JP2002148160A - 試料支持用カートリッジ及び試料ホルダー - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 顕微鏡観察用に適した試料支持用カートリッ
ジ及び試料ホルダーを提供する。 【解決手段】 試料ホルダーは、先端部に、試料支持用
カートリッジ５７が着脱可能に構成されたカートリッジ
支持体５１を有し、ホルダー駆動機構５２によって、電
子顕微鏡の鏡体及び集束イオンビーム装置の加工室に取
り付けたり、該鏡体及び加工室から外したり出来るよう
になっているホルダー本体５０と、ホルダー駆動機構５
２から成る。カートリッジ支持体５１には、試料支持用
カートリッジ５７を支持するための凹部５２が形成され
ている。凹部５２の底面に対し垂直方向に突き出る様に
圧電素子５３Ａ，５３Ｂがカートリッジ支持体５１に設
けられいる。ホルダー駆動機構５２内には、圧電素子５
３Ａ，５３Ｂを駆動するための電源が設けられている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する分野】本発明は、荷電粒子ビーム装置等
に使用される試料支持用カートリッジ及び試料ホルダー
に関する。

【０００２】

【従来の技術】透過型電子顕微鏡は、試料の拡大観察や
試料の構造分析等を行うのに使用される。図１は透過型
電子顕微鏡の一概略例を示したものである。

【０００３】図中１は電子光学系鏡筒で、その中に、電
子銃２、集束レンズ３、対物レンズ４、中間レンズ５、
投影レンズ６等が設けられている。７は観察室で、蛍光
板８等が設けられている。尚、９Ａは先端部分に試料を
保持した試料ホルダーの本体で、ホルダー駆動機構９Ｂ
によってＸ方向及びＹ方向への移動や、ホルダーの中心
軸に対する回転が出来、又、試料ホルダー自体が鏡体１
に取り付けたり、該鏡体から外したり出来るようになっ
ている。

【０００４】この様な透過型電子顕微鏡においては、電
子銃１からの電子ビームが集束レンズ３により集束され
て試料上に照射される。そして、該試料を透過した電子
ビームが対物レンズ４，中間レンズ５及び投影レンズ６
のレンズ作用を受けることにより、蛍光板８上に試料透
過部の拡大像或いは回折像が形成される。

【０００５】さて、試料の作成及び該試料の試料ホルダ
ーへの取り付けは、例えば、次の様に行われている。

【０００６】図２は、顕微鏡観察用の薄膜試料を作製す
るための集束イオンビーム装置の概略を示したもので、
１０はイオン源、１１はコンデンサレンズ、１２はＸ方
向偏向器、１３はＹ方向偏向器、１４は対物レンズであ
る。又、１５は加工室、１６はＸ及びＹ方向に移動が可
能に、且つ、何れか一方の方向に傾斜可能に構成されて
いるステージである。１７はプローブ針１８と、該プロ
ーブ針をＸ，Ｙ及びＺ方向に駆動させるための駆動機構
１９から成るマニピュレータである。２０はガスノズル
２１を備えたガス源、２２は二次電子検出器である。

【０００７】先ず、ステージ１６上の中心部の所定の位
置に、例えば、図３の（ａ）に示す如き試料２３（以
後、原試料と称す）をセットする。そして、イオン源１
０からのイオンビームをコンデンサレンズ１１と対物レ
ンズ１４により原試料上に集束させ、Ｘ，Ｙ方向偏向器
によりイオンビーム２４で原試料上の矩形領域ＰとＱで
走査し、図３の（ｂ）に示す様に、原試料に２つの直方
体状の穴２５Ｐ，２５Ｑを形成する。

【０００８】次に、穴２５Ｐと２５Ｑに挟まれた厚さの
薄い直方体状部分２６（以後、粗し上げ試料と称す）の
一方のエッジ部２６Ａをイオンビームで走査することに
より、前記両穴に面していない部分の一方側に前記穴と
同じ深さの溝を形成する。更に、ステージ１６を傾斜さ
せることにより、原試料２３を時計方向に、例えば７０
度程度傾け、その状態において、前記粗し上げ試料２６
の穴底に沿った部分２６Ｂをイオンビームで走査するこ
とにより、前記粗し上げ試料２６に前記両穴２５Ｐと２
５Ｑとが通じる底穴を形成する。

