JP2002156542A - 光導波路型回折格子素子製造用ホログラム、光導波路型回折格子素子製造方法、光導波路型回折格子素子、合分波モジュールおよび光伝送システム - Google Patents

光導波路型回折格子素子製造用ホログラム、光導波路型回折格子素子製造方法、光導波路型回折格子素子、合分波モジュールおよび光伝送システム

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JP2002156542A
JP2002156542A JP2000353173A JP2000353173A JP2002156542A JP 2002156542 A JP2002156542 A JP 2002156542A JP 2000353173 A JP2000353173 A JP 2000353173A JP 2000353173 A JP2000353173 A JP 2000353173A JP 2002156542 A JP2002156542 A JP 2002156542A
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optical waveguide
diffraction grating
type diffraction
waveguide type
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JP2000353173A
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Susumu Inoue
享 井上
Toshikazu Shibata
俊和 柴田
Hiroshi Suganuma
寛 菅沼
Manabu Shiozaki
学 塩崎
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Sumitomo Electric Industries Ltd
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Sumitomo Electric Industries Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 複数の波長の光を選択的に反射することがで
きて所望の反射特性を有し小型の光導波路型回折格子素
子を容易に製造することができる方法等を提供する。 【解決手段】 光導波路型回折格子素子製造用ホログラ
ム300は、第2面320の側から紫外レーザ光が入射
したときに第1面310の側にある光ファイバ110の
コア領域111において互いに異なるK個(K≧2)の
周期Λk(k=1〜K)の干渉パターンを重畳して形成
するものである。この光導波路型回折格子素子製造用ホ
ログラム300は、その屈折率変調の各周期Λkの2倍
の周期2Λkの凹凸が重畳されて第1面310に形成さ
れていて、第1面310における凹凸の深さd分布が所
定の式で表される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路における
光導波方向の所定範囲に亘って屈折率変調による回折格
子を形成して光導波路型回折格子素子を製造する際に用
いられる透過型の光導波路型回折格子素子製造用ホログ
ラム、この光導波路型回折格子素子製造用ホログラムを
用いて光導波路型回折格子素子を製造する方法、この光
導波路型回折格子素子製造方法により製造された光導波
路型回折格子素子、この光導波路型回折格子素子を含み
光を合波または分波する合分波モジュール、および、こ
の合分波モジュールを含み多波長の信号光を用いて光伝
送を行う光伝送システムに関するものである。
【0002】
【従来の技術】光導波路型回折格子素子は、光導波路
(例えば光ファイバ)における光導波方向の所定範囲に
亘って屈折率変調による回折格子が形成された素子であ
って、この光導波路を導波する光のうち所定の反射帯域
内の光を回折格子により選択的に反射することができ
る。また、この光導波路型回折格子素子を含む合分波モ
ジュールは、光導波路型回折格子素子により反射帯域内
の光を選択的に反射することで光を合波または分波する
ことができ、波長多重した多波長の信号光を用いて光伝
送を行う波長多重(WDM: Wavelength Division Mult
iplexing)伝送システム等において用いられる。
【0003】一般に、光導波路型回折格子素子は、光導
波路における光導波方向の所定範囲に亘って一定周期Λ
の屈折率変調による回折格子が形成されていて、この回
折格子により、λ=2N・Λ なる式で表されるブラッグ
条件式を満たす波長λの光を選択的に反射し、他の波長
の光を透過する。ここで、Nは光導波路の屈折率変調領
域における平均の実効的屈折率である。
【0004】このような光導波路型回折格子素子は例え
ば以下のようにして製造される(例えば、文献1「K.
