JP2002102578A - 超音波洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 より少ない電力で高い洗浄効果を発揮し、汚
れた衣類等を容易に洗浄することができる超音波洗浄装
置を提供する。 【解決手段】 信号の振幅を増幅して超音波振動子１６
に供給する電力増幅部３１と、超音波振動子１６に流れ
る電流の位相と超音波振動子に印加される電圧の位相と
の位相差を求め該位相差に応じた電圧を発生する位相比
較器３７と、位相比較器３７で発生した電圧に応じて前
記信号の周波数を発生し、位相差を±３０°以内に保持
するように周波数を制御する電圧制御発振器３８とを備
え、超音波振動子１６に供給される電力を１Ｗ以上１０
Ｗ以下にした。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、超音波洗浄装置に
関し、さらに詳しくは、例えば織物や繊維製品などを洗
浄する家庭用の超音波洗浄装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、超音波振動子を用いて汚れた繊維
製品等を洗浄する技術として、特開平１１−１０４３８
８号公報に記載された洗濯機の制御装置が知られてい
る。この公報に記載された洗濯機の制御装置は、衣類の
汚れた部分に押し当てて汚れを落とす部分洗浄装置を圧
電素子により構成し、制御手段の出力信号の振幅を振幅
増幅手段により増幅して圧電素子に電気信号を与え、振
幅増幅手段に電力供給手段から電力を供給し、圧電素子
の動作状態を状態検知手段により検出し、状態検知手段
の出力により圧電素子と振幅増幅手段とが同調するよう
に制御信号の出力信号の周波数を制御している。

【０００３】また、超音波洗浄装置は、洗浄液中に被洗
浄物を浸漬させた状態で振動子も洗浄液中に入れて、超
音波発振回路で発生した超音波を被洗浄物に伝搬させる
ことにより被洗浄物に付着した汚れなどを除去してい
る。この場合、洗浄液の深さの変化に伴って振動子回路
のインピーダンスも変化する。すなわち、定在波が発生
すると、発振器と振動子回路との間に設けられた結合ト
ランスの２次出力電流が低下する。このため、超音波振
動子の振動振幅が低下して、洗浄能力を低下させてしま
うという問題があった。

【０００４】この問題を解決したものとして、特開昭６
３−１６２０８６号公報に開示された超音波洗浄機があ
る。この超音波洗浄機は、振動子回路の振動振幅を検出
し、これを制御量として結合トランスの２次巻線の巻数
が大となるように自動制御して１次側から見たインピー
ダンスを小とすることにより、液深の変化に関係なく定
振動振幅を得ている。

【０００５】さらに、超音波工学 コロナ社 ｐ６７頁
には位相同期形発振器を用いた振動子駆動の原理が述べ
られている。この位相同期形発振器は、振動子に流れる
電流または振動子の両端の電圧を検出し、検出された電
圧と電流との間の位相差が所定の大きさに近づくように
電圧制御発振回路の周波数を制御し、共振周波数あるい
はその近傍の適切な周波数を自動的に追尾しながら振動
子を駆動している。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
１１−１０４３８８号公報に記載された洗濯機の制御装
置にあっては、電歪型の圧電素子（例えば、超音波振動
子等）では、電圧・電流特性が周波数に対して独自の動
きをするため、効率的な制御を行えない。

【０００７】また、特開昭６３−１６２０８６号公報に
開示された超音波洗浄機にあっては、液深の変化に関係
なく定振動振幅が得られるように結合トランスの２次巻
線の巻数を大とするため、結合トランスが大型化して洗
浄装置自体も大型化する。

【０００８】さらに、位相同期形発振器を用いた振動子
駆動では、洗浄液中における使用時に、発生した定在波
による位相のジャンプには到底対応することができな
い。また、負荷の変動によらず、電圧と電流との位相を
合わせる方法であり、低電力時には無駄が多い。

【０００９】また、スポット的な洗浄を行う場合に、洗
浄装置の操作性を良くするため、より小型な洗浄装置が
必要となる。このため、洗浄装置出力を小さくするが、
負荷の影響を受けやすくなる。一方、加える負荷は衣類
等の状況により常に変化する。このため、このような様
々な状況によっても、高い洗浄効果を持つ安定な超音波
発振回路が必要となってきた。

