JP2002168920A - Testing device for ic - Google Patents

Testing device for ic

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JP2002168920A
JP2002168920A JP2000368377A JP2000368377A JP2002168920A JP 2002168920 A JP2002168920 A JP 2002168920A JP 2000368377 A JP2000368377 A JP 2000368377A JP 2000368377 A JP2000368377 A JP 2000368377A JP 2002168920 A JP2002168920 A JP 2002168920A
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JP
Japan
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pin
pattern data
output
test
outputting
Prior art date
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Application number
JP2000368377A
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Japanese (ja)
Inventor
Michio Murata
道雄 村田
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Yokogawa Electric Corp
Original Assignee
Yokogawa Electric Corp
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Publication date
Application filed by Yokogawa Electric Corp filed Critical Yokogawa Electric Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To execute test in an even-numbered pin side in parallel even when a pin multiplexer is operated. SOLUTION: This IC testing device using a pin multiplexer function is provided with a selector means for inputting the first pattern data supplied to the first input pin of a tested IC and the second pattern data supplied to the second input pin applied with the pin multiplexer function to select one thereof, the first formatter means for outputting a test signal based on the first pattern data selected by the selector means to the first input pin through a driver and outputting the first expected value, and for outputting a test signal based on the second pattern data selected by the selector means to the first input pin through the driver and outputting the second expected value, the first comparison means for comparing an output of the fist output pin of the tested IC with the first and second expected values, and the first and second memory means for storing determination outputs from the first comparison means to correspond to the first and second pattern data.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ピンマルチプレク
ス機能を用いたIC試験装置の改良に関する。
[0001] 1. Field of the Invention [0002] The present invention relates to an improvement of an IC test apparatus using a pin multiplex function.

【0002】[0002]

【従来の技術】IC試験装置の機能試験の一般的なシス
テム構成を、図4のLSIの機能試験装置により説明す
る。1は被試験IC(以下DUT(Device Under Tes
t))、1aは入力ピン、1bは出力ピン、1cは電源
ピンである。
2. Description of the Related Art A general system configuration of a function test of an IC test apparatus will be described with reference to an LSI function test apparatus of FIG. 1 denotes an IC under test (hereinafter referred to as DUT (Device Under Tes).
t)) 1a is an input pin, 1b is an output pin, and 1c is a power supply pin.

【0003】2はネットワークシステムに接続された中
央処理装置(CPU)であり、試験条件と実行順序を記
述した試験プログラムやパターンデータを記述した試験
パターンプログラムの編集と翻訳、管理、さらに試験装
置へのデータ設定、測定の実行、測定データの処理など
を行う。2aはその入出力装置、2bは大容量記憶装置
である。
Reference numeral 2 denotes a central processing unit (CPU) connected to a network system, which edits, translates, and manages a test program describing test conditions and an execution order, and a test pattern program describing pattern data, and further transmits to a test apparatus. It performs data setting, execution of measurement, and processing of measurement data. 2a is its input / output device, and 2b is a mass storage device.

【0004】3はCPU2との通信で制御されるタイミ
ング信号発生器であり、試験動作のクロック周期を決め
るメインクロック信号、DUTに印加する入力パターン
データの立ち上がり・立下りを決めるドライバタイミン
グ信号、DUT出力データと期待値データの比較を指示
する比較タイミング信号を発生する。
Reference numeral 3 denotes a timing signal generator controlled by communication with the CPU 2, a main clock signal for determining a clock cycle of a test operation, a driver timing signal for determining the rise and fall of input pattern data to be applied to the DUT, and a DUT. A comparison timing signal for instructing a comparison between the output data and the expected value data is generated.

【0005】4は同じくCPU2との通信で制御される
パターン発生器であり、機能試験用のテストパターン
(DUTに加える入力パターンと出力データ判定用の期
待値パターン)を発生する。
A pattern generator 4 is also controlled by communication with the CPU 2, and generates a test pattern for a functional test (an input pattern to be added to the DUT and an expected value pattern for output data determination).

