JP2002118150A - Electronic component bonding apparatus - Google Patents

Electronic component bonding apparatus

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JP2002118150A
JP2002118150A JP2000307283A JP2000307283A JP2002118150A JP 2002118150 A JP2002118150 A JP 2002118150A JP 2000307283 A JP2000307283 A JP 2000307283A JP 2000307283 A JP2000307283 A JP 2000307283A JP 2002118150 A JP2002118150 A JP 2002118150A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic component bonding apparatus which can provide a less misaligned parallelism between a backup part and a head, and thus can eliminate the need for adjusting the parallelism between the both, even when a change of the type of a substrate such as a display panel requires the backup part and head to be position adjusted in their horizontal direction. SOLUTION: A backup part 6 for supporting an edge of a substrate 40 carried on a movable table 30 from its underside as well as a head 10 above the backup part 6 for bonding an electronic component 41 to the edge of the substrate 40 by being driven by a cylinder 20 as a pressure application means to perform up and down operation are mounted to an identical frame 2, and the frame 2 is mounted to a support frame 1 to be position adjustable in a horizontal direction.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、電子部品を基板の
縁部にボンディングするための電子部品のボンディング
装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electronic component bonding apparatus for bonding an electronic component to an edge of a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶パネルなどの表示パネルの縁部に
は、TABデバイス(Tape Automated
Bonding Methodによりフィルムキャリア
上にチップがボンディングされたデバイス)やフリップ
チップなどの駆動用の電子部品がボンディング装置によ
り実装される。
2. Description of the Related Art A TAB device (Tape Automated) is provided at an edge of a display panel such as a liquid crystal panel.
Driving electronic components such as a device in which a chip is bonded to a film carrier by a bonding method) and a flip chip are mounted by a bonding apparatus.

【0003】従来のボンディング装置は、表示パネルを
可動テーブルに支持し、且つバックアップ部により表示
パネルの縁部を下方から支持する。そしてその状態で、
ヒートツールなどを有するヘッドを下降させ、例えば電
子部品がTABデバイスの場合には、そのリードを表示
パネルの縁部の電極に押圧してボンディングし、ボンデ
ィングが終了したならば、ヘッドを上昇させて押圧状態
を解除する。
In a conventional bonding apparatus, a display panel is supported on a movable table, and an edge of the display panel is supported from below by a backup unit. And in that state,
When the head having a heat tool or the like is lowered, for example, when the electronic component is a TAB device, the lead is pressed against the electrode at the edge of the display panel for bonding, and when the bonding is completed, the head is raised. Release the pressed state.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】表示パネルの品種が変
更になって電子部品の実装位置等が変わる場合、バック
アップ部やヘッドの横方向(表示パネルの縁部に沿う方
向)の位置もこれに応じて調整しなければならない。ま
たこのようにバックアップ部とヘッドの位置調整をした
場合、両者の平行度は厳密に維持されていなければなら
ない。何故ならば、両者の平行度に狂いが生じると、ヘ
ッドにより電子部品を表示パネルの縁部に均一な強さで
押圧することはできず、ボンディング不良となってしま
うからである。
In the case where the type of display panel is changed and the mounting position of the electronic component is changed, the position of the backup portion or the head in the lateral direction (along the edge of the display panel) is also taken into account. They must be adjusted accordingly. When the position of the backup unit and the position of the head are adjusted in this manner, the parallelism between the two must be strictly maintained. This is because, if the parallelism between the two is not correct, the head cannot press the electronic component against the edge of the display panel with uniform strength, resulting in poor bonding.

【0005】ところが従来のボンディング装置において
は、バックアップ部とヘッドは別々のフレームにボルト
等により固着されていたため、上記のように表示パネル
の品種変更にともなってその横方向の位置調整をした場
合、両者の平行度に狂いが生じやすいので、平行度の再
調整をしなければならなかった。
However, in the conventional bonding apparatus, the backup portion and the head are fixed to separate frames by bolts or the like. Therefore, when the position of the display panel is adjusted in the horizontal direction as the display panel is changed as described above, Since the parallelism between the two was likely to be out of order, the parallelism had to be readjusted.