【０００９】次に、マニピュレータ駆動機構１９を作動
させて、図３（ｃ）に示す様に、プローブ針１８の先端
部を前記厚さの薄い粗し上げ試料２６に接触させ、その
状態において、ガスノズル２１を通じてガス源２０から
のガスを供給しながらイオンビームを前記プローブ針先
端部を含む領域に照射する。その結果、粗し上げ試料２
６の一部とプローブ針先端部がデポジションによる堆積
膜２７で接続されることになる。

【００１０】次に、ステージ１６の傾斜を元に戻し、そ
の状態にて、前記粗し上げ試料２６の他方のエッジ部２
６Ｃをイオンビームで走査することにより、両穴に面し
ていない部分の他方側にも穴と同じ深さの溝を形成し、
原試料２３から粗し上げ試料２６を切り離す。

【００１１】次に、マニピュレータ駆動機構１９を作動
させて、図４に示す様に、プローブ針１８先端部に接続
されている粗し上げ試料２６を、ステージ１６上に置か
れているメッシュブロック体２８（顕微鏡試料用メッシ
ュが備えられたブロック体）のメッシュ部分に接触さ
せ、その状態において、ガスノズル２１を通じてガス源
２０からのガスを供給しながらイオンビームを粗し上げ
試料２６とメッシュブロック体２８の境界部を含む周辺
に照射する。その結果、粗し上げ試料２６はメッシュブ
ロック体２８のメッシュ部分にデポジションによる堆積
膜２９で接続されることになる。

【００１２】次に、マニピュレータ駆動機構１９を作動
させて、このメッシュブロック体２８をステージ１６上
の所定の位置に置き、集束イオンビームにより粗し上げ
試料２６の仕上げ加工を行う。この仕上げ加工されたも
のが厚さの極めて薄い顕微鏡用観察試料となる。

【００１３】そして、マニピュレータ駆動機構１９を作
動させて、集束イオンビーム装置の加工室１５に予め取
り付けられている試料ホルダーの本体９Ａの先端部に形
成されている観察試料取り付け部に前記顕微鏡用観察試
料３０を取り付ける（図５）。

【００１４】次に、ガスを供給しない状態で集束イオン
ビームをプローブ針１８の先端に照射し、前記顕微鏡用
観察試料３０とプローブ針１８の接続を切断する。

【００１５】次に、試料ホルダーを加工室１５から取り
外し、透過電子顕微鏡の鏡筒１に取り付け、観察試料３
０の観察が行われる。

【００１６】尚、前記各加工等の操作は、原試料２３等
の表面から発生した二次電子を二次電子検出器２２によ
り検出し、該検出信号に基づく画像を表示装置（図示せ
ず）に表示させ、該像を観察しながら行うようにしてい
る。

【００１７】以上説明した方式においては、粗し上げ試
料２６をメッシュブロック体２８のメッシュ部分にデポ
ジションにより取り付ける様にしたが、静電気により支
持膜上に取り付ける方法もある。以下にその方法を説明
する。

【００１８】この方法は、集束イオンビーム装置の加工
室１５において、ステージ１６上にセットされた原試料
２３をイオンビームにより仕上げ加工まで行う。即ち、
集束イオンビームで加工される穴２５Ｐと２５Ｑの境と
なる直方体状部分２６が顕微鏡で観察可能な薄さまで加
工する。

【００１９】そして、この厚さの極めて薄い直方体状部
分（この方法の場合においては、これが顕微鏡用観察試
料に相当する）を、集束イオンビームの照射により、原
試料２３から完全に切り離す。

【００２０】次に、穴の中で顕微鏡用観察試料３１を支
持している状態になっている原試料２３を加工室１５か
ら取り出して、図６に示す様に、光学顕微鏡装置３２の
試料台３３上の中央部（光学顕微鏡光学系鏡筒３４の真
下）にセットする。尚、該試料台上にはマニピュレータ
駆動機構３５とピックアップ用プローブ３６を備えたマ
ニピュレータ３７が取り付けられている。

