JP2002162273A - 質量流量センサ - Google Patents
質量流量センサInfo
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- JP2002162273A JP2002162273A JP2000356726A JP2000356726A JP2002162273A JP 2002162273 A JP2002162273 A JP 2002162273A JP 2000356726 A JP2000356726 A JP 2000356726A JP 2000356726 A JP2000356726 A JP 2000356726A JP 2002162273 A JP2002162273 A JP 2002162273A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 ダイナミックレンジの広い質量流量センサを
提供する。 【解決手段】 流体が流れるセンサチューブに２つの発
熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄを設けて質量流量を検出する質量流
量センサにおいて、前記２つの発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄを
含むブリッジ回路と、前記ブリッジ回路に流れる電流を
制御して前記２つの発熱抵抗体の温度の和を一定に保つ
コンパレータＵ１とを具備する。
提供する。 【解決手段】 流体が流れるセンサチューブに２つの発
熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄを設けて質量流量を検出する質量流
量センサにおいて、前記２つの発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄを
含むブリッジ回路と、前記ブリッジ回路に流れる電流を
制御して前記２つの発熱抵抗体の温度の和を一定に保つ
コンパレータＵ１とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、半導体製造プロ
セスで用いられるガスやその他の流体の質量流量計測に
用いられる質量流量センサに関するものである。
セスで用いられるガスやその他の流体の質量流量計測に
用いられる質量流量センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の質量流量センサとしては、例えば
ＵＳＰ3938384 号に代表される定電流タイプのセンサ
と、ＵＳＰ4484932 号、特公昭58−16128 号、特開昭62
−132120号に示される定温度タイプのセンサとが知られ
ている。
ＵＳＰ3938384 号に代表される定電流タイプのセンサ
と、ＵＳＰ4484932 号、特公昭58−16128 号、特開昭62
−132120号に示される定温度タイプのセンサとが知られ
ている。
【０００３】定電流タイプのものは、細いセンサチュー
ブに設けた２つの発熱抵抗体に一定の電流を流し、流体
の流れによりセンサチューブを介して生じる温度分布の
変化を２つの発熱抵抗体における抵抗値の変化として検
出する。抵抗値の変化を検出する手段として定電流ブリ
ッジ回路が用いられる。
ブに設けた２つの発熱抵抗体に一定の電流を流し、流体
の流れによりセンサチューブを介して生じる温度分布の
変化を２つの発熱抵抗体における抵抗値の変化として検
出する。抵抗値の変化を検出する手段として定電流ブリ
ッジ回路が用いられる。
【０００４】定電流ブリッジ回路の長所は回路構成が簡
単であるほかに、周囲の温度が上昇したときに発熱抵抗
体の温度が自動的に上昇し、感度の低下を防止できるこ
とである。一方短所は、応答が遅く、また、一定の流量
を超えると感度が低下してしまい、何らかの手段で流量
制限をしないと大きな誤差が生じることである。
単であるほかに、周囲の温度が上昇したときに発熱抵抗
体の温度が自動的に上昇し、感度の低下を防止できるこ
とである。一方短所は、応答が遅く、また、一定の流量
を超えると感度が低下してしまい、何らかの手段で流量
制限をしないと大きな誤差が生じることである。
【０００５】これに対し、定温度タイプのセンサは、上
記の欠点がなく、発熱抵抗体の温度を一定にして、それ
ぞれの発熱抵抗体に印加される電力あるいは電圧の差を