【0006】5は波形整形器(フォーマッタ)であり、
パターン発生器4から出力された入力パターンデータと
タイミング信号発生器3から出力されたタイミング信号
を合成し、DUTに印加する波形を作り出す。
[0006] 5 is a waveform shaper (formatter),
The input pattern data output from the pattern generator 4 and the timing signal output from the timing signal generator 3 are combined to generate a waveform to be applied to the DUT.

【0007】点線のブロック7はピンエレクトロニクス
部であり、波形整形器出力のディジタル信号をDUT試
験に必要な電圧を与えるドライバ7a、DUT出力をデ
ィジタル信号に変換するアナログレベル比較器7bより
なる。
[0007] A dotted block 7 is a pin electronics section, which comprises a driver 7a for applying a voltage required for a DUT test to a digital signal output from the waveform shaper, and an analog level comparator 7b for converting the DUT output to a digital signal.

【0008】8は論理比較制御器であり、アナログレベ
ル比較器7bを通して得られたDUT出力をパターン発
生器4よりの期待値パターンデータと比較し、良否の判
定を行なう。
Reference numeral 8 denotes a logical comparison controller, which compares the DUT output obtained through the analog level comparator 7b with expected value pattern data from the pattern generator 4 to judge pass / fail.

【0009】9は論理比較制御器8の判定信号を入力
し、CPU2との通信で制御される不良解析メモリであ
り、機能試験でDUTに不良が発見されたとき、その不
良状態を記憶する。不良解析メモリは、開発段階のチェ
ック用、あるいはLSIの性能に問題点が発見されたと
きの不良解析用等に使用される。
Reference numeral 9 denotes a failure analysis memory which receives a judgment signal from the logical comparison controller 8 and is controlled by communication with the CPU 2, and stores a failure state when a failure is found in the DUT in a functional test. The failure analysis memory is used for checking at the development stage or for failure analysis when a problem is found in the performance of the LSI.

【0010】図5の概念図に基づき、ピンマルチプレク
ス機能につき説明する。11はDUT1の奇数入力ピン
に試験信号を供給する第1ライン、12はDUT1の偶
数入力ピンに試験信号を供給する第2ラインであり、第
1ラインの奇数入力ピン用試験信号のみがDUT1の奇
数入力ピン1aに供給され、第2ライン12はDUT1
の入力ピンには接続されず、フローティング状態とされ
ている。
The pin multiplex function will be described with reference to the conceptual diagram of FIG. Reference numeral 11 denotes a first line for supplying a test signal to the odd input pin of the DUT1, and reference numeral 12 denotes a second line for supplying a test signal to the even input pin of the DUT1, and only the test signal for the odd input pin of the first line is supplied to the DUT1. The second line 12 is supplied to the odd input pin 1a and the DUT1
Are not connected to the input pins, and are in a floating state.

【0011】ブロック13はピンマルチプレクス機能を
実現する手段であり、ハードウェア的には第1ライン1
1と第2ライン12を短絡するスイッチ14で実現され
る。このような構成を採ることにより、DUT1の奇数
入力ピン1aは、第1ライン11の試験信号と第2ライ
ン12の試験信号の双方をマルチプレクスして使用する
ことが可能となる。
A block 13 is a means for realizing a pin multiplex function.
This is realized by a switch 14 that short-circuits the first and second lines 12. By adopting such a configuration, the odd input pin 1a of the DUT 1 can use both the test signal of the first line 11 and the test signal of the second line 12 by multiplexing.

