JP2002168813A - Ｘ線分析装置 - Google Patents
Ｘ線分析装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 短時間での微量元素の分析を可能にしたＸ線
分析装置を提供する。 【解決手段】 複数の超伝導放射線検出器６Ａ，６Ｂ，
……，６Ｎを設け、各検出器に対して，それぞれ、信号
処理回路７Ａ，７Ｂ，……，７Ｎ及びマルチチャンネル
アナライザー８Ａ，８Ｂ，……，８Ｎを設け、各マルチ
チャンネルアナライザーの出力を加算器１２で加算し、
該加算器の出力に基づいてＸ線スペクトルを表示するよ
うに成した。
分析装置を提供する。 【解決手段】 複数の超伝導放射線検出器６Ａ，６Ｂ，
……，６Ｎを設け、各検出器に対して，それぞれ、信号
処理回路７Ａ，７Ｂ，……，７Ｎ及びマルチチャンネル
アナライザー８Ａ，８Ｂ，……，８Ｎを設け、各マルチ
チャンネルアナライザーの出力を加算器１２で加算し、
該加算器の出力に基づいてＸ線スペクトルを表示するよ
うに成した。
Description
【０００１】
【発明の属する分野】本発明は、超伝導放射線検出器を
備えたＸ線分析装置に関する。
備えたＸ線分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】Ｘ線分析装置は、集束した電子線等の荷
電粒子線若しくはＸ線を試料表面の所定微小箇所に照射
し、該微小箇所から発生する特性Ｘ線を検出することに
より、該微小箇所に含まれている元素の定性又は定量分
析するものである。
電粒子線若しくはＸ線を試料表面の所定微小箇所に照射
し、該微小箇所から発生する特性Ｘ線を検出することに
より、該微小箇所に含まれている元素の定性又は定量分
析するものである。
【０００３】この様なＸ線分析装置の中に、試料表面に
電子線を照射し、その照射部分から放射される特性Ｘ線
をエネルギー分散型の検出器によって検出して、そのＸ
線のエネルギーと強度を測定し、試料組成元素の定性及
び定量分析を行うエネルギー分散型Ｘ線分析装置があ
る。
電子線を照射し、その照射部分から放射される特性Ｘ線
をエネルギー分散型の検出器によって検出して、そのＸ
線のエネルギーと強度を測定し、試料組成元素の定性及
び定量分析を行うエネルギー分散型Ｘ線分析装置があ
る。
【０００４】図１はこの様なエネルギー分散型Ｘ線分析
装置の一概略例を示したものである。
装置の一概略例を示したものである。
【０００５】図中１は電子銃、２は集束レンズ、３は対
物レンズ、４は偏向コイル、５は試料である。
物レンズ、４は偏向コイル、５は試料である。
【０００６】又、図中６はＸ線検出器、７は増幅器，波
形成形回路及びＡＤ変換器等から成る信号処理回路、８
はマルチチャンネルアナライザー（マルチチャンネル波
高分析器）、９は中央制御装置、１０は記憶装置、１１
は表示装置である。
形成形回路及びＡＤ変換器等から成る信号処理回路、８
はマルチチャンネルアナライザー（マルチチャンネル波
高分析器）、９は中央制御装置、１０は記憶装置、１１
は表示装置である。
【０００７】この様な装置において、電子銃１からの電
子線は集束レンズ２及び対物レンズ３により試料５上に
集束される。この時の集束位置は、偏向コイル４（実際
には、Ｘ，Ｙ方向の偏向コイルが設けられている）へ
Ｘ，Ｙ位置指定信号を供給することにより制御される。
この様な電子線の照射により、該照射箇所から特性Ｘ線
が発生する。
子線は集束レンズ２及び対物レンズ３により試料５上に
集束される。この時の集束位置は、偏向コイル４（実際
には、Ｘ，Ｙ方向の偏向コイルが設けられている）へ
Ｘ，Ｙ位置指定信号を供給することにより制御される。
この様な電子線の照射により、該照射箇所から特性Ｘ線
が発生する。
【０００８】該特性Ｘ線はＸ線検出器７に検出され、該
検出信号は信号処理回路７に送られる。該信号処理回路
に送られた信号は、ここで、増幅され、波形成形された
後、Ｘ線エネルギーに対応したデジタル信号に変換され
る。即ち、信号処理回路７はＸ線のエネルギーに応じた
波高値のパルス信号を発生する。
検出信号は信号処理回路７に送られる。該信号処理回路
に送られた信号は、ここで、増幅され、波形成形された
後、Ｘ線エネルギーに対応したデジタル信号に変換され
る。即ち、信号処理回路７はＸ線のエネルギーに応じた
波高値のパルス信号を発生する。
【０００９】該信号処理回路の出力信号はマルチチャン
ネルアナライザー８に送られる。該マルチチャンネルア
