JP2002131765A - 液晶注入装置 - Google Patents
液晶注入装置Info
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- JP2002131765A JP2002131765A JP2000332099A JP2000332099A JP2002131765A JP 2002131765 A JP2002131765 A JP 2002131765A JP 2000332099 A JP2000332099 A JP 2000332099A JP 2000332099 A JP2000332099 A JP 2000332099A JP 2002131765 A JP2002131765 A JP 2002131765A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】真空下における液晶の揮発を抑える液晶注入装
置および液晶注入方法を提供できる。 【解決手段】液晶の揮発を抑えるため、真空容器の内壁
を鏡面にして表面積を小さくし、またフッ素系樹脂で被
覆し、撥水性にして、内壁への揮発粒子の吸着を抑え
る。
置および液晶注入方法を提供できる。 【解決手段】液晶の揮発を抑えるため、真空容器の内壁
を鏡面にして表面積を小さくし、またフッ素系樹脂で被
覆し、撥水性にして、内壁への揮発粒子の吸着を抑え
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示素子の製
造に関するものである。更に詳しくは液晶表示素子の製
造における液晶注入時の液晶の脱泡に関する。
造に関するものである。更に詳しくは液晶表示素子の製
造における液晶注入時の液晶の脱泡に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶表示素子は、二枚の電極付きガラス
基板の間隙に液晶層を設け、電気光学効果により、文
字、数字、図、絵などを表示する装置として、既に知ら
れている。このような液晶表示素子の液晶注入装置や液
晶注入方法は主に次の３種類に大別される。
基板の間隙に液晶層を設け、電気光学効果により、文
字、数字、図、絵などを表示する装置として、既に知ら
れている。このような液晶表示素子の液晶注入装置や液
晶注入方法は主に次の３種類に大別される。
【０００３】（１）一方のガラス基板上に液晶を滴下
し、その上にポリマービ−ズ、シリカビ−ズ等の電気絶
縁性のスペ−サを介して、もう一枚のガラス基板を重ね
合わせる装置により液晶表示素子内に液晶を注入する方
法（特開平４−２８５９１０号公報）。
し、その上にポリマービ−ズ、シリカビ−ズ等の電気絶
縁性のスペ−サを介して、もう一枚のガラス基板を重ね
合わせる装置により液晶表示素子内に液晶を注入する方
法（特開平４−２８５９１０号公報）。
【０００４】（２）予め、二枚のガラス基板に間隙を設
けた液晶表示素子に注入口の他に、液晶表示素子内の空
気の排気口を設け、液晶表示素子内に液晶を注入する方
法（特開平９−２７４１９３号公報）。
けた液晶表示素子に注入口の他に、液晶表示素子内の空
気の排気口を設け、液晶表示素子内に液晶を注入する方
法（特開平９−２７４１９３号公報）。
【０００５】（３）注入口を設けた液晶表示素子と液晶
を入れた液晶皿を真空可能な容器に入れ、この真空容器
を減圧にした後、注入口を液晶皿に接触させ、この容器
を大気圧に戻す過程で圧力差を利用して液晶表示素子内
に液晶を注入する方法（特許公報昭５８−４９８５３号
公報）。
を入れた液晶皿を真空可能な容器に入れ、この真空容器
を減圧にした後、注入口を液晶皿に接触させ、この容器
を大気圧に戻す過程で圧力差を利用して液晶表示素子内
に液晶を注入する方法（特許公報昭５８−４９８５３号
公報）。
【０００６】いずれの方法も、液晶表示素子内に気泡が
発生しないために、液晶中の溶存ガスを脱泡という形
で、外部に放出する作業が必須である。しかし、（1）
及び（２）は量産に向いていない。
発生しないために、液晶中の溶存ガスを脱泡という形
で、外部に放出する作業が必須である。しかし、（1）
及び（２）は量産に向いていない。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】以上のように、従来の
