JP2002105227A - 光学的な層を有する物品を製造する方法、及び、被覆された物品。 - Google Patents
光学的な層を有する物品を製造する方法、及び、被覆された物品。Info
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Abstract
チックからなる基板を光学的な層で被覆することのでき
る方法を提供する。とりわけ、この方法により、層と基
板、および層同士の間の耐久性のある固定を達成するこ
とのできる方法を提供する。 【解決手段】 光学的な層(2,3,4)を有する物品
を製造する方法において、プラスチックからなる基板
(1)の上に複数の光学的な層(2,3,4)を形成す
る工程と、化学的プラズマ・インパルス蒸着 (PICVC)法
により前記光学的な層(2,3,4)を形成する工程と
を有することを特徴とする。
Description
なる基板、及び、複数の光学的な層を有する物品に関す
るものである。このような物品は、レンズ、プリズム、
反射器といった光学部品とすることができる。
射層で被覆された漏斗状の基体からなる。このような反
射器は、たとえば前照灯、サーチライト、スポットライ
トなど、あらゆる種類の光源の部品となる。反射器は、
ガラス、金属、あるいはプラスチックの材料から形成さ
れている。自動車業界で用いられる金属やプラスチック
の反射器には、熱放射も反射する金属製の反射面が設け
られている。
がたまり、局所的に200℃の温度にまで達する。反射器
がガラスから形成される場合は、上記のような温度に関
する何らの問題も起こらない。
板からなる反射器は、とりわけ、照明一般、あるいは、
舞台照明の分野でよく見受けられる。ここで、冷光反射
膜は、可視光線のみを反射し熱放射を透過させる。
射器が金属で被覆されていると、反射された赤外線が光
路にあるコンポーネント、とりわけ、レンズや前照灯の
カバープレートといったコンポーネントに対して部分的
に非常に高い熱負荷を与えてしまう。このような負荷の
ため、今日では、これらのコンポーネントは、通常、ガ
ラス基板のものを使用し、および/または、特殊な被膜
により熱放射から保護する必要がある。
節約に結び付くため、軽量化がますます問題とされてき
ている。このため、たとえば鋼鉄などの材料の代替材料
として、できるだけプラスチックを活用する努力がなさ
れている。ガラス反射器に対しては、これは従来不可能
であった。つまり、反射面には、冷光反射鏡が設けられ
なければならない。プラスチックにこのような冷光反射
鏡を長期にわたり固定することが不可能であったため、
プラスチックの活用はこれまで成功しなかった。
基板からなる物品を製造する方法は公知である。この方
法は、独国特許公開公報DE 195 23 444 A1 に記されて
いる。これは、低圧ガス内の高周波放電によるプラズマ
で補助されたCVD法(PICVD法)により、プラスチックに保
護層を形成させる方法である。ここで取り組まれている
のは、脆化を防止するためにこの層の粘性・延性をでき
るだけ高めることである。
は、PMMA基板表面を加工する方法が記されている。ここ
では、基板表面は保護層で覆われる。これにより、次に
この上に形成される機能層をより結合させやすくするこ
とができる。当該保護層を形成するためには、さらに工
程が必要となるが、それは、さらなる手間とコストがか
かることも意味している。
の他の方法は、独国特許公開公報DE34 13 019 A1、欧州
特許公開公報EP 0 422 323 A1、独国特許公開公報DE 40
04116 A1その他に記されている。そこでは、特に、CVD
法またはPICVD法により基板上に形成される層の結合に
関する問題が論じられている。独国特許文献DE 10010 7
66 には、特に、たとえばメガネのレンズといった曲が
った基板に層を形成するための方法及び装置が記されて
いる。
法は満足なものではなかった。これらの方法では必要な
結合の強度が達成されなかった。さらに、このようにし
て製造された物品には、上記の中間層(保護層)がはが
れ、それにより層構造が丸ごとはがれるおそれがある。
これにより、この物品が最初から使用不可能になる事態
となることもある。
たり確実に、プラスチックからなる基板を光学的な層で
被覆することのできる方法を提供することである。とり
わけ、この方法により、層と基板、および層同士の間の
耐久性のある固定を達成することができるものである。
に記載した特徴により解決される。
r)をある特定の方法、つまり、いわゆるPICVC法(化学
的プラズマ・インパルス蒸着法)を用いてプラスチック
基板上に形成させることにより、交互層とプラスチッ
ク、及び交互層同士を長期にわたり確実に固定できるこ
とを発見した。
されたPICVC法では、基板の界面が、この方法によるエ
ネルギー負荷により乱されたり、その構造にいたるまで