【００２１】尚、ピックアップ用プローブ３６は、例え
ば、図７に示す様なピックアップ用プローブ作製装置に
より作製せれている。即ち、ガラス管４０の中間部をヒ
ータ４１を通して、上端部を支持体４２に取り付け、下
端部を、重力方向に移動可能に構成された荷重用支持体
４３に取り付ける（該取り付け時は、ネジ４４をねじ込
んで荷重用支持体４３が移動しないようにしておく）。
この状態において、ネジ４４を緩めて、荷重用支持体４
３が重力方向に移動可能な状態にしておき、電源４５を
作動させてヒータ４１によりガラス管４０の中間部を加
熱する。該加熱と荷重用支持体４３の重力方向への移動
により、該管の中央部が加熱され、細くなって下の方に
伸び、切れてしまう。

【００２２】図８はピックアップ用プローブが作製され
る様子を示したもので、図８の（ａ）はガラス管の中間
部が加熱と荷重によって細くなって伸びている様子を示
している。図８の（ｂ）は切れたガラス管の下部を示し
ており、その上端部が、別のヒーター（図示せず）によ
り加熱され、図８の（ｃ）に示す様に、細管部の先端が
丸くなる。この様にして成形されたガラス管をピックア
ップ用プローブとして使用する。

【００２３】次に、駆動機構３５を作動させ、光学像を
見ながら、ピックアップ用プローブ３６の先端部を観察
試料３１に近づけ、静電力によりピックアップ用プロー
ブ３６の先端部に観察試料３１を付着させる。

【００２４】次に、駆動機構３５を作動させ、ピックア
ップ用プローブ３６を移動させ、試料台３３に載せられ
ている試料ホルダの本体９Ａの先端部に形成されている
観察試料取り付け部に前記観察試料３１を接近させる。
この際、試料ホルダ本体９Ａの先端部に形成されている
観察試料取り付け部には試料支持膜（試料メッシュにカ
ーボンなどの膜が張られたもの）が設けられており、該
支持膜と極めて薄い観察試料３１との間の静電力は、ピ
ックアップ用プローブ３６と観察試料３１との間の静電
力より大きく、その為に、該支持膜上に観察試料３１が
付着する。

【００２５】そして、この様な試料ホルダー本体９Ａ及
び駆動機構９Ｂから成る試料ホルダーを透過電子顕微鏡
の鏡筒１に取り付け、観察試料３１の観察が行われる。

【００２６】

【発明が解決しようとする課題】さて、前者の方法で
は、粗し上げ試料２６をメッシュブロック体２８のメッ
シュ部分にデポジションにより取り付ける様にしてお
り、メッシュブロック体２８ごと集束イオンビーム装置
のステージ上にセット出来るので、粗し上げ試料２６に
対して追加加工等の加工が可能であるが、デポジション
で粗し上げ試料２６をメッシュブロック体２８のメッシ
ュ部分に取り付ける様にしているので、粗し上げ試料２
６が本当にメッシュブロック体２８に固定されたかどう
かよく分からず、且つ、粗し上げ試料２６がメッシュブ
ロック体２８に一旦付いても、離れてしまう場合があ
る。

【００２７】一方後者の方法では、極めて薄い観察試料
をそのままの状態で、静電力により試料支持膜上に付着
させているので、観察試料が支持膜支持膜から落ちるこ
とはないが、追加加工等の加工が不可能である。

【００２８】本発明はこの様に問題を解決することを目
的としたもので、新規な試料支持用カートリッジ及び試
料ホルダーを提供するものである。

【００２９】

【課題を解決するための手段】本発明に基づく試料支持
用カートリッジは、試料支持面を有し、該試料支持面に
対向する様に板状の弾性体が取り付けられており、該弾
性体が外力により変形した時に前記試料支持面と該弾性
体との間に試料を挿入出来る空間が形成され、前記外力
を除いた時に前記弾性体は前記試料支持面に試料を押圧
する様に成したことを特徴とする。本発明に基づく試料
ホルダーは、試料支持面を有し、該試料支持面に対向す
る様に板状の弾性体が取り付けられており、該弾性体が
外力により変形した時に前記試料支持面と該弾性体との
間に試料を挿入出来る空間が形成され、前記外力を除い
た時に前記弾性体は前記試料支持面に試料を押圧する様
に成した試料支持用カートリッジが着脱可能なカートリ
ッジ支持部を有し、該試料支持用カートリッジを該カー
トリッジ支持部にセットし、前記弾性体を変形させる手
段により該弾性体を変形させた時に、該変形により試料
支持用カートリッジの試料支持面と弾性体の間に試料が
セット可能な空間が出来るように構成されていることを
特徴とする。

