JP2002192151A - 洗浄装置およびこれを用いた洗浄方法 - Google Patents
洗浄装置およびこれを用いた洗浄方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 洗浄処理コストを低減し、かつ被洗浄材への
イオン性物質の再付着を防止する洗浄装置を得る。 【解決手段】 洗浄液８に、被洗浄材７と第１電極３と
第２電極４とが浸漬され、第１電極３と第２電極４との
間にイオン交換性材料２がある。電源６により第１電極
３と第２電極４との間に電圧を印加すると、残留した薬
液が電離してなる陽イオンと陰イオンが第１電極（陽
極）３と、第２電極（陰極）４とに電気泳動し、イオン
交換性材料２に捕捉され除去される。
イオン性物質の再付着を防止する洗浄装置を得る。 【解決手段】 洗浄液８に、被洗浄材７と第１電極３と
第２電極４とが浸漬され、第１電極３と第２電極４との
間にイオン交換性材料２がある。電源６により第１電極
３と第２電極４との間に電圧を印加すると、残留した薬
液が電離してなる陽イオンと陰イオンが第１電極（陽
極）３と、第２電極（陰極）４とに電気泳動し、イオン
交換性材料２に捕捉され除去される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば金属材料、
Ｓｉウエハまたはセラミックス材料等を薬液により表面
処理した際に、残留した薬液を洗浄して除去する洗浄装
置とこれを用いた洗浄方法に関するものである。
Ｓｉウエハまたはセラミックス材料等を薬液により表面
処理した際に、残留した薬液を洗浄して除去する洗浄装
置とこれを用いた洗浄方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、めっき液、エッチング液または酸
化処理液などの薬液を用いて金属やセラミックス等の材
料を表面処理した場合、純水洗浄により材料表面に残留
する薬液を除去していた。即ち、上記純水による洗浄と
しては、純水をオーバーフローさせながら、被洗浄物で
あるウェハを洗浄する方法が、特開平８―３１７８２号
公報に記載されている。まず、薬液処理したウェハを常
温の純水中に浸漬し、純水をオーバーフローさせながら
洗浄する。これによって、ウェハ表面に局所的に付着し
ている残留薬液が除去される。次に５０℃〜沸点までの
間の所定の温度に設定した純水中にウェハを浸漬し、純
水をオーバーフローさせながら洗浄するものである。
化処理液などの薬液を用いて金属やセラミックス等の材
料を表面処理した場合、純水洗浄により材料表面に残留
する薬液を除去していた。即ち、上記純水による洗浄と
しては、純水をオーバーフローさせながら、被洗浄物で
あるウェハを洗浄する方法が、特開平８―３１７８２号
公報に記載されている。まず、薬液処理したウェハを常
温の純水中に浸漬し、純水をオーバーフローさせながら
洗浄する。これによって、ウェハ表面に局所的に付着し
ている残留薬液が除去される。次に５０℃〜沸点までの
間の所定の温度に設定した純水中にウェハを浸漬し、純
水をオーバーフローさせながら洗浄するものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の純水洗浄方法では、イオン性物質である残留薬液が
再付着する可能性は少ないものの、純水をオーバーフロ
ーさせるため、多量の純水が必要となり、廃水処理も考
慮するとコストアップにつながり、オーバーフローが不
十分であれば洗浄中にイオン性物質が残留するという課
題があった。
来の純水洗浄方法では、イオン性物質である残留薬液が
再付着する可能性は少ないものの、純水をオーバーフロ
ーさせるため、多量の純水が必要となり、廃水処理も考
慮するとコストアップにつながり、オーバーフローが不
十分であれば洗浄中にイオン性物質が残留するという課
題があった。
【０００４】本発明はかかる課題を解消するためになさ
れたもので、洗浄処理コストを低減し、かつ被洗浄材へ
のイオン性物質の再付着を防止した洗浄装置およびこれ
を用いた洗浄方法を得ることを目的とする。
れたもので、洗浄処理コストを低減し、かつ被洗浄材へ
のイオン性物質の再付着を防止した洗浄装置およびこれ