破壊されたりする。その結果として、基板と、隣接する
層との間の結合能力が低下する。そのため発明者は、結
合力を強化するためには、プラズマ放電に伴うエネルギ
ー負荷を最小限に抑える必要があることを見出した。こ
の場合、発生するエネルギーの量だけでなく、それがい
かにしてもたらされるかが重要となる。実用的に十分な
結合を達成するための負荷についての確実な許容限界値
は、実験により算出することができる。
を利用することができる。すなわち、プラスチックは、
とりわけ軽量で、成形が容易といった、自動車業界では
特に重要な意味を持つ長所を有し、さらには、ガラスの
破片に伴う危険を回避できるという長所を有しており、
本発明により、これらの長所を利用することができる。
その上、場合によっては、地塗りなどの基礎層を省くこ
ともできる。
れより高い温度で安定している高性能なプラスチックが
考慮の対象となる。この場合も、PICVC法が有利に働
く。というのも、基板温度が比較的低く保たれるからで
ある。生成された層そのものは固く、耐久性を有する。
の物質;シクロオレフィン-ポリマー (COP) 、シクロオ
レフィン-共重合体 (COC) 、ポリメタクリル酸メチル(P
MMA)、並びに、これらの誘導体であることが明らかにな
った。
チック、もしくは、COC-プラスチックからなる部品は、
以下に挙げるCOP-プラスチック、およびCOC-プラスチッ
クのいくつかの特性によって、反射防止膜、または被膜
を有する、または有さない光学コンポーネントとして用
いられるのに特に適したものとなる。
率が高く、複屈折率が低い。これにより、光の損失が少
なく、熱吸収による温度上昇も小さい。 (ii) 熱に対する形態安定性に優れる。 (iii) COP/COCからなる部品は、ガラスと同等の精度で
加工することができる。 (iv) 特に水蒸気に対する遮断効果がある。これは、層
体系の良好な結合のために有効である。
よび、COC-プラスチックは、多くの応用例においてガラ
ス基板の代替として利用できるため、これにより、光学
系の設計・デザインに新たな可能性が開かれる。特別に
適合させた干渉層の体系を組み合わせることにより、高
性能の光学コンポーネントを製造することができる。
成だけでなく、特にプラスチック上の被膜形成に適した
被膜形成技術を手にすることになる。その一つの適用例
が、冷光反射鏡を有するプラスチック反射器で、特に自
動車業界の関心が高いものである。冷光反射膜で被覆さ
れたガラス基板からなる反射器は、今日、とりわけ、照
明一般、あるいは、舞台照明の分野でよく見受けられ
る。ここで、冷光反射膜は、可視光線のみを反射し熱放
射を透過させる。
射器が金属で被覆されていると、反射された赤外線が光
路にあるコンポーネント、とりわけ、レンズや前照灯の
カバープレートといったコンポーネントに対して部分的
に非常に高い熱負荷を与えてしまう。このような負荷の
ため、今日では、これらのコンポーネントは、通常、ガ
ラス基板のものを使用し、および/または、特殊な層に
より熱放射から保護する必要がある。
節約に結び付くため、軽量化がますます問題とされてき
ている。このため、たとえば鋼鉄などの材料の代替材料
として、できるだけプラスチックを活用する努力がなさ
れている。ガラス反射器に対しては、これは従来不可能
であった。つまり、反射面には、冷光反射鏡が設けられ
なければならない。プラスチックにこのような冷光反射
鏡を長期にわたり固定することが不可能であったため、
プラスチックの活用はこれまで成功しなかった。
クから製造することができ、このとき、プラスチックの
長所、とりわけ、比重が小さく、成形が容易といった長
所を備えさせることができる。また、破片防止の問題も
生じない。
鏡として構成される。反射面は、目的に合わせて、それ
ぞれ屈折率の異なる複数の層から構成されている。この
被膜は可視光を反射し、赤外線を透過させる(冷光反射
鏡の原理)。
すなわち、プラズマ・インパルス法または化学的蒸着法
またはフェーズ・インパルス化学蒸着法といった特定の
方法によりプラスチック基板上に形成させた場合には、
交互層をプラスチックに長期にわたり確実に固定できる
ことが示された。
℃、より好ましくはそれ以上の温度でも安定な高性能の
材料のみが考慮の対象となる。硬く耐久性のある冷光反
射層の体系を形成するため、プラスチック製反射器への
損傷なしには済まされないほどの、基板への高い熱的な
負荷が通常要求される。ここで、PICVD法が提供するの
は、パルスによる方法として、PICVD法が、僅かなエネ
ルギーの浸入のみを基板に作用させ、それゆえに基板の
温度を低く維持するということである。その一方で、パ
ルス中に高いプラズマエネルギー密度が生成され、これ
により、硬くて耐久性のある層を形成することができ
る。すでに述べたように、被膜は多層膜である。各層
は、例えば反射防止層といった光学的に機能する層であ
