JP2002116388A - 光スイッチ及びそれを含む光スイッチ・デバイス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 導波路の集積化を妨げることなく製造可能な
構造を備えた光スイッチ及び光スイッチデバイスを提供
する。 【解決手段】 この発明に係る光スイッチ・デバイス
は、所定間隔で内部に複数の導波路(500)が設けられた
導波路基板基板(100)と、これら導波路(500)のうち少な
くとも一部の光軸を横切るように導波路基板(100)に設
けられた溝(110)と、溝(110)に沿って所定の光学部品(3
10)を移動させる光スイッチ(200)を備える。この光スイ
ッチ(200)は、導波路(500)が形成される面と一致しない
ように導波路(500)に沿って導波路基板(100)表面に形成
されるため、導波路(500)の集積化は制限されない。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、集積化された導
波路アレイに適用可能な光スイッチ、及びＡＷＧ（Arra
yed Waveguide Grating）回路等の集積化された導波路
アレイが設けられている光機能デバイスの一部を構成す
る光スイッチ・デバイスに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】光スイッチ・デバイスには、導波路から
の出力光を遮断したり、方向を変えることができる電気
的に制御可能なマイクロ・デバイスがあり、光通信シス
テム中の種々の異なる用途に広く利用されている。ま
た、従来の光スイッチ・デバイスとしては、例えば特開
平2000-111815号公報やCornel Marxer et al., "Micro-
Opto-Mechanical 2×2 Switch for Single-Mode Fibers
Based on Plasma-EtchedSilicon Mirror and Electros
tatic Actuation", 1999 IEEEに、複数の光ファイバ間
において出力光の進行方向を切り換えるための構成が示
されている。

【０００３】図１０は、静電アクチュエータを有する従
来の光スイッチ・デバイスの概略構成を示す斜視図であ
る。この光スイッチ・デバイスでは、導波路である複数
の光ファイバ６００ａ〜６００ｃ間で出力光の進行方向
を切り替えるための静電アクチュエータ７００（光スイ
ッチ）が、これら光ファイバ６００ａ〜６００ｃが設置
された基板の同一面上に設けられている。なお、静電ア
クチュエータ７００は、先端に光学部品であるミラー７
３０が取り付けられた支持アーム７１０と、該ミラー７
３０を光ファイバ６００ａ〜６００ｃの端面で規定され
る空間内に挿入したり該空間から退避させるため、図中
の矢印Ｓ２で示された方向に支持アーム７１０を移動さ
せる駆動系７２０とを備えている。すなわち、静電アク
チュエータ７００は、駆動系７２０が支持アーム７１０
を図中の矢印Ｓ２で示された方向に動かすことにより、
該支持アーム７１０の先端に取り付けられたミラー７３
０の位置を変更している。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】発明者は、従来の光ス
イッチ・デバイスについて検討した結果、以下のような
課題を発見した。すなわち、従来の光スイッチ・デバイ
スは、導波路と光スイッチとして機能する静電アクチュ
エータとが、同一面上に設けられた構造を有する。ま
た、この静電アクチュエータは、その駆動系が平面的な
形状をしており、十分な駆動力を得るため基板表面に１
０×１０ｍｍ²程度の面積を専有することとなる。

【０００５】従来の光スイッチ・デバイスは、このよう
に専有面積の大きな駆動系を有する静電アクチュエータ
が、導波路が配置される基板の同一面上に形成されてい
るので、導波路の集積化が困難であるとともに、例えば
２５０μｍ間隔で平面的に配列された複数の導波路から
構成される導波路アレイには全く適応できないという課
題があった。

【０００６】この発明は、以上のような課題を解決する
ためになされたものであり、導波路の集積化（アレイ
化）を妨げることなく製造可能な構造を備えた光スイッ
チ及びそれを含む光スイッチ・デバイスを提供すること
を目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】この発明に係る光スイッ
チ・デバイスは、集積化された導波路アレイに適用可能
な構造を有する光スイッチを含み、ＡＷＧ回路等の導波
路アレイを含む光機能デバイスの一部をも構成し得るマ
イクロ・デバイスである。

