JP2002184800A - Metal mold for resin molding for molding semiconductor chip out of resin and semiconductor component - Google Patents

Metal mold for resin molding for molding semiconductor chip out of resin and semiconductor component

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JP2002184800A
JP2002184800A JP2000385180A JP2000385180A JP2002184800A JP 2002184800 A JP2002184800 A JP 2002184800A JP 2000385180 A JP2000385180 A JP 2000385180A JP 2000385180 A JP2000385180 A JP 2000385180A JP 2002184800 A JP2002184800 A JP 2002184800A
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JP
Japan
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resin
lead terminal
deburring
molding
lead
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Application number
JP2000385180A
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Japanese (ja)
Inventor
Soichi Kume
宗一 久米
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To easily remove burrs which are inevitably formed because of the absence of a lead terminal part when a sealing resin part which seals a semiconductor chip is molded out of resin. SOLUTION: The cavity shape of a resin molding metal mold for molding the sealing resin part 27 is improved and then a resin part 28 for deburring is formed of projecting resin along the lead terminal part 24. The resin part 28 for deburring is held by respective lead terminal parts 24 in contact with mutually opposite flanks 29 of adjacent lead terminal parts 24 while so divided that the lead terminal parts 24 are connected to each other and the resin part 28 has a projection 31 higher than the thickness of the lead terminal part 24; and the projection 31 has a gradient surface 32 extending to the lead terminal part 24. When the resin part 28 for deburring is removed, the moment peeling the resin part off the lead terminal part 24 operates through the operation of the gradient surface 32.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体チップを
樹脂モールドするための樹脂モールド用金型およびこの
樹脂モールド用金型を用いて成形された封止樹脂部を備
える半導体部品に関するもので、特に、樹脂モールド時
に不可避的に生じるバリの除去を容易にするための改良
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a resin molding die for resin-molding a semiconductor chip and a semiconductor component having a sealing resin portion formed by using the resin molding die. The present invention relates to an improvement for facilitating removal of burrs inevitably generated during resin molding.

【0002】[0002]

【従来の技術】図5は、この発明にとって興味ある従来
の樹脂封止パッケージ構造を有する半導体部品1を示し
ている。図5において、(a)は、半導体部品1を一部
断面で示す正面図であり、(b)は、半導体部品1の一
部を示す平面図であり、(c)は、(b)の線C−Cに
沿う断面図である。
2. Description of the Related Art FIG. 5 shows a semiconductor component 1 having a conventional resin-sealed package structure which is of interest to the present invention. 5A is a front view showing a part of the semiconductor component 1 in a cross section, FIG. 5B is a plan view showing a part of the semiconductor component 1, and FIG. It is sectional drawing which follows the line CC.

【0003】半導体部品1は、レール部2とレール部2
に連結される複数のリード端子部3とを有する、金属薄
板からなるリードフレーム4を備えている。また、半導
体部品1は、複数のリード端子部3に接続されるように
リードフレーム4上に搭載される半導体チップと、半導
体チップを樹脂によって封止するための封止樹脂部5と
を備えている。なお、半導体チップは、樹脂封止部5に
よって覆われているため、図示されていない。
A semiconductor component 1 includes a rail portion 2 and a rail portion 2.
And a lead frame 4 made of a thin metal plate having a plurality of lead terminal portions 3 connected to the lead frame. Further, the semiconductor component 1 includes a semiconductor chip mounted on the lead frame 4 so as to be connected to the plurality of lead terminal portions 3, and a sealing resin portion 5 for sealing the semiconductor chip with a resin. I have. The semiconductor chip is not shown because it is covered with the resin sealing portion 5.

【0004】このような半導体部品1を組み立てる際、
リードフレーム4におけるレール部2を保持した状態で
位置決めされたり、搬送されたりするが、これら位置決
めや搬送を確実に行なえるようにするため、レール部2
には、複数のパイロットホール6が設けられている。
When assembling such a semiconductor component 1,
The rail 2 is positioned or transported while holding the rail 2 in the lead frame 4. In order to ensure the positioning and transport, the rail 2 is used.
Are provided with a plurality of pilot holes 6.

【0005】また、樹脂封止部5を成形する際、この樹
脂封止部5を与える樹脂が、隣り合うリード端子部3の
間に侵入しないようにするため、隣り合うリード端子部
3間を連結するように、ダムバー7が設けられている。
また、ダムバー7と樹脂封止部5との間には、樹脂封止
部5を与える樹脂のはみ出しによって形成されたバリの
除去を容易にするためのダム樹脂部8が形成されてい
る。
Further, when the resin sealing portion 5 is formed, the space between the adjacent lead terminal portions 3 is set so that the resin for providing the resin sealing portion 5 does not enter between the adjacent lead terminal portions 3. A dam bar 7 is provided so as to be connected.
Further, a dam resin portion 8 is formed between the dam bar 7 and the resin sealing portion 5 for facilitating removal of burrs formed by protrusion of the resin for providing the resin sealing portion 5.

【0006】図6には、樹脂封止部5およびダム樹脂部
8を成形するための樹脂モールド工程において用いられ
る樹脂モールド用金型9の一部が拡大断面図をもって示
されている。図6では、金型9が、樹脂モールド工程に
おいて、リード端子部3と位置合わせされた状態で図示
されている。金型9は、上型10と下型11とから構成
される。
FIG. 6 is an enlarged sectional view showing a part of a resin molding die 9 used in a resin molding step for molding the resin sealing portion 5 and the dam resin portion 8. FIG. 6 illustrates the mold 9 in a state where the mold 9 is aligned with the lead terminal portion 3 in the resin molding process. The mold 9 includes an upper mold 10 and a lower mold 11.

【0007】なお、図6には、ダム樹脂部8を成形する
ためのキャビティとなる副キャビティ部12が図示され
ているが、封止樹脂部5を成形するためのキャビティと
なる主キャビティ部は図示されていない。主キャビティ
部の形状については、封止樹脂部5の外形状から自明で
あろう。また、図5に示すように、ダム樹脂部8には凸
部13が設けられているが、副キャビティ部12には、
図6に示すように、この凸部13に対応する凹部14が
設けられている。
Although FIG. 6 shows a sub-cavity portion 12 serving as a cavity for molding the dam resin portion 8, a main cavity portion serving as a cavity for molding the sealing resin portion 5 is not shown. Not shown. The shape of the main cavity portion will be obvious from the outer shape of the sealing resin portion 5. Further, as shown in FIG. 5, the dam resin portion 8 is provided with a convex portion 13, but the sub cavity portion 12 has
As shown in FIG. 6, a concave portion 14 corresponding to the convex portion 13 is provided.

