JP2002122322A - 粉体供給装置 - Google Patents
粉体供給装置Info
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- JP2002122322A JP2002122322A JP2000313829A JP2000313829A JP2002122322A JP 2002122322 A JP2002122322 A JP 2002122322A JP 2000313829 A JP2000313829 A JP 2000313829A JP 2000313829 A JP2000313829 A JP 2000313829A JP 2002122322 A JP2002122322 A JP 2002122322A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 微粉炭等の粉体の高圧輸送を安定して行い得
る粉体供給装置を提供する。 【解決手段】 加圧空気が供給される圧力容器８内に、
微粉炭が貯留されるホッパ９と、該ホッパ９に貯留され
た微粉炭を切り出すフィーダ１０とを有する微粉炭供給
機１１を設置し、該微粉炭供給機１１におけるフィーダ
１０の排出口１２に、基端部に圧力容器８内の加圧空気
が導入され且つ微粉炭を搬送して微粉炭バーナ３へ導く
ための微粉炭供給管１３を接続する。
る粉体供給装置を提供する。 【解決手段】 加圧空気が供給される圧力容器８内に、
微粉炭が貯留されるホッパ９と、該ホッパ９に貯留され
た微粉炭を切り出すフィーダ１０とを有する微粉炭供給
機１１を設置し、該微粉炭供給機１１におけるフィーダ
１０の排出口１２に、基端部に圧力容器８内の加圧空気
が導入され且つ微粉炭を搬送して微粉炭バーナ３へ導く
ための微粉炭供給管１３を接続する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、微粉炭等の粉体供
給装置に関するものである。
給装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図４は石炭焚ボイラの微粉炭供給用とし
て適用される従来の粉体供給装置の一例を表わすもので
あって、１は石炭焚のボイラ本体、２はボイラ本体１の
火炉、３はボイラ本体１の火炉２内に粉体としての微粉
炭を噴射して燃焼させるための微粉炭バーナ、４は図示
していないミルで粉砕された微粉炭が貯留されるホッ
パ、５はホッパ４に貯留された微粉炭を切り出すフィー
ダ、６は内部に微粉炭搬送用の一次空気が導入され且つ
フィーダ５で切り出された微粉炭を微粉炭バーナ３へ搬
送するための微粉炭供給管、７は微粉炭供給管６途中に
形成され且つフィーダ５で切り出された微粉炭を微粉炭
供給管６内へ吸引するためのイジェクタである。
て適用される従来の粉体供給装置の一例を表わすもので
あって、１は石炭焚のボイラ本体、２はボイラ本体１の
火炉、３はボイラ本体１の火炉２内に粉体としての微粉
炭を噴射して燃焼させるための微粉炭バーナ、４は図示
していないミルで粉砕された微粉炭が貯留されるホッ
パ、５はホッパ４に貯留された微粉炭を切り出すフィー
ダ、６は内部に微粉炭搬送用の一次空気が導入され且つ
フィーダ５で切り出された微粉炭を微粉炭バーナ３へ搬
送するための微粉炭供給管、７は微粉炭供給管６途中に
形成され且つフィーダ５で切り出された微粉炭を微粉炭
供給管６内へ吸引するためのイジェクタである。
【０００３】図４に示される粉体供給装置においては、
ホッパ４に貯留された粉体としての微粉炭は、フィーダ
５で切り出され、一次空気が導入される微粉炭供給管６
内へイジェクタ７により吸引されて、微粉炭バーナ３へ
空気搬送され、ボイラ本体１の火炉２内へ噴射されて燃
焼されるようになっている。
ホッパ４に貯留された粉体としての微粉炭は、フィーダ
５で切り出され、一次空気が導入される微粉炭供給管６
内へイジェクタ７により吸引されて、微粉炭バーナ３へ
空気搬送され、ボイラ本体１の火炉２内へ噴射されて燃
焼されるようになっている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