【０００８】すなわち、この発明に係る光スイッチ・デ
バイスは、所定の導波路間隔を有する導波路アレイが内
部に設けられるとともに、この導波路アレイを構成する
導波路（埋め込み型導波路）のうち少なくとも一部の導
波路の光軸を横切る溝が設けられた導波路基板を有し、
さらに、このような溝が設けられた導波路基板表面に該
導波路に沿って伸びた形状の光スイッチ（この発明に係
る光スイッチ）が設けられている。なお、上記導波路基
板は、導波路アレイを有するＡＷＧ回路等のような光機
能デバイスの一部であってもよい。また、上記溝は、上
記導波路アレイを構成する導波路を切断する程度の深さ
を有し、該溝の側面には導波路端面が露出している。上
記駆動系は、上記導波路アレイが設けられた面を避けて
上記導波路基板表面に設けられている。

【０００９】上述のような構造を備える光スイッチ・デ
バイスの一部を構成する、この発明に係る光スイッチ
は、上記溝を規定する空間内にミラー、光フィルタ等の
光学部品を保持した状態で、該溝の伸びる方向に沿って
該光学部品を移動させる駆動系を備える。このように、
上記導波路アレイが設けられる面を避けて光スイッチが
設けられることにより、導波路の集積化（アレイ化）を
制限することなく所望の駆動力を有する光スイッチが得
られる。また、上記光学部品が移動する溝は上記導波路
アレイの製造工程が終了した後に別途形成することがで
きるので、集積化された導波路アレイを有する既存の光
機能デバイスの一部に当該光スイッチを適用することも
可能である。

【００１０】この発明に係る光スイッチは、低電圧駆動
を可能にするため、上記溝の一部を覆った状態で光学部
品を支持する支持部を有する静電アクチュエータを含む
ことが好ましい。この場合、当該光スイッチにおける駆
動系は、互いに対向して導波路基板表面に設けられた第
１及び第２の櫛形電極と、これら第１及び第２の櫛形電
極の間に位置し、その一部が導波路基板表面から離間し
ている櫛形フローティング電極とを備える。なお、第１
の櫛形電極、第２の櫛形電極及び櫛形フローティング電
極は、いずれも上記溝を挟むように１対の電極部から構
成されており、櫛形フローティング電極の一部は、上記
溝の一部を覆った状態で光学部品を支持する支持部を構
成している（この支持部は該櫛形フローティング電極を
構成する１対の電極部分によって挟まれている）。

【００１１】特に、導波路アレイの集積効率を考慮すれ
ば、当該光スイッチにおける駆動系が設けられる領域
は、導波路アレイが伸びる方向と直交する方向の最大幅
が該導波路アレイを構成する導波路間の間隔よりも小さ
いことが好ましい。導波路アレイを構成する各導波路ご
とに光スイッチを用意する場合、導波路の集積化を妨げ
ることなく、該導波路の集積化と同様に、導波路基板上
に配置される光スイッチの集積化が可能になるからであ
る。また、この駆動系は、導波路アレイの伸びる方向に
はサイズ制限がないので、上記各櫛形電極を導波路アレ
イと同じ長さまで延ばすことができ、十分な駆動力が確
保できる。例えば、２５０μｍの導波路間隔を有する導
波路アレイが設けられた既存の光機能デバイスの一部に
当該光スイッチが適用される場合、上記駆動系による光
学部品の移動量は５０μｍ以下でよく、従来の光スイッ
チよりも遥かに小さな移動量でスイッチング機能が実現
される。また、導波路アレイが伸びる方向の長さを十分
に確保すれば、上記駆動系における導波路アレイが伸び
る方向と直交する方向の最大幅は２００μｍ以下に抑え
ることにより導波路ごとに用意される光スイッチの集積
化も可能になる。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、この発明に係る光スイッチ
の各実施形態を、図１〜図９を参照しながら説明する。
なお、各図において、同一部分には同一の番号を付して
重複する説明は省略する。

