JP2002126960A - 被加工部材の保持方法、被加工部材の保持装置、及び、被加工部材の加工位置調整方法 - Google Patents
被加工部材の保持方法、被加工部材の保持装置、及び、被加工部材の加工位置調整方法Info
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- JP2002126960A JP2002126960A JP2000326983A JP2000326983A JP2002126960A JP 2002126960 A JP2002126960 A JP 2002126960A JP 2000326983 A JP2000326983 A JP 2000326983A JP 2000326983 A JP2000326983 A JP 2000326983A JP 2002126960 A JP2002126960 A JP 2002126960A
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 加工装置の被加工部材を保持する保持部材上
に被加工部材を損傷せずに、精度良く保持する。 【解決手段】 被加工部材１を加工するための保持手段
に保持する方法であって、吸引手段に接続した保持部材
２の保持面に吸引穴２Ｅを設け、前記保持部材２上に、
硬度が前記被加工部材１の硬度より小さい硬度の中間部
材４を配置し、前記中間部材４に前記保持部材２の吸引
穴２Ｅと連通する穴を設け、前記中間部材４上に被加工
部材１を配置し、前記吸引手段の吸引作用により前記被
加工部材１を前記中間部材４を介して前記保持部材２に
保持するようにした。
に被加工部材を損傷せずに、精度良く保持する。 【解決手段】 被加工部材１を加工するための保持手段
に保持する方法であって、吸引手段に接続した保持部材
２の保持面に吸引穴２Ｅを設け、前記保持部材２上に、
硬度が前記被加工部材１の硬度より小さい硬度の中間部
材４を配置し、前記中間部材４に前記保持部材２の吸引
穴２Ｅと連通する穴を設け、前記中間部材４上に被加工
部材１を配置し、前記吸引手段の吸引作用により前記被
加工部材１を前記中間部材４を介して前記保持部材２に
保持するようにした。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は被加工部材の加工の
ための保持方法及び保持装置に関する。更に、本発明は
ガラス部材などの傷つき易い材料の加工のための保持方
法及び保持装置に関する。更に本発明はガラス基板や半
導体基板を加工する際に保持手段の保持位置に保持する
ための加工位置の位置調整方法に関する。特に、本発明
は、被加工部材を加工用保持部材に保持するに際し、気
圧差を利用した吸引圧による保持方法及び保持装置に関
する。
ための保持方法及び保持装置に関する。更に、本発明は
ガラス部材などの傷つき易い材料の加工のための保持方
法及び保持装置に関する。更に本発明はガラス基板や半
導体基板を加工する際に保持手段の保持位置に保持する
ための加工位置の位置調整方法に関する。特に、本発明
は、被加工部材を加工用保持部材に保持するに際し、気
圧差を利用した吸引圧による保持方法及び保持装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】液晶用のガラス基板等の精密切断、光学
ガラスの研削、研磨加工において、被加工部材を所定の
位置に加工するために、真空吸引作用による吸引力を利
用した保持方法／装置がある。吸引作用による保持に関
する先行資料としては特開平８−３２３５７１号公報が
ある。
ガラスの研削、研磨加工において、被加工部材を所定の
位置に加工するために、真空吸引作用による吸引力を利
用した保持方法／装置がある。吸引作用による保持に関
する先行資料としては特開平８−３２３５７１号公報が
ある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前記の公報に示す吸着
固定装置は被吸着体との接触部材を多孔質材料とするこ
とを特徴とするものである。接触部材を多孔質部材とす
るには、該公報によると、超高分子プラスチック材料、
超高分子ポリエチレン材料を採用する旨の記載がある
が、これらの材料による多孔質部材を真空吸引作用によ
る吸引力を被吸着体に作用させる場合、多孔質部材の孔
部に細かい異物が進入し易く、吸引力の低下、及び多孔
質部材の吸引面積部分での吸引力の偏りを生じ、これに
よる被吸着部材の保持の安定性が阻害される問題があ
る。
固定装置は被吸着体との接触部材を多孔質材料とするこ
とを特徴とするものである。接触部材を多孔質部材とす
るには、該公報によると、超高分子プラスチック材料、
超高分子ポリエチレン材料を採用する旨の記載がある
が、これらの材料による多孔質部材を真空吸引作用によ
る吸引力を被吸着体に作用させる場合、多孔質部材の孔
部に細かい異物が進入し易く、吸引力の低下、及び多孔
質部材の吸引面積部分での吸引力の偏りを生じ、これに
よる被吸着部材の保持の安定性が阻害される問題があ
る。
【０００４】更に、多孔質部材による吸引作用で被吸着
部材を保持した後に、該吸着部材を該多孔質部材上の所
定の位置に位置合わせするために、被吸着部材を多孔質
部材上に保持させつつ、移動操作する必要があるが、こ