如き従来の粉体供給装置では、常圧輸送は可能である
が、０．３［ｋｇｆ／ｃｍ2］（＝０．３×９．８０６
６５×１０4［Ｐａ］）以上の高圧輸送を行おうとした
場合、イジェクタ７に供給する一次空気が高圧となり、
粉体供給装置に背圧がかかり、微粉炭が吹き出してしま
い、輸送が困難となっていた。
如き従来の粉体供給装置では、常圧輸送は可能である
が、０．３［ｋｇｆ／ｃｍ2］（＝０．３×９．８０６
６５×１０4［Ｐａ］）以上の高圧輸送を行おうとした
場合、イジェクタ７に供給する一次空気が高圧となり、
粉体供給装置に背圧がかかり、微粉炭が吹き出してしま
い、輸送が困難となっていた。
【０００５】本発明は、斯かる実情に鑑み、微粉炭等の
粉体の高圧輸送を安定して行い得る粉体供給装置を提供
しようとするものである。
粉体の高圧輸送を安定して行い得る粉体供給装置を提供
しようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、加圧空気が供
給される圧力容器内に、粉体が貯留されるホッパと、該
ホッパに貯留された粉体を切り出すフィーダとを有する
粉体供給機を設置し、該粉体供給機におけるフィーダの
排出口に、基端部に圧力容器内の加圧空気が導入され且
つ粉体を搬送するための粉体供給管を接続したことを特
徴とする粉体供給装置にかかるものである。
給される圧力容器内に、粉体が貯留されるホッパと、該
ホッパに貯留された粉体を切り出すフィーダとを有する
粉体供給機を設置し、該粉体供給機におけるフィーダの
排出口に、基端部に圧力容器内の加圧空気が導入され且
つ粉体を搬送するための粉体供給管を接続したことを特
徴とする粉体供給装置にかかるものである。
【０００７】前記粉体供給装置においては、圧力容器の
上方に、内部に粉体貯蔵ビンが設置され且つ圧力容器と
同圧に保持可能な補給用圧力容器を設け、粉体貯蔵ビン
の粉体をホッパに対して補給するよう構成することが有
効である。
上方に、内部に粉体貯蔵ビンが設置され且つ圧力容器と
同圧に保持可能な補給用圧力容器を設け、粉体貯蔵ビン
の粉体をホッパに対して補給するよう構成することが有
効である。
【０００８】上記手段によれば、以下のような作用が得
られる。
られる。
【０００９】圧力容器内に加圧空気を供給し、内部の圧
力を高圧に保持した状態で、粉体供給機のフィーダを駆
動すると、ホッパに貯留された粉体が前記フィーダの排
出口から粉体供給管へ切り出され、ここで、粉体供給管
の基端部には、圧力容器内の加圧空気が導入されるた
め、前記粉体供給管へ切り出された粉体は、高圧下で空
気搬送される。
力を高圧に保持した状態で、粉体供給機のフィーダを駆
動すると、ホッパに貯留された粉体が前記フィーダの排
出口から粉体供給管へ切り出され、ここで、粉体供給管
の基端部には、圧力容器内の加圧空気が導入されるた
め、前記粉体供給管へ切り出された粉体は、高圧下で空
気搬送される。
【００１０】この結果、従来例のように、イジェクタを
用いて微粉炭の空気搬送を行うのとは異なり、粉体供給
装置に背圧がかかって微粉炭が吹き出してしまうような
こともなく、高圧下での輸送が可能となる。
用いて微粉炭の空気搬送を行うのとは異なり、粉体供給
装置に背圧がかかって微粉炭が吹き出してしまうような
こともなく、高圧下での輸送が可能となる。
【００１１】前記粉体供給装置において、圧力容器の上
方に、内部に粉体貯蔵ビンが設置され且つ圧力容器と同
圧に保持可能な補給用圧力容器を設け、粉体貯蔵ビンの
粉体をホッパに対して補給するよう構成すると、圧力容
器内の粉体供給機からの粉体の高圧輸送を継続中に、補
給用圧力容器内の圧力を圧力容器と同圧に保持した状態
で、粉体貯蔵ビンの粉体をホッパへ補給可能となる一
方、補給用圧力容器内の圧力を抜き大気圧とした状態
で、粉体を粉体貯蔵ビンへ供給可能となり、これによ
り、圧力容器内の粉体供給機からの粉体の高圧輸送を停
止させなくて済む。
方に、内部に粉体貯蔵ビンが設置され且つ圧力容器と同
圧に保持可能な補給用圧力容器を設け、粉体貯蔵ビンの
