JP2002097215A - Conductive paste resin composition and method for producing its sintered body - Google Patents

Conductive paste resin composition and method for producing its sintered body

Info

Publication number
JP2002097215A
JP2002097215A JP2000291344A JP2000291344A JP2002097215A JP 2002097215 A JP2002097215 A JP 2002097215A JP 2000291344 A JP2000291344 A JP 2000291344A JP 2000291344 A JP2000291344 A JP 2000291344A JP 2002097215 A JP2002097215 A JP 2002097215A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
paste
conductive
resin composition
weight
powder
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2000291344A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3785480B2 (en
Inventor
Hideji Okamoto
秀二 岡本
Hiroshi Ueno
浩 上野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Soken Kagaku KK
Soken Chemical and Engineering Co Ltd
Original Assignee
Soken Kagaku KK
Soken Chemical and Engineering Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Soken Kagaku KK, Soken Chemical and Engineering Co Ltd filed Critical Soken Kagaku KK
Priority to JP2000291344A priority Critical patent/JP3785480B2/en
Publication of JP2002097215A publication Critical patent/JP2002097215A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3785480B2 publication Critical patent/JP3785480B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a conductive paste resin composition (conductive resin paste) for a sinter mold in which the sintered molded product is a conductive sintered molded product and a paste resin composition containing the conductive inorganic powder and an organic binder is excellent in application, formability and sintering property, and to provide a method for producing a conductive sintered body. SOLUTION: In the paste resin composition of the powder for the formation of a conductive sintered body, the conductive paste resin composition excellent in application, formability and sintering property contains (A) a (meth)acryl polymer having the weight average molecular weight, Mw, of 500 to 10,000 and the glass transition temperature (Tg) of -80 to 50 deg.C and (B) a polymerizable polyfunctional monomer having the molecular weight of 100 to 5,000 and 2 to 6 polymerizable unsaturated groups and (C) the powder having the average particle diameter of 0.1 to 20 μm.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、導電性焼結体用の
ペースト状樹脂組成物に関し、より詳細には、セラミッ
ク基板上等に塗布・焼結させる導電性焼結体用のペース
ト状導電性樹脂組成物が、無溶剤型であって、塗布性、
形体賦形性、焼結性に優れる導電性焼結体用のペースト
状樹脂組成物及びそれを用いて形成する導電性焼結体の
形成方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a paste-like resin composition for a conductive sintered body, and more particularly, to a paste-like conductive composition for a conductive sintered body which is applied and sintered on a ceramic substrate or the like. Resin composition is solventless type, coating properties,
The present invention relates to a paste-like resin composition for a conductive sintered body having excellent shape shapeability and sinterability, and a method for forming a conductive sintered body formed using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、エレクトロニクス機器の多機能
化、高性能化、小型・薄型化等に伴い、その中核を担う
半導体デバイスは、各種のエレクトロニクス製品、各種
の製造工程に用いる機械装置に、又は自動車、飛行機、
船舶、エアコン、炊飯器、VTR等において、コンピュ
ータ(マイコン)等のメモリに、ロジック及びアナログ
に多種多様のICチップとして組み込まれている。
2. Description of the Related Art In recent years, as electronic devices have become more multifunctional, higher in performance, smaller and thinner, etc., semiconductor devices, which are at the core, are used in various electronic products, mechanical devices used in various manufacturing processes, or Cars, airplanes,
In a ship, an air conditioner, a rice cooker, a VTR, and the like, various kinds of IC chips are incorporated in a memory such as a computer (microcomputer) in a logic and analog manner.

【0003】また、近年の情報化社会への急速な進展に
伴って、DSP(デジタル信号処理プロセッサ)は、電
話、オーディオ、DVD、サーバ等に、CCD(固体撮
像素子)は、VTR、デジタルカメラ、胃カメラ、人工
衛星に、また、プリンター、ファクシミリ、複写機等の
電子写真画像形成装置等に、また、フラッシュメモリ
は、携帯電話、電子手帳、ICカード等に、更には、モ
デム用ICは、情報通信、インターネット等のように挙
げることができる。
With the rapid progress in the information society in recent years, DSPs (digital signal processors) are used for telephones, audio, DVDs, servers, etc., CCDs (solid-state imaging devices) are used for VTRs, digital cameras, etc. , Gastric cameras, artificial satellites, and electrophotographic image forming devices such as printers, facsimile machines, and copiers. Flash memory is used in mobile phones, electronic notebooks, IC cards, etc. , Information communication, the Internet, and the like.

【0004】このようにICチップ、それを用いる周辺
機器には、導電性部材が電極材又は回路パターンとして
用いられている。その形成方法は、例えば、CVD・焼
結法、スパッタ法、又は導電性ペーストを塗布・焼結法
等が挙げられる。すなわち、これらの導電性部材は、ア
ルミナ等のセラミック基板又はセラミックグリーンシー
ト等の基材上の絶縁体層、誘電体層、絶縁体層−誘電体
層等上に積層形成されるか、又は絶縁体層−導電層−絶
縁体層、絶縁体層−誘電体層−導電体層−絶縁体層、絶
縁体層−誘電体層−導電体層−誘電体層等のように層間
導電材として形成されている。
As described above, in an IC chip and a peripheral device using the IC chip, a conductive member is used as an electrode material or a circuit pattern. Examples of the forming method include a CVD / sintering method, a sputtering method, and a method of applying / sintering a conductive paste. That is, these conductive members are laminated on an insulator layer, a dielectric layer, an insulator layer-dielectric layer, or the like on a ceramic substrate such as alumina or a ceramic green sheet or the like, or are insulated. Formed as an interlayer conductive material such as body layer-conductive layer-insulator layer, insulator layer-dielectric layer-conductor layer-insulator layer, insulator layer-dielectric layer-conductor layer-dielectric layer Have been.

【0005】そこで、従来から焼成用導電性ペーストの
導電材には、銀、金、白金、銀−パラジウム、ニッケ
ル、銅、銅−銀合金、タングステン、モリブデン等が挙
げられ、例えば、特開平6−295614号公報には、
導電材にAgCu1−xなる銅合金を用い、ビヒクル
がポリメタアクリル酸ブチルエステル等のアクリル樹脂
とテルペノール等の溶剤とからなる焼成用導電性ペース
トが記載されている。
Therefore, the conductive material of the conductive paste for firing has heretofore been exemplified by silver, gold, platinum, silver-palladium, nickel, copper, copper-silver alloy, tungsten, molybdenum, and the like. No. -295614,
A conductive paste for firing is described in which a copper alloy of Ag x Cu 1-x is used as a conductive material, and a vehicle is made of an acrylic resin such as polybutyl methacrylate and a solvent such as terpenol.

【0006】また、特開平5−212833号公報に
は、導電材が銅等の金属又はその合金で、ビヒクルとし
て、分子量が10万以上のメチルメタアクリレート等の
重合体と、メタアクリル酸等の重合性多官能モノマー
と、エチレングリコールモノエチルエーテル等の溶剤等
からなる光重合性導電性ペーストが記載されている。
JP-A-5-212833 discloses that a conductive material is a metal such as copper or an alloy thereof, and a vehicle is a polymer such as methyl methacrylate having a molecular weight of 100,000 or more; A photopolymerizable conductive paste comprising a polymerizable polyfunctional monomer and a solvent such as ethylene glycol monoethyl ether is described.

【0007】また、特開平5−206600号公報に
は、導電材が銅等の金属又は合金で、ビヒクルが、分子
量が1000以上のメチルメタアクリレート等の重合体
と、メタアクリル酸等の重合性多官能モノマーと、エチ
レングリコールモノエチルエーテル等の溶剤等からなる
光重合性導電性ペーストを1000℃以下で焼成可能な
セラミックグリーンシート上に積層させた導体パターン
成形用積層体が記載されている。
JP-A-5-206600 discloses that a conductive material is a metal or alloy such as copper, and a vehicle is a polymer such as methyl methacrylate having a molecular weight of 1000 or more and a polymer such as methacrylic acid. A laminate for forming a conductor pattern is described in which a photopolymerizable conductive paste composed of a polyfunctional monomer and a solvent such as ethylene glycol monoethyl ether is laminated on a ceramic green sheet that can be fired at 1000 ° C. or lower.

【0008】更には、特開平9−282941号公報に
は、導電性ペーストをセラミックグリンーシートにスク
リーン印刷又は穴埋めして内部電極や、スルーホールま
たはビイヤホールを形成させた積層セラミック電子部品
が記載されている。
Furthermore, Japanese Patent Application Laid-Open No. 9-282941 describes a multilayer ceramic electronic component in which a conductive paste is screen-printed or filled in a ceramic green sheet to form internal electrodes, through holes or via holes. ing.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】以上のような状況にあ
って、各種のエレクトロニクス製品及びその周辺機器と
して、例えば、基板上に形成されたセラミックコンデン
サ素子、圧電・焦電体素子、半導体デバイス等のエレク
トロニクス製品には、内部電極、回路パターン、外部電
極端子等の導電性部材が組み込まれている。
Under the circumstances described above, various electronic products and their peripheral devices include, for example, ceramic capacitor elements, piezoelectric / pyroelectric elements, and semiconductor devices formed on a substrate. Electronic products incorporate conductive members such as internal electrodes, circuit patterns, and external electrode terminals.

【0010】このような導電材は、通常、基板上の絶縁
体層又は誘電体層にCVD法、スパッタ法等によって薄
膜層としてパターン形成させる以外に、アルミナ、窒化
アルミナ等のセラミック基板や、各種のセラミックグリ
ーンシート等の基材面に、導電性ペーストを塗布又は埋
込み、乾燥、キュアさせた後、溶剤や、バインダー樹脂
等を熱履歴下に焼き飛ばして除去させた後、焼結させて
導電性焼結層の単独層又は積層体として形成させる。す
なわち、導電性ペーストを用いてセラミック基板やチッ
プ部品に回路や電極をパターン形成させるに、スクリー
ン印刷や、浸漬塗布や、スピンコート等が用いられる
が、そのペーストの粘度安定性や、塗布性や、形体賦形
性等が重要となる。
[0010] Such a conductive material is usually formed by patterning a thin film layer on an insulating layer or a dielectric layer on a substrate by a CVD method, a sputtering method, or the like. After applying or embedding the conductive paste on the substrate surface such as ceramic green sheet, drying and curing, the solvent and binder resin etc. are burned off under heat history and removed, and then sintered and conductive. It is formed as a single layer or a laminate of the conductive sintered layer. That is, screen printing, dip coating, spin coating, etc. are used to pattern a circuit or an electrode on a ceramic substrate or a chip component using a conductive paste, but the viscosity stability, applicability, and the like of the paste are used. In addition, shape shapeability and the like are important.

