JP2002130269A - Linear motion stage, composite stage, guide for linear motion stage, and movable member - Google Patents
Linear motion stage, composite stage, guide for linear motion stage, and movable memberInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は直線運動ステージ、
複合ステージ、直線運動ステージ用ガイド及び可動部材
に係り、特に位置決め精度及び使い勝手を改善した透明
ステージに関するものである。The present invention relates to a linear motion stage,
The present invention relates to a composite stage, a linear motion stage guide, and a movable member, and more particularly to a transparent stage having improved positioning accuracy and usability.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、位置決めを行うステージには、一
次元の位置決めを行う直線運動ステージ、二次元以上の
位置決めを行うＸＹステージ等の複合ステージなどがあ
る。これらはいずれも使用分野に応じて精度が要求さ
れ、その要求に応じてステージを構成する材料が決まっ
ている。実用化されている位置決め精度はμｍオーダ止
りである。従来のステージを構成する材料、およびそれ
らの線膨張係数を示せば下記の通りである。2. Description of the Related Art Conventionally, positioning stages include a linear motion stage for performing one-dimensional positioning and a composite stage such as an XY stage for performing two-dimensional or higher positioning. In any of these, accuracy is required according to the field of use, and the material constituting the stage is determined according to the requirement. Practical positioning accuracy is on the order of μm. The materials constituting the conventional stage and their linear expansion coefficients are shown below.
【０００３】 ステージの材料 線膨張係数 アルミニウム ２１×１０-6 鉄 １１×１０-6 グラナイト（御影石） ３〜９×１０-6 セラミックス（窒化珪素） ３×１０-6 また、ステージの位置検出を行うガラススケールの材料
には、ステージの材料に関わらず、専ら青板ガラス（９
×１０-6（精度５０ｎｍ〜１μｍ））が共通に用いられ
ている。ステージの駆動源としてはμｍオーダのスクリ
ューロッドに対して、リニアモータはｎｍの駆動精度が
実現でき、またガイドに対するスライダの支持構造も、
ボールベアリングを使用する接触型よりも、静圧空気軸
受等を使用する非接触型の方が高精度になる。Stage material Linear expansion coefficient Aluminum 21 × 10 -6 Iron 11 × 10 -6 Granite (granite) 3 to 9 × 10 -6 Ceramics (silicon nitride) 3 × 10 -6 Also, the position of the stage is detected. Regarding the glass scale material, irrespective of the material of the stage, only blue glass (9
× 10 −6 (accuracy 50 nm to 1 μm)) is commonly used. As a stage drive source, a linear motor can achieve a drive accuracy of nm for a screw rod of the order of μm, and the support structure of the slider to the guide,
The non-contact type using a static pressure air bearing or the like has higher accuracy than the contact type using a ball bearing.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、直線
運動ステージや複合ステージに要求される精度は、ナノ
テクノロジーの語が示す通り、ナノオーダが要求され、
さらに２１世紀に対応するためにｎｍの位置決め精度が
要請されている。また顕微鏡技術やバイオテクノロジー
分野において、透明、透過性のステージが要求されるよ
うになってきた。However, in recent years, the accuracy required for a linear motion stage and a composite stage has been required to be on the order of nanometers, as the word of nanotechnology indicates.
Further, in order to cope with the 21st century, a positioning accuracy of nm is required. In the field of microscopy and biotechnology, transparent and transparent stages have been required.
【０００５】しかし、上述した材料で構成されるステー
ジでは、熱膨張係数の小さなグラナイトやセラミックス
を使用しても、寸法の温度変化が影響するため、ナノオ
ーダの位置決め精度を実現することは非常に困難であっ
た。セラミックスは脆く信頼性に欠けるという問題があ
った。仮にナノオーダの位置決めが実現できても、熱膨
張の影響を低く抑えるために、温度環境を１℃以内に維
持しなければ、ナノメートル単位の位置決め精度が確保
できないので、温度コントロールが非常に大変であっ
た。また材料が不透明であるため透明なステージも得ら
れなかった。However, in the stage made of the above-mentioned materials, even if granite or ceramics having a small coefficient of thermal expansion is used, it is very difficult to realize the positioning accuracy on the order of nanometers because the temperature change of dimensions affects the stage. Met. Ceramics have a problem that they are brittle and lack reliability. Even if positioning on the order of nanometers can be achieved, unless the temperature environment is maintained within 1 ° C in order to suppress the effects of thermal expansion, positioning accuracy in the order of nanometers cannot be secured, so temperature control is extremely difficult. there were. In addition, a transparent stage could not be obtained because the material was opaque.
【０００６】要するに、ステージ材に鉄やアルミニウム
はもちろん、グラナイトやセラミックスを使用している
従来のものは、ステージ本体よりもリニアスケールに使
用している青板ガラスの方が精度がよいので、ステージ
本体の精度がリニアスケールの精度にまで達していない
のが現状であった。[0006] In short, in the case of the conventional one using granite or ceramics as well as iron or aluminum for the stage material, the accuracy of the blue plate glass used for the linear scale is higher than that of the stage body. The current situation is that the accuracy of the device has not reached the accuracy of the linear scale.
【０００７】本発明の課題は、上述した従来技術の問題
点を解消して、高精度な位置決めが可能で透光性を有
し、しかも信頼性の高い直線運動ステージ、複合ステー
ジ、直線運動ステージ用ガイド及び可動部材を提供する
ことにある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to achieve highly accurate positioning, a translucent and highly reliable linear motion stage, composite stage, and linear motion stage. And a movable member.