粉体をホッパに対して補給するよう構成すると、圧力容
器内の粉体供給機からの粉体の高圧輸送を継続中に、補
給用圧力容器内の圧力を圧力容器と同圧に保持した状態
で、粉体貯蔵ビンの粉体をホッパへ補給可能となる一
方、補給用圧力容器内の圧力を抜き大気圧とした状態
で、粉体を粉体貯蔵ビンへ供給可能となり、これによ
り、圧力容器内の粉体供給機からの粉体の高圧輸送を停
止させなくて済む。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図示
例と共に説明する。
例と共に説明する。
【００１３】図１及び図２は本発明を実施する形態の一
例であって、図中、図４と同一の符号を付した部分は同
一物を表わしており、加圧空気が供給される圧力容器８
内に、微粉炭が貯留されるホッパ９と、該ホッパ９に貯
留された微粉炭を切り出すフィーダ１０とを有する微粉
炭供給機１１を設置し、該微粉炭供給機１１におけるフ
ィーダ１０の排出口１２に、基端部に圧力容器８内の加
圧空気が導入され且つ微粉炭を搬送して微粉炭バーナ３
へ導くための微粉炭供給管１３を接続したものである。
例であって、図中、図４と同一の符号を付した部分は同
一物を表わしており、加圧空気が供給される圧力容器８
内に、微粉炭が貯留されるホッパ９と、該ホッパ９に貯
留された微粉炭を切り出すフィーダ１０とを有する微粉
炭供給機１１を設置し、該微粉炭供給機１１におけるフ
ィーダ１０の排出口１２に、基端部に圧力容器８内の加
圧空気が導入され且つ微粉炭を搬送して微粉炭バーナ３
へ導くための微粉炭供給管１３を接続したものである。
【００１４】前記圧力容器８には、途中に圧力調節弁１
４と流量調節弁１５が設けられた加圧空気供給管１６を
接続すると共に、圧力容器８内の圧力と微粉炭供給管１
３内の圧力との差圧を検出する差圧検出器１７を設けて
あり、又、前記差圧検出器１７で検出された差圧１８が
予め設定された設定値となるよう圧力調節弁１４へ開度
指令１９を出力すると共に負荷指令に基づき流量調節弁
１５へ開度指令２０を出力する制御器２１を設けてあ
る。尚、図１中、２２は圧力容器８内の圧力を抜いて大
気圧とするための抜圧バルブである。
４と流量調節弁１５が設けられた加圧空気供給管１６を
接続すると共に、圧力容器８内の圧力と微粉炭供給管１
３内の圧力との差圧を検出する差圧検出器１７を設けて
あり、又、前記差圧検出器１７で検出された差圧１８が
予め設定された設定値となるよう圧力調節弁１４へ開度
指令１９を出力すると共に負荷指令に基づき流量調節弁
１５へ開度指令２０を出力する制御器２１を設けてあ
る。尚、図１中、２２は圧力容器８内の圧力を抜いて大
気圧とするための抜圧バルブである。
【００１５】前記フィーダ１０としては、内蔵されたデ
ィスク（図示せず）を、モータ２３によるベルト２４駆
動により減速機２５を介して回転駆動し、ホッパ９に貯
留された微粉炭を切り出すようにしたディスクフィーダ
を用いるようにしてある。
ィスク（図示せず）を、モータ２３によるベルト２４駆
動により減速機２５を介して回転駆動し、ホッパ９に貯
留された微粉炭を切り出すようにしたディスクフィーダ
を用いるようにしてある。
【００１６】前記フィーダ１０の排出口１２に接続され
る微粉炭供給管１３の基端部には、図２に示す如く、圧
力容器８内の加圧空気を導入するための空気導入ノズル
２６を突設してある。
る微粉炭供給管１３の基端部には、図２に示す如く、圧
力容器８内の加圧空気を導入するための空気導入ノズル
２６を突設してある。
【００１７】次に、上記図示例の作動を説明する。
【００１８】運転時には、微粉炭供給機１１のホッパ９
に微粉炭を貯留した状態で、差圧検出器１７によって圧
力容器８内の圧力と微粉炭供給管１３内の圧力との差圧
が検出され、該差圧検出器１７で検出された差圧１８が
制御器２１に予め設定された設定値となるよう制御器２
１から圧力調節弁１４へ開度指令１９が出力されると共
に、負荷指令に基づき流量調節弁１５へ開度指令２０が
出力され、圧力容器８内の圧力が微粉炭供給管１３内の
圧力より設定値分だけ高く保持される。
に微粉炭を貯留した状態で、差圧検出器１７によって圧
