JP2002184919A - 半導体パッケージ及びその取付方法 - Google Patents

半導体パッケージ及びその取付方法

Info

Publication number
JP2002184919A
JP2002184919A JP2000384755A JP2000384755A JP2002184919A JP 2002184919 A JP2002184919 A JP 2002184919A JP 2000384755 A JP2000384755 A JP 2000384755A JP 2000384755 A JP2000384755 A JP 2000384755A JP 2002184919 A JP2002184919 A JP 2002184919A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor package
fixing member
mounting
clamp
metal plate
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2000384755A
Other languages
English (en)
Inventor
Seiji Ano
清治 阿野
Akira Oba
章 大庭
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
Original Assignee
Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc filed Critical Sumitomo Metal SMI Electronics Device Inc
Priority to JP2000384755A priority Critical patent/JP2002184919A/ja
Publication of JP2002184919A publication Critical patent/JP2002184919A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/0001Technical content checked by a classifier
    • H01L2924/0002Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00

Landscapes

  • Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体パッケージの放熱用金属板の小型化を
図り、固定用部材への取付において、ねじを固定用部材
から完全に取り外すことなく締めつけることができる半
導体パッケージ及びその取付方法を提供する。 【解決手段】 中央に半導体電子部品の搭載部13が設
けられ、平面視して実質的に長方形の放熱用金属板11
の両側に搭載部13より突出するつば部16が設けら
れ、つば部16を介して固定用部材17に取付けられる
半導体パッケージ10において、放熱用金属板11は平
板からなるつば部16を備え、しかもつば部16には固
定用部材17への取付のための孔又は切欠きを有さな
い。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、長方形の放熱用金
属板の両側につば部を有する半導体電子部品搭載用の半
導体パッケージ、及びこの半導体パッケージを固定用部
材に固定する取付方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、半導体電子部品は、半導体電子部
品からの高熱によって半導体電子部品自身の電気特性を
悪化させないために、例えば、図6に示すように、半導
体パッケージ50の実質的に長方形の高放熱材料からな
る放熱用金属板51上に載置される。そして半導体電子
部品の周囲を囲むために半導体パッケージ50は半導体
電子部品を搭載するために放熱用金属板51の長手方向
の実質的中央部を囲むように金属、又はセラミック等か
らなる枠体52をロウ付けして製造している。そして、
半導体パッケージ50の放熱用金属板51上に搭載され
た半導体電子部品は、絶縁板53等に形成された金属導
体パターンにワイヤボンドで接続し、枠体52の外側で
は、金属リード等をロウ付けして形成された外部接続端
子54を形成して外部との電気的接続を可能としてい
る。そして、半導体パッケージ50の枠体52の上部に
は、金属やセラミック等からなる蓋体が被せられ、ロウ
付け等で封止して半導体電子部品を気密に保っている。
その後、図7に示すように、半導体電子部品の実装がな
された半導体パッケージ50は、放熱用金属板51の両
側に円孔やU字状切欠きからなるねじ止め部55を介し
て放熱構造を備えるボード等の固定用部材56にねじ5
7等で締め付けて固定される。
【0003】放熱用金属板51に形成されるねじ止め部
55は、例えば、図8(A)〜(C)に示すように、放
熱用金属板51の長手方向両端部に設けたU字状切欠き
55aによって形成され、その数は両端部に各1個、複
数ずつ、又は両端部で数を違えて配設されている。ま
た、図8(D)〜(F)に示すように、放熱用金属板5
1の長手方向両端部に貫通した円孔55bによって形成
され、その数は両端部に各1個、複数ずつ、又は両端部
で数を違えて配設されている。更には、図8(G)に示
すように、放熱用金属板51の長手方向の一方の端部に
U字状切欠き55aを形成し、他方の端部に貫通した円
孔55bを形成してなり、その数は両端部に各1個、複
数ずつ、又は両端部で数を違えて配設されている。
【0004】あるいは、特開平11−330564号公
報で開示されているように、放熱用金属板とは別に、固
定用部材に取付けるためのねじ孔を有するL字状のフラ
ンジを、金属製の枠体に直接接合することでつば部を備
えた半導体パッケージを形成している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たような従来の半導体パッケージ及びその取付方法は、
次のような問題がある。 (1)長方形の放熱用金属板は、ねじ止め部の形成のた
めに、中央部の半導体電子部品の搭載部より両側部分に
大きく突出させている。従って、半導体パッケージ自体
の大きさが大きくなり、半導体パッケージの重量の増加
となっている。 (2)放熱用金属板は、ねじ止め部を形成するために全
体の表面積が大きくなるので、めっきを施す面積が増加
