JP2002162510A

JP2002162510A - 半透過型高反射膜

Info

Publication number: JP2002162510A
Application number: JP2000356814A
Authority: JP
Inventors: Akihiko Sugiyama; 明彦杉山; Akio Ochiai; 明夫落合
Original assignee: Murakami Corp
Current assignee: Murakami Corp
Priority date: 2000-11-22
Filing date: 2000-11-22
Publication date: 2002-06-07

Abstract

(57)【要約】【課題】可視光領域においてフラットな反射率
特性及び透過率特性を有し、しかも反射率特性及び透過
率が高められた、吸収の少ない半透過型高反射膜を実現
する。【解決手段】金属半透過膜の上に、低屈折率の誘電
体薄膜４と高屈折率誘電体薄膜５が交互に組み合わせら
れて積層され半透過型高反射膜１が構成され、金属単層
膜３のみの構造より反射率が高められるとともに、同じ
透過率では吸収も減少し可視光領域において反射率及び
透過率が平坦化される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半透過型高反射膜
に関し、特に、可視光領域においてフラットな反射率特
性及び透過率特性を有し、しかも反射率特性及び透過率
が高められた、半透過型高反射膜に関し、例えば、反射
型カラー液晶表示装置の反射パネル等に利用されるもの
である。

【０００２】

【従来の技術】従来、半透過型反射パネル（ハーフミラ
ー）は、光学装置の色々な分野において幅広く利用され
ている。従来の半透過型反射パネルは、誘電体膜を複数
層重ねる構成又は金属単層膜の構成が採用されていた。
しかし、比較的少ない層数で可視域の反射特性が優れて
フラットな薄膜系は深く検討されてこなかった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】液晶用半透過型反射パ
ネルでは、可視光領域においてフラットな反射率特性及
びフラットな透過率特性が要求されている。例えば、バ
ックライト付き反射型カラー液晶表示装置の反射板とし
て適用した場合は、色再現性を良好にするために可視光
領域において反射率及び透過率が平坦化されていること
が望ましく、又日中は外光を反射し、夜間や暗所ではバ
ックライトを透過させて、十分な表示輝度を得るために
は、反射率及び透過率が高いことが望ましい。

【０００４】しかしながら、誘電体膜を複数層重ねて成
る従来の半透過型反射パネルでは、４００〜７００ｎｍ
の可視光領域において求められている反射率８０％程度
のフラットな反射率特性、フラットな透過率特性を得る
ためには、積層する誘電体膜の数を増やさなくてはなら
ないから、コストが高くなるという問題があった。

【０００５】そして、従来の金属単層膜の構成による
と、その反射率及び透過率は、金属単層膜の膜厚により
決まり、分光反射率曲線、分光透過率曲線の形状は、金
属の種類によって規定される。要するに、金属単層膜の
構成によると、金属膜の分光反射特性及び分光透過特性
がその金属の固有の物性値と膜厚で決まるものであるた
めに、金属膜についてその種類と、膜厚を指定すれば分
光反射率、分光透過率は、ほとんど決まってしまい、成
膜条件（成膜時の酸素分圧、レート、温度等）によって
調整できる範囲はわずかである。

【０００６】従って、成膜条件を調整することで分光反
射特性、分光透過特性を制御して、４００〜７００ｎｍ
の可視光領域において求められているフラットな反射率
特性、フラットな透過率特性を得るようなことはできな
い。

【０００７】又、分光反射特性、分光透過特性は、基本
的に金属単層膜の膜厚で決まり、金属の種類によって規
定される固有の透過吸収特性も、膜厚に比例して決まる
値であるため、同一透過率でさらに反射率を上げようと
しても、反射率はほぼ同じ値となってしまい、変える事
が出来ない。

【０００８】さらに、その金属が固有に持っている吸収
（率）を減らして、効率の良い、即ち反射率及び透過率
の和（反射率及び透過率の両方又はいずれか一方）を増
加させる半透過反射膜を作るようなことは物理的に成立
しないことも明白である。

【０００９】本発明は、以上のような従来の問題点を解
決することを目的とするものであり、その課題は、半透
過型高反射膜において、反射率を下げることなく、半透
過型高反射膜全体としての効率（反射率及び透過率の合
計）を向上させるとともに、さらに、可視光領域におい
てフラットな反射透過特性を得ることである。