O. Hill, et al., "Bragg gratings fabricated in mon
omodephotosensitive optical fiber by UV exposure t
hrough a phase mask", Appl. Phys. Lett., Vol.62, N
o.10, pp.1035-1037 (1993)」を参照)。すなわち、コ
ア領域にGeO2が添加された石英系の光導波路に対し
て、透過型の光導波路型回折格子素子製造用ホログラム
を介して、KrFエキシマレーザ光源から出力された紫
外レーザ光が照射される。この照射により、光導波路型
回折格子素子製造用ホログラムにより一定周期Λの干渉
パターンが光導波路のコア領域に形成され、この干渉パ
ターンにおける光強度に応じた屈折率上昇がコア領域に
誘起されて、一定周期Λの屈折率変調による回折格子が
形成される。以上のようにして製造される光導波路型回
折格子素子は、一定周期Λに応じた単一波長の光を選択
的に反射することができる。
【0005】これに対して、文献2「W. H. Loh, et a
l., "Novel designs for sampled grating-based multi
plexers-demultiplexers", Opt. Lett., Vol.24, No.2
1, pp.1457-1459 (1999)」に記載された光導波路型回折
格子素子は、複数の波長の光を選択的に反射することが
できる。この光導波路型回折格子素子は、光導波路の光
導波方向における間歇的な複数の微小区間それぞれに一
定周期の屈折率変調による回折格子が形成されたもので
あって、複数の微小区間それぞれに形成された回折格子
の相互間の多重反射を利用して複数の波長の光を選択的
に反射するものである。各微小区間における回折格子
は、上述した光導波路型回折格子素子製造用ホログラム
を用いた方法により形成される。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、文献2
に記載された光導波路型回折格子素子は、複数の波長の
光を選択的に反射することができるが、複数の微小区間
それぞれに回折格子を形成する際に高度の振幅および位
相の制御が必要であることから、所望の反射特性を有す
るものを製造することが困難である。また、この光導波
路型回折格子素子は、間歇的な複数の微小区間それぞれ
に回折格子が形成されたものであるから、素子全体の長
さが長くなり、温度変動に因り一般に生じる反射特性の
変動を抑制する為の温度調整機構または温度補償機構の
実現が困難である。
【0007】本発明は、上記問題点を解消する為になさ
れたものであり、複数の波長の光を選択的に反射するこ
とができて所望の反射特性を有し小型の光導波路型回折
格子素子を容易に製造することができる方法、および、
この製造方法において好適に用いられる光導波路型回折
格子素子製造用ホログラムを提供することを目的とす
る。また、本発明は、この光導波路型回折格子素子製造
方法により製造された光導波路型回折格子素子、この光
導波路型回折格子素子を含む合分波モジュール、およ
び、この合分波モジュールを含む光伝送システムを提供
することをも目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】本発明に係る光導波路型
回折格子素子製造用ホログラムは、光導波路における光
導波方向の所定範囲に亘って屈折率変調による回折格子
を形成して光導波路型回折格子素子を製造する際に用い
られる透過型の光導波路型回折格子素子製造用ホログラ
ムであって、一方の側から可干渉光が入射したときに他
方の側に互いに異なるK個(K≧2)の周期Λk(k=
1〜K)の干渉パターンを重畳して形成することを特徴
とする。
【0009】また、本発明に係る光導波路型回折格子素
子製造方法は、光導波路における光導波方向の所定範囲
に亘って屈折率変調による回折格子を形成して光導波路
型回折格子素子を製造する方法であって、上記の本発明
に係る光導波路型回折格子素子製造用ホログラムの一方
の側から可干渉光を入射させ、この導波路型回折格子素
子製造用ホログラムの他方の側に配置した光導波路に互
いに異なるK個(K≧2)の周期Λk(k=1〜K)の
干渉パターンを重畳して形成して、光導波路に屈折率変
調による回折格子を形成して光導波路型回折格子素子を
製造することを特徴とする。
【0010】この光導波路型回折格子素子製造用ホログ
ラム、および、これを用いた光導波路型回折格子素子製
造方法によれば、光導波路における光導波方向の所定範
囲に亘って屈折率変調による回折格子を形成して光導波
路型回折格子素子を製造することができる。しかも、互
いに異なるK個の周期Λk(k=1〜K)の屈折率変調
が重畳された回折格子を1回の紫外光の照射により形成
