JP2002162525A

JP2002162525A - 光機能素子

Info

Publication number: JP2002162525A
Application number: JP2000362195A
Authority: JP
Inventors: Hiroko Yamamoto; 裕子山本; Shinji Maruyama; 眞示丸山; Kazuhiko Ishimaru; 和彦石丸
Original assignee: Minolta Co Ltd
Current assignee: Minolta Co Ltd
Priority date: 2000-11-29
Filing date: 2000-11-29
Publication date: 2002-06-07

Abstract

(57)【要約】【課題】クラッド層及び小さい周期構造のフォトニッ
ク結晶を簡単に形成して製造コストを削減可能な光機能
素子を提供する。【解決手段】所定の屈折率Ｎ₃を有した第１、第２基
体３、４にそれぞれ２次元の所定周期で第１、第２柱状
部３ａ、４ａを形成し、第１、第２基体３、４を対向配
置して第１、第２柱状部３ａ、４ａに垂直な同一面内に
第１、第２柱状部３ａ、４ａを配してコア層６を形成
し、第１、第２柱状部３ａ、４ａの先端に隙間７ａ、７
ｂを設けてクラッド層５ａ、５ｂを形成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、周期的な屈折率分
布を有するフォトニック結晶を備えた光機能素子に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】屈折率の異なる複数の媒質を周期的に配
置したフォトニック結晶を有する光機能素子は図１３に
示すような構造になっている。光機能素子１は基板１７
上にフォトニック結晶から成るコア層１６が形成され、
その上に上部クラッド層１５が形成されている。コア層
１６は屈折率の異なる媒質１６ａ、１６ｂが周期的に配
列されたフォトニック結晶から成っている。

【０００３】フォトニック結晶は、例えば、Ｓｉ膜にエ
ッチング等により所定周期で空孔を形成することによっ
て得ることができる。この時、屈折率の異なる空気とＳ
ｉから成る媒質１６ａ、１６ｂが周期的に配列される。

【０００４】フォトニック結晶は屈折率分散の異方性が
生じる光学特性を有している。媒質１６ａ、１６の屈折
率、円柱や角柱等の媒質１６ａ、１６ｂの形状、媒質１
６ａ、１６ｂの大きさ、三角格子や正方格子等の格子種
類或いは配列の周期を適切に選択することにより、所望
の波長や偏光方向の光に対して異なる光学特性を得るこ
とができる。

【０００５】また、コア層１６に入射する光を閉じこめ
て導波し、所定の方向に出射するためにはコア層１６よ
りも屈折率の小さい層でコア層１６を挟む必要がある。
コア層１６を空気層により挟むことによって入射光を閉
じこめることができるが、コア層１６と空気層との間の
屈折率の差が大きいために散乱による損失が生じる。こ
のため、同図に示すように、コア層１６の上下にコア層
１６よりも屈折率の小さい上部クラッド層１５及び基板
１７を配し、屈折率の差を小さくして損失を低減するよ
うになっている。

【０００６】これにより、同図に示すように例えば、同
一方向から入射した波長λ１、λ２の光を異なる方向に
出射することができる。逆に異なる方向から入射した波
長の異なる光を同一方向に出射することもできる。ま
た、特定の波長の光を反射させることも可能である。こ
のような光学特性を利用することで、光機能素子１を光
信号の分波器や合波器、或いはフィルターとして用いる
ことができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の光機能素子１によると、コア層１６の上部に上部
クラッド層１５を形成する必要がある。上部クラッド層
１５は屈折率の小さい材料の成膜、融着、接着等により
形成可能であるが、いずれも工程が複雑になり製造コス
トがかかる問題がある。また、周期的な空孔を形成して
コア層１６を形成する場合に、周期が短くなるとエッチ
ング時のパターニングの解像度の限界等によって空孔の
形成が困難になり光機能素子１の製造コストがかかる問
題もある。

【０００８】また、媒質１６ａ、１６ｂの屈折率、形
状、格子種類或いは配列の周期は、所定の波長や偏光方
向の光に応じて必要な光学特性に基づいて決められる。
このため、使用される光の波長、偏光方向或いは必要な
光学特性等の仕様に応じて別途フォトニック結晶の設
計、製造を行う必要があり光機能素子１のコストがかか
る問題がある。