【００１０】さらに、本発明の課題は、可視光領域にお
いてフラットな反射特性、透過特性を得る反射率の平坦
化を一歩進め、積極的に、特定の色目の波長帯の光の反
射率を強調し、半透過型高反射膜が適用される光学機器
特有の色調特性の補正やその色の色調を強調する画像の
提供等を可能とする半透過型高反射膜を実現することで
ある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、金属半透過膜の上に、低屈折率の誘電体薄
膜と高屈折率誘電体薄膜が交互に組み合わされて積層さ
れており、上記金属半透過膜単層のみの構造より反射率
が高められているとともに、可視光領域において反射率
及び透過率が平坦化されている構成であることを特徴と
する半透過型高反射膜を提供する。

【００１２】本発明は上記課題を解決するために、金属
半透過膜の上に、低屈折率の誘電体薄膜と高屈折率誘電
体薄膜が交互に組み合わされて積層されており、上記金
属半透過膜単層のみの構造より反射率が高められている
とともに、可視光領域において反射率及び透過率が全体
的に平坦化されている構成である半透過型高反射膜を提
供する。さらに上記特定の色の波長帯の光の反射が強調
されるように、特定の色の波長帯の光の反射率を上げ透
過率を減らすように、上記低屈折率の誘電体薄膜と高屈
折率誘電体薄膜の夫々の膜厚が設定されて成ることを特
徴とする半透過型高反射膜を提供する。

【００１３】低屈折率の誘電体薄膜と高屈折率誘電体薄
膜の交互の組み合わせは、低屈折率の誘電体薄膜及び高
屈折率誘電体薄膜の組み合わせを１又は２以上設けたも
のである。

【００１４】低屈折率の誘電体薄膜と高屈折率誘電体薄
膜の交互の組み合わせは、低屈折率の誘電体薄膜と、高
屈折率誘電体薄膜及び低屈折率の誘電体薄膜の組み合わ
せを１又は２以上設けたものとを、組み合わせたもので
ある。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明に係る半透過型高反射膜の
実施の形態を実施例に基づいて図面を参照して、以下説
明する。

【００１６】本発明に係る半透過型高反射膜は、金属半
透過膜の上に、ＬＯＷ（低屈折率）誘電体薄膜とＨＩＧ
Ｈ（高屈折率）誘電体薄膜を交互に組み合わせて成膜し
て積層する構成を特徴とする。

【００１７】金属半透過膜の反射率及び透過率は膜厚に
より決まってしまうので、膜厚を薄くして透過率を上げ
ようとしても反射率が下がってしまう。しかしながら、
上記のような本発明に係る半透過型高反射膜を採用すれ
ば、誘電体薄膜の干渉により反射率を増加させることが
できるから、金属半透過膜の膜厚を減らして透過率を上
げても、反射率は全体としては減ることがなくむしろ上
げることもでき、この結果、半透過型高反射膜全体とし
ては、反射率を維持又は上げながら、同時に透過率を引
き上げることができる。

【００１８】又、誘電体薄膜は、その膜厚を変えること
により、波長毎の分光反射率を変えることができるため
に、これを利用して、複数の異なる分光反射率を有する
誘電体薄膜を組み合わせて、金属半透過膜の金属固有の
分光反射特性及び分光透過特性で可視光領域において生
じる４００〜７００ｎｍの反射率、透過率の凹凸、山谷
を平準化し、可視光域領域において、ワイドで平坦な分
光反射特性及び分光透過特性を得る事が出来る。

【００１９】なお、本発明に係る半透過型金属膜の上
の、ＬＯＷ（低屈折率）誘電体薄膜とＨＩＧＨ（高屈折
率）誘電体薄膜の交互に組み合わせた多層膜は、具体的
には次のものである。（１）低屈折率の誘電体薄膜及び高屈折率誘電体薄膜の
組み合わせを１又は２以上設けたものである。（２）低屈折率の誘電体薄膜及び高屈折率誘電体薄膜の
組み合わせ、と低屈折率の誘電体薄膜、高屈折率誘電体
薄膜及び低屈折率の誘電体薄膜の組み合わせとを、相互
に１又は２以上組み合わせて設けたものである。