の移動の際に、被吸着部材に傷を与える恐れもある。
部材を保持した後に、該吸着部材を該多孔質部材上の所
定の位置に位置合わせするために、被吸着部材を多孔質
部材上に保持させつつ、移動操作する必要があるが、こ
の移動の際に、被吸着部材に傷を与える恐れもある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、被加工部材を加工するための保持手段に保
持する方法であって、吸引手段に接続した保持部材の保
持面に吸引穴を設け、前記保持部材上に、硬度が前記被
加工部材の硬度より小さい硬度の中間部材を配置し、前
記中間部材に前記保持部材の吸引穴と連通する穴を設
け、前記中間部材上に被加工部材を配置し、前記吸引手
段の吸引作用により前記被加工部材を前記中間部材を介
して前記保持部材に保持するようにしたことを特徴とし
た被加工部材の保持方法を提案する。
するために、被加工部材を加工するための保持手段に保
持する方法であって、吸引手段に接続した保持部材の保
持面に吸引穴を設け、前記保持部材上に、硬度が前記被
加工部材の硬度より小さい硬度の中間部材を配置し、前
記中間部材に前記保持部材の吸引穴と連通する穴を設
け、前記中間部材上に被加工部材を配置し、前記吸引手
段の吸引作用により前記被加工部材を前記中間部材を介
して前記保持部材に保持するようにしたことを特徴とし
た被加工部材の保持方法を提案する。
【０００６】又、本発明の１つは、被加工部材を加工す
るための保持手段に保持する方法であって、吸引手段に
接続した保持部材の保持面に吸引穴を設け、前記保持部
材上に、硬度が前記被加工部材の硬度より小さい硬度の
中間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引
穴と連通する穴を設け、前期中間部材上に被加工部材を
配置し、前記吸引手段の吸引作用により前記被加工部材
を前記中間部材を介して前記保持部材上に保持し、前記
被加工部材を押し出し手段により前記中間部材上で移動
させて、前記保持部材の回転中心と被加工部材の回転中
心位置とを位置合わせするようにしたことを特徴とした
被加工部材の保持方法により上記問題の解決を図る。
るための保持手段に保持する方法であって、吸引手段に
接続した保持部材の保持面に吸引穴を設け、前記保持部
材上に、硬度が前記被加工部材の硬度より小さい硬度の
中間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引
穴と連通する穴を設け、前期中間部材上に被加工部材を
配置し、前記吸引手段の吸引作用により前記被加工部材
を前記中間部材を介して前記保持部材上に保持し、前記
被加工部材を押し出し手段により前記中間部材上で移動
させて、前記保持部材の回転中心と被加工部材の回転中
心位置とを位置合わせするようにしたことを特徴とした
被加工部材の保持方法により上記問題の解決を図る。
【０００７】更に、ガラス部材の加工のための保持方法
であって、吸引手段に接続した吸引穴を有する保持部材
上に、前記ガラス部材の硬度よりも小さい硬度を持つ中
間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴
と連通する穴を形成し、前記中間部材上に前記ガラス部
材を載せて、前記吸引手段による吸引作用を行い、前記
ガラス部材により前記中間部材及び保持部材の連通穴を
塞いで、ガラス部材に吸引手段による吸引力を作用させ
て保持するようにしたことを特徴としたガラス部材の加
工のための保持方法を提案する。
であって、吸引手段に接続した吸引穴を有する保持部材
上に、前記ガラス部材の硬度よりも小さい硬度を持つ中
間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴
と連通する穴を形成し、前記中間部材上に前記ガラス部
材を載せて、前記吸引手段による吸引作用を行い、前記
ガラス部材により前記中間部材及び保持部材の連通穴を
塞いで、ガラス部材に吸引手段による吸引力を作用させ
て保持するようにしたことを特徴としたガラス部材の加
工のための保持方法を提案する。
【０００８】本発明の他の１つは、ガラス部材の加工の
ための保持方法であって、吸引手段に接続した吸引穴を
有する保持部材上に、前記ガラス部材の硬度よりも小さ
い硬度を持つ中間部材を配置し、前記中間部材に前記保
持部材の吸引穴と連通する穴を形成し、前記中間部材上
に前記ガラス部材を載せて、前記吸引手段による吸引作
用を行い、前記ガラス部材により前記中間部材及び保持
部材の連通穴を塞いで、ガラス部材に吸引手段による吸
引力を作用させて保持すると共に、前記ガラス部材を押
し出し手段により保持部材との中心位置の位置出しを行
うようにしたことを特徴としたガラス部材の加工のため
の保持方法を提案する。
ための保持方法であって、吸引手段に接続した吸引穴を
有する保持部材上に、前記ガラス部材の硬度よりも小さ
い硬度を持つ中間部材を配置し、前記中間部材に前記保
持部材の吸引穴と連通する穴を形成し、前記中間部材上
に前記ガラス部材を載せて、前記吸引手段による吸引作
用を行い、前記ガラス部材により前記中間部材及び保持
部材の連通穴を塞いで、ガラス部材に吸引手段による吸
引力を作用させて保持すると共に、前記ガラス部材を押