【０００９】本発明は、クラッド層及び小さい周期構造
のフォトニック結晶を簡単に形成して製造コストを削減
可能な光機能素子を提供することを目的とする。また本
発明は、複数の仕様のフォトニック結晶を簡単に形成し
て製造コストを削減可能な光機能素子を提供することを
目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１に記載された発明は、所定の屈折率を有した
第１、第２基体にそれぞれ２次元の所定周期で第１、第
２柱状部を形成し、第１、第２基体を対向配置して第
１、第２柱状部に垂直な同一面内に第１、第２柱状部を
配するとともに、第１、第２柱状部の先端から高さ方向
に隙間を設けたことを特徴としている。

【００１１】この構成によると、第１基体には第１柱状
部が所定周期で形成され、第２基体には第２柱状部が所
定周期で形成される。第１、第２柱状部に垂直な同一面
内に第１、第２柱状部が配されるように第１、第２基体
を対向配置することにより、例えば第１、第２柱状部が
交互に並んだ周期構造を有するコア層が得られる。ま
た、第１柱状部の先端から高さ方向に隙間が設けられ、
該隙間内の空気と第２柱状部の根本部分とから構成され
たクラッド層が形成される。同様に、第２柱状部の先端
から高さ方向に隙間が設けられ、該隙間内の空気と第１
柱状部の根本部分とから成るクラッド層が形成される。

【００１２】また請求項２に記載された発明は、所定の
屈折率を有した第１基体に２次元の所定周期で柱状部を
形成するとともに、所定の屈折率を有した第２基体に前
記柱状部と同一の周期で孔部を形成し、第２基体の表面
と第１基体との間に隙間を有して前記孔部に前記柱状部
を挿通したことを特徴としている。

【００１３】この構成によると、第１基体には柱状部が
所定周期で形成され、第２基体には孔部が同じ周期で形
成される。孔部に柱状部を挿通することにより、例えば
第１基体と柱状部とが空気層を介して交互に並んだ周期
構造を有するコア層が得られる。また、第２基体の表面
と第１基体との間には隙間が設けられ、該隙間内の空気
と柱状部の根本部分とから構成されたクラッド層が形成
される。

【００１４】また請求項３に記載された発明は、請求項
２に記載された光機能素子において、前記孔部から前記
柱状部を突出させたことを特徴としている。この構成に
よると、孔部から突出した柱状部の先端部分と空気とか
ら構成されたクラッド層が形成される。

【００１５】また請求項４に記載された発明は、請求項
２に記載された光機能素子において、前記孔部に挿通さ
れた部分の前記柱状部の長さを前記孔部の深さよりも短
くしたことを特徴としている。この構成によると、孔部
内の例えば空気と第２基体とから構成されたクラッド層
が形成される。

【００１６】また請求項５に記載された発明は、請求項
１に記載された光機能素子において、第１柱状部と第２
柱状部との間に第１、第２基体よりも屈折率の小さい媒
質を充填したことを特徴としている。

【００１７】また請求項６に記載された発明は、請求項
２〜請求項４のいずれかに記載された光機能素子におい
て、前記孔部内に第１、第２基体よりも屈折率の小さい
媒質を充填したことを特徴としている。

【００１８】また請求項７に記載された発明は、請求項
５または請求項６に記載された光機能素子において、前
記媒質は電気光学効果を有し、前記媒質に電圧を印加で
きるようにしたことを特徴としている。この構成による
と、充填された媒質に電圧を印加すると該媒質の屈折率
が変化し、光機能素子の光学特性が可変される。

【００１９】また請求項８に記載された発明は、請求項
７に記載された光機能素子において、前記媒質は液晶か
ら成ることを特徴としている。

【００２０】また請求項９に記載された発明は、請求項
１〜請求項４のいずれかに記載された光機能素子におい
て、第１基体と第２基体とを相対的に移動できるように
したことを特徴としている。この構成によると、第１基
体と第２基体とを相対的に移動することにより周期構造
が変化し、光機能素子の光学特性が可変される。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下に本発明の実施形態を図面を
参照して説明する。図１（ａ）は第１実施形態の光機能
素子を示す断面図である。光機能素子１は所定の屈折率
を有した同一形状の基体３、４から成っている。基体３
の斜視図を図２に示すと、基体３には２次元の所定周期
で円柱形の柱状部３ａが突設されている。基体４にも同
様に円柱形の柱状部４ａが突設されている。柱状部３
ａ、４ａは、基体３、４上に円形のパターンを所定の周
期で形成し、ＲＩＥ等によるエッチングを行うことによ
り形成することができる。