【００１０】そこで、本発明の目的は、より少ない電力
で高い洗浄効果を発揮し、汚れた衣類等を容易に洗浄す
ることができる超音波洗浄装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明は、超音波振動子
により発生する振動により被洗浄物を洗浄する超音波洗
浄装置であって、信号の振幅を増幅して前記超音波振動
子に供給する電力増幅手段と、前記超音波振動子に流れ
る電流の位相と前記超音波振動子に印加される電圧の位
相との位相差を求め該位相差に応じた電圧を発生する位
相比較手段と、この位相比較手段で発生した電圧に応じ
て前記信号の周波数を発生し、前記位相差を±３０°以
内に保持するように前記周波数を制御する電圧制御発振
手段とを備え、前記超音波振動子に供給される前記電力
を１Ｗ以上１０Ｗ以下にしたことを特徴とする。

【００１２】この発明によれば、超音波振動子に供給さ
れる電力を１Ｗ以上１０Ｗ以下にし、位相比較手段は、
電流と電圧との位相差に応じた電圧を発生し、電圧制御
発振手段は、発生した電圧に応じて信号の周波数を発生
し、位相差を±３０°以内に保持するように周波数を制
御するので、超音波振動子にかかる実効電力を増加で
き、負荷の変動による位相ずれの影響が少なくなる。従
って、より少ない電力で高い洗浄効果を発揮し、汚れた
衣類等を容易に洗浄することができる。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る超音波洗浄装
置のいくつかの実施の形態を図面を参照して詳細に説明
する。

【００１４】（第１の実施の形態）本出願人は、素子の
振動特性と電力効率とに着目し、変動する負荷に対し
て、交流電圧と電流との間の位相差を制御することによ
り、洗浄効果に与える最適条件を見出した。以下、その
内容について説明する。

【００１５】図１は本発明に係る超音波洗浄装置の第１
の実施の形態の回路構成図である。図１に示す回路は、
超音波振動子を駆動する駆動回路であり、電力増幅器３
１、トランスＴ、整合部３３、超音波振動子１６、位相
比較器３７、電圧制御発振器３８を有して構成される。

【００１６】電力増幅部３１は、トランスＴの一次巻線
を介して直列に接続された電力用トランジスタＱ１，Ｑ
２を有し、電力用トランジスタＱ１，Ｑ２は、電圧制御
発振器３８からの信号の振幅を増幅して増幅された信号
をトランスＴを介して整合部３３に供給する。整合部３
３は、整合用インピーダンス素子であるコイルＬとコン
デンサＣとで構成され、トランスＴからの信号を超音波
振動子１６に供給する。抵抗Ｒは、超音波振動子１６に
直列に挿入され、低抵抗となっている。

【００１７】抵抗Ｒを流れる電流は電流信号として検出
されて位相比較器３７に入力される。また、超音波振動
子１６の一端の電圧は電圧信号として検出されて位相比
較器３７に入力される。位相比較器３７は、検出された
電流の位相と検出された電圧の位相との位相差を求め該
位相差に応じた電圧を発生する。

【００１８】電圧制御発振器３８は、位相比較器３７で
発生した電圧に応じて前記電圧制御発振器３８の信号の
周波数を発生し、位相比較器３７の位相差を±３０°以
内に保持するように周波数を制御する。図２に超音波振
動子に流れる電流Ｉと超音波振動子の両端電圧Ｖとの間
の位相差φを説明する図を示す。また、超音波振動子１
６に供給される電力を１Ｗ以上１０Ｗ以下にしている。

【００１９】図３は本発明に係る第１の実施の形態の超
音波洗浄装置の断面図である。超音波洗浄装置１は、装
置本体２と、装置本体２に設けられた超音波振動部３
と、超音波振動部３を取り囲む被洗浄物案内カバー４と
から概略構成されている。

【００２０】装置本体２は、略円筒形状のケーシング５
に、電池収納部６と、超音波振動子１６を駆動する駆動
回路７（図１に示す駆動回路に対応）と、スイッチ部８
と、駆動確認灯としての発光ダイオード９とを内蔵す
る。ケーシング５の後端部に装着された裏蓋１０は、電
池収納部６を閉塞する。ケーシング５の前端部の外周面
に形成された雄ネジ部１２は、被洗浄物案内カバー４に
形成された雌ネジ部１９と螺合している。