【０００８】[0008]
【課題を解決するための手段】請求項１に記載の発明
は、ガイドに案内されて直線運動する可動部材を備えた
直線運動ステージにおいて、前記可動部材及び前記ガイ
ドを石英ガラス又は結晶化ガラスで構成したことを特徴
とする直線運動ステージ直線運動ステージである。結晶
化ガラスとしてはネオセラム（商品名）が好ましい。こ
れによれば、可動部材及びガイドを熱膨張係数の極めて
小さな石英ガラス又は結晶化ガラスで構成したので、金
属はもちろんグラナイトなどとも比べて、広範な温度に
対して高精度な位置決めができ、ナノオーダの要求に応
えることができる。また、石英ガラス又は結晶化ガラス
は、セラミックスに比べて脆性が小さいので高い信頼性
が得られる。According to a first aspect of the present invention, there is provided a linear motion stage having a movable member which is guided by a guide and linearly moves, wherein the movable member and the guide are made of quartz glass or crystallized glass. It is a linear motion stage characterized by being constituted. Neoceram (trade name) is preferable as the crystallized glass. According to this, since the movable member and the guide are made of quartz glass or crystallized glass having an extremely small coefficient of thermal expansion, high-precision positioning can be performed over a wide range of temperatures, compared to metal or, of course, granite. Can meet the demands. Further, quartz glass or crystallized glass is less brittle than ceramics, so that high reliability can be obtained.
【０００９】請求項２に記載の発明は、前記可動部材の
少なくとも一部、又は前記可動部材及び前記ガイドが重
なる部分の少なくとも一部で光が透過することを特徴と
する請求項１に記載の直線運動ステージである。可動部
材の一部、又は可動部材及びガイドが重なる部分の一部
で光を透過させるようにしたから、直線運動させながら
透過光を観察できる。According to a second aspect of the present invention, light is transmitted through at least a part of the movable member or at least a part of a portion where the movable member and the guide overlap. It is a linear motion stage. Since light is transmitted through a part of the movable member or a part of the portion where the movable member and the guide overlap, the transmitted light can be observed while performing a linear motion.
【００１０】請求項３に記載の発明は、石英ガラス又は
結晶化ガラスで構成した不動部材をさらに備え、前記可
動部材が、前記不動部材の平面に沿って直線運動する略
中空枠状のスライダであり、前記ガイドが、前記不動部
材に固定され、前記スライダの中空部内に挿通されて前
記スライダの直線運動を案内するガイドブロックである
ことを特徴とする請求項１又は２に記載の直線運動ステ
ージである。これによれば、ガイドブロックを、略中空
枠状のスライダの中空部内に挿通するようにしたので、
ガイドブロック上にスライダを重ねたり、ガイドレール
間にスライダを設けるものと比べて、ステージの小型化
が図れる。なお、不動部材の平面に沿って行われるスラ
イダの直線運動には、不動部材の平面上を直線運動する
場合も、不動部材の平面と平行な面上を直線運動する場
合のいずれも含まれる。略中空枠状のスライダの枠は、
ガイドレールを完全に廻りこんで閉じていてもよく、あ
るいは一部、開いていてもよい。The invention according to claim 3 further comprises an immovable member made of quartz glass or crystallized glass, wherein the movable member is a slider having a substantially hollow frame shape that linearly moves along the plane of the immovable member. The linear motion stage according to claim 1, wherein the guide is a guide block fixed to the immovable member and inserted into a hollow portion of the slider to guide the linear motion of the slider. 4. It is. According to this, since the guide block is inserted into the hollow portion of the slider having a substantially hollow frame shape,
The size of the stage can be reduced as compared with the case where the slider is overlaid on the guide block or the slider is provided between the guide rails. Note that the linear movement of the slider performed along the plane of the stationary member includes both a case where the slider linearly moves on the plane of the stationary member and a case where the slider linearly moves on a plane parallel to the plane of the stationary member. The slider frame, which has a substantially hollow frame shape,
The guide rail may be completely closed and closed, or may be partially open.
【００１１】請求項４に記載の発明は、前記可動部材を
直線運動させる駆動源がリニアモータである請求項１な
いし３のいずれかに記載の直線運動ステージである。こ
れによれば、スクリューロッドよりも高精度のリニアモ
ータを採用したので、ｎｍオーダの位置出し精度が得ら
れる。According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the linear motion stage according to any one of the first to third aspects, wherein the drive source for linearly moving the movable member is a linear motor. According to this, since a linear motor with higher precision than the screw rod is employed, positioning accuracy on the order of nm can be obtained.
【００１２】請求項５に記載の発明は、前記可動部材の
直線移動位置を検出するリニアスケールをさらに備え、
このリニアスケールを構成する前記不動部材側に設けら
れるスケールセンサと、前記可動部材側に設けられるガ
ラススケールとのうち、該ガラススケールを石英ガラス
又は結晶化ガラスで構成したことを特徴とする請求項１
ないし４のいずれかに記載の直線運動ステージである。
これによれば可動部材及びガイドとガラススケールを同
一部材で構成したので、多少の温度変化があっても、高
精度な位置決めができる。The invention according to claim 5 further comprises a linear scale for detecting a linear movement position of the movable member,
The scale sensor provided on the side of the stationary member constituting the linear scale and the glass scale provided on the side of the movable member, wherein the glass scale is made of quartz glass or crystallized glass. 1
A linear motion stage according to any one of claims 1 to 4.
According to this, since the movable member, the guide, and the glass scale are formed of the same member, high-precision positioning can be performed even if there is some temperature change.
【００１３】請求項６に記載の発明は、前記ガイドに対
する可動部材の支持を静圧ガス軸受で行うようにした請
求項１ないし５のいずれかに記載の直線運動ステージで
ある。これによれば可動部材をガイドに対して非接触で
支持するようにしたので、接触支持するものに比べて、
より高精度な運動を行わさせることができる。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided the linear motion stage according to any one of the first to fifth aspects, wherein the movable member is supported on the guide by a hydrostatic gas bearing. According to this, the movable member is supported in a non-contact manner with respect to the guide.
Higher precision movement can be performed.
【００１４】請求項７に記載の発明は、前記請求項１な
いし６のいずれかに記載の直線運動ステージを組合わせ
て構成した複合ステージである。これによれば、請求項
１ないし６の直線運動ステージを組合わせて複合ステー
ジを構成したので、請求項１ないし６の機能を確保しな
がら、より複雑な運動を行わせることができる。According to a seventh aspect of the present invention, there is provided a composite stage formed by combining the linear motion stage according to any one of the first to sixth aspects. According to this, since the composite stage is configured by combining the linear motion stages of the first to sixth aspects, it is possible to perform more complicated motion while securing the functions of the first to sixth aspects.