ナライザー８に送られた信号は、ここで、エネルギーに
応じて選別される。即ち、マルチチャンネルアナライザ
ー８は送られて来たパルス信号を波高値に応じて弁別し
てカウントする。
ネルアナライザー８に送られる。該マルチチャンネルア
ナライザー８に送られた信号は、ここで、エネルギーに
応じて選別される。即ち、マルチチャンネルアナライザ
ー８は送られて来たパルス信号を波高値に応じて弁別し
てカウントする。
【００１０】該カウント値は、中央制御装置９の指令に
より作動する記憶装置１０に、各エネルギー領域に対応
した番地に格納される。
より作動する記憶装置１０に、各エネルギー領域に対応
した番地に格納される。
【００１１】前記中央制御装置９は、該記憶装置に格納
されたカウント値を読み出し、該中央制御装置内で種々
の処理を行って表示装置１１に送る。その結果、該表示
装置１１にＸ線スペクトルが表示される。又、必要に応
じて、中央制御装置９は、該記憶装置に格納された波長
テーブルを参照して、Ｘ線スペクトル中の指定したピー
ク位置に対応する元素名、Ｘ線名等を検索して、前記表
示装置１１に表示させる。
されたカウント値を読み出し、該中央制御装置内で種々
の処理を行って表示装置１１に送る。その結果、該表示
装置１１にＸ線スペクトルが表示される。又、必要に応
じて、中央制御装置９は、該記憶装置に格納された波長
テーブルを参照して、Ｘ線スペクトル中の指定したピー
ク位置に対応する元素名、Ｘ線名等を検索して、前記表
示装置１１に表示させる。
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】さて、この様なＸ線分
析装置のＸ線検出器は、エネルギー分解能が優れている
ことが重要な要素となっており、その為、Ｘ線検出器と
しては、例えば、シリコンやゲルマニウムを用いた半導
体検出器が使用されている。
析装置のＸ線検出器は、エネルギー分解能が優れている
ことが重要な要素となっており、その為、Ｘ線検出器と
しては、例えば、シリコンやゲルマニウムを用いた半導
体検出器が使用されている。
【００１３】しかし、最近では、元素の定性や定量等を
行うＸ線分析装置の応用分野（例えば、新素材，半導
体，触媒，エレクトロニクス，宇宙科学等の材料開発や
研究等の分野等）においては、更に厳しい検出精度が要
求されており、前記シリコンやゲルマニウム等を用いた
半導体検出器よりも、よりエネルギー分解能の高いＸ線
検出器の出現が切望されている。
行うＸ線分析装置の応用分野（例えば、新素材，半導
体，触媒，エレクトロニクス，宇宙科学等の材料開発や
研究等の分野等）においては、更に厳しい検出精度が要
求されており、前記シリコンやゲルマニウム等を用いた
半導体検出器よりも、よりエネルギー分解能の高いＸ線
検出器の出現が切望されている。
【００１４】近時、前記シリコンやゲルマニウム等を用
いた半導体検出器よりも更にエネルギー分解能の著しく
優れている超伝導体を使用した超伝導放射線検出器が注
目されている。
いた半導体検出器よりも更にエネルギー分解能の著しく
優れている超伝導体を使用した超伝導放射線検出器が注
目されている。
【００１５】この様な超伝導放射線検出器には、超伝導
相転移端センサ（SuperconductingTransition Edge Sen
sor : TES）を用い、外部から放射される放射線により
検出器内部で発生した熱を微小電流信号に変換するタイ
プ（カロリーメーターと呼ばれている）と、超伝導トン
ネル接合（Superconducting Tunnel Junction : STJ）
素子を用い、直接放射線を微小電流信号に変換するタイ
プ（ＳＴＪと呼ばれている）がある。
相転移端センサ（SuperconductingTransition Edge Sen
sor : TES）を用い、外部から放射される放射線により
検出器内部で発生した熱を微小電流信号に変換するタイ
プ（カロリーメーターと呼ばれている）と、超伝導トン
ネル接合（Superconducting Tunnel Junction : STJ）
素子を用い、直接放射線を微小電流信号に変換するタイ
プ（ＳＴＪと呼ばれている）がある。
【００１６】しかしながら、この様な超伝導放射線検出
器やマルチチャンネルアナライザーにおけるエネルギー
分散処理に時間が長く掛かることが原因で、超伝導放射
線検出器が検出出来る単位時間当たりのＸ線の総数（総
計数率と称す）に限界がある。即ち、超伝導放射線検出
