JP2002131028A - 角形材の形状測定方法および形状測定装置 - Google Patents

角形材の形状測定方法および形状測定装置

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JP2002131028A
JP2002131028A JP2000324549A JP2000324549A JP2002131028A JP 2002131028 A JP2002131028 A JP 2002131028A JP 2000324549 A JP2000324549 A JP 2000324549A JP 2000324549 A JP2000324549 A JP 2000324549A JP 2002131028 A JP2002131028 A JP 2002131028A
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Hiroyuki Watanabe
裕之 渡邊
Kiyoaki Niimi
清明 新美
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Daido Steel Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 角形材の側面形状の測定と角部の異常部分の
検出とが同時になし得る角形材の形状測定方法および形
状測定装置を提供する。 【解決手段】 角形材の側端部にスリット光を照射角度
を変えて照射するとともにその照射ごとにその照射個所
を撮像することを角形材の長手方向に沿って所定間隔で
なし、それにより得られた撮像画像に基づいて角形材の
側面形状を測定するとともに角落ちなどの角部の異常も
検出するものである。

Description

【発明の詳細な説明】 【0001】 【発明の属する技術分野】本発明は、角形材の形状測定
方法および形状測定装置に関する。さらに詳しくは、角
形材の側面形状を測定できるとともに、角部の異常も同
時に検出できる角形材の形状測定方法および形状測定装
置に関する。 【0002】 【従来の技術】従来より、角形鋼材の圧延工程において
は後工程での処理のため、圧延後の鋼材の形状測定がな
されている。この形状測定は、例えば図15に示すよう
に、平角材W´の上面および側面に各々に対して垂直に
配置された変位計101、101を平角材W´の長手方
向に移動させて測定するという方法が用いられている。
また、側面形状については、例えば図16に示すよう
に、平角材W´の側端部上方に配置された投光器102
とこの投光器102に対応させて側端部下方に配置され
た受光器103とを平角材W´の長手方向に移動させて
平角材W´の全長にわたってエッジ位置を検出するとい
う方法も用いられている。 【0003】しかしながら、圧延後の圧延材の側面は一
般的には平面とはならず、板厚が薄い場合は、図17
(a)に示すように、側面中央が膨出した形状となる一
方、板厚が厚い場合は、図17(b)に示すように、側
面中央が陥没した形状となる。かかる側面形状は製品と
して好ましくないので、側面中央が膨出したり陥没した
りした場合は、切断作業により膨出部や陥没部が除去さ
れている。しかるに、前述したような側面測定方法では
膨出した形状や陥没した形状を測定しているため、後工
程に搬出される鋼材のプロフィルを忠実に反映できない
という問題がある。 【0004】なお、切断作業後に再度側面形状を測定す
れば前記問題は解消されるが、生産性の著しい低下を招
来するという別の問題を生ずる。 【0005】また、平角材W´側端部の上方および下方
にそれぞれ投光器102および受光器103を配設して
測定する方法にあっては、スキッドS´が障害となって
受光器103を平角材W´の全長にわたって移動させる
ことが困難であるという問題がある。 【0006】さらに、図17(c)に示すように、エッ
ジに角落ちなどの異常がある場合にも、後工程への搬出
前に角落ち部分が切断されるが、従来、投光器102の
光源としてサイズの大きいハロゲン光やLED光が用い
られているため、単光源による1方向からの照射しかで
きず、そのため角落ち部の位置を精度よく測定できない
という問題がある。 【0007】 【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来技
術の課題に鑑みなされたものであって、平角材のような
角を有する角形材の側面形状の測定と角部の異常部分の
検出とが同時になし得る角形材の形状測定方法および形
状測定装置を提供することを目的としている。 【0008】 【課題を解決するための手段】本発明の角形材の形状測
定方法は、角形材の側端部にスリット光を照射角度を変