【００３０】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態を詳細に説明する。

【００３１】図９は本発明に基づく試料ホルダーの１概
略例を表したものである。

【００３２】図中５０は、先端部に試料支持用カートリ
ッジが着脱可能に構成されたカートリッジ支持体５１を
有し、ホルダー駆動機構５２によって、電子顕微鏡の鏡
体及び集束イオンビーム装置の加工室に取り付けたり、
該鏡体及び加工室から外したり出来るようになっている
ホルダー本体で、該ホルダー本体５０，前記カートリッ
ジ支持体５１及びホルダー駆動機構５２全体で試料ホル
ダーと称している。

【００３３】図１０の（ａ）は、カートリッジ支持体５
１の詳細を示したものであり、図１０の（ｂ）は図１０
の（ａ）に示されたカートリッジ支持体を紙面に対して
平行な上方向から見たものを示している。これらの図か
ら明らかな様に、カートリッジ支持体５１には、試料支
持用カートリッジを支持するための凹部５１Ｈが形成さ
れている。５３Ａ，５３Ｂは、それらの先端部が該凹部
の底面に対し垂直方向に突き出る様にカートリッジ支持
体５１に設けられた圧電素子である。尚、前記ホルダー
駆動機構５２内には、該該圧電素子を駆動するための電
源（図示せず）が設けられている。

【００３４】図１１の（ａ），（ｂ）は、それぞれ、前
記カートリッジ支持体５１に支持されるべき本発明の試
料支持用カートリッジ５７の１概略例を示したものであ
り、図１１の（ｂ）は図１１の（ａ）に示された試料支
持用カートリッジ５７を紙面に対して平行な下方向から
見たものを示している。これらの図から明らかな様に、
中央部には凸体５４が、一部周辺部には鍔部５５が設け
られており、これら凸体５４と鍔部５５の間に板状の弾
性体（例えば、板状のスプリング）５６が配設されてい
る。

【００３５】さて、この様な試料支持用カートリッジ５
７を、図１２の（ａ），（ｂ）に示す様に、予め、前記
カートリッジ支持体５１の凹部５１Ｈにセットしてお
く。

【００３６】そして、この様なカートリッジ支持体５１
を備えた試料ホルダー本体５０とホルダー駆動機構５２
から成る試料ホルダーを図１３に示す如き集束イオンビ
ーム装置の加工室１５に取り付けておく。尚、この図１
３に示す如き集束イオンビーム装置において、図２と同
一記号の付されたものは同一構成要素を示す。

【００３７】尚、加工室１５には、ガラス製のピックア
ップ用プローブ６０とその駆動機構６１から成るマニピ
ュレータ６２が取り付けられている。

【００３８】先ず、ステージ１６上に原試料６３をセッ
トし、前述した様に、集束イオンビームにより該原試料
を極めて薄い直方体状の顕微鏡様観察試料として仕上げ
加工する。そして、前述したと同じ様に、この観察試料
を集束イオンビームの照射により、原試料６３から完全
に切り離す。

【００３９】次に、マニピュレータ駆動機構６１により
ピックアップ用プローブ６０を観察試料に近づけ、静電
力によりピックアップ用プローブ先端部に、例えば、図
１４の（ａ），（ｂ）（図１４の（ｂ）は図１４の
（ａ）のＡ−Ａ断面図である）に示す如き観察試料６５
を付着させる。次に、駆動機構６１を作動させ、ピック
アップ用プローブ６０を移動させ、加工室１５に取り付
けられている試料ホルダー本体５０の先端部のカートリ
ッジ支持体５１に前記観察試料６５を接近させる。