を用いた洗浄方法を得ることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明に係る第１の洗浄
装置は、被洗浄材を洗浄液に浸漬して洗浄する洗浄装置
において、上記洗浄液に浸漬された第１電極と第２電
極、上記第１電極と第２電極との間に電圧を印加する電
源、並びに上記第１電極と第２電極との間に設けられた
イオン交換性材料を備えたものである。
装置は、被洗浄材を洗浄液に浸漬して洗浄する洗浄装置
において、上記洗浄液に浸漬された第１電極と第２電
極、上記第１電極と第２電極との間に電圧を印加する電
源、並びに上記第１電極と第２電極との間に設けられた
イオン交換性材料を備えたものである。
【０００６】本発明に係る第２の洗浄装置は、上記第１
の洗浄装置において、第１電極と第２電極は、第１電極
と第２電極の間に被洗浄材があるように設けられている
ものである。
の洗浄装置において、第１電極と第２電極は、第１電極
と第２電極の間に被洗浄材があるように設けられている
ものである。
【０００７】本発明に係る第３の洗浄装置は、上記第１
または第２の洗浄装置において、被洗浄材とイオン交換
性材料を分離するようにセパレータが設けられているも
のである。
または第２の洗浄装置において、被洗浄材とイオン交換
性材料を分離するようにセパレータが設けられているも
のである。
【０００８】本発明に係る第４の洗浄装置は、上記第１
ないし第３のいずれかの洗浄装置において、イオン交換
性材料が陽イオン交換性材料と陰イオン交換性材料とを
混合したものである。
ないし第３のいずれかの洗浄装置において、イオン交換
性材料が陽イオン交換性材料と陰イオン交換性材料とを
混合したものである。
【０００９】本発明に係る第５の洗浄装置は、上記第１
ないし第３のいずれかの洗浄装置において、陰極電極近
傍には陽イオン交換性材料を、陽極電極近傍には陰イオ
ン交換性材料が設けられているものである。
ないし第３のいずれかの洗浄装置において、陰極電極近
傍には陽イオン交換性材料を、陽極電極近傍には陰イオ
ン交換性材料が設けられているものである。
【００１０】本発明に係る第１の洗浄方法は、上記第１
ないし第５のいずれかの洗浄装置に被洗浄材を浸漬し、
第１電極と第２電極との間に電圧を印加し、イオン性物
質を上記電極に電気泳動させ、イオン交換性材料に上記
イオン性物質を捕捉して除去する方法である。
ないし第５のいずれかの洗浄装置に被洗浄材を浸漬し、
第１電極と第２電極との間に電圧を印加し、イオン性物
質を上記電極に電気泳動させ、イオン交換性材料に上記
イオン性物質を捕捉して除去する方法である。
【００１１】本発明に係る第２の洗浄方法は、上記第１
の洗浄方法において、第１電極と第２電極との間に電圧
を印加したままで、洗浄液から被洗浄材を引き上げる工
程を施す方法である。
の洗浄方法において、第１電極と第２電極との間に電圧
を印加したままで、洗浄液から被洗浄材を引き上げる工
程を施す方法である。
【００１２】
【発明の実施の形態】実施の形態１．本発明の第１の実
施の形態の洗浄装置は、洗浄液に、被洗浄材と第１電極
と第２電極とを浸漬し、上記第１電極と第２電極との間
にイオン交換性材料を介在させ、上記第１電極と第２電
極との間に電圧を印加する電源を備えたものであり、被
処理材に残留していた薬液が洗浄液中で陽イオンと陰イ
オンとなり、これらのイオンが、第１電極と第２電極と
の間に電圧を印加することにより、電気泳動によって被
洗浄材から電極に移動し、移動中にイオン交換性材料で
捕捉されるものである。上記のように、洗浄液をオーバ
ーフローさせずに被洗浄材を除去できるため、従来に比
べて廃水処理量を低減でき、残留した薬液はイオン交換
性材料で捕捉されるので、被洗浄材への再付着が起こら
ず、さらに、洗浄液は常に高純度に維持される。また、
残留した薬液は、濃度勾配に加えて、電気泳動によって
拡散が促進されるため、被洗浄材に付着した薬液の除去
が促進される。なお、被洗浄材は第１電極と第２電極と
の間に浸漬することにより、効率よく洗浄できる。
施の形態の洗浄装置は、洗浄液に、被洗浄材と第１電極
と第２電極とを浸漬し、上記第１電極と第２電極との間