し、コストの増加となっている。 (3)放熱用金属板とは別に、固定用部材に取付けるた
めのねじ孔を有するL字状のフランジを、金属製の枠体
に直接接合する場合は、接合のためのロウ付けが必要に
なり、工程の増加となっている。 (4)放熱用金属板のねじ止め部が孔や、U字状切欠き
の形状の場合は、半導体パッケージを固定用部材からの
取り外し交換及び再取付けに際して、ねじを固定用部材
から完全に取り除いて行わなければならないので、ねじ
を紛失したり、取り外しに時間が掛かったり、再度締め
つけのためのねじ穴探し等の作業時間を要して作業能率
を落としている。本発明は、かかる事情に鑑みてなされ
たものであって、半導体パッケージの放熱用金属板の小
型化を図り、固定用部材への取付において、ねじを固定
用部材から完全に取り外すことなく締めつけることがで
きる半導体パッケージ及びその取付方法を提供すること
を目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】前記目的に沿う本発明に
係る半導体パッケージは、中央に半導体電子部品の搭載
部が設けられ、平面視して実質的に長方形の放熱用金属
板の両側に搭載部より突出するつば部が設けられ、つば
部を介して固定用部材に取付けられる半導体パッケージ
において、放熱用金属板は平板からなるつば部を備え、
しかもつば部には固定用部材への取付のための孔又は切
欠きを有さない。放熱用金属板のつば部には固定用部材
への取付のための孔又は切欠きからなるねじ止め部を有
さないので、つば部を小さくすることができ、半導体パ
ッケージ自体を小さくすることができる。従って、半導
体パッケージの重量を軽くすることができ、めっき面積
も少なくすることができるので、製造コストを小さくで
きる。また、つば部はフランジをロウ付けして形成する
のではないので、余分な工程の増加もない。
【0007】ここで、つば部の上には溝が形成されてい
てもよい。これにより、半導体パッケージを固定用部材
に取付ける時にクランプの先端を溝で受けることがで
き、半導体パッケージとクランプのずれを防止して、強
固に締め付けて固定することができる。
【0008】前記目的に沿う本発明に係る半導体パッケ
ージの取付方法は、中央に半導体電子部品の搭載部が設
けられ、平面視して実質的に長方形の放熱用金属板の両
側に搭載部より突出するつば部が設けられた半導体パッ
ケージを固定用部材に固定する半導体パッケージの取付
方法であって、つば部の上にL字状のクランプの一端を
載置する第1工程と、つば部をクランプと固定用部材と
の間でねじで締め付け、半導体パッケージを固定用部材
に固定する第2工程を有する。これにより、クランプで
固定用部材に固定されている半導体パッケージを固定用
部材から取り外す時に、クランプのねじを完全に取り外
すことなく緩めるだけで半導体パッケージを取り外すこ
とができ、ねじの紛失を発生させない。また、半導体パ
ッケージを再度固定用部材に取付ける場合も固定用部材
に取付けられた状態のクランプに差し込んで、クランプ
のねじを締め付けるだけで簡単に取付けることができ
る。
【0009】ここで、つば部と当接するクランプの先端
を鋭角に形成することが好ましい。これにより、つば部
への締め付けを強固にすることができるので、固定用部
材からの半導体パッケージの脱落を防止することができ
る。
【0010】また、クランプの鋭角な先端とつば部の上
に設けられた溝とが当接することが好ましい。これによ
り、固定用部材と半導体パッケージを決められた位置で
強固に固定することができ、脱落の発生を防止すること
ができる。
【0011】
【発明の実施の形態】続いて、添付した図面を参照しつ
つ、本発明を具体化した実施の形態について説明し、本
発明の理解に供する。ここに、図1は本発明の一実施の
形態に係る半導体パッケージの斜視図、図2(A)、
(B)はそれぞれ同半導体パッケージの放熱用金属板の
変形例の平面図、正面図、図3は同半導体パッケージの
固定用部材への取付方法の説明図、図4は同半導体パッ
ケージの固定用部材への取付方法の変形例の説明図、図
5は同半導体パッケージの固定用部材への取付方法の他
の変形例の説明図である。
【0012】図1に示すように、本発明の一実施の形態
に係る半導体パッケージ10は、中央に放熱用金属板1
1と枠体12とで形成された凹部からなる半導体電子部
品の搭載部13が設けられ、この搭載部13の底部に半
導体電子部品が実装可能な状態となっている。そして、
枠体12が金属で形成されている場合には、その壁面の
一部をくり抜いて形成された窓にセラミック体14が嵌
め込まれ、セラミック体14に形成されている導体配線
を使って、枠体12の内部とリードフレーム等からなる
外部接続端子15との導通を形成している。更に、平面
視して実質的に長方形の放熱用金属板11の両側には、
半導体電子部品の搭載部13より突出するつば部16が
形成されている。このつば部16を介して半導体パッケ
ージ10は固定用部材17(図3参照)に取付けられ
る。つば部16は、平板からなる放熱用金属板11の一
部で形成されており、この平板には、固定用部材17へ
の取付のための孔、又は切欠きが形成されていない。平
板からなるつば部16には孔、又は切欠きを形成する必
要がないので、つば部16の面積を小さくでき、半導体
パッケージ10を小型にすることができる。
【0013】図2(A)、(B)に示すように、放熱用
金属板11aのつば部16aに溝18を形成することも
できる。この溝18は、溝の形状を特に限定するもので
はなく、V字状、U字状、凹形状等の何れでもよく、固
定用部材17に固定する時にクランプ21(図3参照)
の先端がはまり込んで半導体パッケージ10aを移動さ
せないために形成されている。
【0014】次に、図3を参照して、本発明の一実施の
形態に係る半導体パッケージ10の固定用部材17への
取付方法を説明する。半導体電子部品の搭載部13は、
全体が一枚の板材からなって、熱伝導率が高く高放熱材
料であるポーラス状のタングステンに銅を含侵させたり
して形成するCu−W(銅タングステン)や、銅、モリ
ブデン、銅の3層構造の接合板であるCMC(Cu−M
o−Cu)等の金属から所定の大きさに切り出しや打ち
抜き等の加工により形成する放熱用金属板11と、KV
(コバール)等の金属を金属のブロック体から所定の大
きさに切削したり、中空の角パイプから輪切りに切り出
し等の加工により形成する金属枠体や、セラミックグリ
ーンシートに金属導体を印刷して複数枚を積層して中空
