JP2002181639A - 回転体の応力または温度計測装置および計測方法 - Google Patents

回転体の応力または温度計測装置および計測方法

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JP2002181639A
JP2002181639A JP2000376759A JP2000376759A JP2002181639A JP 2002181639 A JP2002181639 A JP 2002181639A JP 2000376759 A JP2000376759 A JP 2000376759A JP 2000376759 A JP2000376759 A JP 2000376759A JP 2002181639 A JP2002181639 A JP 2002181639A
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rotating body
stress
temperature
movable
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JP2000376759A
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Yuji Kohari
裕二 小張
Masanobu Sakai
政信 酒井
Masaharu Oshima
正晴 大島
Tatsumi Izeki
立美 井関
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Nissan Motor Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 スペース的な制約を緩和して、回転体の応力
または温度を抵抗素子を使って精度良く測定できる技術
を提供する。 【解決手段】 回転体3に装着した抵抗素子4の一端を
大地アースに接地し、他端を電極5,11および可変イ
ンダクタンス16に直列に接続するとともに、電極11
と可変インダクタンス16間の周囲のシールド部材10
を大地アースとは異なるシールドドライブ回路19に連
結してシールド機能を持たせる。インピーダンスの位相
角が常に一定となるようにインダクタンス、静電容量お
よび発振周波数のうち少なくともいずれか一つを可変制
御し、検出された電流信号に基準信号を加算して前記抵
抗素子4の抵抗変化を検出する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ひずみゲージ等の
抵抗素子を利用して回転体の応力やトルクもしくは温度
を計測するようにした計測装置とその計測方法に関する
ものである。
【0002】
【従来の技術】従来の応力、トルク、温度の測定方法と
しては、ひずみゲージ、サーミスタ等を被検体に直接貼
り付けて、抵抗値の変化から予め換算した換算値を使っ
て応力等を検出する方法が知られている。
【0003】また、回転体の応力、トルク、温度を測定
するにはテレメータが用いられる。これは、回転体にひ
ずみゲージ、サーミスタ等を装着し、その抵抗値をブリ
ッジ回路により電圧に置き換えて出力するもので、各種
のものが市販されている。
【0004】さらに、交流による抵抗測定方法としてL
CRメータなどが知られている。例えば、LCRの直列
回路に交流測定信号を印加することで抵抗値を測定する
ことができるほか、電極を非接触で対面させることで静
電容量成分であるコンデンサをつくることにより、被検
体とは非接触で抵抗値を測定することができる。より具
体的には、例えば特開2000−171500号公報に
はプリント配線板の抵抗を測定する技術が記載されてい
るが、基本的には上記LCRメータによる測定技術の延
長線上にあるものと理解される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】テレメータの大きさ
は、厚みが数ミリ〜数十ミリ程度で直径も十数ミリ以上
あるため、回転体にテレメータを搭載するスペースがな
い場合には所期の目的を達成することができない。加え
て、テレメータを回転体に搭載できたとしても、回転体
の回転数が高くなるとテレメータの自重による遠心力の
作用によってそのテレメータを固定している被検体やテ
レメータ自体が破損するおそれがあり、なおも改善の余
地を残している。
【0006】また、LCRメータによって回転体の応
力、温度等を測定する場合、検出用抵抗素子の両端に大
地アースとは絶縁された電極を複数設置する必要があ
り、さらに一方の電極対が他方の電極対に対し静電容量
の干渉を起こさないように二つの電極対を互いに離す必
要があり、回転体の狭所に電極対を距離を離して複数設
置するスペースがない場合には測定が困難となる。
【0007】その対策として、回転体の試験装置を大地
アースから切り離し、応力、温度等の検出用抵抗素子の
一端を回転体試験装置に接続する一方、回転体試験装置
をLCRメータに接続すれば良いが、例えば自動車用エ
ンジンやその補機類あるいは動力伝達装置等の試験(実
験)を目的とした中大型の回転体実験設備では、付随す
る各種測定装置を含めると大地アースに接続するものが
ほとんどであり、これらの全てを大地アースから切り離
すには多額な設備改造費用が必要となる。
【0008】さらに、LCRメータによる測定の場合、
電極部は高インピーダンスが発生し、電極以外の配線部
と大地アースとの間で容量分による電流が流れて測定誤
差を生ずる結果となって好ましくない。その上、LCR
メータにより検出用抵抗素子を用いて応力、温度等を測
定する場合には抵抗値の絶対値を測定することになる
が、通常それらの素子の基準抵抗値は数百〜数千Ω程度
あるため、応力、温度等による微小抵抗変動を検出する
には分解能が不足するという問題がある。
【0009】本発明は以上のような課題に着目してなさ
れたもので、特に抵抗素子を使って回転体の応力または
温度を精度良く測定できるようにした計測装置と計測方
法を提供しようとするものである。
【0010】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、回転体に応力または温度測定用の抵抗素子を装着す
るとともに、この抵抗素子に所定の静電容量をもつ電極
とインダクタンスとを介して交流電流を流して、その抵
抗値をインピーダンスにより測定するようにした回転体
の応力または温度を計測する装置であることを前提とし
ている。
【0011】そして、前記抵抗素子の一端を大地アース
に接地し、他端を電極、インダクタンスに直列に接続す
るとともに、前記電極とインダクタンス間の周囲を大地
アースとは異なるシールドドライブ回路に連結してシー
ルド機能を持たせ、前記インピーダンスの位相角が常に
一定となるようにインダクタンス、静電容量および発振
周波数のうち少なくともいずれか一つを可変制御する手