【００４０】この際、試料ホルダーにおいて、圧電素子
の駆動電源（図示せず）をオンの状態にする。すると、
圧電素子５３Ａ，５３Ｂが紙面に平行な上方向に伸び、
図１２の（ａ）に示す様に水平状態にあった弾性体５６
が、図１５（ａ）に示す様に、下側に湾曲し、カートリ
ッジの凸体５４と弾性体５６の間に空間６６が出来る。

【００４１】そして、前記マニピュレータ駆動機構６１
を作動させ、ピックアップ用プローブ６０を移動させ、
この空間６６に、図１５の（ｂ）に示す様に、前記凸体
５４の弾性体対向面（試料支持面）と観察試料６５の水
平面が平行になるように、前記顕微鏡用観察試料６５を
挿入する。

【００４２】次に、試料ホルダーにおいて、圧電素子駆
動電源（図示せず）をオフの状態とする。すると、紙面
に平行な上方向に伸びていた圧電素子５３Ａ，５３Ｂが
逆方向に縮んで元の状態に戻る。すると、図１６図の
（ａ）に示す様に、下方向に大きく湾曲していた弾性体
５６が、元の水平状態に戻ろうとするので、空間６６内
にある試料観察６５が凸体５４と弾性体５６によりしっ
かりとチャツキングされる。従って、従来のデポジショ
ンによる固定と異なり、固定に対する不確かさや不安定
性が全く発生しない。尚、図１６図の（ｂ）は図１６図
の（ａ）のＢ−Ｂ断面図である。

【００４３】次に、この様な試料ホルダー本体５０及び
駆動機構５２から成る試料ホルダーを集束イオンビーム
装置の加工室１５から取り外し、例えば、図１に示す如
き透過電子顕微鏡の鏡筒１に取り付け、観察試料６５の
観察が行われる。

【００４４】この様な各観察試料を保存等する場合に
は、観察試料が固定されたカートリッジを試料ホルダー
のカートリッジ支持体から取り外し、各観察試料それぞ
れ専用カートリッジ毎に管理される。

【００４５】又、試料を追加加工等の加工を行う場合に
は、試料ホルダーを再び集束イオンビーム装置の加工室
１５に取り付け、駆動機構５２により試料６５がイオン
ビーム中心軸上に来るようにホルダー本体５０を移動さ
せる事により行う。

【００４６】尚、前記例では、カートリッジ支持体を備
えた試料ホルダーやピックアップ用プローブを備えたマ
ニュピレータが集束イオンビーム装置の加工室に取り付
けられている場合について説明したが、ピックアップ用
プローブを備えたマニピュレータやカートリッジ支持体
を備えた試料ホルダーが光学顕微鏡装置の試料台上に取
り付けられている場合にも応用可能である。その場合に
は、前記した様に、集束イオンビーム装置の加工室１５
において仕上げ加工された顕微鏡用観察試料を集束イオ
ンビームの照射により、原試料から完全に切り離してか
ら、原試料を加工室１５から取り出して、光学顕微鏡装
置の試料台上の中央部（光学顕微鏡光学系鏡筒の真下）
にセットする。次に、ピックアップ用プローブの先端部
を顕微鏡観察用試料に近づけ、静電力によりピックアッ
プ用プローブの先端部に顕微鏡用観察試料を付着させ、
ピックアップ用プローブを移動させ、試料ホルダのカー
トリッジ支持体に予めセットされている試料支持用カー
トリッジに、前記の様にして固定する。そして、この様
な試料ホルダーを透過電子顕微鏡の鏡筒に取り付け、試
料の観察が行われる。