検出するものである。この定温度タイプの方式では、応
答時間はきわめて早く、一定の流量以上で流量が低下す
るという問題はない。
記の欠点がなく、発熱抵抗体の温度を一定にして、それ
ぞれの発熱抵抗体に印加される電力あるいは電圧の差を
検出するものである。この定温度タイプの方式では、応
答時間はきわめて早く、一定の流量以上で流量が低下す
るという問題はない。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、この定
温度タイプの方式は、周囲の温度が変化すると検出感度
が変化してしまうため、別途何らかの手段により補正す
る必要があり、回路がかなり複雑になり、コストアップ
になる問題があった。
温度タイプの方式は、周囲の温度が変化すると検出感度
が変化してしまうため、別途何らかの手段により補正す
る必要があり、回路がかなり複雑になり、コストアップ
になる問題があった。
【０００７】本発明は上記のような従来の質量流量セン
サが有する問題点を解決せんとしてなされたもので、そ
の目的は、一定の流量を超えると感度が低下する問題点
を除去し、ダイナミックレンジの広い質量流量センサを
提供することである。また、他の目的は、構成が複雑化
することなく周囲温度の変化に拘らず検出感度が低下す
ることのない質量流量センサを提供することである。
サが有する問題点を解決せんとしてなされたもので、そ
の目的は、一定の流量を超えると感度が低下する問題点
を除去し、ダイナミックレンジの広い質量流量センサを
提供することである。また、他の目的は、構成が複雑化
することなく周囲温度の変化に拘らず検出感度が低下す
ることのない質量流量センサを提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係る
質量流量センサは、流体が流れるセンサチューブに２つ
の発熱抵抗体を設けて質量流量を検出する質量流量セン
サにおいて、前記２つの発熱抵抗体の温度の和を一定に
保つと共に、前記２つの発熱抵抗体のそれぞれの温度差
から流体の質量を検出することを特徴とする。これによ
って、センサチューブに設けられた２つの発熱抵抗体の
温度の和が一定に保持され、２つの発熱抵抗体の温度差
を検出して質量流量を得ることができる。
質量流量センサは、流体が流れるセンサチューブに２つ
の発熱抵抗体を設けて質量流量を検出する質量流量セン
サにおいて、前記２つの発熱抵抗体の温度の和を一定に
保つと共に、前記２つの発熱抵抗体のそれぞれの温度差
から流体の質量を検出することを特徴とする。これによ
って、センサチューブに設けられた２つの発熱抵抗体の
温度の和が一定に保持され、２つの発熱抵抗体の温度差
を検出して質量流量を得ることができる。
【０００９】本発明の請求項２に係る質量流量センサで
は、前記２つの発熱抵抗体の温度制御および温度検出に
は、前記２つの発熱抵抗体の直列接続が一辺に接続され
たブリッジ回路で構成される手段を用いることを特徴と
する。ブリッジ回路の一辺の２つの発熱抵抗体の温度の
和が一定に保持され、２つの発熱抵抗体の温度差を検出
して質量流量を得ることができる。
は、前記２つの発熱抵抗体の温度制御および温度検出に
は、前記２つの発熱抵抗体の直列接続が一辺に接続され
たブリッジ回路で構成される手段を用いることを特徴と
する。ブリッジ回路の一辺の２つの発熱抵抗体の温度の
和が一定に保持され、２つの発熱抵抗体の温度差を検出
して質量流量を得ることができる。
【００１０】本発明の請求項３に係る質量流量センサで
は、ブリッジ回路の一辺には、温度検出を行う温度セン
サ抵抗が含まれており、前記２つの発熱抵抗体の温度の
和が前記温度センサ抵抗の温度より所定温度高くなるよ
うに制御を行うことを特徴とする。これにより、２つの
発熱抵抗体の温度の和が温度センサ抵抗の温度より所定
温度高くなるように制御が行われ、僅かな構成で周囲温
度による影響を防止できる。
は、ブリッジ回路の一辺には、温度検出を行う温度セン
サ抵抗が含まれており、前記２つの発熱抵抗体の温度の
和が前記温度センサ抵抗の温度より所定温度高くなるよ
うに制御を行うことを特徴とする。これにより、２つの
発熱抵抗体の温度の和が温度センサ抵抗の温度より所定
温度高くなるように制御が行われ、僅かな構成で周囲温
度による影響を防止できる。
【００１１】本発明の請求項４に係る質量流量センサで
は、前記２つの発熱抵抗体に印加される電圧の和の中点