力容器８内の圧力と微粉炭供給管１３内の圧力との差圧
が検出され、該差圧検出器１７で検出された差圧１８が
制御器２１に予め設定された設定値となるよう制御器２
１から圧力調節弁１４へ開度指令１９が出力されると共
に、負荷指令に基づき流量調節弁１５へ開度指令２０が
出力され、圧力容器８内の圧力が微粉炭供給管１３内の
圧力より設定値分だけ高く保持される。
【００１９】この状態で、フィーダ１０に内蔵されたデ
ィスク（図示せず）を、モータ２３によるベルト２４駆
動により減速機２５を介して回転駆動すると、ホッパ９
に貯留された微粉炭が前記フィーダ１０の排出口１２か
ら微粉炭供給管１３へ切り出される。ここで、微粉炭供
給管１３の基端部には、圧力容器８内の加圧空気が空気
導入ノズル２６から導入されるため、前記微粉炭供給管
１３へ切り出された微粉炭は、負荷指令に応じた量だけ
微粉炭バーナ３へ空気搬送され、ボイラ本体１の火炉２
内へ噴射されて燃焼される。
ィスク（図示せず）を、モータ２３によるベルト２４駆
動により減速機２５を介して回転駆動すると、ホッパ９
に貯留された微粉炭が前記フィーダ１０の排出口１２か
ら微粉炭供給管１３へ切り出される。ここで、微粉炭供
給管１３の基端部には、圧力容器８内の加圧空気が空気
導入ノズル２６から導入されるため、前記微粉炭供給管
１３へ切り出された微粉炭は、負荷指令に応じた量だけ
微粉炭バーナ３へ空気搬送され、ボイラ本体１の火炉２
内へ噴射されて燃焼される。
【００２０】この結果、図４に示される従来例のよう
に、イジェクタ７を用いて微粉炭の空気搬送を行うのと
は異なり、粉体供給装置に背圧がかかって微粉炭が吹き
出してしまうようなこともなく、高圧下での輸送が可能
となる。
に、イジェクタ７を用いて微粉炭の空気搬送を行うのと
は異なり、粉体供給装置に背圧がかかって微粉炭が吹き
出してしまうようなこともなく、高圧下での輸送が可能
となる。
【００２１】尚、本図示例の粉体供給装置は、バッチ式
であり、微粉炭供給機１１のホッパ９に貯留した微粉炭
がなくなった場合には、加圧空気供給管１６から圧力容
器８への加圧空気の供給を停止すると共に、抜圧バルブ
２２を開いて圧力容器８内の圧力を抜き大気圧とした
後、圧力容器８のフランジ８ａを開放してホッパ９内へ
微粉炭を補給し、続いて、圧力容器８のフランジ８ａを
閉じ、抜圧バルブ２２を閉鎖し、加圧空気供給管１６か
ら圧力容器８への加圧空気の供給を再開すればよい。
であり、微粉炭供給機１１のホッパ９に貯留した微粉炭
がなくなった場合には、加圧空気供給管１６から圧力容
器８への加圧空気の供給を停止すると共に、抜圧バルブ
２２を開いて圧力容器８内の圧力を抜き大気圧とした
後、圧力容器８のフランジ８ａを開放してホッパ９内へ
微粉炭を補給し、続いて、圧力容器８のフランジ８ａを
閉じ、抜圧バルブ２２を閉鎖し、加圧空気供給管１６か
ら圧力容器８への加圧空気の供給を再開すればよい。
【００２２】こうして、微粉炭の高圧輸送を安定して行
い得る。
い得る。
【００２３】図３は本発明を実施する形態の他の例であ
って、図中、図１及び図２と同一の符号を付した部分は
同一物を表わしており、圧力容器８の上方に、該圧力容
器８と同圧に保持可能で且つ内部に微粉炭貯蔵ビン９’
が設置された補給用圧力容器８’を設け、微粉炭貯蔵ビ
ン９’の微粉炭をホッパ９に対して補給するよう構成し
たものである。
って、図中、図１及び図２と同一の符号を付した部分は
同一物を表わしており、圧力容器８の上方に、該圧力容
器８と同圧に保持可能で且つ内部に微粉炭貯蔵ビン９’
が設置された補給用圧力容器８’を設け、微粉炭貯蔵ビ
ン９’の微粉炭をホッパ９に対して補給するよう構成し
たものである。
【００２４】前記補給用圧力容器８’には、途中に圧力
調節弁１４’が設けられた加圧空気供給管１６’を接続
すると共に、補給用圧力容器８’内の圧力２７を検出す
る圧力検出器２８と、補給用圧力容器８’内の圧力２７
を抜いて大気圧とするための抜圧バルブ２２’とを設け
てあり、前記圧力検出器２８で検出された補給用圧力容
器８’内の圧力２７が圧力容器８と同圧に保持されるよ