【0012】このようなピンマルチプレクス機能によ
り、1テスト周期において、1つの状態しか表現できな
いものが、2つの状態を作り出せる。よって、見かけ上
2倍のスピードで試験できたり、1テスト周期において
2つのストローブをあててコンパレートすることが可能
となる。通常のピンマルチプレクスでは、1テスト周期
(1レート)の前半に奇数ピンの状態が、後半に偶数ピ
ンの状態が奇数ピンにマルチプレクスして出力される。
With such a pin multiplex function, a device that can express only one state in one test cycle can generate two states. Therefore, the test can be performed at twice the apparent speed, and comparison can be performed by applying two strobes in one test cycle. In normal pin multiplexing, the state of the odd-numbered pins is multiplexed into the odd-numbered pins in the first half of one test cycle (one rate), and the state of the even-numbered pins is multiplexed and output in the latter half.

【0013】図6(A)乃至(D)は、1テスト周期に
おける前半と後半の状態組み合わせのモード例を示すも
のであり、(A)はドライブの連続モード、(B)は前
半ドライブで後半コンパレータモード、(C)は前半コ
ンパレータで後半ドライブモード、(D)はコンパレー
タの連続モードである。
FIGS. 6A to 6D show examples of a mode combination of the first half and the second half in one test cycle. FIG. 6A shows a continuous drive mode, and FIG. The comparator mode, (C) is the first half comparator and the second half drive mode, and (D) is the comparator continuous mode.

【0014】(B)、(C)の動作モードのみ行う場合
にはレート内I/Oと言う手法を用いることにより、ピ
ンマルチプレクスを使用せずに1ピンでも実現できる。
また(A)の動作も従来からあるマルチパターン手法を
用いることにより、ピンマルチプレクスを使用せずに1
ピンでも実現できる。
In the case where only the operation modes (B) and (C) are performed, a single pin can be realized without using the pin multiplex by using the technique of intra-rate I / O.
Also, in the operation (A), the conventional multi-pattern method is used, so that one operation can be performed without using pin multiplex.
It can also be achieved with pins.

【0015】しかしながら、(D)の動作モードを実現
するためには、ピンマルチプレクスの手法が不可欠であ
る。また(A)乃至(C)の動作モードの場合でもピン
マルチプレクスの手法を用いたほうが有効である。
However, in order to realize the operation mode (D), a pin multiplex method is indispensable. Also in the case of the operation modes (A) to (C), it is more effective to use the pin multiplex method.

【0016】その理由の第1は、ドライバの出力状態や
コンパレータの期待値を表現するのに、通常は3bi
t、8パターンデータで十分である。パターンデータと
は、パターンメモリから出力される情報である。ピンマ
ルチプレクスにて実現する図2の動作モードは3bi
t、8パターンでは表現しきれないので、2ピン分のパ
ターンデータが必要になる。
The first reason is that, usually, the output state of the driver and the expected value of the comparator are expressed by 3 bits.
t, 8 pattern data is sufficient. Pattern data is information output from the pattern memory. The operation mode of FIG. 2 realized by pin multiplexing is 3bi
Since t and 8 patterns cannot be expressed, pattern data for two pins is required.

【0017】理由の第2は、通常コンパレート動作をす
ることにより、その結果を格納するメモリ(フェイルメ
モリ)が必要となる。その中身はPass/Fail以
外にもその時の情報としてパターンアドレスなどを格納
する。これは、1テストレートで1個の情報が前提にあ
るため、1テストレートで2個のFailが発生する可
能性がある場合には、ピンマルチ手法を用いて、2ピン
分のFailメモリを使用する必要がある。
The second reason is that a normal comparison operation requires a memory (fail memory) for storing the result. The contents include a pattern address and the like as information at that time besides Pass / Fail. This is based on the premise that one piece of information is used at one test rate. If there is a possibility that two pieces of fail will occur at one test rate, the pin memory is used and two pins of fail memory are used. There is a need to.

【発明が解決しようとする課題】このように、ピンマル
チプレクス機能は利点がある反面、必ず奇数ピンと偶数
ピンとをピンマルチプレクスするので、使用可能ピン数
が半減するというデメリットが生ずる。本発明は、ピン
マルチプレクス機能を利用する環境下で、このようなデ
メリットを回避できるIC試験装置の提供を目的とす
る。
As described above, although the pin multiplex function has an advantage, since the odd pins and the even pins are always pin multiplexed, there is a disadvantage that the number of usable pins is reduced by half. An object of the present invention is to provide an IC test apparatus that can avoid such disadvantages in an environment using a pin multiplex function.