にイオン交換性材料を介在させ、上記第１電極と第２電
極との間に電圧を印加する電源を備えたものであり、被
処理材に残留していた薬液が洗浄液中で陽イオンと陰イ
オンとなり、これらのイオンが、第１電極と第２電極と
の間に電圧を印加することにより、電気泳動によって被
洗浄材から電極に移動し、移動中にイオン交換性材料で
捕捉されるものである。上記のように、洗浄液をオーバ
ーフローさせずに被洗浄材を除去できるため、従来に比
べて廃水処理量を低減でき、残留した薬液はイオン交換
性材料で捕捉されるので、被洗浄材への再付着が起こら
ず、さらに、洗浄液は常に高純度に維持される。また、
残留した薬液は、濃度勾配に加えて、電気泳動によって
拡散が促進されるため、被洗浄材に付着した薬液の除去
が促進される。なお、被洗浄材は第１電極と第２電極と
の間に浸漬することにより、効率よく洗浄できる。
【００１３】本実施の形態に係わる洗浄液としては、誘
電率の大きい純水またはアルコールが用いられる。上記
被洗浄材としては、例えば銅、銅合金、鉄もしくはニッ
ケル等の金属、Ｓｉウェハまたはセラミックスである。
上記第１、第２電極に印加する電源は、洗浄液中で残留
薬液が電離してなるイオン性物質（陽イオンと陰イオ
ン）をイオン交換性材料まで電気泳動させるためのもの
で、陽極になる電極に向かって陰イオンが、また陰極に
なる電極に向かって陽イオンがそれぞれ移動する。電源
としては、直流電源がイオン性物質の移動を促進させる
ため好ましく、電極の材料として、ステンレス鋼や白金
など、純水中で耐食性を有する材料を用いる。また電極
の形状は板、箔、メッシュなどがあるが、特に制限はな
い。
電率の大きい純水またはアルコールが用いられる。上記
被洗浄材としては、例えば銅、銅合金、鉄もしくはニッ
ケル等の金属、Ｓｉウェハまたはセラミックスである。
上記第１、第２電極に印加する電源は、洗浄液中で残留
薬液が電離してなるイオン性物質（陽イオンと陰イオ
ン）をイオン交換性材料まで電気泳動させるためのもの
で、陽極になる電極に向かって陰イオンが、また陰極に
なる電極に向かって陽イオンがそれぞれ移動する。電源
としては、直流電源がイオン性物質の移動を促進させる
ため好ましく、電極の材料として、ステンレス鋼や白金
など、純水中で耐食性を有する材料を用いる。また電極
の形状は板、箔、メッシュなどがあるが、特に制限はな
い。
【００１４】本実施の形態において、被洗浄材とイオン
交換性材料を分離するようにセパレータを設けてもよ
く、洗浄中に、イオン交換性材料が被洗浄材に付着する
のを防止することができる。なお、セパレータの孔は
０．５〜１００μｍであるのが、セパレータ中を上記イ
オンが容易に移動し、かつ被洗浄材とイオン交換性材料
が分離されるため好ましい。
交換性材料を分離するようにセパレータを設けてもよ
く、洗浄中に、イオン交換性材料が被洗浄材に付着する
のを防止することができる。なお、セパレータの孔は
０．５〜１００μｍであるのが、セパレータ中を上記イ
オンが容易に移動し、かつ被洗浄材とイオン交換性材料
が分離されるため好ましい。
【００１５】本実施の形態に係わるイオン交換性材料
は、例えば純水等洗浄液中で残留薬液が電離したことに
よる陽イオンと陰イオンとを捕捉して固定するもので、
陽イオン交換性材料と陰イオン交換性材料とを混合して
用いると、各種薬液の洗浄に適応できる。その場合、陰
極電極近傍には陽イオン交換性材料を、陽極電極近傍に
は陰イオン交換性材料を設けることにより、効果的に洗
浄することができる。イオン交換によって生じた水素イ
オンと水酸イオンは再結合して水となるが、陽イオン交
換性材料は陽イオン（例えば、Ｎａ、Ｋ等のアルカリ金
属イオン、Ａｇ、Ｃｕ等の金属イオン）の除去に用いら
れる。陰イオン交換性材料は陰イオン（例えば、Ｃｌ、
Ｂｒ等のハロゲンイオン、ＳＯ4、ＮＯ3等の酸化物イオ
ン、蟻酸、酢酸、フタル酸等の有機酸イオン）の除去に
用いられる。
は、例えば純水等洗浄液中で残留薬液が電離したことに
よる陽イオンと陰イオンとを捕捉して固定するもので、
陽イオン交換性材料と陰イオン交換性材料とを混合して
用いると、各種薬液の洗浄に適応できる。その場合、陰
極電極近傍には陽イオン交換性材料を、陽極電極近傍に