液晶表示素子の液晶注入方法の特徴を述べたが、現在、
量産に使われている方式は（３）である。（３）の方式
では液晶表示素子のサイズが大きくなるにつけて、液晶
表示素子を入れる真空容器も大きくなる。このため、排
気する時間が長くなる。よって液晶中の組成物が揮発
し、液晶表示素子としては応答等に著しく性能を低下し
てしまう。この対策として、液晶表示素子に注入する液
晶と同じ液晶を同一真空容器内に設けて、揮発する成分
を補給することが提案されている(特公平−３０３２７
０７号公報)。しかし、この方法では余分な液晶を用意
しなければならない。また液晶の量が多くなるので、液
晶中の溶存ガスの脱泡する時間が長くなる。
液晶表示素子の液晶注入方法の特徴を述べたが、現在、
量産に使われている方式は（３）である。（３）の方式
では液晶表示素子のサイズが大きくなるにつけて、液晶
表示素子を入れる真空容器も大きくなる。このため、排
気する時間が長くなる。よって液晶中の組成物が揮発
し、液晶表示素子としては応答等に著しく性能を低下し
てしまう。この対策として、液晶表示素子に注入する液
晶と同じ液晶を同一真空容器内に設けて、揮発する成分
を補給することが提案されている(特公平−３０３２７
０７号公報)。しかし、この方法では余分な液晶を用意
しなければならない。また液晶の量が多くなるので、液
晶中の溶存ガスの脱泡する時間が長くなる。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明者等は真空容器で
の減圧時間と液晶の揮発量との相関を鋭意検討した。真
空開始初期の段階では液晶の揮発は真空容器の壁面への
揮発成分の吸着が支配因子であることを突き止め本発明
に至った。
の減圧時間と液晶の揮発量との相関を鋭意検討した。真
空開始初期の段階では液晶の揮発は真空容器の壁面への
揮発成分の吸着が支配因子であることを突き止め本発明
に至った。
【０００９】この吸着を抑える手段として、（１）減圧
制御可能な真空容器（ベルジャー）を備え、概真空容器
内に液晶セルと、概液晶セルと一定の距離を置いた液晶
を満たした液晶皿とから構成される液晶注入装置におい
て、概真空容器を排気する時、液晶の組成物が蒸発して
概真空容器の内壁に吸着することを防ぐ処置を概真空容
器の内壁に行うことを見出した。（２）概真空容器の内
壁の表面積を小さくすることで、概内壁を鏡面｛表面粗
さ（Ra）０．１、JIS B0601｝及び突起がないこと、及
び概真空容器を小さくすることを見出した。（３）概真
空容器の内壁をテフロンコートすることにより撥水性に
することを見出した。（４）概真空容器の内壁を暖める
ことを見出した。
制御可能な真空容器（ベルジャー）を備え、概真空容器
内に液晶セルと、概液晶セルと一定の距離を置いた液晶
を満たした液晶皿とから構成される液晶注入装置におい
て、概真空容器を排気する時、液晶の組成物が蒸発して
概真空容器の内壁に吸着することを防ぐ処置を概真空容
器の内壁に行うことを見出した。（２）概真空容器の内
壁の表面積を小さくすることで、概内壁を鏡面｛表面粗
さ（Ra）０．１、JIS B0601｝及び突起がないこと、及
び概真空容器を小さくすることを見出した。（３）概真
空容器の内壁をテフロンコートすることにより撥水性に
することを見出した。（４）概真空容器の内壁を暖める
ことを見出した。
【００１０】
【発明の実施の形態】（実施例１）図１に液晶表示素子
および（３）の方式の液晶注入装置を示す。
および（３）の方式の液晶注入装置を示す。
【００１１】液晶表示素子１のサイズは２７０mm（長片
側）×２００mm（短片側）で表示部は対角で１０.４イ
ンチサイズであり、厚みが１.１mmで表面を研磨した透
明なガラス基板を用いた。これら基板の上に共通電極、
信号電極、画素電極などを形成し、更にその最表面にの
配向膜を形成した。本実施例では配向膜としてポリイミ
ドを採用し、印刷機で塗布し焼成後の膜厚を０.０７〜
０.１μm程度とした。その後、配向膜の表面を液晶を配
向させるための配向処理を施した。配向処理はラビング
機を使用し、ラビングロールにレーヨン製バフ布を用い
て行なった。上下基板の接着はシール剤（エポキシ系樹
脂）の中にポリマービーズを適量混入し、シールマスク
を用いて基板上に印刷した。その後、シール剤の仮硬化