部を形成し、焼成して形成するセラミック枠体等からな
る枠体12とを、放熱用金属板11の中央部でロウ付
け、例えば、銀銅ロウ付けによって連接部分19で接合
して形成している。因みに、Cu−Wの熱伝導率は23
0W/m・k程度であり、CMCの熱伝導率は260W
/m・k程度であり、極めて放熱性に優れている。そし
て、放熱用金属板11及び枠体12の金属表面にはNi
めっき、Auめっきが施されている。
【0015】このように形成された半導体電子部品の搭
載部13には、半導体電子部品が実装可能な状態となっ
ており、半導体電子部品は、セラミック体14に形成さ
れている枠体12の内部側の内部接続端子とワイヤボン
ドで接続可能であり、更に接続された後は、金属、例え
ば、KVや42アロイ等からなる蓋体20を枠体12の
上に被せてロウ付け、例えば金錫ロウ付けで気密封止さ
れるようになっている。この半導体電子部品搭載用の半
導体パッケージ10は、半導体電子部品を放熱性の優れ
た放熱用金属板11に実装することができるので、半導
体電子部品の高周波化が進んで高放熱の要求にも対応で
き、半導体電子部品の高周波特性を維持させることがで
きる。
【0016】そして、半導体パッケージ10には、平面
視して実質的に長方形の放熱用金属板11の両側に半導
体電子部品の搭載部13より突出するつば部16が設け
られており、このつば部16を介して固定用部材17に
固定される。その取付には、先ず、放熱用金属板11の
平板からなる両側のつば部16の上に、L字状のクラン
プ21の一端側を載置し、次いで、クランプ21に形成
されている孔23にねじ22を通し、固定用部材17の
ねじ穴24とでねじ22を締め付けることで、半導体パ
ッケージ10を固定用部材17に固定する。これによ
り、例えば、半導体パッケージ10が、クランプ21の
孔23を介してねじ22で固定用部材17に締め付けて
ある場合は、ねじ22を固定用部材17から取り外すこ
となく緩めるだけで半導体パッケージ10を取り出すこ
とができる。また、再度半導体パッケージ10を固定用
部材17にセットする場合には、クランプ21を持ち上
げ、クランプ21の一端側を放熱用金属板11のつば部
16の上に載置し、固定用部材17のねじ穴24に取付
けられた状態のままのねじ22を締め付けるだけで簡単
に固定用部材17に固定することができる。なお、通
常、固定用部材17は、フィン(図示せず)等が取付け
られ冷却機能を備えた金属からなるものが用いられてい
る。
【0017】図4に示すように、放熱用金属板11のつ
ば部16と当接するクランプ21の先端21aは、鋭角
に形成されているのが好ましい。クランプ21の孔23
を介してねじ22で固定用部材17に締め付けることに
よって、クランプ21の先端21aが放熱用金属板11
のつば部16に食い込むようになり半導体パッケージ1
0を固定用部材17に強固に取付けることができる。
【0018】図5に示すように、クランプ21の鋭角な
先端21aと、半導体パッケージ10aの放熱用金属板
11aのつば部16aの上に形成された溝18とを、当
接することが好ましい。クランプ21の孔23を介して
ねじ22で固定用部材17に締め付ける時に、クランプ
21の先端21aが放熱用金属板11aのつば部16a
の溝18に落とし込まれ、半導体パッケージ10aを決
められた位置に、移動させることなく固定用部材17に
強固に取付けることができる。
【0019】
【発明の効果】請求項1及び2記載の半導体パッケージ
においては、放熱用金属板は平板からなるつば部を備
え、しかもつば部には固定用部材への取付のための孔又
は切欠きを有さないので、つば部を小さくすることがで
き、半導体パッケージ自体を小さくすることができる。
従って、重量を軽くすることができ、めっき面積も少な
くすることができるので、製造コストを小さくできる。
また、つば部はフランジをロウ付けして形成するのでは
ないので、余分な工程の増加もない。特に、請求項2記
載の半導体パッケージにおいては、つば部の上には溝が
形成されているので、半導体パッケージを固定用部材に
取付ける時にクランプの先端を溝で受けることができ、
半導体パッケージのずれを防止して、強固に締め付けて
固定することができる。
【0020】請求項3〜5記載の半導体パッケージの取
付方法においては、つば部の上にL字状のクランプの一
端を載置する第1工程と、つば部をクランプと固定用部
材との間でねじで締め付け、半導体パッケージを固定用
部材に固定する第2工程を有するので、クランプで固定
用部材に固定されている半導体パッケージを固定用部材
から取り外す時に、クランプのねじを完全に取り外すこ
となく緩めるだけで半導体パッケージを取り外すことが
でき、ねじの紛失を発生させない。また、半導体パッケ
ージを再度固定用部材に取付ける場合も固定用部材に取
付けられた状態のクランプに差し込んで、クランプのね
じを締め付けるだけで簡単に取付けることができる。特
に、請求項4記載の半導体パッケージの取付方法におい
ては、つば部と当接するクランプの先端を鋭角に形成す
るので、つば部への締め付けを強固にすることができ、
固定用部材からの半導体パッケージの脱落を防止するこ
とができる。また、請求項5記載の半導体パッケージの
取付方法においては、クランプの鋭角な先端とつば部の
上に設けられた溝とが当接するので、固定用部材と半導
体パッケージを決められた位置で強固に固定することが
でき、脱落の発生を防止することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態に係る半導体パッケージ
の斜視図である。
【図2】(A)、(B)はそれぞれ同半導体パッケージ
の放熱用金属板の変形例の平面図、正面図である。
【図3】同半導体パッケージの固定用部材への取付方法
の説明図である。
【図4】同半導体パッケージの固定用部材への取付方法
の変形例の説明図である。
【図5】同半導体パッケージの固定用部材への取付方法
の他の変形例の説明図である。
【図6】従来の半導体パッケージの平面図である。
【図7】従来の半導体パッケージを固定用部材に取付け
る説明図である。
【図8】(A)〜(G)はそれぞれ従来の半導体パッケ
ージに用いられる放熱用金属板の斜視図である。
【符号の説明】
10、10a:半導体パッケージ、11、11a:放熱
用金属板、12:枠体、13:搭載部、14:セラミッ
ク体、15:外部接続端子、16、16a:つば部、1
7:固定用部材、18:溝、19:連接部分、20:蓋
体、21:クランプ、21a:先端、22:ねじ、2
3:孔、24:ねじ穴