【００２２】基体３、４は柱状部３ａ、４ａに垂直な面
内で柱状部３ａ、４ａが重なるように対向配置されてい
る。これによりコア層６が形成される。また、柱状部４
ａの先端から高さ方向に基体３との間に空隙７ａが設け
られ、柱状部３ａの先端の高さ方向に基体４との間に空
隙７ｂが設けられる。これにより、クラッド層５ａ、５
ｂが形成される。

【００２３】コア層６の平面図を図３に示すと、直径２
ｒａの柱状部３ａ、４ａは周期ｐでそれぞれ形成されて
いる。空気の屈折率をＮ₀とし、基体３、４の屈折率を
Ｎ₀よりも大きなＮ₃とすると、コア層６の平均の屈折率
Ｎ₆は下記の式（１）で表される。同様に、クラッド層
５ａ、５ｂの平均の屈折率Ｎ₅は式（２）で表される。
従って、各屈折率Ｎ₀、Ｎ₃、Ｎ₅、Ｎ₆の関係は式（３）
で表され、図１（ｂ）に示すようになる。図１（ｂ）に
おいて、横軸は屈折率を示し、縦軸は距離を示してい
る。

【００２４】Ｎ₆＝２πｒａ²(Ｎ₃−Ｎ₀)／ｐ²＋Ｎ₀ ・・・（１）Ｎ₅＝πｒａ²(Ｎ₃−Ｎ₀)／ｐ²＋Ｎ₀ ・・・（２）Ｎ₀＜Ｎ₅＜Ｎ₆＜Ｎ₃ ・・・（３）

【００２５】コア層６は屈折率の小さいクラッド層５
ａ、５ｂに挟まれるため入射光を導波して所定の方向に
出射することができる。基体３、４の屈折率Ｎ₃及び周
期ｐを適切に選択することによって光機能素子１は所望
の光学特性を得ることができる。また、クラッド層５
ａ、５ｂの屈折率Ｎ₅は空気の屈折率Ｎ₀よりも大きくな
る。このため、コア層６とクラッド層５ａ、５ｂとの屈
折率の差を小さくすることができ、散乱による損失を低
減することができる。従って、コア層６との屈折率の差
が小さいクラッド層５ａ、５ｂを別途形成する工程を必
要とせず、光機能素子１のコスト削減を図ることができ
る。

【００２６】図３において、直交する方向にそれぞれ周
期ｐで柱状部３ａ、４ａを形成することにより、より小
さい周期ｐ／２^1/2の正方格子が得られる。従って、媒
質の周期が小さく従来製造が困難であったフォトニック
結晶を容易に得ることができる。また、図４に示すよう
に、直交する方向にそれぞれ周期ｐ及び周期３^1/2ｐで
柱状部３ａ、４ａを形成すると、周期ｐの三角格子を得
ることができる。

【００２７】柱状部３ａ、４ａの形状は円柱形に限られ
ず、図５及び図６に示すように角柱や円錐形であっても
よい。また、基体３、４を異なる屈折率で形成してもよ
く、柱状部３ａ、４ａを異なる径や周期で形成してもよ
い。このような構成によって、より複雑な光学特性を有
する光機能素子１を得ることができる。また、柱状部３
ａと柱状部４ａの間に基体３、４よりも屈折率の小さい
媒質を充填することにより、更に異なる光学特性の光機
能素子１を得ることも可能である。

【００２８】次に、図７（ａ）は第２実施形態の光機能
素子１を示す断面図である。第１実施形態と同一の部分
には同一の符号を付している。本実施形態の光機能素子
１は第１実施形態と同様の基体３（図２参照）と孔部４
ｂを有する基体４とから成っている。基体４は図８に示
すように基体３の柱状部３ａと同一の周期で孔部４ｂが
形成されている。

【００２９】基体３の柱状部３ａは基体４の孔部４ｂに
挿通されている。これにより、基体４と柱状部３ａとが
柱状部３ａに垂直な同一面内で重なって配置されたコア
層６が形成される。基体４の表面と基体３との間には空
隙７ｃが形成されている。これにより、空隙７ｃと柱状
部３ａから成るクラッド層５ａが形成される。また、柱
状部３ａは孔部４ｂを貫通して基体４の背面から突出し
ている。これにより、柱状部３ａと空気から成るクラッ
ド層５ｂが形成され、空気層によってコア層６との屈折
率の差を小さくすることができる。