は陰イオン交換性材料を設けることにより、効果的に洗
浄することができる。イオン交換によって生じた水素イ
オンと水酸イオンは再結合して水となるが、陽イオン交
換性材料は陽イオン（例えば、Ｎａ、Ｋ等のアルカリ金
属イオン、Ａｇ、Ｃｕ等の金属イオン）の除去に用いら
れる。陰イオン交換性材料は陰イオン（例えば、Ｃｌ、
Ｂｒ等のハロゲンイオン、ＳＯ4、ＮＯ3等の酸化物イオ
ン、蟻酸、酢酸、フタル酸等の有機酸イオン）の除去に
用いられる。
【００１６】イオン交換性材料は大きく分けて有機化合
物であるイオン交換樹脂と無機のイオン交換性物質があ
り、どちらを用いても良い。イオン交換樹脂を用いる場
合は比重が小さい点で有利であり、無機イオン交換性物
質を用いる場合は耐熱性が良い点で有利である。イオン
交換樹脂としては、陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹
脂がある。陽イオン交換樹脂にはさらに強酸性のものと
弱酸性のものがあり、いずれの陽イオン交換樹脂も使用
できる。強酸性陽イオン交換樹脂は、例えばスチレンー
ジビニルベンゼン共重合体、フェノールホルマリン樹脂
などを基体とし、イオン交換基としてスルホン酸基を持
つものがあげられる。これらは、例えばアンバーライト
ＩＲ―１２０Ｂ｛商品名、ローム・アンド・ハース社
製｝、ダイヤイオンＳＫ―１Ａ｛商品名、三菱化学
（株）｝、ダイヤイオンＦＭＫ―１０｛商品名、三菱化
学（株）｝がある。弱酸性陽イオン交換樹脂は、例えば
アクリレート又はメタクリレートとジビニルベンゼンと
の共重合体などを基体とし、イオン交換基としてカルボ
キシル基、ホスホン基などを持つものがあげられる。こ
れらは、例えばアンバーライトＩＲＣ―８４｛商品名、
ローム・アンド・ハース社製｝、ダイヤイオンＷＫ―１
１｛商品名、三菱化学（株）｝がある。
物であるイオン交換樹脂と無機のイオン交換性物質があ
り、どちらを用いても良い。イオン交換樹脂を用いる場
合は比重が小さい点で有利であり、無機イオン交換性物
質を用いる場合は耐熱性が良い点で有利である。イオン
交換樹脂としては、陽イオン交換樹脂と陰イオン交換樹
脂がある。陽イオン交換樹脂にはさらに強酸性のものと
弱酸性のものがあり、いずれの陽イオン交換樹脂も使用
できる。強酸性陽イオン交換樹脂は、例えばスチレンー
ジビニルベンゼン共重合体、フェノールホルマリン樹脂
などを基体とし、イオン交換基としてスルホン酸基を持
つものがあげられる。これらは、例えばアンバーライト
ＩＲ―１２０Ｂ｛商品名、ローム・アンド・ハース社
製｝、ダイヤイオンＳＫ―１Ａ｛商品名、三菱化学
（株）｝、ダイヤイオンＦＭＫ―１０｛商品名、三菱化
学（株）｝がある。弱酸性陽イオン交換樹脂は、例えば
アクリレート又はメタクリレートとジビニルベンゼンと
の共重合体などを基体とし、イオン交換基としてカルボ
キシル基、ホスホン基などを持つものがあげられる。こ
れらは、例えばアンバーライトＩＲＣ―８４｛商品名、
ローム・アンド・ハース社製｝、ダイヤイオンＷＫ―１
１｛商品名、三菱化学（株）｝がある。
【００１７】陰イオン交換樹脂は強塩基性陰イオン交換
樹脂と弱塩基性陰イオン交換樹脂があり、いずれの陰イ
オン交換樹脂も使用できる。強塩基性陰イオン交換樹脂
としては、例えばスチレンージビニルベンゼン共重合体
などを基体とし、イオン交換基としてトリメチルアンモ
ニウム基、β―ヒドロキシエチルジメチルアンモニウム
基などを持つものがあげられる。これらは、例えばアン
バーライトＩＲＡ―４００｛商品名、ローム・アンド・
ハース社製｝、ダイヤイオンＳＡ―１０Ｂ｛商品名、三
菱化学（株）｝、ダイヤイオンＦＭＡ―１０｛商品名、
三菱化学（株）｝がある。弱塩基性陽イオン交換樹脂
は、例えばスチレンージビニルベンゼン共重合体、アク
リレート又はメタクリレートとジビニルベンゼンの共重
合体などを基体とし、イオン交換基として１級、２級及
び３級アミノ基などを有するものがあげられる。これら
は、例えばアンバーライトＩＲＡ―４１０｛商品名、ロ
ーム・アンド・ハース社製｝、ダイヤイオンＦＡ―２０
Ｂ｛商品名、三菱化学（株）｝がある。
樹脂と弱塩基性陰イオン交換樹脂があり、いずれの陰イ