るが、また、例えば機械的に軽く洗浄を行えるようにす
るいわゆる洗浄層としての疎水性のカバー層等の特殊な
機械的な特性を持った多機能層でもある。また、特殊な
光学的特性やその他の特性を持つ層も考慮対象となる。
機能層と基板との間には、ここでは単に総じて「中間
層」と呼んでいる、いわゆる結合仲介層が一般に積層さ
れる。この中間層は、製品全体の有用性に決定的な意味
を有している。すなわち、この中間層は、基板上の層構
造全体の結合を担っているのである。中間層は単一で同
質の層であってもよいし、また、多重層であってもよ
い。その際、個々の層は、一種の勾配を形成し、基板に
直接隣接してこれに有機物(organicum)として同等ま
たは類似している層から、次に続く機能層に近接してこ
れに無機物(inorganicum)として同等または類似して
いる層まで、段階的に変化する。
にも応用できる。層の特性は、使われている原材料およ
び装置の運転パラメータにより制御できる。層の特性
は、幅広い範囲の間で変えることができる。中間層は、
一般に、一種のいわゆる勾配層とされ、複数の層が一緒
にまとめられ、基板に近くて基板と同質な層から、基盤
に遠くて機能層と同質な層にわたっている。
用にも応用できる。この方法では、公知の通り、プラズ
マ室と被膜形成室が互いに分離されている。プラズマ室
から励起された種が被膜形成室に導かれる。
明されている。図では、以下のことが示されている。
中間層2が形成されている。この層は結合を仲介し、ス
クラッチを防止する機能がある。この層は、本発明にし
たがって最小のエネルギー負荷で基板上に形成されてい
るため、確実に基板に固着している。
層から構成されたいわゆる勾配層とすることもできる。
その際、基板に近い単層は基板1と同質であるが、基板
から遠い上の層は、隣接する層と同質である。
例えば、光学的な機能に寄与する。
トを備えている。
ている。高周波窓30、高周波導波管40、ガスインレ
ット50、基板ホルダ60も図示されている。
Claims (10)
- 【請求項1】 光学的な層(2,3,4)を有する物品
を製造する方法において、 プラスチックからなる基板(1)の上に複数の光学的な
層(2,3,4)を形成する工程を有し、 前記光学的な層(2,3,4)を形成する工程が、化学
的プラズマ・インパルス蒸着(PICVC)法によりなされる
ことを特徴とする方法。 - 【請求項2】 前記層(2,3,4)は、冷光反射鏡と
して構成されていることを特徴とする請求項1に記載の
方法。 - 【請求項3】 前記層(2,3,4)は、それぞれ異な
る屈折率を有していることを特徴とする請求項2に記載
の方法。 - 【請求項4】 プラズマが作用する継続時間の合計は、
プラズマが作用しない時間スパンの合計の少なくとも1/
1000であり、かつ、多くともプラズマが作用しない時間
スパンの合計に等しいことを特徴とする請求項1から3
のいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項5】 プラズマアクションの作用インパルス
は、0.1から10 ms、好ましくは0.5から5 msつづくこと
を特徴とする請求項4に記載の方法。 - 【請求項6】 プラズマアクションにおける単位時間お
よび単位面積あたりの被膜形成速度は、10ナノメート
ル/minより大きく、好ましくは100 ナノメートル/
minより大きいことを特徴とする請求項1から5のい
ずれか一項に記載の方法。 - 【請求項7】 基板(1)の材料は、 シクロオレフィン-ポリマー (COP) 、 シクロオレフィン-共重合体 (COC) 、 ポリメタクリル酸メチル(PMMA)、 並びに、これらの誘導体のいずれかであることを特徴と
する、請求項1から6のいずれか一項に記載の方法。 - 【請求項8】 請求項1から7のいずれか一項に記載の
方法を用いて製造され、プラスチックからなる基板、及
び、複数の層を有する被覆された物品。 - 【請求項9】 前記被覆された物品は、レンズ、プリズ
ム、反射器といった光学部品であることを特徴とする請
求項8に記載の被覆された物品。 - 【請求項10】 前記被覆された物品は、 とりわけ、自動車業界で用いられ、 反射面を有する漏斗状の基体を備え、 この基体は、少なくとも100℃までの耐熱性を有するプ
ラスチックから形成され、 前記反射面は、屈折率の異なる複数の層からなる冷光反
射鏡として構成され、交互層は、 プラズマ・インパルス(PI)法、 化学的蒸着(CVB)法、 フェーズ・インパルス化学的蒸着(PICVD)法、のうちの
少なくとも一つの方法を用いてプラスチックからなる基
板上に形成されていることを特徴とする請求項9に記載
の被覆された物品。
Applications Claiming Priority (4)
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