【0008】ダム樹脂部8が樹脂封止部5を与える樹脂
のはみ出しによって形成されることについては前述した
が、この樹脂のはみ出しの原因となる隙間15が、図6
に示されている。
As described above, the dam resin portion 8 is formed by the protrusion of the resin that provides the resin sealing portion 5.
Is shown in

【0009】すなわち、金型9は、主キャビティに連通
しながら、複数のリード端子部3の各々を主キャビティ
から外部へ導出するように案内するための通路となる案
内通路部16を規定する壁面を有している。金型9の上
型10および下型11は、それぞれ、リード端子部3の
上方主面および下方主面に対しては、比較的密に接触さ
せることができるが、リード端子部3の側面に対して
は、接触させることが困難であり、そのため、案内通路
部16に沿って、ある程度の隙間15が必然的に形成さ
れてしまう。
That is, the mold 9 defines a guide passage portion 16 serving as a passage for guiding each of the plurality of lead terminal portions 3 out of the main cavity while communicating with the main cavity. have. The upper die 10 and the lower die 11 of the mold 9 can be brought into relatively close contact with the upper main surface and the lower main surface of the lead terminal portion 3 respectively. On the other hand, it is difficult to make contact, so that some gap 15 is inevitably formed along the guide passage portion 16.

【0010】このような隙間15からの樹脂のはみ出し
によって、バリが形成されることになるが、このような
バリをあえて積極的に形成し、後での除去をむしろ容易
にする形態でならバリを形成した方がより有利であると
いう考えから、ダム樹脂部8が形成されている。ダム樹
脂部8に形成された凸部13は、このダム樹脂部8の除
去をより容易にするためのものである。なお、バリとし
ては、上述したダム樹脂部8のほか、リード端子部3の
主面に沿って付着するフラッシュバリもしばしば形成さ
れる。
The burrs are formed due to the protrusion of the resin from the gaps 15. However, if such burrs are intentionally formed and the removal is easily performed later, the burrs are formed. The dam resin portion 8 is formed because it is more advantageous to form the dam resin portion. The protrusions 13 formed on the dam resin portion 8 are for making the removal of the dam resin portion 8 easier. As burrs, flash burrs that adhere along the main surface of the lead terminal portion 3 are often formed in addition to the dam resin portion 8 described above.

【0011】図5に示した半導体部品1は、いわゆる中
間製品となるべきものであって、半導体チップが樹脂封
止部5によって封止され、半導体チップから樹脂封止部
5を通して導出される複数のリード端子を備える最終製
品としての半導体装置を得るためには、1点鎖線17で
示すように、リード端子部3がレール部2の近傍で切断
され、その後、リード端子部3の切断によって得られた
リード端子に対して曲げ加工などの必要な加工が施され
る。
The semiconductor component 1 shown in FIG. 5 is to be a so-called intermediate product. A semiconductor chip is sealed by a resin sealing portion 5 and a plurality of semiconductor chips are led out from the semiconductor chip through the resin sealing portion 5. In order to obtain a semiconductor device as a final product having the lead terminals, the lead terminal portion 3 is cut in the vicinity of the rail portion 2 as shown by the one-dot chain line 17 and then obtained by cutting the lead terminal portion 3. Necessary processing such as bending is performed on the provided lead terminal.

【0012】また、上述した1点鎖線17に沿うリード
端子部3の切断に先立って、ダム樹脂部8が除去され
る。このダム樹脂部8の除去のために、たとえばパンチ
ングが適用される。このとき、パンチング金型から加え
られた荷重によって、ダム樹脂部8の凸部13に応力が
集中し、ダム樹脂部8の除去がより容易なように配慮さ
れている。
Prior to the cutting of the lead terminal portion 3 along the dashed line 17, the dam resin portion 8 is removed. For removing the dam resin portion 8, for example, punching is applied. At this time, due to the load applied from the punching die, stress is concentrated on the convex portion 13 of the dam resin portion 8, so that the dam resin portion 8 is more easily removed.

【0013】また、上述したパンチング工程において、
パンチング金型は、同時に、ダムバー7を除去するよう
に、1点鎖線18で示した位置を切断する。
In the above-mentioned punching step,
At the same time, the punching die cuts the position indicated by the dashed line 18 so as to remove the dam bar 7.

【0014】[0014]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来技術には、以下のような解決されるべき課題があ
る。
However, the above-mentioned prior art has the following problems to be solved.

【0015】まず、ダム樹脂部8をパンチングによって
除去しようとするとき、パンチング金型が当たった箇所
以外の部分において、ダム樹脂部8が除去されずに残っ
てしまうことがあるという問題がある。より具体的に
は、パンチング金型がダム樹脂部8に当たる面積は、封
止樹脂部5やリード端子部3との間で不可避的に生じ得
る位置ずれを考慮して、ダム樹脂部8の平面寸法よりあ
る程度小さくしなければならず、そのため、封止樹脂部
5やリード端子部3の近くにおいて、ダム樹脂部8が残
ってしまうことがある。
First, when the dam resin portion 8 is to be removed by punching, there is a problem that the dam resin portion 8 may remain without being removed in a portion other than the portion hit by the punching die. More specifically, the area where the punching die contacts the dam resin portion 8 is determined by taking into account the positional displacement that can inevitably occur between the sealing resin portion 5 and the lead terminal portion 3. Therefore, the dam resin portion 8 may remain near the sealing resin portion 5 and the lead terminal portion 3 in some cases.

【0016】また、上述のようにダム樹脂部8の残され
た部分は、さらにウォータージェットやサンドブラスト
などを適用して除去されるが、リードフレーム4がエッ
チングによって作製されたものである場合には、リード
端子部3の側面に細かな凹凸が多く存在していて、この
ような側面に付着したダム樹脂部8を確実に除去するた
めには、多くの時間を必要とする。
Further, as described above, the remaining portion of the dam resin portion 8 is further removed by applying water jet, sand blast, or the like. However, when the lead frame 4 is made by etching, Since many fine irregularities are present on the side surface of the lead terminal portion 3, much time is required to reliably remove the dam resin portion 8 attached to such a side surface.

【0017】また、ダムバー7の除去のため、1点鎖線
18に沿う切断が行なわれるが、その結果、リード端子
部3には、側方へ張り出す張出部19が残されてしま
う。この張出部19は、リード端子部3の、樹脂封止部
5側の端部をより変形しやすくし、このような変形が、
リード端子部3をレール部2から1点鎖線17に沿って
切り離す工程において生じやすい。このリード端子部3
における変形が、切断後のリード端子に持ち込まれる
と、以後の曲げ加工等の加工工程において支障を来す。
Further, in order to remove the dam bar 7, cutting is performed along the one-dot chain line 18, but as a result, a protruding portion 19 that protrudes laterally is left in the lead terminal portion 3. The overhang portion 19 makes the end of the lead terminal portion 3 on the resin sealing portion 5 side more easily deformed.
This is likely to occur in the step of separating the lead terminal portion 3 from the rail portion 2 along the dashed line 17. This lead terminal 3
If the deformation in is caused by the lead terminal after cutting, it will hinder the subsequent processing steps such as bending.