器の限界総計数率が極めて低く、数百〜数千ｃｐｓ（co
unts per second）程度である。特に、カロリーメータ
ーは、検出したＸ線による放射線吸収体の温度上昇をTE
Sを用いて測定するものであり、温度上昇した放射線吸
収体が元の平衡温度に戻るまでに著しい時間が掛かるの
で、検出したＸ線による出力パルスの減衰に数百μｓ以
上要し、その為に、限界総計数率が著しく低い。
器やマルチチャンネルアナライザーにおけるエネルギー
分散処理に時間が長く掛かることが原因で、超伝導放射
線検出器が検出出来る単位時間当たりのＸ線の総数（総
計数率と称す）に限界がある。即ち、超伝導放射線検出
器の限界総計数率が極めて低く、数百〜数千ｃｐｓ（co
unts per second）程度である。特に、カロリーメータ
ーは、検出したＸ線による放射線吸収体の温度上昇をTE
Sを用いて測定するものであり、温度上昇した放射線吸
収体が元の平衡温度に戻るまでに著しい時間が掛かるの
で、検出したＸ線による出力パルスの減衰に数百μｓ以
上要し、その為に、限界総計数率が著しく低い。
【００１７】総計数率には主成分元素の強力な特性Ｘ線
やバックグランドのＸ線等が含まれるため、この様に、
限界総計数率が低いと、微量元素の特性Ｘ線の計数率が
極めて低くなり、通常の測定時間内では、微量元素の定
性（同定）や定量が困難であり、１つの位置毎の計数時
間が微少な面分析は不可能である。又、微量元素の定性
（同定）や定量を行おうとすれば、著しく長い測定時間
が必要となり、実用的ではない。図２は、或る試料の微
小領域についての一定時間計数後のマルチチャンネルア
ナライザーの出力信号（エネルギー別のカウント値）の
波形例を表したもので、横軸はエネルギー値、縦軸はカ
ウント値（計数率と計数時間との積）を表している。こ
のスペクトルでは、例えば、Ｃのピークが極めて低く、
Ｃのピークの定性及び定量が難しい。本発明はこの様に
問題に鑑み、新規なＸ線分析装置を提供することを目的
とする。
やバックグランドのＸ線等が含まれるため、この様に、
限界総計数率が低いと、微量元素の特性Ｘ線の計数率が
極めて低くなり、通常の測定時間内では、微量元素の定
性（同定）や定量が困難であり、１つの位置毎の計数時
間が微少な面分析は不可能である。又、微量元素の定性
（同定）や定量を行おうとすれば、著しく長い測定時間
が必要となり、実用的ではない。図２は、或る試料の微
小領域についての一定時間計数後のマルチチャンネルア
ナライザーの出力信号（エネルギー別のカウント値）の
波形例を表したもので、横軸はエネルギー値、縦軸はカ
ウント値（計数率と計数時間との積）を表している。こ
のスペクトルでは、例えば、Ｃのピークが極めて低く、
Ｃのピークの定性及び定量が難しい。本発明はこの様に
問題に鑑み、新規なＸ線分析装置を提供することを目的
とする。
【００１８】
【課題を解決するための手段】 本発明に基づくＸ線分
析装置は、試料面に粒子線を照射し、試料より発生する
Ｘ線に基づいて試料の分析を行うようにしたＸ線分析装
置において、複数の超伝導放射線検出器、各超伝導放射
線検出器それぞれに繋がった信号処理回路、各信号処理
回路それぞれに繋がったマルチチャンネルアナライザ、
及び、各マルチチャンネルアナライザの出力信号を加算
する加算手段を備え、該加算手段の出力信号に基づくＸ
線スペクトルを得るように成したことを特徴とする。
析装置は、試料面に粒子線を照射し、試料より発生する
Ｘ線に基づいて試料の分析を行うようにしたＸ線分析装
置において、複数の超伝導放射線検出器、各超伝導放射
線検出器それぞれに繋がった信号処理回路、各信号処理
回路それぞれに繋がったマルチチャンネルアナライザ、
及び、各マルチチャンネルアナライザの出力信号を加算
する加算手段を備え、該加算手段の出力信号に基づくＸ
線スペクトルを得るように成したことを特徴とする。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。
施の形態を詳細に説明する。
【００２０】図３は本発明に基づくＸ線分析装置の１概
略例を表したもので、前記図１にて使用した記号と同一
記号の付されたものは同一構成要素である。
略例を表したもので、前記図１にて使用した記号と同一
記号の付されたものは同一構成要素である。
【００２１】図中６Ａ，６Ｂ，……………，６Ｎは超伝
導放射線検出器で、図においては記載の都合上、上下に
配列されているかの如く示されているが、実際には、電