う制御器２１から圧力調節弁１４’へ開度指令１９’を
出力するようにしてある。
調節弁１４’が設けられた加圧空気供給管１６’を接続
すると共に、補給用圧力容器８’内の圧力２７を検出す
る圧力検出器２８と、補給用圧力容器８’内の圧力２７
を抜いて大気圧とするための抜圧バルブ２２’とを設け
てあり、前記圧力検出器２８で検出された補給用圧力容
器８’内の圧力２７が圧力容器８と同圧に保持されるよ
う制御器２１から圧力調節弁１４’へ開度指令１９’を
出力するようにしてある。
【００２５】前記微粉炭貯蔵ビン９’には、補給用圧力
容器８’内の圧力２７を大気圧とした状態で、ロータリ
ーバルブ等の切出弁２９の操作により微粉炭管３０を介
して微粉炭を供給する一方、微粉炭貯蔵ビン９’の微粉
炭を、補給用圧力容器８’内の圧力２７を圧力容器８と
同圧に保持した状態で、ロータリーバルブ等の切出弁３
１の操作により微粉炭管３２を介してホッパ９へ補給す
るようにしてある。
容器８’内の圧力２７を大気圧とした状態で、ロータリ
ーバルブ等の切出弁２９の操作により微粉炭管３０を介
して微粉炭を供給する一方、微粉炭貯蔵ビン９’の微粉
炭を、補給用圧力容器８’内の圧力２７を圧力容器８と
同圧に保持した状態で、ロータリーバルブ等の切出弁３
１の操作により微粉炭管３２を介してホッパ９へ補給す
るようにしてある。
【００２６】図３に示す例においては、圧力容器８内の
微粉炭供給機１１から微粉炭バーナ３への微粉炭の高圧
輸送を継続中に、加圧空気供給管１６’から補給用圧力
容器８’へ加圧空気を供給し、補給用圧力容器８’内の
圧力２７を圧力容器８と同圧に保持した状態で、ロータ
リーバルブ等の切出弁３１を作動させると、微粉炭貯蔵
ビン９’の微粉炭が微粉炭管３２を介してホッパ９へ補
給される一方、加圧空気供給管１６’から補給用圧力容
器８’への加圧空気の供給を停止すると共に、抜圧バル
ブ２２’を開いて補給用圧力容器８’内の圧力を抜き大
気圧とした後、ロータリーバルブ等の切出弁２９を作動
させると、微粉炭管３０を介して微粉炭が微粉炭貯蔵ビ
ン９’へ供給され、これにより、圧力容器８内の微粉炭
供給機１１から微粉炭バーナ３への微粉炭の高圧輸送を
停止させなくて済む。
微粉炭供給機１１から微粉炭バーナ３への微粉炭の高圧
輸送を継続中に、加圧空気供給管１６’から補給用圧力
容器８’へ加圧空気を供給し、補給用圧力容器８’内の
圧力２７を圧力容器８と同圧に保持した状態で、ロータ
リーバルブ等の切出弁３１を作動させると、微粉炭貯蔵
ビン９’の微粉炭が微粉炭管３２を介してホッパ９へ補
給される一方、加圧空気供給管１６’から補給用圧力容
器８’への加圧空気の供給を停止すると共に、抜圧バル
ブ２２’を開いて補給用圧力容器８’内の圧力を抜き大
気圧とした後、ロータリーバルブ等の切出弁２９を作動
させると、微粉炭管３０を介して微粉炭が微粉炭貯蔵ビ
ン９’へ供給され、これにより、圧力容器８内の微粉炭
供給機１１から微粉炭バーナ３への微粉炭の高圧輸送を
停止させなくて済む。
【００２７】こうして、図３に示す例の場合、微粉炭の
高圧輸送を安定して、しかも連続的に行い得る。
高圧輸送を安定して、しかも連続的に行い得る。
【００２８】尚、本発明の粉体供給装置は、上述の図示
例にのみ限定されるものではなく、微粉炭に限らず、各
種粉体にも適用可能なこと等、その他、本発明の要旨を
逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿
論である。
例にのみ限定されるものではなく、微粉炭に限らず、各
種粉体にも適用可能なこと等、その他、本発明の要旨を
逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿
論である。
【００２９】
【発明の効果】以上、説明したように本発明の請求項１
記載の粉体供給装置によれば、微粉炭等の粉体の高圧輸
送を安定して行い得るという優れた効果を奏し得、又、
本発明の請求項２記載の粉体供給装置によれば、微粉炭
等の粉体の高圧輸送を安定且つ連続的に行い得るという
優れた効果を奏し得る。
記載の粉体供給装置によれば、微粉炭等の粉体の高圧輸