オン交換樹脂も使用できる。強塩基性陰イオン交換樹脂
としては、例えばスチレンージビニルベンゼン共重合体
などを基体とし、イオン交換基としてトリメチルアンモ
ニウム基、β―ヒドロキシエチルジメチルアンモニウム
基などを持つものがあげられる。これらは、例えばアン
バーライトＩＲＡ―４００｛商品名、ローム・アンド・
ハース社製｝、ダイヤイオンＳＡ―１０Ｂ｛商品名、三
菱化学（株）｝、ダイヤイオンＦＭＡ―１０｛商品名、
三菱化学（株）｝がある。弱塩基性陽イオン交換樹脂
は、例えばスチレンージビニルベンゼン共重合体、アク
リレート又はメタクリレートとジビニルベンゼンの共重
合体などを基体とし、イオン交換基として１級、２級及
び３級アミノ基などを有するものがあげられる。これら
は、例えばアンバーライトＩＲＡ―４１０｛商品名、ロ
ーム・アンド・ハース社製｝、ダイヤイオンＦＡ―２０
Ｂ｛商品名、三菱化学（株）｝がある。
【００１８】無機イオン交換性物質にも陽イオン交換性
の物質と陰イオン交換性の物質がある。陽イオン交換性
の無機物質としては、例えばゼオライト、アンチモン
酸、スズ酸、チタン酸、ニオブ酸、マンガン酸などの多
価金属酸又はその塩；リン酸ジルコニウム、リン酸チタ
ン、リン酸スズ、リン酸セリウム、ヒ酸スズ、ヒ酸チタ
ンなどの多価金属多塩基酸塩；モリブデン酸、タングス
テン酸等のヘテロポリ酸などがあげられる。陰イオン交
換性の無機物質としては、例えばハイドロタルサイト、
ヒドロキシアパタイト、含水酸化鉄、含水酸化ジルコニ
ウム、含水酸化ビスマスなどの含水酸化物などがあげら
れる。これらのイオン交換性材料は混合して使用でき
る。
の物質と陰イオン交換性の物質がある。陽イオン交換性
の無機物質としては、例えばゼオライト、アンチモン
酸、スズ酸、チタン酸、ニオブ酸、マンガン酸などの多
価金属酸又はその塩；リン酸ジルコニウム、リン酸チタ
ン、リン酸スズ、リン酸セリウム、ヒ酸スズ、ヒ酸チタ
ンなどの多価金属多塩基酸塩；モリブデン酸、タングス
テン酸等のヘテロポリ酸などがあげられる。陰イオン交
換性の無機物質としては、例えばハイドロタルサイト、
ヒドロキシアパタイト、含水酸化鉄、含水酸化ジルコニ
ウム、含水酸化ビスマスなどの含水酸化物などがあげら
れる。これらのイオン交換性材料は混合して使用でき
る。
【００１９】
【実施例】実施例１．図１は本発明の実施例の洗浄装置
の構成図であり、図２は図１に用いた洗浄治具の斜視図
である。図中、１はセパレータ、２はイオン交換性材
料、３は第１電極（陽極）、４は第２電極（陰極）、５
はセパレータとイオン交換性材料と電極とを保持する洗
浄治具、６は電源、７は被洗浄材、８は洗浄液、矢印は
陽イオンまたは陰イオンの移動方向を示す。
の構成図であり、図２は図１に用いた洗浄治具の斜視図
である。図中、１はセパレータ、２はイオン交換性材
料、３は第１電極（陽極）、４は第２電極（陰極）、５
はセパレータとイオン交換性材料と電極とを保持する洗
浄治具、６は電源、７は被洗浄材、８は洗浄液、矢印は
陽イオンまたは陰イオンの移動方向を示す。
【００２０】被洗浄材７として、銅板表面に酸化銅を形
成するために、酸化処理液（１リットルの水に、ＮａＣ
ｌＯ2４０ｇ、Ｎａ3ＰＯ4１０ｇおよびＮａＯＨ５ｇを
溶解した液）に浸漬した銅板（１００ｍｍ×１００ｍｍ
×１ｍｍ）を用い、上記被洗浄材７に残留した上記酸化
処理液を洗浄する場合について説明する。図１におい
て、洗浄液８として純水（比抵抗＝１ＭΩ・ｃｍ）、セ
パレータ１として０．５μｍ微細孔径のポリテトラフロ
ロエチレン製のセパレータ、第１電極３、第２電極４と
して１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．５ｍｍ厚さのＳＵＳ
３０４、イオン交換性材料として陽イオン交換樹脂（ア
ンバーライトＩＲＣ―８４）と陰イオン交換樹脂（アン
バーライトＩＲＡ―４００）の混合物を用いた。
成するために、酸化処理液（１リットルの水に、ＮａＣ
ｌＯ2４０ｇ、Ｎａ3ＰＯ4１０ｇおよびＮａＯＨ５ｇを
溶解した液）に浸漬した銅板（１００ｍｍ×１００ｍｍ
×１ｍｍ）を用い、上記被洗浄材７に残留した上記酸化
処理液を洗浄する場合について説明する。図１におい
