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住友化学株式会社 |
重合体、フォトレジスト組成物及びパターンの製造方法
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富士フイルム株式会社 |
感活性光線性または感放射線性樹脂組成物、及び該感光性組成物を用いたパターン形成方法
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감방사선성 조성물 및 신규 화합물
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ローム アンド ハース エレクトロニック マテリアルズ エルエルシーRohm and Haas Electronic Materials LLC |
感光性コポリマーおよびフォトレジスト組成物
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塩、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
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(ja)
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東京応化工業株式会社 |
レジスト組成物、レジストパターン形成方法
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2013-02-20 |
2014-07-23 |
富士フイルム株式会社 |
ポジ型レジスト組成物、及び該レジスト組成物を用いたパターン形成方法
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(ko)
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2013-12-26 |
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아사히 가세이 가부시키가이샤 |
감광성 수지 조성물 및 감광성 수지 적층체
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2016-11-14 |
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化学増幅レジスト材料及びパターン形成方法
|
JP7285144B2
(ja)
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2018-06-28 |
2023-06-01 |
住友化学株式会社 |
塩、酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
|
JP7570838B2
(ja)
|
2019-07-08 |
2024-10-22 |
住友化学株式会社 |
酸発生剤、レジスト組成物及びレジストパターンの製造方法
|