JP2002164576A - 発光ダイオード - Google Patents

発光ダイオード

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JP2002164576A
JP2002164576A JP2000365773A JP2000365773A JP2002164576A JP 2002164576 A JP2002164576 A JP 2002164576A JP 2000365773 A JP2000365773 A JP 2000365773A JP 2000365773 A JP2000365773 A JP 2000365773A JP 2002164576 A JP2002164576 A JP 2002164576A
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light emitting
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JP2000365773A
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Katsuya Akimoto
克弥 秋元
Masatomo Shibata
真佐知 柴田
Tadaitsu Tsuchiya
忠厳 土屋
Yuichi Oshima
祐一 大島
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Hitachi Cable Ltd
Original Assignee
Hitachi Cable Ltd
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/49105Connecting at different heights
    • H01L2224/49107Connecting at different heights on the semiconductor or solid-state body

Abstract

(57)【要約】 【課題】従来の単色発光ダイオードと全く同様の樹脂モ
ールドの材料および工程が適用でき、且つ従来の単色発
光ダイオードと比べて発光効率の低下や駆動電圧の上昇
を招かない混合色発光ダイオードを提供すること。 【解決手段】基板1又は21上に複数層の化合物半導体
層を積層し、且つその積層体の一部に発光層となるpn
接合又はヘテロ接合を有する半導体積層部を具備する発
光ダイオードにおいて、前記積層体の光取り出し側に、
Sn、W、Mo、Zr、Ti、Sb、Fのうち少なくと
も1種類の元素がドープされたIn2 3層7、8又は
27を設け、そのIn2 3 層中に、前記発光層からの
発光の少なくとも一部を波長変換して発光する少なくと
も1種類の無機蛍光体を含有させる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、単色光以外の発光
を得ることが可能な発光ダイオードに関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、化合物半導体を用いた発光ダイオ
ードは、そのエネルギーバンドギャップに応じた単色光
または単色光に近い光しか放出することができず、例え
ば白、赤紫、ピンク等の色は表現できなかった。
【0003】しかしながら、近年では青色発光ダイオー
ドと青色以外の蛍光を持つ蛍光体を組み合わせ、青色発
光ダイオードの発光の一部を蛍光体の励起光とし、発光
ダイオードからの発光と蛍光体からの蛍光の混合色、特
に白色を得る発光ダイオードが提供されている。
【0004】このような発光ダイオードの一例として、
例えば特開平5−152609号公報による方法が公知
である。特開平5−152609号公報による方法で
は、一般式Gaz1Al1-z1N(0≦Z1≦1)で表され
る化合物半導体からなる発光ダイオードチップをステム
上に配置し、その周囲を樹脂でモールドする。上記樹脂
には蛍光物質が含有されており、上記蛍光物質は発光ダ
イオードチップからの放射光により励起され、蛍光を生
じる。結果として、発光ダイオードチップからの発光と
蛍光物質からの蛍光の混合光を得ることができる。
【0005】一方、特開平5−152609号公報とは
異なる方法として、特開2000−49374号公報に
よる方法が公知である。特開2000−49374号公
報による方法では、蛍光中心をドープしたGaN基板上
にGaz2In1-z2N(0≦z2≦1)で表される化合物