することができる。このように、K個の波長の光を選択
的に反射することができて所望の反射特性を有し小型の
光導波路型回折格子素子を容易に製造することができ
る。
【0011】また、本発明に係る光導波路型回折格子素
子製造用ホログラムは、K個の周期Λk(k=1〜K)
それぞれが483nm以上587nm以下であることを
特徴とする。この場合には、この光導波路型回折格子素
子製造用ホログラムを用いて製造される光導波路型回折
格子素子は、上記周期Λkに対してブラッグ条件式を満
たす波長1400nm以上1700nm以下の光を反射
することができる。
【0012】また、本発明に係る光導波路型回折格子素
子製造用ホログラムは、K個の周期Λk(k=1〜K)
のうちの任意の第i番目の周期Λiと第j番目の周期Λj
との間に
【数5】 なる関係式が成り立つことを特徴とする。この場合に
は、この光導波路型回折格子素子は、波長帯域1400
nm〜1700nmにおいて、上記周期ΛiおよびΛj
れぞれに対してブラッグ条件式を満たす周波数間隔10
GHz以上37.9THz以下の2波以上の光を反射す
ることができる。
【0013】また、本発明に係る光導波路型回折格子素
子製造用ホログラムは、K個の周期Λk(k=1〜K)
のうちの任意の第i番目の周期Λiと第(i+1)番目の
周期Λ i+1との間に
【数6】 なる関係式が成り立つことを特徴とする。ここで、Wは
多波長信号光の一定周波数間隔(GHz)である。この
場合には、この光導波路型回折格子素子は、波長帯域1
400nm〜1700nmにおいて、上記各周期Λk
対してブラッグ条件式を満たす一定周波数間隔W(GH
z)の各波長の光を反射することができる。周波数間隔
Wは、好適には200GHzまたは100GHzであ
り、より好適には50GHzである。光導波路型回折格
子素子は、周波数間隔Wが小さいほど、一定の波長帯域
内においてより多くの波数の光を選択的に反射すること
ができる。
【0014】本発明に係る光導波路型回折格子素子は、
上記の本発明に係る光導波路型回折格子素子製造方法に
より光導波路における光導波方向の所定範囲に亘って屈
折率変調による回折格子が形成されて製造されたことを
特徴とする。この光導波路型回折格子素子は、K波の波
長λk(=2N・Λk)の光を選択的に反射することがで
きて所望の反射特性を有し小型のものである。
【0015】本発明に係る合分波モジュールは、上記の
本発明に係る光導波路型回折格子素子を含み、この光導
波路型回折格子素子により反射帯域内の光を選択的に反
射して、光を合波または分波することを特徴とする。こ
の合分波モジュールは、本発明に係る光導波路型回折格
子素子を含んで構成されるので、小型である。さらに、
小型であることから、この合分波モジュールは、温度変
動に因る反射特性の変動を抑制する為の温度調整機構ま
たは温度補償機構の実現が容易である。
【0016】本発明に係る光伝送システムは、波長多重
した多波長の信号光を用いて光伝送を行う光伝送システ
ムであって、上記の本発明に係る合分波モジュールを含
み、この合分波モジュールにより多波長の信号光を合波
または分波することを特徴とする。この光伝送システム
は、小型であって温度調整機構または温度補償機構の実
現が容易な本発明に係る合分波モジュールを含んで構成
されるので、安定した動作が保証される。
【0017】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態を詳細に説明する。なお、図面の説明にお
いて同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を
省略する。
【0018】先ず、本発明に係る光導波路型回折格子素
子製造方法および光導波路型回折格子素子製造用ホログ
ラムの実施形態について説明する。図1は、本実施形態
に係る光導波路型回折格子素子製造方法および光導波路
型回折格子素子製造用ホログラム300の説明図であ
る。この図は、光導波路型回折格子素子100となるべ
き光ファイバ110の光軸を含む断面を示す。
【0019】光ファイバ110は、回折格子113が形
成されることで光導波路型回折格子素子100となるべ
きものであって、石英ガラスを主成分としていて、Ge
2が添加されたコア領域111と、このコア領域11
1を取り囲むクラッド領域112とを有している。この
光ファイバ110の外周に密着して或いは近傍に、この
光ファイバ110の光軸に対して平行に平板状の光導波
路型回折格子素子製造用ホログラム300が配置され
る。この光導波路型回折格子素子製造用ホログラム30
0は、石英ガラスからなる平板状のものであって、光フ
ァイバ110に対向する第1面310に凹凸が形成され
ていて、この第1面310の反対側の第2面320が平
坦とされている。
【0020】そして、KrFエキシマレーザ光源から出