【0018】[0018]

【課題を解決するための手段】このような課題を達成す
るために、本発明のうち請求項1記載発明の特徴は、ピ
ンマルチプレクス機能を用いたIC試験装置において、
被試験ICの第1入力ピンに与えられる第1パターンデ
ータ及びピンマルチプレクス機能を適用する第2入力ピ
ンに与えられる第2パターンデータとを入力して一方を
選択するセレクタ手段と、このセレクタ手段で選択され
た第1パターンデータに基づく試験信号をドライバを介
して前記第1入力ピンに出力すると共に第1期待値を出
力し、前記セレクタ手段で選択された第2パターンデー
タに基づく試験信号をドライバを介して前記第1入力ピ
ンに出力すると共に第2期待値を出力する第1フォーマ
ッタ手段と、前記被試験ICの第1出力ピンの出力と前
記第1及び第2期待値とを比較する第1比較手段と、こ
の第1比較手段の判定出力を前記第1パターンデータ及
び第2パターンデータに対応して記憶する第1、第2メ
モリ手段と、を具備する点にある。
In order to achieve the above object, a feature of the present invention is that an IC test apparatus using a pin multiplex function is provided.
Selector means for inputting the first pattern data given to the first input pin of the IC under test and the second pattern data given to the second input pin to which the pin multiplex function is applied, and selecting one of them; A test signal based on the first pattern data selected in the step (a) is output to the first input pin via a driver, a first expected value is output, and a test signal based on the second pattern data selected by the selector is output. First formatter means for outputting to the first input pin and outputting a second expected value via a driver; and comparing the output of the first output pin of the IC under test with the first and second expected values. A first comparing means; and first and second memory means for storing the judgment output of the first comparing means in correspondence with the first pattern data and the second pattern data. To the point that there is.

【0019】請求項2記載発明の特徴は、第2パターン
データを入力し前記被試験ICの第2入力ピン用のパタ
ーンデータに変換するスクランブルメモリ手段と、この
スクランブルメモリ手段出力に基づく試験信号をドライ
バを介して前記第2入力ピンに出力すると共に第3期待
値を出力する第2フォーマッタ手段と、前記被試験IC
の第2出力ピンの出力と前記第3期待値とを比較する第
2比較手段と、この第2比較手段の判定出力を記憶する
第3メモリ手段と、を具備する点にある。
A second aspect of the present invention is characterized in that scramble memory means for inputting the second pattern data and converting it into pattern data for a second input pin of the IC under test, and a test signal based on the output of the scramble memory means. Second formatter means for outputting to the second input pin via a driver and for outputting a third expected value;
A second comparing means for comparing the output of the second output pin with the third expected value, and a third memory means for storing the judgment output of the second comparing means.

【0020】請求項3記載発明の特徴は、前記第1入力
ピン並びに第1出力ピンは奇数ピン(偶数ピン)であ
り、前記第2入力ピン並びに第2出力ピンは偶数ピン
(奇数ピン)である点にある。
A third feature of the present invention is that the first input pin and the first output pin are odd pins (even pins), and the second input pins and the second output pins are even pins (odd pins). At one point.

【0021】請求項4記載発明の特徴は、前記第1入力
ピン及び第2出力ピンは、隣り合ったピンである点にあ
る。
According to a fourth aspect of the present invention, the first input pin and the second output pin are adjacent pins.

【0022】請求項5記載の発明は、前記第1乃至第3
メモリ手段は、前記第1及び第2比較手段の判定結果が
不良の場合に不良内容が記録される点にある。
According to a fifth aspect of the present invention, the first to third aspects are provided.
The memory means is characterized in that when the judgment results of the first and second comparing means are defective, the contents of the defect are recorded.