半導体で構成される発光層を積層し、発光ダイオードチ
ップを得る。GaN基板に含有される蛍光中心は発光層
からの放射光により励起され、蛍光を生じる。結果とし
て、発光層からの発光とGaN基板に含有された蛍光中
心からの蛍光の混合光を得ることができる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
5−152609号公報による方法は以下に示す問題点
を有する。特開平5−152609号公報による方法は
樹脂モールドに蛍光材料を含有させる工程が必須であ
る。しかし、この工程は従来の単色発光ダイオードの製
造工程には含まれないため、単色発光ダイオードの樹脂
モールド工程をそのまま適用することができない。
【0007】特開2000−49374号公報は上記問
題点を解決する手法として提案された。すなわち、発光
ダイオード中の発光ダイオードチップそのものが混合光
を放射すれば、樹脂モールドの材料および工程は従来の
単色発光ダイオードと全く同様で済むという考えによ
る。
【0008】しかし、特開2000−49374号公報
による方法は以下に示す問題点を有する。第一に、良質
のGaN基板の製造技術はまだ十分に確立されていない
ため、GaN基板を用いた窒化ガリウム系発光ダイオー
ドチップは、従来型のサファイア基板を用いた窒化ガリ
ウム系発光ダイオードチップに比べて極めて高価である
ことがあげられる。第二に、GaNに蛍光中心である酸
素、窒素等の不純物や窒素空孔をドープすると、GaN
基板に多数の結晶欠陥が生じることがあげられる。この
ように多数の結晶欠陥を有するGaN基板上を用いた発
光ダイオードチップは、良質のサファイア基板を用いた
発光ダイオードチップよりも発光効率が著しく低下した
り、駆動電圧が上昇することは明白である。最悪の場
合、発光しない可能性すらある。
【0009】本発明の目的は、上記問題点に鑑み、従来
の単色発光ダイオードと全く同様の樹脂モールドの材料
および工程が適用でき、且つ従来の単色発光ダイオード
と比べて発光効率の低下や駆動電圧の上昇を招かない混
合色発光ダイオードを提供することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、次のように構成したものである。
【0011】請求項1に記載の発明は、少なくとも1層
のIn2 3 層と、化合物半導体からなる少なくとも1
層の発光層と、該発光層からの発光の少なくとも一部を
波長変換して発光する少なくとも1種類の無機蛍光体を
有する発光ダイオードであって、前記In2 3 層にS
n、W、Mo、Zr、Ti、Sb、Fのうち少なくとも
1種類の元素がドープされ、且つこのIn2 3 層中に
前記無機蛍光体が含有されていることを特徴とする。
【0012】また請求項2に記載の発明は、基板上に複
数層の化合物半導体層を積層し、且つその積層体の一部
に発光層となるpn接合又はヘテロ接合を有する半導体
積層部を具備する発光ダイオードにおいて、前記積層体
の光取り出し側に、Sn、W、Mo、Zr、Ti、S
b、Fのうち少なくとも1種類の元素がドープされたI
2 3 層を設け、そのIn2 3 層中に、前記発光層
からの発光の少なくとも一部を波長変換して発光する少
なくとも1種類の無機蛍光体を含有させたことを特徴と
する。
【0013】本発明においては、前記発光層が、一般式
GaPx1As1-x1(0≦x1≦1)、またはAlx2Ga
1-2xAs(0≦x2≦1)、または(Alx3Ga1-x3
y In1-y P(0≦x3≦1、0≦y≦1)、またはA
x4Ga1-x4N(0≦x4≦1)、またはInx5Ga
1-x5N(0≦x5≦1)で表される化合物半導体のうち
少なくとも1種類の化合物半導体からなる(請求項
3)。
【0014】また、本発明においては、前記無機蛍光体
がLa、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、
Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Luの元素のう
ち少なくとも1種類の元素を含む(請求項4)。
【0015】前記In2 3 層中に含有されている無機
蛍光体が1種類から成る場合には、該無機蛍光体の発光
と前記発光層の発光とがそれぞれの補色となっている
(請求項5)。そして、該無機蛍光体の発光と前記発光
層の発光とを混合した光のCIE−XYZ表色系におけ
る色度座標が、0.2≦x≦0.5、且つ0.2≦y≦
0.5の範囲にある(請求項6)。
【0016】また、前記In2 3 層中に含有されてい
る無機蛍光体が2種以上から成る場合には、該2種以上