えて照射するとともにその照射ごとにその照射個所を撮
像することを該角形材の長手方向に沿って所定間隔でな
しそれにより得られた撮像画像に基づいて角形材の側面
形状を測定するとともに角落ちなどの角部の異常を検出
することを特徴とする。 【0009】本発明の角形材の形状測定方法において
は、撮像に同期させてスリット光が照射されている面の
変位を測定し、それにより角形材の長手方向の形状を測
定するとともにその測定値に基づいて側面形状の補正を
するのが好ましい。 【0010】また、本発明の角形材の形状測定方法にお
いては、撮像画像において信号レベルに明瞭な変化があ
る個所をエッジ位置とするのが好ましい。その場合、各
照射ごとの測定値にばらつきがある個所を、角落ちなど
の角部の異常がある個所とするのがさらに好ましい。 【0011】一方、本発明の角形材の形状測定装置は、
角形材の側端部を角度を変えてスリット光を照射するよ
うに構成された光源と、前記光源に照射されている角形
材の側端部を撮像する撮像手段と、移動手段と、制御演
算手段とを備え、前記光源および撮像手段は、前記移動
手段により角形材の長手方向に沿って一体的に移動可能
とされ、前記制御演算手段により、前記光源の照射、前
記撮像手段の撮像および前記移動手段が制御されて、そ
れにより同光源により照射されている角形材の側端部の
撮像手段による撮像が角形材の長手方向に沿って所定間
隔でなされるとともに、前記撮像手段の撮像結果に基づ
いて角形材の側面形状の測定がなされることを特徴とす
る。 【0012】本発明の角形材の形状測定装置において
は、角形材の光源により照射されている面の変位を測定
する変位測定手段を光源および撮像手段と一体的に移動
可能に備え、制御演算手段により前記変位測定手段の測
定値に基づいて角形材の側面形状の補正がなされるのが
好ましい。 【0013】また、本発明の角形材の形状測定装置にお
いては、制御演算手段により撮像画像において信号レベ
ルに明瞭な変化がある個所がエッジ位置とされるのが好
ましい。その場合、制御演算手段により照射ごとの測定
値にばらつきがある個所が角落ちなどの角部の異常があ
る個所とされるのがさらに好ましい。 【0014】さらに、本発明の角形材の形状測定装置に
おいては、光源が、少なくとも低角度とされたスリット
光照射手段と高角度とされたスリット光照射手段とを備
えてなるのが好ましい。ここで、スリット光照射手段
は、例えばレーザマーカーとされる。 【0015】 【作用】本発明は前記のごとく構成されているので、角
形鋼材の側面形状の測定と角落ちなどの角部の異常の検
出が同時になし得る。 【0016】 【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照しながら本
発明を実施形態に基づいて説明するが、本発明はかかる
実施形態のみに限定されるものではない。 【0017】本発明の一実施形態にかかる角形材の形状
測定方法が適用される形状測定装置(以下、単に形状測
定装置という)のブロック図を図1に示し、同概略斜視
図を図2に示す。なお、以下の説明においては、角形材
として平角材Wを例に取り説明する。 【0018】形状測定装置Kは、平角材Wの面形状およ
び側面形状を同時に測定するとともに、エッジの異常部
分の検出をもなすためのものであって、図1および図2
に示すように、平角材Wの面形状および側面形状を測定
する測定部10と、この測定部10を平角材Wの長手方
向に沿って移動させる移動手段20と、測定部10およ
び移動手段20を制御するとともに各種の演算処理を行
う制御演算部30と、設定値などを入力する入力手段5
0と、測定結果を出力する出力手段60とを主要構成要
素としてなる。ここで、入力手段50は、例えばキーボ
ート、タッチパネルなどとされ、出力手段60は、例え
ばプリンタ、CRTディスプレイなどとされる。 【0019】測定部10は、各測定位置における平角材
Wの上下方向変位を測定するためのレーザ変位計11
と、所定角度から平角材Wの上面側端部をスリット光照
射する光源、例えばレーザマーカー12と、平角材Wの
上面側端部からレーザマーカー12により照射された上
面側端部を撮像する撮像手段、例えばCCDラインセン
サ13とを収納ボックス14に備えてなるものとされ
る。具体的には、レーザ変位計11は平角材Wの上方所
定位置となるにように収納され、レーザマーカー12は
照射したスリット光がエッジと直交するようにして収納
され、CCDラインセンサ13は平角材Wの側端部上方
所定位置となるように収納されている。これにより、レ
ーザ変位計11、レーザマーカー12およびCCDライ
ンセンサ13が一体的に移動可能とされる。 【0020】レーザマーカー12の数は、図示例におい