【0023】請求項6記載の発明は、前記セレクタ手段
の前段に、第2スクランブルメモリ手段を追加した点に
ある。
The invention according to claim 6 is characterized in that a second scramble memory means is added before the selector means.

【0024】[0024]

【発明の実施の形態】以下本発明実施の態様を図面を用
いて説明する。図1は本発明を適用したIC試験装置の
主要部を示すブロック線図である。まず、ピンマルチプ
レクス機能を使用しない通常の試験動作につき説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing a main part of an IC test apparatus to which the present invention is applied. First, a normal test operation not using the pin multiplex function will be described.

【0025】セレクタ15は、通常動作時は常に奇数ピ
ンのパターンデータPDoddを選択する。フォーマッ
タ16は、パターンデータと動作モードからドライバフ
ォーマットDVや期待値EP1を作成する。
The selector 15 always selects the odd pin pattern data PDodd during normal operation. The formatter 16 creates a driver format DV and an expected value EP1 from the pattern data and the operation mode.

【0026】ドライバフォーマットDVは、ドライバ1
7を介してDUT1の奇数入力ピンに入力される。奇数
ピン出力信号は、アナログコンパレータ18にてリファ
レンスと比較された後、ディジタル比較器19に入力さ
れ、フォーマッタ16で生成され期待値EP1と比較さ
れてPass/Failの判定出力を生成する。
The driver format DV is the driver 1
7 is input to the odd input pin of DUT1. The odd-numbered pin output signal is compared with a reference by an analog comparator 18 and then input to a digital comparator 19, generated by a formatter 16 and compared with an expected value EP1 to generate a Pass / Fail determination output.

【0027】ディジタル比較器19からのPass/F
ail情報は、奇数ピン入力に対応するメモリ20に記
憶される。この情報は図4で説明したように、必要の応
じて上位の中央処理装置との通信で不良解析等に使用さ
れる。
Pass / F from digital comparator 19
The ai information is stored in the memory 20 corresponding to the odd pin input. As described in FIG. 4, this information is used for failure analysis and the like in communication with a higher-level central processing unit as necessary.

【0028】21はピンマルチプレクサ時の偶数ピン対
応のメモリであり、通常動作では使用されない。
Reference numeral 21 denotes a memory corresponding to an even-numbered pin at the time of a pin multiplexer, and is not used in a normal operation.

【0029】以上が通常動作時の奇数入力ピンの動作で
あるが、パターンデータPDevenが入力される偶数
入力ピン側の動作も基本的には奇数ピン入力側の動作と
同様である。即ち、フォーマッタ23は奇数ピン側のフ
ォーマッタ16と対応し、ドライバ24は17と対応
し、アナログコンパレータ25は18と対応し、ディジ
タル比較器26は19と対応し、メモリ27は20と夫
々対応する。
The operation of the odd input pin during the normal operation has been described above. The operation of the even input pin to which the pattern data PDeven is input is basically the same as the operation of the odd pin input. That is, the formatter 23 corresponds to the odd-numbered pin-side formatter 16, the driver 24 corresponds to 17, the analog comparator 25 corresponds to 18, the digital comparator 26 corresponds to 19, and the memory 27 corresponds to 20. .

【0030】奇数ピン側との相違点は、フォーマッタ2
3の前段にスクランブルメモリ22が設置されている点
である。このスクランブルメモリのアドレスには、パタ
ーンデータPDevenが入力され、データ出力をパタ
ーンデータとしてフォーマッタ23に入力する。通常動
作時では、このスクランブルメモリのアドレスマップ
は、図2に示すように、入力=出力という情報を書き込
んでおく。
The difference from the odd pin side is that the formatter 2
3 is that a scramble memory 22 is provided at the previous stage. The pattern data PDeven is input to the address of the scramble memory, and the data output is input to the formatter 23 as pattern data. In the normal operation, the address map of the scramble memory is written with information of input = output as shown in FIG.