子光学光軸Ｏの周りに、光軸Ｏと試料との交点（Ｘ線発
生中心部）に向けて配置されている。尚、前記超伝導放
射線検出器６Ａ，６Ｂ，……………，６Ｎは、全て同一
の超伝導放射線検出器である。
導放射線検出器で、図においては記載の都合上、上下に
配列されているかの如く示されているが、実際には、電
子光学光軸Ｏの周りに、光軸Ｏと試料との交点（Ｘ線発
生中心部）に向けて配置されている。尚、前記超伝導放
射線検出器６Ａ，６Ｂ，……………，６Ｎは、全て同一
の超伝導放射線検出器である。
【００２２】７Ａ，７Ｂ，……………，７Ｎは、それぞ
れ、前記超伝導放射線検出器６Ａ，６Ｂ，……………，
６Ｎ各々の出力を受ける信号処理回路である。
れ、前記超伝導放射線検出器６Ａ，６Ｂ，……………，
６Ｎ各々の出力を受ける信号処理回路である。
【００２３】８Ａ，８Ｂ，……………，８Ｎは、それぞ
れ、前記信号処理回路７Ａ，７Ｂ，……………，７Ｎ各
々の出力を受けるマルチチャンネルアナライザーであ
る。
れ、前記信号処理回路７Ａ，７Ｂ，……………，７Ｎ各
々の出力を受けるマルチチャンネルアナライザーであ
る。
【００２４】１２は、前記マルチチャンネルアナライザ
ー８Ａ，８Ｂ，……………，８Ｎの出力を加算する加算
器である。
ー８Ａ，８Ｂ，……………，８Ｎの出力を加算する加算
器である。
【００２５】この様な装置において、電子銃１からの電
子線は集束レンズ２及び対物レンズ３により試料５上に
集束される。この時の集束位置は、偏向コイル４へ位置
指定信号を供給することにより制御される。この様な電
子線の照射により、該照射箇所から特性Ｘ線が発生す
る。
子線は集束レンズ２及び対物レンズ３により試料５上に
集束される。この時の集束位置は、偏向コイル４へ位置
指定信号を供給することにより制御される。この様な電
子線の照射により、該照射箇所から特性Ｘ線が発生す
る。
【００２６】該特性Ｘ線は超伝導放射線検出器６Ａ，６
Ｂ，……………，６Ｎに検出され、各検出器の出力信号
は、それぞれ、信号処理回路７Ａ，７Ｂ，……………，
７Ｎに送られる。該信号処理回路に送られた信号は、こ
こで、増幅され、波形成形された後、Ｘ線エネルギーに
対応したデジタル信号に変換される。即ち、信号処理回
路はＸ線のエネルギーに応じた波高値のパルス信号を発
生する。
Ｂ，……………，６Ｎに検出され、各検出器の出力信号
は、それぞれ、信号処理回路７Ａ，７Ｂ，……………，
７Ｎに送られる。該信号処理回路に送られた信号は、こ
こで、増幅され、波形成形された後、Ｘ線エネルギーに
対応したデジタル信号に変換される。即ち、信号処理回
路はＸ線のエネルギーに応じた波高値のパルス信号を発
生する。
【００２７】該各信号処理回路の出力信号は、それぞ
れ、マルチチャンネルアナライザー８Ａ，８Ｂ，………
……，８Ｎに送られる。該マルチチャンネルアナライザ
ーに送られた信号は、ここで、エネルギーに応じて選別
される。即ち、マルチチャンネルアナライザーは送られ
て来たパルス信号を波高値に応じて弁別してカウントす
る。
れ、マルチチャンネルアナライザー８Ａ，８Ｂ，………
……，８Ｎに送られる。該マルチチャンネルアナライザ
ーに送られた信号は、ここで、エネルギーに応じて選別
される。即ち、マルチチャンネルアナライザーは送られ
て来たパルス信号を波高値に応じて弁別してカウントす
る。
【００２８】該各マルチチャンネルアナライザー８Ａ，
８Ｂ，……………，８Ｎの出力は、加算器１２に送られ
る。該加算器は、各アナライザーからのエネルギー別カ
ウント値を、エネルギー別に加算する。
８Ｂ，……………，８Ｎの出力は、加算器１２に送られ
る。該加算器は、各アナライザーからのエネルギー別カ
ウント値を、エネルギー別に加算する。
【００２９】該エネルギー別に加算されたカウント値
は、中央制御装置９の指令により作動する記憶装置１０
に、各エネルギー領域に対応した番地に格納される。
は、中央制御装置９の指令により作動する記憶装置１０
に、各エネルギー領域に対応した番地に格納される。
【００３０】前記中央制御装置９は、該記憶装置に格納
されたカウント値を読み出し、該中央制御装置内で種々
の処理を行って表示装置１１に送る。その結果、該表示
装置１１にＸ線スペクトルが表示される。
されたカウント値を読み出し、該中央制御装置内で種々
の処理を行って表示装置１１に送る。その結果、該表示
装置１１にＸ線スペクトルが表示される。
【００３１】図４は、図２の場合と同一時間計数後の或