【0006】しかしながら多くの機器類が密集した作業
現場において平行度の厳密な調整を行うことは甚だ困難
であって、この調整作業に多大な労力と時間を要してい
た。このような問題は、バックアップ部とヘッドを交換
する場合にも発生している。
However, it is extremely difficult to strictly adjust the parallelism in a work site where many devices are densely packed, and this adjustment requires a great deal of labor and time. Such a problem also occurs when the head is replaced with the backup unit.

【0007】そこで本発明は、表示パネル等の基板の品
種変更にともなってバックアップ部とヘッドの横方向の
位置調整や交換をしても、両者の平行度が狂いにくく、
したがって両者の平行度の調整を不要にすることが可能
な電子部品のボンディング装置を提供することを目的と
する。
Therefore, the present invention provides a method of controlling the horizontal position of the backup unit and the head in the horizontal direction with the change of the type of the substrate such as the display panel.
Accordingly, it is an object of the present invention to provide an electronic component bonding apparatus capable of eliminating the need for adjusting the parallelism between the two.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明の電子部品のボン
ディング装置は、基板を支持する可動テーブルと、この
可動テーブルに支持された基板の縁部を下方から支持す
るバックアップ部と、バックアップ部の上方にあって加
圧手段に駆動されて上下動作を行って電子部品を基板の
縁部にボンディングするヘッドとを備え、バックアップ
部とヘッドを同一のフレームに取り付け、このフレーム
を支持フレームに横方向の位置調整自在に装着した。
According to the present invention, there is provided an electronic component bonding apparatus comprising: a movable table for supporting a substrate; a backup section for supporting an edge of the substrate supported by the movable table from below; A head that is located above and is driven by a pressurizing means to perform up and down operations to bond the electronic component to the edge of the substrate; the backup unit and the head are mounted on the same frame; The position of the was adjusted freely.

【0009】また望ましくは、前記加圧手段を前記支持
フレームに横方向の位置調整自在に装着した。
Preferably, the pressurizing means is mounted on the support frame so as to be freely adjustable in a lateral direction.

【0010】また望ましくは、前記フレームが垂直な前
面を有し、この前面に垂直なガイドレールとこのガイド
レールにスライド自在に装着されたスライダを介して、
前記ヘッドを上下動自在に装着した。
Preferably, the frame has a vertical front surface, and a guide rail perpendicular to the front surface and a slider slidably mounted on the guide rail.
The head was mounted movably up and down.

【0011】上記構成において、表示パネルなどの基板
の品種が変わる場合等には、バックアップ部とヘッドの
横方向の位置調整を行うが、この位置調整は、フレーム
を横方向へ移動させることにより行う。この場合、バッ
クアップ部とヘッドは同一のフレームに取り付けられて
いるので、フレームを移動させると、両者は一体的に移
動するので、両者の平行度に狂いは生じず、したがって
両者の平行度の調整を不要にできる。またバックアップ
部とヘッドを交換する場合においても、フレーム毎両者
を同時に交換することができるので、バックアップ部と
ヘッドの平行度の調整を支持フレームに取り付ける前に
行なっておけば、交換時の平行度調整も不要にできる。
In the above configuration, when the type of a substrate such as a display panel is changed, the position of the backup unit and the head is adjusted in the horizontal direction. The position adjustment is performed by moving the frame in the horizontal direction. . In this case, since the backup unit and the head are mounted on the same frame, when the frame is moved, the two move together, so that the parallelism of the two does not change. Can be eliminated. Also, when replacing the backup unit and the head, both can be replaced simultaneously for each frame, so if the adjustment of the parallelism between the backup unit and the head is performed before attaching it to the support frame, the parallelism at the time of replacement Adjustments can be made unnecessary.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】(実施の形態1)図1は本発明の
実施の形態1における電子部品のボンディング装置の斜
視図、図2は本発明の実施の形態1における電子部品の
ボンディング装置の側面図である。
(Embodiment 1) FIG. 1 is a perspective view of an electronic component bonding apparatus according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is an electronic component bonding apparatus according to Embodiment 1 of the present invention. It is a side view.