【0011】また、その導電性金属材としては、従来か
ら、焼結形成時の耐酸化性からして、金、白金、パラジ
ウム、銀等の貴金属粉末のペーストが用いられるが、ペ
ーストのコストアップや、パターン導体回路間のマイグ
レーションや、ハンダ食われ等から、高周波回路、高密
度回路、及び高密度実装には使用が困難である。また、
従来から、コスト的には低廉で、特に低抵抗値である銅
金属粉は、基本的に耐酸化性が劣ることから、そのハン
ドリング性等には未だ解決されていない課題を多く抱え
ている。そこで、例えば、特開平6−295614号公
報には、焼成時の耐酸化性を向上させるために、銅粒子
表面にチタン成分を被覆させた銅合金粉末を用いた導電
性ペーストが提案されている。
As the conductive metal material, a paste of a noble metal powder such as gold, platinum, palladium, silver or the like is conventionally used because of its oxidation resistance during sintering. In addition, it is difficult to use them for high-frequency circuits, high-density circuits, and high-density mounting due to migration between pattern conductor circuits and solder erosion. Also,
Conventionally, copper metal powder, which is inexpensive in cost, and particularly low in resistance value, basically has inferior oxidation resistance, and thus has many problems that have not been solved yet in handling properties and the like. Therefore, for example, JP-A-6-295614 proposes a conductive paste using a copper alloy powder in which the surface of copper particles is coated with a titanium component in order to improve oxidation resistance during firing. .

【0012】通常、このような導電性ペーストを焼結さ
せるには、窒素等の不活性雰囲気中で、500〜110
0℃の温度範囲で焼結されるのが一般的である。また、
この不活性雰囲気下で焼結させる場合、その焼結前の昇
温過程である200〜550℃の温度領域で、酸素雰囲
気下で、有機ビヒクルを充分に焼き飛ばすことが行われ
る。特に、導電性金属粉体が、アルミニウム、銀及び銅
系等の耐酸化性の低い場合には、通常、その雰囲気の酸
素濃度を厳密に管理させながら有機ビヒクルを除去させ
ることになる。従って、このような除去に際して、塗布
された導電性ペースト層は酸化雰囲気に曝されることに
よる導電性の低下や、焼結性、焼結膜の基板等との密着
性の低下等の特性劣化を来す傾向にある。
Normally, to sinter such a conductive paste, 500 to 110
Sintering is generally performed in a temperature range of 0 ° C. Also,
In the case of sintering in this inert atmosphere, the organic vehicle is sufficiently burned off in an oxygen atmosphere in a temperature range of 200 to 550 ° C., which is a temperature rising process before the sintering. In particular, when the conductive metal powder has low oxidation resistance such as aluminum, silver and copper, the organic vehicle is usually removed while strictly controlling the oxygen concentration in the atmosphere. Therefore, upon such removal, the applied conductive paste layer is exposed to an oxidizing atmosphere, and has a decrease in conductivity, sinterability, and property deterioration such as a decrease in adhesion of a sintered film to a substrate or the like. Tend to come.

【0013】また、既に上述した如く従来法の導電性ペ
ーストには、導電性金属粉体やバインダー樹脂の分散媒
体として、溶剤が含まれている。また、その溶剤種の選
択は、ペーストに良好な塗布性を発揮させる観点からも
重要な添加剤であり、従来法で調製される塗布用の導電
性ペースト中には、多量の溶剤を含有しているのが実状
である。
Further, as described above, the conventional conductive paste contains a solvent as a dispersion medium of the conductive metal powder and the binder resin. The selection of the solvent type is also an important additive from the viewpoint of exhibiting good coatability to the paste, and the conductive paste for coating prepared by the conventional method contains a large amount of solvent. That is the fact.

【0014】従って、基板上等に塗布されたペースト層
や、セラミックグリーンシート上に塗布されたペースト
層等を焼結させるに際しては、乾燥、重合硬化(キュ
ア)、プレー焼成等の焼結前の熱履歴下において、溶
剤、バインダー樹脂等の有機ビヒクルを完全に除去させ
なければならない。従来法のように、溶剤を使用する限
りにおいて、この処理工程において、塗布層等に、気泡
孔、亀裂、撓み、剥離、収縮等を生じさせる傾向にあ
る。従って、このようなトラブルを防止するためから、
必要に応じては、所定の厚さの塗布層を形成させるに多
数回に分けて塗布−プレー焼成させている。
Therefore, when sintering a paste layer applied on a substrate or the like, or a paste layer applied on a ceramic green sheet, etc., the sintering before drying, polymerization hardening (curing), or pre-sintering is performed. Under heat history, organic vehicles such as solvents and binder resins must be completely removed. As long as a solvent is used as in the conventional method, in this treatment step, there is a tendency that air bubbles, cracks, bending, peeling, shrinkage, and the like are generated in the coating layer. Therefore, to prevent such troubles,
If necessary, coating and pre-firing are performed in a large number of times to form a coating layer having a predetermined thickness.

【0015】また、このように溶剤を使用する従来法に
よるペーストは、そのペーストの調製時や、塗布ペース
ト層の焼結前のプレー焼成時に、揮発・分解飛散する溶
剤等の有機成分によって、作業環境を著しく汚染させる
ことから、労働安全衛生の立場から好ましくない。ま
た、近年の地球環境保全の立場からも、このような溶剤
等の有機物を飛散させることは地球環境を汚染させ、ま
た、地球温暖化の要因にもなる。従って、産業界におい
ては、製品を製造するに際して、溶剤型から無溶剤型へ
の転換は、極めて重要な課題になっている。
[0015] The paste according to the conventional method using a solvent as described above requires work due to organic components such as a solvent which is volatilized and decomposed and scattered during the preparation of the paste and during the pre-sintering before the sintering of the applied paste layer. It is not preferable from the viewpoint of occupational safety and health because it significantly pollutes the environment. In addition, from the standpoint of global environmental protection in recent years, scattering of organic substances such as a solvent contaminates the global environment and causes global warming. Therefore, in the industry, conversion from a solvent type to a non-solvent type has become a very important issue when manufacturing products.

【0016】そこで、従来からこのような分野に使用さ
れている溶剤は、その多くの沸点が80〜260℃の範
囲にあって、例えば、n−メチルピロリドン、エチレン
グリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモ
ノブチルエーテル、ブチルカルビトールアセテート、エ
チレングリコールモノエチルエーテルアセテート等の高
沸点の多価アルコール誘導体や、エチルセロソルブ、キ
シレン等の高沸点の芳香族化合物、乳酸メチル、乳酸エ
チル、ケトン類、テルペン類が挙げられる。
Therefore, most of the solvents conventionally used in such fields have a boiling point in the range of 80 to 260 ° C. and include, for example, n-methylpyrrolidone, ethylene glycol monoethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether. High-boiling polyhydric alcohol derivatives such as butyl ether, butyl carbitol acetate, ethylene glycol monoethyl ether acetate, and high-boiling aromatic compounds such as ethyl cellosolve and xylene; methyl lactate, ethyl lactate, ketones, and terpenes. Can be

【0017】以上から、本発明の目的は、導電性金属及
び/又は導電性合金粉体を含有するペースト状の導電性
樹脂組成物を、従来法の溶剤型のペーストに代替するこ
とができ、無溶剤型であるが塗布性、焼結前の形体賦形
性を有している。また、従来法に比べて厚塗り塗布がで
き、しかも、塗布後のペースト層のキュア処理−プレー
焼成−焼結処理を通しての熱処理を、窒素等の不活性雰
囲気下に処理できるペースト状導電性樹脂組成物を提供
することである。
From the above, an object of the present invention is to replace a conductive resin composition in the form of a paste containing a conductive metal and / or a conductive alloy powder with a conventional solvent-type paste. Although it is a solventless type, it has applicability and shape shapeability before sintering. In addition, compared to the conventional method, a paste-like conductive resin that can perform thick coating and can perform heat treatment through curing, pre-firing, and sintering of the paste layer after application under an inert atmosphere such as nitrogen. It is to provide a composition.

【0018】また、本発明の他の目的は、このようなペ
ースト状導電性樹脂組成物を用いてアルミナセラミック
基板上等に形成させる導電性焼結体の形成方法を提供す
ることである。
Another object of the present invention is to provide a method for forming a conductive sintered body formed on an alumina ceramic substrate or the like using such a paste-like conductive resin composition.

【0019】[0019]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上述した
課題に鑑みて、鋭意検討した結果、導電性金属粉体と有
機ビヒクルとからペースト状樹脂組成物を調製し、塗布
後のペースト形成体中のビヒクル成分が、焼結前の20
0〜550℃の窒素雰囲気下に容易に熱分解・揮発して
飛散除去されるような有機ビヒクルに着目して、従来の
バインダー樹脂(有機ビヒクル)のように酸素雰囲気下
で、焼き飛ばしを行わなくても、有機ビヒクルを完全に
除去できる方法を見出して、本発明に至った。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have made intensive studies in view of the above-mentioned problems, and as a result, prepared a paste-like resin composition from a conductive metal powder and an organic vehicle, and prepared a paste after application. The vehicle component in the compact is 20% before sintering.
Focusing on an organic vehicle which is easily thermally decomposed, volatilized and scattered and removed in a nitrogen atmosphere of 0 to 550 ° C., and is burned off in an oxygen atmosphere like a conventional binder resin (organic vehicle). The present invention has been found to find a method capable of completely removing the organic vehicle without using the same.

【0020】本発明によれば、このペースト状樹脂組成
物が無溶剤型であるが、基板上への塗布性を損なわせ
ず、しかも、焼結前のキュア処理を含めての有機ビヒク
ルを熱履歴下で除去させるプレー焼成を通して、塗布ペ
ースト層に形体賦形性を維持させることができ、このプ
レー焼成後の更なる昇温下での焼結処理を通しての焼成
処理が、窒素等の不活性雰囲気下にできることを特徴と
する導電性焼結体用のペースト状導電性樹脂組成物(以
下、単に導電性樹脂ペーストと称す)を提供する。
According to the present invention, the paste-like resin composition is of a solventless type, but does not impair the applicability on a substrate, and furthermore, the organic vehicle including the curing treatment before sintering is heated. Through the pre-firing that is removed under the history, the shape and shape of the applied paste layer can be maintained, and the firing process through the sintering process at a further elevated temperature after the pre-firing is an inert process such as nitrogen. A paste-like conductive resin composition (hereinafter, simply referred to as a conductive resin paste) for a conductive sintered body, which can be formed in an atmosphere.