【００２１】超音波振動部３は、ケーシング５の前端開
口部１１にフランジ部材１３を介して支持され、圧電体
１４、１５を接合した超音波振動子１６と、超音波振動
子１６の後端面に接合された後部超音波ホーン１７と、
超音波振動子１６の前端面に接合された前部超音波ホー
ン１８とからなる。圧電体１４、１５には、図示しない
リード線により駆動回路７が接続され、電力が供給され
ている。後部超音波ホーン１７及び前部超音波ホーン１
８は、超音波振動子１６の振動を特定の周波数に変えた
り、振動を強くするために振動を伝え易い金属で形成さ
れている。前部超音波ホーン１８は、大径部とこの大径
部から直線状（曲線又はステップでも可能）に径が小さ
くなるテーパ部と小径部とからなり、ケーシング５の前
端部から前方へ突出している。

【００２２】把持部２１は、カバー部２０を取り囲むよ
うに形成され、カバー部２０は、前部超音波ホーン１８
を取り囲むように形成され、その外径寸法は、前方に向
けて漸次短くなるように設定されている。前部超音波ホ
ーン１８は、これを取り囲む被洗浄物案内リング部２２
やカバー部２０とは非接触であり、前部超音波ホーン１
８の超音波振動が減衰されにくい構造となっている。

【００２３】このように構成された第１の実施の形態の
超音波洗浄装置によれば、電力増幅部３１から超音波振
動子１６に供給される電力を１Ｗ以上１０Ｗ以下にす
る。なお、電力が１Ｗを下回ると、洗浄に必要な振幅が
得られず、１０Ｗを超えるような大電力を使用する場合
には多少のロスは関係なくなる。すなわち、家庭で手軽
に使える小電力のハンディータイプの超音波洗浄装置を
用いて、有効な効果を発揮することができる。

【００２４】そして、位相比較器３７が、検出された電
流Ｉの位相と検出された電圧Ｖの位相との位相差φを求
め該位相差φに応じた電圧を発生する。例えば、電圧の
ゼロクロス点と電流のゼロクロス点との時間差に相当す
る電圧を発生させる。

【００２５】そして、電圧制御発振器３８が、位相比較
器３７で発生した電圧に応じた周波数を発生し、位相比
較器３７の位相差φを±３０°以内に保持するように周
波数を制御するので、超音波振動子１６にかかる実効電
力（すなわち、実際に仕事をする電力Ｐは電圧Ｖ，電流
Ｉとそれらの位相差φにより、Ｐ＝Ｖ×Ｉ×ｃｏｓφで
表される。）を増加でき、負荷の変動による位相ずれの
影響を少なくすることができる。従って、より少ない電
力で高い洗浄効果を発揮し、汚れた衣類等を容易に洗浄
することができる。なお、φが±３０°を超えると電力
Ｐは理想電力の８７％以下に低下し、洗浄力も認識でき
るほど低下する。

【００２６】また、超音波振動子１６の作用端面（先端
面）の振動速度は、通常の圧電素子であれば、０．８ｍ
／ｓが破壊限界である。このため、図３に示すように、
超音波振動子１６に、振動速度を増幅する後部超音波ホ
ーン１７及び前部超音波ホーン１８を接合し、前部超音
波ホーン１８の先端面における振動速度の最大値を１ｍ
／ｓ以上１０ｍ／ｓ以下とした。すなわち、超音波ホー
ンなどの振幅増加手段により、通常の圧電素子の振動速
度の１．２〜１２倍に振動速度を増加させることがで
き、これによって洗浄効果をさらに高めることができ
る。

【００２７】なお、超音波振動子及び超音波ホーンの第
１の変形例を図４に、第２の変形例を図５に示す。第１
の変形例では、前部超音波ホーン１８ａの径が先端面に
近づくに従ってテーパ状に小さくなっており、この形状
により、振動速度の最大値を１ｍ／ｓ以上１０ｍ／ｓ以
下とすることができる。また、第２の変形例では、図５
（ａ）の側面図及び図５（ｂ）の正面図に示すように、
超音波振動子１６を後部超音波ホーン１７と前部超音波
ホーン１８との境界に配置することで、振動速度の最大
値を１ｍ／ｓ以上１０ｍ／ｓ以下とすることができる。