る試料の微小領域についての加算器１２の出力信号、即
ち、各マルチチャンネルアナライザーのエネルギー別の
カウント値をエネルギー別に加算したカウント値の波形
例を表したもので、図２に示す、１つのマルチチャンネ
ルアナライザーのエネルギー別のカウント値の波形に比
較し、各エネルギー別のトータルカウント値は全てにつ
いて加算数に対応して増加しており、各エネルギー別の
トータルカウント値の互いの差は加算数に対応して拡が
っているので、図２では前後のエネルギーのカウント値
に対してそのカウント値の差が僅かであったピークＣ
は、Ｃ′に示す様に、前後のエネルギーのカウント値に
対しそのカウント値の差が加算数に対応して拡がってい
る。その為、短時間でのピークＣ′の定性及び定量が容
易となる。
る試料の微小領域についての加算器１２の出力信号、即
ち、各マルチチャンネルアナライザーのエネルギー別の
カウント値をエネルギー別に加算したカウント値の波形
例を表したもので、図２に示す、１つのマルチチャンネ
ルアナライザーのエネルギー別のカウント値の波形に比
較し、各エネルギー別のトータルカウント値は全てにつ
いて加算数に対応して増加しており、各エネルギー別の
トータルカウント値の互いの差は加算数に対応して拡が
っているので、図２では前後のエネルギーのカウント値
に対してそのカウント値の差が僅かであったピークＣ
は、Ｃ′に示す様に、前後のエネルギーのカウント値に
対しそのカウント値の差が加算数に対応して拡がってい
る。その為、短時間でのピークＣ′の定性及び定量が容
易となる。
【００３２】この様に、複数の超伝導放射線検出器を設
け、各検出器に対して，それぞれ、信号処理回路及びマ
ルチチャンネルアナライザーを設け、各マルチチャンネ
ルアナライザーの出力を加算器で加算し、該加算器の出
力に基づいてＸ線スペクトルを表示するように成したの
で、限界総計数率が加算数分増加したことに相当するＸ
線スペクトルが得られ、微量元素の同定や定量等が短時
間で出来るばかりか、その為に、従来不可能であった微
量元素の面分析も可能となる。
け、各検出器に対して，それぞれ、信号処理回路及びマ
ルチチャンネルアナライザーを設け、各マルチチャンネ
ルアナライザーの出力を加算器で加算し、該加算器の出
力に基づいてＸ線スペクトルを表示するように成したの
で、限界総計数率が加算数分増加したことに相当するＸ
線スペクトルが得られ、微量元素の同定や定量等が短時
間で出来るばかりか、その為に、従来不可能であった微
量元素の面分析も可能となる。
【００３３】尚、複数の超伝導放射線検出器は、互いに
近接させて１つのハウジング内に設けても良いし、互い
に独立したハウジング内に設けても良い。尚、何れの場
合においても、超伝導放射線検出器は冷却が必要なの
で、ハウジングには冷却機構が設けられており、そのハ
ウジングの中に、信号処理回路の中で冷却が必要なユニ
ットも配置される。
近接させて１つのハウジング内に設けても良いし、互い
に独立したハウジング内に設けても良い。尚、何れの場
合においても、超伝導放射線検出器は冷却が必要なの
で、ハウジングには冷却機構が設けられており、そのハ
ウジングの中に、信号処理回路の中で冷却が必要なユニ
ットも配置される。
【００３４】又、前記複数の超伝導放射線検出器として
は、全て、カロリーメータータイプのものを用いても良
いし、ＳＴＪタイプのものを用いても良い。
は、全て、カロリーメータータイプのものを用いても良
いし、ＳＴＪタイプのものを用いても良い。
【図面の簡単な説明】
【図１】 Ｘ線分析装置の一概略例を示している。
【図２】 或る試料の微小領域についてのマルチチャン
ネルアナライザーの出力信号（エネルギー別のカウント
値）の波形例を表示したものである。
ネルアナライザーの出力信号（エネルギー別のカウント
値）の波形例を表示したものである。
【図３】 本発明に基づくＸ線分析装置の１概略例を示
している。
している。
【図４】 或る試料の微小領域についての加算器の出力
信号、即ち、各マルチチャンネルアナライザーのエネル
ギー別のカウント値をエネルギー別に加算したトータル
カウント値の波形例を表示したものである。
信号、即ち、各マルチチャンネルアナライザーのエネル
ギー別のカウント値をエネルギー別に加算したトータル
カウント値の波形例を表示したものである。
１…電子銃 ２…集束レンズ ３…対物レンズ ４…偏向コイル ５…試料 ６…Ｘ線検出器 ６Ａ，６Ｂ，………………，６Ｎ…超伝導放射線検出器 ７…信号処理回路 ７Ａ，７Ｂ，………………，７Ｎ…信号処理回路 ８…マルチチャンネルアナライザー ８Ａ，８Ｂ，………………，８Ｎ…マルチチャンネルア