て、洗浄液８として純水（比抵抗＝１ＭΩ・ｃｍ）、セ
パレータ１として０．５μｍ微細孔径のポリテトラフロ
ロエチレン製のセパレータ、第１電極３、第２電極４と
して１００ｍｍ×１００ｍｍ×０．５ｍｍ厚さのＳＵＳ
３０４、イオン交換性材料として陽イオン交換樹脂（ア
ンバーライトＩＲＣ―８４）と陰イオン交換樹脂（アン
バーライトＩＲＡ―４００）の混合物を用いた。
【００２１】なお、本実施例においては、ポリエチレン
からなる洗浄治具５を用いている。即ち、図２に示すよ
うに、洗浄治具５の容器５１、５２にセパレータ１と第
１電極３、第２電極４を設置し、セパレータ１と電極間
にイオン交換性材料２を充填したものを、被洗浄材７を
浸漬した洗浄液８に浸漬する。この場合、図１に示すよ
うに、一対の電極３、４の間に被洗浄材７とイオン交換
性材料が存在するようにし、第１電極３と第２電極４と
の間に１００Ｖの直流電圧を１０分間印加する。
からなる洗浄治具５を用いている。即ち、図２に示すよ
うに、洗浄治具５の容器５１、５２にセパレータ１と第
１電極３、第２電極４を設置し、セパレータ１と電極間
にイオン交換性材料２を充填したものを、被洗浄材７を
浸漬した洗浄液８に浸漬する。この場合、図１に示すよ
うに、一対の電極３、４の間に被洗浄材７とイオン交換
性材料が存在するようにし、第１電極３と第２電極４と
の間に１００Ｖの直流電圧を１０分間印加する。
【００２２】上記のように、被洗浄材７を純水に浸漬し
た直後、純水の比抵抗は２ｍΩ・ｃｍまで低下するが、
比抵抗は徐々に大きくなり、１０分後には洗浄前の１Ｍ
Ω・ｃｍにほぼ戻った。
た直後、純水の比抵抗は２ｍΩ・ｃｍまで低下するが、
比抵抗は徐々に大きくなり、１０分後には洗浄前の１Ｍ
Ω・ｃｍにほぼ戻った。
【００２３】図３は、本発明の実施例における洗浄過程
を示す説明図であり、上記比抵抗の低下は、図３に示す
ように被洗浄材に残留していた酸化処理液がＮａ+、Ｎ
ａＣｌＯ2 -、ＰＯ4 3-、ＯＨ-のイオンとなって純水中に
溶解して純水の比抵抗を低下させるが、これらのイオン
が電気泳動によってＮａ+がマイナスの電極に、またＮ
ａＣｌＯ2 -、ＰＯ4 3-、ＯＨ-がプラスの電極に向かって
それぞれ移動し、イオン交換樹脂で捕捉されると純水の
比抵抗が被洗浄材を浸漬前の値まで戻ったものと考えら
れる。
を示す説明図であり、上記比抵抗の低下は、図３に示す
ように被洗浄材に残留していた酸化処理液がＮａ+、Ｎ
ａＣｌＯ2 -、ＰＯ4 3-、ＯＨ-のイオンとなって純水中に
溶解して純水の比抵抗を低下させるが、これらのイオン
が電気泳動によってＮａ+がマイナスの電極に、またＮ
ａＣｌＯ2 -、ＰＯ4 3-、ＯＨ-がプラスの電極に向かって
それぞれ移動し、イオン交換樹脂で捕捉されると純水の
比抵抗が被洗浄材を浸漬前の値まで戻ったものと考えら
れる。
【００２４】なお、本発明の洗浄装置としては、本実施
例のように洗浄治具５を用いたものに限定されるもので
はなく、洗浄液中の上記イオン交換樹脂を電圧の印加中
攪拌させ、沈降後取り出しても同様の効果が得られる。
例のように洗浄治具５を用いたものに限定されるもので
はなく、洗浄液中の上記イオン交換樹脂を電圧の印加中
攪拌させ、沈降後取り出しても同様の効果が得られる。
【００２５】また、所定電圧を印加したままで、被洗浄
材を引き上げることにより、残留薬液が電離してなるイ
オンが電極に拘束されたままであるので、より確実に薬
液を除去することができる。また、薬液の残留量は導電
率に比例するので、導電率をモニターすることにより洗
浄状態を把握することができる。
材を引き上げることにより、残留薬液が電離してなるイ
オンが電極に拘束されたままであるので、より確実に薬
液を除去することができる。また、薬液の残留量は導電
率に比例するので、導電率をモニターすることにより洗
浄状態を把握することができる。
【００２６】
【発明の効果】本発明の第１の洗浄装置は、被洗浄材を
洗浄液に浸漬して洗浄する洗浄装置において、上記洗浄
液に浸漬された第１電極と第２電極、上記第１電極と第
２電極との間に電圧を印加する電源、並びに上記第１電
極と第２電極との間に設けられたイオン交換性材料を備
えたもので、洗浄処理コストを低減し、かつ被洗浄材へ