【００２０】（実施例１）図１は、本発明に係る半透過
型高反射膜の実施例１を説明する図である。図１（ａ）
は、実施例１の半透過型高反射膜１が透明なガラス基板
２上に形成された状態の断面構造を示す図であり、Ａｇ
薄膜３（金属半透過膜）、ＳｉＯ_２薄膜４（ＬＯＷ誘電
体薄膜）、ＴｉＯ_２薄膜５（ＨＩＧＨ誘電体薄膜）が順
次、成膜され多層膜となって実施例１の半透過型高反射
膜１を構成している。

【００２１】この実施例１の夫々の膜厚は、Ａｇ薄膜３
は３０ｎｍ、ＳｉＯ_２薄膜４は６８．４ｎｍ、ＴｉＯ_２
薄膜５は１７．３ｎｍで成膜した。

【００２２】図１（ｂ）は、実施例１の半透過型高反射
膜１の作用を説明する図である。図１（ｂ）に示すとお
り、屈折率ｎは、Ａｇ薄膜がｎ＝０．０５、ＳｉＯ_２薄
膜がｎ＝１．４６、ＴｉＯ_２薄膜がｎ＝２．３、空気ｎ
＝１である。ＳｉＯ_２薄膜及びＴｉＯ_２薄膜の膜厚（光
学的膜厚）は、夫々λ／４としてある。

【００２３】図１（ｂ）により、実施例１の半透過型高
反射膜１の作用、特に、反射率の増加についての作用を
以下説明する。光が外部媒体である空気側から半透過型
高反射膜１に入射すると、ＴｉＯ_２薄膜の表面で反射
するが、光は屈折率がＬＯＷ（空気）からＨＩＧＨ（Ｔ
ｉＯ_２薄膜）の媒体に入射し、その反射は境界反射とな
るから反射光の位相は反転する。

【００２４】さらに、光はＳｉＯ_２薄膜の表面で反射
するが、光は屈折率がＨＩＧＨ（ＴｉＯ_２薄膜）からＬ
ＯＷ（ＳｉＯ_２薄膜）の媒体に入射して反射するため
に、その反射光の位相の反転はなく、からの反射光及
びからの反射光は、空気側に出射したところで互いに
強め合う。

【００２５】さらに、光はＡｇ膜の表面で反射する
が、光は屈折率がＨＩＧＨ（ＳｉＯ_２薄膜）からＬＯＷ
（Ａｇ膜）に入射して反射するが、の反射は反射膜が
金属半透過膜（吸収膜）の反射であるために、反射光の
位相はほぼ反転し、結果的にからの反射光は、から
の反射光及びからの反射光と空気側に出射したところ
で互いに強め合う。

【００２６】このような作用により、実施例１の半透過
型高反射膜１では、、、からの反射光が互いに干
渉して強められ、この結果、反射率を増加させることが
きる。従って、金属半透過膜を薄くすれば通常は反射率
は減少するが、実施例１の半透過型高反射膜全体として
は、反射率を減少させることなく、維持又はむしろ増加
させながら、透過率も増加させることができる。

【００２７】ところで、前述の通り、誘電体薄膜は、そ
の光学的薄膜を変えることと層数と組み合わせで、任意
の波長の反射率（透過率）を変化させることが可能であ
る為、金属半透過膜と組み合わせることにより、金属半
透過膜の金属固有の凹凸のある分光反射率、分光透過率
を可視光領域において平坦化することが可能となる。

【００２８】本発明の実施例１の分光反射特性、分光透
過特性を従来のＡｇ単層膜に比較して図２、図３によっ
て説明する。図２（ａ）は、Ａｇ単層膜の場合の分光反
射特性、分光透過特性を示すデータを示すグラフであ
り、図２（ｂ）は、その膜構成条件を示す表である。

【００２９】この図２（ａ）によると、Ａｇ単層膜の場
合に可視光領域では、分光反射率がほぼ５５〜９０％と
変化している。又、分光透過率はほぼ４０〜１０％と変
化している。

【００３０】図３（ａ）は、本発明による誘電体のＨＩ
ＧＨ（高屈折率）及びＬＯＷ（低屈折率）の２層をＡｇ
膜上に重ねた実施例１の半透過型高反射膜における分光
反射特性、分光透過透過特性についてのデータを示すグ
ラフであり、図３（ｂ）は、このデータの膜構成条件を
示す表である。