【００３０】コア層６の平面図を図９に示すと、直径２
ｒａの柱状部３ａと直径２ｒｂの孔部４ｂは周期ｐでそ
れぞれ形成されている。上記と同様に、空気の屈折率を
Ｎ₀とし、基体３、４の屈折率をＮ₀よりも大きなＮ₃と
すると、クラッド層５ａ、５ｂの平均の屈折率Ｎ₅は前
述の式（２）によって表される。コア層６の平均の屈折
率Ｎ₆は下記の式（４）で表される。これにより、各屈
折率の関係は図７（ｂ）に示すようになる。図７（ｂ）
において、横軸は屈折率を示し、縦軸は距離を示してい
る。

【００３１】Ｎ₆＝Ｎ₃−π(ｒｂ²−ｒａ²)(Ｎ₃−Ｎ₀)／ｐ² ・・・（４）

【００３２】従って、第１実施形態と同様に、コア層６
は屈折率の小さいクラッド層５ａ、５ｂに挟まれるため
入射光を導波して所定の方向に出射することができる。
基体３、４の屈折率Ｎ₃及び周期ｐを適切に選択するこ
とによって光機能素子１は所望の光学特性を得ることが
できる。また、コア層６とクラッド層５ａ、５ｂとの屈
折率の差を小さくすることができ、散乱による損失を低
減することができる。従って、別途クラッド層５ａ、５
ｂを形成する工程を必要とせず、光機能素子１のコスト
削減を図ることができる。

【００３３】柱状部３ａの形状は円柱形に限られず、前
述の図５、図６に示す角柱や円錐形であってもよく、基
体３、４を異なる屈折率で形成してもよい。また、柱状
部３ａと孔部４ｂとの径方向の隙間に基体３、４よりも
屈折率の小さい媒質を充填してもよい。

【００３４】次に、図１０（ａ）は第３実施形態の光機
能素子１を示す断面図である。第２実施形態と同一の部
分には同一の符号を付している。本実施形態の光機能素
子１は第２実施形態と同様の基体３（図２参照）及び基
体４（図８参照）から成っている。

【００３５】第２実施形態と同様に、基体３の柱状部３
ａは基体４の孔部４ｂに挿通されており、基体４の表面
と基体３との間には空隙７ｃが形成されている。また、
柱状部３ａは孔部４ｂを貫通せず、挿通部分の長さＬが
孔部４ｂの深さｄ（深さｄは基体４の厚みと一致してい
る）よりも短くなっている。これにより、孔部４ｂ内に
柱状部３ｂが配されない空孔部４ｃが形成され、基体４
と空孔部４ｃから成るクラッド層５ｂが形成される。
尚、孔部４ｂを貫通孔とせずに一方が塞がれた形状にし
てもよい。

【００３６】上記と同様に、コア層６の平均の屈折率Ｎ
₆は前述の式（４）で表され、クラッド層５ａの平均の
屈折率Ｎ₅は前述の式（２）によって表される。また、
クラッド層５ｂの平均の屈折率Ｎ₅’は下記の式（５）
によって表される。これにより、各屈折率の関係は図１
０（ｂ）に示すようになる。図１０（ｂ）において、横
軸は屈折率を示し、縦軸は距離を示している。

【００３７】Ｎ₅'＝Ｎ₃−πｒｂ²(Ｎ₃−Ｎ₀)／ｐ² ・・・（５）

【００３８】従って、第１、第２実施形態と同様に、コ
ア層６は屈折率の小さいクラッド層５ａ、５ｂに挟まれ
るため入射光を導波して所定の方向に出射することがで
きる。基体３、４の屈折率Ｎ₃及び周期ｐを適切に選択
することによって光機能素子１は所望の光学特性を得る
ことができる。また、コア層６とクラッド層５ａ、５ｂ
との屈折率の差を小さくすることができ、散乱による損
失を低減することができる。従って、別途クラッド層５
ａ、５ｂを形成する工程を必要とせず、光機能素子１の
コスト削減を図ることができる。

【００３９】柱状部３ａの形状は円柱形に限られず、前
述の図５、図６に示す角柱や円錐形であってもよく、基
体３、４を異なる屈折率で形成してもよい。また、柱状
部３ａと孔部４ｂとの径方向の隙間に基体３、４よりも
屈折率の小さい媒質を充填してもよい。

