JP2002139449A - 円形体の形状検査装置 - Google Patents

円形体の形状検査装置

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JP2002139449A JP2001255783A JP2001255783A JP2002139449A JP 2002139449 A JP2002139449 A JP 2002139449A JP 2001255783 A JP2001255783 A JP 2001255783A JP 2001255783 A JP2001255783 A JP 2001255783A JP 2002139449 A JP2002139449 A JP 2002139449A
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 円形体に形成されるバリや欠け等の欠陥を正
確かつ簡単に検出可能とする。 【構成】 画像データを入力して被検査体を一方向に配
列した複数の画素領域の集合として検出し、各画素領域
毎の濃度加算値をそれぞれ算出する濃度加算値演算部1
1と、画素領域の1つ置きの濃度加算値間の差分量を異
なる画素領域間における前記算出された濃度加算値の差
分量を1次差分として順次算出する1次差分演算部12
と、前記算出された1次差分に基づき前記画素領域の異
なる領域間の各々の前記1次差分間の差分量を2次差分
として順次算出する2次差分演算部13と、前記算出さ
れた2次差分に基づき前記被検査体のバリや欠け等の欠
陥を検出する欠陥検出部14とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、ベアリングに使用され
るリング状のゴムシールに生じるバリや欠け等の検査用
として好適な円形体形状検査装置に関する。
【0002】
【従来の技術】ベアリングに使用される平板リング状の
ゴムシールには、その製造時に、図14に示すように、
ゴムシール101の外径部102や内径部103にバリ
104や欠け105が発生する。従って、そのバリ10
4や欠け105のあるゴムシール101は不良品として
排除する必要がある。
【0003】従来、これらバリや欠けを検査する場合、
リング状ゴムシールに対して図15及び図16に示すよ
うな、バリ検査ウィンドウ107及び欠け検査ウィンド
ウ108を設定し、これら各ウィンドウ107及び10
8の範囲外にデータが存在する場合にバリまたは欠けが
あると判別するものである。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】ところが、検査時に
は、あらかじめ被検査体であるゴムシール101の大き
さに合わせて作成された上記検査ウィンドウ107,1
08内に入力画像が入るように位置補正をしなければな
らない。
【0005】この位置補正を行う場合、図17に示すよ
うに、射影ウィンドウ内の濃度を水平方向及び垂直方向
に画素データを加算したデータを求め、閾値を用いて中
心を求め、その中心を基に、図15及び図16に示した
ウィンドウを設定する。
【0006】このため、上記水平方向及び垂直方向の各
々の画素数が偶数個であれば2等分でき、正確な中心が
求まるが、各々の画素数が奇数個の場合には、中心が1
画素分ずれてしまう。
【0007】また、リング状ゴムシールの入力像が端に
ずれた場合、カメラ等(特にレンズ)の歪により、端部
の像に歪を生じ、入力像が中心部にある場合に比べて1
〜4画素の相違を生じてしまう。
【0008】さらに、リング状ゴムシールの成形精度
が、例えば、外径19.10(許容範囲は、19.10
〜19.25)mm,内径11.55(許容範囲は、1
1.55〜11.70)mmの時、外径及び内径でそれ
ぞれ公差が0.15mmあるので、円形検査ウィンドウ
を設定する場合にもこの公差を考慮しなければならない
ため、小さい欠けの検出が困難であるという問題点があ
った。
【0009】また、従来の検査ウィンドウ107,10
8は円形のものが使用されているが、検査ウィンドウ1
07,108を真円に作成するのは困難であり、若干楕
円となるかあるいは僅かに歪みのある円となってしま
う。このため、バリや欠けの生じる位置によっては検出
できない場合があった。
【0010】本発明は上記の事情に鑑みてなされたもの
であり、その目的は、円形体に形成されるバリや欠け等
の欠陥を正確かつ簡単に検出できる円形体の形状検査装
置を提供することにある。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに請求項1記載の発明は、円形部を有する被検査体を