【００１３】図１は、この発明に係る光スイッチ及びそ
れを含む光スイッチ・デバイスの第１実施形態の構成を
示す平面図であり、図２は、この発明に係る光スイッチ
及びそれを含む光スイッチ・デバイスの第２実施形態の
構成を示す平面図である。なお、これら各実施形態に係
る光スイッチ・デバイスは、集積化された導波路アレイ
に適用可能な構造を有する光スイッチを含み、ＡＷＧ回
路等の導波路アレイを含む光機能デバイスの一部をも構
成し得るマイクロ・デバイスである。

【００１４】図１に示された第１実施形態に係る光スイ
ッチ・デバイスは、互いに隣接する導波路５００が交差
するよう構成された導波路アレイが作り込まれた導波路
基板１００を有し、導波路基板１００の表面には、この
発明に係る光スイッチとしての静電アクチュエータ２０
０が設けられている。また、この導波路基板１００の表
面には導波路５００の各交差部分において該導波路５０
０の各光軸を横切るように溝１１０が形成されている。
溝１１０は、各導波路５００の端面が露出する程度の深
さを有する。そして、導波路５００の各交差部分に位置
する溝１１０の一部を覆うように、導波路基板１００の
表面には、導波路５００に沿って伸びる形状の静電アク
チュエータ２００が設けられている。静電アクチュエー
タ２００は、溝１１０を挟んで配置された１対の駆動部
分２００Ａ、２００Ｂ（これら１対の駆動部分２００
Ａ、２００Ｂにより静電アクチュエータ２００の駆動系
が構成される）と、溝１１０を覆うようにこれら駆動部
分２００Ａ、２００Ｂの間に設けられた支持部３００を
備える。支持部３００には、ミラー、光フィルタ等の光
学部品３１０が取り付けられており、静電アクチュエー
タ２００の駆動系により支持部３００は溝１１０が伸び
る方向に沿って移動する。そして、この支持部３００の
移動により、光学部品３１０は、溝１１０により規定さ
れる空間内に該支持部３００に支持された状態で、該溝
１１０が伸びる方向に沿って移動可能となっている。

【００１５】一方、図２に示された第２実施形態に係る
光スイッチ・デバイスは、所定間隔で平面的に配置され
た導波路で構成された導波路アレイが作り込まれた導波
路基板１００を有し、導波路基板１００の表面には、こ
の発明に係る光スイッチとしての静電アクチュエータ２
００が設けられている。また、この導波路基板１００の
表面には導波路５００の各光軸を横切るように溝１１０
が形成されている。溝１１０は、各導波路５００の端面
が露出する程度の深さを有する。そして、導波路５００
を横切る溝１１０の一部を覆うように、導波路基板１０
０の表面には、導波路５００に沿って伸びる形状の静電
アクチュエータ２００が設けられている。静電アクチュ
エータ２００は、溝１１０を挟んで配置された１対の駆
動部分２００Ａ、２００Ｂ（これら１対の駆動部分２０
０Ａ、２００Ｂにより静電アクチュエータ２００の駆動
系が構成される）と、溝１１０を覆うようにこれら駆動
部分２００Ａ、２００Ｂの間に設けられた支持部３００
を備える。支持部３００には、ミラー、光フィルタ等の
光学部品３１０が取り付けられており、静電アクチュエ
ータ２００の駆動系により支持部３００は溝１１０が伸
びる方向に沿って移動する。そして、この支持部３００
の移動により、光学部品３１０は、溝１１０により規定
される空間内に該支持部３００に支持された状態で、該
溝１１０が伸びる方向に沿って移動可能となっている。

【００１６】なお、上述に第１及び第２実施形態に係る
光スイッチ・デバイス（図１及び図２）のいずれにおい
ても、上記導波路基板１００は、導波路アレイを有する
ＡＷＧ回路等のような光機能デバイスの一部であっても
よい。