の無機蛍光体の発光の混合光と前記発光層の発光とがそ
れぞれの補色となっている(請求項7)。そして、該2
種以上の無機蛍光体の発光の混合光と前記発光層の発光
とを混合した光のCIE−XYZ表色系における色度座
標が、0.2≦x≦0.5、且つ0.2≦y≦0.5の
範囲にある(請求項8)。
【0017】<発明の要点>本発明の要点は、発光ダイ
オードチップにSn、W、Mo、Zr、Ti、Sb、F
のうち少なくとも1種類の元素がドープされたIn2
3 層を設け、さらに化合物半導体からなる発光層からの
発光の少なくとも一部を吸収し波長変換して発光する少
なくとも1種類の無機蛍光体を上記In2 3 層中に含
有させることにある。
【0018】上記In2 3 層は導電性を有し、且つ透
明である。また上記無機蛍光体は発光ダイオードチップ
からの発光によって励起されて蛍光を生じ、結果的に半
導体層からの発光と無機蛍光体からの蛍光の混合色を得
ることができる。従来型の混合色発光ダイオードと異な
り、本発明による発光ダイオードは発光ダイオードチッ
プ自体が混合色を放射するため、モールド工程で蛍光体
を混入させる必要はなく、従来型の単色発光ダイオード
と全く同様の樹脂モールドの材料および工程が適用でき
る。
【0019】また、本発明に関わる方法では、In2
3 層以外の構造は従来型の単色光発光ダイオードと全く
同様の構造とすることができる。特に、発光ダイオード
チップを構成する基板に不純物等を混入させる必要がな
いので、良質の単結晶からなる基板を用いて化合物半導
体層を成長させることができる。
【0020】本発明に関わる発光ダイオードは、従来型
の単色光発光ダイオードには存在しなかったIn2 3
層が追加されるわけであるから、従来型の単色光発光ダ
イオードに比べ何らかの性能低下が心配される。しか
し、In2 3 は透明なので光の吸収はなく、さらに導
電性を有するので駆動電圧の上昇もほとんどない。した
がって、従来型の単色光発光ダイオードに比べ発光層の
発光効率が低下したり、駆動電圧が上昇することはな
い。
【0021】<要点の補足説明>本発明による発光ダイ
オードは、Sn、W、Mo、Zr、Ti、Sb、Fのう
ち少なくとも1種類の元素がドープされたIn2 3
を有する。該In2 3層中には化合物半導体からなる
発光層からの発光の少なくとも一部を吸収し波長変換し
て発光する少なくとも1種類の無機蛍光体が含有されて
いる。
【0022】上記In2 3 層は導電性を有し、且つ透
明である。また上記無機蛍光体は発光ダイオードチップ
からの発光によって励起されて蛍光を生じ、結果的に半
導体層からの発光と無機蛍光体からの蛍光の混合色を得
ることができる。
【0023】In2 3 層にドープする元素はSn、
W、Mo、Zr、Ti、Sb、Fのいずれでもよいが、
Snをドープした場合に最も総合的特性に優れているこ
とが公知であることから、Snをドープすることが好ま
しい。
【0024】In2 3 層中に混入する蛍光体の量を制
御することで、半導体層からの発光と蛍光ガラス層から
の蛍光の割合を制御し、混合色を制御することも可能で
ある。
【0025】本発明による発光ダイオードの発光を構成
する化合物半導体について特に制限はないが、混合色を
得るためには可視領域で発光しなければならないこと
と、蛍光体を励起するためには強い発光が必要であるこ
とを考慮すると、一般式GaPx1As1-x1(0≦x1≦
1)、またはまたはAlx2Ga1-x2As(0≦x2≦
1)、または(Alx3Ga1-x3y In1-y P(0≦x
3≦1、0≦y≦1)、またはAlx4Ga1-x4N(0≦
x4≦1)、またはInx5Ga1-x5N(0≦x5≦1)
で表される化合物半導体が好ましい。
【0026】さらに、一般的に蛍光体の励起に必要な波
長は蛍光の波長よりも短くなければならないことを考慮
すると、半導体層には青色の発光を持つAlGaN/I
nGaN系化合物半導体が好ましい。
【0027】しかしながら、一般にAlGaN/InG
aN系化合物半導体はバンドギャップエネルギーが大き
いため、駆動電圧が大きくなってしまう。このような場
合、励起波長よりも短い波長の蛍光、いわゆるアップコ
ンバージョン蛍光を有する蛍光体を使用すれば、黄色か
ら赤色にかけて発光するGaPAs/AlGaInP
系、緑色から赤色にかけて発光するGaP系、赤色に発
光するAlGaAs系等、バンドギャップエネルギーの
小さな化合物半導体を発光層に用いることができる。
【0028】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