【0021】また、本発明によれば、この導電性樹脂ペ
ーストの塗布後のプレー焼成において、形成された塗布
層又は型枠流込み形成物には、気泡孔等のピンホール
や、クラックや、撓みや又は収縮等を起こさせないこと
を特徴とする無溶剤型の導電性樹脂ペーストを提供す
る。 すなわち、導電性金属粉体及び/又はその合金粉
体を含有し、全体をペースト状にする本発明によるバイ
ンダー樹脂組成物が、(A)重量平均分子量Mwが50
0〜10000で、ガラス転移温度(Tg)が−80〜
50℃の(メタ)アクリル系重合体と、(B)分子量が
100〜5000で、重合性不飽和基が2〜6個を持つ
重合性多官能モノマーとを含有していることを特徴とす
る。このバインダー樹脂組成物(有機ビヒクル)中に、
(C)平均粒子径が0.1〜20μmである少なくとも
1種の導電性無機粉体を含有させてなる導電性樹脂ペー
ストである。
Further, according to the present invention, in the pre-baking after the application of the conductive resin paste, the formed coating layer or the mold pouring product may have pinholes such as air holes, cracks, or the like. Provided is a non-solvent type conductive resin paste which does not cause bending or contraction. That is, the binder resin composition according to the present invention, which contains a conductive metal powder and / or an alloy powder thereof and makes the whole a paste, has (A) a weight average molecular weight Mw of 50.
0-10000, glass transition temperature (Tg) is -80-
It is characterized by containing a (meth) acrylic polymer at 50 ° C. and (B) a polymerizable polyfunctional monomer having a molecular weight of 100 to 5000 and having 2 to 6 polymerizable unsaturated groups. . In this binder resin composition (organic vehicle),
(C) A conductive resin paste containing at least one kind of conductive inorganic powder having an average particle diameter of 0.1 to 20 μm.

【0022】これにより従来のペースト状樹脂組成物と
は異なり、(A)と(B)とを含有してなる有機ビヒク
ルは、そのビヒクルの主成分である(A)なる(メタ)
アクリル系重合体が、特定のMwである低重合体又はこ
の低重合体に、(B)なる低分子量体の重合性多官能モ
ノマーとを組合わせたことにより、本発明によるこの有
機ビヒクルは、無溶剤型であるが、溶剤性を兼ね備えた
流動性粘性体であり、また、導電性金属及び/又はその
合金粉体との濡れ性を有している。
Thus, unlike the conventional paste-like resin composition, the organic vehicle containing (A) and (B) is (M) which is the main component of the vehicle (A).
The organic vehicle according to the present invention is obtained by combining a low polymer in which the acrylic polymer has a specific Mw or a low molecular weight polymerizable polyfunctional monomer (B) with the low polymer. Although it is a solventless type, it is a fluid viscous material having both solvent properties and has wettability with a conductive metal and / or its alloy powder.

【0023】また、この有機ビヒクルに導電性金属粉体
等を含有させた導電性樹脂ペーストは、塗布性に優れ、
しかも、(B)なる低分子量体の重合性多官能モノマー
を組合わされていることから、塗布後に熱又はUV等で
重合硬化(キュア)させることができるので、塗布後の
塗布ペースト層に優れた形体賦形性を付与させることが
できる。
The conductive resin paste obtained by adding a conductive metal powder or the like to the organic vehicle has excellent coatability.
Moreover, since the low molecular weight polymerizable polyfunctional monomer (B) is combined, it can be polymerized and cured (cured) by heat or UV after application, so that the applied paste layer after application is excellent. Shape shapeability can be imparted.

【0024】また、キュア後の塗布されたペースト層を
形成させているビヒクル中には、従来法のビヒクルとは
異なり全く溶剤が含まれていない。しかも、そのバイン
ダー樹脂成分が、上述した低重合体からなることから、
キュア後において、従来のように酸素雰囲気下で、バイ
ンダー樹脂成分(ビヒクル成分)を焼き飛ばさなくても
よい。窒素等の不活性雰囲気下での低温度熱履歴下で、
容易に熱分解して飛散除去されるので、塗布ペースト層
中には、従来のビヒクルのような熱履歴下で発生しがち
なコーキング等による炭素質等を残留させない。
Further, unlike the vehicle of the conventional method, the vehicle forming the applied paste layer after curing contains no solvent. Moreover, since the binder resin component is composed of the low polymer described above,
After curing, the binder resin component (vehicle component) does not have to be burned off in an oxygen atmosphere as in the related art. Under low temperature heat history under inert atmosphere such as nitrogen,
Since it is easily thermally decomposed and scattered and removed, the coating paste layer does not leave carbonaceous matter due to coking or the like, which tends to be generated under a heat history like a conventional vehicle.

【0025】また、本発明によれば、(A)重量平均分
子量Mwが500〜10000で、ガラス転移温度(T
g)が−80〜50℃の範囲にある(メタ)アクリル系
重合体と、(B)分子量が100〜5000で、重合性
不飽和基が2〜6個を有する重合性多官能モノマーと、
重合開始剤とを含有する粘度(23℃)が、0.01〜
10Pa・sである樹脂組成物を調製する。この樹脂組
成物に、(C)平均粒子径が0.1〜20μmの範囲に
ある導電性金属及び/又はその合金粉体を混練させて導
電性樹脂ペーストとする。次いで、このペーストを基板
上等に塗布させた後、その塗布層を重合硬化(キュア)
させる。次いで、不活性雰囲気下であって、焼結前のプ
レー焼成の温度領域で、塗布されたペースト層中のビヒ
クル樹脂成分を熱分解・揮発させて飛散除去させた後、
更なる昇温下に焼結させることを特徴とする導電性焼結
体の形成方法を提供する。
According to the present invention, (A) the weight average molecular weight Mw is 500 to 10,000 and the glass transition temperature (T
g) a (meth) acrylic polymer in the range of −80 to 50 ° C .; (B) a polymerizable polyfunctional monomer having a molecular weight of 100 to 5000 and having 2 to 6 polymerizable unsaturated groups;
The viscosity (23 ° C.) containing the polymerization initiator is 0.01 to
A resin composition having a pressure of 10 Pa · s is prepared. This resin composition is kneaded with (C) a conductive metal having an average particle diameter in the range of 0.1 to 20 μm and / or an alloy powder thereof to obtain a conductive resin paste. Next, after applying this paste on a substrate or the like, the applied layer is polymerized and cured (cured).
Let it. Then, under an inert atmosphere, in the temperature range of pre-sintering before sintering, after the vehicle resin component in the applied paste layer is thermally decomposed and volatilized to be scattered and removed,
Provided is a method for forming a conductive sintered body, characterized by sintering at a further elevated temperature.

【0026】[0026]

【発明の実施の形態】以下に、本発明による導電性焼結
体又はその層を形成させる導電性金属粉体等を含有する
ペースト状導電性樹脂組成物(以下、単に導電性樹脂ペ
ーストと称す)の実施の形態について更に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, a paste-like conductive resin composition containing a conductive sintered body or a conductive metal powder for forming a layer thereof according to the present invention (hereinafter simply referred to as a conductive resin paste). The embodiment of ()) will be further described.

【0027】そこで、既に上述した如く、本発明による
導電性樹脂ペーストは、そのペーストを形成させるバイ
ンダー樹脂組成物(又は有機ビヒクル)が、無溶剤型で
あって、(メタ)アクリル系の低重合体と、重合性不飽
和基が2個〜6個を有する重合性多官能モノマーとを含
有している。本発明におけるこの有機ビヒクルは、好ま
しくは、この特定の低重合体の100重量部に対して、
この重合性多官能モノマーが10〜900重量部の範囲
にある樹脂組成物であることが特徴である。
Therefore, as described above, in the conductive resin paste according to the present invention, the binder resin composition (or organic vehicle) for forming the paste is a solventless type and has a low (meth) acrylic weight. And a polymerizable polyfunctional monomer having 2 to 6 polymerizable unsaturated groups. The organic vehicle in the present invention is preferably based on 100 parts by weight of this particular low polymer.
It is characterized in that the polymerizable polyfunctional monomer is a resin composition in the range of 10 to 900 parts by weight.

【0028】本発明においては、この重合性多官能モノ
マーの含有量が、上述した下限値の10重量部未満であ
ると、塗布後にペースト層を重合硬化させても、その塗
布ペースト層の形体を充分に保持させることができず塗
布したペーストの形体賦形性を低下させる。一方、上限
値の900重量部を超えても、必要以上に樹脂成分の含
有量を増やすだけで、また、増大分に相当する必要以上
の賦形性を発揮させないことから、単に経済的に不利に
なるだけである。
In the present invention, if the content of the polymerizable polyfunctional monomer is less than the above-mentioned lower limit of 10 parts by weight, even if the paste layer is polymerized and cured after the application, the shape of the applied paste layer is not changed. The paste cannot be held sufficiently and the shape shapeability of the applied paste is reduced. On the other hand, even if the content exceeds the upper limit of 900 parts by weight, merely increasing the content of the resin component more than necessary and not exhibiting more than necessary shaping properties corresponding to the increased amount is merely economically disadvantageous. It just becomes.

【0029】また、このビヒクルの樹脂組成物の23℃
での粘度が、0.01〜10Pa・s、好ましくは、
0.05〜8Pa・sの範囲にある。この粘度が下限値
未満であると、充填する無機粉体の表面濡れ性にもよる
が、安定したペーストが得られなく、塗布性又は賦形性
を低下させるし、一方、上限値を超えると、無機粉体の
充填量が著しく低下させるだけでなく、ペーストの塗布
性を著しく低下させる。
Further, the resin composition of this vehicle has a temperature of 23 ° C.
Is 0.01 to 10 Pa · s, preferably,
It is in the range of 0.05 to 8 Pa · s. When the viscosity is less than the lower limit, depending on the surface wettability of the inorganic powder to be filled, a stable paste is not obtained, and the coatability or the shapeability is reduced. In addition, not only does the filling amount of the inorganic powder significantly decrease, but also the applicability of the paste significantly decreases.

【0030】また、本発明においては、既に上述した如
く、ペーストを形成させるビヒクルは、特に必要のない
かぎり、無溶剤型であって、形成された導電性樹脂ペー
ストは、塗布性、形体賦形性に優れ、しかも、乾燥・プ
レー焼成・焼結を通して、従来のビヒクルに比べて、よ
り低温度である250〜550℃、好ましくは、350
〜500℃の温度範囲において、しかも、不活性雰囲気
下で、ビヒクル成分がほぼ完全に、熱分解・揮発して飛
散除去されることが特徴である。
In the present invention, as described above, the vehicle for forming the paste is a solventless type unless otherwise required. Excellent in heat resistance, and through drying, pre-firing and sintering, the temperature is lower than that of the conventional vehicle, that is, 250 to 550 ° C., preferably 350
It is characterized in that the vehicle components are almost completely thermally decomposed, volatilized and scattered and removed in a temperature range of up to 500 ° C. and under an inert atmosphere.