を０ボルトにするようオフセット電位を調整するオフセ
ット電位調整手段が備えられていることを特徴とする。
これにより、流体が流れていないときに２つの発熱抵抗
体の接続点の電位を０ボルトにできる。また、本発明の
請求項５に係る質量流量センサは、前記２つの発熱抵抗
体は、薄膜で構成された抵抗素子であることを特徴とす
る。
は、前記２つの発熱抵抗体に印加される電圧の和の中点
を０ボルトにするようオフセット電位を調整するオフセ
ット電位調整手段が備えられていることを特徴とする。
これにより、流体が流れていないときに２つの発熱抵抗
体の接続点の電位を０ボルトにできる。また、本発明の
請求項５に係る質量流量センサは、前記２つの発熱抵抗
体は、薄膜で構成された抵抗素子であることを特徴とす
る。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
に係る質量流量センサを説明する。図１に本発明の実施
の形態に係る質量流量センサの回路構成を示す。この実
施例においては、発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄが図３に示され
るようにセンサチューブ５２またはチップガイドに白金
蒸着素子７０−１、７０−２として設けられる。
に係る質量流量センサを説明する。図１に本発明の実施
の形態に係る質量流量センサの回路構成を示す。この実
施例においては、発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄが図３に示され
るようにセンサチューブ５２またはチップガイドに白金
蒸着素子７０−１、７０−２として設けられる。
【００１３】抵抗Ｒ３と発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄが直列に
接続され、抵抗Ｒ４と周囲温度測定用の測温抵抗体（温
度センサ抵抗）Ｒｒが直列に接続されている。これらの
直列回路が並列に接続され、ブリッジ回路を構成してい
る。このブリッジ回路において、電流のほとんどが抵抗
Ｒ３と発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄが直列に接続されが経路を
流れるように各抵抗値が設計されている。
接続され、抵抗Ｒ４と周囲温度測定用の測温抵抗体（温
度センサ抵抗）Ｒｒが直列に接続されている。これらの
直列回路が並列に接続され、ブリッジ回路を構成してい
る。このブリッジ回路において、電流のほとんどが抵抗
Ｒ３と発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄが直列に接続されが経路を
流れるように各抵抗値が設計されている。
【００１４】ブリッジ回路における抵抗Ｒ３と抵抗Ｒ４
との接続点には、トランジスタＱ１を介して電圧＋Ｖｃ
が印加されており、このトランジスタＱ１はコンパレー
タＵ１の出力により制御されてブリッジ回路へ電流を流
す。
との接続点には、トランジスタＱ１を介して電圧＋Ｖｃ
が印加されており、このトランジスタＱ１はコンパレー
タＵ１の出力により制御されてブリッジ回路へ電流を流
す。
【００１５】コンパレータＵ１は、反転入力端子が抵抗
Ｒ３と抵抗Ｒｕの接続点に接続され、非反転入力端子が
抵抗Ｒ４と測温抵抗体Ｒｒの接続点に接続されている。
そして、コンパレータＵ１は、上記入力端子から供給さ
れる電圧に基づき、出力を制御して２つの発熱抵抗体Ｒ
ｕ、Ｒｄの温度の和が所定温度となるように制御を行
う。この実施の形態では、測温抵抗体Ｒｒの温度より５
゜Ｃ高くなるように制御を行う。
Ｒ３と抵抗Ｒｕの接続点に接続され、非反転入力端子が
抵抗Ｒ４と測温抵抗体Ｒｒの接続点に接続されている。
そして、コンパレータＵ１は、上記入力端子から供給さ
れる電圧に基づき、出力を制御して２つの発熱抵抗体Ｒ
ｕ、Ｒｄの温度の和が所定温度となるように制御を行
う。この実施の形態では、測温抵抗体Ｒｒの温度より５
゜Ｃ高くなるように制御を行う。
【００１６】そして、発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄの接続点か
ら出力信号を取り出し、オペアンプＵ３により構成され
る非反転増幅器の非反転入力端子へ導き、出力端子ＯＵ
Ｔから出力を得る。非反転増幅器の反転入力端子とグラ
ンドの間に抵抗Ｒ１５が接続され、非反転増幅器の反転
入力端子と出力端子の間に抵抗Ｒ１６が接続され、この