の実施形態を説明する。
【0029】<実施形態1>図1に本発明の第一の実施
形態にかかわる発光ダイオードの模式図な断面図を示
す。
【0030】サファイア基板1上に有機金属気相成長法
を用いて、Siドープn型GaN層2、Siドープn型
AlGaN層3、アンドープInGaN活性層4、Mg
ドープp型AlGaN層5、Mgドープp型GaN層6
をこの順に積層する。積層する結晶は、Mgドープ層5
および6をp型化させるために窒素雰囲気中で熱処理を
施す。
【0031】熱処理を施してMgドープ層5および6を
p型化させた段階で、結晶表面の一部をエッチングによ
りn型GaN層2に到達するまで掘り下げる。
【0032】次に、(C7 15COO)Inと(C7
15COO)SnをSn/In比が8%となるように混合
し、リノール酸を加え、さらにベンゼンで希釈する。こ
の溶液に蛍光体(Y0.8 Gd0.2 ) 3 Al5 12:Ce
の粉末を加えてよく攪拌し、蛍光体含有SnドープIn
2 3 前駆体を得る。この前駆体をn型GaN層2の上
記エッチング部上およびp型GaN層6上に塗布し、6
00℃で20分間の熱処理を施す。これによりn型Ga
N層2の上記エッチング部上に蛍光体含有SnドープI
2 3 層7が、そしてp型GaN層6上に蛍光体含有
SnドープIn2 3 層8が形成される。前者のIn2
3 層7上にp側電極9を、後者のIn2 3 層8上に
n側電極10をそれぞれ形成すると、ダブルヘテロ構造
のInGaN系発光ダイオードができる。
【0033】このようにして作製した発光ダイオードの
p側電極9およびn側電極10にそれぞれワイヤ11を
ボンディングして20mAの電流を通電したところ、図
2に示すような発光スペクトルが得られた。波長460
nm近傍のピークはInGaN層5からの発光であり、波
長540nm近傍のピークはSnドープIn2 3 層7お
よび8に含まれる蛍光体(Y0.8 Gd0.2 3 Al5
12:Ceの蛍光である。
【0034】CIE−XYZ表色系における色度座標を
測定したところx=0.32y=0.34であった。目
視により確認したところ、発光は白色であった。また、
このとき発光ダイオードに印加されている電圧は3.6
5Vであった。
【0035】ここで、CIE−XYZ表色系における色
度座標について述べる。
【0036】発光ダイオード、蛍光体ともにそれぞれの
エネルギー準位で規定されている波長の光しか放出でき
ない。そのため、これらを単独で発光させたときのCI
E−XYZ表色系における色度座標はそれぞれある一点
に定まる。発光層の発光の色度座標を(XLED
LED )、蛍光体の蛍光の色度座標を(XPH,YPH)と
すると、本発明による発光ダイオードの発光の色度座標
は、この2点(XLED ,YLED )(XPH,YPH)を結ぶ
直線上に存在する。直線上のどの点になるかは発光層の
発光強度と蛍光体の蛍光の強度の比で決まり、発光層の
発光強度が強ければ(XLED ,YLED )に近づき、蛍光
体の蛍光の強度が強ければ(XPH,YPH)に近づく。し
たがって、蛍光体の配合量を制御することで2点間を結
ぶ直線上の所望の色を得ることができる。
【0037】蛍光体が2種類以上ある場合には、同様の
方法で順次混合色の色度座標を求めていけば最終的な発
光ダイオードの色度座標が求まる。
【0038】CIE−XYZ表色系における混色につい
ては、例えば「光工学ハンドブック」(小瀬 他、朝倉
書店(1986))p116〜119に詳細が述べられ
ている。
【0039】また、In2 3 層のドーパントとしてS
nが最適であることは、例えば「薄膜ハンドブック」
(日本学術振興会 薄膜第131委員会編、オーム社
(1983))に記載されている。
【0040】<実施形態2>上記は、基板が単結晶基板
から成り、該基板上に複数層の窒化物系化合物半導体層
が成長形成されている発光ダイオードの例であったが、
本発明はこれに限定されるものではない。
【0041】図3に本発明の第二の実施形態にかかわる
発光ダイオードの模式図な断面図を示す。
【0042】裏面に下部電極28が設けられた厚さ30
0μmのSiドープn型GaAs基板21上に、Seド
ープn型GaAsバッファ層22、Seドープn型(A
0.7 Ga0.3 0.5 In0.5 Pクラッド層23、アン
ドープ(Al0.15Ga0.85 0.5 In0.5 P活性層2
4、Znドープp型(Al0.7 Ga0.3 0.5 In0.5
Pクラッド層25と、Znドープp型GaAs保護層2
6を順次積層する。
【0043】次に、(C7 15COO)Inと(C7