【００１５】請求項８に記載の発明は、石英ガラス又は
結晶化ガラスで構成され、少なくとも一部を透明にした
直線運動ステージ用ガイドである。An eighth aspect of the present invention is a guide for a linear motion stage which is made of quartz glass or crystallized glass and at least a part of which is transparent.
【００１６】請求項９に記載の発明は、石英ガラス又は
結晶化ガラスで構成され、少なくとも一部を透明にした
直線運動ステージ用可動部材である。According to a ninth aspect of the present invention, there is provided a movable member for a linear motion stage which is made of quartz glass or crystallized glass and at least a part of which is transparent.
【００１７】[0017]
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を説明
する。図１は実施の形態による直線運動ステージの斜視
図である。本ステージのスライダ３、ガイドブロック
２、ベース１、及びガラススケール６は、すべて透明ガ
ラスで構成する。すなわち主要な部分を全て透明部材で
構成した透明ステージとする。なお、透明ステージに要
求される表面粗さは、従来のグラナイト材料で要求され
るレベルである。Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a perspective view of a linear motion stage according to the embodiment. The slider 3, guide block 2, base 1, and glass scale 6 of this stage are all made of transparent glass. That is, a transparent stage in which all the main parts are made of a transparent member is used. The surface roughness required for the transparent stage is a level required for a conventional granite material.
【００１８】図示するように、直線運動ステージは、平
面をもつ定盤としてのベース１を備える。このベース１
には石英ガラスを使用する。ベース１の中央部に、スラ
イダ３の逃げ用の開口９を設ける。この開口９は、スラ
イダ３が矢印方向に直線運動をする際、スライダ３の下
部がベース１にぶつからないようにするための逃げであ
る。開口９の形状は略矩形をして直線運動方向に長くな
っている。As shown, the linear motion stage includes a base 1 as a surface plate having a flat surface. This base 1
Use quartz glass. An opening 9 for the slider 3 to escape is provided in the center of the base 1. The opening 9 is a relief for preventing the lower portion of the slider 3 from hitting the base 1 when the slider 3 makes a linear motion in the direction of the arrow. The shape of the opening 9 is substantially rectangular and elongated in the direction of linear movement.
【００１９】ガイドブロック２はスライダ３の直線運動
をガイドする。ガイドブロック２は、例えば直方体状の
ブロックとして構成され、石英ガラスでできている。ガ
イドブロック２はベース１上に固定される。ベース１に
設けた開口９の長手方向を跨ぐように固定される。ガイ
ドブロック２とスライダ３との間にはスライダ３を支持
するための静圧ガス軸受１１が設けられる。静圧ガス軸
受１１は、ガイドブロック２の上下両側の四面に設けら
れ、矢印ａで示す四方向にガスを噴出する多数のガス噴
出口１２と、ガイドブロック２の内部に形成されて四面
のガス噴出口１２に連通している通孔１３と、通孔１３
に接続されて空気などのガスを導入するガス導入管８と
を備える。ガイドブロック２はひと塊りのブロックで一
体構成することが好ましいが、複数枚の石英ガラス板を
重ねて一体的に構成してもよい。一体的に構成する場合
には、複数枚の石英ガラス板を例えばステンレスなどの
金属製のねじで止めで固定する。The guide block 2 guides the linear movement of the slider 3. The guide block 2 is configured as a rectangular parallelepiped block, for example, and is made of quartz glass. The guide block 2 is fixed on the base 1. It is fixed so as to straddle the longitudinal direction of the opening 9 provided in the base 1. A static gas bearing 11 for supporting the slider 3 is provided between the guide block 2 and the slider 3. The static pressure gas bearings 11 are provided on the four surfaces on both the upper and lower sides of the guide block 2, and have a number of gas outlets 12 for injecting gas in four directions indicated by arrows a, and four gas outlets formed inside the guide block 2. A through hole 13 communicating with the jet port 12;
And a gas introduction pipe 8 connected to the gas introduction pipe for introducing a gas such as air. The guide block 2 is preferably formed as a single block, but may be integrally formed by stacking a plurality of quartz glass plates. In the case of integrally forming, a plurality of quartz glass plates are fixed with screws made of metal such as stainless steel.
【００２０】スライダ３は略中空矩形枠状をしている。
その中空部１５内に前述したガイドブロック２が挿通さ
れて、ガイドブロック２にガイドされて、ベース１の開
口９の範囲内において、ベース１の平面と平行な面に沿
って矢印方向に直線運動する。スライダ３は例えば石英
ガラスで構成する。また、スライダ３は複数枚の石英ガ
ラス板を中空矩形枠状に組み立て、ステンレス製のネジ
１６で固定する。スライダ３の上板３ａの一側を張り出
して張出部３ｂを形成し、その張出部３ｂとベース１と
の間に駆動源を設ける。駆動源にはリニアモータ４を使
用する。リニアモータ４の可動子４ａがスライダ３の一
側の張出部３ｂに固定され、可動子４ａを固定子４ｂに
沿って移動させることにより、スライダ３はガイドブロ
ック２に案内されて矢印方向に直線運動する。なお、可
能であればネジ１６にも石英ガラスを用いるとよい。The slider 3 has a substantially hollow rectangular frame shape.
The above-described guide block 2 is inserted into the hollow portion 15 and guided by the guide block 2, and linearly moves in the direction of the arrow along a plane parallel to the plane of the base 1 within the range of the opening 9 of the base 1. I do. The slider 3 is made of, for example, quartz glass. The slider 3 is constructed by assembling a plurality of quartz glass plates into a hollow rectangular frame shape and fixing them with screws 16 made of stainless steel. One side of the upper plate 3a of the slider 3 is extended to form an overhang 3b, and a drive source is provided between the overhang 3b and the base 1. The linear motor 4 is used as a drive source. The mover 4a of the linear motor 4 is fixed to the protruding portion 3b on one side of the slider 3, and the slider 3 is guided by the guide block 2 by moving the mover 4a along the stator 4b in the direction of the arrow. Make a linear motion. If possible, quartz glass may be used for the screw 16.