力された紫外レーザ光を光導波路型回折格子素子製造用
ホログラム300の第2面320の側に入射させると、
光導波路型回折格子素子製造用ホログラム300の第1
面310の側にある光ファイバ110のコア領域111
に干渉パターンが形成される。この干渉パターンにおけ
る光強度に応じた屈折率上昇がコア領域111に誘起さ
れて、屈折率変調による回折格子113が形成される。
これにより、光導波路型回折格子素子100が製造され
る。
【0021】従来の光導波路型回折格子素子(一定周期
Λの屈折率変調による回折格子が形成されていて単一波
長λの光を選択的に反射する素子)を製造する為に用い
られる従来の光導波路型回折格子素子製造用ホログラム
は、その屈折率変調の周期Λの2倍の周期2Λの凹凸が
第1面に形成されていて、第1面における凹凸の深さd
【数7】 なる式で表される。ここで、zは、光ファイバの光軸に
平行な直線上の位置を示す変数である。λUVは、紫外レ
ーザ光の波長である。nHは、紫外レーザ光の波長λUV
における光導波路型回折格子素子製造用ホログラムの材
料の屈折率である。n0は、紫外レーザ光の波長λUV
おける周辺雰囲気の屈折率であり、通常は、周辺雰囲気
は空気であり、屈折率n0は略1である。
【0022】これに対して、本実施形態に係る光導波路
型回折格子素子製造用ホログラム300は、第2面32
0の側から紫外レーザ光が入射したときに第1面310
の側にある光ファイバ110のコア領域111において
互いに異なるK個(K≧2)の周期Λk(k=1〜K)
の干渉パターンを重畳して形成するものである。この光
導波路型回折格子素子製造用ホログラム300は、その
屈折率変調の各周期Λ kの2倍の周期2Λkの凹凸が重畳
されて第1面310に形成されていて、第1面310に
おける凹凸の深さdが
【数8】 なる式で表される。
【0023】或いは、本実施形態に係る光導波路型回折
格子素子製造用ホログラム300の第1面310におけ
る凹凸の深さdは
【数9】 なる式で表されてもよい。
【0024】本実施形態に係る光導波路型回折格子素子
製造用ホログラム300は、石英ガラス平板の第1面に
レジストを塗布し、このレジスト塗布された第1面に対
して電子ビーム描画法により上記(8)式または(9)式のパ
ターンを描画して現像し、深さ方向のエッチング加工を
行った後にレジストを除去することで製造される。な
お、電子ビーム描画法に替えて干渉露光法による多重露
光を行ってもよい。
【0025】また、この光導波路型回折格子素子製造用
ホログラム300により光ファイバ110のコア領域1
11に形成される回折格子113における屈折率変調Δ
n(z)は、
【数10】 なる式で表される。このような回折格子113が形成さ
れた光導波路型回折格子素子100は、コア領域111
を伝搬する光のうちK波の波長λk(=2N・Λk)の光
を選択的に反射し、他の波長の光を透過する。ここで、
Nは光ファイバ110の屈折率変調領域における平均の
実効的屈折率である。
【0026】以上に説明した光導波路型回折格子素子製
造用ホログラム300を用いた光導波路型回折格子素子
製造方法によれば、光ファイバ110における光導波方
向の所定範囲に亘って屈折率変調による回折格子113
を形成して光導波路型回折格子素子100を製造するこ
とができる。しかも、互いに異なるK個の周期Λk(k
=1〜K)の屈折率変調が重畳された回折格子113
(上記(10)式参照)を1回の紫外レーザ光の照射により
形成することができる。このように、K個の波長の光を
選択的に反射することができて所望の反射特性を有し小
型の光導波路型回折格子素子100を容易に製造するこ
とができる。
【0027】なお、光導波路型回折格子素子製造用ホロ
グラム300が光ファイバ110のコア領域111に重
畳して形成するK個の干渉パターンそれぞれの周期Λk
が483nm以上587nm以下であるのが好適であ
る。このようにすることで、この光導波路型回折格子素
子製造用ホログラム300を用いて製造される光導波路
型回折格子素子100は、上記周期Λkに対してブラッ
グ条件式を満たす波長1400nm以上1700nm以
下の光を反射することができる。
【0028】また、K個の周期Λk(k=1〜K)のう
ちの任意の第i番目の周期Λiと第j番目の周期Λjとの
間に
【数11】 なる関係式が成り立つ場合には、光導波路型回折格子素
子100は、波長帯域1400nm〜1700nmにお
いて、上記周期ΛiおよびΛjそれぞれに対してブラッグ
条件式を満たす周波数間隔10GHz以上37.9TH
z以下の2波以上の光を反射することができる。
【0029】なお、上記(11)式の左辺の分母の数値21
4.2は、波長1400nmを周波数(THz)で表記
した値を示し、右辺の分母の数値176.3は、波長1
700nmを周波数(THz)で表記した値を示してい