【００２８】なお、振動速度を１ｍ／ｓ以下とすると、
ほとんど洗浄効果が得られない。また、１Ｗ〜１０Ｗの
電力の元で、１０ｍ／ｓ以上とすると、洗浄面が極端に
小さなホーンとなってしまい、洗浄効果が低下したり、
被洗浄物が傷み、本来の洗浄に用いることができない。

【００２９】（第２の実施の形態）次に、第２の実施の
形態の超音波洗浄装置を説明する。この超音波洗浄装置
は、図６に示すように、図１に示す第１の実施の形態の
超音波洗浄装置の構成に加えて、さらに、検出された電
流と検出された電圧とに基づいて負荷状態か無負荷状態
かを判定する負荷状態判定部４０を備え、電力増幅器３
１は、無負荷状態である場合に、超音波振動子１６に供
給される電力を負荷状態における電力の略１／２以下に
する。

【００３０】このように構成された超音波洗浄装置によ
れば、負荷状態判定部４０が検出された電流と検出され
た電圧とに基づいて負荷状態か無負荷状態かを判定す
る。無負荷状態では、電圧実効値／電流実効値によって
表されるインピーダンスが１００Ω以下となるため、こ
のインピーダンスの大きさによって負荷状態か無負荷状
態かが判定される。なお、洗浄中はインピーダンスは１
５０Ω〜９００Ωであるが、素子によるばらつきがあ
る。

【００３１】無負荷状態である場合に、電力増幅器３１
は、超音波振動子１６に供給される電力を負荷状態にお
ける電力の略１／２以下にする。従って、単位洗浄作業
に対する総電力が約３０％改善されるとともに、無駄な
電力による回路の発熱及び素子の発熱を低減することが
できる。例えば、電力制御無しの場合には、単位洗浄作
業当たりの電力は、５Ｗ・ｈ、回路温度は８５℃、素子
温度６０℃であり、電力制御有りの場合には、単位洗浄
作業当たりの電力は、３．５Ｗ・ｈ、回路温度は５０
℃、素子温度４０℃であった。

【００３２】なお、この場合、単位洗浄作業を１５秒洗
浄、５秒持ち上げ（場所移動による無負荷状態 ＳＷは
入ったまま）を連続して３０分行う。また、回路温度は
回路部品にて発熱するトランジスタ及びトランスにて測
定する。素子温度は振動子の温度であり、無負荷時に電
力を低下させないと発熱する。

【００３３】（第３の実施の形態）次に、第３の実施の
形態の超音波洗浄装置を説明する。この超音波洗浄装置
は、図７に示すように、図１に示す構成に加えて、さら
に、検出された電流と検出された電圧とに基づいて負荷
状態か無負荷状態かを判定する負荷状態判定部４０を有
するとともに、電圧制御発振器３８が、無負荷状態であ
る場合に、周波数を制御することにより位相差を６０°
以上に制御することを特徴とする。

【００３４】このように構成された超音波洗浄装置によ
れば、負荷状態判定部４０が検出された電流と検出され
た電圧とに基づいて負荷状態か無負荷状態かを判定す
る。無負荷状態の判定は、第２の実施の形態で説明した
通りであるので、ここではその説明は省略する。

【００３５】次に、無負荷状態である場合に、電圧制御
発振器３８が、周波数を制御することにより位相差φを
６０°以上に制御する。これによって、実効電力（Ｐ＝
ＶＩｃｏｓφ）を１／２以下とすることができるため、
単位洗浄作業に対する総電力が約３０％改善されるとと
もに、無駄な電力による回路の発熱及び素子の発熱を低
減することができる。

【００３６】（第４の実施の形態）次に、第４の実施の
形態の超音波洗浄装置を説明する。この超音波洗浄装置
は、図８に示すように、図１に示す構成に加えて、さら
に、検出された電流と検出された電圧とに基づいて水ま
たは水性洗剤液中に超音波を照射することで発生する定
在波による位相の同調不良の有無を判定する同調不良判
定部４３と、位相の同調不良である場合に電圧制御発振
器３８による信号の発振を停止させる発振停止制御部４
４とを有して構成される。発振停止制御部４４は、スイ
ッチ（ＳＷ）と兼用することもできる。