【００２１】スライダ３の他側に直線運動するスライダ
３の直線移動位置を検出するリニアスケール５を設け
る。リニアスケール５を構成するガラススケール６はス
ライダ３側に固定する。スケールセンサ７はベース１側
に固定する。これらの固定は例えばねじ止めで行う。ガ
ラススケール６は石英ガラスで構成する。スケールセン
サ７は公知のレーザセンサなどで構成する。On the other side of the slider 3, there is provided a linear scale 5 for detecting the linear movement position of the slider 3 which moves linearly. The glass scale 6 constituting the linear scale 5 is fixed to the slider 3 side. The scale sensor 7 is fixed to the base 1 side. These are fixed by, for example, screws. The glass scale 6 is made of quartz glass. The scale sensor 7 is constituted by a known laser sensor or the like.
【００２２】上述したスライダ３及びガイドブロック２
は、半透明ではなく透明な石英ガラスで構成する。ただ
し、スライダ３側では少なくとも上板３ａの中央部１０
及びこの中央部１０に対応する下板３ｃの中央部を透明
にし、ガイドブロック２側では少なくともスライダ３を
直線運動させたときにスライダ中央部１０がガイドブロ
ック２と重なる一部のみを透明にするだけで足りる。ス
ライダ３及びガイドブロック２の残りの部分は梨地仕上
げにして不透明にしてもよい。The above-described slider 3 and guide block 2
Is made of transparent quartz glass, not translucent. However, on the slider 3 side, at least the central portion 10 of the upper plate 3a
The central portion of the lower plate 3c corresponding to the central portion 10 is made transparent, and only a part of the guide block 2 on which the slider central portion 10 overlaps the guide block 2 when the slider 3 is linearly moved is made transparent. Is enough. The slider 3 and the remaining portion of the guide block 2 may have a matte finish to be opaque.
【００２３】図２は図１のＡ−Ａ線断面図である。同図
に示すように、略中空矩形枠状（略断面ロ字形状）のス
ライダ３の下板３ｃは閉じて、ガイドブロック２の全周
をすっぽり包んでいる。そして、その下板３ｃの逃げ用
にベース１の中央部に前述した開口９が設けられている
ことは前述した通りである。また、スライダ３の上板３
ａの一側は外側に延出されて、リニアモータ４を覆って
おり、リニアモータ４の可動子がスライダ３の張出部３
ｂに固定され、リニアモータ４によってスライダ３が駆
動される。スライダ３の他側には、スケールセンサ７に
よって読み取られるガラススケール６が固定されてい
る。ガイドブロック２に設けられたガス噴出口１２はガ
イドブロック２からスライダ３に向けて噴出されるよう
に構成されているが、逆に構成してもよい。すなわち、
ガス噴出口をスライダ３側に設けて、スライダ３の内側
の四面からガイドブロック２の四面にガスを噴出してス
ライダ３を支持するようにしてもよい。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG. As shown in the figure, the lower plate 3c of the slider 3 having a substantially hollow rectangular frame shape (substantially rectangular shape) is closed and completely covers the entire circumference of the guide block 2. As described above, the opening 9 described above is provided at the center of the base 1 for the escape of the lower plate 3c. Also, the upper plate 3 of the slider 3
a is extended outward to cover the linear motor 4, and the mover of the linear motor 4 is
b, and the slider 3 is driven by the linear motor 4. A glass scale 6 read by a scale sensor 7 is fixed to the other side of the slider 3. The gas ejection port 12 provided in the guide block 2 is configured to be ejected from the guide block 2 toward the slider 3, but may be configured in reverse. That is,
A gas ejection port may be provided on the slider 3 side, and gas may be ejected from the four inner surfaces of the slider 3 to the four surfaces of the guide block 2 to support the slider 3.
【００２４】なお、上述した直線運動ステージを組み立
てるには、スライダ３にガイドブロック２を挿通した
後、スライダ３の下板３ｃをベース１の開口９に納め、
その上でガイドブロック２をベース１の前後に固定し、
リニアモータ４、ガラススケール６、スケールセンサ７
等を取り付けていく。In order to assemble the above-described linear motion stage, after inserting the guide block 2 through the slider 3, the lower plate 3 c of the slider 3 is placed in the opening 9 of the base 1.
Then fix the guide block 2 before and after the base 1,
Linear motor 4, glass scale 6, scale sensor 7
And so on.
【００２５】上述したように本実施の形態のステージに
よれば、直線運動ステージの基本構成となるベース１、
スライダ３、ガイドブロック２に、０．５×１０-6／℃
という小さな線膨張係数をもつ石英ガラスを使用するの
で、３〜２１×１０-6／℃の値をもつ金属、グラナイ
ト、セラミックスなどの従来の材料を使用したステージ
と比べて、ナノメートル単位の位置決めが可能である。
また、石英ガラスはセラミックスに比して脆性が小さの
でステージの信頼性が向上する。As described above, according to the stage of the present embodiment, the base 1, which is the basic configuration of the linear motion stage,
0.5 × 10 −6 / ° C. for slider 3 and guide block 2
Because of the use of quartz glass with a small linear expansion coefficient, positioning in the order of nanometers compared to a stage using conventional materials such as metal, granite, and ceramics having a value of 3 to 21 × 10 -6 / ° C. Is possible.
Also, quartz glass is less brittle than ceramics, so that the reliability of the stage is improved.
【００２６】また、直線運動させる駆動源をリニアモー
タで構成したので、μｍオーダの精度しか出ないスクリ
ューロッドに比べて、ｎｍオーダの位置出し精度が得ら
れる。また、リニアスケール５を構成するガラススケー
ル６もスライダ３及びガイドブロック２等と同様に石英
ガラスで構成したので、この直線移動距離検出の点から
も精度の向上が図れる。さらに、ガイドブロック２に対
するスライダ３の支持を空気などの静圧ガス軸受で支持
するようにしたので支持が非接触となり、また四面支持
するようにしたのでバランスがよく、この点からも高精
度な運動を行わさせることができる。Further, since the driving source for performing the linear motion is constituted by a linear motor, positioning accuracy on the order of nm can be obtained as compared with a screw rod which can provide only accuracy on the order of μm. Further, since the glass scale 6 constituting the linear scale 5 is also made of quartz glass like the slider 3 and the guide block 2, the accuracy can be improved also in terms of the detection of the linear movement distance. Further, the slider 3 is supported on the guide block 2 by a static pressure gas bearing such as air, so that the support is not in contact. Further, since the slider 3 is supported on four sides, the balance is good, and from this point, high precision is achieved. Exercise can be performed.