る。また、左辺の分子の数値0.01は、最小周波数間
隔10GHzを単位THzで表記した値を示し、右辺の
分子の数値37.9は、最大周波数間隔37.9THz
を示している。
【0030】また、K個の周期Λk(k=1〜K)のう
ちの任意の第i番目の周期Λiと第(i+1)番目の周期
Λi+1との間に
【数12】 なる関係式が成り立つ場合には、光導波路型回折格子素
子100は、波長帯域1400nm〜1700nmにお
いて、上記各周期Λkに対してブラッグ条件式を満たす
一定周波数間隔W(GHz)の各波長の光を反射するこ
とができる。周波数間隔Wは、好適には200GHzま
たは100GHzであり、より好適には50GHzであ
る。光導波路型回折格子素子100は、周波数間隔Wが
小さいほど、一定の波長帯域内においてより多くの波数
の光を選択的に反射することができる。
【0031】図2〜図6は、本実施形態に係る光導波路
型回折格子素子製造用ホログラム300の第1面310
における凹凸深さdの分布の一例を示す図である。図2
には−20mm≦z≦20mmの範囲が示され、図3に
は−2mm≦z≦2mmの範囲が示され、図4には−2
0μm≦z≦20μmの範囲が示され、図5には140
μm≦z≦180μmの範囲が示され、また、図6には
580μm≦z≦620μmの範囲が示されている。こ
の凹凸深さdの分布は、上記(8)式に基づいてK=4と
して設計されたものである。
【0032】また、図7は光導波路型回折格子素子10
0の透過特性を示す図であり、図8は光導波路型回折格
子素子100の反射特性を示す図である。この光導波路
型回折格子素子100は、図2〜図6に凹凸深さdの分
布が示された光導波路型回折格子素子製造用ホログラム
300を用いて製造されたものである。すなわち、Kr
Fエキシマレーザ光源から出力された紫外レーザ光が光
導波路型回折格子素子製造用ホログラム300を介して
光ファイバ110としての通信用の単一モード光ファイ
バに照射されて、光ファイバ110のコア領域111に
屈折率変調による回折格子113が形成される。これに
より製造された光導波路型回折格子素子100は、波長
1550nm帯において周波数間隔100GHz(波長
間隔約0.8nm)の4波長の光を選択的に反射するこ
とができる。
【0033】次に、本発明に係る合分波モジュールの実
施形態について説明する。以下に説明する合分波モジュ
ール10は、上記の実施形態に係る光導波路型回折格子
素子100を含むものである。以下では、M波の波長λ
1〜λMの光を考え、これらのうちの4波長λm1,λm2
λm3およびλm4の光を光導波路型回折格子素子100が
選択的に反射するものとして説明する。
【0034】図9は、本実施形態に係る合分波モジュー
ル10の説明図である。この合分波モジュール10は、
光導波路型回折格子素子100の一端に光サーキュレー
タ210が接続され、光導波路型回折格子素子100の
他端に光サーキュレータ220が接続されて構成されて
いる。光サーキュレータ210は、第1端子211、第
2端子212および第3端子213を有しており、第1
端子211に入力した光を第2端子212より光導波路
型回折格子素子100へ出力し、第2端子212に入力
した光を第3端子213より出力する。また、光サーキ
ュレータ220は、第1端子221、第2端子222お
よび第3端子223を有しており、第1端子221に入
力した光を第2端子222より光導波路型回折格子素子
100へ出力し、第2端子222に入力した光を第3端
子223より出力する。
【0035】この合分波モジュール10では、光サーキ
ュレータ210の第1端子211に波長λ1〜λ
M(λm1,λm2,λm3およびλm4を除く。)の光が入力
すると、これらの光は、光サーキュレータ210の第2
端子212より光導波路型回折格子素子100へ出力さ
れ、光導波路型回折格子素子100を透過して、光サー
キュレータ220の第2端子222に入力し、光サーキ
ュレータ220の第3端子223より出力される。ま
た、光サーキュレータ220の第1端子221に波長λ
m1,λm2,λm3およびλm4の光が入力すると、これらの
光は、光サーキュレータ220の第2端子222より光
導波路型回折格子素子100へ出力され、光導波路型回
折格子素子100で反射して、光サーキュレータ220
の第2端子222に入力し、光サーキュレータ220の
第3端子223より出力される。すなわち、この場合に
は、この合分波モジュール10は、合波器として動作
し、光サーキュレータ210の第1端子211に入力し
た波長λ1〜λM(λm1,λm2,λm3およびλm4を除
く。)の光と、光サーキュレータ220の第1端子22
1に入力した波長λm1,λm2,λm3およびλm4の光とを
合波して、その合波した波長λ1〜λMの光を光サーキュ
レータ220の第3端子223より出力する。なお、合