一方向に配列した複数の画素領域の集合として検出し、
各画素領域毎の濃度加算値をそれぞれ算出する濃度加算
値演算手段と、異なる画素領域間における前記算出され
た濃度加算値の差分量を1次差分として順次算出する1
次差分演算手段と、前記算出された1次差分に基づき前
記画素領域の異なる領域間の各々の前記1次差分間の差
分量を2次差分として順次算出する2次差分演算手段
と、前記算出された2次差分に基づき前記被検査体のバ
リや欠け等の欠陥を検出する欠陥検出手段とを具備する
ことを特徴としている。
【0012】また、請求項2記載の発明は、前記被検査
体がリング状である場合の検査領域が、外径用検査領域
と内径用検査領域とから成ることを特徴としている。
【0013】
【作用】請求項1記載の発明の構成によれば、円形部を
有する被検査体を一方向に配列した複数の画素領域の集
合として検出し、各画素領域毎の濃度加算値をそれぞれ
算出する。次いで、算出された濃度加算値の異なる画素
領域間における1次差分を順次算出する。さらに、算出
された1次差分間の差分量を2次差分として順次算出す
る。そして、算出された2次差分に基づき前記被検査体
のバリや欠け等の欠陥を検出する。円形体にバリや欠け
等の欠陥が有る場合には、各画素領域での順次求められ
た2次差分を正常値と比較すると、顕著な違いが生じる
ので、この違いがする箇所を欠陥として検出する。
【0014】また、請求項2記載の発明の構成によれ
ば、前記円形体の被検査体がリング状である場合には、
外径と内径の双方にバリや欠けが生じるので、その検査
領域を、外径用検査領域と内径用検査領域とから成る検
査領域をリング状被検査体の上下左右に設定することに
より円周上に生じる全てのバリや欠け等の欠陥を検出で
きる。
【0015】
【実施例】図1は、本発明に係る円形体の形状検査装置
の一実施例(第1実施例)の構成を示すブロック図であ
り、図2は、本発明に係る円形体の形状検査装置が適用
されたゴムシール検査システムの全体構成を示すブロッ
ク図である。
【0016】初めに、図2によりゴムシール検査システ
ムを説明する。
【0017】このゴムシール検査システムは、ベアリン
グに設けられる平板リング状のゴムシール1の欠陥を検
出するものである。このゴムシールは、図3の平面図に
示すように、平板リング状に形成された芯金2の一面に
芯金面を露出させて該芯金2をゴム部材3で被覆し外径
約20mm、内径約10mm程度に形成して成るものであ
る。このゴムシール1の製造時において、外周部および
内周部にバリ4や欠け5が生じている場合、芯金部分に
ゴム6が乗っている場合およびゴムシール1が変形して
いる場合等のいずれかが検出された場合には不良品とし
て排除される。このため、このゴムシール検査システム
は、その厚みを検出して変形のあるゴムシールを検出す
る変形ステージ10と、芯金にゴムシールが乗っていな
いか否かを検出する芯金ステージ20と、本発明が適用
されるバリ、欠けステージ30との3つの検査ステージ
を備えている。
【0018】また、このゴムシール検査システムの制御
・検出系としては、画像処理装置40と、マンマシンイ
ンタフェースとなるターミナル50と、画像モニタ60
と、ゴムシールを搬送する搬送装置70と、各構成部分
の制御を行うための制御盤80と、この制御盤80の操
作パネル90とから構成されている。
【0019】本実施例のゴムシール検査装置は、バリ、
欠けステージ30と画像処理装置40を主要部として構
成され、その機能上、図1に示すように、CCDカメラ
で撮像されたゴムシールの画像データを入力して被検査
体を一方向に配列した複数の画素領域の集合として検出
し、各画素領域毎の濃度加算値をそれぞれ算出する濃度
加算値演算部11と、画素領域の例えば、1つ置きの濃
度加算値間の差分量を異なる画素領域間における前記算
出された濃度加算値の差分量を1次差分として順次算出
する1次差分演算部12と、前記算出された1次差分に
基づき前記画素領域の異なる領域間の各々の前記1次差
分間の差分量を2次差分として順次算出する2次差分演
算部13と、前記算出された2次差分に基づき前記被検
査体のバリや欠け等の欠陥を検出する欠陥検出部14と
を備えている。
【0020】前記濃度加算値演算部11は、図13に具
体的な構成例を示すように、256バイトの濃度変換メ
モリ、ルックアップテーブル及びセクター加算部を2組
備え、また、1つのアドレス発生部を備えて構成され、
8ビットの画像データを512×512のルックアップ
テーブルに基づいて各セクター毎に加算を行い、その結