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 中央に半導体電子部品の搭載部が設けら
    れ、平面視して実質的に長方形の放熱用金属板の両側に
    前記搭載部より突出するつば部が設けられ、該つば部を
    介して固定用部材に取付けられる半導体パッケージにお
    いて、前記放熱用金属板は平板からなる前記つば部を備
    え、しかも該つば部には前記固定用部材への取付のため
    の孔又は切欠きを有さないことを特徴とする半導体パッ
    ケージ。
  2. 【請求項2】 請求項1記載の半導体パッケージにおい
    て、前記つば部の上には溝が形成されていることを特徴
    とする半導体パッケージ。
  3. 【請求項3】 中央に半導体電子部品の搭載部が設けら
    れ、平面視して実質的に長方形の放熱用金属板の両側に
    前記搭載部より突出するつば部が設けられた半導体パッ
    ケージを固定用部材に固定する半導体パッケージの取付
    方法であって、前記つば部の上にL字状のクランプの一
    端を載置する第1工程と、前記つば部を前記クランプと
    前記固定用部材との間でねじで締め付け、前記半導体パ
    ッケージを前記固定用部材に固定する第2工程を有する
    ことを特徴とする半導体パッケージの取付方法。
  4. 【請求項4】 請求項3記載の半導体パッケージの取付
    方法において、前記つば部と当接する前記クランプの先
    端を鋭角に形成することを特徴とする半導体パッケージ
    の取付方法。
  5. 【請求項5】 請求項3又は4記載の半導体パッケージ
    の取付方法において、前記クランプの鋭角な先端と前記
    つば部の上に設けられた溝とが当接することを特徴とす
    る半導体パッケージの取付方法。
JP2000384755A 2000-12-19 2000-12-19 半導体パッケージ及びその取付方法 Pending JP2002184919A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000384755A JP2002184919A (ja) 2000-12-19 2000-12-19 半導体パッケージ及びその取付方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000384755A JP2002184919A (ja) 2000-12-19 2000-12-19 半導体パッケージ及びその取付方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002184919A true JP2002184919A (ja) 2002-06-28