段を設けるとともに、検出された電流信号に基準信号を
加算して前記抵抗素子の抵抗変化を検出する手段を設け
たこと特徴としている。
【0012】また、請求項1に記載の発明を方法的な面
からとらえたものが請求項12に記載の発明であって、
この請求項12に記載の発明では、回転体に応力または
温度測定用の抵抗素子を装着するとともに、この抵抗素
子に所定の静電容量をもつ電極とインダクタンスとを介
して交流電流を流して、その抵抗値をインピーダンスに
より測定するようにした回転体の応力または温度を計測
する方法であることを前提として、前記抵抗素子の一端
を大地アースに接地し、他端を電極、インダクタンスに
直列に接続するとともに、前記電極とインダクタンス間
の周囲を大地アースとは異なるシールドドライブ回路に
連結してシールド機能を持たせ、前記インピーダンスの
位相角が常に一定となるようにインダクタンス、静電容
量および発振周波数のうち少なくともいずれか一つを可
変制御し、検出された電流信号に基準信号を加算して前
記抵抗素子の抵抗変化を検出すること特徴としている。
【0013】したがって、これら請求項1,12に記載
の発明では、抵抗素子の一端を大地アースに接地しても
浮遊容量の影響を受けることはなく、抵抗素子の抵抗値
変化分だけを精度良く測定できるようになる。
【0014】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
のシールドドライブ回路に代えてトロイダル型トランス
を設け、前記電極とインダクタンスとを接続している導
線とその外周側のシールド部材とについていずれか一方
を前記トロイダル型トランスの一次側とし他方を二次側
としたことを特徴としている。
【0015】また、請求項2に記載の発明を方法的な面
からとらえたものが請求項13に記載の発明であって、
この請求項13に記載の発明では、請求項12に記載の
シールドドライブ回路に代えてトロイダル型トランスを
設け、前記電極とインダクタンスとを接続している導線
とその外周側のシールド部材とについていずれか一方を
前記トロイダル型トランスの一次側とし他方を二次側と
したことを特徴としている。
【0016】したがって、これら請求項2,13に記載
の発明では、シールドドライブ回路に代わるトロイダル
型トランスの誘導効果によって浮遊容量をシールドする
ことができるようになる。
【0017】請求項3に記載の発明は、請求項1に記載
の発明を前提とした上で、インダクタンスの異なるコイ
ルをスイッチにより選択的に切り換える機構とインダク
タンスを連続的に可変制御する機構とを直列に配置した
ことを特徴としている。
【0018】また、請求項3に記載の発明を方法的な面
からとらえたものが請求項14に記載の発明であって、
この請求項14に記載の発明では、請求項12に記載の
発明を前提として、インダクタンスの異なるコイルをス
イッチにより選択的に切り換える機構とインダクタンス
を連続的に可変制御する機構とを直列に配置したことを
特徴としている。
【0019】したがって、これら請求項3,14に記載
の発明では、インダクタンスの異なるコイルのスイッチ
により選択切換を併用したことによって、可変インダク
タンスの調整範囲を小さくすることができるようにな
り、インピーダンスの位相角を特定の値にすばやくシフ
トすることができるようになる。
【0020】請求項4に記載の発明は、同じく請求項1
に記載の発明を前提とした上で、インピーダンスの検出
位相角をマイクロコンピュータに入力する一方、前記イ
ンダクタンスの異なるコイルの切り換え制御とインダク
タンスの可変制御および発振器の発振周波数の可変制御
をマイクロコンピュータの指令により行うとともに、前
記マイクロコンピュータ内部でひずみ応力または温度に
換算して出力することを特徴としている。
【0021】また、請求項4に記載の発明を方法的な面
からとらえたものが請求項15に記載の発明であって、
この請求項15に記載の発明では、請求項12に記載の
発明を前提として、インピーダンスの検出位相角をマイ
クロコンピュータに入力する一方、前記インダクタンス
の異なるコイルの切り換え制御とインダクタンスの可変
制御および発振器の発振周波数の可変制御をマイクロコ
ンピュータの指令により行うとともに、前記マイクロコ
ンピュータ内部でひずみ応力または温度に換算して出力
することを特徴としている。
【0022】したがって、これら請求項4,15に記載
の発明では、インダクタの調整から抵抗値の変化による
応力、温度等の換算までの処理が全てマイクロコンピュ
ータにて処理されることになり、特に人為的操作による
場合と比べて誤操作による電極からのスパークの発生を
防止する上で有利となる。
【0023】請求項5に記載の発明は、請求項1〜4の
いずれかに記載の発明を前提とした上で、前記電極は回
転体側に設けられた可動側電極とこれに対面する固定側
電極とを備えていて、双方の電極間に比誘電率の高いオ
イル等の高誘電体を強制的に注入させたことを特徴とし
ている。
【0024】また、請求項5に記載の発明を方法的な面
からとらえたものが請求項16に記載の発明であって、
この請求項16に記載の発明では、請求項12〜15の
いずれかに記載の発明を前提として、前記電極は回転体
側に設けられた可動側電極とこれに対面する固定側電極
とを備えていて、双方の電極間に比誘電率の高いオイル
等の高誘電体を強制的に注入させることを特徴としてい
る。
【0025】したがって、これら請求項5,16に記載
の発明では、高誘電体の注入によって双方の電極間の容
量増大が期待でき、インピーダンスの位相角が安定化す
るようになる。
【0026】請求項6に記載の発明は、請求項1〜4の
いずれかに記載の発明を前提とした上で、前記双方の電
極間に請求項5に記載の高誘電体に代えて圧縮空気等の
圧縮性ガスを噴出させ、比誘電率の異なる媒体が前記電
極間に入り込まないようにしたことを特徴としている。
【0027】また、請求項6に記載の発明を方法的な面
からとらえたものが請求項17に記載の発明であって、
この請求項17に記載の発明では、請求項12〜15の
いずれかに記載の発明を前提として、前記双方の電極間
に請求項16に記載の高誘電体に代えて圧縮空気等の圧
縮性ガスを噴出させ、比誘電率の異なる媒体が前記電極
間に入り込まないようにしたことを特徴としている。
【0028】したがって、これら請求項6,17に記載
の発明では、圧縮性ガスの噴射によってオイルミスト等
の影響による双方の電極間の比誘電率変化をなくすこと
ができるようになり、インピーダンスの位相角が安定化
するようになる。
【0029】請求項7に記載の発明は、請求項1〜4の
いずれかに記載の発明を前提とした上で、前記インダク
タンス、静電容量および発振周波数のうち少なくともい
すれか一つを可変制御するのに代えて前記電極を機械的
に振動させ、インピーダンスの位相角が決められた位置
になったときにインピーダンスを測定することを特徴と