【００４０】次に、図１１は第４実施形態の光機能素子
を示す断面図である。第１実施形態と同一の部分には同
一の符号を付している。本実施形態の光機能素子１は、
第１実施形態の光機能素子と同様の構成から成るととも
に、基体３にピエゾ素子９が取り付けられている。そし
て、ピエゾ素子９を制御部１０により駆動することによ
って、基体３が基体４に対して相対移動できるようにな
っている。

【００４１】例えば、柱状部３ａ、４ａが周期ｐで形成
されており、ピエゾ素子９が駆動されない場合には、周
期方向と垂直な方向から見ると柱状部３ａと柱状部４ａ
とが距離ａの間隔で配列されている。制御部１０により
ピエゾ素子９が駆動されると、図中破線で示すように、
基体３が基体４に対して平行に移動し、周期方向と垂直
な方向から見て柱状部３ａと柱状部４ａとは距離ｂの間
隔と距離ｃの間隔で交互に配列される。

【００４２】これによりコア層６の周期構造が変化し、
光学特性を可変できる光機能素子１を得ることができ
る。従って、仕様の異なる光機能素子を同一の設計及び
製造工程により形成でき光機能素子のコストを削減でき
る。また、ピエゾ素子１の駆動により所定の光の出射方
向や、遮断と透過を切り替えるスイッチング素子として
光機能素子１を使用することができる。

【００４３】尚、基体３、４の相対的な移動方向は基体
３、４に平行な方向への直進だけでなく、垂直方向の移
動や基体３、４に平行な面内を回転移動してもよい。特
に柱状部３ａが円錐形（図６参照）の場合には、基体
３、４を図中、上下方向に相対移動させると柱状部３
ａ、４ａの間隔だけでなく平均の屈折率も変化させるこ
とができる。また、前述の図７（ａ）に示す第２実施形
態の光機能素子１にピエゾ素子を取り付けてもよい。

【００４４】次に、図１２は第５実施形態の光機能素子
を示す断面図である。第１実施形態と同一の部分には同
一の符号を付している。本実施形態の光機能素子１は、
第１実施形態の光機能素子と同様の構成から成るととも
に、基体３、４の間にコレステリック液晶等の液晶から
成る媒質１２が充填されている。そして、基体３、４に
は対向電極１１ａ、１１ｂが取り付けられ、制御部１０
により媒質１２に電圧を印加できるようになっている。

【００４５】柱状部３ａ、４ａの根本部分の基体３、４
の表面には所定方向に微小な溝（不図示）が形成されて
いる。液晶は電圧の印加により屈折率が変化する電気光
学効果を有しており、電極１１ａ、１１ｂにより所定の
電圧が印加されると液晶分子が溝に沿って配向して屈折
率が変化する。

【００４６】これによりコア層６の屈折率が変化し、光
学特性を可変できる光機能素子１を得ることができる。
従って、仕様の異なる光機能素子を同一の設計及び製造
工程により形成でき光機能素子のコストを削減できる。
また、電圧の印加により所定の光の出射方向や、遮断と
透過を切り替えるスイッチング素子として光機能素子１
を使用することができる。

【００４７】尚、媒質１２として、電気光学効果を有す
るＰＬＺＴ等の他の材料を基体３、４間に充填してもよ
いが、液晶の方が屈折率変化が大きいためより望まし
い。また、前述の図７（ａ）に示す第２実施形態の光機
能素子１の基体４の孔部４ｂに媒質１２を充填して電極
により電圧を印加してもよい。

【００４８】

【発明の効果】請求項１、請求項２の発明によると、別
途クラッド層を形成する工程を必要とせず、光が導波さ
れるコア層と屈折率の差の小さいクラッド層を簡単に形
成することができる。従って、光機能素子のコストを削
減し、散乱による損失を低減した光機能素子を安価に得
ることができる。

【００４９】また、第１、第２柱状部を同一面内に配置
することにより、従来製造が困難であった媒質の周期が
小さいフォトニック結晶を有する光機能素子を容易に得
ることができる。

【００５０】また請求項３、請求項４の発明によると、
クラッド層とコア層との屈折率差を簡単に小さくして散
乱による損失を低減することができる。

【００５１】また請求項５、請求項６の発明によると、
第１、第２基体間に第１、第２基体よりも屈折率の小さ
い媒質を充填することによって異なる光学特性を有する
光機能素子を簡単に得ることができる。