のイオン性物質の再付着を防止するという効果がある。
洗浄液に浸漬して洗浄する洗浄装置において、上記洗浄
液に浸漬された第１電極と第２電極、上記第１電極と第
２電極との間に電圧を印加する電源、並びに上記第１電
極と第２電極との間に設けられたイオン交換性材料を備
えたもので、洗浄処理コストを低減し、かつ被洗浄材へ
のイオン性物質の再付着を防止するという効果がある。
【００２７】本発明の第２の洗浄装置は、上記第１の洗
浄装置において、第１電極と第２電極は、第１電極と第
２電極の間に被洗浄材があるように設けられているもの
で、効率よく洗浄できるという効果がある。
浄装置において、第１電極と第２電極は、第１電極と第
２電極の間に被洗浄材があるように設けられているもの
で、効率よく洗浄できるという効果がある。
【００２８】本発明の第３の洗浄装置は、上記第１また
は第２の洗浄装置において、被洗浄材とイオン交換性材
料を分離するようにセパレータが設けられているもので
もので、洗浄度が向上するという効果がある。
は第２の洗浄装置において、被洗浄材とイオン交換性材
料を分離するようにセパレータが設けられているもので
もので、洗浄度が向上するという効果がある。
【００２９】本発明の第４の洗浄装置は、上記第１ない
し第３のいずれかの洗浄装置において、イオン交換性材
料が陽イオン交換性材料と陰イオン交換性材料とを混合
したもので、洗浄できる薬液の種類が増加するという効
果がある。
し第３のいずれかの洗浄装置において、イオン交換性材
料が陽イオン交換性材料と陰イオン交換性材料とを混合
したもので、洗浄できる薬液の種類が増加するという効
果がある。
【００３０】本発明の第５の洗浄装置は、上記第１ない
し第３のいずれかの洗浄装置において、陰極電極近傍に
は陽イオン交換性材料を、陽極電極近傍には陰イオン交
換性材料が設けられているもので、効率よく洗浄できる
という効果がある。
し第３のいずれかの洗浄装置において、陰極電極近傍に
は陽イオン交換性材料を、陽極電極近傍には陰イオン交
換性材料が設けられているもので、効率よく洗浄できる
という効果がある。
【００３１】本発明の第１の洗浄方法は、上記第１ない
し第５のいずれかの洗浄装置に被洗浄材を浸漬し、第１
電極と第２電極との間に電圧を印加し、イオン性物質を
上記電極に電気泳動させ、イオン交換性材料に上記イオ
ン性物質を捕捉して除去する方法で、洗浄処理コストを
低減し、かつ被洗浄材へのイオン性物質の再付着を防止
するという効果がある。
し第５のいずれかの洗浄装置に被洗浄材を浸漬し、第１
電極と第２電極との間に電圧を印加し、イオン性物質を
上記電極に電気泳動させ、イオン交換性材料に上記イオ
ン性物質を捕捉して除去する方法で、洗浄処理コストを
低減し、かつ被洗浄材へのイオン性物質の再付着を防止
するという効果がある。
【００３２】本発明の第２の洗浄方法は、上記第１の洗
浄方法において、第１電極と第２電極との間に電圧を印
加したままで、洗浄液から被洗浄材を引き上げる工程を
施す方法で、より洗浄効果が得られる。
浄方法において、第１電極と第２電極との間に電圧を印
加したままで、洗浄液から被洗浄材を引き上げる工程を
施す方法で、より洗浄効果が得られる。
【図１】 本発明の実施例の洗浄装置の構成図である。
【図２】 図１に用いた洗浄治具の斜視図である。
【図３】 本発明の実施例における洗浄状態を示す説明
図である。
図である。
１ セパレータ、２ イオン交換性材料、３ 第１電極
（陽極）、４ 第２電極（陰極）、５ 洗浄治具、６
電源、７ 被洗浄材、８ 洗浄液。
（陽極）、４ 第２電極（陰極）、５ 洗浄治具、６
電源、７ 被洗浄材、８ 洗浄液。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４２ Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４２Ｚ ６４６ ６４６
Claims (7)
- 【請求項１】 被洗浄材を洗浄液に浸漬して洗浄する洗
浄装置において、上記洗浄液に浸漬された第１電極と第
２電極、上記第１電極と第２電極との間に電圧を印加す
る電源、並びに上記第１電極と第２電極との間に設けら