【0018】また、上述したようなダムバー7の切断後
においてリード端子部3にもたらされる張出部19は、
半導体装置におけるリード端子の狭ピッチ化を阻害す
る。
Further, after the dam bar 7 is cut as described above, the overhang 19 brought to the lead terminal 3 is
This hinders a narrow pitch of lead terminals in a semiconductor device.

【0019】また、ダム樹脂部8の除去とダムバー7の
切断とが共通のパンチング金型によって達成されるの
で、パンチング金型の消耗が激しく、パンチング金型の
交換を比較的頻繁に行なわなければならない。
Further, since the removal of the dam resin portion 8 and the cutting of the dam bar 7 are achieved by a common punching die, the punching die is consumed greatly, and the punching die must be replaced relatively frequently. No.

【0020】なお、ダム樹脂部8の一部が残されたま
ま、リード端子に対して曲げ加工などの加工が施される
と、リード端子に不所望な曲がりが発生したり、リード
端子の平坦性が損なわれるという問題を引き起こしてし
まい、特に表面実装型の半導体装置については深刻な問
題となる。
If the lead terminal is subjected to a bending process or the like while a part of the dam resin portion 8 is left, undesired bending occurs in the lead terminal or the lead terminal becomes flat. This causes a problem that the performance is impaired, and is a serious problem particularly for a surface mount type semiconductor device.

【0021】そこで、この発明の目的は、上述したよう
な種々の問題を解決し得る、半導体チップを樹脂モール
ドするための樹脂モールド用金型およびこの樹脂モール
ド用金型を用いて成形された樹脂封止部を備える半導体
部品を提供しようとすることである。
Accordingly, an object of the present invention is to provide a resin mold for resin-molding a semiconductor chip and a resin molded using the resin mold, which can solve the various problems described above. An object is to provide a semiconductor component having a sealing portion.

【0022】[0022]

【課題を解決するための手段】この発明は、レール部と
レール部に連結される複数のリード端子部とを備えるリ
ードフレームにおける複数のリード端子部に接続される
ように搭載されている半導体チップを樹脂によって封止
するための封止樹脂部を成形する、樹脂モールド工程に
おいて用いられる、樹脂モールド用金型にまず向けられ
るものであって、上述した技術的課題を解決するため、
次のような構成を備えることを特徴としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to a semiconductor chip mounted to be connected to a plurality of lead terminals in a lead frame having a rail and a plurality of leads connected to the rail. Forming a sealing resin portion for sealing with resin, used in a resin molding process, is directed first to a resin molding die, in order to solve the above-described technical problems,
It is characterized by having the following configuration.

【0023】すなわち、この発明に係る樹脂モールド用
金型は、半導体チップを取り囲むように位置され、かつ
樹脂封止部を成形するためのキャビティとなる主キャビ
ティ部と、リード端子部の少なくとも両主面に接する壁
面によって規定され、かつ、主キャビティ部に連通しな
がら、複数のリード端子部の各々を主キャビティ部から
外部へ導出するように案内するための通路となる案内通
路部と、主キャビティ部から案内通路部を通してはみ出
た樹脂をもって、リード端子部に沿うバリ取り用樹脂部
を成形するためにキャビティとなる副キャビティ部とを
それぞれ規定する壁面を有している。
That is, the resin molding die according to the present invention is located so as to surround the semiconductor chip, and has at least two main cavities, which are cavities for molding a resin sealing portion, and a lead terminal portion. A guide passage portion defined by a wall surface in contact with the surface and communicating with the main cavity portion, a guide passage portion serving as a passage for guiding each of the plurality of lead terminal portions to the outside from the main cavity portion, and a main cavity portion; It has walls that respectively define a sub-cavity portion that serves as a cavity for molding the deburring resin portion along the lead terminal portion with the resin protruding from the portion through the guide passage portion.

【0024】このような樹脂モールド用金型において、
上述の副キャビティ部に関して、次のような特徴的な形
状が与えられる。すなわち、バリ取り用樹脂部が、隣り
合うリード端子部の互いに対向する側面に接しながら、
隣り合うリード端子部間を連結しないように分割された
状態で各リード端子部のそれぞれによって保持され、か
つリード端子部の厚みより高く突出する突出部分を有
し、この突出部分に、リード端子部へと延びる勾配面が
形成される、そのような形態をとるように、副キャビテ
ィ部の形状が与えられる。
In such a resin mold,
The following characteristic shape is given to the above-mentioned sub-cavity portion. In other words, while the deburring resin portion is in contact with the opposing side surfaces of the adjacent lead terminal portions,
Each of the lead terminals has a protruding portion that is held by each of the lead terminals in a divided state so as not to connect between adjacent lead terminals, and protrudes higher than the thickness of the lead terminal. The shape of the sub-cavity is given so as to take such a form, in which a sloping surface extending into the sub-cavity is formed.

【0025】この発明に係る樹脂モールド用金型におい
て、副キャビティ部における上述の勾配面を成形するた
めの面は、平面状に延びる面であっても、曲面状に延び
る面であってもよい。
In the resin mold according to the present invention, the surface for forming the above-mentioned inclined surface in the sub cavity portion may be a surface extending in a plane or a surface extending in a curved surface. .

【0026】この発明は、また、上述した樹脂モールド
用金型を用いて成形された封止樹脂部を備える半導体部
品にも向けられる。
The present invention is also directed to a semiconductor component having a sealing resin portion formed using the above-described resin mold.

【0027】この半導体部品は、前述した技術的課題を
解決するため、レール部とレール部に連結されるされる
複数のリード端子部とを備えるリードフレームと、複数
のリード端子部に接続されるようにリードフレーム上に
搭載される半導体チップと、半導体チップを樹脂によっ
て封止するための封止樹脂部と、リード端子部に沿って
形成されるバリ取り用樹脂部とを備えている。
In order to solve the above-mentioned technical problem, this semiconductor component is connected to a lead frame including a rail and a plurality of lead terminals connected to the rail, and to the plurality of lead terminals. Semiconductor chip mounted on the lead frame, a sealing resin portion for sealing the semiconductor chip with resin, and a deburring resin portion formed along the lead terminal portion.

【0028】そして、バリ取り用樹脂部は、隣り合うリ
ード端子部の互いに対向する側面に接しながら、隣り合
うリード端子部間を連結しないように分割された状態で
各リード端子部のそれぞれによって保持され、かつリー
ド端子部の厚みより高く突出する突出部分を有し、この
突出部分に、リード端子部へと延びる勾配面が形成され
ていることを特徴としている。
The deburring resin portion is held by each of the lead terminal portions in a divided state so as not to connect the adjacent lead terminal portions while being in contact with the side surfaces of the adjacent lead terminal portions facing each other. And a protruding portion protruding higher than the thickness of the lead terminal portion, and a slope surface extending to the lead terminal portion is formed on the protruding portion.