を行い、上下基板を組み合わせた。そして、プレスを用
いて２枚の基板を加圧しつつ、シール剤を硬化した。液
晶表示素子内には球形のポリマービーズを基板間に狭持
し、液晶封入状態でギャップを６.０μmとしたシール剤
は基板周辺に設けられ、その短辺側の一部に液晶を注入
できるように液晶注入口３が設けられている。この液晶
表示素子のラビング角度は短辺側に対して４５度にし、
上下基板間で直交する配置とした。液晶注入口３の幅は
３０mmである。
側）×２００mm（短片側）で表示部は対角で１０.４イ
ンチサイズであり、厚みが１.１mmで表面を研磨した透
明なガラス基板を用いた。これら基板の上に共通電極、
信号電極、画素電極などを形成し、更にその最表面にの
配向膜を形成した。本実施例では配向膜としてポリイミ
ドを採用し、印刷機で塗布し焼成後の膜厚を０.０７〜
０.１μm程度とした。その後、配向膜の表面を液晶を配
向させるための配向処理を施した。配向処理はラビング
機を使用し、ラビングロールにレーヨン製バフ布を用い
て行なった。上下基板の接着はシール剤（エポキシ系樹
脂）の中にポリマービーズを適量混入し、シールマスク
を用いて基板上に印刷した。その後、シール剤の仮硬化
を行い、上下基板を組み合わせた。そして、プレスを用
いて２枚の基板を加圧しつつ、シール剤を硬化した。液
晶表示素子内には球形のポリマービーズを基板間に狭持
し、液晶封入状態でギャップを６.０μmとしたシール剤
は基板周辺に設けられ、その短辺側の一部に液晶を注入
できるように液晶注入口３が設けられている。この液晶
表示素子のラビング角度は短辺側に対して４５度にし、
上下基板間で直交する配置とした。液晶注入口３の幅は
３０mmである。
【００１２】このようにして作製した液晶表示素子への
液晶注入方法を図１を用いて説明する。
液晶注入方法を図１を用いて説明する。
【００１３】真空容器９の外壁１１と内壁１２との間に
ヒータ１０が設けられている。図１は真空容器９は箱型
（６面体）であるが、１面体を表しているので、ヒータ
１０は他の面内にも設けられている。内壁１２はステン
レス製板で鏡面に仕上がっている｛表面粗さ（Ra）０．
１、JIS B0601｝。内壁１２の温度を５０℃になるよう
に、ヒータ１０の出力を調節した。この真空容器９の中
には液晶表示素子１が注入口３を下にして配置されてい
る。真空容器９の外部に設けられた上下駆動装置８に接
続されている液晶皿４（取り外し可能）には、揮発し易
い成分を含む液晶２（比抵抗５×１０13Ω・ｃｍ）が注
入口の幅より大きい面積で入っている。また、真空容器
９の外部には真空ポンプ５とピラニ真空計１３が設けら
れている。真空ポンプ５を作動させ、調整バルブ６でピ
ラニ真空計１３をモニタしながら排気量を調整し、真空
度が４５分で１Paになるまで真空容器９内を排気する。
つぎに上下駆動装置８を作動させて液晶２を注入口３に
漬す。その後調整バルブ６を閉じ、開閉弁１４を開け
て、窒素又は空気を導入して液晶セル１内に液晶２を注
入する。液晶注入終了後、液晶注入口３を紫外線硬化剤
（アクリル性樹脂）で封止した。目視観察及び顕微鏡観
察により気泡は認められなかった。また、直交ニコル下
での観察では、注入工程に起因するところの筋ムラ、封
入口ムラも認められなかった。そしてこの液晶表示素子
１の応答を２５℃下で測定したところ、２５ｍｓであっ
た。
ヒータ１０が設けられている。図１は真空容器９は箱型
（６面体）であるが、１面体を表しているので、ヒータ
１０は他の面内にも設けられている。内壁１２はステン
レス製板で鏡面に仕上がっている｛表面粗さ（Ra）０．
１、JIS B0601｝。内壁１２の温度を５０℃になるよう
に、ヒータ１０の出力を調節した。この真空容器９の中
には液晶表示素子１が注入口３を下にして配置されてい
る。真空容器９の外部に設けられた上下駆動装置８に接
続されている液晶皿４（取り外し可能）には、揮発し易
い成分を含む液晶２（比抵抗５×１０13Ω・ｃｍ）が注
入口の幅より大きい面積で入っている。また、真空容器
９の外部には真空ポンプ５とピラニ真空計１３が設けら
れている。真空ポンプ５を作動させ、調整バルブ６でピ
ラニ真空計１３をモニタしながら排気量を調整し、真空
度が４５分で１Paになるまで真空容器９内を排気する。
つぎに上下駆動装置８を作動させて液晶２を注入口３に