分波モジュール10が合波器としてのみ用いられる場合
には光サーキュレータ210は不要である。
【0036】また、この合分波モジュール10では、光
サーキュレータ210の第1端子211に波長λ1〜λM
の光が入力すると、これらの光は、光サーキュレータ2
10の第2端子212より光導波路型回折格子素子10
0へ出力される。そして、これらの光のうち、波長
λm1,λm2,λm3およびλm4の光は、光導波路型回折格
子素子100で反射して、光サーキュレータ210の第
2端子212に入力し、光サーキュレータ210の第3
端子213より出力される。一方、波長λ1〜λ
M(λm1,λm2,λm3およびλm4を除く。)の光は、光
導波路型回折格子素子100を透過して、光サーキュレ
ータ220の第2端子222に入力し、光サーキュレー
タ220の第3端子223より出力される。すなわち、
この場合には、この合分波モジュール10は、分波器と
して動作し、光サーキュレータ210の第1端子211
に入力した波長λ1〜λMを分波して、波長λm1,λm2
λm3およびλm4の光を光サーキュレータ210の第3端
子213より出力し、波長λ1〜λM(λ m1,λm2,λm3
およびλm4を除く。)の光を光サーキュレータ220の
第3端子223より出力する。なお、合分波モジュール
10が分波器としてのみ用いられる場合には光サーキュ
レータ220は不要である。
【0037】さらに、この合分波モジュール10は、合
波器として動作するとともに、分波器としても動作する
ことにより、光ADM(Add-Drop Multiplexer)として
も動作する。すなわち、この合分波モジュール10は、
光サーキュレータ210の第1端子211に入力した波
長λ1〜λMのうち波長λm1,λm2,λm3およびλm4の光
を光サーキュレータ210の第3端子213より出力
(Drop)するとともに、他の情報を担う波長λm1
λm2,λm3およびλm4の光を光サーキュレータ220の
第1端子221より入力(Add)する。そして、光サー
キュレータ210の第1端子211に入力した波長λ1
〜λMのうち波長λm1,λm2,λm3およびλm4を除く波
長の光と、光サーキュレータ220の第1端子221に
入力した波長λm1,λm2,λm3およびλm4の光とを合波
して、その合波した波長λ1〜λMの光を光サーキュレー
タ220の第3端子223より出力する。
【0038】この合分波モジュール10は、既述した小
型の光導波路型回折格子素子100を含んで構成される
ので、小型である。さらに、小型であることから、この
合分波モジュール10は、温度変動に因る反射特性の変
動を抑制する為の温度調整機構または温度補償機構の実
現が容易である。
【0039】次に、本発明に係る光伝送システムの実施
形態について説明する。図10は、本実施形態に係る光
伝送システム1の概略構成図である。この光伝送システ
ム1は、送信局2と中継局3との間が光ファイバ伝送路
5で接続され、中継局3と受信局4との間も光ファイバ
伝送路6で接続されており、また、中継局3に合分波モ
ジュール10が設けられている。
【0040】送信局2は、波長λ1〜λMの信号光を波長
多重して光ファイバ伝送路5へ送出する。中継局3は、
光ファイバ伝送路5を伝搬してきた波長λ1〜λMの信号
光を入力し、これらを合分波モジュール10により分波
して、波長λ1〜λM(λm1,λm2,λm3およびλm4を除
く。)の信号光を光ファイバ伝送路6へ送出し、波長λ
m1,λm2,λm3およびλm4の信号光を他の光ファイバ伝
送路へ送出する。また、中継局3は、合分波モジュール
10により、他の光ファイバ伝送路を経て入力した波長
λm1,λm2,λm3およびλm4の信号光を光ファイバ伝送
路6へ送出する。受信局4は、光ファイバ伝送路6を伝
搬してきた波長λ1〜λMの信号光を入力し、これらを各
波長に分波して受信する。このように、この光伝送シス
テム1は、上記の本実施形態に係る光導波路型回折格子
素子100を含む合分波モジュール10を用いて、波長
λ1〜λMの信号光を合波または分波するものである。こ
の光伝送システム1は、既述した小型であって温度調整
機構または温度補償機構の実現が容易な合分波モジュー
ル10を含んで構成されるので、安定した動作が保証さ
れる。
【0041】本発明は、上記実施形態に限定されるもの
ではなく、種々の変形が可能である。例えば、上記実施
形態の光導波路型回折格子素子は、光導波路である光フ
ァイバに屈折率変調による回折格子が形成されたもので
あった。しかし、これに限られず、平面基板上に形成さ
れた光導波路に屈折率変調による回折格子が形成された
ものであってもよい。
【0042】
【発明の効果】以上、詳細に説明したとおり、本発明に
係る光導波路型回折格子素子製造用ホログラムは、一方