増幅器の増幅率が（Ｒ１５＋Ｒ１６）／Ｒ１５となる。
ら出力信号を取り出し、オペアンプＵ３により構成され
る非反転増幅器の非反転入力端子へ導き、出力端子ＯＵ
Ｔから出力を得る。非反転増幅器の反転入力端子とグラ
ンドの間に抵抗Ｒ１５が接続され、非反転増幅器の反転
入力端子と出力端子の間に抵抗Ｒ１６が接続され、この
増幅器の増幅率が（Ｒ１５＋Ｒ１６）／Ｒ１５となる。
【００１７】係る構成により、周囲温度が変化しても２
つの発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄの温度の和が周囲温度より必
ず５゜Ｃ高いのであるから、流体流量の増加に拘らず感
度が低下せずダイナミックレンジの広い質量流量センサ
を実現できる。ちなみに、定電流タイプのセンサによる
出力特性をＡとし、本願発明による質量流量センサの出
力特性をＢとしてグラフに示すと図２のようになり、本
願発明による質量流量センサでは、出力低下が流量の大
きな範囲おいても見られない。なお、図２における出力
電圧は、増幅後の出力（Ｖ）であり、流量の単位はｃｃ
／分である。
つの発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄの温度の和が周囲温度より必
ず５゜Ｃ高いのであるから、流体流量の増加に拘らず感
度が低下せずダイナミックレンジの広い質量流量センサ
を実現できる。ちなみに、定電流タイプのセンサによる
出力特性をＡとし、本願発明による質量流量センサの出
力特性をＢとしてグラフに示すと図２のようになり、本
願発明による質量流量センサでは、出力低下が流量の大
きな範囲おいても見られない。なお、図２における出力
電圧は、増幅後の出力（Ｖ）であり、流量の単位はｃｃ
／分である。
【００１８】更に、本発明の実施の形態では、２つの発
熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄに並列に、抵抗Ｒ１、Ｒ２の直列接
続回路を接続し、双方が３０ＫΩの抵抗Ｒ１、Ｒ２の接
続点の信号を取り出してコンパレータＵ２に導き、その
出力にてブリッジ回路の測温抵抗体Ｒｒと発熱抵抗体Ｒ
ｄの接続点に接続されたトランジスタＱ２を制御し、２
つの発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄに印加される電圧の和の中点
を０ボルトにするようオフセット電位を調整する。
熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄに並列に、抵抗Ｒ１、Ｒ２の直列接
続回路を接続し、双方が３０ＫΩの抵抗Ｒ１、Ｒ２の接
続点の信号を取り出してコンパレータＵ２に導き、その
出力にてブリッジ回路の測温抵抗体Ｒｒと発熱抵抗体Ｒ
ｄの接続点に接続されたトランジスタＱ２を制御し、２
つの発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄに印加される電圧の和の中点
を０ボルトにするようオフセット電位を調整する。
【００１９】これにより、流体が流れていない状態にお
いてはＲｕ＝Ｒｄであり、発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄに印加
される電圧の和の中点が０ボルトであり、オペアンプＵ
３の出力も０ボルトとなる。
いてはＲｕ＝Ｒｄであり、発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄに印加
される電圧の和の中点が０ボルトであり、オペアンプＵ
３の出力も０ボルトとなる。
【００２０】また、センサチューブに流体が流れると、
センサチューブ上の温度分布が変化し、抵抗値Ｒｕ、Ｒ
ｄに差が生じ、結果として発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄの接続
点の電位が変化するので流体流量を検出可能である。
センサチューブ上の温度分布が変化し、抵抗値Ｒｕ、Ｒ
ｄに差が生じ、結果として発熱抵抗体Ｒｕ、Ｒｄの接続
点の電位が変化するので流体流量を検出可能である。
【００２１】図３、図４に本発明の実施の形態に係る質
量流量センサの構成が示されている。それぞれ略同一形
状の直方体状の上ケースと下ケース１１Ｂが重ねられ
て、ネジ止めされてケースが構成される。上ケースと下
ケース１１Ｂ内には、図５に単一部品として示すＵ字状