【００２７】またステージの主要部材を石英ガラスで構
成し、さらに他の位置決め誤差要因となるガラススケー
ルに石英ガラスを使用し、駆動源にリニアモータを使用
し、軸受に静圧ガス軸受を使用して位置決め誤差を最小
限度に抑えるようにしたので、ステージを繰返して使用
したときの繰返し移動の位置決め誤差も最小にすること
ができる。The main member of the stage is made of quartz glass, quartz glass is used for a glass scale which causes other positioning errors, a linear motor is used for a driving source, and a static pressure gas bearing is used for a bearing. Since the positioning error is minimized, the positioning error of the repeated movement when the stage is used repeatedly can also be minimized.
【００２８】また、実施の形態では、ステージの主要部
の全てが同一材料である石英ガラスで構成され、その熱
膨張係数が従来の１／１０以下であるため、多少の温度
変化があっても全体的に膨張するから、ナノメートル単
位の位置決めが可能となる。したがって、環境温度の維
持を１℃以内に厳しく制御する制約がなくなり、温度管
理が容易になる。Further, in the embodiment, all of the main parts of the stage are made of the same material, quartz glass, and have a coefficient of thermal expansion of 1/10 or less of the conventional one. Since it expands as a whole, positioning on the order of nanometers becomes possible. Accordingly, there is no restriction to strictly control the maintenance of the environmental temperature within 1 ° C., and the temperature management becomes easy.
【００２９】また、透明な石英ガラスで構成すること
で、ステージを構成するスライダ３及びガイドブロック
２が重なる部分の一部を少なくとも透明にしたから、ス
テージの重なった部分に上下から光を透過できる。した
がって、直線運動させながら透過光を観察できる。特に
反射型ではなく透過型の顕微鏡で用いると、顕微鏡下か
らの照明が行え、ステージ上の対象物の移動と観察とを
同時に行うことができるので、光を透過しないステージ
を使う場合に比べて操作性が飛躍的に向上する。バイオ
テクノロジーにも好適である。Further, by using transparent quartz glass, at least a part of the overlapping portion of the slider 3 and the guide block 2 constituting the stage is made transparent, so that light can be transmitted from above and below to the overlapping portion of the stage. . Therefore, the transmitted light can be observed while performing a linear motion. In particular, when used with a transmission-type microscope instead of a reflection-type microscope, illumination can be performed from under the microscope, and movement and observation of an object on the stage can be performed at the same time. Operability is dramatically improved. It is also suitable for biotechnology.
【００３０】また、ステージの一部が透明なので、不透
明なスライダ及びガイドブロックに貫通孔を開ける場合
のように、貫通孔上に透明部材を置いてその透明部材の
上に試料などの対象物を間接的に置くものと異なり、ス
テージ上に直接対象物を載置できるので、この点からも
操作性が向上する。顕微鏡では、プレパラートを敷く必
要がなく、ダイレクトに対象物を上板３ａ上に載置する
ことができる。また、光の透過が可能な透明な石英ガラ
スを母材にしているため、ステージの裏面からＵＶ光を
当てることによる紫外線硬化樹脂を用いた接着などの従
来できなかった作業が実現できる。Since a part of the stage is transparent, a transparent member is placed on the through hole and an object such as a sample is placed on the transparent member, as in the case where a through hole is formed in an opaque slider and guide block. Unlike an indirectly placed object, an object can be placed directly on the stage, so that operability is also improved from this point. In a microscope, it is not necessary to lay a preparation, and an object can be directly mounted on the upper plate 3a. Further, since transparent quartz glass capable of transmitting light is used as a base material, work that could not be performed conventionally, such as bonding using an ultraviolet curable resin by applying UV light from the back surface of the stage, can be realized.
【００３１】また、ステージの透過させたい部分のみを
透明にした場合には、上述したように従来にない実用的
価値が出てくるが、全部を透明、いわゆるスケルトンに
した場合には、従来の不透明ステージとは質感の異なる
特有の美観を生じさせることができる。Further, if only the portion of the stage that is to be transmitted is made transparent, there is a practical value that has not existed in the past, as described above. An opaque stage can produce a distinctive aesthetic with a different texture.
【００３２】また、スライダ３の中空部内にガイドブロ
ック２を挿入し、かつベース１に開口９を開け、そこに
スライダ３の下板３ｃを納めるようにしたので、ベース
１に対するスライダ３の高さを抑えてステージを小型化
できる。なお、スライダ３の高さを抑えなくてもよいの
であれば、ベース１に逃げ用の開口を作る必要はない。
ベース１の平面にスライダ３の下板３ｃが接触しないよ
うに、下駄を履かせてスライダ３の支持点を上方にずら
せばよい。Further, since the guide block 2 is inserted into the hollow portion of the slider 3 and an opening 9 is opened in the base 1 so that the lower plate 3c of the slider 3 is accommodated therein, the height of the slider 3 with respect to the base 1 is increased. And the stage can be miniaturized. If the height of the slider 3 does not need to be suppressed, there is no need to make an escape opening in the base 1.
The support point of the slider 3 may be shifted upward by putting on clogs so that the lower plate 3c of the slider 3 does not contact the plane of the base 1.
【００３３】なお実施の形態ではステージ材に石英ガラ
スを使用した場合について説明した、石英ガラスに代え
て０．７×１０-6／℃のネオセラム（商品名）などの結
晶化ガラスを使用してもよい。In the embodiment, the case where quartz glass is used as the stage material has been described. Instead of quartz glass, crystallized glass such as 0.7 × 10 −6 / ° C. neoceram (trade name) is used. Is also good.