【0031】以上が通常動作時の作用である。ピンマル
チプレクサ機能を使用した時の動作を説明する。まず奇
数ピン側において、セレクタ15は、1テストレートの
前半に奇数ピンパターンデータPDoddを選択し、後
半に偶数ピンパターンデータPDevenを選択する。
このような選択動作で図6の各種動作モードが可能とな
る。
The above is the operation during the normal operation. The operation when the pin multiplexer function is used will be described. First, on the odd pin side, the selector 15 selects the odd pin pattern data PDodd in the first half of one test rate, and selects the even pin pattern data PDeven in the second half.
By such a selection operation, the various operation modes shown in FIG. 6 become possible.

【0032】1テストレートの前半及び後半におけるフ
ォーマッタ16及びディジタル比較器19の動作は通常
動作と基本的には同一である。フォーマッタ16は1テ
ストレートの前半では奇数ピンパターンデータPDod
dに対応する期待値EP1を生成し、後半では偶数ピン
パターンデータPDevenの対応する期待値EP2生
成してディジタル比較器19に出力すると共に、制御信
号Sをディジタル比較器19に出力する。
The operation of the formatter 16 and the digital comparator 19 in the first half and the second half of one test rate is basically the same as the normal operation. In the first half of one test rate, the formatter 16 outputs the odd pin pattern data PDod.
An expected value EP1 corresponding to d is generated. In the latter half, an expected value EP2 corresponding to the even-numbered pin pattern data PDeven is generated and output to the digital comparator 19, and the control signal S is output to the digital comparator 19.

【0033】図6(D)の動作モードでは、1つのテス
トレートで2個のコンパレート結果が得られる場合があ
るので、偶数ピン入力に対応するPass/Fail情
報を記憶するメモリ21が用意されている。そしてフォ
ーマッタ16では奇数ピンか偶数ピンのどちらがコンパ
レートしたのか(あるいは両方か)が判断できるので、
制御信号Sをディジタル比較器19に送ってPass/
Fail情報を書き込むメモリ20及び21を選択す
る。
In the operation mode of FIG. 6D, since two comparison results may be obtained at one test rate, a memory 21 for storing Pass / Fail information corresponding to an even pin input is prepared. ing. The formatter 16 can determine which of the odd pins or the even pins has been compared (or both),
The control signal S is sent to the digital comparator 19 to
The memories 20 and 21 for writing the fail information are selected.

【0034】つぎに、ピンマルチプレクサ時の偶数ピン
側の動作を説明する。基本的には通常動作と変わりはな
いが、パターンデータPDevenは、当然ピンマルチ
プレクサ時は奇数ピン入力側の試験用に作成されてしま
う。そこでパターンデータの自由度を確保するためにス
クランブルメモリ22を使用する。
Next, the operation of the even-numbered pin at the time of the pin multiplexer will be described. Basically, there is no difference from the normal operation, but the pattern data PDeven is naturally created for the test on the odd-numbered pin input side at the time of the pin multiplexer. Therefore, the scramble memory 22 is used to secure the degree of freedom of the pattern data.

【0035】図3はこの場合のスクランブルメモリ22
の入力パターンデータと出力パターンデータの関係の一
例を示すメモリマップである。このようなパターンの変
換機能をもたせることにより、ピンマルチプレクサ時に
おいても、偶数ピン側は出力ピン信号とフォーマッタ2
3よりの期待値EP3を比較する、通常の試験を並行し
て実行することが可能となる。
FIG. 3 shows the scramble memory 22 in this case.
7 is a memory map showing an example of a relationship between input pattern data and output pattern data. By providing such a pattern conversion function, even at the time of the pin multiplexer, the even-numbered pin side receives the output pin signal and the formatter 2.
The normal test comparing the expected value EP3 from No. 3 can be executed in parallel.