ては3個とされ、すなわち第1レーザマカー12A、第
2レーザマーカー12B、第3レーザマーカー12Cと
され、第1レーザマカー12Aが平角材Wとのなす角θ
は高角度、例えば80度とされ、第2レーザマーカー1
2Bが平角材Wとのなす角θは中角度、例えば45度と
され、第3レーザマーカー12Cが平角材Wとのなす角
θは低角度、例えば20度とされている。なお、図示例
においては、レーザマーカー12は低角度、中角度、高
角度の三位置に配設されているが、中角度を省略して二
位置に配設するようにしてもよい。 【0021】移動手段20は、レール部材21と、この
レール部材21に摺動自在に装着されている摺動ブロッ
ク22と、上端部がこの摺動ブロック22に接合されて
いる連結部材23とを備えてなるものとされる。レール
部材21は、図2に示すように、平角材Wの上方所定位
置においてその長手方向に沿って配設され、また連結部
材23の下端部には適宜手段を介して収納ボックス14
の天井が接合されている。 【0022】制御演算部30は、測定部10のレーザ変
位計11、レーザマーカー12およびCCDラインセン
サ13、ならびに移動手段20に後述する各種作業を指
令する制御部31と、測定部10の出力、つまりレーザ
変位計11、レーザマーカー12およびCCDラインセ
ンサ13からの出力をもとに各種の演算処理を行う演算
処理部32とを有する。 【0023】演算処理部32は、レーザ変位計11の出
力から面形状を算出する面形状算出手段32aと、CC
Dラインセンサ13の出力からエッジ位置を検出するエ
ッジ位置検出手段32bと、検出されたエッジ位置を補
正するエッジ位置補正手段32cと、補正後のエッジ位
置から側面形状を算出する側面形状算出手段32dと、
角落ちなどのエッジの異常を検出する異常部検出手段3
2eとからなる。 【0024】面形状算出手段32aは、図3(a)に示す
ように、各測定位置においてレーザ変位計11により測
定されたレーザ変位計と平角材間との距離xから各測定
位置の基準位置Oxからのずれdx(=L1−x)を求
め、全測定位置について算出されたずれdxから平角材
Wの面形状を算出するものである。ここで、L1は基準
位置Oxからレーザ変位計11までの距離を示す。な
お、図3(b)に面形状算出手段32aにより算出され
た面形状を模式的に示す。 【0025】エッジ位置検出手段32bは、図4に示す
ように、CCDラインセンサ13からの出力値が急激に
変化している位置をエッジ位置として検出するものであ
る。具体的には、その位置のCCDラインセンサ13の
中心軸(以下、基準位置という)Oyからのずれdyを
検出するものである。 【0026】ここで、図4(a)に示すように、エッジ位
置と基準位置Oyが一致している場合には、図中に破線
で示すように上下方向のずれdxが存在してもCCD素
子13a上に投影される像の位置は変化しないため、検
出されるエッジ位置と実際のエッジ位置の間に誤差は生
じない。それに反し、図4(b)に示すように、エッジ
位置と基準位置Oyが一致していない場合、上下方向の
ずれが存在するとCCD素子13a上に投影される像の
位置が変化するため、検出されるエッジ位置と実際のエ
ッジ位置との間に誤差dpが生じることとなる。そこ
で、面形状算出手段32aにより算出された基準位置O
xからの上下方向のずれdxを利用してこの誤差dpを
補正するのがエッジ位置補正手段32cである。 【0027】その誤差(補正量)dpは、図5に示すよ
うに、以下の比例計算により導出される。ここで、L2
はCCDラインセンサ13のレンズ13bと基準位置O
xとの間の距離を示し、dxは上下方向のずれを示し、
dy1はエッジ位置検出手段32bにより検出された基
準位置Oyからのずれを示す。また、dxは下向きが正
とされ、dyは右向きが正とされる。 【0028】L2:dy1=dx:dp つまり、 dp=dx・dy1/L2 となる。したがって、補正後のずれdyは次式により表
される。 【0029】 dy=dy1+dp=(dx+L2)dy1/L2 0030 側面形状算出手段32dは、エッジ位置補正手
段32cにより得られた全測定位置についてのエッジ位
置から、側面形状を算出するものである。図6に側面形
状算出手段32dにより算出された側面形状を模式的に
示す。なお、図中の実線は補正後のエッジ位置から算出
した側面形状を示し、破線は補正前のエッジ位置から算
出した側面形状を示す。 【0031】ところで、エッジに角落ちなどの異常がな
い場合は、レーザマーカー12の照射角を変化させて
も、図7(a)に示すように、照射光のエッジにおける反
射位置は変化しないので、エッジ位置の検出値にばらつ
きを生じない。一方、エッジに角落ちなどの異常が存在
する場合は、レーザマーカー12の照射角を変化させる