【００１７】また、静電アクチュエータ２００における
各駆動部分２００Ａ、２００Ｂの幅（導波路５００が伸
びる方向と直交する方向の最大幅）は、導波路アレイの
集積効率を考慮すれば、各導波路５００の間隔よりも小
さいことが好ましい。例えば図２に示された光スイッチ
・デバイスのように、導波路アレイを構成する各導波路
５００ごとに光スイッチを用意する場合、導波路５００
の集積化（アレイ化）を妨げることなく、該導波路５０
０の集積化と同様に、導波路基板１００上に配置される
静電アクチュエータ２００の集積化が可能になるからで
ある。また、静電アクチュエータ２００の駆動系を構成
する駆動部分２００Ａ、２００Ｂは、いずれも導波路５
００の伸びる方向にはサイズ制限がないので、導波路５
００と同じ長さまで延ばすことができ、十分な駆動力が
確保できる。例えば、導波路５００の間隔が２５０μｍ
であれば、静電アクチュエータ２００による光学部品３
１０の移動量は５０μｍ以下でよく、従来の光スイッチ
よりも遥かに小さな移動量でスイッチング機能が実現さ
れる。また、導波路５００が伸びる方向の長さを十分に
確保すれば、各駆動部分２００Ａ、２００Ｂ幅を２００
μｍ以下に抑えることにより導波路５００に用意される
静電アクチュエータ２００の集積化も可能になる。

【００１８】上記導波路基板１００には、上述のように
平面的に配列された複数の導波路５００で構成された導
波路アレイが作り込まれているが、具体的に導波路基板
１００は図３に示されたような断面構造を有する。すな
わち、導波路基板１００は、ＳｉＯ₂基板１２０（Ｓｉ
基板でもよい）と、ＳｉＯ₂基板１２０上にパターンニ
ングされた導波路５００に相当するコア１３０と、コア
１３０を覆うようにＳｉＯ₂基板１２０上に形成された
クラッド１４０とを備える。

【００１９】以上のように、この発明に係る光スイッチ
・デバイスでは、アクチュエータ２００が、導波路５０
０（埋め込み型導波路）がアレイ化されている面を避け
て導波路基板１００の表面に設けられていることを特徴
としている。このように、導波路５００が配列している
面を避けて静電アクチュエータ２００が設けられること
により、導波路５００の集積化を制限することなく所望
の駆動力を有する静電アクチュエータ２００の形成が可
能となる。また、光学部品３１０が移動する溝１１０は
導波路５００の製造工程が終了した後に別途形成するこ
とができるので、集積化された導波路アレイを有する既
存の光機能デバイスの一部に光スイッチとしての静電ア
クチュエータを適用することも可能である。

【００２０】次に、この発明に係る光スイッチの一実施
形態として、静電アクチュエータの構成を図４を用いて
説明する。この静電アクチュエータは、低電圧駆動を可
能にするので、当該光スイッチ・デバイスのようなマイ
クロ・デバイスの駆動系に適している。

【００２１】図４において、静電アクチュエータ２００
は、駆動系として、溝１１０を挟んで導波路基板１００
の表面に形成された１対の駆動部分２００Ａ、２００Ｂ
を備える。なお、これら駆動部分２００Ａ、２００Ｂの
構造は溝１１０を中心に線対称な関係にあるため、以下
の説明では駆動部分２００Ｂの構造に限定して説明す
る。

【００２２】駆動部分２００Ｂは、互いに対向して導波
路基板１００の表面に設けられた第１の櫛形電極２１０
及び第２の櫛形電極２２０と、これら第１及び第２の櫛
形電極２１０、２２０の間に位置し、その一部が導波路
基板１００の表面から離間している櫛形フローティング
電極２３０とを備える。櫛形フローティング電極２３９
は、櫛形電極部分２３０ａと、導波路基板１００の表面
に直接形成されたベース部分２３０ｃと、櫛形電極部分
２３０ａとベース部分２３０ｃとを連絡するとともに該
櫛形電極部分２３０ａを導波路基板１００の表面から所
定距離離間した状態で支持する板バネ２３０ｂとを備え
る。また、光学部品３１０が取り付けられた支持部３０
０は、駆動部分２００Ａ、２００Ｂにおける各櫛形フロ
ーティング電極２３０によって、溝１１０の一部を覆う
よう支持されている。

【００２３】以上のように、溝１１０により規定される
空間に光学部品３１０が保持された状態が図５に示され
ている。なお、図５は、図２中に示されたＩＩ−ＩＩ線
に沿った静電アクチュエータ２００の一部断面構造を導
波路基板１００の断面構造とともに示す図である。