【００３４】また実施の形態では、ステージの中央部を
光透過させるために、通常は中央部に配置されるリニア
モータを、中央部を避けてスライダの一側に配置してい
る。スライダの一側に配置したために直線運動の安定性
に欠けるのであれば、リニアモータ４をスライダ３の両
側に配置して二軸駆動にしてもよい。In the embodiment, in order to transmit light through the center of the stage, a linear motor usually arranged at the center is arranged on one side of the slider, avoiding the center. If the linear motor 4 lacks the stability of linear motion because it is arranged on one side of the slider, the linear motor 4 may be arranged on both sides of the slider 3 to perform biaxial drive.
【００３５】また、Ｘ軸スライダおよびＹ軸スライダの
支持手段に静圧ガス軸受を用いたが、これに代えてＮＳ
極の反発を利用した磁気軸受を備えるようにしてもよ
い。磁気軸受を構成する磁石は永久磁石でも、偏平コイ
ル等を使った電磁石でもよい。特に、軸受を磁気軸受と
すると、真空中では機能しない静圧ガス軸受と異なり、
真空中でも機能するという利点がある。したがって、露
光装置、半導体製造装置などを収容するクリーンルーム
等での使用に最適である。Further, a static pressure gas bearing is used for the support means of the X-axis slider and the Y-axis slider.
A magnetic bearing utilizing repulsion of poles may be provided. The magnet constituting the magnetic bearing may be a permanent magnet or an electromagnet using a flat coil or the like. In particular, if the bearing is a magnetic bearing, unlike a hydrostatic gas bearing that does not function in a vacuum,
It has the advantage of working even in vacuum. Therefore, it is most suitable for use in a clean room or the like accommodating an exposure apparatus, a semiconductor manufacturing apparatus and the like.
【００３６】また実施の形態では、ナノオーダの位置出
し精度を満たすために、スライダの駆動源としてはリニ
アモータを、軸受に圧縮空気のような流体圧を利用した
が、それほどの精度を要求されず、透明性のみを要求さ
れるような場合であれば、駆動源にボールネジ機構を、
軸受にボールベアリングを用いることも可能である。In the embodiment, a linear motor is used as the drive source of the slider and a fluid pressure such as compressed air is used for the bearing in order to satisfy the positioning accuracy in the order of nanometers. However, such accuracy is not required. If only transparency is required, use a ball screw mechanism as the drive source.
It is also possible to use a ball bearing for the bearing.
【００３７】なお、実施の形態では、略中空枠状のスラ
イダ３の枠は、ガイドブロック２の底部を完全に廻りこ
んで閉じていている。これは、実施の形態のステージが
小型（例えば寸法が、幅１００ｍｍ×長さ１００ｍｍ×
高さ５０ｍｍ）であるため、枠を閉じた形にして、スラ
イダ３とガイドブロック２との間の隙間におけるガスの
滞在時間を所定時間維持するためである。すなわち、ス
ライダ３とガイドブロック２との間の隙間に送りこまれ
たガスが、静圧ガス軸受として機能するためには、所定
の時間、隙間に存在する必要がある。隙間に送りこまれ
たガスは、スライダ３の枠が開いていると、スライダ３
の進行方向の両端から抜けるより前にスライダ開口部か
ら短時間で抜けてしまい、上記所定時間を保持できなく
なるからである。もっとも、上記寸法を超える大型のス
テージであれば、スライダ３とガイドブロック２間のガ
ス滞在時間を十分に確保できるので、スライダ３は枠の
下板３ｃ又は上板３ａを開口させてもよい。In this embodiment, the frame of the slider 3 having a substantially hollow frame shape is completely closed around the bottom of the guide block 2. This is because the stage of the embodiment is small (for example, the dimensions are 100 mm wide × 100 mm long ×
Since the height is 50 mm), the frame is closed, and the residence time of the gas in the gap between the slider 3 and the guide block 2 is maintained for a predetermined time. That is, the gas sent into the gap between the slider 3 and the guide block 2 needs to be present in the gap for a predetermined time in order to function as a hydrostatic gas bearing. When the frame of the slider 3 is opened, the gas sent into the gap is
This is because the slider escapes from the slider opening in a short time before the slider escapes from both ends in the traveling direction, and the predetermined time cannot be maintained. However, in the case of a large stage exceeding the above dimensions, the gas stay time between the slider 3 and the guide block 2 can be sufficiently ensured, so that the slider 3 may open the lower plate 3c or the upper plate 3a of the frame.
【００３８】上述した実施の形態では、小型化を実現す
るために、スライダとガイドとの関係が、一方に対して
他方を入れ子ないし挿通型とした構成の直線運動ステー
ジについて説明した。本発明は、このタイプに限定され
ず、他の全てのステージにも適用できる。小型化を擬制
にすれば、例えば、一対のガイドレールを設けてその間
にスライダを設けるタイプへ適用も可能である。また、
図３に示すように、対向型のものにも適用できる。これ
は、固定（不動）の下板２１と可動の上板２２とからな
り、下板２１に設けた一対のガイドレール２３に上板２
２の係止部２４を係止して往復移動自在にしたものであ
る。上下板２１、２２を石英ガラスで構成し、重なる範
囲の一部または全部を透明にすることで、同じ機能を発
揮できる。In the above-described embodiment, the linear motion stage in which the relationship between the slider and the guide is such that the other is nested or inserted with respect to the other in order to realize the miniaturization has been described. The invention is not limited to this type, but can be applied to all other stages. If miniaturization is simulated, for example, the present invention can be applied to a type in which a pair of guide rails is provided and a slider is provided between them. Also,
As shown in FIG. 3, the present invention can be applied to a facing type. This is composed of a fixed (immobile) lower plate 21 and a movable upper plate 22, and a pair of guide rails 23 provided on the lower plate 21
The second locking portion 24 is locked so as to be reciprocally movable. The same function can be exhibited by forming the upper and lower plates 21 and 22 from quartz glass and making part or all of the overlapping area transparent.