【0029】この発明に係る半導体部品において、封止
樹脂部とバリ取り用樹脂部との境界部には、封止樹脂部
およびバリ取り用樹脂部のいずれに対しても、より肉薄
の肉薄部分が形成されていることが好ましい。
In the semiconductor component according to the present invention, the boundary between the sealing resin portion and the deburring resin portion is thinner than both the sealing resin portion and the deburring resin portion. Is preferably formed.

【0030】また、前述した樹脂モールド用金型の場合
と同様、バリ取り用樹脂部の勾配面は、平面状に延びる
面であっても、曲面状に延びる面であってもよい。
Further, as in the case of the resin mold described above, the slope surface of the deburring resin portion may be a surface extending in a plane or a surface extending in a curved surface.

【0031】[0031]

【発明の実施の形態】図1は、この発明の一実施形態に
よる半導体部品21を示すもので、(a)は、半導体部
品21を一部断面で示す正面図であり、(b)は、半導
体部品21の一部を示す平面図である。図2は、図1の
線II−IIに沿う拡大断面図である。図3は、図1お
よび図2に示した半導体部品21の製造の際に用いられ
る樹脂モールド用金型22の一部を示す拡大断面図であ
る。
1A and 1B show a semiconductor component 21 according to an embodiment of the present invention. FIG. 1A is a front view showing the semiconductor component 21 in a partial cross section, and FIG. FIG. 2 is a plan view showing a part of a semiconductor component 21. FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along line II-II in FIG. FIG. 3 is an enlarged cross-sectional view showing a part of a resin mold 22 used in manufacturing the semiconductor component 21 shown in FIGS. 1 and 2.

【0032】図1を参照して、半導体部品21は、図5
に示した従来の半導体部品1と同様、中間製品となるべ
きものである。
Referring to FIG. 1, semiconductor component 21 is formed as shown in FIG.
As in the case of the conventional semiconductor component 1 shown in FIG.

【0033】半導体部品21は、レール部23とレール
部23に連結される複数のリード端子部24とを有する
リードフレーム25を備えている。レール部23には、
リードフレーム25の位置決めや搬送のための複数のパ
イロットホール26が設けられている。
The semiconductor component 21 has a lead frame 25 having a rail 23 and a plurality of lead terminals 24 connected to the rail 23. In the rail part 23,
A plurality of pilot holes 26 for positioning and transporting the lead frame 25 are provided.

【0034】半導体部品21は、また、複数のリード端
子部24に接続されるようにリードフレーム25上に搭
載される半導体チップ(図示せず)と、半導体チップを
樹脂によって封止するための封止樹脂部27とを備えて
いる。
The semiconductor component 21 includes a semiconductor chip (not shown) mounted on the lead frame 25 so as to be connected to the plurality of lead terminal portions 24, and a sealing for sealing the semiconductor chip with resin. And a stopper resin portion 27.

【0035】また、半導体部品21は、リード端子部2
4に沿って形成されるバリ取り用樹脂部28を備えてい
る。バリ取り用樹脂部28は、図5に示した従来の半導
体部品1におけるダム樹脂部8に対応するものである
が、その形成態様が、従来のダム樹脂部8とは異なって
いる。
The semiconductor component 21 is connected to the lead terminal 2.
4 is provided. The deburring resin portion 28 corresponds to the dam resin portion 8 in the conventional semiconductor component 1 shown in FIG. 5, but is formed in a different manner from the conventional dam resin portion 8.

【0036】すなわち、バリ取り用樹脂部28は、隣り
合うリード端子部24の互いに対向する側面29に接し
ながら、隣り合うリード端子部24間を連結しないよう
に、ギャップ30を介して分割された状態で各リード端
子部24のそれぞれによって保持されている。バリ取り
用樹脂部28は、好ましくは、レール部23には届かな
いように形成される。
That is, the deburring resin portion 28 is divided via the gap 30 so as to be in contact with the side surfaces 29 of the adjacent lead terminal portions 24 facing each other and not to connect the adjacent lead terminal portions 24. In this state, it is held by each of the lead terminal portions 24. The deburring resin portion 28 is preferably formed so as not to reach the rail portion 23.

【0037】バリ取り用樹脂部28は、図2によく示さ
れているように、リード端子部24の厚みより高く突出
する突出部分31を有していて、この突出部分31に
は、リード端子部24へと延びる勾配面32が形成され
ている。この勾配面32は、この実施形態では、平面状
に延びる面によって与えられている。
As shown in FIG. 2, the deburring resin portion 28 has a projecting portion 31 projecting higher than the thickness of the lead terminal portion 24. A sloping surface 32 extending to the portion 24 is formed. In this embodiment, the slope surface 32 is provided by a plane extending in a plane.

【0038】また、リードフレーム25は、図5に示し
たダムバー7に相当する要素を備えていない。
Further, the lead frame 25 does not have an element corresponding to the dam bar 7 shown in FIG.

【0039】また、バリ取り用樹脂部28は、封止樹脂
部27を与える樹脂のはみ出しによって形成されるもの
であるので、バリ取り用樹脂部28と封止樹脂部27と
は互いに樹脂によって連結されているが、図1(a)に
おいて図示されるように、封止樹脂部27とバリ取り用
樹脂部28との境界部には、これら封止樹脂部27およ
びバリ取り用樹脂部28のいずれに対しても、より肉薄
の肉薄部分33が形成されている。
Since the deburring resin portion 28 is formed by extruding the resin that provides the sealing resin portion 27, the deburring resin portion 28 and the sealing resin portion 27 are connected to each other by the resin. However, as shown in FIG. 1A, at the boundary between the sealing resin portion 27 and the deburring resin portion 28, the sealing resin portion 27 and the deburring resin portion 28 In any case, a thinner portion 33 is formed.

【0040】図3にその一部を示した樹脂モールド用金
型22は、上型34と下型35とから構成され、封止樹
脂部27およびバリ取り用樹脂部28を成形するための
樹脂モールド工程において用いられる。
The resin mold 22 partially shown in FIG. 3 is composed of an upper mold 34 and a lower mold 35, and a resin for molding the sealing resin portion 27 and the deburring resin portion 28. Used in the molding process.

【0041】金型22は、図示しない半導体チップを取
り囲むように位置され、かつ樹脂封止部27を成形する
ためのキャビティとなる主キャビティ部を規定する壁面
を有している。主キャビティ部については図示しない
が、その形状については、封止樹脂部27の外形状から
自明であろう。
The mold 22 is positioned so as to surround a semiconductor chip (not shown), and has a wall surface that defines a main cavity portion serving as a cavity for molding the resin sealing portion 27. Although the main cavity portion is not shown, its shape will be obvious from the outer shape of the sealing resin portion 27.