15COO)SnをSn/In比が8%となるように混合
し、リノール酸を加え、さらにベンゼンで希釈する。こ
の溶液にTm3+/Yb3+含有フッ化ジルコニウムガラス
の粉末を混合してよく攪拌し、Tm3+/Yb3+含有フッ
化ジルコニウムガラス粉末含有SnドープIn2 3
駆体を得る。この前駆体を上記GaAs保護層26上に
塗布し、600℃で20分間の熱処理を施して蛍光体含
有SnドープIn2 3 層27を積層する。In2 3
層27上に上部電極29を形成すると、ダブルヘテロ構
造のAlGaInP系発光ダイオードができる。
【0044】このようにして作製した発光ダイオードの
上部電極29にそれぞれワイヤ30をボンディングして
20mAの電流を通電したところ、図4に示すような発
光スペクトルが得られた。波長635nm近傍のピークは
(Al0.15Ga0.850.5 In0.5 P活性層24からの
発光であり、波長450nm近傍のピークはSnドープI
2 3 層27に含まれるTm3+/Yb3+含有フッ化ジ
ルコニウムガラスのアップコンバージョン蛍光である。
【0045】色度座標を測定したところx=0.50y
=0.20であった。目視により確認したところ、発光
は赤紫色であった。また、このとき発光ダイオードに印
加されている電圧は1.92Vであった。
【0046】<他の実施形態>実施形態1および実施形
態2で示した発光ダイオードは、発光層の発光が必ずし
も単色である必要はなく、所望の色が得られるように発
光スペクトルのピークを2つ以上持つように構成しても
よい。また、発光層に用いる化合物半導体層は必ずしも
GaP等のIII −V族化合物半導体である必要はなく、
ZnSe等のII−VI族化合物半導体を用いてもよい。
【0047】蛍光体は必ずしも1種類である必要はな
く、必要に応じて2種類以上の蛍光体を用いてもよい。
さらに、蛍光体の発光波長は必ずしも1つである必要は
なく、2つ以上の発光波長を持つ蛍光体を使用してもよ
い。これらの場合、発光層からの発光は必ずしも可視光
である必要はなく、紫外線であってもよい。
【0048】<使用方法、応用システム>本発明による
発光ダイオードは、単色光以外の発光、例えば白色光を
得ることが可能であり、照明機器、液晶用バックライ
ト、各種インジケータ、表示パネル等、これまで単色の
発光ダイオードでは表現できなかった分野に応用が可能
である。さらに、低消費電力、軽量、小型等の利点を生
かし、蛍光灯等の従来の照明機器の置き換えも可能であ
る。
【0049】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、発
光ダイオードチップにSn、W、Mo、Zr、Ti、S
b、Fのうち少なくとも1種類の元素がドープされたI
2 3 層を設け、さらに化合物半導体からなる発光層
からの発光の少なくとも一部を吸収し波長変換して発光
する少なくとも1種類の無機蛍光体を該In2 3 層中
に含有させた構成としたので、従来の単色発光ダイオー
ドと全く同様の樹脂モールドの材料及び工程が適用で
き、且つ従来の単色発光ダイオードと比べて発光効率の
低下や駆動電圧の上昇を招かない混合色発光ダイオード
を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第一の実施形態にかかわる発光ダイオ
ードの模式的な断面図である。
【図2】本発明の第一の実施形態にかかわる発光ダイオ
ードの発光スペクトルを示す図である。
【図3】本発明の第二の実施形態にかかわる発光ダイオ
ードの模式的な断面図である。
【図4】本発明の第二の実施形態にかかわる発光ダイオ
ードの発光スペクトルを示す図である。
【符号の説明】
1 サファイア基板 2 Siドープn型GaN層 3 Siドープn型AlGaN層 4 アンドープInGaN活性層 5 Mgドープp型AlGaN層 6 Mgドープp型GaN層 7 蛍光体含有SnドープIn2 3 層 8 蛍光体含有SnドープIn2 3 層 21 Siドープn型GaAs基板 22 Seドープn型GaAsバッファ層 23 Seドープn型(Al0.7 Ga0.3 0.5 In
0.5 Pクラッド層 24 アンドープ(Al0.15Ga0.850.5 In0.5
活性層 25 Znドープp型(Al0.7 Ga0.3 0.5 In
0.5 Pクラッド層 26 Znドープp型GaAs保護層 27 蛍光体含有SnドープIn2 3