【0031】また、上述したビヒクルの樹脂成分である
この重合性不飽和基が2個〜6個を有する重合性多官能
モノマーは、本発明において、熱重合性であっても、U
V等の光重合性の何れであっても適宜好適に使用するこ
とができるが、好ましくは、熱重合性多官能モノマーよ
りは、UV等の光重合性多官能モノマーである方が、導
電性樹脂ペーストのポットライフの観点から好適であ
る。
In the present invention, the polymerizable polyfunctional monomer having 2 to 6 polymerizable unsaturated groups, which is a resin component of the vehicle, is used in the present invention even if it is heat polymerizable.
Any photopolymerizable monomer such as V can be suitably used, but preferably, a photopolymerizable polyfunctional monomer such as UV is more conductive than a thermopolymerizable polyfunctional monomer. It is suitable from the viewpoint of the pot life of the resin paste.

【0032】すなわち、UV重合性であることにより、
予め、ビヒクル中に光重合開始剤を含有させておいて
も、ビヒクルの粘度を経時的に増加させることがなく、
本発明による導電性樹脂ペーストのポットライフを損ね
ることがない。しかしながら、この重合性多官能モノマ
ーが、熱重合性モノマーである場合には、熱重合開始剤
が予め熱重合性モノマーに経時的に接触させると、ビヒ
クルの粘度を増加させることから、予め熱重合開始剤を
導電性無機粉体の含有する(メタ)アクリル系の低重合
体中に溶解させたペーストとした後、塗布する直前にこ
のペーストに熱重合性モノマーを混ぜて、本発明による
導電性樹脂ペーストとして使用することができる。
That is, by being UV-polymerizable,
Even if the photopolymerization initiator is previously contained in the vehicle, the viscosity of the vehicle does not increase with time,
The pot life of the conductive resin paste according to the present invention is not impaired. However, when the polymerizable polyfunctional monomer is a thermopolymerizable monomer, if the thermopolymerization initiator is brought into contact with the thermopolymerizable monomer with time in advance, the viscosity of the vehicle increases. After forming a paste in which the initiator is dissolved in a (meth) acrylic low polymer containing a conductive inorganic powder, the paste is mixed with a thermopolymerizable monomer immediately before application to form a paste according to the present invention. It can be used as a resin paste.

【0033】このような本発明によるビヒクルを用いた
導電性樹脂ペースト中には、後述する各種の導電性金属
及び/又はその合金粉体が、上述した低重合体の100
重量部当たり、平均粒子径0.1〜20μmの導電性無
機粉体を、100〜9000重量部、好ましくは、50
0〜6000重量部の範囲で含有させることができる。
そこで、上述した粘度範囲にある本発明による有機ビヒ
クルに、上述した範囲で充填できる導電性無機粉体は、
得られた導電性樹脂ペーストが上述した塗布性、賦形性
を損なわせぬ範囲において、可能な限りその充填量が高
めであることが好ましい。
In the conductive resin paste using the vehicle according to the present invention, various conductive metals and / or alloy powders thereof described below contain the above-mentioned low polymer 100%.
100 to 9000 parts by weight, preferably 50 to 100 parts by weight of conductive inorganic powder having an average particle diameter of 0.1 to 20 μm per part by weight.
It can be contained in the range of 0 to 6000 parts by weight.
Therefore, the organic vehicle according to the present invention having the above viscosity range, the conductive inorganic powder that can be filled in the above range,
It is preferable that the filling amount is as high as possible as long as the obtained conductive resin paste does not impair the applicability and shapeability described above.

【0034】このような充填量は、特に、その導電性金
属及び/又はその合金粉体が持つビヒクルとの濡れ性や
(その粉体自体が持つ吸油量に依存する)、また、粉体
の細密充填の観点から、粒子径及び粒度分布や、球状、
針状、不定形等の粒子形状等に大きく影響される。従っ
て、一概に特定することができないが、ペースト中の粉
体粒子を細密充填状態にさせる観点から、好ましくは、
粒子形状がほぼ球状で、上述した平均粒子径を満たし、
且つ適度の粒度分布を有する導電性無機粉体が好適であ
る。
[0034] Such a filling amount particularly depends on the wettability of the conductive metal and / or its alloy powder with the vehicle (depending on the oil absorption of the powder itself), and the amount of the powder. From the viewpoint of close packing, particle diameter and particle size distribution, spherical,
It is greatly affected by the shape of particles such as needles and irregular shapes. Therefore, although it cannot be specified unconditionally, from the viewpoint of bringing the powder particles in the paste into a finely packed state, preferably,
The particle shape is almost spherical, satisfying the above average particle size,
A conductive inorganic powder having an appropriate particle size distribution is preferable.

【0035】そこで、既に上述した如く、本発明による
バインダー樹脂組成物を構成する(メタ)アクリル系重
合体としては、下記する重合性モノマーの低重合体を適
宜に使用することができる。
Therefore, as described above, as the (meth) acrylic polymer constituting the binder resin composition according to the present invention, the following low polymerizable polymerizable monomers can be appropriately used.

【0036】本発明において、このような低重合体用の
重合性モノマーとして、例えば、メチルアクリレート、
メチルメタアクリレート、エチルアクリレート、エチル
メタアクリレート、n−プロピルアクリレート、n−プ
ロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イ
ソプロピルメタクリレート、sec−ブチルアクリレー
ト、sec−ブチルメタクリレート、イソブチルアクリ
レート、イソブチルメタクリレート、tert−ブチル
アクリレート、tert−ブチルメタクリレート、n−
ペンチルアクリレート、n−ペンチルメタクリレート、
n−ヘキシルアクリレート、n−ヘキシルメタクリレー
ト、2−エチルヘキシルアクリレート、2−エチルヘキ
シルメタクリレート、n−オクチルアクリレート、n−
オクチルメタクリレート、n−デシルアクリレート、n
−デシルメタクリレート、ヒドロキシエチルアクリレー
ト、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロ
ピルアクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート
等を挙げることができ、本発明では、これらの少なくと
も1種以上のモノマーを適宜に使用することができる。
In the present invention, as the polymerizable monomer for such a low polymer, for example, methyl acrylate,
Methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, n-propyl acrylate, n-propyl methacrylate, isopropyl acrylate, isopropyl methacrylate, sec-butyl acrylate, sec-butyl methacrylate, isobutyl acrylate, isobutyl methacrylate, tert-butyl acrylate, tert- Butyl methacrylate, n-
Pentyl acrylate, n-pentyl methacrylate,
n-hexyl acrylate, n-hexyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, n-octyl acrylate, n-
Octyl methacrylate, n-decyl acrylate, n
-Decyl methacrylate, hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate, hydroxypropyl methacrylate, and the like. In the present invention, at least one or more of these monomers can be appropriately used.

【0037】これらのモノマーから本発明に用いる低重
合体を調製するには、例えば、既に本発明者らによって
特許出願されている特開2000−128911号公報
に記載する塊状重合方法に準拠させることで適宜好適に
調製することができる。すなわち、下記一般式[I]で
表される少なくとも1個のチオール基と2級水酸基とを
有する化合物を、上述した(メタ)アクリル系モノマー
の重合性不飽和化合物の塊状重合用触媒に用いるもので
ある。
In order to prepare the low polymer used in the present invention from these monomers, for example, the bulk polymerization method described in JP-A-2000-128911 already applied for a patent by the present inventors has been adopted. Can be suitably suitably prepared. That is, a compound having at least one thiol group and a secondary hydroxyl group represented by the following general formula [I] is used as a catalyst for bulk polymerization of a polymerizable unsaturated compound of the above-mentioned (meth) acrylic monomer. It is.

【0038】[0038]

【化1】 但し、一般式[I]において、R〜Rは、それぞ
れ独立に、水素原子又は炭素数C〜C12のアルキル
基であり、Rは、水酸基、炭素数C〜C のアル
コキシ基及び炭素数C〜C12のアルキル基より選ば
れた少なくとも1種類の基である。また、少なくとも1
個のチオール基(−SH)と2級水酸基を有しているこ
とが特徴である。
Embedded image However, in the general formula [I], R 1 ~R 5 are each independently a hydrogen atom or an alkyl group having a carbon number of C 1 ~C 12, R 6 represents a hydroxyl group, the number of carbon atoms C 1 -C 1 2 And at least one group selected from alkyl groups having 1 to 12 carbon atoms. Also, at least one
It is characterized by having two thiol groups (-SH) and a secondary hydroxyl group.

【0039】これを重合開始剤及び反応制御剤とするこ
の塊状重合法においては、実質的に無溶剤型で反応を進
捗させることができ、上述した反応性の高いモノマーで
あっても、反応を暴走させることなく重合反応を進捗で
きる。その結果、分子量分布の狭い低重合体を安定に塊
状重合させることができる。
In this bulk polymerization method using this as a polymerization initiator and a reaction control agent, the reaction can proceed in a substantially solvent-free manner, and even if the above-mentioned highly reactive monomer is used, the reaction can proceed. The polymerization reaction can proceed without runaway. As a result, a low polymer having a narrow molecular weight distribution can be stably subjected to bulk polymerization.

【0040】そこで、一般式[I]で表される化合物と
して、例えば、チオグリセロール、1−メルカプト−
2,3−プロパンジオール、2−メルカプト−3−ブタ
ノール、2−メルカプト−3,4−ブタンジオール、1
−メルカプト−2,3−ブタンジオール、1−メルカプ
ト−2−ブタノール、2−メルカプト−3,4,4’−
ブタントリオール、1−メルカプト−3,4−ブタンジ
オール、1−メルカプト−3,4,4’−ブタントリオ
ール等を挙げることができる。本発明においては、これ
らの化合物のうち、塊状重合用の触媒として、チオグリ
セロールが特に好適に用いられる。
Thus, as the compound represented by the general formula [I], for example, thioglycerol, 1-mercapto-
2,3-propanediol, 2-mercapto-3-butanol, 2-mercapto-3,4-butanediol,
-Mercapto-2,3-butanediol, 1-mercapto-2-butanol, 2-mercapto-3,4,4'-
Butanetriol, 1-mercapto-3,4-butanediol, 1-mercapto-3,4,4′-butanetriol and the like can be mentioned. In the present invention, among these compounds, thioglycerol is particularly preferably used as a catalyst for bulk polymerization.

【0041】また、次式[II]で表される有機金属化合
物(メタロセン化合物)とチオール類からなる塊状重合
用触媒を用いて重合性不飽和化合物を重合させる塊状重
合方法に準拠させることでも適宜好適に調製することが
できる。
The bulk polymerization method of polymerizing a polymerizable unsaturated compound using a bulk polymerization catalyst comprising an organometallic compound (metallocene compound) represented by the following formula [II] and a thiol may be appropriately used. It can be suitably prepared.