れたイオン交換性材料を備えた洗浄装置。 - 【請求項２】 第１電極と第２電極は、第１電極と第２
電極の間に被洗浄材があるように設けられていることを
特徴とする請求項１に記載の洗浄装置。 - 【請求項３】 被洗浄材とイオン交換性材料を分離する
ようにセパレータが設けられていることを特徴とする請
求項１または請求項２に記載の洗浄装置。 - 【請求項４】 イオン交換性材料が陽イオン交換性材料
と陰イオン交換性材料とを混合したものであることを特
徴とする請求項１ないし請求項３のいずれかに記載の洗
浄装置。 - 【請求項５】 陰極電極近傍には陽イオン交換性材料
を、陽極電極近傍には陰イオン交換性材料が設けられて
いることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれ
かに記載の洗浄装置。 - 【請求項６】 請求項１ないし請求項５のいずれかに記
載の洗浄装置に被洗浄材を浸漬し、第１電極と第２電極
との間に電圧を印加し、イオン性物質を上記電極に電気
泳動させ、イオン交換性材料に上記イオン性物質を捕捉
して除去する洗浄方法。 - 【請求項７】 第１電極と第２電極との間に電圧を印加
したままで、洗浄液から被洗浄材を引き上げる工程を施
すことを特徴とする請求項６に記載の洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000394851A JP2002192151A (ja) | 2000-12-26 | 2000-12-26 | 洗浄装置およびこれを用いた洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000394851A JP2002192151A (ja) | 2000-12-26 | 2000-12-26 | 洗浄装置およびこれを用いた洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002192151A true JP2002192151A (ja) | 2002-07-10 |
Family
ID=18860414
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000394851A Pending JP2002192151A (ja) | 2000-12-26 | 2000-12-26 | 洗浄装置およびこれを用いた洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002192151A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104368556A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-02-25 | 齐斌 | 多用途水洗净化机 |
| JP2016213337A (ja) * | 2015-05-11 | 2016-12-15 | 株式会社エー・シー・イー | シリコンウェーハのウェットエッチング方法 |
| CN112316732A (zh) * | 2020-09-22 | 2021-02-05 | 宁波方太厨具有限公司 | 一种快速浸润和清洗膜丝的装置及其利用方法 |
-
2000
- 2000-12-26 JP JP2000394851A patent/JP2002192151A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN104368556A (zh) * | 2014-11-25 | 2015-02-25 | 齐斌 | 多用途水洗净化机 |
| JP2016213337A (ja) * | 2015-05-11 | 2016-12-15 | 株式会社エー・シー・イー | シリコンウェーハのウェットエッチング方法 |
| CN112316732A (zh) * | 2020-09-22 | 2021-02-05 | 宁波方太厨具有限公司 | 一种快速浸润和清洗膜丝的装置及其利用方法 |
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