している。
【0030】また、請求項7に記載の発明を方法的な面
からとらえたものが請求項18に記載の発明であって、
この請求項18に記載の発明では、請求項12〜15の
いずれかに記載の発明を前提として、前記インダクタン
ス、静電容量および発振周波数のうち少なくともいすれ
か一つを可変制御するのに代えて前記電極を機械的に振
動させ、インピーダンスの位相角が決められた位置にな
ったときにインピーダンスを測定することを特徴として
いる。
【0031】したがって、これら請求項7,18に記載
の発明では、インダクタンスの可変制御や発振周波数の
掃引なしにインピーダンスを特定の位相角に周期的に移
動させることができるようになる。
【0032】請求項8に記載の発明は、請求項1〜4の
いずれかに記載の発明を前提とした上で、前記電極は回
転体側に設けられた可動側電極とこれに対面する固定側
電極とを備えているとともに、前記可動側電極が二面以
上の電極面をもった板状のものとして形成されていて、
この板状の可動側電極を固定側電極で挟み込む構成とし
たことを特徴としている。
【0033】また、請求項8に記載の発明を方法的な面
からとらえたものが請求項19に記載の発明であって、
この請求項19に記載の発明では、請求項12〜15の
いずれかに記載の発明を前提として、前記電極は回転体
側に設けられた可動側電極とこれに対面する固定側電極
とを備えているとともに、前記可動側電極が二面以上の
電極面をもった板状のものとして形成されていて、この
板状の可動側電極を固定側電極で挟み込むようにしたこ
とを特徴としている。
【0034】したがって、これら請求項8,19に記載
の発明では、回転体が振動したとしても電極の容量変動
を抑制できることになる。
【0035】請求項9に記載の発明は、請求項1〜4の
いずれかに記載の発明を前提とした上で、前記電極は回
転体側に設けられた可動側電極とこれに対面する固定側
電極とを備えていて、前記固定側電極の電極面は回転体
と相対摺動するオイルシール内に装着されていることを
特徴としている。
【0036】また、請求項9に記載の発明を方法的な面
からとらえたものが請求項20に記載の発明であって、
この請求項20に記載の発明では、請求項12〜15の
いずれかに記載の発明を前提として、前記電極は回転体
側に設けられた可動側電極とこれに対面する固定側電極
とを備えていて、前記固定側電極の電極面は回転体と相
対摺動するオイルシール内に装着されていることを特徴
としている。
【0037】したがって、これら請求項9,20に記載
の発明では、固定側電極の設置にあたりその設置スペー
スの制約を緩和できるようになる。
【0038】請求項10に記載の発明は、請求項1〜4
のいずれかに記載の発明を前提とした上で、前記電極は
回転体側に設けられた可動側電極とこれに対面する固定
側電極とを備えていて、前記可動側電極は回転体の軸端
面に装着されている特徴としている。
【0039】また、請求項10に記載の発明を方法的な
面からとらえたものが請求項21に記載の発明であっ
て、この請求項21に記載の発明では、請求項12〜1
5のいずれかに記載の発明を前提として、前記電極は回
転体側に設けられた可動側電極とこれに対面する固定側
電極とを備えていて、前記可動側電極は回転体の軸端面
に装着されている特徴としている。
【0040】したがって、これら請求項10,21に記
載の発明では、電極面積の拡大化により電極容量を一層
増大でき、インピーダンスの位相角の安定化に寄与でき
るようになる。
【0041】請求項11に記載の発明は、請求項1〜4
のいずれかに記載の発明を前提とした上で、前記電極は
回転体側に設けられた可動側電極とこれに対面する固定
側電極とを備えていて、前記可動側電極を回転体に連結
された往復運動体に装着する一方、前記固定側電極を往
復運動体と対面する固定体側に配置したことを特徴とし
ている。
【0042】また、請求項11に記載の発明を方法的な
面からとらえたものが請求項22に記載の発明であっ
て、この請求項22に記載の発明では、請求項12〜1
5のいずれかに記載の発明を前提として、前記電極は回
転体側に設けられた可動側電極とこれに対面する固定側
電極とを備えていて、前記可動側電極を回転体に連結さ
れた往復運動体に装着する一方、前記固定側電極を往復
運動体と対面する固定体側に配置していることを特徴と
している。
【0043】したがって、これら請求項11,22に記
載の発明では、往復運動体を介して回転体の応力、温度
等を測定できるようになる。
【0044】
【発明の効果】請求項1,12に記載の発明によれば、
抵抗素子の抵抗値測定にあたって必要となる電極は一対
だけとなり、その電極の設置スペースを容易に確保でき
るほか、抵抗素子の一端を大地アースに接地しても浮遊
容量の影響を受けることがないので、純粋に抵抗素子の
抵抗値変化だけを測定することができ、測定精度が大幅
に向上する効果がある。
【0045】請求項2,13に記載の発明によれば、ト
ロイダル型トランスの誘導効果によってシールド機能が
発揮されるので、請求項1,12に記載の発明と同様の
効果に加えて、シールドドライブ回路を必要とすること
なしに浮遊容量のシールドを行える効果がある。
【0046】請求項3,14に記載の発明によれば、可
変インダクタンスに加えてインダクタンスの異なる複数
のコイルのスイッチによる選択切換を併用したことによ
って、可変インダクタンスの可変制御範囲を小さくする
ことができ、請求項1,12に記載の発明と同様の効果
のほかに、インピーダンスの位相角を特定の値にすばや
くシフトすることができる効果がある。
【0047】請求項4,15に記載の発明によれば、イ
ンダクタの調整から抵抗値の変化による応力、温度等の
換算までの処理が全てマイクロコンピュータにて処理さ
れることから、請求項1,12に記載の発明と同様の効
果のほかに、測定工数を大幅に削減でき、また特に人為
的操作による場合と比べて誤操作による電極からのスパ
ークの発生を防止する上で有利となる効果がある。
【0048】請求項5,16に記載の発明によれば、オ
イル等の高誘電体の注入効果によって双方の電極間の容
量を大きく確保できることから、請求項1〜4および請
求項12〜15のいずれかに記載の発明と同様の効果に
加えて、インピーダンスの位相角が安定化して測定精度
が一段と向上するとともに、上記高誘電体の注入をもっ
て回転体そのものの潤滑を兼ねることができる効果があ
る。
【0049】請求項6,17に記載の発明によれば、圧
縮性ガスの吹きつけ効果によってオイルミスト等による
電極間の比誘電率変化をなくすことができることから、
請求項1〜4および請求項12〜15のいずれかに記載
の発明と同様の効果に加えて、インピーダンスの位相角
が安定化して測定精度が一段と向上する効果がある。
【0050】請求項7,18に記載の発明によれば、電
極の振動効果によりインダクタンスの可変制御や発振周