ナライザー ９…制御装置 １０…記憶装置 １１…表示装置 １２…加算器 Ｏ…電子光学系光軸
ナライザー ９…制御装置 １０…記憶装置 １１…表示装置 １２…加算器 Ｏ…電子光学系光軸
Claims (5)
- 【請求項１】 試料面に粒子線を照射し、試料より発生
するＸ線に基づいて試料の分析を行うようにしたＸ線分
析装置において、複数の超伝導放射線検出器、各超伝導
放射線検出器それぞれに繋がった信号処理回路、各信号
処理回路それぞれに繋がったマルチチャンネルアナライ
ザ、及び、各マルチチャンネルアナライザの出力信号を
加算する加算手段を備え、該加算手段の出力信号に基づ
くＸ線スペクトルを得るように成したＸ線分析装置。 - 【請求項２】 前記各超伝導放射線検出器は、超伝導相
転移端センサを用いたタイプで構成されている請求項１
に記載のＸ線分析装置。 - 【請求項３】 前記各超伝導放射線検出器は、超伝導ト
ンネル接合素子を用いたタイプで構成されている請求項
１に記載のＸ線分析装置。 - 【請求項４】 試料面を照射する粒子線は電子線である
請求項１記載のＸ線分析装置。 - 【請求項５】 加算手段の出力信号に基づくＸ線スペク
トルを表示装置に表示させるように成した請求項１記載
のＸ線分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000365412A JP2002168813A (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | Ｘ線分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000365412A JP2002168813A (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | Ｘ線分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002168813A true JP2002168813A (ja) | 2002-06-14 |
Family
ID=18836186
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000365412A Withdrawn JP2002168813A (ja) | 2000-11-30 | 2000-11-30 | Ｘ線分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002168813A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103728652A (zh) * | 2013-12-18 | 2014-04-16 | 中国原子能科学研究院 | 一种核元素γ能谱小波降噪的方法、装置及核元素探测器 |
| JP2015094624A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 国立大学法人京都大学 | 放射線検出システム、データ処理装置、放射線検出方法および波高値分布データ処理プログラム |
| TWI573165B (zh) * | 2014-12-09 | 2017-03-01 | 財團法人工業技術研究院 | 電子顯微鏡、讀取器以及擷取元素頻譜之方法 |
-
2000
- 2000-11-30 JP JP2000365412A patent/JP2002168813A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2015094624A (ja) * | 2013-11-11 | 2015-05-18 | 国立大学法人京都大学 | 放射線検出システム、データ処理装置、放射線検出方法および波高値分布データ処理プログラム |
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| TWI573165B (zh) * | 2014-12-09 | 2017-03-01 | 財團法人工業技術研究院 | 電子顯微鏡、讀取器以及擷取元素頻譜之方法 |
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