し出し手段により保持部材との中心位置の位置出しを行
うようにしたことを特徴としたガラス部材の加工のため
の保持方法を提案する。
【０００９】又、本発明は、被加工部材を加工するため
の保持手段に保持する保持装置であって、吸引手段に接
続した保持部材の保持面に吸引穴を設け、前記保持部材
上に、硬度が前記被加工部材の硬度より小さい硬度の中
間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴
と連通する穴を設け、前記中間部材上に被加工部材を配
置し、前記吸引手段の吸引作用により前記被加工部材を
前記中間部材を介して前記保持部材に保持するようにし
たことを特徴とした被加工部材の保持装置を提案する。
の保持手段に保持する保持装置であって、吸引手段に接
続した保持部材の保持面に吸引穴を設け、前記保持部材
上に、硬度が前記被加工部材の硬度より小さい硬度の中
間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴
と連通する穴を設け、前記中間部材上に被加工部材を配
置し、前記吸引手段の吸引作用により前記被加工部材を
前記中間部材を介して前記保持部材に保持するようにし
たことを特徴とした被加工部材の保持装置を提案する。
【００１０】本発明は、被加工部材を加工するための保
持手段に保持する装置であって、吸引手段に接続した保
持部材の保持面に吸引穴を設け、前記保持部材上に、硬
度が前記被加工部材の硬度より小さい硬度の中間部材を
配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴と連通す
る穴を設け、前記中間部材上に被加工部材を配置し、前
記吸引手段の吸引作用により前記被加工部材を前記中間
部材を介して前記保持部材上に保持し、前記被加工部材
を押し出し手段により前記中間部材上で移動させて、前
記保持部材の回転中心と被加工部材の回転中心位置とを
位置合わせするようにしたことを特徴とした被加工部材
の保持装置を提案する。
持手段に保持する装置であって、吸引手段に接続した保
持部材の保持面に吸引穴を設け、前記保持部材上に、硬
度が前記被加工部材の硬度より小さい硬度の中間部材を
配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴と連通す
る穴を設け、前記中間部材上に被加工部材を配置し、前
記吸引手段の吸引作用により前記被加工部材を前記中間
部材を介して前記保持部材上に保持し、前記被加工部材
を押し出し手段により前記中間部材上で移動させて、前
記保持部材の回転中心と被加工部材の回転中心位置とを
位置合わせするようにしたことを特徴とした被加工部材
の保持装置を提案する。
【００１１】更に、ガラス部材の加工のための保持装置
であって、吸引手段に接続した吸引穴を有する保持部材
上に、前記ガラス部材の硬度よりも小さい硬度を持つ中
間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴
と連通する穴を形成し、前記中間部材上に前記ガラス部
材を載せて、前記吸引手段による吸引作用を行い、前記
ガラス部材により前記中間部材及び保持部材の連通穴を
塞いで、ガラス部材に吸引手段による吸引力を作用させ
て保持するようにしたことを特徴としたガラス部材の加
工のための保持装置を提案する。
であって、吸引手段に接続した吸引穴を有する保持部材
上に、前記ガラス部材の硬度よりも小さい硬度を持つ中
間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴
と連通する穴を形成し、前記中間部材上に前記ガラス部
材を載せて、前記吸引手段による吸引作用を行い、前記
ガラス部材により前記中間部材及び保持部材の連通穴を
塞いで、ガラス部材に吸引手段による吸引力を作用させ
て保持するようにしたことを特徴としたガラス部材の加
工のための保持装置を提案する。
【００１２】更に、ガラス部材の加工のための保持装置
であって、吸引手段に接続した吸引穴を有する保持部材
上に、前記ガラス部材の硬度よりも小さい硬度を持つ中
間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴
と連通する穴を形成し、前記中間部材上に前記ガラス部
材を載せて、前記吸引手段による吸引作用を行い、前記
ガラス部材により前記中間部材及び保持部材の連通穴を
塞いで、ガラス部材に吸引手段による吸引力を作用させ
て保持すると共に、前記ガラス部材を押し出し手段によ
り保持部材との中心位置の位置出しを行うようにしたこ
とを特徴としたガラス部材の加工のための保持装置を提
案する。
であって、吸引手段に接続した吸引穴を有する保持部材
上に、前記ガラス部材の硬度よりも小さい硬度を持つ中
間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴
と連通する穴を形成し、前記中間部材上に前記ガラス部
材を載せて、前記吸引手段による吸引作用を行い、前記
ガラス部材により前記中間部材及び保持部材の連通穴を
塞いで、ガラス部材に吸引手段による吸引力を作用させ
て保持すると共に、前記ガラス部材を押し出し手段によ
り保持部材との中心位置の位置出しを行うようにしたこ
とを特徴としたガラス部材の加工のための保持装置を提