波数の掃引なしにインピーダンスを特定の位相角に周期
的に移動させることができる効果がある。
【0051】請求項8,19に記載の発明によれば、可
動側電極を固定側電極にて実質的に包み込むようにした
ことから、請求項1〜4および請求項12〜15のいず
れかに記載の発明と同様の効果に加えて、回転体が振動
しても電極の容量変動が少なく、測定精度が一段と向上
する効果がある。
【0052】請求項9,20に記載の発明によれば、オ
イルシール内に電極の一部を配置したことにより、請求
項1〜4および請求項12〜15のいずれかに記載の発
明と同様の効果に加えて、電極の設置スペースの制約を
大幅に緩和できる効果がある。
【0053】請求項10,21に記載の発明によれば、
可動側電極を回転体の軸端面取り付けとしたことにより
電極容量を増大化できるため、請求項1〜4および請求
項12〜15のいずれかに記載の発明と同様の効果に加
えて、インピーダンスの位相角が一段と安定化して測定
精度が向上する効果がある。
【0054】請求項11,22に記載の発明によれば、
回転体に往復運動体が連結される場合に、その往復運動
体を介して回転体の応力や温度等を測定できる効果があ
る。
【0055】
【発明の実施の形態】次に、本発明の好ましい実施の形
態を図面に基づき説明ずる。
【0056】一般的なLCRの直列回路での抵抗検出の
原理は図1の(A),(B)に示すとおりであって、位
相角φと総合インピーダンスZとから抵抗Rの抵抗値を
求めることができる。また、総合インピーダンスZの位
相角φが零のとき、その総合インピーダンスは抵抗値を
示すため、LCR回路を共振させ、位相角φを零にすれ
ば抵抗Rの抵抗値だけを取り出すことができる。しかし
ながら、図1のような閉回路の場合には、抵抗Rの端子
は大地アース(接地)されていないことが条件であり、
抵抗Rの一方の端子が大地アースされていても抵抗Rの
値の変化を精度良く検出する方法を自動車用エンジンの
台上試験設備にて具体化したものが本実施の形態であ
る。
【0057】すなわち、図2,3に示すように、自動車
用エンジン1は組立完了後にエンジン1単体での台上試
験に供されるが、本実施の形態ではカムシャフトプーリ
2が装着された回転体としてのカムシャフト3の外周面
にひずみゲージ等の応力または温度測定用の抵抗素子4
を貼り付けるとともに、この抵抗素子4に接続される可
動側電極5を同じくカムシャフト3の端部外周面に貼り
付ける一方(図5,6参照)、エンジン1のシリンダブ
ロックもしくはシリンダヘッドに固定側電極となる電極
プレート6を固定して、その電極プレート6の先端に形
成した半円凹状の電極面を上記可動側電極5に対面させ
て、カムシャフト3の端部に加わる応力(トルクでも
可)もしくはカムシャフト3の端部の温度を抵抗素子4
の抵抗値から検出(計測)するものである。なお、図
2,3の7はウォータポンププーリ、8はタイミングベ
ルトテンショナー、9はクランクシャフトプーリであ
る。
【0058】上記電極プレート6は図4に示すように所
定のシールド部材からなる電極プレート本体10を中心
として形成されているとともに、先端の半円凹状の電極
面11は絶縁層12によってシールド部材たる電極プレ
ート本体10とは絶縁されている。電極面11から引き
出された導線13は電極プレート本体10の内部側面部
を通ってシールドケーブル14に接続され、後述する図
7に示すように可変インダクタンス16および電流検出
回路17に接続される。なお、上記導線13は電極プレ
ート本体10の内部を通っていてその電極プレート本体
10上に露出することはないから、良好なシールド状態
を保つことができる。
【0059】他方、図5,6は上記可動側電極5の詳細
を示しており、導電体であるカムシャフト3と可動側電
極5との間には絶縁層15が設けられており、これをも
って可動側電極5はカムシャフト3に対して絶縁されて
いる。なお、上記可動側電極5をフィルム状のものとし
て形成して、これを絶縁層15を介してカムシャフト3
に貼着するのが最も容易であるが、例えばカムシャフト
3に絶縁塗料を塗布し、その上に導電性塗料を塗布して
可動側電極5としてもよい。また、図6に示すように可
動側電極5の幅寸法に対して固定側電極となる電極プレ
ート6の電極面11の幅寸法を予め所定寸法dだけ大き
く形成しておくことにより、回転体であうカムシャフト
3の回転中に電極プレート6と可動側電極5とがカムシ
ャフト3の軸心方向に相対変位したとしても両電極間の
容量変化を未然に防ぐことができる。
【0060】図7は、本発明の第1の実施の形態として
上記抵抗素子4や電極面11を含む検出回路のブロック
回路図である。なお、この第1の実施の形態は請求項
1,12に記載の発明に対応している。
【0061】上記カムシャフト3に貼り付けられた抵抗
素子4の一端はカムシャフト3を介して大地アースされ
ているとともに、抵抗素子4の他端は図4に示したよう
に電極面11と導線13およびシールドケーブル14を
介してインダクタンスの大きさを連続的に調整可能な可
変インダクタンス16に接続され、さらに可変インダク
タンス16は電流検出回路17の演算増幅器18の非反
転入力側に接続されている。そして、先に述べたように
電極面11と可変インダクタンス16とを接続している
導線13の外周は電極プレート6を形成しているシール
ド部材10によって覆われ、電極プレート6はシールド
ドライブ回路19を形成している演算増幅器20の反転
入力側と出力とに抵抗21を介して接続されている。
【0062】上記シールドドライブ回路19は演算増幅
器20のほか電源22を有していて、演算増幅器20の
電源端子は入出力が絶縁された電源22と接続されてい
る。演算増幅器20の非反転入力側に接続された導線1
3(シールドケーブル14)は、電極面11と可変イン
ダクタンス16との間で、大地アースとは異なるシール
ドドライブ回路専用グランドに接地している。このよう
にグランドを分離絶縁したのは、可変インダクタンス1
6と電極面11に形成される静電容量の直列共振による
高電圧が生じてもシールドドライブ回路19を破壊する
ことなく動作可能とするためである。
【0063】上記可変インダクタンス16は電流検出回
路17に接続され、この電流検出回路17は先に述べた
演算増幅器18、加算回路23、増幅回路24およびゲ
イン調整回路25等から構成される。可変インダクタン
ス16は演算増幅器18の非反転入力側に接続され、同
時に電流検出用抵抗器26を介して前記演算増幅器20
の回路グランドとは異なる共通グランドに接地されてい
る。これにより、前記抵抗素子4を流れる電流は演算増
幅器18の非反転入力側に入力されるとともに、電流検
出用抵抗器26、定振幅発信器27およびゲイン調整回
路25を経由して加算回路23に入力される。加算回路
23は演算増幅器18の出力とゲイン調整回路25の出
力とを加算する。加算回路23の後段の増幅回路24で
増幅された電圧信号は、絶縁トランス28を介して一次