【００３１】図３（ａ）によると、Ａｇ膜、ＳｉＯ_２薄
膜、ＴｉＯ_２膜を組み合わせて積層した実施例１の半透
過型高反射膜では、反射率はほぼ８０％の状態で平坦化
される。又、透過率はほぼ１８％の状態で平坦化され
る。この結果、実施例１の半透過型高反射膜は、Ａｇ単
層膜に比較して、可視光領域において任意の反射率でフ
ラットな分光反射特性、分光透過特性を有することが確
認された。

【００３２】（実施例２）本発明の半透過型高反射膜の
実施例２について説明する。実施例２の半透過型高反射
膜は、Ａｌ膜（金属半透過膜）、ＳｉＯ_２薄膜（ＬＯＷ
誘電体薄膜）、ＴｉＯ_２薄膜（ＨＩＧＨ誘電体薄膜）が
順次、成膜されて構成される多層膜であり、例えば透明
ガラス基板上に形成される。

【００３３】この実施例２の半透過型高反射膜について
は、誘電体薄膜の膜厚（参照波長λ＝４５０ｎｍについ
て）は、ＳｉＯ_２薄膜：７６．８ｎｍ、ＴｉＯ_２薄膜：
４７．４ｎｍである。

【００３４】ここで、本発明の実施例２の半透過型高反
射膜の反射率増加による効果を、比較例であるＡｌ単層
膜と比較して、図４に示す実施例２、図５に示す従来例
において説明する。図４（ａ）は本発明の実施例２の分
光反射特性、分光透過特性の実施結果を示す図であり、
図４（ｂ）はその膜構成条件を示す表である。

【００３５】一方、Ａｌ単層膜の膜厚を、１３．７ｎｍ
とし参照波長λ＝５００ｎｍとして、分光透過率、分光
反射率の測定を行った。図５（ａ）は、分光反射率透過
率を示すデータであり、図５（ｂ）は、そのグラフを示
す。

【００３６】図５によると、例えば、５６０ｎｍで、透
過率１５．１％、反射率６９．９％であり、吸収は、１
００−（１５．１％＋６９．９％）＝１５％である。

【００３７】しかしながら、実施例２の半透過型高反射
膜については、図４よりＡｌの膜厚はｄ＝７．１ｎｍで
あり、Ａｌ単層膜の約半分になっているが、透過率１５
％、反射率７８％と、同じ透過率でも反射率は、７８−
６９．９％＝８．１％も上昇している。そして、吸収は
実施例２の半透過型高反射膜では１００−（１５％＋７
８）＝７．０％に減少して、半透過型高反射膜として反
射率は増加し、吸収が減少するという優れた効果が生じ
ることが確認された。

【００３８】次に、実施例２の半透過型高反射膜につい
て、可視光領域における分光反射透過特性の平坦さを見
ると、図４において、４００ｎｍ及び７００ｎｍの波長
領域では多少の反射率の落ち込み、透過率の立ち上がり
があるが、全体的には反射率、透過率はフラットであ
り、平坦化された状態を示している。

【００３９】（実施例３）本発明の半透過型高反射膜の
実施例３について説明する。実施例３の半透過型高反射
膜は、Ａｌ膜（金属半透過膜）、ＳｉＯ_２薄膜（ＬＯＷ
誘電体薄膜）、ＴｉＯ_２薄膜（ＨＩＧＨ誘電体薄膜）、
ＳｉＯ_２薄膜（ＬＯＷ誘電体薄膜）が順次、成膜され、
４層に積層されて構成され、例えば透明ガラス基板上に
形成される。

【００４０】この実施例３の半透過型高反射膜の多層膜
の膜厚（参照λ＝５００ｎｍについて）は、夫々Ａｌ半
透過膜：１２ｎｍ、ＳｉＯ_２薄膜：４６．５ｎｍ、Ｔｉ
Ｏ_２薄膜：６８．２５ｎｍ、ＳｉＯ_２薄膜：２５６．５
ｎｍの４層タイプである。