【００４７】又、前記弾性体の代わりに形状記憶合金か
ら成る板状のものを使用しても良い。

【００４８】又、本発明の試料支持用カートリッジは図
１１に示す構成のものに限定されない。例えば、図１７
の（ａ）に示す様に、一方の鍔７０は上方へ少し飛び出
させ、そこに板状の弾性体５６の一端部を固定してお
き、他方の鍔７１は弾性体の他端部から離れるように形
成しておき、弾性体５６の他端部上方のカートリッジ５
１自身には孔７２を開けておく。試料をこの様なカート
リッジに支持させる場合には、図１７の（ｂ）に示す様
に、孔７２を通して押圧棒７３で弾性体５６の他端部を
押圧することにより弾性体５６を下方に歪ませて、該弾
性体と凸体５４の間に試料を挿入するための空間７４を
作り、該空間に試料を挿入した後、押圧棒７３を上方に
移動させることにより弾性体５６を元の状態に戻らせ、
それにより、試料を弾性体と凸体５４の間にチャッキン
グさせる。この際、押圧棒７３はオペレーターが操作し
ても良いし、この様な押圧棒と押圧棒駆動機構を備えた
治具を用いても良い。

【００４９】又、例えば、図１８の（ａ）に示す様に、
図１１と同様なカートリッジにおいて、一方の鍔５５に
弾性体５６の一端部を固定しておき、他方の鍔５５′に
孔７５を開けておく。試料をこの様なカートリッジに支
持させる場合には、図１８の（ｂ）に示す様に、孔７５
を通して押圧棒７６で弾性体５６の他端部を押圧するこ
とにより弾性体５６を下方に歪ませて、該弾性体と凸体
５４の間に試料を挿入するための空間７７を作り、該空
間に試料を挿入した後、押圧棒７６を下方に移動させる
ことにより弾性体５６を元の状態に戻らせ、それによ
り、試料を弾性体と凸体５４の間にチャッキングさせ
る。この際、押圧棒７６はオペレーターが操作しても良
いし、この様な押圧棒と押圧棒駆動機構を備えた治具を
用いても良いし、或いは、カートリッジ支持体５１に設
けるようにしても良い。尚、カートリッジ支持体５１に
設ける場合には、押圧棒として圧電素子を用いても良
く、この場合には、孔７５を設けず、押圧棒を鍔５５′
に沿って上下動させるようにしても良い。

【００５０】又、前記例では透過型電子顕微鏡で観察さ
れる試料を保持するためのカートリッジ及び試料ホルダ
ーについて説明したが、この様な試料支持用カートリッ
ジははイオン顕微鏡や他の光学的顕微鏡の試料の支持に
使用可能であり、又、これらの試料ホルダーにも応用可
能である。