【0042】[0042]

【化2】 だだし、上記式[II]において、Mは、周期律表4A
属、4B属、5A属、5Bの金属、クロム、ルテニウム
およびパラジウムよりなる群から選ばれる金属である。
具体的にはMは、チタン、ジルコニウム、クロム、ルテ
ニウム、バナジウム、パラジウム、錫などである。ま
た、式[II]において、R1およびR2は、それぞれ独
立に、置換基を有することもある脂肪族炭化水素基、置
換基を有することもある脂環族炭化水素基、置換基を有
することもある芳香族炭化水素基、置換基を有すること
もあるケイ素含有基よりなる群から選ばれる少なくとも
一種の基、水素原子または単結合のいずれかである。さ
らに、R1およびR2が共同して該2個の5員環を結合
していてもよく、また、複数の隣接するR1またはR2
は、共同して環状構造を形成していてもよい。また、式
[II]において、aおよびbは、それぞれ独立に、1〜
4の整数であり、Xは塩素、臭素、ヨウ素などのハロゲ
ン原子または水素原子の少なくとも一部がハロゲン原子
で置換されていることもある炭化水素基であり、nは0
または金属Mの価数−2の整数である。
Embedded image However, in the above formula [II], M is the periodic table 4A
A metal selected from the group consisting of metals of the genus, genus 4B, genus 5A, genus 5B, chromium, ruthenium and palladium.
Specifically, M is titanium, zirconium, chromium, ruthenium, vanadium, palladium, tin, or the like. In the formula [II], R1 and R2 may each independently have an aliphatic hydrocarbon group which may have a substituent, an alicyclic hydrocarbon group which may have a substituent, or a substituent. It is at least one group selected from the group consisting of a certain aromatic hydrocarbon group, a silicon-containing group which may have a substituent, a hydrogen atom and a single bond. In addition, R1 and R2 may jointly link the two 5-membered rings, and a plurality of adjacent R1 or R2
May form a ring structure together. In the formula [II], a and b each independently represent 1 to
X is an integer of 4, X is a halogen atom such as chlorine, bromine or iodine or a hydrocarbon group in which at least a part of a hydrogen atom may be substituted with a halogen atom, and n is 0
Alternatively, it is an integer of valence-2 of the metal M.

【0043】そこで、式[II]で表される有機金属化合
物としては、例えば、ジシクロペンタジエン−Ti−ジ
クロライド、ジシクロペンタジエン−Ti−ビスフェニ
ル、ジシクロペンタジエン−Ti−ビス−2,3,4,
5,6−ペンタフルオロフェニ−1−イル、ジシクロペ
ンタジエン−Ti−ビス−2,3,5,6−テトラフル
オロフェニ−1−イル、ジシクロペンタジエン−Ti−
ビス−2,5,6−トリフルオロフェニ−1−イル、ジ
シクロペンタジエン−Ti−ビス−2,6−ジフルオロ
フェニ−1−イル等のチタノセン化合物;ジシクロペン
タジエン−Zr−ジクロライド、ジシクロペンタジエン
−Zr−ビスフェニル、ジシクロペンタジエン−Zr−
ビス−2,3,4,5,6−ペンタフルオロフェニ−1
−イル等のジルコノセン化合物;ジシクロペンタジエル
−V−クロライド、ビスペンタメチルシクロペンタジエ
ニル−V−クロライド等を挙げることができる。これら
の有機金属化合物は単独又は2種以上を組合わせて使用
することができる。
The organometallic compounds represented by the formula [II] include, for example, dicyclopentadiene-Ti-dichloride, dicyclopentadiene-Ti-bisphenyl, dicyclopentadiene-Ti-bis-2,3,3 4,
5,6-pentafluorophenyl-1-yl, dicyclopentadiene-Ti-bis-2,3,5,6-tetrafluorophenyl-1-yl, dicyclopentadiene-Ti-
Titanocene compounds such as bis-2,5,6-trifluorophen-1-yl, dicyclopentadiene-Ti-bis-2,6-difluorophenyl-1-yl; dicyclopentadiene-Zr-dichloride, dicyclopentadiene -Zr-bisphenyl, dicyclopentadiene-Zr-
Bis-2,3,4,5,6-pentafluorophenyl-1
And zirconocene compounds such as -yl; dicyclopentadienyl-V-chloride, bispentamethylcyclopentadienyl-V-chloride and the like. These organometallic compounds can be used alone or in combination of two or more.

【0044】この有機金属化合物は、触媒量として、重
合性不飽和化合物100重量部に対して、通常、1〜
0.001重量部、好ましくは、0.01〜0.005
重量部の量で好適に使用される。また、チオール類とし
ては、エチルメルカプタン、ブチルメルカプタン、ヘキ
シルメルカプタン等のアルキルチオール類、ヘニルメル
カプタン、ベンジルメルカプタン、β−メルカプトプロ
ピオン酸、3−メルカプトプロピル−トリメトキシシラ
ン、チオフェーニル等を挙げることができる。この触媒
において、有機金属化合物が反応全体に活性化触媒的に
作用し、チオール類は重合開始作用があり、チオール類
の使用量は、分子量、重合率に影響を与える。従って、
有機金属化合物とチオール類とは、通常、100:1〜
1:50000の範囲のモル比で使用される。また、重
合速度や重合度を調整する目的で、ジスフィド化合物、
トリスルフィド化合物、テトラスルフィド化合物を使用
することができる。
The organometallic compound is usually used in a catalytic amount of 1 to 100 parts by weight of the polymerizable unsaturated compound.
0.001 part by weight, preferably 0.01 to 0.005
It is preferably used in parts by weight. Examples of the thiols include alkyl thiols such as ethyl mercaptan, butyl mercaptan, and hexyl mercaptan, phenyl mercaptan, benzyl mercaptan, β-mercaptopropionic acid, 3-mercaptopropyl-trimethoxysilane, and thiophenyl. In this catalyst, the organometallic compound acts as an activating catalyst for the entire reaction, thiols have a polymerization initiating action, and the amount of thiols used affects the molecular weight and the polymerization rate. Therefore,
The organometallic compound and the thiols are usually 100: 1 to 1
It is used in a molar ratio in the range of 1: 50,000. Also, for the purpose of adjusting the polymerization rate and degree of polymerization, disulfide compounds,
Trisulfide compounds and tetrasulfide compounds can be used.

【0045】本発明においては、既に上述した(メタ)
アクリル系重合体としては、好ましくは、重量平均分子
量Mwが500〜10000、更に好ましくは、100
0〜7000の範囲にある低重合体を適宜好適に使用す
ることができる。このMwが下限値未満では、重合硬化
させた塗布ペースト層の形体賦形性が低下し、また、機
能性無機粉体に十分な結着性が発現されない。一方、こ
のMwが上限値を超えると樹脂粘度が高くなり、ペース
ト粘度を上げるため、モノマー成分を増やしたり、粉体
濃度を下げたり等の調整を要して経済的に不利になるこ
とから好ましくない。
In the present invention, the (meth)
The acrylic polymer preferably has a weight average molecular weight Mw of 500 to 10,000, more preferably 100
A low polymer in the range of 0 to 7000 can be suitably used suitably. If this Mw is less than the lower limit, the shape-forming properties of the polymerized and cured application paste layer will be reduced, and the functional inorganic powder will not exhibit sufficient binding properties. On the other hand, if the Mw exceeds the upper limit, the viscosity of the resin increases, and the viscosity of the paste is increased. Therefore, it is economically disadvantageous because adjustment of the monomer component is increased or the powder concentration is decreased, which is preferable. Absent.

【0046】また、本発明においては、この低重合体の
ガラス転移温度(Tg)は、好ましくは、−80〜50
℃の範囲にあることが好適である。このTgがこの範囲
から外れると、すなわち、Tgが50℃を超えると重合
硬化後の塗膜の可撓性が悪く、また、ビヒクルの粘度が
高くなり、スクリーン塗工時の刷毛切れ性、塗工性を低
下させる傾向にある。一方、Tgが−80℃より低い場
合、重合硬化後の塗膜の形体賦形性が悪く、また、焼成
時のフィラー保持性を低下させる等の理由から好ましく
ない。
In the present invention, the glass transition temperature (Tg) of the low polymer is preferably from -80 to 50.
Preferably it is in the range of ° C. When the Tg is out of this range, that is, when the Tg exceeds 50 ° C., the flexibility of the coating film after polymerization and curing is low, and the viscosity of the vehicle is high, and the brush breakage property at the time of screen coating and brush coating property are low. It tends to lower workability. On the other hand, if the Tg is lower than -80 ° C, it is not preferable because the shape-forming properties of the coating film after polymerization and curing are poor and the filler retention during firing is lowered.

【0047】また、本発明においては、この低重合体の
酸価が、好ましくは、60〜180の範囲にあることが
好適である。すなわち、本発明においては、既に公知の
ペースト用バインダー樹脂であって、側鎖にカルボキシ
ル基と不飽和基を有するアクリル系共重合体の低重合体
の傾向とは異なり、そのペースト状組成物の経時的な粘
度上昇によって、塗布性が損なわれることがない。特
に、本発明においては、用いる導電性無機粉体の表面濡
れ性等にも影響されるが、その酸価が上述した範囲から
外れると、本発明の導電性樹脂ペースト中の導電性無機
粉体に対して、分散剤としての効果を損なう傾向から好
ましくない。
In the present invention, the acid value of the low polymer is preferably in the range of 60 to 180. That is, in the present invention, it is a binder resin for a paste that is already known, unlike the tendency of a low polymer of an acrylic copolymer having a carboxyl group and an unsaturated group in a side chain, unlike the paste-like composition. The applicability is not impaired by the increase in viscosity over time. In particular, in the present invention, the conductive inorganic powder used in the conductive resin paste of the present invention is affected by the surface wettability of the conductive inorganic powder to be used. On the other hand, it is not preferable because the effect as a dispersant tends to be lost.