【００４１】図６は、実施例３の半透過型高反射膜の分
光反射特性、分光透過特性を示す実施データであり、図
６（ａ）は本発明の実施例２の分光反射透過特性の実施
結果を示す図であり、図６（ｂ）はその実施条件を示す
表である。

【００４２】この図６において、分光反射透過特性及び
分光透過特性は、４００ｎｍ及び７００ｎｍの可視光波
長領域では若干の凹凸はあるが、全体的には反射率は８
０％前後で、又透過率は１０％前後でフラットであり、
平坦化された状態を示している。又、吸収もほぼ１０％
前後と比較的小さく、半透過型高反射膜としての効率が
すぐれている。

【００４３】（実施例４）本発明の半透過型高反射膜の
実施例４について説明する。実施例４の半透過型高反射
膜は、Ａｌ膜（金属半透過膜）、ＳｉＯ_２薄膜（ＬＯＷ
誘電体薄膜）、ＴｉＯ_２薄膜（ＨＩＧＨ誘電体薄膜）、
ＳｉＯ_２薄膜（ＬＯＷ誘電体薄膜）、ＴｉＯ_２薄膜（Ｈ
ＩＧＨ誘電体薄膜）、ＳｉＯ_２薄膜（ＬＯＷ誘電体薄
膜）が順次、成膜され、６層に積層されて構成され、例
えば透明ガラス基板上に形成される。

【００４４】この実施例４の半透過型高反射膜の膜厚
（参照λ＝４５０ｎｍについて）は、Ａｌ半透過膜：
７．０６ｎｍ、ＳｉＯ_２薄膜：７６．８ｎｍ、ＴｉＯ_２
薄膜：４７．４ｎｍ、ＳｉＯ_２薄膜：７６．８ｎｍ、Ｔ
ｉＯ_２薄膜：８９．１５ｎｍ、ＳｉＯ_２薄膜：７６．８
ｎｍである。

【００４５】図７は、実施例４の半透過型高反射膜の分
光反射特性、分光透過特性を示す実施データであり、図
７（ａ）は本発明の実施例４の分光反射透過特性の実施
結果を示す図であり、図７（ｂ）はその実施条件を示す
表である。

【００４６】この図７において、可視光領域における分
光反射特性及び分光透過特性は、いずれも、４００ｎｍ
及び７００ｎｍの可視光波長領域では若干の変動（下降
及び上昇）はあるが、全体的には、反射率はほぼ約７７
％、透過率はほぼ１５．５％でフラットであり、平坦化
された状態を示している。又、吸収もほぼ７．５％前後
と比較的小さく、半透過型高反射膜としての効率がすぐ
れている。

【００４７】（実施例５）本発明の半透過型高反射膜の
実施例５について説明する。実施例５の半透過型高反射
膜は、実施例４と同様に、Ａｌ膜（金属半透過膜）、Ｓ
ｉＯ_２薄膜（ＬＯＷ誘電体薄膜）、ＴｉＯ_２薄膜（ＨＩ
ＧＨ誘電体薄膜）、ＳｉＯ_２薄膜（ＬＯＷ誘電体薄
膜）、ＴｉＯ_２薄膜（ＨＩＧＨ誘電体薄膜）、ＳｉＯ_２
薄膜（ＬＯＷ誘電体薄膜）が順次、成膜され、６層に積
層されて構成され、例えば透明ガラス基板上に形成され
る。

【００４８】しかしながら、実施例５の半透過型高反射
膜は、実施例４と異なり、可視光領域において反射率及
び透過率が全体的にはほぼ平坦化されていながらも、特
定の色の波長帯の光の反射を強調し、その色目が強調さ
れるような構成としたことを特徴とするものである。そ
のために、特定の色の波長帯の光の反射率を上げ透過率
を減らすように、半透過型高反射膜を構成する誘電体薄
膜の夫々の膜厚が設定されていることを特徴とする。

【００４９】この実施例５の半透過型高反射膜の膜厚
（参照λ＝５１０ｎｍについて）は、Ａｌ半透過膜：８
ｎｍ、ＳｉＯ_２薄膜：６３．２ｎｍ、ＴｉＯ_２薄膜：５
１ｎｍ、ＳｉＯ_２薄膜：１５５．８ｎｍ、ＴｉＯ_２薄
膜：８２．８ｎｍ、ＳｉＯ_２薄膜：７０．８ｎｍであ
る。