【００５１】又、前記例では、集束イオンビーム装置で
観察試料を作製するものを説明したが、レーザー加工装
置等により観察試料を作製する様にしても良い。

【図面の簡単な説明】

【図１】 透過型電子顕微鏡の一概略例を示している。

【図２】 集束イオンビーム装置の一概略例を示してい
る。

【図３】 集束イオンビームによる原試料の加工の例を
示している。

【図４】 顕微鏡用試料メッシュに粗し上げ試料を付け
る様子を示している。

【図５】 顕微鏡用観察試料を取り付けた試料ホルダー
の一概略例を示している。

【図６】 マニピュレーターなどを備えた光学顕微鏡装
置の概略例を示している。

【図７】 ピックアップ用プローブ作製装置の概略例を
示している。

【図８】 ピックアップ用プローブの作製の様子を示し
ている。

【図９】 本発明の試料ホルダーの一例を示している。

【図１０】 本発明の試料ホルダーのカートリッジ支持
体の一例を示す。

【図１１】 本発明の試料支持用カートリッジの概略例
を示す。

【図１２】 本発明の試料ホルダーのカートリッジ支持
体に試料支持用カートリッジをセットしたものを示す。

【図１３】 集束イオンビーム装置の概略例を示してい
る。

【図１４】 観察用試料の一例を示す。

【図１５】 本発明に使用される試料支持用カートリッ
ジへの試料の固定の様子を示す。

【図１６】 本発明に使用される試料支持用カートリッ
ジへの試料の固定の様子を示す。

【図１７】 本発明の試料支持用カートリッジの他の概
略例を示す。

【図１８】 本発明の試料支持用カートリッジの他の概
略例を示す。

【符号の説明】

１…電子光学系鏡筒 ２…電子銃 ３…集束レンズ ４…対物レンズ ５…中間レンズ ６…投影レンズ ７…観察室 ８…蛍光板 ９Ａ…試料ホルダー本体 ９Ｂ…ホルダー駆動機構 １０…イオン源 １１…コンデンサレンズ １２…Ｘ方向偏向器 １３…Ｙ方向偏向器 １４…対物レンズ １５…加工室 １６…ステージ １７…マニピュレータ １８…プローブ針 １９…駆動機構 ２０…ガス源 ２１…ガスノズル ２２…二次電子検出器 ２３…原試料 ２４…イオンビーム ２５Ｐ，２５Ｑ…穴 ２６…粗し上げ試料 ２７…堆積膜 ２８…顕微鏡試料メッシュ ２９…堆積膜 ３０…顕微鏡用観察試料 ３１…観察試料 ３２…光学顕微鏡装置 ３３…試料台 ３４…鏡筒 ３５…駆動機構 ３６…ピックアップ用プローブ ３７…マニピュレータ ４０…ガラス管 ４１…ヒーター ４２…支持体 ４３…荷重用支持体 ４４…ネジ ４５…電源 ５０…試料ホルダー本体 ５１…カートリッジ支持体 ５１Ｈ…凹部 ５２…ホルダー駆動機構 ５３Ａ，５３Ｂ…圧電素子 ５４…凸体 ５５…鍔 ５６…スプリング ５７…カートリッジ ６０…ピックアップ用プローブ ６１…マニピュレータ駆動機構 ６２…マニピュレータ ６３…原試料 ６５…観察試料 ６６…空間 ７０，７１，５５′…鍔 ７２，７５…孔 ７３，７６…押圧棒 ７４，７７…空間

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 試料支持面を有し、該試料支持面に対向
   する様に板状の弾性体が取り付けられており、該弾性体
   が外力により変形した時に前記試料支持面と該弾性体と
   の間に試料を挿入出来る空間が形成され、前記外力を除
   いた時に前記弾性体は前記試料支持面に試料を押圧する
   様に成した試料支持用カートリッジ。
2. 【請求項２】 前記弾性体は板バネである請求項１記載
   のカートリッジ。
3. 【請求項３】 試料支持面を有し、該試料支持面に対向
   する様に板状の弾性体が取り付けられており、該弾性体
   が外力により変形した時に前記試料支持面と該弾性体と
   の間に試料を挿入出来る空間が形成され、前記外力を除
   いた時に前記弾性体は前記試料支持面に試料を押圧する
   様に成した試料支持用カートリッジが着脱可能なカート
   リッジ支持部を有し、該試料支持用カートリッジを該カ
   ートリッジ支持部にセットし、前記弾性体を変形させる
   手段により該弾性体を変形させた時に、該変形により試
   料支持用カートリッジの試料支持面と弾性体の間に試料
   がセット可能な空間が出来るように構成されている試料
   ホルダー。
4. 【請求項４】 前記弾性体を変形させる手段はカートリ
   ッジ支持部に設けられている請求項３記載の試料ホルダ
   ー。
5. 【請求項５】 前記カートリッジ支持部には圧電素子が
   設けられており、試料支持用カートリッジを該カートリ
   ッジ支持部にセットした時に前記試料支持用カートリッ
   ジに設けられた弾性体と前記圧電素子が対向し、前記圧
   電素子に電界をかけた時に該圧電素子の変形に基づいて
   前記弾性体が変形し、該変形により試料支持用カートリ
   ッジのしり試料支持面と弾性体の間に試料がセット可能
   な空間が出来るように構成されている請求項４記載の試
   料ホルダー。
6. 【請求項６】 前記カートリッジ支持部には磁歪素子が
   設けられており、試料支持用カートリッジを該カートリ
   ッジ支持部にセットした時に前記試料支持用カートリッ
   ジに設けられた弾性体と前記磁歪素子が対向し、前記磁
   歪素子に磁界を発生させた時に該磁歪素子の変形に基づ
   いて前記弾性体が変形し、該変形により試料支持用カー
   トリッジの試料支持面と弾性体の間に試料がセット可能
   な空間が出来るように構成されている請求項４記載の試
   料ホルダー。
7. 【請求項７】 前記弾性体は板バネである請求項３記載
   の試料ホルダー。