【0048】また、本発明において、ラジカル反応をす
る重合性不飽和基を複数個(2〜6個)有する重合性多
官能モノマーとして、例えば、エチレングリコールジ
(メタ)アクリレート、ジエチレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、テトラエチレングリコールジ(メ
タ)アクリレート、プロピレングリコールジ(メタ)ア
クリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アク
リレート、ブチレングリコールジ(メタ)アクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、
1,6−ヘキサグリコールジ(メタ)アクリレート、ト
リメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、グリ
セリンジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトール
ジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ
(メタ)アクリレート、ジペンタエリススリトールペン
タ(メタ)アクリレート、2,2−ビス(4−(メタ)
アクリロキシジエトキシフェニル)プロパン、2,2−
ビス(4−(メタ)アクリロキシポリエトキシフェニ
ル)プロパン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェ
ニル−プロパン−1−オン、2,4,6−トリメチルベ
ンゾイルジフェニル−フォスフィンオキサイド、2−ベ
ンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノ
フェニル)−ブタノン−1、2−ヒドロキシ−3−(メ
タ)アクリロイルオキシプロピル(メタ)アクリレー
ト、エチレングリコールジグリシジルエーテルジ(メ
タ)アクリレート、ジエチレングリコールジグリシジル
エーテルジ(メタ)アクリレート、フタル酸ジグリシジ
ルエステルジ(メタ)アクリレート、グリセリントリア
クリレート、グリセリンポリグリシジルエーテルポリ
(メタ)アクリレート等に代表される多官能アクリレー
トや、これらに対応するメタアクリレートモノマーが挙
げることができる。
In the present invention, examples of the polymerizable polyfunctional monomer having a plurality (2 to 6) of polymerizable unsaturated groups that undergo a radical reaction include ethylene glycol di (meth) acrylate and diethylene glycol di (meth) acrylate. Acrylate, tetraethylene glycol di (meth) acrylate, propylene glycol di (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate, butylene glycol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate,
1,6-hexaglycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, glycerin di (meth) acrylate, pentaerythritol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (Meth) acrylate, 2,2-bis (4- (meth)
Acryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2-
Bis (4- (meth) acryloxypolyethoxyphenyl) propane, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 2,4,6-trimethylbenzoyldiphenyl-phosphine oxide, 2-benzyl -2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1, 2-hydroxy-3- (meth) acryloyloxypropyl (meth) acrylate, ethylene glycol diglycidyl ether di (meth) acrylate, diethylene glycol di Multifunctional acrylates represented by glycidyl ether di (meth) acrylate, diglycidyl phthalate di (meth) acrylate, glycerin triacrylate, glycerin polyglycidyl ether poly (meth) acrylate, and corresponding methacrylates It can be acrylate monomer is given.

【0049】特に、UV硬化型である場合に、光重合開
始剤として、ベンゾフェノン、ο−ベンゾイル安息香酸
メチル、4,4−ビス(ジメチルアミン)ベンゾフェノ
ン、4,4−ビス(ジエチルアミン)ベンゾフェノン、
α−アミノアセトヘノン、4,4−ジクロロベンゾフェ
ノン、4−ベンゾイル−4−メチルジフェニルケトン、
ジべンジルケトン、フロオレノン、2,2−ジエトキシ
アセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルア
セトヘノン、2−ヒドロキシ−2−メチル−1−フェニ
ル−プロパン−1−オン、2−ヒドロキシ−2−メチル
プロピオフェノン、チオキサントン、2−メチルチオキ
サントン、2−クロロチオキサントン、ベンジルジメチ
ルケタール、ベンジルメトキシエチルアセタール、ベン
ゾインメチルエーテル、ベンゾインブチルエーテル、
2,4,6−トリメチルベンゾイルジフェニル−フォス
フィンオキサイド、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ
−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタノン−1、
トアントラキノン、2−tert−ブチルアントラキノ
ン、2−アミルアントラキノン、β−クロロアントラキ
ノン、アントロン、ベンズアントロン、メチレンアント
ロン、4−アジドベンジルアセトフェノン、2,6−ビ
ス(ρ−アジドベンジリデン)シクロヘキサン、2,6
−ビス(ρ−アジドベンジリデン)−4−メチルシクロ
ヘキサノン、2−フェニル−1,2−ブタジオン−2−
(ο−メトキシカルボニル)オキシム、ベンゾチアゾー
ルジスルフィド等を挙げることができ、これらの光重合
開始剤の1種又は2種以上を組合わせて使用することが
できる。これらの光重合開始剤は、(B)の100重量
部に対して、0.05〜5重量部を添加することができ
る。添加量が下限値よりも少ないと導電性樹脂ペースト
の光硬化性が低く好ましくなく、また、上限値を超えて
添加させると可視光でも硬化してポットライフを短く
し、焼成後、残査を残す傾向があり好ましくない。
In particular, in the case of a UV-curable type, benzophenone, methyl o-benzoylbenzoate, 4,4-bis (dimethylamine) benzophenone, 4,4-bis (diethylamine) benzophenone are used as photopolymerization initiators.
α-aminoacetohenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4-benzoyl-4-methyldiphenyl ketone,
Dibenzyl ketone, fluorenone, 2,2-diethoxyacetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2-hydroxy-2-methyl-1-phenyl-propan-1-one, 2-hydroxy-2 -Methylpropiophenone, thioxanthone, 2-methylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, benzyldimethylketal, benzylmethoxyethylacetal, benzoinmethylether, benzoinbutylether,
2,4,6-trimethylbenzoyldiphenyl-phosphine oxide, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -butanone-1,
Toanthraquinone, 2-tert-butylanthraquinone, 2-amylanthraquinone, β-chloroanthraquinone, anthrone, benzantrone, methyleneanthrone, 4-azidobenzylacetophenone, 2,6-bis (ρ-azidobenzylidene) cyclohexane, 2,6
-Bis (ρ-azidobenzylidene) -4-methylcyclohexanone, 2-phenyl-1,2-butadione-2-
(Ο-methoxycarbonyl) oxime, benzothiazole disulfide and the like can be mentioned, and one or more of these photopolymerization initiators can be used in combination. These photopolymerization initiators can be added in an amount of 0.05 to 5 parts by weight based on 100 parts by weight of (B). If the addition amount is less than the lower limit, the photocurability of the conductive resin paste is low, which is not preferable.Also, if added beyond the upper limit, the resin hardens even with visible light, shortens the pot life, and after baking, the residue is removed. It is not preferable because it tends to remain.

【0050】また、必要に応じて、ラジカル反応を誘起
させる光重合開始剤に併用させて、光重合開始助剤を用
いて、光重合開始反応を促進させ、重合硬化を効率的に
することができる。このような光重合開始助剤として、
例えば、トリエチレンテトラミン、トリエタノールアミ
ン、メチルジエタノールアミン、トリイソプロパノール
アミン、n−ブチルアミン、ジメチルチオキサントン、
イソプロピルチオキサントン、N−メチルジエタノール
アミン、4−ジメチルアミノ安息香酸エチル等の脂肪
族、芳香族アミンを挙げることができる。これらの光開
始助剤は、光重合開始剤1重量部に対して、0.1〜5
重量部の範囲で添加できる。また、このように導電性樹
脂ペーストの有機ビヒクルを感光性樹脂組成物にするこ
とで、レジスト塗布層としてパターン形成をすることが
できるので、適宜ホトレジスト法による所定のパターン
形成をすることができる。
If necessary, a photopolymerization initiator may be used in combination with a photopolymerization initiator for inducing a radical reaction, and a photopolymerization initiation aid may be used to promote the photopolymerization initiation reaction to make polymerization curing more efficient. it can. As such a photopolymerization initiation aid,
For example, triethylenetetramine, triethanolamine, methyldiethanolamine, triisopropanolamine, n-butylamine, dimethylthioxanthone,
Aliphatic and aromatic amines such as isopropylthioxanthone, N-methyldiethanolamine and ethyl 4-dimethylaminobenzoate can be mentioned. These photoinitiating assistants are used in an amount of 0.1 to 5 parts by weight based on 1 part by weight of the photopolymerization initiator.
It can be added in the range of parts by weight. Further, by using the photosensitive resin composition as the organic vehicle of the conductive resin paste, a pattern can be formed as a resist coating layer, so that a predetermined pattern can be appropriately formed by a photoresist method.

【0051】また、必要に応じて、このビヒクルに他の
添加剤として、可塑剤、分散剤、増粘剤、沈降防止剤、
消泡剤、レベリング剤又は熱重合禁止剤等を適宜に添加
することができる。例えば、ペーストの流動性を向上さ
せる目的で添加される可塑剤としては、ジエチルフタレ
ート、ジブチルフタレート、ブチルベンジルフタレー
ト、ジベンジルフタレーチ、ポリアルキレングリコー
ル、トリエチレングリコールジアセテート、ポリエチレ
ンオコシド等が挙げられ、特に、光硬化性感度及び熱分
解・揮発性を損ねない範囲において添加することができ
る。
Further, if necessary, a plasticizer, a dispersant, a thickener, an anti-settling agent,
An antifoaming agent, a leveling agent, a thermal polymerization inhibitor and the like can be appropriately added. For example, examples of the plasticizer added for the purpose of improving the fluidity of the paste include diethyl phthalate, dibutyl phthalate, butyl benzyl phthalate, dibenzyl phthalate, polyalkylene glycol, triethylene glycol diacetate, and polyethylene okoside. In particular, it can be added in a range that does not impair photocurability sensitivity and thermal decomposition / volatility.

【0052】<導電性焼結体の形成方法>各種のエレク
トロニクス製品及びその周辺機器として、例えば、基板
上に形成されたセラミックコンデンサ素子、圧電体素
子、焦電体素子、半導体デバイス等のエレクトロニクス
部品には、内部電極、回路パターン、外部電極端子等の
導電性部材が組み込まれている。その形成方法は、例え
ば、CVD・焼結法、スパッタ法、又は導電性ペースト
を塗布・焼結法等によって形成することができる。
<Method of Forming Conductive Sintered Body> As various electronic products and their peripheral devices, for example, electronic components such as ceramic capacitor elements, piezoelectric elements, pyroelectric elements, and semiconductor devices formed on a substrate. Has built-in conductive members such as internal electrodes, circuit patterns, and external electrode terminals. The formation method can be formed by, for example, a CVD / sintering method, a sputtering method, or a conductive paste application / sintering method.

【0053】既に上述した如く、本発明による無溶剤型
のバインダー樹脂組成物(ビヒクル)に、導電性金属及
び/又はその導電性合金の無機粉体を混練させることで
容易にペースト状になり、既に上述した塗布性、賦形性
及び焼結性等に優れる本発明による導電性樹脂ペースト
を調製することができる。このように得られた導電性樹
脂ペーストをアルミナ等のセラミック基板上又は各種の
セラミックグリーンシートの基材上に塗布することがで
きる。その塗布法としては、スクリーン印刷法、バーコ
ーター法、 ロールコーター法、スリットダイコーター
法、ドクターブレードコーター法、感光性樹脂ペースト
法(ホトレジスト形成法)が挙げられ、適宜好適に使用
することができる。
As already described above, the solvent-free binder resin composition (vehicle) of the present invention is easily kneaded with an inorganic powder of a conductive metal and / or a conductive alloy thereof to easily form a paste. It is possible to prepare the conductive resin paste according to the present invention, which is excellent in the above-described applicability, shapeability, sinterability and the like. The conductive resin paste thus obtained can be applied on a ceramic substrate such as alumina or a substrate of various ceramic green sheets. Examples of the coating method include a screen printing method, a bar coater method, a roll coater method, a slit die coater method, a doctor blade coater method, and a photosensitive resin paste method (photoresist forming method), which can be suitably used as appropriate. .