【００５０】図８は、実施例５の半透過型高反射膜の分
光反射特性、分光透過特性を示す実施データであり、図
８（ａ）は本発明の実施例５の分光反射透過特性を示す
図であり、図８（ｂ）はその実施条件を示す表である。

【００５１】この図８において、可視光領域における分
光反射透過特性及び分光透過特性は、いずれも、４００
ｎｍ〜６００ｎｍの青〜緑光波長領域では若干の変動
（下降及び上昇）はあるが、反射率はほぼ約７０％、透
過率はほぼ２０％でその領域では、ほぼ平坦化された状
態を示している。

【００５２】しかしながら、図８（ａ）に示すように、
赤色の波長帯に相当する６３０〜７００ｎｍの波長帯に
ついては、反射率がやや上昇しており、その分だけ透過
率が減っている。これにより、赤色光の反射がやや強く
なり、この結果、赤の色目が強調されるという機能を奏
する。

【００５３】図示はしないが、同様に、緑色の波長帯に
相当する５００〜５４０ｎｍの波長帯の反射率をやや上
昇させることにより、緑色光の反射がやや強くなり、こ
の結果、緑の色目が強調されるという機能を奏する。同
じく、青色の波長帯に相当する４００〜４８０ｎｍの波
長帯の反射率をやや上昇させることにより、青色光の反
射がやや強くなり、この結果、青の色目が強調されると
いう機能を奏する。

【００５４】このように、ある特定の色目の波長帯の反
射率をやや上げることにより、その色調を強調できる
が、このような半透過型高反射膜を次に示す反射型カラ
ー液晶装置に適用すれば、液晶表示素子の色調特性を補
正したり、あるいは特定の色の色調の強調された美しい
画面でカラー画像を観察することが可能である。

【００５５】（利用例）図９は、本発明の半透過型高反
射膜の利用例として、反射型カラー液晶表示装置６に適
用した構成を示す図である。フレーム１４内に設けられ
た下部ガラス基板７上に本発明の半透過型高反射膜１が
配設され、さらにその上に、カラーフィルタ（ＲＧＢフ
ィルタ）８、液晶表示素子９（液晶、ＴＦＴマトリック
ス電極、画素電極、対向電極等含む）、上部ガラス基板
１０、偏光板１１が順次配設されている。下部ガラス基
板７の下面には偏光板１２が配設されている。さらに偏
光板１２の下方にはバックライト１３が設けられてい
る。

【００５６】このような反射型カラー液晶表示装置６で
は、日中は半透過型高反射膜１で外光を反射し、その反
射光で表示光を得ることができ、夜間や暗所ではバック
ライト１３が半透過型高反射膜１を透過し表示光を得る
ことができる。この場合、本発明の半透過型高反射膜１
は反射率及び透過率が高められているから、日中は反射
光により輝度の高い表示が得られ、又、夜間や暗所では
バックライトにより十分な表示輝度が得られる。なお、
図９に示すような利用例を、実際に設計する際には、例
えば、空気（ｎ＝１）としているところを、ＨＩＧＨ誘
電体薄膜の外側はＲＧＢフィルターとなる為、その屈折
率（ｎ＝１．４９〜１．６）に合わせて光学的膜厚を決
める等の設計事項を考慮する必要がある。

【００５７】以上、本発明の実施の形態を実施例に基づ
いて説明したが、本発明は、上記実施例に限定されるこ
となく、特許請求の範囲記載の技術的事項の範囲内でい
ろいろな実施の形態があることは言うまでもない。

【００５８】

【発明の効果】以上の構成から成る本発明によれば、半
透過型高反射膜において、金属薄膜に誘電体薄膜を積層
して反射率を増加させることで、金属薄膜の膜厚を薄く
して吸収を少なくでき、その結果反射率を増加させるだ
けでなく、透過率も上昇させることができ、半透過型高
反射膜としての効率（反射率及び透過率の合計）を向上
させることができる。

【００５９】さらに、本発明によれば、誘電体薄膜の膜
厚を変えることにより、波長毎の分光反射率を変えるこ
とができ、可視光領域において反射率及び透過率が平坦
化された分光反射特性、分光透過特性を得ることができ
る。さらに、特定の色目の波長帯の光の反射率を強調す
るように、誘電体膜の夫々の厚さを設定することによ
り、その色調を強調することもできる。