果(濃度加算値)を256個の結果メモリに書き込むよ
うになっている。このように本実施例では、同時に2つ
のルックアップテーブルによってセクター加算が可能で
ある。
【0021】なお、前記1次差分演算部12において、
1つ置きの濃度加算値間の差分量を算出するのは、大き
いバリや欠けの場合、相隣合った濃度加算値間に差が少
なく、その差分をとっても顕著な違いが出ないからであ
る。
【0022】図4は、本実施例における検査ウィンドウ
を示す説明図であり、この検査ウィンドウは、外径検査
ウィンドウ15と、内径検査ウィンドウ16とを一対と
して、上下左右の4か所の検査を可能とする。
【0023】次に本実施例の作用を図を参照して系統的
に説明する。
【0024】図5には、外径検査時の原理が模式的に示
されている。
【0025】今、図5(a)に示すように、2画素分の
画素領域を1セクタとして、20セクタから成る検査領
域(検査ウィンドウ)を設定したと仮定する。先ずゴム
シールの画像データを一方向に配列した複数の画素領域
の集合として検出する。次に、図5(b)に示すよう
に、濃度加算値演算部11は、各セクタ毎の濃度加算値
A1〜A20を算出する。この濃度加算値データは、1
次差分演算部12に供給される。
【0026】1次差分演算部12は、以下のようにして
濃度加算値の1次差分B1〜B18を算出する。
【0027】B1=A3−A1,B2=A4−A2,…
…,B18=A20−A18 図5(c)は、このようにして算出された1次差分をグ
ラフにしたものである。
【0028】次に、2次差分演算部13は、このように
して求められた1次差分B1〜B18から2次差分C1
〜C17(絶対値)を以下のようにして算出する。
【0029】C1=|B2−B1|,C2=|B3−B
2|,……,C17=|B18−B17| 図5(d)は、このようにして算出された2次差分をグ
ラフにしたものである。この図5(d)から分かるよう
に、2次差分の特性曲線は、その両端で急俊に立ち上が
りかつ急俊に立ち下がっており、この立ち上がりと立ち
下がりの区間を検査区間とすれば、この検査区間内の波
形から、バリ及び欠けが検出できる。
【0030】図5は、バリ及び欠けのない正常なゴムシ
ールの検査結果を模式的に示したののであるが、外径に
バリの有る不良のゴムシールの場合は、図6に示すよう
になる。
【0031】すなわち、図6に示すように、外径にバリ
4がある場合、その濃度加算値、1次差分及び2次差分
の各特性は、それぞれ図6(b),(c),(d)に示
すようになる。図6(d)の2次差分の特性から分かる
ように、バリの有る部分の波形は、顕著に突出したもの
となる。
【0032】内径にバリがある場合も同様の手法により
検出できる。但し、図5(b),(c),(d)に示す
ように外径のものとは逆特性となる。
【0033】欠陥検出部14は、このような、特性デー
タからゴムシールに生じるバリや欠け等の欠陥を検出
し、欠陥が検出された場合には、排除指令を生成する。
【0034】このように本実施例によれば、平板円形状
に形成されたゴムシールの外径部及び内径部に生じる2
画素以下のバリや欠けをも正確にかつ容易に検出するこ
とができる。
【0035】図7は、本発明に係る円形体の形状検査装
置の他の実施例(第2実施例)の構成を示すブロック図
である。
【0036】前記第1実施例は、図8に示すような、形
状の鋭いバリ、欠けを検査するには、好適であるが、図
9に示すように、形状のなだらかなバリ、欠けを検出す
る場合,特に内径に形成されたなだらかな欠けを検出す
る場合には、濃度加算値の1次差分をとってもその差は
僅かであり、精度の良い検出ができない。このため、本
実施例では、このなだらかなバリ、欠けを正確に検出す
るアルゴリズムが構築された装置を提供するものであ
る。
【0037】図7に示すように、各検査領域を一方向に
配列した複数の画素領域の集合としてそれぞれ検出し、
各画素領域毎の濃度加算値をそれぞれ算出する濃度加算
値演算部21と、前記算出された外径用検査領域または
内径用検査領域のいずれか一方の濃度加算値の内で、最
大濃度加算値を有する画素領域を検出し、検出された画
素領域と線対称となる画素領域との濃度加算値の差分を
前記外径用検査領域または内径用検査領域のいずれか他
方の濃度加算値の補正量として算出する補正量演算部2
2と、前記外径用検査領域または内径用検査領域のいず
れか他方における画素領域間の濃度加算値の差分量をそ
れぞれ算出する差分量演算部23と、前記算出された差
分量および補正量に基づき前記被検査体のバリ、欠け等
の欠陥を検出する欠陥検出部24とを備えている。