のセンサチューブ５２を収納するため、チューブガイド
６０が収納される。センサチューブ５２は、材質がＳＵ
Ｓ３１６で、外径４ｍｍ、内径３ｍｍである。
量流量センサの構成が示されている。それぞれ略同一形
状の直方体状の上ケースと下ケース１１Ｂが重ねられ
て、ネジ止めされてケースが構成される。上ケースと下
ケース１１Ｂ内には、図５に単一部品として示すＵ字状
のセンサチューブ５２を収納するため、チューブガイド
６０が収納される。センサチューブ５２は、材質がＳＵ
Ｓ３１６で、外径４ｍｍ、内径３ｍｍである。
【００２２】センサーチューブ５２を覆うチューブガイ
ド６０は、図６に示されるように構成されている。チュ
ーブガイド６０は、上ケースと下ケースとから構成さ
れ、これら上ケースと下ケースは基本的に同様の形状の
ものである。チューブガイド６０の下ケース（上ケー
ス）は、一端が半円状であり、他端が台座状とされた長
尺の板状をなし、アルミニュームにより作成されてい
る。
ド６０は、図６に示されるように構成されている。チュ
ーブガイド６０は、上ケースと下ケースとから構成さ
れ、これら上ケースと下ケースは基本的に同様の形状の
ものである。チューブガイド６０の下ケース（上ケー
ス）は、一端が半円状であり、他端が台座状とされた長
尺の板状をなし、アルミニュームにより作成されてい
る。
【００２３】チューブガイド６０の上ケースと下ケース
は共に、Ｕ字状のセンサチューブ５２を接触して収納す
るためのＵ字状の溝部６１と、センサチューブ５２の両
端部に嵌合して設けられる円盤状のフランジ３を収納す
る凹部６２と、センサチューブ５２を上ケースと下ケー
スで覆うように接着材で一体に固定した後にケースにネ
ジ止めするためのネジ穴６３が設けられている。また、
上ケースと下ケースの中央部には、Ｕ字状のセンサチュ
ーブ５２の形状に合わせて、センサチューブ５２が存在
しない部分に長孔６４が形成されている。
は共に、Ｕ字状のセンサチューブ５２を接触して収納す
るためのＵ字状の溝部６１と、センサチューブ５２の両
端部に嵌合して設けられる円盤状のフランジ３を収納す
る凹部６２と、センサチューブ５２を上ケースと下ケー
スで覆うように接着材で一体に固定した後にケースにネ
ジ止めするためのネジ穴６３が設けられている。また、
上ケースと下ケースの中央部には、Ｕ字状のセンサチュ
ーブ５２の形状に合わせて、センサチューブ５２が存在
しない部分に長孔６４が形成されている。
【００２４】上記のチューブガイド６０は、熱平衡状態
へ素早く移行させるための構成である。つまり、センサ
チューブ５２は、耐蝕性を高める目的のために、ＳＵＳ
３１６で構成されている。係る耐蝕性の合金は熱伝導率
が低く、また、センサチューブ５２は比較的大径であ
り、出力応答性が悪い。そこで、上記のようにアルミニ
ューム等の熱伝導率の良好な材料により構成されるチュ
ーブガイド６０によりセンサチューブ５２を一体に覆う
ことで熱平衡が早まり、出力応答性の改善が図られる。
へ素早く移行させるための構成である。つまり、センサ
チューブ５２は、耐蝕性を高める目的のために、ＳＵＳ
３１６で構成されている。係る耐蝕性の合金は熱伝導率
が低く、また、センサチューブ５２は比較的大径であ
り、出力応答性が悪い。そこで、上記のようにアルミニ
ューム等の熱伝導率の良好な材料により構成されるチュ
ーブガイド６０によりセンサチューブ５２を一体に覆う
ことで熱平衡が早まり、出力応答性の改善が図られる。
【００２５】上記のチューブガイド６０は、図７に示さ
れる直方体状の本体のケースの上ケースと下ケース１１
Ｂに収容される。これらの本体のケースの上ケースと下
ケース１１Ｂが重ねられて、ネジ止めされてケースが構
成される。上ケースと下ケース１１Ｂ共に、チューブガ
イド６０の外形に対応する凹部５５が形成されており、
チューブガイド６０を収納する。
れる直方体状の本体のケースの上ケースと下ケース１１
Ｂに収容される。これらの本体のケースの上ケースと下
ケース１１Ｂが重ねられて、ネジ止めされてケースが構
成される。上ケースと下ケース１１Ｂ共に、チューブガ
イド６０の外形に対応する凹部５５が形成されており、
チューブガイド６０を収納する。
【００２６】図３に示されるように本実施の形態では、
チューブガイド６０に、２枚の白金蒸着素子７０−１、
７０−２を貼着する。白金蒸着素子７０−１、７０−２
は、セラミック基板上に白金抵抗を蒸着した白金抵抗チ