【0013】図1および図2において、1は断面コ字形
の支持フレームであり、以下に述べる要素が組み付けら
れている。2は断面L字形のフレームであり、支持フレ
ーム1の底面上に装着されている。支持フレーム1に装
着するフレーム2の個数は任意に決定されるが、本形態
では図示するように2個横並びに装着されている。フレ
ーム2の間隔(ピッチ)は、基板40上に実装される電
子部品の間隔(ピッチ)に合わせて調整されており、2
個のヘッドが同時にボンディングを行うようにしてい
る。
In FIGS. 1 and 2, reference numeral 1 denotes a support frame having a U-shaped cross section, to which elements described below are assembled. Reference numeral 2 denotes a frame having an L-shaped cross section, which is mounted on the bottom surface of the support frame 1. The number of frames 2 to be mounted on the support frame 1 is arbitrarily determined, but in this embodiment, two frames 2 are mounted side by side as shown. The interval (pitch) between the frames 2 is adjusted according to the interval (pitch) between the electronic components mounted on the substrate 40.
The heads perform bonding at the same time.

【0014】支持フレーム1の底部には長孔3が横方向
に形成されており、またフレーム2の底部にはこの長孔
3に挿着されるボルト4が挿入されている。したがって
ボルト4に螺着されたナット5を緩めることによりフレ
ーム2は長孔3に沿って横方向にスライドしてその位置
調整を行い、ナット5を締着することにより、フレーム
2は支持フレーム1の底面上に固定される。なお本発明
で横方向とは、電子部品がボンディングされる基板40
の縁部の長手方向(図1においてX方向)である。
An elongated hole 3 is formed in the bottom of the support frame 1 in the lateral direction, and a bolt 4 inserted into the elongated hole 3 is inserted in the bottom of the frame 2. Therefore, by loosening the nut 5 screwed to the bolt 4, the frame 2 slides in the horizontal direction along the long hole 3 to adjust its position, and by tightening the nut 5, the frame 2 becomes the support frame 1. Is fixed on the bottom surface of. In the present invention, the term “lateral” refers to the substrate 40 to which the electronic component is bonded.
Is the longitudinal direction (the X direction in FIG. 1) of the edge portion.

【0015】10はヘッドであり、その下端部にはツー
ル11が一体的に装着されている。本形態のツール11
はヒートツールであり、内蔵されたヒータ12により所
定温度に加熱される。図2において、フレーム2の垂直
な前面には垂直なガイドレール13が装着されている。
またヘッド10の背面にはガイドレール13にスライド
自在に装着されるスライダ14が設けられている。した
がってヘッド10はガイドレール13に沿って上下動自
在となっている。なおヘッド10の背面にガイドレール
を設け、フレーム2の前面にスライダを設けてもよい。
Reference numeral 10 denotes a head, on the lower end of which a tool 11 is integrally mounted. Tool 11 of this embodiment
Is a heat tool, which is heated to a predetermined temperature by a built-in heater 12. In FIG. 2, a vertical guide rail 13 is mounted on a vertical front surface of the frame 2.
A slider 14 slidably mounted on a guide rail 13 is provided on the back of the head 10. Therefore, the head 10 can move up and down along the guide rail 13. Note that a guide rail may be provided on the back of the head 10 and a slider may be provided on the front of the frame 2.