案する。
【００１３】更に本発明は、被加工部材を加工保持手段
に保持する際の加工位置調整方法であって、吸引手段に
接続した保持部材の保持面に吸引穴を設け、前記保持部
材上に、硬度が前記被加工部材の硬度より小さい硬度の
中間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引
穴と連通する穴を設け、前記中間部材上に前記被加工部
材を配置し、前記吸引手段の第一の吸引作用により前記
被加工部材を前期中間部材を介して前記保持部材上に保
持し、前記被加工部材を押し出し手段により前記中間部
材上で移動させて、前記保持部材の回転中心と被加工部
材の回転中心位置とを位置合わせし、その後、前記吸引
手段の吸引力を、前記被加工部材を前記中間部材上に固
定状態に維持するようにしたことを特徴とした被加工部
材の加工位置調整方法を提案する。
に保持する際の加工位置調整方法であって、吸引手段に
接続した保持部材の保持面に吸引穴を設け、前記保持部
材上に、硬度が前記被加工部材の硬度より小さい硬度の
中間部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引
穴と連通する穴を設け、前記中間部材上に前記被加工部
材を配置し、前記吸引手段の第一の吸引作用により前記
被加工部材を前期中間部材を介して前記保持部材上に保
持し、前記被加工部材を押し出し手段により前記中間部
材上で移動させて、前記保持部材の回転中心と被加工部
材の回転中心位置とを位置合わせし、その後、前記吸引
手段の吸引力を、前記被加工部材を前記中間部材上に固
定状態に維持するようにしたことを特徴とした被加工部
材の加工位置調整方法を提案する。
【００１４】
【発明の実施の形態】（第一の実施例）図１は本発明の
第一の実施例を示す、図において、符号１は被加工部材
を示し、本例では光学レンズであり、平面部１Ａ，曲率
面１B、外周面１Cを有する。前記被加工部材のレンズ１
の、前記平面部１Ａは所定の平面精度（表面粗さ精度、
平滑度）に予め仕上げ加工されており、加工予定面は曲
率面１Bを不図示の加工手段により加工する。
第一の実施例を示す、図において、符号１は被加工部材
を示し、本例では光学レンズであり、平面部１Ａ，曲率
面１B、外周面１Cを有する。前記被加工部材のレンズ１
の、前記平面部１Ａは所定の平面精度（表面粗さ精度、
平滑度）に予め仕上げ加工されており、加工予定面は曲
率面１Bを不図示の加工手段により加工する。
【００１５】符号２は前記被加工部材のレンズ１を固定
保持する保持部材である。前記保持部材２はブロック状
部材で、前記レンズ１を保持する保持面２Aと吸引用空
間部２Bと、該保持部材２を不図示の加工装置の回転手
段の基部に取り付ける取り付け面２Cなどから構成す
る。前記保持部材２の保持面２Aには吸引用空間部２Bと
連通する穴部２D,2D,が複数設けられている。
保持する保持部材である。前記保持部材２はブロック状
部材で、前記レンズ１を保持する保持面２Aと吸引用空
間部２Bと、該保持部材２を不図示の加工装置の回転手
段の基部に取り付ける取り付け面２Cなどから構成す
る。前記保持部材２の保持面２Aには吸引用空間部２Bと
連通する穴部２D,2D,が複数設けられている。
【００１６】又、保持部材２の前記取り付け面２Cには
前記吸引用空間部２Bと連通する穴部２E,2Eが複数設け
られている。前記取り付け面の穴２E,2Eは不図示の吸引
手段に接続している。
前記吸引用空間部２Bと連通する穴部２E,2Eが複数設け
られている。前記取り付け面の穴２E,2Eは不図示の吸引
手段に接続している。
【００１７】符号４は中間部材であり、該中間部材は被
加工部材のレンズ１と保持部材の保持面２Aとの間に配
置される。前記中間部材４は板状であり、前記保持部材
の保持面２に形成した連通穴２D、２Dと連通する穴部４
A、４Aを形成してある。前記中間部材4は前記レンズ１
と接触する表面の表面硬度が前記被加工部材のレンズ１
の表面硬度よりも小さい表面硬度である条件を持ってい
る。本例では前記中間部材４は、ポリエステル系樹脂な
どの高分子材料、特にポリエチレンテレフタレート樹脂
製の厚さが数十ミクロンのフィルムを使用した。
加工部材のレンズ１と保持部材の保持面２Aとの間に配
置される。前記中間部材４は板状であり、前記保持部材
の保持面２に形成した連通穴２D、２Dと連通する穴部４
A、４Aを形成してある。前記中間部材4は前記レンズ１
と接触する表面の表面硬度が前記被加工部材のレンズ１
の表面硬度よりも小さい表面硬度である条件を持ってい
る。本例では前記中間部材４は、ポリエステル系樹脂な
どの高分子材料、特にポリエチレンテレフタレート樹脂
製の厚さが数十ミクロンのフィルムを使用した。
【００１８】次に本例の被加工部材の保持方法について
説明する。前記保持部材２の保持面２A上に前記中間部
材４を載せて、保持面の穴部２D、２Dと中間部材の連通
孔４A、４Aとを連通状態に位置合わせする。続いて、中
間部材4上に被加工部材のレンズ１を載せる。その後、
不図示の吸引手段（真空吸引装置）を作動させると、穴
部２E,2Eから前記空間部２B内の大気の吸引が始まり、
続いて保持面の孔２D,2Dを通じて、中間部材４を介して
レンズ１の平面部１Aと中間部材４の間の空気の吸引が