【００３９】なお、上述した実施の形態では、ステージ
の基本構成となる直線運動ステージについて述べた。こ
れをＸＹステージなどの複合ステージに適用することも
可能である。図４は積み上げタイプのＸＹステージを示
す。Ｘ軸方向に移動する直線運動ステージ３５の上に、
Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に移動する直線運動ステー
ジ３６を積み上げて、ＸＹ軸方向に運動させるようにし
たものである。Ｘ軸ガイドレール３１、Ｘ軸スライダ３
２、Ｙ軸ガイドレール３３、及びＹ軸スライダ３４を全
て石英ガラスで構成し、これらの全てが重なる範囲を透
明にする。なお、複合ステージには、ＸＹステージにさ
らにθ軸、Ｚ軸等の他のユニットを組込んだものも含ま
れる。In the above-described embodiment, the linear motion stage which is the basic configuration of the stage has been described. This can be applied to a composite stage such as an XY stage. FIG. 4 shows a stacked XY stage. On the linear motion stage 35 moving in the X-axis direction,
The linear motion stages 36 that move in the Y-axis direction perpendicular to the X-axis direction are stacked and moved in the XY-axis directions. X-axis guide rail 31, X-axis slider 3
2. The Y-axis guide rail 33 and the Y-axis slider 34 are all made of quartz glass, and the area where these all overlap is transparent. Note that the composite stage includes a stage in which other units such as a θ axis and a Z axis are further incorporated in the XY stage.
【００４０】また、図５は入れ子ないし挿入タイプのＸ
Ｙステージを示す。互い向い合うガイド溝４１を形成し
た一対のガイドレール４０間にＸ軸スライダ４２をＸ軸
方向に移動自在に設け、そのＸ軸スライダ４２にＹ軸ス
ライダ４３を装着して、Ｙ軸スライダ４３をＸ軸スライ
ダ４２に対してＹ軸方向に移動自在に設けたものであ
る。これについてもＹ軸スライダ４３及びＸ軸スライダ
４２を透明な石英ガラスで構成する。Ｙ軸スライダ４３
及びＸ軸スライダ４２を透明な石英ガラスで構成する
と、図６の比較例で示す不透明材料で構成したＸＹステ
ージのように、光を透過させるための連通する開口５
４、５５をＸ軸スライダ５２及びＹ軸スライダ５３に設
ける必要がなくなる。例えば顕微鏡用のステージに使用
する場合、開口５４、５５を設ける図６のものは、プレ
パラートを開口５５の上に置く必要があるが、透明石英
ガラスで構成する図５のものは、上板自体がプレパラー
トとして機能するので、プレパラートを置く必要がな
い。FIG. 5 shows a nested or insertion type X.
3 shows a Y stage. An X-axis slider 42 is provided movably in the X-axis direction between a pair of guide rails 40 formed with mutually facing guide grooves 41, and a Y-axis slider 43 is mounted on the X-axis slider 42, and the Y-axis slider 43 is mounted. The X-axis slider 42 is provided movably in the Y-axis direction. Also in this case, the Y-axis slider 43 and the X-axis slider 42 are made of transparent quartz glass. Y-axis slider 43
When the X-axis slider 42 is made of a transparent quartz glass, like the XY stage made of an opaque material shown in the comparative example of FIG. 6, a communicating opening 5 for transmitting light is provided.
4 and 55 need not be provided on the X-axis slider 52 and the Y-axis slider 53. For example, when used in a stage for a microscope, in the case of FIG. 6 in which the openings 54 and 55 are provided, it is necessary to place the slide on the opening 55, but in the case of FIG. Works as a preparation, so there is no need to put a preparation.
【００４１】[0041]
【発明の効果】本発明によれば、熱膨張係数が非常に小
さい石英ガラス又は結晶化ガラスでステージを構成する
ので、寸法の温度変化が非常に小さく、高精度な位置決
めが可能である。また、セラミックスに比して脆性が小
さいので信頼性が向上する。また、透光性のある石英ガ
ラスを用いることで作業の操作性も向上できる。According to the present invention, since the stage is made of quartz glass or crystallized glass having a very small coefficient of thermal expansion, the dimensional temperature change is very small and high-precision positioning is possible. In addition, reliability is improved because the brittleness is smaller than that of ceramics. In addition, the operability of work can be improved by using translucent quartz glass.
【図１】実施の形態による直線運動ステージの斜視図で
ある。FIG. 1 is a perspective view of a linear motion stage according to an embodiment.
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図である。FIG. 2 is a sectional view taken along line AA of FIG.
【図３】実施の形態による直線運動ステージの分解斜視
図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the linear motion stage according to the embodiment.
【図４】実施の形態によるＸＹステージの斜視図であ
る。FIG. 4 is a perspective view of an XY stage according to the embodiment.
【図５】実施の形態によるＸＹステージの斜視図であ
る。FIG. 5 is a perspective view of an XY stage according to the embodiment.
【図６】比較例としてのＸＹステージの斜視図である。FIG. 6 is a perspective view of an XY stage as a comparative example.
１ ベース（不動部材） ２ ガイドブロック（ガイド） ３ スライダ（可動部材） １０ 中央部（一部） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Base (immobile member) 2 Guide block (guide) 3 Slider (movable member) 10 Central part (part)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田仲 健治 埼玉県日高市原宿177−６ シグマテクノ ス株式会社内 (72)発明者 杉山 茂樹 埼玉県日高市下高萩新田17−２ シグマ光 機株式会社内 Ｆターム(参考） 3J011 PA10 QA20 SE10 3J102 AA02 BA06 CA11 EA02 EA06 EA07 EB01 EB05 FA30 GA01 GA20 3J104 AA44 AA67 AA69 AA70 AA73 AA74 AA75 AA76 AA77 AA79 BA05 BA53 BA80 CA40 DA13 EA02 EA07 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (72) Inventor Kenji Tanaka 177-6 Harajuku, Sigma Technos Co., Ltd., Hidaka City, Saitama Prefecture (72) Inventor Shigeki Sugiyama 17-2 Shimodakahagita Nitta, Hidaka City, Saitama Prefecture 3J011 PA10 QA20 SE10 3J102 AA02 BA06 CA11 EA02 EA06 EA07 EB01 EB05 FA30 GA01 GA20 3J104 AA44 AA67 AA69 AA70 AA73 AA74 AA75 AA76 AA77 AA79 BA05 BA53 BA80 CA40 DA07 EA
Claims (9)
を備えた直線運動ステージにおいて、前記可動部材及び
前記ガイドを石英ガラス又は結晶化ガラスで構成したこ
とを特徴とする直線運動ステージ。1. A linear motion stage having a movable member which is guided by a guide and linearly moves, wherein said movable member and said guide are made of quartz glass or crystallized glass.