漬す。その後調整バルブ６を閉じ、開閉弁１４を開け
て、窒素又は空気を導入して液晶セル１内に液晶２を注
入する。液晶注入終了後、液晶注入口３を紫外線硬化剤
（アクリル性樹脂）で封止した。目視観察及び顕微鏡観
察により気泡は認められなかった。また、直交ニコル下
での観察では、注入工程に起因するところの筋ムラ、封
入口ムラも認められなかった。そしてこの液晶表示素子
１の応答を２５℃下で測定したところ、２５ｍｓであっ
た。
【００１４】つぎに液晶表示素子１を取り除き、同様の
条件下で行った結果、液晶２の揮発量（重量減少量）は
初期の液晶２の重量１ｇに対し1.2ｍｇであった。また
ヒータ１０をOFFにして、温度を室温（２５℃）で行っ
たところ、液晶２の揮発量（重量減少量）は初期の液晶
２の重量１ｇに対し３ｍｇであった。ただし、揮発成分
に関しては、ガスクロマトグラフでは検知できない減少
量であった。これらの液晶２の比抵抗を測定し、汚れが
ないことが分かった。
条件下で行った結果、液晶２の揮発量（重量減少量）は
初期の液晶２の重量１ｇに対し1.2ｍｇであった。また
ヒータ１０をOFFにして、温度を室温（２５℃）で行っ
たところ、液晶２の揮発量（重量減少量）は初期の液晶
２の重量１ｇに対し３ｍｇであった。ただし、揮発成分
に関しては、ガスクロマトグラフでは検知できない減少
量であった。これらの液晶２の比抵抗を測定し、汚れが
ないことが分かった。
【００１５】（実施例２）ステンレス製板で鏡面に仕上
がっている内壁１２の内側に、フッ素樹脂１５を１ミク
ロンの厚さにコートした真空容器９で構成される液晶注
入装置を用いた液晶注入方法について図２で説明する。
がっている内壁１２の内側に、フッ素樹脂１５を１ミク
ロンの厚さにコートした真空容器９で構成される液晶注
入装置を用いた液晶注入方法について図２で説明する。
【００１６】真空容器９の外壁１１と内壁１２との間に
ヒータ１０が設けられている。図２は真空容器９は箱型
（６面体）であるが、１面体を表しているので、ヒータ
１０は他の面内にも設けられている。内壁１２はステン
レス製板で鏡面に仕上がっている｛表面粗さ（Ra）０．
１、JIS B0601｝。内壁１２の温度を５０℃になるよう
に、ヒータ１０の出力を調節した。この真空容器９の中
には液晶表示素子１が注入口３を下にして配置されてい
る。真空容器９の外部に設けられた上下駆動装置８に接
続されている液晶皿４（取り外し可能）には、揮発し易
い成分を含む液晶２（比抵抗５×１０13Ω・ｃｍ）が注
入口の幅より大きい面積で入っている。また、真空容器
９の外部には真空ポンプ５とピラニ真空計１３が設けら
れている。真空ポンプ５を作動させ、調整バルブ６でピ
ラニ真空計１３をモニタしながら排気量を調整し、真空
度が４５分で１Paになるまで真空容器９内を排気する。
つぎに上下駆動装置８を作動させて液晶２を注入口３に
漬す。その後調整バルブ６を閉じ、開閉弁１４を開け
て、窒素又は空気を導入して液晶セル１内に液晶２を注
入する。液晶注入終了後、液晶注入口３を紫外線硬化剤
（アクリル性樹脂）で封止した。目視観察及び顕微鏡観
察により気泡は認められなかった。また、直交ニコル下
での観察では、注入工程に起因するところの筋ムラ、封
入口ムラも認められなかった。そしてこの液晶表示素子
１の応答を２５℃下で測定したところ、２５ｍｓであっ
た。
ヒータ１０が設けられている。図２は真空容器９は箱型
（６面体）であるが、１面体を表しているので、ヒータ
１０は他の面内にも設けられている。内壁１２はステン
レス製板で鏡面に仕上がっている｛表面粗さ（Ra）０．
１、JIS B0601｝。内壁１２の温度を５０℃になるよう
に、ヒータ１０の出力を調節した。この真空容器９の中
には液晶表示素子１が注入口３を下にして配置されてい
る。真空容器９の外部に設けられた上下駆動装置８に接
続されている液晶皿４（取り外し可能）には、揮発し易
い成分を含む液晶２（比抵抗５×１０13Ω・ｃｍ）が注
入口の幅より大きい面積で入っている。また、真空容器
９の外部には真空ポンプ５とピラニ真空計１３が設けら
れている。真空ポンプ５を作動させ、調整バルブ６でピ
ラニ真空計１３をモニタしながら排気量を調整し、真空
度が４５分で１Paになるまで真空容器９内を排気する。
つぎに上下駆動装置８を作動させて液晶２を注入口３に