【0054】また、このようなペーストを塗布させる用
途例としては、例えば、アルミナ、窒化アルミナ等のセ
ラミック基板や、コージェライト、ムライト、ステアタ
イト、ガラス成分を主成分とした低温焼成用基板のセラ
ミックグリーンシート上に内層又は外層導電体として、
又は、タンタルコンデンサー、ペロブスカイト型複合酸
化物粒子の強誘電体層を用いた積層セラミックコンデン
サー、積層圧電セラミック素子、積層セラミック(L
C)フィルター等の外部電極として適宜塗布させて焼結
形成することができる。
Examples of applications for applying such a paste include ceramic substrates such as alumina and alumina nitride, and ceramics for low-temperature firing substrates containing cordierite, mullite, steatite and glass components as main components. As an inner layer or outer layer conductor on the green sheet,
Alternatively, a tantalum capacitor, a multilayer ceramic capacitor using a ferroelectric layer of perovskite-type composite oxide particles, a multilayer piezoelectric ceramic element, a multilayer ceramic (L
C) Appropriately applied as an external electrode of a filter or the like and formed by sintering.

【0055】また、上述したセラミック基板上又はセラ
ミックグリーンシート等の基材上に塗布される導電性ペ
ーストは、絶縁体層、誘電体層、絶縁体層−誘電体層等
上に積層形成されるか、又は絶縁体層−導電層−絶縁体
層、絶縁体層−誘電体層−導電体層−絶縁体層、絶縁体
層−誘電体層−導電体層−誘電体層等のように層間導電
材として形成されることになる。
The conductive paste applied on the above-mentioned base material such as a ceramic substrate or a ceramic green sheet is formed by lamination on an insulator layer, a dielectric layer, an insulator layer-dielectric layer, and the like. Or an interlayer such as an insulator layer-conductive layer-insulator layer, insulator layer-dielectric layer-conductor layer-insulator layer, insulator layer-dielectric layer-conductor layer-dielectric layer, etc. It will be formed as a conductive material.

【0056】また、本発明のように、ペースト状樹脂組
成物が、感光性樹脂組成物である場合には、これらの塗
布法に係わって、好ましくは、レジスト形成法(フォト
リソグラフィー)で、塗布・パターン露光させて、現像
−キュア−プレー焼成−焼結させて回路パターンとして
導電性焼結層を形成させることができる。
When the paste-like resin composition is a photosensitive resin composition as in the present invention, it is preferable that the paste-like resin composition is applied by a resist forming method (photolithography). -Conducting pattern exposure, development-cure-pre-baking-sintering to form a conductive sintered layer as a circuit pattern.

【0057】焼成用導電性樹脂ペーストの導電材として
は、金、銀、白金、パラジウム、銀−パラジウム合金、
ニッケル、アルミニウム、アルミニウム−Si、アルミ
ニウム−銅−Si、銅、銅−銀合金、チタニウム、チタ
ニウム−Si、タングステン、タングステン−Si、モ
リブデン、モリブデン−Si、ITO等が挙げられる。
また、必要に応じて、導電性粉体の基板に対する密着性
の向上又は通常、焼結させる600〜1100℃の温度
領域における、焼結性、焼結温度の低下、熱膨張率等の
改良・改善等から、必要に応じて、導電性樹脂ペースト
にガラスフリットを混ぜることができる。
As the conductive material of the conductive resin paste for firing, gold, silver, platinum, palladium, silver-palladium alloy,
Nickel, aluminum, aluminum-Si, aluminum-copper-Si, copper, copper-silver alloy, titanium, titanium-Si, tungsten, tungsten-Si, molybdenum, molybdenum-Si, ITO, and the like.
Further, if necessary, the adhesion of the conductive powder to the substrate is improved or the sinterability, the reduction of the sintering temperature, the improvement of the coefficient of thermal expansion, etc., in the temperature range of 600 to 1100 ° C. are usually performed. Glass frit can be mixed with the conductive resin paste as needed for improvement or the like.

【0058】このガラスフリットとしては、好ましく
は、アルカリ金属や、アルカリ土類金属を実質的に含ま
れない系であることから、例えば、酸化ビスマス、酸化
珪素、酸化ホウ素、酸化亜鉛、酸化ジルコニウム等を主
成分とする、ZnO−B−SiO系、PbO−
−SiO系、PbO−B−SiO
Al系、PbO−ZnO−B−SiO
等を挙げることができる。本発明においては、導電性粉
体100重量部に対して、ガラスフリット0.1〜10
重量部を含有させることができる。
Since the glass frit is preferably a system substantially free of alkali metals and alkaline earth metals, for example, bismuth oxide, silicon oxide, boron oxide, zinc oxide, zirconium oxide, etc. ZnO—B 2 O 3 —SiO 2 based, PbO—
B 2 O 3 -SiO 2 -based, PbO-B 2 O 3 -SiO 2 -
Al 2 O 3 system, mention may be made of PbO-ZnO-B 2 O 3 -SiO 2 system, and the like. In the present invention, the glass frit is 0.1 to 10 parts by weight based on 100 parts by weight of the conductive powder.
Parts by weight can be included.

【0059】また、必要に応じて、このような低融点ガ
ラスの誘電性粉体に係わって、アルミナ、窒化アルミニ
ウム、ムライト、コージエライト、結晶化ガラス等の低
誘電率の粉体や、チタン酸バリウム、チタン酸ストロン
チウム、チタン酸鉛、チタン酸ジルコン酸鉛、チタン酸
ネオジウム等の高誘電率粉体や、その他の窒化珪素、炭
化珪素のセラミックス粉体や、他の高融点ガラス等の単
独又は2種以上を組合わせてフィラーとして添加するこ
とができる。
If necessary, the low-melting glass dielectric powder may be used in combination with low-dielectric powders such as alumina, aluminum nitride, mullite, cordierite, crystallized glass, and barium titanate. , Strontium titanate, lead titanate, lead zirconate titanate, neodymium titanate, and other high dielectric constant powders, other silicon nitride, silicon carbide ceramic powders, other high melting point glass, etc. More than one species can be combined and added as a filler.

【0060】[0060]

【実施例】以下に、本発明を更に実施例によって説明す
るが、本発明はこれらにいささかも限定されるものでは
ない。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples, which should not be construed as limiting the invention thereto.

【0061】(参考例1)導電性樹脂ペーストのバイン
ダー樹脂組成物(ビヒクル)の構成成分である(A)
(メタ)アクリル系重合体の低重合体を調製する。撹拌
装置、窒素導入管、温度計及び還流冷却管を備えたフラ
スコに、2−エチルヘキシルメタクリレート100重量
部を仕込みフラスコ内に窒素ガスを導入しながらフラス
コ内の内容物を80℃に加熱した。次いで、十分に窒素
ガス置換したチオグリセロール7重量部を撹拌下のフラ
スコ内に添加した。その後、撹拌中のフラスコ内の内容
物の温度が80℃に維持できるように、冷却及び加温を
2時間行った。その後続けて、撹拌中のフラスコ内の内
容物の温度が95℃に維持できるように、冷却及び加温
を行いながら、更に重合反応を6時間行い、次いで、ア
ゾビスイソブチロニトリル0.16重量部を添加し、更
に2時間95℃にて重合を行った。
Reference Example 1 (A) which is a component of a binder resin composition (vehicle) of a conductive resin paste
A low polymer of (meth) acrylic polymer is prepared. A flask equipped with a stirrer, a nitrogen inlet tube, a thermometer and a reflux condenser was charged with 100 parts by weight of 2-ethylhexyl methacrylate, and the content in the flask was heated to 80 ° C. while introducing nitrogen gas into the flask. Next, 7 parts by weight of thioglycerol sufficiently purged with nitrogen gas was added to the flask with stirring. Thereafter, cooling and heating were performed for 2 hours so that the temperature of the contents in the flask during stirring could be maintained at 80 ° C. Thereafter, the polymerization reaction is further carried out for 6 hours while cooling and heating so that the temperature of the contents in the stirring flask can be maintained at 95 ° C., and then azobisisobutyronitrile 0.16 The polymerization was carried out at 95 ° C for 2 hours.

【0062】上記のようにして合計で8時間の反応後、
反応物の温度を室温に戻し、反応物にハイドロキノンを
0.05重量部添加して反応物(a−1)を得た。得ら
れた重合反応物(a−1)の単量体残存率をガスクロマ
トグラフィーを用いて測定した結果、その重合率が9
9.4%であった。また、そのゲルパーミエーションク
ロマトグラフィー(GPC)により測定した分子量は、
Mw=3800、Mn=1700であり、分散指数=
2.1であり、23℃における粘度が330(Pa・
s)である(メタ)アクリル系重合体の低重合体であっ
た。
After a total of 8 hours of reaction as described above,
The temperature of the reaction product was returned to room temperature, and 0.05 parts by weight of hydroquinone was added to the reaction product to obtain a reaction product (a-1). As a result of measuring the monomer residual ratio of the obtained polymerization reaction product (a-1) by gas chromatography, the polymerization ratio was 9
It was 9.4%. The molecular weight measured by gel permeation chromatography (GPC) is
Mw = 3800, Mn = 1700, and dispersion index =
2.1 and a viscosity at 23 ° C. of 330 (Pa ·
s) was a low polymer of the (meth) acrylic polymer.

【0063】(参考例2)参考例1において、モノマー
としてMMA(メチルメタクリレート)を使用し、添加
するチオグリセロールを24重量部とした以外は参考例
1と同様にして重合させて反応物(a−2)を得た。得
られた重合反応物(a−2)の単量体残存率をガスクロ
マトグラフィーを用いて測定した結果、重合率が98.
8%であった。また、そのGPCにより測定した分子量
は、Mw=1100、Mn=790であり、分散指数=
1.39であり、23℃における粘度が2.3(Pa・
s)であるメチルメタクリル系重合体の低重合体であっ
た。
(Reference Example 2) The reaction product (a) was polymerized in the same manner as in Reference Example 1 except that MMA (methyl methacrylate) was used as a monomer and the added thioglycerol was 24 parts by weight. -2) was obtained. As a result of measuring the residual monomer ratio of the obtained polymerization reaction product (a-2) by gas chromatography, the polymerization rate was 98.
8%. The molecular weight measured by GPC was Mw = 1100, Mn = 790, and the dispersion index =
1.39 and a viscosity at 23 ° C. of 2.3 (Pa ·
s) was a low polymer of methyl methacrylic polymer.