【0036】次に、本発明の他の実施例につき説明す
る。ピンマルチプレクサ時に奇数ピン側に設けたメモリ
21を省き、偶数ピン側のメモリ27で代行する。こう
することにより、偶数ピン側はピンマルチプレクサ時に
ドライバとしてのみ使用可能という制限がつくが、回路
規模は格段に減少する効果がある。
Next, another embodiment of the present invention will be described. At the time of the pin multiplexer, the memory 21 provided on the odd-numbered pin side is omitted, and the memory 27 on the even-numbered pin side is substituted. By doing so, there is a restriction that the even-numbered pin side can be used only as a driver at the time of a pin multiplexer, but there is an effect that the circuit scale is significantly reduced.

【0037】さらに、スクランブルメモリを、フォーマ
ッタ23の前段ではなく、セレクタ15の前段に置く構
成とすれば、パターン上の制限がつくが、ピンマルチプ
レクサ動作時に完璧に偶数ピン入力の試験動作が保証さ
れる。
Further, if the scrambling memory is arranged not in the preceding stage of the formatter 23 but in the preceding stage of the selector 15, there is a limitation on the pattern. However, the test operation of the even-numbered pin input is perfectly guaranteed during the operation of the pin multiplexer. You.

【0038】通常ピンマルチプレクサ使用のピンはさほ
ど煩雑な動作は要求されないので、この方が有効な場合
もある。よって、回路規模は多少増加するが、図1のス
クランブルメモリ22に加えてセレクタ15の前段にも
第3スクランブルメモリを設けることにより自由度を更
に増すことができる。
Normally, a pin using a pin multiplexer does not require much complicated operation, so this may be more effective. Therefore, although the circuit scale is slightly increased, the degree of freedom can be further increased by providing the third scramble memory in the preceding stage of the selector 15 in addition to the scramble memory 22 of FIG.

【0039】[0039]

【発明の効果】以上説明したことから明らかなように、
本発明によればセレクタ15、メモリ21、スクランブ
ルメモリ22の導入により、ピンマルチプレクサ動作時
においても偶数ピン側の試験を並行して実行可能なIC
試験装置を容易に実現することができる。
As is apparent from the above description,
According to the present invention, by introducing the selector 15, the memory 21, and the scramble memory 22, an IC capable of executing tests on the even-numbered pins in parallel even during the operation of the pin multiplexer.
A test device can be easily realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明を適用したIC試験装置の主要部を示す
ブロック線図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a main part of an IC test apparatus to which the present invention is applied.

【図2】通常動作時のスクランブルメモリの内容を示す
メモリマップ図である。
FIG. 2 is a memory map showing the contents of a scramble memory during normal operation.

【図3】ピンマルチプレクス動作時のスクランブルメモ
リの内容を示すメモリマップ図である。
FIG. 3 is a memory map showing the contents of a scramble memory during a pin multiplex operation.

【図4】一般的なIC試験装置のシステム構成図であ
る。
FIG. 4 is a system configuration diagram of a general IC test apparatus.

【図5】ピンマルチプレクス機能の概念図である。FIG. 5 is a conceptual diagram of a pin multiplex function.

【図6】ピンマルチプレクス動作時に、1テスト周期に
おける前半と後半の状態組み合わせのモード例を示す説
明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a mode example of a first half and a second half of a state combination in one test cycle during a pin multiplex operation;

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 被試験IC(DUT) 15 セレクタ 16、23 フォーマッタ 17,24 ドライバ 18,25 アナログコンパレータ 19,26 ディジタル比較器 20,21,27 メモリ 22 スクランブルメモリ Reference Signs List 1 IC under test (DUT) 15 Selector 16, 23 Formatter 17, 24 Driver 18, 25 Analog comparator 19, 26 Digital comparator 20, 21, 27 memory 22 Scramble memory