可動部材及び前記ガイドが重なる部分の少なくとも一部
で光が透過することを特徴とする請求項１に記載の直線
運動ステージ。2. The linear motion stage according to claim 1, wherein light is transmitted through at least a part of the movable member, or at least a part of a portion where the movable member and the guide overlap.
動部材をさらに備え、 前記可動部材が、前記不動部材の平面に沿って直線運動
する略中空枠状のスライダであり、 前記ガイドが、前記不動部材に固定され、前記スライダ
の中空部内に挿通されて前記スライダの直線運動を案内
するガイドブロックであることを特徴とする請求項２又
は３に記載の直線運動ステージ。3. The apparatus according to claim 1, further comprising a stationary member made of quartz glass or crystallized glass, wherein the movable member is a substantially hollow frame-shaped slider that linearly moves along a plane of the stationary member. The linear motion stage according to claim 2, wherein the linear motion stage is a guide block fixed to an immovable member and inserted into a hollow portion of the slider to guide the linear motion of the slider.
ニアモータである請求項１ないし３のいずれかに記載の
直線運動ステージ。4. The linear motion stage according to claim 1, wherein the drive source for linearly moving the movable member is a linear motor.
ニアスケールをさらに備え、このリニアスケールを構成
する前記不動部材側に設けられるスケールセンサと、前
記可動部材側に設けられるガラススケールとのうち、該
ガラススケールを石英ガラス又は結晶化ガラスで構成し
たことを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載
の直線運動ステージ。5. A linear scale for detecting a linear movement position of the movable member, wherein a scale sensor provided on the side of the immovable member constituting the linear scale and a glass scale provided on the side of the movable member are provided. 5. The linear motion stage according to claim 1, wherein said glass scale is made of quartz glass or crystallized glass.
ガス軸受で行うようにした請求項１ないし５のいずれか
に記載の直線運動ステージ。6. The linear motion stage according to claim 1, wherein the movable member is supported on the guide by a hydrostatic gas bearing.
直線運動ステージを組合わせて構成した複合ステージ。7. A composite stage comprising a combination of the linear motion stage according to any one of claims 1 to 6.
少なくとも一部で光を透過する直線運動ステージ用ガイ
ド。8. It is made of quartz glass or crystallized glass,
A guide for a linear motion stage that transmits light at least partially.
少なくとも一部で光を透過する直線運動ステージ用可動
部材。9. It is made of quartz glass or crystallized glass,
A movable member for a linear motion stage that transmits light at least partially.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000328508A JP2002130269A (en) | 2000-10-27 | 2000-10-27 | Linear motion stage, composite stage, guide for linear motion stage, and movable member |
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|---|---|
| JP (1) | JP2002130269A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004337728A (en) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Seiko Epson Corp | Droplet discharging apparatus, electro-optical device production method, electro-optical device, and electronic device |
| JP2010217121A (en) * | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Miruc Optical Co Ltd | Manual stage |
| TWI476065B (en) * | 2012-11-01 | 2015-03-11 | Univ Southern Taiwan Sci & Tec | Co-planar platform mechanism |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60175820A (en) * | 1984-02-21 | 1985-09-10 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | Squeeze bearing apparatus |
| JPH0727543A (en) * | 1993-07-12 | 1995-01-27 | Canon Inc | Optical displacement sensor |
| JPH0755505A (en) * | 1993-08-09 | 1995-03-03 | Sony Corp | Encoding plate, its manufacture, and image pickup type absolute position detector using it |
| JPH0933207A (en) * | 1995-07-20 | 1997-02-07 | Sokkia Co Ltd | Measuring table made of glass |
| JPH11106963A (en) * | 1997-09-30 | 1999-04-20 | Res Dev Corp Of Japan | Highly efficient machining device by high density radical reaction using rotary electrode |
| JPH11190339A (en) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Kyocera Corp | Static pressure fluid bearing |
| JPH11204425A (en) * | 1998-01-13 | 1999-07-30 | Nikon Corp | Reticle holder and aligner |
-
2000
- 2000-10-27 JP JP2000328508A patent/JP2002130269A/en active Pending
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60175820A (en) * | 1984-02-21 | 1985-09-10 | インタ−ナショナル ビジネス マシ−ンズ コ−ポレ−ション | Squeeze bearing apparatus |
| JPH0727543A (en) * | 1993-07-12 | 1995-01-27 | Canon Inc | Optical displacement sensor |
| JPH0755505A (en) * | 1993-08-09 | 1995-03-03 | Sony Corp | Encoding plate, its manufacture, and image pickup type absolute position detector using it |
| JPH0933207A (en) * | 1995-07-20 | 1997-02-07 | Sokkia Co Ltd | Measuring table made of glass |
| JPH11106963A (en) * | 1997-09-30 | 1999-04-20 | Res Dev Corp Of Japan | Highly efficient machining device by high density radical reaction using rotary electrode |
| JPH11190339A (en) * | 1997-12-25 | 1999-07-13 | Kyocera Corp | Static pressure fluid bearing |
| JPH11204425A (en) * | 1998-01-13 | 1999-07-30 | Nikon Corp | Reticle holder and aligner |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004337728A (en) * | 2003-05-14 | 2004-12-02 | Seiko Epson Corp | Droplet discharging apparatus, electro-optical device production method, electro-optical device, and electronic device |
| JP2010217121A (en) * | 2009-03-19 | 2010-09-30 | Miruc Optical Co Ltd | Manual stage |
| JP4606501B2 (en) * | 2009-03-19 | 2011-01-05 | 株式会社ミラック光学 | Manual stage |
| TWI476065B (en) * | 2012-11-01 | 2015-03-11 | Univ Southern Taiwan Sci & Tec | Co-planar platform mechanism |
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