【0042】金型22は、また、リード端子部24の少
なくとも両主面36および37に接する壁面によって規
定され、かつ、主キャビティ部に連通しながら、複数の
リード端子部24の各々を主キャビティ部から外部へ突
出するように案内するための通路となる案内通路部38
を規定する壁面を有している。図3には、案内通路部3
8を通るように位置合わせされたリード端子部24が図
示されている。
The mold 22 is defined by a wall surface which is in contact with at least both the main surfaces 36 and 37 of the lead terminal portion 24, and communicates with the main cavity portion so as to connect each of the plurality of lead terminal portions 24 to the main cavity portion. Guide passage portion 38 serving as a passage for guiding to protrude from the portion to the outside
Are defined. FIG. 3 shows the guide passage 3
The lead terminal portion 24 positioned so as to pass through 8 is shown.

【0043】案内通路部38を規定する壁面を、前述し
たように、リード端子部24の両主面36および37に
接触させた状態を得ることは比較的容易であるが、リー
ド端子部24の側面29に接触させた状態を得ることは
比較的困難であり、そのため、案内通路部38を規定す
る壁面とリード端子部24の側面29との間には、隙間
39が形成される。
As described above, it is relatively easy to obtain a state in which the wall surface defining the guide passage portion 38 is in contact with both the main surfaces 36 and 37 of the lead terminal portion 24. It is relatively difficult to obtain a state of contact with the side surface 29, so that a gap 39 is formed between the wall surface defining the guide passage 38 and the side surface 29 of the lead terminal portion 24.

【0044】そのため、主キャビティ部によって成形さ
れる封止樹脂部27を与える樹脂が、案内通路部38の
隙間39を通してはみ出し、このはみ出した樹脂によっ
て、バリ取り用樹脂部28が形成される。金型22は、
図3に示すように、このバリ取り用樹脂部28を成形す
るためのキャビティとなる副キャビティ部40を規定す
る壁面を有している。
Therefore, the resin for providing the sealing resin portion 27 formed by the main cavity portion protrudes through the gap 39 of the guide passage portion 38, and the protruding resin forms the deburring resin portion 28. The mold 22
As shown in FIG. 3, it has a wall surface that defines a sub-cavity portion 40 serving as a cavity for molding the deburring resin portion 28.

【0045】副キャビティ部40の形状は、図2と図3
とを対比すればわかるように、バリ取り用樹脂部28の
外形状に相関している。すなわち、金型22の上型34
には、バリ取り用樹脂部28におけるギャップ30を成
形するためのリブ41が設けられ、また、突出部分31
を成形するための凹部42が設けられている。また、凹
部42は、突出部分31の一方側に形成される勾配面3
2を成形するための勾配成形面43によってその一部が
規定されている。この勾配成形面43は、平面状の勾配
面32に対応して、平面状に延びる面によって与えられ
る。
The shape of the sub-cavity 40 is shown in FIGS.
As can be seen from the comparison with the above, it is correlated with the outer shape of the resin part 28 for deburring. That is, the upper mold 34 of the mold 22
Is provided with a rib 41 for molding the gap 30 in the deburring resin portion 28, and
Is formed. The concave portion 42 is formed on one side of the protruding portion 31.
A part thereof is defined by a gradient forming surface 43 for forming the second member 2. The slope forming surface 43 is provided by a plane extending in a plane corresponding to the plane slope 32.

【0046】なお、図3に示した金型22では、リブ4
1が上型34側に設けられたが、下型35側に設けられ
てもよい。この場合、リブに形成されるテーパは逆向き
とされる。また、リブは、上型34および下型35の双
方に分担された状態で設けられてもよい。
In the mold 22 shown in FIG.
Although 1 is provided on the upper mold 34 side, it may be provided on the lower mold 35 side. In this case, the taper formed in the rib is reversed. Further, the ribs may be provided in a state of being shared by both the upper mold 34 and the lower mold 35.

【0047】また、金型22には、図1(a)に示した
バリ取り用樹脂部28と封止樹脂部27との境界部にあ
る肉薄部分33を成形するための壁部44が設けられて
いる。壁部44は、図1(a)において肉薄部分33の
上方に形成されるV字溝45の形状に対応して、断面V
字状を有している。
The mold 22 is provided with a wall portion 44 for forming a thin portion 33 at the boundary between the deburring resin portion 28 and the sealing resin portion 27 shown in FIG. Have been. The wall portion 44 has a cross section V corresponding to the shape of the V-shaped groove 45 formed above the thin portion 33 in FIG.
It has a character shape.

【0048】以上説明した構造を有する金型22を用い
た樹脂モールド工程を実施することによって、封止樹脂
部27およびバリ取り用樹脂部28が成形された後、バ
リ取り用樹脂部28は除去される。この除去のため、た
とえばパンチングが適用されたり、あるいは、ウォータ
ージェットのような水圧が適用されたりする。
After the sealing resin portion 27 and the deburring resin portion 28 are formed by performing the resin molding process using the mold 22 having the structure described above, the deburring resin portion 28 is removed. Is done. For this removal, for example, punching is applied, or a water pressure such as a water jet is applied.

【0049】いずれの方法を用いた場合であっても、バ
リ取り用樹脂部28の突出部分31に対して、図による
上方から、リード端子部24の主面36および37に対
して垂直方向の力が加えられる。これによって、突出部
分31に勾配面32が形成されているので、バリ取り用
樹脂部28をリード端子部24の側面29から離隔させ
るように剥離しようとするモーメントが、せん断力と同
時に働く。その結果、たとえばパンチング金型をバリ取
り用樹脂部28の全面にわたって接触させて力を加える
ことをしなくても、より小さな力で、バリ取り用樹脂部
28のすべてを除去することが容易になる。
Regardless of the method used, the projecting portion 31 of the deburring resin portion 28 is perpendicular to the main surfaces 36 and 37 of the lead terminal portion 24 from above in the figure. Power is applied. As a result, since the slope surface 32 is formed on the protruding portion 31, a moment for separating the deburring resin portion 28 so as to separate it from the side surface 29 of the lead terminal portion 24 acts simultaneously with the shearing force. As a result, it is easy to remove all of the deburring resin portion 28 with a smaller force without applying a force by, for example, bringing the punching die into contact with the entire surface of the deburring resin portion 28. Become.

【0050】なお、上述のように、バリ取り用樹脂部2
8は、これをより小さな力で除去することが容易である
ので、後で実施されることが予定されているフラッシュ
バリの除去のための工程において、バリ取り用樹脂部2
8をフラッシュバリとともに除去するようにして、工程
数の削減を図ってもよい。
As described above, the deburring resin portion 2
In the process for removing flash burrs which will be carried out later, the resin portion 2 for removing burrs can be easily removed with a smaller force.
8 may be removed together with the flash burr to reduce the number of steps.