【0038】本実施例の検査ウィンドウは、図4に示す
ように、外径検査ウィンドウ15と内径検査ウィンドウ
16とから成るとともに外径検査ウィンドウ15および
内径用検査ウィンドウのそれぞれが前記リング状のゴム
シールの中心線に対して対称となる一対から構成されて
いる。
【0039】次に本実施例の作用を説明する。
【0040】この例は、内径に形成されたなだらかなバ
リ、欠けを検出するものであり、先ず、図10に示すよ
うに、補正量演算部22では外径の各セクタ毎の濃度加
算値の最大値を上下の各ウィンドウでそれぞれ求め、そ
の差を補正量として算出する。
【0041】補正量=YUmax −YDmax 次に、各検査領域(ルックアップ・テーブルの値)は線
対称に作られているので、差分演算部23では内径検査
ウィンドウにおける相対するセクタの濃度加算値の差分
を求める。
【0042】差分=XUi −XDi そして、欠陥検出部24では求められた補正量を演算さ
れた差分に加算し、判定しきい値と比較することによ
り、バリや欠け等の欠陥を検出する。
【0043】 差分+補正量=XUi −XDi +YUmax −YDmax このように本実施例によれば、正確な位置決めがされな
い場合にあっても、なだらかなバリや欠けを容易に検出
することができる。
【0044】ところで、図11に示すように、ゴムシー
ルの内径が比較的大きい場合、例えば、上記の実施例に
おける外径ウィンドウ15によってゴムシールの上下左
右の4か所を検査した場合、四隅に検査不能領域19が
存在することとなる。
【0045】そこで、図12に示すように、この実施例
における外径検査ウィンドウ25及び内径検査ウィンド
ウ26は、円形体の円周形状に沿って、一部が曲線状に
形成されている。このように各検査ウィンドウ25,2
6を設定することにより、前記検査不能領域19が存在
するのを防止できる。
【0046】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、円
形体に形成されるバリや欠け等の欠陥を正確かつ簡単に
検出可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る円形体の形状検査装置の一実施例
の構成を示すブロック図である。
【図2】本発明に係る円形体の形状検査装置が適用され
たゴムシール検査システムの構成例を示すブロック図で
ある。
【図3】本実施例の被検査体であるゴムシールの構成を
示す説明図である。
【図4】被検査体とウィンドウとの関係を示す説明図で
ある。
【図5】図1に示す実施例の動作原理の説明図である。
【図6】図1に示す実施例における外径検査時の特性を
示す説明図である。
【図7】本発明に係る円形体の形状検査装置の他の実施
例の構成を示すブロック図である。
【図8】鋭いバリ、欠けの具体例を示す説明図である。
【図9】なだらかなバリ、欠けの具体例を示す説明図で
ある。
【図10】図9に示すなだらかなバリ、欠けを検出する
動作原理を示す説明図である。
【図11】検査ウィンドウ形状の問題点を示す説明図で
ある。
【図12】検査ウィンドウ形状の変形例を示す説明図で
ある。
【図13】濃度加算値演算部の構成を示すブロック図で
ある。
【図14】従来における円形体に形成されたバリや欠け
の説明図である。
【図15】従来より使用されているバリ検査ウィンドウ
の説明図である。
【図16】従来より使用されている欠け検査ウィンドウ
の説明図である。
【図17】従来におけるバリ、欠け検査時の位置補正の
問題点を示す説明図である。
【符号の説明】
1 ゴムシール 4 バリ 5 欠け 11,21 濃度加算値演算部 12 1次差分演算部 13 2次差分演算部 14,24 欠陥検出部 15,25 外径検査ウィンドウ 16,26 内径検査ウィンドウ 22 補正量演算部 23 差分量演算部
【手続補正書】
【提出日】平成13年9月20日(2001.9.2
0)
【手続補正1】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
【手続補正2】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0011
【補正方法】変更
【補正内容】
【0011】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに請求項1記載の発明は、円形部を有する被検査体を
一方向に配列した複数の画素領域の集合として検出し、
前記画素領域の各々の画素データを濃度変換する濃度変
換手段と、この濃度変換手段により濃度変換された値を