の側から可干渉光が入射したときに他方の側に互いに異
なるK個(K≧2)の周期Λk(k=1〜K)の干渉パ
ターンを重畳して形成するものである。また、本発明に
係る光導波路型回折格子素子製造方法は、上記の本発明
に係る光導波路型回折格子素子製造用ホログラムを用い
て光導波路型回折格子素子を製造するものである。この
光導波路型回折格子素子製造用ホログラム、および、こ
れを用いた光導波路型回折格子素子製造方法によれば、
互いに異なるK個の周期Λk(k=1〜K)の屈折率変
調が重畳された回折格子を1回の紫外光の照射により形
成して光導波路型回折格子素子を製造することができ
る。このように、K個の波長の光を選択的に反射するこ
とができて所望の反射特性を有し小型の光導波路型回折
格子素子を容易に製造することができる。
【0043】また、本発明に係る光導波路型回折格子素
子製造用ホログラムにおいてK個の周期Λk(k=1〜
K)それぞれが483nm以上587nm以下である場
合には、この光導波路型回折格子素子製造用ホログラム
を用いて製造される光導波路型回折格子素子は、上記周
期Λkに対してブラッグ条件式を満たす波長1400n
m以上1700nm以下の光を反射することができる。
【0044】また、本発明に係る光導波路型回折格子素
子製造用ホログラムにおいてK個の周期Λk(k=1〜
K)のうちの任意の第i番目の周期Λiと第j番目の周
期Λjとの間に(5)式が成り立つ場合には、この光導波路
型回折格子素子は、波長帯域1400nm〜1700n
mにおいて、上記周期ΛiおよびΛjそれぞれに対してブ
ラッグ条件式を満たす周波数間隔10GHz以上37.
9THz以下の2波以上の光を反射することができる。
【0045】また、本発明に係る光導波路型回折格子素
子製造用ホログラムにおいてK個の周期Λk(k=1〜
K)のうちの任意の第i番目の周期Λiと第(i+1)番
目の周期Λi+1との間に(6)式が成り立つ場合には、この
光導波路型回折格子素子は、波長帯域1400nm〜1
700nmにおいて、上記各周期Λkに対してブラッグ
条件式を満たす一定周波数間隔W(GHz)の各波長の
光を反射することができる。
【0046】本発明に係る光導波路型回折格子素子は、
上記の本発明に係る光導波路型回折格子素子製造方法に
より製造されたものであり、K波の波長λk(=2N・Λ
k)の光を選択的に反射することができて所望の反射特
性を有し小型のものである。本発明に係る合分波モジュ
ールは、上記の本発明に係る光導波路型回折格子素子に
より反射帯域内の光を選択的に反射して光を合波または
分波するものであって、小型であり、また、温度変動に
因る反射特性の変動を抑制する為の温度調整機構または
温度補償機構の実現が容易である。本発明に係る光伝送
システムは、波長多重した多波長の信号光を用いて光伝
送を行う光伝送システムであって、上記の本発明に係る
合分波モジュールにより多波長の信号光を合波または分
波するものであり、安定した動作が保証される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態に係る光導波路型回折格子素子製造
方法および光導波路型回折格子素子製造用ホログラム3
00の説明図である。
【図2】本実施形態に係る光導波路型回折格子素子製造
用ホログラム300の第1面310における凹凸深さd
の分布の一例を示す図である。
【図3】本実施形態に係る光導波路型回折格子素子製造
用ホログラム300の第1面310における凹凸深さd
の分布の一例を示す図である。
【図4】本実施形態に係る光導波路型回折格子素子製造
用ホログラム300の第1面310における凹凸深さd
の分布の一例を示す図である。
【図5】本実施形態に係る光導波路型回折格子素子製造
用ホログラム300の第1面310における凹凸深さd
の分布の一例を示す図である。
【図6】本実施形態に係る光導波路型回折格子素子製造
用ホログラム300の第1面310における凹凸深さd
の分布の一例を示す図である。
【図7】本実施形態に係る光導波路型回折格子素子10
0の透過特性を示す図である。
【図8】本実施形態に係る光導波路型回折格子素子10
0の反射特性を示す図である。
【図9】本実施形態に係る合分波モジュールの説明図で
ある。
【図10】本実施形態に係る光伝送システムの概略構成
図である。
【符号の説明】
1…光伝送システム、2…送信局、3…中継局、4…受
信局、5,6…光ファイバ伝送路、10…合分波モジュ
ール、100…光導波路型回折格子素子、110…光フ
ァイバ(光導波路)、111…コア領域、112…クラ
ッド領域、113…回折格子、210,220…光サー
キュレータ、300…光導波路型回折格子素子製造用ホ