Family

ID=18852146

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000384755A Pending JP2002184919A (ja) 2000-12-19 2000-12-19 半導体パッケージ及びその取付方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2002184919A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010123892A (ja) * 2008-11-21 2010-06-03 Toshiba Corp 半導体装置の固定具及びその取付構造
JP2014027084A (ja) * 2012-07-26 2014-02-06 Kyocera Corp 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置
JP2019075476A (ja) * 2017-10-17 2019-05-16 三菱電機株式会社 パワーモジュール

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010123892A (ja) * 2008-11-21 2010-06-03 Toshiba Corp 半導体装置の固定具及びその取付構造
JP4643703B2 (ja) * 2008-11-21 2011-03-02 株式会社東芝 半導体装置の固定具及びその取付構造
US8629555B2 (en) 2008-11-21 2014-01-14 Kabushiki Kaisha Toshiba Fixture for semiconductor device and assembly of semiconductor device
JP2014027084A (ja) * 2012-07-26 2014-02-06 Kyocera Corp 半導体素子収納用パッケージおよび半導体装置
JP2019075476A (ja) * 2017-10-17 2019-05-16 三菱電機株式会社 パワーモジュール

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5157480A (en) Semiconductor device having dual electrical contact sites
US4004195A (en) Heat-sink assembly for high-power stud-mounted semiconductor device
US7336491B2 (en) Heat sink
GB2292010A (en) Ceramic package for a semiconductor device
JPH07193187A (ja) 同一平面ヒ−トシンクおよび電気コンタクトを有する電子デバイス
KR20010071766A (ko) 반도체 소자용 캡슐
KR950000203B1 (ko) 전력용 반도체 장치
US5959840A (en) Apparatus for cooling multiple printed circuit board mounted electrical components
US20060220188A1 (en) Package structure having mixed circuit and composite substrate
JP2002184919A (ja) 半導体パッケージ及びその取付方法
JP2003031977A (ja) コントロールユニット及びその製造方法
JP2629635B2 (ja) 放熱用金属板付半導体装置
JP2010080562A (ja) 電子部品収納用パッケージ
JPH1050926A (ja) ハイブリッドモジュール
US6359784B1 (en) Package for an electrical apparatus and method of manufacturing therefore
JP2007012718A (ja) 電子部品収納用パッケージおよび電子装置
JP2005123572A (ja) 弾性接触部材によって遮蔽されるハイブリッドマイクロ波回路を備えたデバイス
JP2001274278A (ja) マイクロ波半導体装置およびその製造方法
JP2002208649A (ja) 半導体パッケージ
EP0116289A2 (en) Power semiconductor module and package
JP2004266188A (ja) 半導体装置用パッケージとその製造方法およびそれを用いた半導体装置
JP3410041B2 (ja) ハイブリッドモジュール
JPH10189803A (ja) 放熱板への絶縁基板取付構造
US4922379A (en) Power semiconductor package
JP2006128252A (ja) 高放熱型電子部品収納用パッケージ