【００２４】また、図６は、図４中に示されたＩＩＩ−
ＩＩＩ線に沿った静電アクチュエータ２００の一部断面
構造（特に、板バネ２３０ｂ近傍）を導波路基板１００
の断面構造とともに示す図であり、このように導波路基
板１００の表面との間に間隙を設けた櫛形フローティン
グ電極２３０の形成方法は、例えば「応用物理」（第６
０巻、第３号（１９９１）ｐｐ．２２８−２３２）、
「シリコンマイクロマシーニング先端技術」（サイエン
スフォーラム、１９９２年３月）、「マイクロマシーニ
ングとマイクロメカトロニクス」（培風館、１９９２年
６月）などに詳述されている。

【００２５】次に、この発明に係る光スイッチの一実施
形態である静電アクチュエータ２００の、光学部品３１
０を移動させる駆動動作について図７及び図８を用いて
説明する。なお、図７は、第１の櫛形電極２１０及び櫛
形フローティング電極２３０間に所定電圧が印加された
状態での、各電極２１０〜２３０の状態を示す図であ
り、図８は、静電アクチュエータ２００における板バネ
２３０ｂの形状変化の様子を示す図である。

【００２６】まず、第１の櫛形電極２１０と櫛形フロー
ティング電極２３０間に所定の電圧が印加されると、導
波路基板１００の表面から間隙を介して離間している櫛
形フローティング電極２３０が、図７に示されたよう
に、全体的に第１の櫛形電極２１０に引っ張られる。こ
のように、櫛形フローティング電極２３０の位置が、図
７中の矢印Ｓ１で示された方向に移動することにより、
駆動部分２００Ａ、２００Ｂそれぞれの櫛形フローティ
ング電極２３０により保持された支持部３００も矢印Ｓ
１で示された方向に５０μｍ程度移動することになる。
すなわち、支持部３００に取り付けられた光学部品３１
０の溝１１０内の位置も、該支持部３００の移動ととも
に変わる。このとき、板バネ２３０ｂは、櫛形フローテ
ィング電極２３０全体の移動に伴って、図８に示された
ように一旦湾曲した後に直線状になった状態で止まり
（自己保持）、電圧が印加されていない状態でも櫛形フ
ローティング電極２３０の櫛形電極部２３０ａの位置が
固定される。

【００２７】一方、第２の櫛形電極２２０と櫛形フロー
ティング電極２３０間に所定の電圧が印加されると、導
波路基板１００の表面から間隙を介して離間している櫛
形フローティング電極２３０が、すなわち第２の櫛形電
極２１０に全体的に引っ張られる。このように、櫛形フ
ローティング電極２３０の位置が、図７中の矢印Ｓ１で
示された方向とは逆方向に移動することにより、駆動部
分２００Ａ、２００Ｂそれぞれの櫛形フローティング電
極２３０により保持された支持部３００も矢印Ｓ１で示
された方向とは逆方向に５０μｍ程度移動することにな
る。同様に、支持部３００に取り付けられた光学部品３
１０の溝１１０内の位置も、該支持部３００の移動とと
もに変わる。なお、このときも板バネ２３０ｂは、櫛形
フローティング電極２３０全体の移動に伴って、図８に
示されたように一旦湾曲した後に直線状になった状態で
止まり（自己保持）、電圧が印加されていない状態でも
櫛形フローティング電極２３０における櫛形電極部２３
０ａの位置が固定される。

【００２８】上述のような櫛形フローティング電極２３
０の自己保持機能は、板バネ２３０ｂを含む構造体の形
状を変更することで、他の遷移スキームを取らせること
も可能である。すなわち、図８は、板バネ２３０ｂの高
さ（導波路基板１００の表面に対して垂直方向の厚み）
が、該板バネ２３０ｂの幅に対して大きく取られること
により（図６及び図８参照）、導波路基板１００の表面
を見たときの横方向に曲がり易くなった構造による機械
的なスイッチング動作が示されている。