と照射光のエッジにおける反射位置も変化するため、図
7(b)に示すように、エッジ位置検出手段32bによ
り検出されるエッジ位置も照射角度により異なるので、
エッジ位置の検出値にばらつきを生ずる。 【0032】そこで、照射角が異なるようにして配設さ
れた第1、第2、第3レーザマーカー12A、12B、
12Cを順次切り替えて照射し、側面形状算出手段32
dにより第1、第2、第3レーザマーカー12A、12
B、12Cの照射ごとに側面形状A、B、Cを算出する
と、図8に模式的に示すように、エッジに角落ちなどの
異常が存在する部分については側面形状A、B、Cが一
致しないので、エッジ部における角落ちなどの異常を検
出できることになる。異常部検出手段32eは、これを
利用してエッジ部の異常を検出するものである。すなわ
ち、照射角の異なる第1、第2、第3レーザマーカー1
2A、12B、12Cの照射ごとに算出された側面形状
A、B、Cの一致していない部分をエッジに角落ちなど
の異常が発生している部分として検出するものである。 【0033】しかして、制御部31および演算処理部3
2は、図9に示すように、入力手段50および出力手段
60を備えたコンピュータ40に制御部31および演算
処理部32の前記各手段32a〜32eの機能に対応さ
せたプログラム、すなわち制御プログラム41a、面形
状算出プログラム43a、エッジ位置検出プログラム4
3b、エッジ位置補正プログラム43c、側面形状算出
プログラム43dおよび異常部検出プログラム43eを
格納することにより実現される。 【0034】次に、かかる構成とされている形状測定装
置Kによる平角材Wの面形状および側面形状の測定につ
いて説明する。 【0035】(1)入力手段50により測定間隔、レー
ザ変位計11と基準位置Oxとの間の距離L1およびC
CDラインセンサ13のレンズ13bと基準位置Oxと
の間の距離L2を入力する。なお、距離L2は距離L1
基づいて自動的に算出されるようにされてもよい。 【0036】(2)制御部31は、入力された測定間隔
で測定が行えるように、移動手段20により測定部10
を平角材Wの長手方向に沿って移動させる。ここで、測
定間隔は、例えば5mmピッチとする。 【0037】(3)制御部31は、各測定位置において
レーザ変位計11に前記距離xを測定させるとともに、
第1、第2、第3レーザマーカー12A、12B、12
Cを順次切り替えて照射させ、その都度平角材Wの上面
側端部をCCDラインセンサ13に撮像させる。 【0038】(4)面形状算出手段32aはレーザ変位
計11の出力から測定位置の基準位置Oxからのずれd
xを求め、全測定位置についてのずれdxから面形状を
算出する。また、エッジ位置検出手段32bはCCDラ
インセンサ13の出力からエッジ位置の基準位置Oyか
らのずれdy1を検出する。ここで、このエッジ検出
は、第1、第2、第3レーザマーカー12A、12B、
12Cを照射した各々の場合について行われる。 【0039】(5)エッジ位置補正手段32cは前記算
出結果dxおよび検出結果dy1からエッジ位置を補正
し、実際のエッジ位置dyを算出する。 【0040】(6)側面形状算出手段32dは補正後の
各測定位置におけるエッジ位置から側面形状を算出す
る。 【0041】(7)異常部検出手段32eは第1、第
2、第3レーザマーカー12A、12B、12Cごとに
算出された側面形状A、B、Cのばらつきからエッジに
角落ちなどの異常が存在する部分を検出する(図8参
照)。 【0042】このように、この実施形態によれば、第
1、第2、第3レーザマーカー12A、12B、12C
により照射された平角材Wの上面側端部をCCDライン
センサで撮像し、その撮像画像において、信号レベルに
明瞭な変化がある個所をエッジ位置として検出するとい
う方法で側面形状を測定しているため、側面の膨らみや
へこみの影響を受けることなく側面形状を測定すること
ができる。また、面形状と側面形状とを同時に測定して
いるので、面形状の測定結果を利用して側面形状の測定
結果を補正することができるため、測定精度が向上す
る。さらに、エッジに角落ちなどの異常が存在する部分
を検出できるため、異常部分を除いた側面形状を精度良
く測定することができる。 【0043】 【実施例】以下、本発明をより具体的な実施例に基づい
て、より具体的に説明する。 【0044】実施例1および実施例2 平角材Wに対して図10に示すようにレーザマーカー1
2およびCCDラインセンサ13を配置し、レーザマー
カー12の平角材Wに対する照射角θを変更しながら、
CCDラインセンサ13により撮像した結果を図11な
いし図14に示す。図11および図12は平角材Wの角
落ちのない部分における撮像結果(実施例1)を示し、