側,二次側が絶縁された状態で整流回路29で交流−直
流変換された上で、抵抗値演算回路30に入力される。
【0064】電流検出回路11の後段には位相角検出回
路31があり、この位相角検出回路31には定振幅発信
器27の基準電圧信号と整流回路29からの電圧信号が
入力され、抵抗素子を4流れる電流と電圧の位相角を検
出し、特定の位相角となるように可変インダクタンス1
6にフィードバックする。抵抗値演算回路30では、前
記位相角検出回路31から出力された位相角の値のほか
抵抗素子4を流れる電流および電圧とから得られるイン
ピーダンスをもとに抵抗値を演算して出力する。
【0065】ここで、上記抵抗素子4の検出作用につい
て説明すると、定振幅発信器27から抵抗素子4に交流
電流が流れる場合、双方の電極5,11の間では1〜数
十pFの容量となる。この電極間で発生する静電容量に
対して、インピーダンスの虚軸成分が小さくなるようイ
ンピーダンスの特定の位相角に可変インダクタンス16
を調整する。インピーダンスの位相角を特定の値に保つ
には、位相角を可変インダクタンス16にフィードバッ
クすることで実現できる。
【0066】また、導線13に対して、その導線13と
電極面11を覆うシールド部材たる電極プレート本体1
0の電位は演算増幅器20の作用により同電位に保たれ
る。したがって、導線13と大地アース間で発生する浮
遊容量を無視できるほどまで減少させることができる。
なお、演算増幅器20は大地アースと異なる回路グラン
ドにしたため、導線13の電流が演算増幅器20および
電源22を経由して大地アースに流れることはない。
【0067】ここで、シールドドライブ回路19の演算
増幅器20および電源22のアースを導線13の電圧レ
ベルに合わせることで、導線13が高電圧になったとし
ても一般的な演算増幅器で十分にシールドすることがで
きる(仮に大地アースに接続したとすると、一般的な演
算増幅器では±15V程度しか出力されない)。また、
定振幅発信器27の電圧レベルに合わせて演算増幅器1
8のアース電位が変動するようにしたことで、導線13
を流れる電流信号を検出できることになる。
【0068】次に、電流検出回路17の演算増幅器18
に入力されることになる電流は電流検出用抵抗器26に
よる電圧差により、電流を電圧に変換してから加算回路
23に入力される。一方、定振幅発信器27の電圧信号
からゲイン調整回路25を経由して加算回路23に入力
される信号電圧は、抵抗素子4の初期状態における回路
電流を電圧変換した値を反転したもので、例えば抵抗素
子4のひずみ抵抗の初期値が120Ωであれば、導線1
3に流れる120Ω相当の電圧値に対して120Ω相当
のマイナス電圧を加算する。このため、加算回路23か
ら増幅回路24に入力される電圧は初期値を零にセット
することができる。したがって、抵抗素子4の微小な抵
抗変化分だけが増幅回路24で増幅されることにより、
分解能の精度の良い電圧出力が得られることになる。
【0069】図8は本実施の形態における手順を示すフ
ローチャートで、ステップS101にて電極プレート6
側の電極面11と可動側電極5との間の距離を調整した
上で、ステップS102にてインピーダンスの位相角を
検出する。そして、ステップS103にて位相角が予め
定めた位相角になっているかどうか判断し、予め定めた
位相角になっていなければステップS104にてインダ
クタンスを調整した後、ステップS102に戻る。ステ
ップS103にて、位相角が予め定めた位相角になって
いれば、ステップS105で抵抗値を検出し、さらにS
ステップ106でひずみ応力に換算できる電圧の値を出
力する。
【0070】なお、可変インダクタンス16について
は、例えば「トランジスタ技術」,CQ出版発行,19
86年3月号,P394に記載のものを使用することが
できる。また、先の説明ではインピーダンスの位相角を
一定にするために可変インダクタンス16を使っている
が、この部分に大きめの固定インダクタンスと可変制御
のインダクタンスとを組み合わせとしたものを使用して
もよい。また、定振幅発振器27の発振周波数を調整す
ることで、インピーダンスの位相角を一定にすることも
できる。
【0071】図9は図7に示した第1の実施の形態の変
形例を示す図で、図7ではシールドドライブ回路19の
演算増幅器20の出力から過大電流保護用の抵抗21を
介してシールド部材である電極プレート本体10に接続
しているのに対して、図9では算増幅器32の出力から
過大電流保護用の抵抗21を介さずにシールド部材であ
る電極プレート本体10に接続している点で異なってい
る。
【0072】この変形例によれば、過大電流保護用の抵
抗21のもつ抵抗値Rのほか、シールド部材として機能
する電極プレート本体10や大地アース間の浮遊容量成
分Cにより発生する応答遅れがなくなり、導線13を流
れる信号周波数が高い状態でも遅れなくシールドを行え
る利点がある。
【0073】また、図10は図7に示した第1の実施の
形態のさらなる変形例を示す図で、同図から明らかなよ
うに位相角検出回路31と抵抗値演算回路30との間に
補正テーブル33を介装して、可変インダクタンス16
のインダクタンス値Lに対するその抵抗値変化を補正テ
ーブル33にて補正するようにしたものである。
【0074】このさらなる変形例によれば、可変インダ
クタンス16の制御量に応じて変化する抵抗値を補正で
きるため、より精度の高い検出を行える利点がある。
【0075】なお、これら図9,10に示す各変形例も
請求項1,12に記載の発明に対応している。
【0076】図11は本発明の第2の実施の形態を示す
図で、図7に示した第1の実施の形態におけるシールド
ドライブ回路19に代えて、電極プレート6の電極面1
1と可変インダクタンス16とを結ぶ導線13(シール
ドケーブル14)と、電極プレート6を形成しているシ
ールド部材10とを、トロイダル型トランス34の一次
側と二次側としたものである。それ以外の構成は図7に
示したものと同様である。本実施の形態では、トランス
34自体の誘導作用をもってシールド回路なしに安価に
導線13をシールドし、且つ浮遊容量を低減することが
できる。なお、この第2に実施の形態は請求項1,12
に記載の発明のほか、請求項2,13に記載の発明に対
応している。
【0077】図12は本発明の第3の実施の形態を示す
図で、図7に示した第1の実施の形態と比較すると明ら
かなように、可変インダクタンス16の前段にインダク
タンスの異なる複数のコイル35,36,37とこれら
のコイル35〜37を選択的に切り換えるためのスイッ
チ38とを設けたもので、それ以外の構成は図7に示し
たものと同様である。本実施の形態では、複数のコイル
35〜37のインダクタンスL1,L2,L3のうちか
らいずれかを選択するべくそれら複数のコイル35〜3
7をスイッチ38によって切り換えるとともに、その後
段の可変インダクタンス16を可変制御することで全体
としてのインダクタンスを可変制御するようにしたもの
