい
   ることを特徴とする請求項３記載の光ディスク原盤露光
   装置。
4. 【請求項４】 基台により支持され装着されるディスク
   と一体に回転駆動されるターンテーブルと、前記基台に
   より支持され前記ディスクと対向するヘッドと一体に前
   記ターンテーブルの半径方向に往復駆動されるスライダ
   と、 前記基台に対する前記スライダの位置変化に対応する位
   置検出信号を出力する位置検出センサと、 前記ターンテーブルを回転させたときに前記スライダの
   送り方向での前記ターンテーブルから前記基台を介して
   前記位置検出センサへの振動伝達力を測定する第二の振
   動伝達力測定手段と、 前記第二の振動伝達力検出手段から出力される出力の周
   波数及び大きさに基づいて前記基台が受けた振動を相殺
   する方向の相殺出力を出力するサーボ制御手段と、 前記サーボ制御手段からの相殺出力により駆動されたと
   きに前記基台に作用する振動作用点が前記ターンテーブ
   ルから前記基台への振動作用点と同一平面上になるよう
   に配置された加振器と、を具備することを特徴とする光
   ディスク原盤露光装置。
5. 【請求項５】 基台により支持され装着されるディスク
   と一体に回転駆動されるターンテーブルと、 前記基台により支持され前記ディスクと対向するヘッド
   と一体に前記ターンテーブルの半径方向に往復駆動され
   るスライダと、 前記ターンテーブルを回転させたときに前記スライダの
   送り方向での前記ターンテーブルから前記基台への振動
   伝達力を測定する第一の振動伝達力測定手段と、 前記基台に対する前記スライダの位置変化に対応する位
   置検出信号を出力する位置検出センサと、 前記ターンテーブルを回転させたときに前記スライダの
   送り方向での前記ターンテーブルから前記基台を介して
   前記位置検出センサへの振動伝達力を測定する第二の振
   動伝達力測定手段と、 前記第一及び第二の振動伝達力検出手段から出力される
   出力の周波数及び大きさに基づいて前記基台が受けた振
   動を相殺する方向の相殺出力を出力するサーボ制御手段
   と、 前記サーボ制御手段からの相殺出力により駆動されたと
   きに前記基台に作用する振動作用点が前記ターンテーブ
   ルから前記基台への振動作用点と同一平面上になるよう
   に配置された加振器と、を具備する光ディスク原盤露光
   装置。
6. 【請求項６】 前記サーボ制御手段は、制御量を力量と
   する相対的なフィードバック系で構成されている請求項
   ３ないし６の何れか一記載の光ディスク原盤露光装置。
7. 【請求項７】 前記加振器は、コイル移動型もしくは磁
   石移動型のボイスコイルモータで構成され、固有角周波
   数ωｃと使用回転角周波数ωとの関係がω／ωｃ＝２
   ^1/2の近似値となるように、一定のバネ定数をもつ支持
   バネにより可動部が支持されている請求項１ないし７の
   何れか一記載の光ディスク原盤露光装置。
8. 【請求項８】 前記加振器は、コイル移動型もしくは磁
   石移動型のボイスコイルモータで構成され、可動部の質
   量はディスクの質量と同等に定められている請求項１な
   いし８の何れか一記載の光ディスク原盤露光装置。