【0051】なお、図1に示すように、この実施形態で
は、バリ取り用樹脂部28が、リード端子部24に沿っ
て細長く形成される。そのため、リードフレーム25に
は、図5に示したダムバー7に相当する形状部分を設け
なくても、樹脂モールド工程において、金型22の副キ
ャビティ部40内にバリ取り用樹脂部28を与える樹脂
を留めておくことができる。これに関して、図1では、
バリ取り用樹脂部28の、レール部23側の端部が整っ
た形状を有しているが、樹脂モールド工程での条件や副
キャビティ部40の形状および/または容積等によって
は、バリ取り用樹脂部28がたとえば先細状に形成され
ることもあり得る。
As shown in FIG. 1, in this embodiment, the deburring resin portion 28 is formed to be elongated along the lead terminal portion 24. Therefore, even if the lead frame 25 is not provided with a shape portion corresponding to the dam bar 7 shown in FIG. 5, the resin for providing the deburring resin portion 28 in the sub-cavity portion 40 of the mold 22 in the resin molding process. Can be kept. In this regard, FIG.
The end portion of the deburring resin portion 28 on the side of the rail portion 23 has a regular shape. However, depending on the conditions in the resin molding process and the shape and / or volume of the sub-cavity portion 40, etc. The resin portion 28 may be formed in a tapered shape, for example.

【0052】また、上述のように、この実施形態では、
リードフレーム25は、図5に示したダムバー7に相当
する要素を備えていないので、これを切断するための工
程は不要である。
As described above, in this embodiment,
Since the lead frame 25 does not include an element corresponding to the dam bar 7 shown in FIG. 5, a step for cutting the same is unnecessary.

【0053】次に、リード端子部24は、1点鎖線46
で示すようなレール部23側の端部において切断され、
それによって、互いに独立したリード端子を構成する状
態とされる。そして、このリード端子に対しては、曲げ
加工などの必要な加工が施され、それによって、最終製
品としての半導体装置が完成される。
Next, the lead terminal part 24
Is cut at the end on the rail portion 23 side as shown by
As a result, a state is formed in which the lead terminals are independent from each other. Then, necessary processing such as bending is performed on the lead terminals, whereby a semiconductor device as a final product is completed.

【0054】図4は、この発明の他の実施形態による樹
脂モールド用金型22aを示す、図3に相当する図であ
る。図4において、図3に示した要素に相当する要素に
は同様の参照符号を付し、重複する説明は省略する。
FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 3, showing a resin mold 22a according to another embodiment of the present invention. 4, elements corresponding to the elements shown in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals, and redundant description will be omitted.

【0055】図4に示した金型22aは、その上型34
において形成される勾配成形面43aが、曲面状に延び
る面によって与えられていることを特徴としている。そ
の他の構成は、図3に示した金型22と実質的に同様で
ある。
The mold 22a shown in FIG.
Is formed by a surface extending in a curved surface. Other configurations are substantially the same as those of the mold 22 shown in FIG.

【0056】曲面状に延びる勾配成形面43aによれ
ば、バリ取り用樹脂部28における勾配面32を、曲面
状に延びる面によって与えることができる。このよう
に、勾配面32は、平面状に延びる面であっても、曲面
状に延びる面であっても、平面と曲面とが組み合わされ
ていても、2つ以上の異なる傾きを有する平面の組み合
わせであってもよい。
According to the gradient molding surface 43a extending in a curved shape, the gradient surface 32 in the deburring resin portion 28 can be provided by a surface extending in a curved shape. As described above, the slope surface 32 is a plane extending in a plane, a plane extending in a curved plane, or a plane having a combination of two or more planes. It may be a combination.

【0057】以上、この発明を図示した実施形態に関連
して説明したが、この発明の範囲内において、その他、
種々の変形例が可能である。
Although the present invention has been described with reference to the illustrated embodiment, other than the above, within the scope of the present invention,
Various modifications are possible.

【0058】たとえば、図示した半導体部品21は、図
1に示すように、2つの方向へリード端子部34を導出
した構造を有していたが、このようなリード端子部の導
出方向は、たとえば4つの方向であってもよく、たとえ
ばQFPなどの樹脂封止パッケージ構造を有する半導体
装置のための半導体部品のすべてに対して、この発明を
適用することができる。
For example, as shown in FIG. 1, the illustrated semiconductor component 21 has a structure in which the lead terminal portions 34 are led out in two directions. The present invention can be applied to all semiconductor components for a semiconductor device having a resin-sealed package structure such as QFP.

【0059】また、前述の実施形態では、複数のバリ取
り用樹脂部28の突出部分31が互いに同じ高さになる
ように図示されていたが、これら突出部分が互いに異な
る高さを有していてもよい。
In the above-described embodiment, the projecting portions 31 of the plurality of deburring resin portions 28 are illustrated so as to have the same height, but these projecting portions have different heights. You may.

【0060】[0060]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、リー
ド端子部に沿って形成されるバリ取り用樹脂部が、隣り
合うリード端子部の互いに対向する側面に接しながら、
隣り合うリード端子部間を連結しないように分割された
状態で各リード端子部のそれぞれによって保持され、か
つリード端子部の厚みより高く突出する突出部分を有し
ていて、さらに、この突出部分には、リード端子部へと
延びる勾配面が形成されることができるので、リード端
子部の主面に対して垂直方向の力をバリ取り用樹脂部に
向かって加えると、勾配面の作用によって、バリ取り用
樹脂部とリード端子部24との間にモーメントによる剥
離力が働きやすくなり、そのため、バリ取り用樹脂部を
容易にかつ確実に除去することが可能になる。
As described above, according to the present invention, the deburring resin portion formed along the lead terminal portion is in contact with the side surfaces of the adjacent lead terminal portions facing each other.
It has a protruding portion that is held by each of the lead terminal portions in a divided state so as not to connect between adjacent lead terminal portions, and that protrudes higher than the thickness of the lead terminal portion. Since a gradient surface extending to the lead terminal portion can be formed, when a force in a direction perpendicular to the main surface of the lead terminal portion is applied toward the deburring resin portion, the action of the gradient surface causes A peeling force due to a moment easily acts between the deburring resin portion and the lead terminal portion 24, so that the deburring resin portion can be easily and reliably removed.

【0061】また、この発明によれば、フラッシュバリ
がバリ取り用樹脂部に吸収されやすくなるので、フラッ
シュバリ自身を非常に少なくすることができる。そのた
め、バリ取り用樹脂部の除去とフラッシュバリの除去と
を共通の工程で済ませることができ、これらバリ取りの
ための工程数の削減および工程に要する時間の短縮を図
ることができる。
Further, according to the present invention, since flash burrs are easily absorbed by the deburring resin portion, the flash burrs themselves can be extremely reduced. Therefore, the removal of the deburring resin portion and the removal of the flash burr can be completed in a common step, and the number of steps for deburring and the time required for the steps can be reduced.