【００３７】このように構成された超音波洗浄装置によ
れば、同調不良判定部４３は、検出された電流と検出さ
れた電圧とに基づいて水または水性洗剤液中に超音波を
照射することで発生する定在波による位相の同調不良の
有無を判定する。位相の同調不良である場合に、発振停
止制御部４４は、電圧制御発振器３８による信号の発振
を停止させる。すなわち、定在波により位相のジャンプ
現象が発生した場合には、位相の同調が不可能となり、
動作が不安定となるので、信号の発振を停止させるよう
にする。

【００３８】なお、再起動時には、信号の動作周波数の
約９９％以下の周波数から掃引を開始することにより、
安定な再起動が可能となる。すなわち、一度不安定発振
になると、一旦低い周波数に戻してから周波数掃引して
やらないと、再発振することができない。前記９９％と
は、例えば５０ｋＨｚに共振周波数をもつ振動子に対し
て、４９．５ｋＨｚ以下の周波数から再掃引するという
ことになる。

【００３９】なお、位相同調不良の検出には、例えば設
定周波数内で位相が合わない場合や、周波数掃引と位相
のズレ方向とが通常と逆になる場合があり、これを検出
する方法もある。

【００４０】（第５の実施の形態）次に、第５の実施の
形態の超音波洗浄装置を説明する。この超音波洗浄装置
は、図９に示すように、図１に示す構成に加えて、さら
に、波形改善コンデンサとしてのコンデンサＣに直列に
接続されたスイッチングトランジスタＱ３と、このスイ
ッチングトランジスタＱ３をスイッチング制御するスイ
ッチ制御部４５とを有して構成される。

【００４１】スイッチ制御部４５は、検出された電流値
と検出された電圧値と位相比較器３７からの出力とに基
づき、超音波振動子１６の電圧と電流との位相差が所定
値（例えば３０°）に合うまでスイッチングトランジス
タＱ３をオフさせ、前記位相差が所定値に合った後には
スイッチングトランジスタＱ３をオンさせるように制御
する。

【００４２】すなわち、位相差が所定値に合うまでスイ
ッチングトランジスタＱ３をオフさせることで、コンデ
ンサＣとスイッチングトランジスタＱ３とで構成される
直列コンデンサの容量を、コンデンサＣの約１／２以下
とし、コンデンサＣに流れる電流を低減させることがで
きる。これによって、省電力を図ることができる。

【００４３】また、超音波振動子１６の電圧と電流との
位相差を所定値に合わせるのに必要な応答時間を０．２
秒以下にすることにより、即応性を改善しても良い。さ
らに、電圧と電流との位相差が所定値に合うまで、電圧
制御発振器３８での信号のオン／オフのデューティー比
を略１／４以下としても良い。これによって、超音波振
動子１６への出力を低下させることができ、省電力を図
ることができる。

【００４４】

【発明の効果】請求項１の発明によれば、超音波振動子
に供給される電力を１Ｗ以上１０Ｗ以下にし、位相比較
手段は、電流と電圧との位相差に応じた電圧を発生し、
電圧制御発振手段は、発生した電圧に応じて信号の周波
数を発生し、位相差を±３０°以内に保持するように周
波数を制御するので、超音波振動子にかかる実効電力を
増加でき、負荷の変動による位相ずれの影響が少なくな
る。従って、より少ない電力で高い洗浄効果を発揮し、
汚れた衣類等を容易に洗浄することができる。

【００４５】請求項２の発明によれば、超音波振動子に
接合された超音波ホーンが振動速度を増幅し、超音波ホ
ーンの先端面における振動速度の最大値を１ｍ／ｓ以上
１０ｍ／ｓ以下としたので、洗浄効果をさらに高めるこ
とができる。

【００４６】請求項３の発明によれば、電流と電圧とに
基づいて負荷状態か無負荷状態かを判定し、無負荷状態
である場合に、超音波振動子に供給される電力を負荷状
態における電力の１／２以下にするので、省電力を図る
ことができる。

【００４７】請求項４の発明によれば、電流と電圧とに
基づいて負荷状態か無負荷状態かを判定し、無負荷状態
である場合に、周波数を制御することにより位相差を６
０°以上に制御するので、実効電力を１／２以下にでき
るため、省電力を図ることができる。