【0016】フレーム2の底部には角形のバックアップ
部6が設けられている。ヘッド10はバックアップ部6
の上方に位置する。支持フレーム1の上面にはヘッド1
0の加圧手段あるいは上下動手段としてのシリンダ20
が設けられている。シリンダ20は各ヘッド10に対応
して各ヘッド10の上方に位置しており、支持フレーム
1に横方向に形成された長孔21(図1)に挿入される
ボルト22およびナット23を有している。したがって
フレーム2と同様の操作により、シリンダ20の横方向
の位置調整を行う。
At the bottom of the frame 2, a rectangular backup portion 6 is provided. The head 10 is a backup unit 6
Located above. The head 1 is provided on the upper surface of the support frame 1.
Cylinder 20 as pressure means or vertical movement means of zero
Is provided. The cylinder 20 is located above each head 10 corresponding to each head 10, and has a bolt 22 and a nut 23 inserted into a long hole 21 (FIG. 1) formed in the support frame 1 in a lateral direction. ing. Therefore, the position of the cylinder 20 in the lateral direction is adjusted by the same operation as that of the frame 2.

【0017】バックアップ部6とヘッド10は、フレー
ム2に装着された状態で平行度の調整が可能であり、図
示しない周知機構により、バックアップ部6の上面とツ
ール11の下面の平行度が調整される。
The parallelism of the backup unit 6 and the head 10 can be adjusted while being mounted on the frame 2, and the parallelism between the upper surface of the backup unit 6 and the lower surface of the tool 11 is adjusted by a well-known mechanism (not shown). You.

【0018】図2において、シリンダ20のロッド24
は下方へ延出しており、その下端部とヘッド10の上端
部は連結部材25,26,27により取りはずし自在に
連結されている。シリンダ20のロッド24が下方へ延
出するとヘッド10は下降し、ロッド24が上昇すると
ヘッド10は上昇する。勿論、ヘッド10の加圧手段と
しては、シリンダ20以外にも、カム機構やリニアモー
タなども適用できる。
In FIG. 2, the rod 24 of the cylinder 20
Extends downward, and the lower end thereof and the upper end of the head 10 are removably connected by connecting members 25, 26, 27. When the rod 24 of the cylinder 20 extends downward, the head 10 goes down, and when the rod 24 goes up, the head 10 goes up. Of course, in addition to the cylinder 20, a cam mechanism, a linear motor, or the like can be applied as a pressing unit for the head 10.

【0019】本実施の形態では、加圧手段であるシリン
ダ20とヘッド10を別々のフレーム(支持フレーム
1、フレーム2)に装着している。このような構成にす
ることにより、シリンダ20によってヘッド10を加圧
しても、その反力の大部分を支持フレーム1が受けるこ
とになるのでフレーム2は変形しない。従って加圧によ
ってヘッド10とバックアップ部6の平行度が狂うこと
がない。
In this embodiment, the cylinder 20 and the head 10, which are the pressing means, are mounted on separate frames (support frame 1, frame 2). With such a configuration, even if the head 10 is pressed by the cylinder 20, most of the reaction force is received by the support frame 1, so that the frame 2 is not deformed. Therefore, the degree of parallelism between the head 10 and the backup unit 6 does not change due to pressure.

【0020】図1において、支持フレーム1の下部に
は、フレーム2を位置決めするための立壁1aが形成さ
れている。この立壁1aの側面にフレーム2を当接する
ことにより、各フレーム2のバックアップ部6やヘッド
10を横方向の一直線上に整列させることができる。従
って立壁1aは、複数のフレーム2のバックアップ部6
及びヘッド10を一直線上に整列させるフレーム整列手
段となっている。また立壁1aは、フレーム2を横方向
へ移動させる際のガイド部として機能する。
In FIG. 1, a standing wall 1a for positioning the frame 2 is formed below the supporting frame 1. By contacting the frame 2 with the side surface of the standing wall 1a, the backup portion 6 and the head 10 of each frame 2 can be aligned in a horizontal straight line. Therefore, the standing wall 1a is provided with the backup portions 6 of the plurality of frames 2.
And a frame aligning means for aligning the head 10 on a straight line. The upright wall 1a functions as a guide when the frame 2 is moved in the lateral direction.