ップ（薄膜で構成された抵抗素子）であり、各白金蒸着
素子７０−１、７０−２の抵抗値は共に１００Ωであ
り、白金蒸着素子７０−１は図１発熱抵抗体Ｒｕに相当
し、白金蒸着素子７０−２は図１の発熱抵抗体Ｒｄに相
当している。ケース１には、センサーチューブ５２を加
熱するときの基準温度を計測するため温度センサ７であ
る１ＫΩの白金チップ抵抗（測温抵抗体Ｒｒ）が接着さ
れている。
チューブガイド６０に、２枚の白金蒸着素子７０−１、
７０−２を貼着する。白金蒸着素子７０−１、７０−２
は、セラミック基板上に白金抵抗を蒸着した白金抵抗チ
ップ（薄膜で構成された抵抗素子）であり、各白金蒸着
素子７０−１、７０−２の抵抗値は共に１００Ωであ
り、白金蒸着素子７０−１は図１発熱抵抗体Ｒｕに相当
し、白金蒸着素子７０−２は図１の発熱抵抗体Ｒｄに相
当している。ケース１には、センサーチューブ５２を加
熱するときの基準温度を計測するため温度センサ７であ
る１ＫΩの白金チップ抵抗（測温抵抗体Ｒｒ）が接着さ
れている。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明の請求項１に
係る質量流量センサによれば、流体が流れるセンサチュ
ーブに２つの発熱抵抗体を設けて質量流量を検出する質
量流量センサにおいて、前記２つの発熱抵抗体の温度の
和を一定に保つと共に、前記２つの発熱抵抗体のそれぞ
れの温度差から流体の質量を検出するので、流体流量の
増加に拘らず感度が低下せずダイナミックレンジの広い
質量流量センサを実現できる。
係る質量流量センサによれば、流体が流れるセンサチュ
ーブに２つの発熱抵抗体を設けて質量流量を検出する質
量流量センサにおいて、前記２つの発熱抵抗体の温度の
和を一定に保つと共に、前記２つの発熱抵抗体のそれぞ
れの温度差から流体の質量を検出するので、流体流量の
増加に拘らず感度が低下せずダイナミックレンジの広い
質量流量センサを実現できる。
【００２８】また、本発明の請求項３に係る質量流量セ
ンサによれば、ブリッジ回路の一辺には、温度検出を行
う温度センサ抵抗が含まれており、前記２つの発熱抵抗
体の温度の和が前記温度センサ抵抗の温度より所定温度
高くなるように制御を行うので、僅かな構成で周囲温度
による影響を防止可能である。
ンサによれば、ブリッジ回路の一辺には、温度検出を行
う温度センサ抵抗が含まれており、前記２つの発熱抵抗
体の温度の和が前記温度センサ抵抗の温度より所定温度
高くなるように制御を行うので、僅かな構成で周囲温度
による影響を防止可能である。
【図１】本発明の実施の形態に係る質量流量センサの回
路構成図。
路構成図。
【図２】定電流タイプのセンサと本願発明による質量流
量センサとによる、流量−出力特性を示す図。
量センサとによる、流量−出力特性を示す図。
【図３】本発明の実施の形態に係る流量センサの上ケー
スを取った状態の平面図。
スを取った状態の平面図。
【図４】本発明の実施の形態に係る流量センサの断面
図。
図。
【図５】本発明の実施の形態に係る流量センサに用いら
れるセンサーチューブの長手方向の断面図。
れるセンサーチューブの長手方向の断面図。
【図６】本発明の実施の形態に係る流量センサに用いら
れるチューブガイドを示す図であり、（ａ）はその平面
図、（ｂ）は底面図。
れるチューブガイドを示す図であり、（ａ）はその平面
図、（ｂ）は底面図。
【図７】本発明の実施の形態に係る流量センサに用いら
れる下ケースを示す図であり、（ａ）はその平面図、
（ｂ）は底面図。
れる下ケースを示す図であり、（ａ）はその平面図、
（ｂ）は底面図。
１ ケース １１Ｂ 下ケース ２、 溝部 ３ フランジ ７ 温度センサ ９ ターミナル １０ チューブ ５２ センサチュ
ーブ Ｒｕ、Ｒｄ 発熱抵抗体 ６０ チューブガイド
ーブ Ｒｕ、Ｒｄ 発熱抵抗体 ６０ チューブガイド
Claims (5)
- 【請求項１】 流体が流れるセンサチューブに２つの発
熱抵抗体を設けて質量流量を検出する質量流量センサに
おいて、 前記２つの発熱抵抗体の温度の和を一定に保つと共に、
前記２つの発熱抵抗体のそれぞれの温度差から流体の質
量を検出することを特徴とする質量流量センサ。 - 【請求項２】 請求項１に記載の質量流量センサにおい
て、 前記２つの発熱抵抗体の温度制御および温度検出には、
前記２つの発熱抵抗体の直列接続が一辺に接続されたブ
リッジ回路で構成される手段を用いることを特徴とする