図13および図14は平角材Wの角落ちのある部分にお
ける撮像結果(実施例2)を示す。なお、図において破
線で挟まれた範囲は光源によるゆらぎ幅を示す。また、
参考のために基準材に対してレーザマーカー12の照射
角θを45度に設定して、CCDラインセンサ13によ
り撮像した結果を図12(d)に示す。 【0045】図11ないし図14より、実施例1ではい
ずれの照射角θにおいてもゆらぎ幅を挟んで信号レベル
に明瞭な差異、つりま信号レベルに明瞭な変化が認めら
れるとともに、基準材の撮像画像に類似した信号波形を
呈するのに対し、実施例2では照射角θが大きくなるに
つれて信号レベルのばらつきが大きくなるのが認められ
る。このことから、レーザマーカー12の照射角θを変
化させながら平角材Wの上側端部を照射し、その照射箇
所をCCDラインセンサ13により撮像し、その信号レ
ベルのばらつきを検出することによりエッジ部の異常を
検出できるのが理解される。 【0046】以上、本発明を実施形態および実施例に基
づいて説明してきたが、本発明はかかる実施形態および
実施例に限定されるものではなく、種々改変が可能であ
る。例えば、レーザマーカーを1個とし、それを照射角
変更機構に装着してそれにより照射角を変更しながら照
射させるようにしてもよい。 【0047】また、実施形態および実施例においては、
レーザマーカーの照射位置を角形材の上面側端部として
いるが、圧延設備のレイアウトによっては、レーザマー
カーの照射位置を角形材の下面側端部とし、CCDライ
ンセンサを下方に配設して撮像するようにしてもよい。 【0048】さらに、光源としてはレーザマーカーに限
定されるものではなく、スリット光を照射できる各種光
源とすることができ、また撮像手段もCCDラインセン
サに限定されるものではない。 【0049】 【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
平角材Wの上面側端部を光源により照射するともにその
照射された個所を撮像手段により撮像することを角形材
の長手方向に沿って所定間隔でなし、その撮像画像によ
り角形材の側面形状を測定しているので、側面の膨らみ
やへこみの影響を受けることなく側面形状を測定するこ
とができるととともに、角落ちなどの角部の異常も同時
に検出できるという優れた効果が得られる。 【0050】また、本発明の好ましい形態によれば、面
形状と側面形状を同時に測定しているので、面形状の測
定結果を利用して側面形状の測定結果を補正することが
できるため、測定精度が向上するという優れた効果も得
られる
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態にかかる形状測定方法が適
用される形状測定装置のブロック図である。
【図2】同形状測定装置の概略斜視図である。
【図3】面形状算出方法の説明図であって、同(a)は面
形状算出原理を示し、同(b)は算出結果の模式図であ
る。
【図4】側面形状算出方法の説明図であって、同(a)は
横ずれがない場合を示し、同(b)は横ずれがある場合
を示す。
【図5】エッジ位置の補正量導出の説明図である。
【図6】側面形状算出結果の模式図である。
【図7】CCDラインセンサによる平角材上面側端部の
撮像の様子を示す説明図であって、同(a)はエッジに角
落ちがない場合を示し、同(b)はエッジに角落ちがあ
る場合を示す。
【図8】角落ち検出原理の説明図であって、同(a)は
平角材側面を模式的に示し、同(b)はCCDラインセ
ンサの検出値を模式的に示す。
【図9】本発明の一実施形態にかかる形状測定方法が適
用される形状測定装置をコンピュータで構成したものの
ブロック図である。
【図10】本発明の実施例におけるレーザマーカーとC
CDラインセンサとの関係を示す説明図である。
【図11】実施例1における撮像結果の一部のグラフで
あって、同(a)は照射角が17度の場合を示し、同
(b)は照射角が37度の場合を示し、同(c)は照射
角が45度の場合を示し、同(d)は照射角が58度の
場合を示す。
【図12】実施例1における撮像結果の残部のグラフで
あって、同(a)は照射角が69度の場合を示し、同
(b)は照射角が72度の場合を示し、同(c)は照射
角が75度の場合を示し、同(d)は参考例を示す。
【図13】実施例2における撮像結果の一部のグラフで
あって、同(a)は照射角が10度の場合を示し、同
(b)は照射角が20度の場合を示し、同(c)は照射
角が34度の場合を示し、同(d)は照射角が38度の
場合を示す。
【図14】実施例2における撮像結果の残部のグラフで
あって、同(a)は照射角が45度の場合を示し、同
(b)は照射角が48度の場合を示し、同(c)は照射
角が70度の場合を示し、同(d)は照射角が80度の