【００２９】また、板バネ２３０ｂの櫛形電極部２３０
ａとの接続部分、及び該板バネ２３０ｂとベース部２３
０ｃとの接続部分は、いずれもスイッチング動作が行わ
れるごとに大きな応力と変形を受ける。そこで、スイッ
チング動作の信頼性や接続部分の機械的な寿命を向上さ
せるため、図９（ａ）に示されたように、板バネ２３０
ｂの両端における櫛形電極部２３０ａ及びベース部２３
０ｃの接続部分に蝶番（ちょうつがい）構造を備えても
よい。さらに、強い自己保持機能をえるため、図９
（ｂ）に示されたように、板バネ２３０ｂは、複数の平
板部分、複数の曲板部分、あるいはこれらの組み合わせ
により構成されてもよい。

【００３０】

【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、埋め込
み型導波路の光軸を横切るように光学部品を移動させる
ための溝が導波路基板に設けられるとともに、該光学部
品を支持した状態で溝に沿って移動させるための光スイ
ッチが該導波路基板表面に配置されている。このように
導波路基板において導波路が形成されている面と光スイ
ッチの駆動系等が形成されている面とが異なっているの
で、導波路アレイの集積化を妨げることなく光スイッチ
の形成が可能になる。また、導波路アレイを形成する工
程と溝を形成する工程は別個に実施することができるの
で、集積化された導波路アレイを有する既存の光学機能
デバイスの一部として当該光スイッチ・デバイスを容易
に形成することが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明に係る光スイッチ及び光スイッチ・デ
バイスの第１実施形態の概略構成を示す平面図である。

【図２】この発明に係る光スイッチ及び光スイッチ・デ
バイスの第２実施形態の概略構成を示す平面図である。

【図３】図２中に示されたＩ−Ｉ線に沿った導波路基板
の断面構造を示す図である。

【図４】この発明に係る光スイッチの一実施形態とし
て、静電アクチュエータの構成を示す平面図である。

【図５】図２中に示されたＩＩ−ＩＩ線に沿った静電ア
クチュエータの一部断面構造を導波路基板の断面構造と
ともに示す図である。

【図６】図４中に示されたＩＩＩ−ＩＩＩ線に沿った静
電アクチュエータの一部断面構造を導波路基板の断面構
造とともに示す図である。

【図７】静電アクチュエータの動作を説明するための図
である。

【図８】静電アクチュエータにおける板バネの形状変化
の様子を示す図である。

【図９】櫛形フローティング電極における板バネの他の
形状を示す斜視図である。

【図１０】従来の光スイッチ及び光スイッチ・デバイス
の構成を示す斜視図である。

【符号の説明】

１００…導波路基板、１１０…溝、１３０、５００…導
波路（コア）、２００…静電アクチュエータ（光スイッ
チ）、３１０…光学部品（ミラー、フィルタ等）、２１
０…第１の櫛形電極、２２０…第２の櫛形電極、２３０
…櫛形フローティング電極、２３０ａ…櫛形電極部、２
３０ｂ…板バネ、２３０ｃ…ベース部、３００…支持
部。