【0021】図1および図2において、支持フレーム1
の前方には可動テーブル30が設けられている。可動テ
ーブル30はXテーブル31、Yテーブル32、Zθテ
ーブル33を段積して構成されている。Zθテーブル3
3上には吸着部34があり、表示パネルなどの基板40
はこの吸着部34に吸着して支持・固定される。MX、
MYは、それぞれXテーブル31とYテーブル32の駆
動用モータである。
In FIG. 1 and FIG.
A movable table 30 is provided in front of. The movable table 30 is configured by stacking an X table 31, a Y table 32, and a Zθ table 33. Zθ table 3
3, there is a suction portion 34, and a substrate 40 such as a display panel is provided.
Is adsorbed and supported / fixed by the adsorption section 34. MX,
MY is a motor for driving the X table 31 and the Y table 32, respectively.

【0022】可動テーブル30が作動することにより、
基板40はX方向、Y方向、Z方向、θ方向に水平移動
してその位置決めがなされる。図示しないが、基板40
の縁部には電極が狭ピッチで多数並設されており、図2
に示す電子部品41はリード、バンプなどの電極42を
この電極に位置合わせして基板40にボンディングされ
る。
When the movable table 30 is operated,
The substrate 40 is horizontally moved in the X, Y, Z, and θ directions for positioning. Although not shown, the substrate 40
A large number of electrodes are arranged side by side at a narrow pitch at the edge of FIG.
The electronic component 41 shown in FIG. 1 is bonded to the substrate 40 by aligning electrodes 42 such as leads and bumps with these electrodes.

【0023】この電子部品のボンディング装置は上記の
ような構成より成り、次に全体の動作を説明する。基板
40を吸着部34上に載せ、図2に示すように基板40
の縁部をバックアップ部6上に載せる。本形態では、電
子部品41の電極42は、前工程で基板40の縁部の電
極上に仮付けされている。そこでシリンダ20を作動さ
せてヘッド10を下降させ、ツール11で電極42を押
圧する。するとツール11からの伝熱により電極42は
基板40の電極に接着され、次いでヘッド10を上昇さ
せて押圧状態を解除することにより、ボンディングは終
了する。
This electronic component bonding apparatus has the above-described configuration. Next, the overall operation will be described. The substrate 40 is placed on the suction section 34, and as shown in FIG.
Is placed on the backup unit 6. In the present embodiment, the electrodes 42 of the electronic component 41 are temporarily attached to the electrodes at the edge of the substrate 40 in the previous step. Then, the head 10 is lowered by operating the cylinder 20, and the electrode 42 is pressed by the tool 11. Then, the electrode 42 is adhered to the electrode of the substrate 40 by the heat transfer from the tool 11, and then the head 10 is lifted to release the pressed state, thereby completing the bonding.

【0024】1個のヘッド10で基板40にボンディン
グされる電子部品41の個数は任意に決定される。また
一般には、基板40の4辺の縁部のうち、複数の縁部に
電子部品41はボンディングされるものであり、Zθテ
ーブル33を駆動して基板40を90°あるいは180
°水平回転させながら、基板40の各辺の縁部に所望の
電子部品を次々にボンディングする。
The number of electronic components 41 bonded to the substrate 40 by one head 10 is arbitrarily determined. Generally, the electronic components 41 are bonded to a plurality of edges of the four sides of the substrate 40, and the Zθ table 33 is driven to move the substrate 40 by 90 ° or 180 °.
The desired electronic components are successively bonded to the edges of each side of the substrate 40 while being horizontally rotated.