送を安定して行い得るという優れた効果を奏し得、又、
本発明の請求項２記載の粉体供給装置によれば、微粉炭
等の粉体の高圧輸送を安定且つ連続的に行い得るという
優れた効果を奏し得る。
【図１】本発明を実施する形態の一例の概要構成図であ
る。
る。
【図２】図１のＩＩ部拡大断面図である。
【図３】本発明を実施する形態の他の例の概要構成図で
ある。
ある。
【図４】従来例の概要構成図である。
８ 圧力容器 ８’ 補給用圧力容器 ９ ホッパ ９’ 微粉炭貯蔵ビン（粉体貯蔵ビン） １０ フィーダ １１ 微粉炭供給機（粉体供給機） １２ 排出口 １３ 微粉炭供給管（粉体供給管）
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 小林 正嗣 兵庫県相生市相生5292番地 石川島播磨重 工業株式会社相生工場内 (72)発明者 松本 馨 兵庫県相生市相生5292番地 石川島播磨重 工業株式会社相生工場内 (72)発明者 野々村 房夫 兵庫県相生市相生5292番地 石川島播磨重 工業株式会社相生工場内 Ｆターム(参考） 3F047 AA02 CA02 CA09 CC02
Claims (2)
- 【請求項１】 加圧空気が供給される圧力容器内に、粉
体が貯留されるホッパと、該ホッパに貯留された粉体を
切り出すフィーダとを有する粉体供給機を設置し、該粉
体供給機におけるフィーダの排出口に、基端部に圧力容
器内の加圧空気が導入され且つ粉体を搬送するための粉
体供給管を接続したことを特徴とする粉体供給装置。 - 【請求項２】 圧力容器の上方に、内部に粉体貯蔵ビン
が設置され且つ圧力容器と同圧に保持可能な補給用圧力
容器を設け、粉体貯蔵ビンの粉体をホッパに対して補給
するよう構成した請求項１記載の粉体供給装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000313829A JP2002122322A (ja) | 2000-10-13 | 2000-10-13 | 粉体供給装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000313829A JP2002122322A (ja) | 2000-10-13 | 2000-10-13 | 粉体供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002122322A true JP2002122322A (ja) | 2002-04-26 |
Family
ID=18793179
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000313829A Pending JP2002122322A (ja) | 2000-10-13 | 2000-10-13 | 粉体供給装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002122322A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112930416A (zh) * | 2018-10-29 | 2021-06-08 | 东京毅力科创株式会社 | 粉末供给装置、喷镀装置、粉末供给方法以及喷镀方法 |
-
2000
- 2000-10-13 JP JP2000313829A patent/JP2002122322A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112930416A (zh) * | 2018-10-29 | 2021-06-08 | 东京毅力科创株式会社 | 粉末供给装置、喷镀装置、粉末供给方法以及喷镀方法 |
| CN112930416B (zh) * | 2018-10-29 | 2023-05-12 | 东京毅力科创株式会社 | 粉末供给装置、喷镀装置、粉末供给方法以及喷镀方法 |
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