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の導波路間隔を有する導波路アレイ
   が内部に設けられた導波路基板と、 前記導波路アレイを構成する導波路のうち少なくとも一
   部の導波路の光軸を横切るよう前記導波路基板表面に設
   けられるとともに、該一部の導波路の端面が露出する程
   度の深さを有する溝と、 前記導波路基板表面に設けられるとともに、前記溝によ
   り規定される空間内に所定の光学部品を保持した状態
   で、該溝が伸びる方向に沿って該光学部品を移動させる
   光スイッチとを備えた光スイッチ・デバイス。
2. 【請求項２】 前記光スイッチは、前記溝の一部を覆っ
   た状態で前記光学部品を支持する支持部を有する静電ア
   クチュエータを含むことを特徴とする請求項１記載の光
   スイッチ・デバイス。
3. 【請求項３】 前記光スイッチは、その駆動系として、
   前記導波路基板表面に設けられかつ前記導波路アレイに
   沿って伸びた第１の櫛形電極と、該導波路アレイに沿っ
   て伸びるとともに該第１の櫛形電極に対向するよう前記
   導波路基板表面に設けられた第２の櫛形電極と、前記第
   １及び第２櫛形電極の間に位置し、前記光学部品を支持
   した状態でその一部が前記導波路基板表面から離間して
   いる櫛形フローティング電極とを備えたことを特徴とす
   る請求項１記載の光スイッチ・デバイス。
4. 【請求項４】 前記櫛形フローティング電極は、前記溝
   の一部を覆った状態で前記光学部品を支持する支持部を
   有することを特徴とする請求項３記載の光スイッチ・デ
   バイス。
5. 【請求項５】 前記導波路基板上における前記駆動系が
   設けられた領域は、前記導波路アレイが伸びる方向と直
   交する方向の最大幅が前記導波路アレイを構成する導波
   路間の間隔よりも小さいことを特徴とする請求項３記載
   の光スイッチ・デバイス。
6. 【請求項６】 前記駆動系による前記光学部品の移動量
   は５０μｍ以下であり、前記導波路基板上における前記
   駆動系が設けられた領域の、前記導波路アレイが伸びる
   方向と直交する方向の最大幅は２００μｍ以下であるこ
   とを特徴とする請求項３記載の光スイッチ・デバイス。
7. 【請求項７】 前記櫛形フローティング電極は、前記第
   １及び第２の櫛形電極対する相対的な位置を保持する自
   己保持機能を実現するための構造を備えたことを特徴と
   する請求項３記載の光スイッチ・デバイス。
8. 【請求項８】 前記櫛形フローティング電極は、前記光
   学部品を挟む位置に板バネを有し、これら板バネの湾曲
   と該板バネそれぞれにおける両端の変形により前記第１
   及び第２の櫛形電極対する相対的な位置を保持する自己
   保持機能が実現されることを特徴とする請求項３記載の
   光スイッチ・デバイス。
9. 【請求項９】 前記板バネそれぞれの両端は、蝶番構造
   を有することを特徴とする請求項８記載の光スイッチ・
   デバイス。
10. 【請求項１０】 前記板バネは、複数の平板部分、複数
    の曲板部分、あるいはこれらの組み合わせにより構成さ
    れることを特徴とする請求項８記載の光スイッチ・デバ
    イス。
11. 【請求項１１】 所定方向に沿って伸びた導波路が内部
    に設けられるとともに該導波路を横切る溝が設けられた
    導波路基板表面に、該溝の一部を覆た状態で該導波路に
    沿って伸びた形状を有する光スイッチであって、 前記光スイッチは、前記溝によって規定される空間内に
    所定の光学部品を保持した状態で、該溝が伸びる方向に
    沿って該光学部品を移動させる駆動系を備え、 前記駆動系は、前記導波路に沿って伸びた第１の櫛形電
    極と、前記第１の櫛形電極に対向した状態で前記導波路
    に沿って伸びた第２の櫛形電極と、前記第１及び第２櫛
    形電極の間に位置し、所定の光学部品を支持した状態で
    その一部が前記導波路基板表面から離間している櫛形フ
    ローティング電極とを備えた光スイッチ。
12. 【請求項１２】 前記櫛形フローティング電極は、前記
    溝の一部を覆った状態で前記光学部品を支持する支持部
    を有することを特徴とする請求項１１記載の光スイッ
    チ。
13. 【請求項１３】 前記櫛形フローティング電極は、前記
    第１及び第２の櫛形電極対する相対的な位置を保持する
    自己保持機能を実現するための構造を備えたことを特徴
    とする請求項１１記載の光スイッチ。
14. 【請求項１４】 前記櫛形フローティング電極は、前記
    光学部品を挟むよう配置された板バネを有し、これら板
    バネの湾曲と該板バネそれぞれにおける両端の変形によ
    り前記第１及び第２の櫛形電極対する相対的な位置を保
    持する自己保持機能が実現されることを特徴とする請求
    項１１記載の光スイッチ。
15. 【請求項１５】 前記板バネそれぞれの両端は、蝶番構
    造を有することを特徴とする請求項１４記載の光スイッ
    チ。
16. 【請求項１６】 前記板バネは、複数の平板部分、複数
    の曲板部分、あるいはこれらの組み合わせにより構成さ
    れることを特徴とする請求項１４記載の光スイッチ。