行われ、レンズ平面部１A、中間部材４、保持面２Aの相
互の密着作用が行われて、レンズ１は保持部材２に固定
される。
説明する。前記保持部材２の保持面２A上に前記中間部
材４を載せて、保持面の穴部２D、２Dと中間部材の連通
孔４A、４Aとを連通状態に位置合わせする。続いて、中
間部材4上に被加工部材のレンズ１を載せる。その後、
不図示の吸引手段（真空吸引装置）を作動させると、穴
部２E,2Eから前記空間部２B内の大気の吸引が始まり、
続いて保持面の孔２D,2Dを通じて、中間部材４を介して
レンズ１の平面部１Aと中間部材４の間の空気の吸引が
行われ、レンズ平面部１A、中間部材４、保持面２Aの相
互の密着作用が行われて、レンズ１は保持部材２に固定
される。
【００１９】次に図２を用いて、本装置により被加工部
材のレンズ１の加工位置の調整方法について説明する。
図２において、保持部材２、中間部材４、被加工部材の
レンズ１は前記図１と同じ構成である。前記保持方法に
て説明したように吸引手段によりレンズを中間部材４を
介して保持部材２に保持した状態を維持する。図２にお
いて、符号６は前記被加工部材のレンズの位置を検出す
るセンサー手段であり、本例ではダイヤルゲージを使用
する。符号８は被加工部材のレンズ１を押し出す手段で
あり、本例では打撃手段（ハンマー）である。符号１０
は前記保持部材２を回転操作する回転手段（モータ）で
ある。
材のレンズ１の加工位置の調整方法について説明する。
図２において、保持部材２、中間部材４、被加工部材の
レンズ１は前記図１と同じ構成である。前記保持方法に
て説明したように吸引手段によりレンズを中間部材４を
介して保持部材２に保持した状態を維持する。図２にお
いて、符号６は前記被加工部材のレンズの位置を検出す
るセンサー手段であり、本例ではダイヤルゲージを使用
する。符号８は被加工部材のレンズ１を押し出す手段で
あり、本例では打撃手段（ハンマー）である。符号１０
は前記保持部材２を回転操作する回転手段（モータ）で
ある。
【００２０】吸引手段により保持部材２に被加工部材の
レンズ１を保持した状態で、回転手段１０により保持部
材２の回転を行い、同時にレンズ１を回転させる。レン
ズ１の外周面１Cに前記センサー６のプローブ６Aを接触
させると、保持部材２の回転中心Mとレンズの光軸が一
致していない場合、ダイヤルゲージは針の振れを生じ
る。打撃手段８によりレンズ１の反対側の外周面１Cか
らレンズ１を中間部材４上に沿って移動させることによ
り、レンズと保持部材の回転中心を合致させることがで
きる。
レンズ１を保持した状態で、回転手段１０により保持部
材２の回転を行い、同時にレンズ１を回転させる。レン
ズ１の外周面１Cに前記センサー６のプローブ６Aを接触
させると、保持部材２の回転中心Mとレンズの光軸が一
致していない場合、ダイヤルゲージは針の振れを生じ
る。打撃手段８によりレンズ１の反対側の外周面１Cか
らレンズ１を中間部材４上に沿って移動させることによ
り、レンズと保持部材の回転中心を合致させることがで
きる。
【００２１】上記の保持部材上に中間部材４を介して吸
引手段による吸引作用でレンズを保持状態に保ったま
ま、押し出し手段８によりレンズを移動操作する場合、
レンズの平面部１Aが中間部材４の平面上を吸引力によ
る押し付け作用を受けながら、中間部材の表面上を摺動
しつつ移動するので、レンズの平面部１Aの損傷の有無
が問題となる。これに対しては、前記したように、中間
部材４の表面硬度は被加工部材のレンズの表面硬度より
も小さい硬度の条件にしてあるので、中間部材４による
レンズの損傷を受ける危険を回避できる。
引手段による吸引作用でレンズを保持状態に保ったま
ま、押し出し手段８によりレンズを移動操作する場合、
レンズの平面部１Aが中間部材４の平面上を吸引力によ
る押し付け作用を受けながら、中間部材の表面上を摺動
しつつ移動するので、レンズの平面部１Aの損傷の有無
が問題となる。これに対しては、前記したように、中間
部材４の表面硬度は被加工部材のレンズの表面硬度より
も小さい硬度の条件にしてあるので、中間部材４による
レンズの損傷を受ける危険を回避できる。
【００２２】次に図３を参照して被加工部材のレンズを
加工位置に調整する調整方法について説明する。保持部
材、中間部材、被加工部材のレンズ、レンズの位置検出
手段６、押し出し手段８等の構成は前記と同じである。
本例では、真空吸着装置１２の吸引力を制御するように
する。まず、中間部材４を介して保持部材２の保持面に
レンズ１を載置し、真空吸引装置１２の制御手段１４に
より真空吸引力を第一の吸引力に制御する。この第一の
吸引力は中間部材上のレンズ１を押し出し手段８の移動
操作による横方向からの移動力に対してレンズが中間部
材の表面摩擦力に抗して移動可能な吸引力を設定する。
上記第一の吸引力によってレンズを保持しつつ、位置セ
ンサー、押し出し手段によりレンズを保持部材の回転中
心位置への位置調整を行う。
加工位置に調整する調整方法について説明する。保持部
材、中間部材、被加工部材のレンズ、レンズの位置検出
手段６、押し出し手段８等の構成は前記と同じである。
本例では、真空吸着装置１２の吸引力を制御するように
する。まず、中間部材４を介して保持部材２の保持面に
レンズ１を載置し、真空吸引装置１２の制御手段１４に
より真空吸引力を第一の吸引力に制御する。この第一の