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ピンマルチプレクス機能を用いたIC試験
装置において、 被試験ICの第1入力ピンに与えられる第1パターンデ
ータ及びピンマルチプレクス機能を適用する第2入力ピ
ンに与えられる第2パターンデータとを入力して一方を
選択するセレクタ手段と、 このセレクタ手段で選択された第1パターンデータに基
づく試験信号をドライバを介して前記第1入力ピンに出
力すると共に第1期待値を出力し、前記セレクタ手段で
選択された第2パターンデータに基づく試験信号をドラ
イバを介して前記第1入力ピンに出力すると共に第2期
待値を出力する第1フォーマッタ手段と、 前記被試験ICの第1出力ピンの出力と前記第1及び第
2期待値とを比較する第1比較手段と、 この第1比較手段の判定出力を前記第1パターンデータ
及び第2パターンデータに対応して記憶する第1、第2
メモリ手段と、を具備するIC試験装置。
1. An IC test apparatus using a pin multiplex function, wherein first pattern data given to a first input pin of an IC under test and second pattern given to a second input pin to which the pin multiplex function is applied. Selector means for inputting data and selecting one of them; outputting a test signal based on the first pattern data selected by the selector means to the first input pin via a driver and outputting a first expected value; A first formatter for outputting a test signal based on the second pattern data selected by the selector to the first input pin via a driver and outputting a second expected value; and a first formatter for the IC under test. First comparing means for comparing the output of an output pin with the first and second expected values; and determining the output of the first comparing means with the first pattern data and the first pattern data. And second patterns stored in correspondence with the second and third pattern data.
An IC test apparatus comprising: a memory unit.
【請求項2】第2パターンデータを入力し前記被試験I
Cの第2入力ピン用のパターンデータに変換するスクラ
ンブルメモリ手段と、 このスクランブルメモリ手段出力に基づく試験信号をド
ライバを介して前記第2入力ピンに出力すると共に第3
期待値を出力する第2フォーマッタ手段と、 前記被試験ICの第2出力ピンの出力と前記第3期待値
とを比較する第2比較手段と、 この第2比較手段の判定出力を記憶する第3メモリ手段
と、を具備する請求項1記載のIC試験装置。
2. The method according to claim 2, wherein the second pattern data is inputted and said I
A scramble memory means for converting the data into pattern data for a second input pin of C; outputting a test signal based on the output of the scramble memory means to the second input pin via a driver;
A second formatter for outputting an expected value; a second comparing unit for comparing an output of a second output pin of the IC under test with the third expected value; a second storing unit for storing a judgment output of the second comparing unit. The IC test apparatus according to claim 1, further comprising three memory means.
【請求項3】前記第1入力ピン並びに第1出力ピンは奇
数ピン(偶数ピン)であり、前記第2入力ピン並びに第
2出力ピンは偶数ピン(奇数ピン)であることを特徴と
する請求項1及び2記載のIC試験装置。
3. The device according to claim 1, wherein the first input pin and the first output pin are odd pins (even pins), and the second input pins and the second output pins are even pins (odd pins). Item 3. The IC test apparatus according to Item 1 or 2.
【請求項4】前記第1入力ピン及び第2出力ピンは、隣
り合ったピンであることを特徴とする請求項1乃至3記
載のIC試験装置。
4. The IC test apparatus according to claim 1, wherein said first input pin and said second output pin are adjacent pins.
【請求項5】前記第1乃至第3メモリ手段は、前記第1
及び第2比較手段の判定結果が不良の場合に不良内容が
記録されることを特徴とする請求項1乃至4記載のIC
試験装置。
5. The first to third memory means comprises:
5. The IC according to claim 1, wherein the content of the defect is recorded when the result of the determination by the second comparing means is defective.
Testing equipment.
【請求項6】前記セレクタ手段の前段に、第2スクラン
ブルメモリ手段を追加したことを特徴とする請求項乃至
5記載のIC試験装置。
6. The IC test apparatus according to claim 5, wherein a second scramble memory means is added before the selector means.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007255961A (en) * 2006-03-22 2007-10-04 Yokogawa Electric Corp Ic tester

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