ログラム。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G02B 6/12 G02B 6/12 F (72)発明者 菅沼 寛 神奈川県横浜市栄区田谷町1番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 (72)発明者 塩崎 学 神奈川県横浜市栄区田谷町1番地 住友電 気工業株式会社横浜製作所内 Fターム(参考) 2H047 KA11 LA02 LA18 PA30 TA02 TA41 2H049 AA34 AA59 AA62 AA66 CA04 CA05 CA09 CA15 CA23 CA28 2H050 AA07 AC71 AC82 AC84

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 光導波路における光導波方向の所定範囲
    に亘って屈折率変調による回折格子を形成して光導波路
    型回折格子素子を製造する際に用いられる透過型の光導
    波路型回折格子素子製造用ホログラムであって、一方の
    側から可干渉光が入射したときに他方の側に互いに異な
    るK個(K≧2)の周期Λk(k=1〜K)の干渉パタ
    ーンを重畳して形成することを特徴とする光導波路型回
    折格子素子製造用ホログラム。
  2. 【請求項2】 前記K個の周期Λk(k=1〜K)それ
    ぞれが483nm以上587nm以下であることを特徴
    とする請求項1記載の光導波路型回折格子素子製造用ホ
    ログラム。
  3. 【請求項3】 前記K個の周期Λk(k=1〜K)のう
    ちの任意の第i番目の周期Λiと第j番目の周期Λjとの
    間に 【数1】 なる関係式が成り立つことを特徴とする請求項1記載の
    光導波路型回折格子素子製造用ホログラム。
  4. 【請求項4】 前記K個の周期Λk(k=1〜K)のう
    ちの任意の第i番目の周期Λiと第(i+1)番目の周期
    Λi+1との間に 【数2】 なる関係式が成り立つことを特徴とする請求項1記載の
    光導波路型回折格子素子製造用ホログラム。
  5. 【請求項5】 前記K個の周期Λk(k=1〜K)のう
    ちの任意の第i番目の周期Λiと第(i+1)番目の周期
    Λi+1との間に 【数3】 なる関係式が成り立つことを特徴とする請求項1記載の
    光導波路型回折格子素子製造用ホログラム。
  6. 【請求項6】 前記K個の周期Λk(k=1〜K)のう
    ちの任意の第i番目の周期Λiと第(i+1)番目の周期
    Λi+1との間に 【数4】 なる関係式が成り立つことを特徴とする請求項1記載の
    光導波路型回折格子素子製造用ホログラム。
  7. 【請求項7】 光導波路における光導波方向の所定範囲
    に亘って屈折率変調による回折格子を形成して光導波路
    型回折格子素子を製造する方法であって、請求項1記載
    の光導波路型回折格子素子製造用ホログラムの一方の側
    から可干渉光を入射させ、前記光導波路型回折格子素子
    製造用ホログラムの他方の側に配置した前記光導波路に
    互いに異なるK個(K≧2)の周期Λk(k=1〜K)
    の干渉パターンを重畳して形成して、前記光導波路に屈
    折率変調による回折格子を形成して光導波路型回折格子
    素子を製造することを特徴とする光導波路型回折格子素
    子製造方法。
  8. 【請求項8】 請求項7記載の光導波路型回折格子素子
    製造方法により光導波路における光導波方向の所定範囲
    に亘って屈折率変調による回折格子が形成されて製造さ
    れたことを特徴とする光導波路型回折格子素子。
  9. 【請求項9】 請求項8記載の光導波路型回折格子素子
    を含み、この光導波路型回折格子素子により反射帯域内
    の光を選択的に反射して、光を合波または分波すること
    を特徴とする合分波モジュール。
  10. 【請求項10】 波長多重した多波長の信号光を用いて
    光伝送を行う光伝送システムであって、請求項9記載の
    合分波モジュールを含み、この合分波モジュールにより
    前記多波長の信号光を合波または分波することを特徴と
    する光伝送システム。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100403599B1 (ko) * 2001-11-06 2003-10-30 삼성전자주식회사 조명계 및 이를 채용한 프로젝션 시스템
CN105742948A (zh) * 2016-04-29 2016-07-06 燕山大学 一种基于光纤重叠光栅的可调谐光纤激光器
CN112513689A (zh) * 2018-08-03 2021-03-16 脸谱科技有限责任公司 用于监控光栅形成的系统

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