【００５２】また請求項７の発明によると、電気光学効
果を有する媒質に電圧を印加することにより第１、第２
基体間の屈折率が変わって周期構造が変化し、光学特性
を可変できる光機能素子を得ることができる。従って、
仕様の異なる光機能素子を同一の設計及び製造工程によ
り形成でき光機能素子のコストを削減できる。また、所
定の光の出射方向や、遮断と透過を切り替えるスイッチ
ング素子として光機能素子を使用することができる。

【００５３】また請求項８の発明によると、液晶を第
１、第２基体間に充填するので、電圧の印加による屈折
率変化が大きく、光学特性を著しく可変できる光機能素
子を得ることができる。

【００５４】また請求項９の発明によると、第１基体と
第２基体とを相対的に移動させることにより第１、第２
基体間の相対位置が変わって周期構造が変化し、光学特
性を可変できる光機能素子を得ることができる。従っ
て、仕様の異なる光機能素子を同一の設計及び製造工程
により形成でき光機能素子のコストを削減できる。ま
た、所定の光の出射方向や、遮断と透過を切り替えるス
イッチング素子として光機能素子を使用することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施形態の光機能素子を示
す図である。

【図２】本発明の第１実施形態の光機能素子の基
体を示す斜視図である。

【図３】本発明の第１実施形態の光機能素子のコ
ア層を示す平面図である。

【図４】本発明の第１実施形態の光機能素子の他
の配列のコア層を示す平面図である。

【図５】本発明の第１実施形態の光機能素子の他
の基体を示す斜視図である。

【図６】本発明の第１実施形態の光機能素子の他
の基体を示す斜視図である。

【図７】本発明の第２実施形態の光機能素子を示
す図である。

【図８】本発明の第２実施形態の光機能素子の基
体を示す斜視図である。

【図９】本発明の第２実施形態の光機能素子のコ
ア層を示す平面図である。

【図１０】本発明の第３実施形態の光機能素子を示
す図である。

【図１１】本発明の第４実施形態の光機能素子を示
す断面図である。

【図１２】本発明の第５実施形態の光機能素子を示
す断面図である。

【図１３】従来の光機能素子を示す斜視図である。

【符号の説明】

１光機能素子３、４基体３ａ、４ａ柱状部４ｂ孔部５ａ、５ｂクラッド層６コア層７ａ、７ｂ、７ｃ空隙９ピエゾ素子１０制御部１１ａ、１１ｂ電極

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者石丸和彦大阪市中央区安土町二丁目３番13号大阪国際ビルミノルタ株式会社内Ｆターム(参考） 2H047 KA04 KA11 NA02 QA01 TA35 TA41 2H079 AA02 AA12 BA01 DA08 EA03 EB04

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の屈折率を有した第１、第２基体に
それぞれ２次元の所定周期で第１、第２柱状部を形成
し、第１、第２基体を対向配置して第１、第２柱状部に
垂直な同一面内に第１、第２柱状部を配するとともに、
第１、第２柱状部の先端から高さ方向に隙間を設けたこ
とを特徴とする光機能素子。
【請求項２】所定の屈折率を有した第１基体に２次元
の所定周期で柱状部を形成するとともに、所定の屈折率
を有した第２基体に前記柱状部と同一の周期で孔部を形
成し、第２基体の表面と第１基体との間に隙間を有して
前記孔部に前記柱状部を挿通したことを特徴とする光機
能素子。
【請求項３】前記孔部から前記柱状部を突出させたこ
とを特徴とする請求項２に記載の光機能素子。
【請求項４】前記孔部に挿通された部分の前記柱状部
の長さを前記孔部の深さよりも短くしたことを特徴とす
る請求項２に記載の光機能素子。
【請求項５】第１柱状部と第２柱状部との間に第１、
第２基体よりも屈折率の小さい媒質を充填したことを特
徴とする請求項１に記載の光機能素子。
【請求項６】前記孔部内に第１、第２基体よりも屈折
率の小さい媒質を充填したことを特徴とする請求項２〜
請求項４のいずれかに記載の光機能素子。
【請求項７】前記媒質は電気光学効果を有し、前記媒
質に電圧を印加できるようにしたことを特徴とする請求
項５または請求項６に記載の光機能素子。
【請求項８】前記媒質は液晶から成ることを特徴とす
る請求項７に記載の光機能素子。
【請求項９】第１基体と第２基体とを相対的に移動で
きるようにしたことを特徴とする請求項１〜請求項４の
いずれかに記載の光機能素子。