吸引力は中間部材上のレンズ１を押し出し手段８の移動
操作による横方向からの移動力に対してレンズが中間部
材の表面摩擦力に抗して移動可能な吸引力を設定する。
上記第一の吸引力によってレンズを保持しつつ、位置セ
ンサー、押し出し手段によりレンズを保持部材の回転中
心位置への位置調整を行う。
【００２３】位置調整終了後、例えば、ゲージ６からの
変位信号によるレンズ位置の調整終了信号などの信号を
検出し、真空吸引装置の制御手段１４により吸引力を第
二の吸引力に制御して、レンズ１を保持部材2上に強固
に保持する。この第二の吸引力は保持部材上に保持した
レンズの被加工面１Bを不図示の切削工具による切削、
研削、研磨加工などの加工の際の工具からレンズ被加工
面に作用する力に抗してレンズの移動を阻止し、レンズ
加工の安定性を確保するものである。
変位信号によるレンズ位置の調整終了信号などの信号を
検出し、真空吸引装置の制御手段１４により吸引力を第
二の吸引力に制御して、レンズ１を保持部材2上に強固
に保持する。この第二の吸引力は保持部材上に保持した
レンズの被加工面１Bを不図示の切削工具による切削、
研削、研磨加工などの加工の際の工具からレンズ被加工
面に作用する力に抗してレンズの移動を阻止し、レンズ
加工の安定性を確保するものである。
【００２４】図４は本発明の他の実施例を示す。本実施
例は中間部材１６の材質をガラス材料とし、厚さを数ｍ
ｍ程度とし、被加工部材のレンズ１の材質のガラス材料
よりも表面硬度が小さく、表面粗度も小さく仕上げられ
たガラス材料を選択する。ガラス製中間部材１６の表面
粗度をガラス製の被加工部材１よりも小さく仕上げてあ
るため、第１の実施例に比べて、傷の発生がさらに少な
くなる。ガラス製中間部材１６は前記実施例の中間部材
４と同様に、保持部材の連通穴と連通する穴部１６Aを
形成してある。
例は中間部材１６の材質をガラス材料とし、厚さを数ｍ
ｍ程度とし、被加工部材のレンズ１の材質のガラス材料
よりも表面硬度が小さく、表面粗度も小さく仕上げられ
たガラス材料を選択する。ガラス製中間部材１６の表面
粗度をガラス製の被加工部材１よりも小さく仕上げてあ
るため、第１の実施例に比べて、傷の発生がさらに少な
くなる。ガラス製中間部材１６は前記実施例の中間部材
４と同様に、保持部材の連通穴と連通する穴部１６Aを
形成してある。
【００２５】１６Bはガラス製中間部材１６の外周位置
に取り付けたガイド部材であり、本例においては該ガイ
ド部材を押し出し手段で押し出し操作してレンズの保持
位置の調整を行う。
に取り付けたガイド部材であり、本例においては該ガイ
ド部材を押し出し手段で押し出し操作してレンズの保持
位置の調整を行う。
【００２６】図５、図６は前記中間部材４、１６の連通
穴のパターン形状の例を示す。図５の放射状に該連通穴
を設けた場合には、前記連通穴の加工が比較的容易であ
る。図６の同心円状に前記連通穴を設けた場合には、円
周方向に均一に吸引力が作用しやすくなる。ここでは、
図５と図６の2例を連通穴のパターンとしてあげたが、
前記連通穴の形状に特に制約はなく、閉じられた空間か
らなる前記連通穴が中間部材上に設けられており、前記
連通穴が保持部材の保持面２Ａと被加工部材の平面部１
Ａの間に収まっていればよい。該連通穴のパターン形状
は中間部材を介して保持部材の保持面に吸着固定される
被加工部材１の形状や、被加工部材の加工部分の状況に
応じて、被加工部材の平面部に作用する吸引力が安定的
に働くパターンを選択する。
穴のパターン形状の例を示す。図５の放射状に該連通穴
を設けた場合には、前記連通穴の加工が比較的容易であ
る。図６の同心円状に前記連通穴を設けた場合には、円
周方向に均一に吸引力が作用しやすくなる。ここでは、
図５と図６の2例を連通穴のパターンとしてあげたが、
前記連通穴の形状に特に制約はなく、閉じられた空間か
らなる前記連通穴が中間部材上に設けられており、前記
連通穴が保持部材の保持面２Ａと被加工部材の平面部１
Ａの間に収まっていればよい。該連通穴のパターン形状
は中間部材を介して保持部材の保持面に吸着固定される
被加工部材１の形状や、被加工部材の加工部分の状況に
応じて、被加工部材の平面部に作用する吸引力が安定的
に働くパターンを選択する。
【００２７】
【発明の効果】本発明によれば、中間部材を介して被加
工部材を保持部材に固定保持するに際し、中間部材上で
の被加工部材の移動がスムーズに行なえ、被加工部材の
損傷を回避することが出来る。
工部材を保持部材に固定保持するに際し、中間部材上で
の被加工部材の移動がスムーズに行なえ、被加工部材の
損傷を回避することが出来る。
【図１】本発明の実施例を示す保持装置の要部構成の説
明図。
明図。
【図２】本発明の被加工部材の位置調整方法の説明図。
【図３】本発明の被加工部材の位置調整方法の説明図。
【図４】他の実施例の説明図。
【図５】中間部材の連通穴のパターン形状の説明図。
【図６】他のパターン形状の説明図。
１ 被加工部材（レンズ部材） ２ 保持部材 ２A 保持部材の保持面 ２B 保持部材の吸引空間部 ２C 保持部材の取り付け部 ２D 保持部材の連通穴 ２E 保持部材の吸引穴 ４，１６ 中間部材 ４A 中間部材の連通穴 ６ 被加工部材の位置検出センサー ８ 押し出し手段 １０ 回転手段 １２ 真空吸引手段 １４ 制御手段