【0062】また、リードフレームがエッチングによっ
て作製されたものである場合には、リード端子部の側面
に細かな凹凸が多く生じるため、このような側面に付着
したバリを取るため、ウォータージェットやサンドブラ
スト等を比較的長時間適用する必要があったが、この発
明によれば、バリ取り用樹脂部がリード端子部の側面に
付着しており、したがって、比較的大きな塊としてのバ
リ取り用樹脂部を除去すれば足りるので、その除去を、
確実かつ容易に、また短時間で済ませることができる。
When the lead frame is formed by etching, many fine irregularities are formed on the side surface of the lead terminal portion. To remove burrs adhering to such side surface, a water jet or sand blast is used. However, according to the present invention, the deburring resin portion adheres to the side surface of the lead terminal portion, and accordingly, the deburring resin portion as a relatively large lump is provided. It is enough to remove the
It can be done reliably, easily and in a short time.

【0063】また、バリ取り用樹脂部には突出部分が形
成され、この突出部分には勾配面が形成されているの
で、バリ取り用樹脂部のためにパンチングを適用すると
すれば、パンチング金型において、リード端子部の配列
ピッチおよび数に合わせた凸部を設ける必要がなく、パ
ンチング金型の形状を複雑化することを回避でき、ま
た、パンチング工程におけるパンチング金型とリード端
子部との厳密な位置合わせが不要となる。
Further, since a projecting portion is formed on the deburring resin portion and a slope is formed on the projecting portion, if punching is applied to the deburring resin portion, a punching die is used. In this case, it is not necessary to provide projections corresponding to the arrangement pitch and the number of the lead terminal portions, so that it is possible to avoid complicating the shape of the punching die, and to strictly control the punching die and the lead terminal portion in the punching step. Alignment is not required.

【0064】また、この発明によれば、バリ取り用樹脂
部を与える樹脂のリード端子部間への侵入を防止するた
めのダムバーが不要となるので、ダムバーを除去するた
めの工程が不要となり、そのため、ダムバーを除去する
ためのパンチング金型の消耗の問題に煩わされることは
ない。したがって、ダムバーの除去とダム樹脂部の除去
とを共通のパンチング金型で行なっていた従来の場合に
比べて、バリ取り用樹脂部の除去のためのパンチング金
型の寿命を延ばすことができる。
Further, according to the present invention, a dam bar for preventing the resin for providing the deburring resin portion from entering between the lead terminal portions is not required, so that a step for removing the dam bar is not required. Therefore, the problem of the consumption of the punching die for removing the dam bar is not bothered. Therefore, the service life of the punching die for removing the deburring resin portion can be extended as compared with the conventional case in which the removal of the dam bar and the removal of the dam resin portion are performed by a common punching die.

【0065】以上述べたような工程数の削減、工程の実
施に要する時間の短縮、金型の長寿命化等の効果の結
果、所望の半導体装置を製造するためのコストの削減を
図ることができる。
As described above, as a result of the reduction in the number of steps, the reduction in the time required for performing the steps, and the extension of the life of the mold, the cost for manufacturing a desired semiconductor device can be reduced. it can.

【0066】また、前述したように、リードフレームに
ダムバーを設ける必要がないため、ダムバーを除去した
後にリード端子部に残される張出部によってもたらされ
る問題をも回避することができる。すなわち、張出部の
存在のために、リード端子部によって与えられたリード
端子に変形が生じやすいという問題、また、リード端子
の狭ピッチ化を阻害するという問題を回避することがで
きる。
Further, as described above, since there is no need to provide a dam bar in the lead frame, it is possible to avoid the problem caused by the overhang remaining on the lead terminal after the dam bar is removed. That is, it is possible to avoid the problem that the lead terminal provided by the lead terminal portion is easily deformed due to the presence of the overhang portion, and the problem that the pitch of the lead terminals is prevented from being narrowed.

【0067】この発明に係る半導体部品において、封止
樹脂部とバリ取り用樹脂部との境界部に肉薄部分が形成
されていると、バリ取り用樹脂部の除去をより容易に行
なうことが可能となるとともに、バリ取り用樹脂部が除
去された後の封止樹脂部の表面をよりきれいな状態に仕
上げることができる。
In the semiconductor component according to the present invention, when the thin portion is formed at the boundary between the sealing resin portion and the deburring resin portion, the deburring resin portion can be more easily removed. In addition, the surface of the sealing resin portion after the deburring resin portion is removed can be finished in a more clean state.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明の一実施形態による半導体部品21を
示すもので、(a)は、半導体部品21を一部断面で示
す正面図であり、(b)は、半導体部品21の一部を示
す平面図である。
1A and 1B show a semiconductor component 21 according to an embodiment of the present invention, in which FIG. 1A is a front view showing the semiconductor component 21 in a partial cross section, and FIG. FIG.

【図2】図1(b)の線II−IIに沿う拡大断面図で
ある。
FIG. 2 is an enlarged sectional view taken along a line II-II in FIG. 1 (b).

【図3】図1および図2に示した封止樹脂部27および
バリ取り用樹脂部28を成形するための樹脂モールド工
程において用いられる樹脂モールド用金型22の一部
を、リード端子部24と位置合わせされた状態で拡大し
て示す断面図である。
FIG. 3 shows a part of a resin molding die 22 used in a resin molding step for molding the sealing resin part 27 and the deburring resin part 28 shown in FIGS. It is sectional drawing which expands and shows in the state aligned with (3).

【図4】この発明の他の実施形態による樹脂モールド用
金型22aを示す、図3に相当する図である。
FIG. 4 is a view corresponding to FIG. 3, showing a resin mold 22a according to another embodiment of the present invention.

【図5】この発明にとって興味ある従来の半導体部品1
を示すもので、(a)は、半導体部品1を一部断面で示
す正面図であり、(b)は、半導体部品1の一部を示す
平面図であり、(c)は、(b)の線C−Cに沿う断面
図である。
FIG. 5 shows a conventional semiconductor component 1 of interest to the present invention.
(A) is a front view showing the semiconductor component 1 in a partial cross section, (b) is a plan view showing a part of the semiconductor component 1, and (c) is (b) It is sectional drawing which follows the line CC of FIG.