漬す。その後調整バルブ６を閉じ、開閉弁１４を開け
て、窒素又は空気を導入して液晶セル１内に液晶２を注
入する。液晶注入終了後、液晶注入口３を紫外線硬化剤
（アクリル性樹脂）で封止した。目視観察及び顕微鏡観
察により気泡は認められなかった。また、直交ニコル下
での観察では、注入工程に起因するところの筋ムラ、封
入口ムラも認められなかった。そしてこの液晶表示素子
１の応答を２５℃下で測定したところ、２５ｍｓであっ
た。
【００１７】つぎに液晶表示素子１を取り除き、同様の
条件下で行った結果、液晶２の揮発量（重量減少量）は
初期の液晶２の重量１ｇに対し０.８ｍｇであった。ま
たヒータ１０をOFFにして、温度を室温（２５℃）で行
ったところ、液晶２の揮発量（重量減少量）は初期の液
晶２の重量１ｇに対し１．５ｍｇであった。ただし、揮
発成分に関しては、ガスクロマトグラフでは検知できな
い減少量であった。これらの液晶２の比抵抗を測定し、
汚れがないことが分かった。
条件下で行った結果、液晶２の揮発量（重量減少量）は
初期の液晶２の重量１ｇに対し０.８ｍｇであった。ま
たヒータ１０をOFFにして、温度を室温（２５℃）で行
ったところ、液晶２の揮発量（重量減少量）は初期の液
晶２の重量１ｇに対し１．５ｍｇであった。ただし、揮
発成分に関しては、ガスクロマトグラフでは検知できな
い減少量であった。これらの液晶２の比抵抗を測定し、
汚れがないことが分かった。
【００１８】（比較例）図３に従来方式の液晶表示素子
および（３）の方式の液晶注入装置を示す。
および（３）の方式の液晶注入装置を示す。
【００１９】真空容器の内壁１６の表面は鏡面より劣
り、表面積が大きい真空容器を用いて実施例１と同様に
して行った。その結果、目視観察及び顕微鏡観察により
気泡は認められなかった。また、直交ニコル下での観察
では、注入工程に起因するところの筋ムラ、封入口ムラ
も認められなかった。しかし、この液晶表示素子１の応
答を２５℃下で測定したところ、２５０ｍｓであり、実
施例１より遅い応答であった。
り、表面積が大きい真空容器を用いて実施例１と同様に
して行った。その結果、目視観察及び顕微鏡観察により
気泡は認められなかった。また、直交ニコル下での観察
では、注入工程に起因するところの筋ムラ、封入口ムラ
も認められなかった。しかし、この液晶表示素子１の応
答を２５℃下で測定したところ、２５０ｍｓであり、実
施例１より遅い応答であった。
【００２０】つぎに液晶表示素子１を取り除き、同様の
条件下で行った結果、液晶２の揮発量（重量減少量）は
初期の液晶２の重量１ｇに対し１８ｍｇであった。また
ヒータ１０をOFFにして、温度を室温（２５℃）で行っ
たところ、液晶２の揮発量（重量減少量）は初期の液晶
２の重量１ｇに対し２６ｍｇであり、真空容器の内壁へ
の吸着による揮発量の増加が認められた。ガスクロマト
グラフで揮発性の大きい低分子量成分が１２％減少した
ことが分かった。しかし、液晶２の比抵抗を測定した
が、汚れはなかった。
条件下で行った結果、液晶２の揮発量（重量減少量）は
初期の液晶２の重量１ｇに対し１８ｍｇであった。また
ヒータ１０をOFFにして、温度を室温（２５℃）で行っ
たところ、液晶２の揮発量（重量減少量）は初期の液晶
２の重量１ｇに対し２６ｍｇであり、真空容器の内壁へ
の吸着による揮発量の増加が認められた。ガスクロマト
グラフで揮発性の大きい低分子量成分が１２％減少した
ことが分かった。しかし、液晶２の比抵抗を測定した
が、汚れはなかった。
【００２１】
【発明の効果】本発明の液晶表示素子の液晶注入装置お
よび液晶注入方法を用いれば、従来方式と異なり液晶の
揮発を抑えることができるため、特に高速応答用の注入
には有効な液晶注入装置および液晶注入方法を提供でき
る。
よび液晶注入方法を用いれば、従来方式と異なり液晶の
揮発を抑えることができるため、特に高速応答用の注入
には有効な液晶注入装置および液晶注入方法を提供でき
る。
【図１】本発明に係る液晶表示装置および液晶注入方法
の説明図である。
の説明図である。
【図２】本発明に係る液晶表示装置および液晶注入方法
の説明図である。
の説明図である。
【図３】従来法に係わる液晶表示装置および液晶注入方
法の説明図である。
法の説明図である。
１…液晶表示素子、２…液晶、３…液晶注入口、４…液