場合を示す。
【図15】従来の形状測定方法の一例を示す説明図であ
る。
【図16】従来の形状測定方法の他の例を示す説明図で
ある。
【図17】平角材の側面状態を示す説明図であって、同
(a)は膨らみがある場合を示し、同(b)はへこみがあ
る場合を示し、同(c)は角落ちがある場合を示す。
【符号の説明】
10 測定部 11 レーザ変位計 12 レーザマーカー 13 CCDラインセンサ 20 移動手段 30 制御演算部 31 制御部 32 演算処理部 32a 面形状算出手段 32b エッジ位置検出手段 32c エッジ位置補正手段 32d 側面形状算出手段 32e 異常部検出手段 40 コンピュータ 50 入力手段 60 出力手段 K 形状測定装置 W 平角材

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 角形材の側端部にスリット光を照射角度
    を変えて照射するとともにその照射ごとにその照射個所
    を撮像することを該角形材の長手方向に沿って所定間隔
    でなしそれにより得られた撮像画像に基づいて角形材の
    側面形状を測定するとともに角落ちなどの角部の異常を
    検出することを特徴とする角形材の形状測定方法。
  2. 【請求項2】 撮像に同期させてスリット光が照射され
    ている面の変位を測定し、それにより角形材の長手方向
    の形状を測定するとともにその測定値に基づいて側面形
    状の補正をすることを特徴とする請求項1記載の角形材
    の形状測定方法。
  3. 【請求項3】 撮像画像において信号レベルに明瞭な変
    化がある個所をエッジ位置とすることを特徴とする請求
    項1記載の角形材の形状測定方法。
  4. 【請求項4】 各照射ごとの測定値にばらつきがある個
    所を、角落ちなどの角部の異常がある個所とすることを
    特徴とする請求項3記載の角形材の形状測定方法。
  5. 【請求項5】 角形材の側端部を角度を変えてスリット
    光を照射するように構成された光源と、前記光源に照射
    されている角形材の側端部を撮像する撮像手段と、移動
    手段と、制御演算手段とを備え、 前記光源および撮像手段は、前記移動手段により角形材
    の長手方向に沿って一体的に移動可能とされ、 前記制御演算手段により、前記光源の照射、前記撮像手
    段の撮像および前記移動手段が制御されて、それにより
    同光源により照射されている角形材の側端部の撮像手段
    による撮像が角形材の長手方向に沿って所定間隔でなさ
    れるとともに、前記撮像手段の撮像結果に基づいて角形
    材の側面形状の測定がなされることを特徴とする角形材
    の形状測定装置。
  6. 【請求項6】 角形材の光源により照射されている面の
    変位を測定する変位測定手段を光源および撮像手段と一
    体的に移動可能に備え、 制御演算手段により前記変位測定手段の測定値に基づい
    て角形材の側面形状の補正がなされることを特徴とする
    請求項5記載の角形材の形状測定装置。
  7. 【請求項7】 制御演算手段により撮像画像において信
    号レベルに明瞭な変化がある個所がエッジ位置とされる
    ことを特徴とする請求項5記載の角形材の形状測定装
    置。
  8. 【請求項8】 制御演算手段により照射ごとの測定値に
    ばらつきがある個所が角落ちなどの角部の異常がある個
    所とされることを請求項7記載の角形材の形状測定装
    置。
  9. 【請求項9】 光源が、少なくとも低角度とされたスリ
    ット光照射手段と高角度とされたスリット光照射手段と
    を備えてなることを特徴とする請求項5記載の角形材の
    形状測定装置。
  10. 【請求項10】 スリット光照射手段が、レーザマーカ
    ーとされてなることを特徴とする請求項9記載の角形材
    の形状測定装置。
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JP2010014505A (ja) * 2008-07-03 2010-01-21 Nikon Corp 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法

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JP2010014505A (ja) * 2008-07-03 2010-01-21 Nikon Corp 三次元形状測定装置及び三次元形状測定方法

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