Claims (11)
- 【請求項１】 被加工部材を加工するための保持手段に
保持する方法であって、吸引手段に接続した保持部材の
保持面に吸引穴を設け、前記保持部材上に、硬度が前記
被加工部材の硬度より小さい硬度の中間部材を配置し、
前記中間部材に前記保持部材の吸引穴と連通する穴を設
け、前記中間部材上に被加工部材を配置し、前記吸引手
段の吸引作用により前記被加工部材を前記中間部材を介
して前記保持部材に保持するようにしたことを特徴とし
た被加工部材の保持方法。 - 【請求項２】 被加工部材を加工するための保持手段に
保持する方法であって、吸引手段に接続した保持部材の
保持面に吸引穴を設け、前記保持部材上に、硬度が前記
被加工部材の硬度より小さい硬度の中間部材を配置し、
前記中間部材に前記保持部材の吸引穴と連通する穴を設
け、前記中間部材上に被加工部材を配置し、前記吸引手
段の吸引作用により前記被加工部材を前記中間部材を介
して前記保持部材上に保持し、前記被加工部材を押し出
し手段により前記中間部材上で移動させて、前記保持部
材の回転中心と被加工部材の回転中心位置とを位置合わ
せするようにしたことを特徴とした被加工部材の保持方
法。 - 【請求項３】 ガラス部材の加工のための保持方法であ
って、吸引手段に接続した吸引穴を有する保持部材上
に、前記ガラス部材の硬度よりも小さい硬度を持つ中間
部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴と
連通する穴を形成し、前記中間部材上に前記ガラス部材
を載せて、前記吸引手段による吸引作用を行い、前記ガ
ラス部材により前記中間部材及び保持部材の連通穴を塞
いで、ガラス部材に吸引手段による吸引力を作用させて
保持するようにしたことを特徴としたガラス部材の加工
のための保持方法。 - 【請求項４】 ガラス部材の加工のための保持方法であ
って、吸引手段に接続した吸引穴を有する保持部材上
に、前記ガラス部材の硬度よりも小さい硬度を持つ中間
部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴と
連通する穴を形成し、前記中間部材上に前記ガラス部材
を載せて、前記吸引手段による吸引作用を行い、前記ガ
ラス部材により前記中間部材及び保持部材の連通穴を塞
いで、ガラス部材に吸引手段による吸引力を作用させて
保持すると共に、前記ガラス部材を押し出し手段により
保持部材との中心位置の位置出しを行うようにしたこと
を特徴としたガラス部材の加工のための保持方法。 - 【請求項５】 被加工部材を加工するための保持手段に
保持する保持装置であって、吸引手段に接続した保持部
材の保持面に吸引穴を設け、前記保持部材上に、硬度が
前記被加工部材の硬度より小さい硬度の中間部材を配置
し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴と連通する穴
を設け、前記中間部材上に被加工部材を配置し、前記吸
引手段の吸引作用により前記被加工部材を前記中間部材
を介して前記保持部材に保持するようにしたことを特徴
とした被加工部材の保持装置。 - 【請求項６】 被加工部材を加工するための保持手段に
保持する装置であって、吸引手段に接続した保持部材の
保持面に吸引穴を設け、前記保持部材上に、硬度が前記
被加工部材の硬度より小さい硬度の中間部材を配置し、
前記中間部材に前記保持部材の吸引穴と連通する穴を設
け、前記中間部材上に被加工部材を配置し、前記吸引手
段の吸引作用により前記被加工部材を前記中間部材を介
して前記保持部材上に保持し、前記被加工部材を押し出
し手段により前記中間部材上で移動させて、前記保持部
材の回転中心と被加工部材の回転中心位置とを位置合わ
せするようにしたことを特徴とした被加工部材の保持装
置。 - 【請求項７】 ガラス部材の加工のための保持装置であ
って、吸引手段に接続した吸引穴を有する保持部材上
に、前記ガラス部材の硬度よりも小さい硬度を持つ中間
部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴と
連通する穴を形成し、前記中間部材上に前記ガラス部材
を載せて、前記吸引手段による吸引作用を行い、前記ガ
ラス部材により前記中間部材及び保持部材の連通穴を塞
いで、ガラス部材に吸引手段による吸引力を作用させて
保持するようにしたことを特徴としたガラス部材の加工
のための保持装置。 - 【請求項８】 ガラス部材の加工のための保持装置であ
って、吸引手段に接続した吸引穴を有する保持部材上
に、前記ガラス部材の硬度よりも小さい硬度を持つ中間
部材を配置し、前記中間部材に前記保持部材の吸引穴と
連通する穴を形成し、前記中間部材上に前記ガラス部材
を載せて、前記吸引手段による吸引作用を行い、前記ガ
ラス部材により前記中間部材及び保持部材の連通穴を塞
いで、ガラス部材に吸引手段による吸引力を作用させて
保持すると共に、前記ガラス部材を押し出し手段により
保持部材との中心位置の位置出しを行ようにしたことを
特徴としたガラス部材の加工のための保持装置。 - 【請求項９】 被加工部材の加工位置調整方法であっ
て、吸引手段に接続した保持部材の保持面に吸引穴を設
け、前記保持部材上に、硬度が前記被加工部材の硬度よ
り小さい硬度の中間部材を配置し、前記中間部材に前記