【図6】図5に示した樹脂封止部5およびダム樹脂部8
を成形するための樹脂モールド工程において用いられる
樹脂モールド用金型9の一部を、リード端子部3と位置
合わせされた状態で示す拡大断面図である。
FIG. 6 shows a resin sealing portion 5 and a dam resin portion 8 shown in FIG.
FIG. 5 is an enlarged cross-sectional view showing a part of a resin molding die 9 used in a resin molding step for molding a resin terminal in a state where it is aligned with a lead terminal portion 3.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 半導体部品 22,22a 樹脂モールド用金型 23 レール部 24 リード端子部 25 リードフレーム 27 樹脂封止部 28 バリ取り用樹脂部 29 リード端子部の側面 30 ギャップ 31 突出部分 32 勾配面 33 肉薄部分 36,37 リード端子部の主面 38 案内通路部 39 隙間 40 副キャビティ部 41 リブ 42 凹部 43,43a 勾配成形面 REFERENCE SIGNS LIST 21 semiconductor component 22, 22 a resin mold 23 rail portion 24 lead terminal portion 25 lead frame 27 resin sealing portion 28 deburring resin portion 29 side surface of lead terminal portion 30 gap 31 projecting portion 32 inclined surface 33 thin portion 36 , 37 Main surface of lead terminal portion 38 Guide passage portion 39 Gap 40 Subcavity portion 41 Rib 42 Recess 43, 43a Gradient forming surface

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レール部と前記レール部に連結される複
数のリード端子部とを備えるリードフレームにおける複
数の前記リード端子部に接続されるように搭載されてい
る半導体チップを樹脂によって封止するための封止樹脂
部を成形する、樹脂モールド工程において用いられる、
樹脂モールド用金型であって、 前記半導体チップを取り囲むように位置され、かつ前記
封止樹脂部を成形するためのキャビティとなる主キャビ
ティ部と、 前記リード端子部の少なくとも両主面に接する壁面によ
って規定され、かつ、前記主キャビティ部に連通しなが
ら、複数の前記リード端子部の各々を前記主キャビティ
部から外部へ導出するように案内するための通路となる
案内通路部と、 前記主キャビティ部から前記案内通路部を通してはみ出
た樹脂をもって、前記リード端子部に沿うバリ取り用樹
脂部を成形するためのキャビティとなる副キャビティ部
とをそれぞれ規定する壁面を有し、 前記バリ取り用樹脂部が、隣り合う前記リード端子部の
互いに対向する側面に接しながら、隣り合う前記リード
端子部間を連結しないように分割された状態で各前記リ
ード端子部のそれぞれによって保持され、かつ前記リー
ド端子部の厚みより高く突出する突出部分を有し、前記
突出部分に、前記リード端子部へと延びる勾配面が形成
される、そのような形態をとるように、前記副キャビテ
ィ部の形状が与えられている、半導体チップを樹脂モー
ルドするための樹脂モールド用金型。
1. A semiconductor chip mounted to be connected to a plurality of said lead terminals in a lead frame having a rail and a plurality of leads connected to said rail is sealed with a resin. Used in a resin molding process to mold a sealing resin portion for
A resin molding die, which is positioned so as to surround the semiconductor chip and is a main cavity portion serving as a cavity for molding the sealing resin portion, and a wall surface in contact with at least both main surfaces of the lead terminal portion. And a guide passage portion serving as a passage for guiding each of the plurality of lead terminal portions to the outside from the main cavity portion while communicating with the main cavity portion, and the main cavity Having a wall which respectively defines a sub-cavity portion which serves as a cavity for molding a deburring resin portion along the lead terminal portion, with the resin protruding from the portion through the guide passage portion, and the deburring resin portion. Are divided so as not to connect the adjacent lead terminal portions while contacting the side surfaces of the adjacent lead terminal portions facing each other. A protruding portion that is held by each of the lead terminal portions in a state where the lead terminal portion is protruded and that is higher than the thickness of the lead terminal portion, and a slope surface extending to the lead terminal portion is formed in the protruding portion. A resin molding die for resin-molding a semiconductor chip, wherein the shape of the sub-cavity is provided so as to take such a form.
【請求項2】 前記副キャビティ部における前記勾配面
を成形するための面は、平面状に延びる面である、請求
項1に記載の樹脂モールド金型。
2. The resin mold according to claim 1, wherein the surface for forming the inclined surface in the sub cavity portion is a surface extending in a planar shape.
【請求項3】 前記副キャビティ部における前記勾配面
を成形するための面は、曲面状に延びる面である、請求
項1に記載の樹脂モールド金型。
3. The resin mold according to claim 1, wherein the surface for forming the inclined surface in the sub cavity portion is a surface extending in a curved shape.
【請求項4】 レール部と前記レール部に連結される複
数のリード端子部とを備えるリードフレームと、 複数の前記リード端子部に接続されるように前記リード
フレーム上に搭載される半導体チップと、 前記半導体チップを樹脂によって封止するための封止樹
脂部と、 前記リード端子部に沿って形成されるバリ取り用樹脂部
とを備え、 前記バリ取り用樹脂部は、隣り合う前記リード端子部の
互いに対向する側面に接しながら、隣り合う前記リード
端子部間を連結しないように分割された状態で各前記リ
ード端子部のそれぞれによって保持され、かつ前記リー
ド端子部の厚みより高く突出する突出部分を有し、前記
突出部分に、前記リード端子部へと延びる勾配面が形成
されていることを特徴とする、半導体部品。
4. A lead frame including a rail and a plurality of lead terminals connected to the rail, and a semiconductor chip mounted on the lead frame so as to be connected to the plurality of lead terminals. A sealing resin portion for sealing the semiconductor chip with a resin; and a deburring resin portion formed along the lead terminal portion, wherein the deburring resin portion is adjacent to the lead terminal. A projection that is held by each of the lead terminal portions in a divided state so as not to connect between adjacent ones of the lead terminal portions, and that protrudes higher than the thickness of the lead terminal portion while being in contact with the side surfaces facing each other of the portion. A semiconductor component having a portion, wherein a slope surface extending to the lead terminal portion is formed on the protruding portion.
【請求項5】 前記封止樹脂部と前記バリ取り用樹脂部
との境界部には、前記封止樹脂部および前記バリ取り用
樹脂部のいずれに対しても、より肉薄の肉薄部分が形成
されている、請求項4に記載の半導体部品。
5. A thinner portion is formed at a boundary between the sealing resin portion and the deburring resin portion, which is thinner than any of the sealing resin portion and the deburring resin portion. The semiconductor component according to claim 4, wherein:
【請求項6】 前記バリ取り用樹脂部の前記勾配面は、
平面状に延びる面である、請求項4または5に記載の半
導体部品。
6. The slope surface of the deburring resin portion,
The semiconductor component according to claim 4, wherein the semiconductor component is a plane extending in a plane.
【請求項7】 前記バリ取り用樹脂部の前記勾配面は、
曲面状に延びる面である、請求項4または5に記載の半
導体部品。
7. The slope surface of the deburring resin portion,
The semiconductor component according to claim 4, wherein the semiconductor component is a surface extending in a curved shape.
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