である。なお、この第3の実施の形態は請求項1,12
に記載の発明のほか、請求項3,14に記載の発明に対
応している。
【0078】この実施の形態によれば、可変インダクタ
ンス16によるインダクタンス制御範囲を狭めて、イン
ピーダンスの位相角を特定の値にすばやくシフトできる
利点がある。
【0079】図13は本発明の第4の実施の形態を示す
図で、図12に示した第3の実施の形態と比較すると明
らかなように、インダクタンスの異なる複数のコイル3
5,36,37とこれらのコイル35〜37を選択的に
切り換えるためのスイッチ38のほかに、可変インダク
タンス(図1の可変インダクタンス16と同等のもの)
を含みつつこの可変インダクタンスを可変制御するシミ
ュレートインダクタ回路39を設けるとともに、図12
のインピーダンスの位相角検出回路31の機能をマイク
ロコンピュータ40に具備させ、シミュレートインダク
タ回路39に指令を与えて可変インダクタンスを可変制
御する機能と、複数のコイル35〜37のなかからいず
れかを選択するためのスイッチ38の切り換え機能、お
よび定振幅発振器27の発振周波数を可変制御する機能
をそれぞれ上記マイクロコンピュータ40に具備させた
ものである。これにより、マイクロコンピュータ40か
らの指令を受けてインピーダンスの位相角が特定の値と
なるように自動的に安定化され、さらにマイクロコンピ
ュータ40の内部処理により抵抗素子4の抵抗値がひず
み応力もしくは温度に換算されて出力されることにな
る。
【0080】なお、この第4の実施の形態は請求項1,
12に記載の発明のほか、請求項3,4および請求項1
4,15に記載の発明に対応している。
【0081】図14は本発明の第5の実施の形態を示す
図で、図5に示した第1の実施の形態と比較すると明ら
かなように、オイルポンプ41によって圧送されてきた
オイルを吐出するためのノズル42を付加し、固定側電
極たる電極プレート6の電極面11と可動側電極5との
間に比誘電率の高いオイルを注入するようにしたもので
ある。なお、43はオイル圧送用の配管、44はオイル
タンクである。
【0082】この実施の形態によれば、双方の電極5,
11間の容量を大きくできることから、インピーダンス
の位相角が安定化して検出精度の向上が図れるととも
に、回転体たるカムシャフト3の潤滑を兼ねながら測定
できる利点がある。
【0083】なお、この第5の実施の形態は請求項1,
12に記載の発明のほか、請求項5,16に記載の発明
に対応している。
【0084】図15は本発明の第6の実施の形態を示す
図で、この実施の形態では、固定側電極である電極プレ
ート6に複数のエアブローノズル45を設け、固定側電
極たる電極プレート6の電極面11と可動側電極5との
間に圧縮空気源46から供給される圧縮空気を吹き付け
るようにしたものである。なお、47は圧縮空気供給用
のホースである。
【0085】この実施の形態によれば、オイルミスト等
による電極5,11間の比誘電率変化をなくすことがで
きるから、インピーダンスの位相角が安定化して検出精
度の向上が図れるようになる。
【0086】なお、この第6の実施の形態は請求項1,
12に記載の発明のほか、請求項6,17に記載の発明
に対応している。
【0087】図16は本発明の第7の実施の形態を示す
図で、この実施の形態では、固定側電極を機械的に振動
させるアクチュエータ48を設け、その固定側電極であ
る電極プレート6を機械的に振動させることで双方の電
極間距離5,11を積極的に変化させるようにしたもの
である。
【0088】この実施の形態によれば、双方の電極間距
離の変化に応じてその電極5,11間の容量が変動する
ことから、インダクタンスの可変制御や周波数の掃引な
しにインピーダンスを特定の位相角に周期的に移動させ
ることができる。
【0089】なお、この第7の実施の形態は請求項1,
12に記載の発明のほか、請求項7,18に記載の発明
に対応している。
【0090】図17は本発明の第8の実施の形態を示す
図で、この実施の形態では、回転体たるカムシャフト3
に絶縁層15を介して装着されることになる可動側電極
49をその表裏両面が電極面として機能する円板状のも
のとする一方、この円板状の可動側電極49をその両面
側から固定側電極たる電極プレート50にて挟み込むよ
うにしたものである。
【0091】この実施の形態によれば、回転体たるカム
シャフト3がその軸心方向に振動したとしても双方の電
極11,49間の距離の変動による容量変化をなくすこ
とができる利点がある。
【0092】なお、この第8の実施の形態は請求項1,
12に記載の発明のほか、請求項8,19に記載の発明
に対応している。
【0093】図18は図17に示す第8の実施の形態の
変形例を示し、この変形例では可動側電極51を断面略
T字状のものとして形成して二面以上の電極面機能を具
備させる一方、固定側電極である電極プレート52につ
いても上記断面略T字状の可動側電極51を包み込むよ
うな形状のものとしたものである。この変形例では、回
転体であるカムシャフト3が軸心方向および回転方向の
いずれの方向に振れを生じたとしても、双方の電極1
1,51間の容量変動をなくすことができ、一段と精度
の高い測定を行える利点がある。
【0094】なお、この変形例も請求項1,12に記載
の発明のほか、請求項8,19に記載の発明に対応して
いる。
【0095】図19は本発明の第9の実施の形態を示す
図で、回転体であるカムシャフト3を支持するベアリン
グ53に対しシムプレート54を介して隣接することに
なるオイルシール55の内部に、固定側電極である電極
プレート56の電極面57を埋設したものである。この
場合、オイルシール55自体は電極プレート56を形成
しているシールド部材11に対する電極面57の絶縁を
兼ねているとともに、カムシャフト3のうち上記電極面
57と対面する部分に絶縁層15を介して可動側電極5
8が装着される。
【0096】この実施の形態によれば、回転体であるカ
ムシャフト3に固定側電極である電極プレートを対面さ
せる部位がない場合であっても所期の測定を行える利点
がある。
【0097】なお、この第9の実施の形態は請求項1,
12に記載の発明のほか、請求項9,20に記載の発明
に対応している。
【0098】図20は本発明の第10の実施の形態を示
す図で、この実施の形態では、動力源であるエンジン1
に例えばウオーターポンプ等の補機59が設けられてい
て、この補機が59カムシャフト3側のプーリ60と補
機59側のプーリ7およびベルト61とを介して駆動さ
れる場合に、カムシャフト3側のプーリ60の側面に絶
縁層15を介して可動側電極62を装着する一方、この
可動側電極62と正対するように固定側電極である電極
プレート63を対向配置したものである。
【0099】この実施の形態によれば、可動側電極62
の取付面をプーリ60の側面としたことで電極面積を大
きく確保でき、双方の電極間容量の増大によりインピー