【0025】さて、例えば、基板の品種変更によりボン
ディングする電子部品の実装位置(実装ピッチ)が変わ
るような場合には、ヘッド10とバックアップ部6の横
方向の位置調整を行う必要がある。この位置調整は次の
ようにして行う。すなわちナット5(図2)を緩め、フ
レーム2を横方向へ所望の位置まで移動させ、そこでナ
ット5を締着してフレーム2を固定する。この場合、好
ましくは、シリンダ20側のナット23(図2)も緩
め、シリンダ20もフレーム2と一緒に横方向へ移動さ
せてその位置を調整する。勿論、連結部材25,26,
27によるヘッド10との連結を取りはずして、フレー
ム2とは別個に位置調整をしてもよい。
If, for example, the mounting position (mounting pitch) of the electronic component to be bonded changes due to a change in the type of substrate, it is necessary to adjust the horizontal position of the head 10 and the backup unit 6. This position adjustment is performed as follows. That is, the nut 5 (FIG. 2) is loosened, and the frame 2 is moved laterally to a desired position, where the nut 5 is tightened to fix the frame 2. In this case, preferably, the nut 23 (FIG. 2) on the cylinder 20 side is also loosened, and the position of the cylinder 20 is adjusted by moving the cylinder 20 together with the frame 2 in the lateral direction. Of course, the connecting members 25, 26,
The connection with the head 10 by 27 may be removed, and the position may be adjusted separately from the frame 2.

【0026】以上のように、ヘッド10とバックアップ
部6は同一のフレーム2に取り付けられているので、フ
レーム2を横方向に移動させることにより、ヘッド10
とバックアップ部6は同時に一体的に横方向の位置調整
がなされることになり、またヘッド10とバックアップ
部6は一体的に横方向に移動するので、この位置調整に
よりヘッド10とバックアップ部6の平行度が狂うこと
もない。したがって従来装置では基板の品種変更の毎に
必要であったヘッド10とバックアップ部6の平行度の
調整が不要となる。更には、シリンダ20の横方向の位
置調整も、フレーム2の位置調整に連動して簡単に行う
ことも可能となる。
As described above, since the head 10 and the backup unit 6 are mounted on the same frame 2, the head 10 is moved by moving the frame 2 in the horizontal direction.
The head 10 and the backup unit 6 are simultaneously and horizontally moved, and the head 10 and the backup unit 6 are integrally moved in the horizontal direction. Parallelism does not go out of order. Therefore, in the conventional apparatus, it is not necessary to adjust the parallelism between the head 10 and the backup unit 6 which is required every time the type of substrate is changed. Further, the horizontal position adjustment of the cylinder 20 can be easily performed in conjunction with the position adjustment of the frame 2.

【0027】また、バックアップ部6やヘッド10を交
換する必要が生じた場合も、平行度が調整された状態で
フレーム2に装着されたバックアップ部6とヘッド10
を準備しておけば、支持フレーム1から不要なフレーム
2を取り外して新しいフレーム2を取り付けるだけでよ
いので、交換の際の平行度の調整も不要となる。
When the backup unit 6 and the head 10 need to be replaced, the backup unit 6 and the head 10 mounted on the frame 2 with the parallelism adjusted are adjusted.
Is prepared, it is only necessary to remove the unnecessary frame 2 from the support frame 1 and attach a new frame 2, so that it is not necessary to adjust the parallelism at the time of replacement.

【0028】(実施の形態2)図3は本発明の実施の形
態2における電子部品のボンディング装置の部分側面図
である。この形態では、テープ状のシート51がツール
11とバックアップ部6の間に張設されている。52は
シート繰出しリール、53はシート巻取りリールであ
る。シート巻取りリール53の配設スペースを確保する
ために、ヘッド10を支持するフレーム50は断面コ字
形になっている。他の構成は実施の形態1と同じであ
る。したがってツール11は、シート51を介して電子
部品を基板にボンディングする。またヘッド10とバッ
クアップ部6の横方向の位置調整は実施の形態1と同様
に行われる。シート51は、電子部品を基板に接着する
ための異方性導電剤などの補助剤がツール11に付着す
るのを防止するためのものであり、シート繰出しリール
52からシート巻取りリール53へ送りながら使用され
る。
(Embodiment 2) FIG. 3 is a partial side view of an electronic component bonding apparatus according to Embodiment 2 of the present invention. In this embodiment, a tape-shaped sheet 51 is stretched between the tool 11 and the backup unit 6. 52 is a sheet feeding reel, and 53 is a sheet take-up reel. In order to secure a space for disposing the sheet take-up reel 53, the frame 50 supporting the head 10 has a U-shaped cross section. Other configurations are the same as the first embodiment. Therefore, the tool 11 bonds the electronic component to the substrate via the sheet 51. The horizontal position adjustment between the head 10 and the backup unit 6 is performed in the same manner as in the first embodiment. The sheet 51 is for preventing an auxiliary agent such as an anisotropic conductive agent for adhering the electronic component to the substrate from adhering to the tool 11, and is supplied from the sheet feeding reel 52 to the sheet take-up reel 53. Used while.