【００４８】請求項５の発明によれば、電流と電圧とに
基づいて位相の同調不良の有無を判定し、位相の同調不
良である場合に電圧制御発振手段による信号の発振を停
止させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る超音波洗浄装置の第１の実施の形
態の回路構成図である。

【図２】超音波振動子に流れる電流と超音波振動子の両
端電圧との間の位相差を説明する図である。

【図３】本発明に係る超音波洗浄装置の第１の実施の形
態を示す断面図である。

【図４】超音波振動子及び超音波ホーンの第１の変形例
を示す図である。

【図５】超音波振動子及び超音波ホーンの第２の変形例
を示す図である。

【図６】本発明に係る超音波洗浄装置の第２の実施形態
の回路構成図である。

【図７】本発明に係る超音波洗浄装置の第３の実施形態
の回路構成図である。

【図８】本発明に係る超音波洗浄装置の第４の実施形態
の回路構成図である。

【図９】本発明に係る超音波洗浄装置の第５の実施形態
の回路構成図である。

【符号の説明】

１ 超音波洗浄装置 ２ 装置本体 ３ 超音波振動部 １６ 超音波振動子 １８ 前部超音波ホーン ３１ 電力増幅部 ３３ 整合部 ３７ 位相比較器 ３８ 電圧制御発振器 ４０ 負荷状態判定部 ４３ 同調不良判定部 ４４ 発振停止制御部 ４５ スイッチ制御部 Ｑ１，Ｑ２ 電力用トランジスタ Ｑ３ スイッチングトランジスタ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 大沢 清輝 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606番地 花王株 式会社研究所内 (72)発明者 佐藤 雅安 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606番地 花王株 式会社研究所内 Ｆターム(参考） 3B155 AA02 BB08 BB15 CA11 CB03 CB18 KB11 KB16 LC15 LC33 3B201 AA46 AB52 BA01 BA22 BB84 5D107 AA03 BB11 CC01 CD05 CD06 CD07 FF03

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 超音波振動子により発生する振動により
   被洗浄物を洗浄する超音波洗浄装置であって、 信号の振幅を増幅して前記超音波振動子に供給する電力
   増幅手段と、 前記超音波振動子に流れる電流の位相と前記超音波振動
   子に印加される電圧の位相との位相差を求め該位相差に
   応じた電圧を発生する位相比較手段と、 この位相比較手段で発生した電圧に応じて前記信号の周
   波数を発生し、前記位相差を±３０°以内に保持するよ
   うに前記周波数を制御する電圧制御発振手段とを備え、 前記超音波振動子に供給される前記電力を１Ｗ以上１０
   Ｗ以下にしたことを特徴とする超音波洗浄装置。
2. 【請求項２】 前記超音波振動子に、振動速度を増幅す
   る超音波ホーンが接合され、該超音波ホーンの先端面に
   おける振動速度の最大値を１ｍ／ｓ以上１０ｍ／ｓ以下
   としたことを特徴とする請求項１記載の超音波洗浄装
   置。
3. 【請求項３】 前記超音波振動子に流れる電流と前記超
   音波振動子に印加される電圧とに基づいて負荷状態か無
   負荷状態かを判定する負荷状態判定手段を備え、 前記電力増幅手段は、前記無負荷状態である場合に、前
   記超音波振動子に供給される前記電力を前記負荷状態に
   おける電力の１／２以下にすることを特徴とする請求項
   １または請求項２記載の超音波洗浄装置。
4. 【請求項４】 前記超音波振動子に流れる電流と前記超
   音波振動子に印加される電圧とに基づいて負荷状態か無
   負荷状態かを判定する負荷状態判定手段を備え、 前記電圧制御発振手段は、前記無負荷状態である場合
   に、前記周波数を制御することにより前記位相差を６０
   °以上に制御することを特徴とする請求項１または請求
   項２記載の超音波洗浄装置。
5. 【請求項５】 前記超音波振動子に流れる電流と前記超
   音波振動子に印加される電圧とに基づいて位相の同調不
   良の有無を判定する同調不良判定手段と、 位相の同調不良である場合に前記電圧制御発振手段によ
   る前記信号の発振を停止させる発振停止制御部と、を備
   えることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか
   １項記載の超音波洗浄装置。