晶皿、５…真空ポンプ、６…調整バルブ、７…ブローバ
ルブ、８…上下駆動装置、９…真空容器、１０…ヒー
タ、１１…真空容器の外壁、１２…真空容器の内壁、１
３…ピラニ真空計、１４…ガス導入バルブ、１５…フッ
素系樹脂、１６…従来法の真空容器の内壁。
晶皿、５…真空ポンプ、６…調整バルブ、７…ブローバ
ルブ、８…上下駆動装置、９…真空容器、１０…ヒー
タ、１１…真空容器の外壁、１２…真空容器の内壁、１
３…ピラニ真空計、１４…ガス導入バルブ、１５…フッ
素系樹脂、１６…従来法の真空容器の内壁。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 近藤 克己 茨城県日立市大みか町七丁目１番１号 株 式会社日立製作所日立研究所内 Ｆターム(参考） 2H089 NA25 NA60 QA13 5G435 AA17 BB12 KK05 KK10
Claims (6)
- 【請求項１】 減圧制御可能な真空容器（ベルジャー）
を備え、概真空容器内に液晶セルと、概液晶セルと一定
の距離を置いた液晶を満たした液晶皿とから構成される
液晶注入装置において、概真空容器を排気する時、液晶
の組成物が蒸発して概真空容器の内壁に吸着することを
防ぐ処置を概真空容器の内壁に行うことを特徴とする液
晶注入装置。 - 【請求項２】 請求項１の液晶の組成物が蒸発して概真
空容器の内壁に吸着することを防ぐ処置として、概真空
容器の内壁の表面積を小さくすることで、概内壁を鏡面
及び突起がないこと、及び概真空容器を小さくすること
を特徴とする液晶注入装置。 - 【請求項３】 請求項１の液晶の組成物が蒸発して概真
空容器の内壁に吸着することを防ぐ処置として、概真空
容器の内壁を撥水性にすることを特徴とする液晶注入装
置。 - 【請求項４】 請求項１の液晶の組成物が蒸発して概真
空容器の内壁に吸着することを防ぐ処置として、概真空
容器の内壁を暖めることを特徴とする液晶注入装置。 - 【請求項５】 請求項２の概内壁を鏡面はJIS B0601で
定める表面粗さ（Ra）が0.1以下であることを特徴とす
る液晶注入装置。 - 【請求項６】 請求項３の概内壁の撥水性はテフロン
（登録商標）を厚さ１ミクロンコートすることを特徴と
する液晶注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000332099A JP2002131765A (ja) | 2000-10-25 | 2000-10-25 | 液晶注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000332099A JP2002131765A (ja) | 2000-10-25 | 2000-10-25 | 液晶注入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002131765A true JP2002131765A (ja) | 2002-05-09 |
Family
ID=18808346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000332099A Pending JP2002131765A (ja) | 2000-10-25 | 2000-10-25 | 液晶注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002131765A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010276714A (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Shimadzu Corp | 液体注入装置 |
-
2000
- 2000-10-25 JP JP2000332099A patent/JP2002131765A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010276714A (ja) * | 2009-05-26 | 2010-12-09 | Shimadzu Corp | 液体注入装置 |
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