【0029】[0029]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、基
板の品種変更などによりヘッドやバックアップ部の横方
向の位置調整を行う場合、両者を取り付けたフレームを
横方向に移動させればよいので、ヘッドとバックアップ
部の平行度には狂いを生じにくく、したがって平行度の
調整を不要にすることが可能になり、取り扱い管理上き
わめて有利である。
As described above, according to the present invention, when the horizontal position adjustment of the head and the backup portion is performed by changing the type of the board, the frame to which both are attached may be moved in the horizontal direction. Therefore, the degree of parallelism between the head and the backup portion is unlikely to be out of order, so that it is not necessary to adjust the degree of parallelism, which is extremely advantageous in terms of handling management.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施の形態1における電子部品のボン
ディング装置の斜視図
FIG. 1 is a perspective view of an electronic component bonding apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の実施の形態1における電子部品のボン
ディング装置の側面図
FIG. 2 is a side view of the electronic component bonding apparatus according to the first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の実施の形態2における電子部品のボン
ディング装置の部分側面図
FIG. 3 is a partial side view of an electronic component bonding apparatus according to a second embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 支持フレーム 2 フレーム 6 バックアップ部 10 ヘッド 30 可動テーブル 40 基板 41 電子部品 50 フレーム DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Support frame 2 Frame 6 Backup part 10 Head 30 Movable table 40 Substrate 41 Electronic component 50 Frame

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板を支持する可動テーブルと、この可動
テーブルに支持された基板の縁部を下方から支持するバ
ックアップ部と、バックアップ部の上方にあって加圧手
段に駆動されて上下動作を行って電子部品を基板の縁部
にボンディングするヘッドとを備え、前記バックアップ
部と前記ヘッドを同一のフレームに取り付け、このフレ
ームを支持フレームに横方向の位置調整自在に装着した
ことを特徴とする電子部品のボンディング装置。
1. A movable table for supporting a substrate, a backup unit for supporting an edge of the substrate supported by the movable table from below, and a vertical movement above the backup unit and being driven by a pressurizing means. And a head for bonding the electronic component to the edge of the substrate. The backup unit and the head are mounted on the same frame, and the frame is mounted on the support frame so as to be freely adjustable in the lateral direction. Bonding equipment for electronic components.
【請求項2】前記加圧手段を前記支持フレームに横方向
の位置調整自在に装着したことを特徴とする請求項1記
載の電子部品のボンディング装置。
2. An electronic component bonding apparatus according to claim 1, wherein said pressurizing means is mounted on said support frame so as to be freely adjustable in a lateral direction.
【請求項3】前記フレームが垂直な前面を有し、この前
面に、垂直なガイドレールとこのガイドレールにスライ
ド自在に装着されたスライダを介して、前記ヘッドを上
下動自在に装着したことを特徴とする請求項1または2
記載の電子部品のボンディング装置。
3. The apparatus according to claim 1, wherein the frame has a vertical front surface, and the head is vertically movably mounted on the front surface via a vertical guide rail and a slider slidably mounted on the guide rail. 3. A method according to claim 1, wherein
An electronic component bonding apparatus as described in the above.
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CN112333932A (en) * 2020-11-23 2021-02-05 深圳远芯光路科技有限公司 Multi-pressure-head hot-pressing backflow device and operation method thereof

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