ダンスの位相角が安定化し、一段と測定精度の向上が図
れる利点がある。
【0100】なお、この第10の実施の形態は請求項
1,12に記載の発明のほか、請求項10,21に記載
の発明に対応している。
【0101】図21は本発明の第11の実施の形態を示
す図で、この実施の形態では、回転体をクランクシャフ
ト64とし、このクランクシャフト64に連結されたエ
ンジン本体内の往復運動体であるコネクティングロッド
65の側面に長手方向に沿って可動側電極66を装着す
る一方、その可動側電極66と対面する所定位置例えば
シリンダブロック67のボア部に固定側電極である電極
プレート68を配置したものである。この実施の形態に
よれば、回転体であるクランクシャフト64の応力もし
くは温度をコネクティングロッド65を介して検出,測
定できる利点がある。
【0102】なお、この第11の実施の形態は請求項
1,12に記載の発明のほか、請求項11,22に記載
の発明に対応している。
【図面の簡単な説明】
【図1】(A),(B)ともにLCRの直列回路におけ
る抵抗検出の原理を示す説明図。
【図2】本発明の第1の実施の形態として、図1の抵抗
検出の原理を自動車用エンジンのカムシャフトに適用し
た状態を示す説明図。
【図3】図2の正面説明図。
【図4】図3に示す電極プレートの拡大説明図。
【図5】回転体であるカムシャフトと可動側電極および
固定側電極である電極プレートの相互関係を示す断面説
明図。
【図6】図5の側面説明図。
【図7】第1の実施の形態における抵抗検出のためのブ
ロック回路図。
【図8】図7の処理手順を示すフローチャート。
【図9】図7の変形例を示すブロック回路図。
【図10】図7のさらなる変形例を示すブロック回路
図。
【図11】本発明の第2の実施の形態を示すブロック回
路図。
【図12】本発明の第3の実施の形態を示すブロック回
路図。
【図13】本発明の第4の実施の形態を示すブロック回
路図。
【図14】本発明の第5の実施の形態を示す断面説明
図。
【図15】本発明の第6の実施の形態を示す断面説明
図。
【図16】本発明の第7の実施の形態を示す断面説明
図。
【図17】本発明の第8の実施の形態を示す構成説明
図。
【図18】図17に示す第8の実施の形態の変形例を示
す構成説明図。
【図19】本発明の第9の実施の形態を示す要部断面説
明図。
【図20】本発明の第10の実施の形態を示す構成説明
図。
【図21】本発明の第11の実施の形態を示す構成説明
図。
【符号の説明】
3…カムシャフト(回転体) 4…抵抗素子(ひずみゲージ) 5…可動側電極 6…電極プレート(固定側電極) 10…電極プレート本体(シールド部材) 11…電極面 13…導線 14…シールドケーブル 16…可変インダクタンス 17…電流検出回路 18…演算増幅器 19…シールドドライブ回路 23…加算回路 24…増幅回路 25…ゲイン調整回路 27…定振幅発振器 30…抵抗値演算回路 31…位相角検出回路 34…トロイダル型トランス 35〜37…コイル 38…スイッチ 39…シミュレートインダクタ回路 40…マイクロコンピュータ 42…オイル吐出用ノズル 45…エアブローノズル 48…振動用アクチュエータ 49…可動側電極 50…電極プレート(固定側電極) 51…可動側電極 52…電極プレート(固定側電極) 55…オイルシール 56…電極プレート(固定側電極) 57…電極面 62…可動側電極 63…電極プレート(固定側電極) 64…クランクシャフト(回転体) 65…コネクティングロッド(往復運動体) 66…可動側電極 68…電極プレート(固定側電極)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大島 正晴 神奈川県横浜市神奈川区宝町2番地 日産 自動車株式会社内 (72)発明者 井関 立美 神奈川県横浜市神奈川区宝町2番地 日産 自動車株式会社内 Fターム(参考) 2F056 RA06 2F073 AA35 AB14 BB02 BC01 CC02 CD03 CD04 DD01 FF06 GG02 GG04

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 回転体に応力または温度測定用の抵抗素
    子を装着するとともに、この抵抗素子に所定の静電容量
    をもつ電極とインダクタンスとを介して交流電流を流し
    て、その抵抗値をインピーダンスにより測定するように
    した回転体の応力または温度計測装置において、 前記抵抗素子の一端を大地アースに接地し、他端を電
    極、インダクタンスに直列に接続するとともに、前記電
    極とインダクタンス間の周囲を大地アースとは異なるシ
    ールドドライブ回路に連結してシールド機能を持たせ、 前記インピーダンスの位相角が常に一定となるようにイ
    ンダクタンス、静電容量および発振周波数のうち少なく
    ともいずれか一つを可変制御する手段を設けるととも
    に、 検出された電流信号に基準信号を加算して前記抵抗素子
    の抵抗変化を検出する手段を設けたこと特徴とする回転
    体の応力または温度計測装置。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載のシールドドライブ回路
    に代えてトロイダル型トランスを設け、前記電極とイン
    ダクタンスとを接続している導線とその外周側のシール
    ド部材とについていずれか一方を前記トロイダル型トラ
    ンスの一次側とし他方を二次側としたことを特徴とする
    請求項1に記載の回転体の応力または温度計測装置。
  3. 【請求項3】 インダクタンスの異なるコイルをスイッ
    チにより選択的に切り換える機構とインダクタンスを連
    続的に可変制御する機構とを直列に配置したことを特徴
    とする請求項1に記載の回転体の応力または温度計測装
    置。
  4. 【請求項4】 インピーダンスの検出位相角をマイクロ
    コンピュータに入力する一方、 前記インダクタンスの異なるコイルの切り換え制御とイ
    ンダクタンスの可変制御および発振器の発振周波数の可
    変制御をマイクロコンピュータの指令により行うととも
    に、 前記マイクロコンピュータ内部でひずみ応力または温度
    に換算して出力することを特徴とする請求項1に記載の
    回転体の応力または温度計測装置。
  5. 【請求項5】 前記電極は回転体側に設けられた可動側
    電極とこれに対面する固定側電極とを備えていて、双方
    の電極間に高誘電体を強制的に注入させたことを特徴と
    する請求項1〜4のいずれかに記載の回転体の応力また
    は温度計測装置。
  6. 【請求項6】 前記双方の電極間に請求項5に記載の高
    誘電体に代えて圧縮性ガスを噴出させ、比誘電率の異な
    る媒体が前記電極間に入り込まないようにしたことを特
    徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の回転体の応力
    または温度計測装置。
  7. 【請求項7】 前記インダクタンス、静電容量および発
    振周波数のうち少なくともいすれか一つを可変制御する
    のに代えて前記電極を機械的に振動させ、インピーダン
    スの位相角が決められた位置になったときにインピーダ
    ンスを測定することを特徴とする請求項1〜4のいずれ
    かに記載の回転体の応力または温度計測装置。
  8. 【請求項8】 前記電極は回転体側に設けられた可動側
    電極とこれに対面する固定側電極とを備えているととも
    に、前記可動側電極が二面以上の電極面をもった板状の
    ものとして形成されていて、この板状の可動側電極を固
    定側電極で挟み込む構成としたことを特徴とする請求項
    1〜4のいずれかに記載の回転体の応力または温度計測
    装置。
  9. 【請求項9】 前記電極は回転体側に設けられた可動側
    電極とこれに対面する固定側電極とを備えていて、前記
    固定側電極の電極面は回転体と相対摺動するオイルシー
    ル内に装着されていることを特徴とする請求項1〜4の
    いずれかに記載の回転体の応力または温度計測装置。
  10. 【請求項10】 前記電極は回転体側に設けられた可動
    側電極とこれに対面する固定側電極とを備えていて、前
    記可動側電極は回転体の軸端面に装着されている特徴と
    する請求項1〜4のいずれかに記載の回転体の応力また
    は温度計測装置。
  11. 【請求項11】 前記電極は回転体側に設けられた可動
    側電極とこれに対面する固定側電極とを備えていて、前
    記可動側電極を回転体に連結された往復運動体に装着す
    る一方、前記固定側電極を往復運動体と対面する固定体
    側に配置したことを特徴とする請求項1〜4のいずれか
    に記載の回転体の応力または温度計測装置。
  12. 【請求項12】 回転体に応力または温度測定用の抵抗
    素子を装着するとともに、この抵抗素子に所定の静電容
    量をもつ電極とインダクタンスとを介して交流電流を流
    して、その抵抗値をインピーダンスにより測定するよう
    にした回転体の応力または温度計測方法において、 前記抵抗素子の一端を大地アースに接地し、他端を電
    極、インダクタンスに直列に接続するとともに、前記電
    極とインダクタンス間の周囲を大地アースとは異なるシ
    ールドドライブ回路に連結してシールド機能を持たせ、 前記インピーダンスの位相角が常に一定となるようにイ
    ンダクタンス、静電容量および発振周波数のうち少なく
    ともいずれか一つを可変制御し、 検出された電流信号に基準信号を加算して前記抵抗素子
    の抵抗変化を検出すること特徴とする回転体の応力また
    は温度計測方法。
  13. 【請求項13】 請求項12に記載のシールドドライブ
    回路に代えてトロイダル型トランスを設け、前記電極と
    インダクタンスとを接続している導線とその外周側のシ
    ールド部材とについていずれか一方を前記トロイダル型
    トランスの一次側とし他方を二次側としたことを特徴と
    する請求項12に記載の回転体の応力または温度計測方
    法。
  14. 【請求項14】 インダクタンスの異なるコイルをスイ
    ッチにより選択的に切り換える機構とインダクタンスを
    連続的に可変制御する機構とを直列に配置したことを特
    徴とする請求項12に記載の回転体の応力または温度計
    測方法。
  15. 【請求項15】 インピーダンスの検出位相角をマイク
    ロコンピュータに入力する一方、 前記インダクタンスの異なるコイルの切り換え制御とイ
    ンダクタンスの可変制御および発振器の発振周波数の可
    変制御をマイクロコンピュータの指令により行うととも
    に、 前記マイクロコンピュータ内部でひずみ応力または温度
    に換算して出力することを特徴とする請求項12に記載
    の回転体の応力または温度計測方法。
  16. 【請求項16】 前記電極は回転体側に設けられた可動
    側電極とこれに対面する固定側電極とを備えていて、双
    方の電極間に高誘電体を強制的に注入させることを特徴
    とする請求項12〜15のいずれかに記載の回転体の応
    力または温度計測方法。
  17. 【請求項17】 前記双方の電極間に請求項16に記載
    の高誘電体に代えて圧縮性ガスを噴出させ、比誘電率の
    異なる媒体が前記電極間に入り込まないようにしたこと
    を特徴とする請求項12〜15のいずれかに記載の回転
    体の応力または温度計測方法。
  18. 【請求項18】 前記インダクタンス、静電容量および
    発振周波数のうち少なくともいすれか一つを可変制御す
    るのに代えて前記電極を機械的に振動させ、インピーダ
    ンスの位相角が決められた位置になったときにインピー
    ダンスを測定することを特徴とする請求項12〜15の
    いずれかに記載の回転体の応力または温度計測方法。
  19. 【請求項19】 前記電極は回転体側に設けられた可動
    側電極とこれに対面する固定側電極とを備えているとと
    もに、前記可動側電極が二面以上の電極面をもった板状
    のものとして形成されていて、この板状の可動側電極を
    固定側電極で挟み込むようにしたことを特徴とする請求
    項12〜15のいずれかに記載の回転体の応力または温
    度計測方法。
  20. 【請求項20】 前記電極は回転体側に設けられた可動
    側電極とこれに対面する固定側電極とを備えていて、前
    記固定側電極の電極面は回転体と相対摺動するオイルシ
    ール内に装着されていることを特徴とする請求項12〜
    15のいずれかに記載の回転体の応力または温度計測方
    法。
  21. 【請求項21】 前記電極は回転体側に設けられた可動
    側電極とこれに対面する固定側電極とを備えていて、前
    記可動側電極は回転体の軸端面に装着されている特徴と
    する請求項12〜15のいずれかに記載の回転体の応力
    または温度計測方法。
  22. 【請求項22】 前記電極は回転体側に設けられた可動
    側電極とこれに対面する固定側電極とを備えていて、前
    記可動側電極を回転体に連結された往復運動体に装着す
    る一方、前記固定側電極を往復運動体と対面する固定体
    側に配置していることを特徴とする請求項12〜15の
    いずれかに記載の回転体の応力または温度計測方法。
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