質量流量センサ。 - 【請求項３】 ブリッジ回路の一辺には、温度検出を行
う温度センサ抵抗が含まれており、 前記２つの発熱抵抗体の温度の和が前記温度センサ抵抗
の温度より所定温度高くなるように制御を行うことを特
徴とする請求項２に記載の質量流量センサ。 - 【請求項４】 前記２つの発熱抵抗体に印加される電圧
の和の中点を０ボルトにするようオフセット電位を調整
するオフセット電位調整手段が備えられていることを特
徴とする請求項１または請求項２に記載の質量流量セン
サ。 - 【請求項５】 前記２つの発熱抵抗体は、薄膜で構成さ
れた抵抗素子であることを特徴とする請求項１乃至３の
いずれか１項に記載の質量流量センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000356726A JP2002162273A (ja) | 2000-11-22 | 2000-11-22 | 質量流量センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000356726A JP2002162273A (ja) | 2000-11-22 | 2000-11-22 | 質量流量センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002162273A true JP2002162273A (ja) | 2002-06-07 |
Family
ID=18828910
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000356726A Pending JP2002162273A (ja) | 2000-11-22 | 2000-11-22 | 質量流量センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002162273A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258434A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Kofurotsuku Kk | 熱式流量計 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63208717A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | Fuji Electric Co Ltd | 質量流量計 |
| JPH08509066A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-09-24 | エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 電流差型熱質量流量トランスデューサ |
| JP2000227354A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-08-15 | Nippon M K S Kk | 流量センサ |
-
2000
- 2000-11-22 JP JP2000356726A patent/JP2002162273A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63208717A (ja) * | 1987-02-25 | 1988-08-30 | Fuji Electric Co Ltd | 質量流量計 |
| JPH08509066A (ja) * | 1994-06-23 | 1996-09-24 | エムケイエス・インストゥルメンツ・インコーポレーテッド | 電流差型熱質量流量トランスデューサ |
| JP2000227354A (ja) * | 1998-12-01 | 2000-08-15 | Nippon M K S Kk | 流量センサ |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006258434A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-09-28 | Kofurotsuku Kk | 熱式流量計 |
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