前記各画素領域毎に加算する濃度加算値演算手段と、異
なる画素領域間における前記算出された濃度加算値の差
分量を1次差分として順次算出する1次差分演算手段
と、前記算出された1次差分に基づき前記画素領域の異
なる領域間の各々の前記1次差分間の差分量を2次差分
として順次算出する2次差分演算手段と、前記算出され
た2次差分に基づき前記被検査体のバリや欠け等の欠陥
を検出する欠陥検出手段とを具備することを特徴として
いる。
【手続補正3】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】0013
【補正方法】変更
【補正内容】
【0013】
【作用】請求項1記載の発明の構成によれば、円形部を
有する被検査体を一方向に配列した複数の画素領域の集
合として検出し、画素領域の各々の画素データを濃度変
換し、濃度変換された値を各画素領域毎に加算する。次
いで、算出された濃度加算値の異なる画素領域間におけ
る1次差分を順次算出する。さらに、算出された1次差
分間の差分量を2次差分として順次算出する。そして、
算出された2次差分に基づき前記被検査体のバリや欠け
等の欠陥を検出する。円形体にバリや欠け等の欠陥が有
る場合には、各画素領域での順次求められた2次差分を
正常値と比較すると、顕著な違いが生じるので、この違
いがする箇所を欠陥として検出する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新倉 淳一 神奈川県川崎市幸区堀川町66番2 東芝エ ンジニアリング株式会社内 Fターム(参考) 2F065 AA49 BB03 CC00 EE00 FF02 FF42 GG17 HH12 HH14 HH15 JJ03 JJ05 JJ09 JJ26 QQ03 QQ13 QQ23 QQ27 QQ36 TT03 2G051 AA07 AB07 CA03 CA07 CB01 CB02 DA01 EA11 EA12 EB01 ED07 5B057 AA02 BA02 CH07 CH09 DA03 DB02 DB05 DB09 DC09 DC19 DC32

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 円形部を有する被検査体を一方向に配列
    した複数の画素領域の集合として検出し、各画素領域毎
    の濃度加算値をそれぞれ算出する濃度加算値演算手段
    と、 異なる画素領域間における前記算出された濃度加算値の
    差分量を1次差分として順次算出する1次差分演算手段
    と、 前記算出された1次差分に基づき前記画素領域の異なる
    領域間の各々の前記1次差分間の差分量を2次差分とし
    て順次算出する2次差分演算手段と、 前記算出された2次差分に基づき前記被検査体のバリや
    欠け等の欠陥を検出する欠陥検出手段と、 を具備することを特徴とする円形体の形状検査装置。
  2. 【請求項2】 前記被検査体がリング状である場合の検
    査領域が、外径用検査領域と内径用検査領域とから成る
    ことを特徴とする請求項1記載の円形体の形状検査装
    置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010118046A (ja) * 2008-10-14 2010-05-27 Shibaura Mechatronics Corp 画像処理方法、画像処理装置及び該画像処理装置を用いた表面検査装置
JP2014071521A (ja) * 2012-09-27 2014-04-21 Fujitsu Frontech Ltd 情報処理装置、印影評価方法、および印影評価プログラム
JP2015137945A (ja) * 2014-01-22 2015-07-30 トヨタ自動車株式会社 検査装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010118046A (ja) * 2008-10-14 2010-05-27 Shibaura Mechatronics Corp 画像処理方法、画像処理装置及び該画像処理装置を用いた表面検査装置
JP2014071521A (ja) * 2012-09-27 2014-04-21 Fujitsu Frontech Ltd 情報処理装置、印影評価方法、および印影評価プログラム
JP2015137945A (ja) * 2014-01-22 2015-07-30 トヨタ自動車株式会社 検査装置

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