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) C09K 11/74 C09K 11/74 11/80 CPP 11/80 CPP (72)発明者 土屋 忠厳 茨城県土浦市木田余町3550番地 日立電線 株式会社アドバンスリサーチセンタ内 (72)発明者 大島 祐一 茨城県土浦市木田余町3550番地 日立電線 株式会社アドバンスリサーチセンタ内 Fターム(参考) 4H001 CA04 CC14 XA07 XA08 XA13 XA15 XA31 XA33 XA39 XA49 XA64 YA00 YA58 5F041 AA12 AA42 CA04 CA34 CA35 CA36 CA38 CA40 CA49 CA53 CA57 CA65 CA73 CA74 CA82 CA88 CB36 DA07 FF01 FF11

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】少なくとも1層のIn2 3 層と、化合物
    半導体からなる少なくとも1層の発光層と、該発光層か
    らの発光の少なくとも一部を波長変換して発光する少な
    くとも1種類の無機蛍光体を有する発光ダイオードであ
    って、前記In2 3 層にSn、W、Mo、Zr、T
    i、Sb、Fのうち少なくとも1種類の元素がドープさ
    れ、且つこのIn2 3 層中に前記無機蛍光体が含有さ
    れていることを特徴とする発光ダイオード。
  2. 【請求項2】基板上に複数層の化合物半導体層を積層
    し、且つその積層体の一部に発光層となるpn接合又は
    ヘテロ接合を有する半導体積層部を具備する発光ダイオ
    ードにおいて、前記積層体の光取り出し側に、Sn、
    W、Mo、Zr、Ti、Sb、Fのうち少なくとも1種
    類の元素がドープされたIn2 3 層を設け、そのIn
    2 3 層中に、前記発光層からの発光の少なくとも一部
    を波長変換して発光する少なくとも1種類の無機蛍光体
    を含有させたことを特徴とする発光ダイオード。
  3. 【請求項3】前記発光層が、一般式GaPx1As
    1-x1(0≦x1≦1)、またはAlx2Ga1-2xAs(0
    ≦x2≦1)、または(Alx3Ga1-x3y In1-y
    (0≦x3≦1、0≦y≦1)、またはAlx4Ga1-x4
    N(0≦x4≦1)、またはInx5Ga1-x5N(0≦x
    5≦1)で表される化合物半導体のうち少なくとも1種
    類の化合物半導体からなることを特徴とする請求項1又
    は2に記載の発光ダイオード。
  4. 【請求項4】前記無機蛍光体がLa、Ce、Pr、N
    d、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、E
    r、Tm、Yb、Luの元素のうち少なくとも1種類の
    元素を含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに
    記載の発光ダイオード。
  5. 【請求項5】前記In2 3 層中に含有されている無機
    蛍光体が1種類から成り、該無機蛍光体の発光と前記発
    光層の発光とがそれぞれの補色となっていることを特徴
    とする請求項1〜4のいずれかに記載の発光ダイオー
    ド。
  6. 【請求項6】前記In2 3 層中に含有されている無機
    蛍光体が1種類から成り、該無機蛍光体の発光と前記発
    光層の発光とを混合した光のCIE−XYZ表色系にお
    ける色度座標が、0.2≦x≦0.5、且つ0.2≦y
    ≦0.5の範囲にあることを特徴とする請求項1〜5の
    いずれかに記載の発光ダイオード。
  7. 【請求項7】前記In2 3 層中に含有されている無機
    蛍光体が2種以上から成り、該2種以上の無機蛍光体の
    発光の混合光と前記発光層の発光とがそれぞれの補色と
    なっていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに
    記載の発光ダイオード。
  8. 【請求項8】前記In2 3 層中に含有されている無機
    蛍光体が2種以上から成り、該2種以上の無機蛍光体の
    発光の混合光と前記発光層の発光とを混合した光のCI
    E−XYZ表色系における色度座標が、0.2≦x≦
    0.5、且つ0.2≦y≦0.5の範囲にあることを特
    徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の発光ダイオー
    ド。
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