【００６０】以上のとおり、本発明に係る半透過型高反
射膜を、例えば反射型カラー液晶表示装置に適用すれ
ば、次のような顕著な効果を発揮する。（１）吸収のない誘電体層により反射率が高められてい
るから、金属膜の吸収を大幅に減少出来る為、日中は半
透過型高反射膜で自然光（外光）を十分反射し、その反
射光で高い輝度の表示光を得ることができ、又、吸収が
少ない分透過率が高められているから、夜間や暗所では
バックライト光を十分透過させることができ、消費電力
の少ないバックライト光でも高い輝度の表示光を得るこ
とができる。（２）可視光領域における平坦化された分光反射特性、
分光透過特性を有するから、カラーフィルタを透過した
各色（ＲＧＢ）の波長によって、その反射光、透過光が
強弱を呈することがないので、色再現性が向上する。（３）可視光領域において全体としては平坦化された分
光反射特性、分光透過特性を得ながらも、特定の色目の
波長帯の反射率を強調することで、液晶表示素子の色調
特性に対し、その色調を補正することができ、あるいは
特定の色調を強調したカラー画像を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る半透過型高反射膜の実施例１（Ａ
ｇハーフミラー３層タイプ）の構成と作用を説明するた
めの図である。

【図２】従来例（Ａｇ単層ハーフミラー）を説明するた
めの図である。

【図３】本発明に係る半透過型高反射膜の実施例１（Ａ
ｇハーフミラー３層タイプ）を説明するための図であ
る。

【図４】本発明に係る半透過型高反射膜の実施例２（Ａ
ｌハーフミラー３層タイプ）を説明するための図であ
る。

【図５】従来例（Ａｌ単層ハーフミラー）の反射率透過
率特性を説明するための図である。

【図６】本発明に係る半透過型高反射膜の実施例３（Ａ
ｌハーフミラー４層タイプ）を説明するための図であ
る。

【図７】本発明に係る半透過型高反射膜の実施例４（Ａ
ｌハーフミラー６層タイプ）を説明するための図であ
る。

【図８】本発明に係る半透過型高反射膜の実施例５（Ａ
ｌハーフミラー６層赤反射強調タイプ）を説明するため
の図である。

【図９】本発明に係る半透過型高反射膜の利用例を説明
するための図である。

【符号の説明】

１半透過型高反射膜２ガラス基板３Ａｇ薄膜４ＳｉＯ_２薄膜５ＴｉＯ_２薄膜６反射型カラー液晶表示装置

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】金属半透過膜の上に、低屈折率の誘電
体薄膜と高屈折率誘電体薄膜が交互に組み合わされて積
層されており、上記金属半透過膜単層のみの構造より反
射率が高められているとともに、可視光領域において反
射率及び透過率が平坦化されている構成であることを特
徴とする半透過型高反射膜。
【請求項２】金属半透過膜の上に、低屈折率の誘電
体薄膜と高屈折率誘電体薄膜が交互に組み合わされて積
層されており、上記金属半透過膜単層のみの構造より反
射率が高められているとともに、可視光領域において反
射率及び透過率が全体的に平坦化されている構成である
半透過型高反射膜において、特定の色の波長帯の光の反射が強調されるように、上記
特定の色の波長帯の光の反射率を上げるように、上記低
屈折率の誘電体薄膜と高屈折率誘電体薄膜の夫々の膜厚
が設定されて成ることを特徴とする半透過型高反射膜。
【請求項３】上記低屈折率の誘電体薄膜と高屈折率
誘電体薄膜の交互の組み合わせは、低屈折率の誘電体薄
膜及び高屈折率誘電体薄膜の組み合わせを１又は２以上
設けたものであることを特徴とする請求項１又は２記載
の半透過型高反射膜。
【請求項４】低屈折率の誘電体薄膜と高屈折率誘電
体薄膜の交互の組み合わせは、低屈折率の誘電体薄膜
と、高屈折率誘電体薄膜及び低屈折率の誘電体薄膜の組
み合わせを１又は２以上設けたものとを、組み合わせた
ものであることを特徴とする請求項１又は２記載の半透
過型高反射膜。