保持部材の吸引穴と連通する穴を設け、前記中間部材上
に前記被加工部材を配置し、前記吸引手段の第一の吸引
作用により前記被加工部材を前記中間部材を介して前記
保持部材上に保持し、前記被加工部材を押し出し手段に
より前記中間部材上で移動させて、前記保持部材の回転
中心と被加工部材の回転中心位置とを位置合わせし、そ
の後、前記吸引手段の第二の吸引作用により、前記被加
工部材を前記中間部材上に固定状態に維持するようにし
たことを特徴とした被加工部材の加工位置調整方法。 - 【請求項１０】 前記中間部材は、ポリエステル樹脂、
特にポリエチレンテレフタレート樹脂であることを特徴
とした、特許請求項１乃至９に記載の被加工部材の保持
方法。 - 【請求項１１】 前記中間部材は、前記被加工部材が吸
着される面の表面粗度よりも小さい表面粗度を有する、
ガラス材料であることを特徴とした特許請求項１乃至９
に記載の被加工部材の保持方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000326983A JP2002126960A (ja) | 2000-10-26 | 2000-10-26 | 被加工部材の保持方法、被加工部材の保持装置、及び、被加工部材の加工位置調整方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000326983A JP2002126960A (ja) | 2000-10-26 | 2000-10-26 | 被加工部材の保持方法、被加工部材の保持装置、及び、被加工部材の加工位置調整方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002126960A true JP2002126960A (ja) | 2002-05-08 |
Family
ID=18804089
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000326983A Withdrawn JP2002126960A (ja) | 2000-10-26 | 2000-10-26 | 被加工部材の保持方法、被加工部材の保持装置、及び、被加工部材の加工位置調整方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002126960A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006003700A1 (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-12 | Vigteqnos Co., Ltd. | フッ素コートメガネレンズ研削用軸ズレ防止パッド |
| WO2006003699A1 (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-12 | Vigteqnos Co., Ltd. | フッ素コートメガネレンズ研削用軸ズレ防止パッド |
| JP2012016758A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Disco Corp | 研削装置 |
| CN102862014A (zh) * | 2012-09-26 | 2013-01-09 | 张家港市江城冶化科技有限公司 | 不锈钢阴极板自动焊机用阴极板固定装置 |
| US9815167B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-11-14 | Fujifilm Corporation | Lens manufacturing method |
-
2000
- 2000-10-26 JP JP2000326983A patent/JP2002126960A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006003700A1 (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-12 | Vigteqnos Co., Ltd. | フッ素コートメガネレンズ研削用軸ズレ防止パッド |
| WO2006003699A1 (ja) * | 2004-07-01 | 2006-01-12 | Vigteqnos Co., Ltd. | フッ素コートメガネレンズ研削用軸ズレ防止パッド |
| JP2012016758A (ja) * | 2010-07-06 | 2012-01-26 | Disco Corp | 研削装置 |
| CN102862014A (zh) * | 2012-09-26 | 2013-01-09 | 张家港市江城冶化科技有限公司 | 不锈钢阴极板自动焊机用阴极板固定装置 |
| US9815167B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-11-14 | Fujifilm Corporation | Lens manufacturing method |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20080108 |