【0064】(参考例3)参考例1において、チオグリ
セロールの添加量を3.9重量部とした以外には、参考
例1と同様にして重合させて反応物(a−3)を得た。
得られた重合反応物(a−3)の単量体残存率をガスク
ロマトグラフィーを用いて測定した結果、重合率が9
9.8%であった。また、そのGPCにより測定した分
子量は、Mw=7400、Mn=4300であり、分散
指数=1.69であり、23℃における粘度は、990
(Pa・s)であるメチルメタクリル系重合体の低重合
体であった。
Reference Example 3 Polymerization was carried out in the same manner as in Reference Example 1 except that the addition amount of thioglycerol was changed to 3.9 parts by weight to obtain a reaction product (a-3). .
As a result of measuring the residual monomer ratio of the obtained polymerization reaction product (a-3) by gas chromatography, the polymerization ratio was 9
9.8%. The molecular weight measured by GPC was Mw = 7400, Mn = 4300, the dispersion index was 1.69, and the viscosity at 23 ° C. was 990.
(Pa · s) was a low polymer of methyl methacrylic polymer.

【0065】実施例1 200mlビーカーに、参考例1で得られた(メタ)ア
クリル系重合体の低重合体(a−1)の50重量部と、
重合性多官能モノマーであるエチレングリコールジメタ
クリレートの50重量部とを採り、十分均一になるま
で、攪拌混合を行い本発明に用いるアクリル系のバイン
ダー樹脂組成物(ビヒクル)の(b−1)を得た。得ら
れた、ビヒクル(b−1)の粘度は、23℃で0.08
(Pa・s)であった。
Example 1 In a 200 ml beaker, 50 parts by weight of the low polymer (a-1) of the (meth) acrylic polymer obtained in Reference Example 1 were added.
Take 50 parts by weight of ethylene glycol dimethacrylate, which is a polymerizable polyfunctional monomer, and stir and mix until sufficiently uniform to obtain (b-1) of the acrylic binder resin composition (vehicle) used in the present invention. Obtained. The viscosity of the obtained vehicle (b-1) was 0.08 at 23 ° C.
(Pa · s).

【0066】(熱重合性ペースト及びその硬化)次い
で、平均粒子径3.2μmの銅粉末50重量部に、上記
ビヒクル(b−1)10重量部と、ラジカル開始剤とし
て1,1,3,3−テトラメチルブチルパーオキシ−2
−エチルヘキサノール0.4重量部と、禁止剤としてハ
イドロキノン0.04重量部とをロールミルで十分に混
練させて、銅粉体のペースト状導電性樹脂組成物(c−
1)を調製した。得られたそのペースト(c−1)の粘
度は、6.8(Pa・s)であった。
(Thermopolymerizable paste and its curing) Then, 50 parts by weight of copper powder having an average particle diameter of 3.2 μm, 10 parts by weight of the above-mentioned vehicle (b-1), and 1,1,3,3 as a radical initiator 3-tetramethylbutylperoxy-2
-0.4 parts by weight of ethylhexanol and 0.04 parts by weight of hydroquinone as an inhibitor are sufficiently kneaded by a roll mill to obtain a paste-like conductive resin composition of copper powder (c-
1) was prepared. The viscosity of the obtained paste (c-1) was 6.8 (Pa · s).

【0067】次いで、上記ペースト(c−1)をアルミ
ナ基板上にバーコーターにて、膜厚50μmに成るよう
に塗布し、窒素雰囲気下で、120で5分間加熱重合硬
化を行った。得られた塗膜厚みは48μmと殆ど体積減
少もなく、表面のひび割れ等も見られなかった。しか
も、その加熱重合硬化に際して、塗布層は流れ崩れるこ
となく良好な形体賦形性を付与させることができた。
Next, the paste (c-1) was applied on an alumina substrate with a bar coater so as to have a thickness of 50 μm, and was heated and cured at 120 ° C. for 5 minutes in a nitrogen atmosphere. The thickness of the obtained coating film was 48 μm, and there was almost no volume reduction, and no cracks or the like were observed on the surface. In addition, during the heat polymerization curing, the coating layer was able to impart good shape-forming properties without collapse.

【0068】(UV重合性ペースト及びその硬化)平均
粒子径3.2μmの銅粉末50重量部に、上記ビヒクル
(b−1)10重量部と、(ガラス粉末として、酸化亜
鉛82重量%、酸化ホウ素8重量%、酸化珪素10重量
%の組成比のガラスフリット粉体8重量部に)、上記ビ
ヒクル(b−1)10重量部と、UVラジカル開始剤と
してイルガノックスI−369 0.3重量部と、禁止
剤としてハイドロキノン0.01重量部とを混練させ
て、銅粉体のペースト状導電性樹脂組成物(d−1)を
調製した。得られたそのペースト(d−1)の粘度は、
8.7(Pa・sec)であった。
(UV-Polymerizable Paste and Its Curing) 50 parts by weight of copper powder having an average particle size of 3.2 μm, 10 parts by weight of the above-mentioned vehicle (b-1), (82% by weight of zinc oxide as glass powder, 8 parts by weight of glass frit powder having a composition ratio of 8% by weight of boron and 10% by weight of silicon oxide), 10 parts by weight of the above-mentioned vehicle (b-1) and 0.3% by weight of Irganox I-369 as a UV radical initiator Parts and 0.01 part by weight of hydroquinone as an inhibitor were kneaded to prepare a copper powder paste-like conductive resin composition (d-1). The viscosity of the obtained paste (d-1) is
It was 8.7 (Pa · sec).

【0069】次いで、上記ペースト(d−1)をアルミ
ナ基板上にバーコーターにて、膜厚50μmになるよう
に塗布し、窒素雰囲気下で、光源として高圧水銀灯を用
い、照射強度214mW/cm、積算光量1930m
J/cmになるよう、塗膜表面から、UV露光を行っ
た。得られた塗膜厚みは49μmと殆ど体積減少もな
く、表面のひび割れ等も見られず、しかも、そのUV重
合硬化に際して、塗布層は流れ崩れることなく良好な形
体賦形性を付与させることができた。
Next, the paste (d-1) was applied on an alumina substrate by a bar coater so as to have a thickness of 50 μm, and under a nitrogen atmosphere, a high-pressure mercury lamp was used as a light source and an irradiation intensity of 214 mW / cm 2. , Integrated light amount 1930m
UV exposure was performed from the coating film surface so as to be J / cm 2 . The thickness of the obtained coating film is 49 μm, there is almost no volume decrease, no cracks on the surface, etc. are observed, and at the time of the UV polymerization curing, the coating layer is able to give good shape shapeability without flow collapse. did it.

【0070】(プレー焼成及び焼結)次いで、基板上に
ペーストc−1及びd−1を塗布・熱及びUV重合硬化
させた上記の試験体のc−1及びd−1を窒素雰囲気下
の常温から350℃まで20分間で昇温させ、350℃
で20分間、加熱処理を行った。その結果、各試験体の
塗布層中のビヒクルの有機樹脂分を完全に熱分解・揮散
除去させることができた。すなわち、加熱処理を通して
の目視観察では、塗布層上には、残渣や煤などが見られ
ず、また、その表面及びサンドペーパを掛けて削りとら
れた表面のそれぞれを、MEKを湿らせたガーゼで拭いた
が、ガーゼ上には汚れ成分が付着しなかった。
(Pre-firing and sintering) Then, the test pieces c-1 and d-1 obtained by applying pastes c-1 and d-1 on a substrate and heat- and UV-polymerized were cured under a nitrogen atmosphere. The temperature is raised from room temperature to 350 ° C in 20 minutes,
For 20 minutes. As a result, the organic resin component of the vehicle in the coating layer of each test sample could be completely thermally decomposed and volatilized and removed. That is, in the visual observation through the heat treatment, no residue or soot is seen on the coating layer, and each of the surface and the surface shaved by applying sandpaper is gauze moistened with MEK. After wiping, no stain components adhered on the gauze.

【0071】次いで、上記したプレー焼成で有機樹脂分
を除去した試験体のc−1及びd−1を、窒素雰囲気下
で、900℃で30分間保持させて塗布層の銅粉体を焼
結させた。その結果、目視的に焼結層に剥離、亀裂等の
異常がなく、良好な銅金属光沢を有していた。
Next, the specimens c-1 and d-1 from which the organic resin component was removed by the pre-baking were held at 900 ° C. for 30 minutes in a nitrogen atmosphere to sinter the copper powder of the coating layer. I let it. As a result, the sintered layer was visually free from abnormalities such as peeling and cracking, and had good copper metallic luster.

【0072】実施例2 200mlビーカーに、参考例2で得られたメチルメタ
アクリル系重合体の低重合体(a−2)の65重量部
と、エチレングリコールジメタクリレート35重量部と
を採り、十分均一になるまで攪拌混合させて本発明に用
いるアクリル系のバインダー樹脂組成物(ビヒクル)の
(b−2)を得た。得られた、ビヒクル(b−2)の粘
度は、23℃で0.037(Pa・s)であった。
Example 2 In a 200 ml beaker, 65 parts by weight of the low-polymer (a-2) of the methyl methacrylic polymer obtained in Reference Example 2 and 35 parts by weight of ethylene glycol dimethacrylate were taken, and sufficiently charged. The mixture was stirred and mixed until it became uniform to obtain (b-2) an acrylic binder resin composition (vehicle) used in the present invention. The viscosity of the obtained vehicle (b-2) was 0.037 (Pa · s) at 23 ° C.

【0073】(熱重合性ペースト及びその硬化)次い
で、平均粒子径3.2μmの銅粉末50重量部に、上記
ビヒクル(b−2)7重量部に、実施例1において、ラ
ジカル開始剤を0.2重量部とした以外は、実施例1と
同様にしてロールミルで十分に混練させて、銅粉体のペ
ースト状導電性樹脂組成物(c−2)を調製した。得ら
れたそのペースト(c−2)の粘度は、7.2(Pa・
s)であった。
(Thermopolymerizable paste and its curing) Then, 50 parts by weight of copper powder having an average particle diameter of 3.2 μm, 7 parts by weight of the above-mentioned vehicle (b-2), Except for using 0.2 parts by weight, the mixture was sufficiently kneaded with a roll mill in the same manner as in Example 1 to prepare a copper powder paste-like conductive resin composition (c-2). The viscosity of the obtained paste (c-2) is 7.2 (Pa ·
s).

【0074】次いで、上記ペースト(c−2)をアルミ
ナ基板上にバーコーターにて、膜厚50μmに成るよう
に塗布し、窒素雰囲気下で、120℃で5分間加熱重合
を行った。得られた塗膜厚みは48μmと殆ど体積減少
もなく、表面のひび割れ等も見られなく、しかも、その
熱重合硬化に際して、塗布層は流れ崩れることなく良好
な形体賦形性を付与させることができた。
Next, the paste (c-2) was applied on an alumina substrate with a bar coater so as to have a thickness of 50 μm, and was heated and polymerized at 120 ° C. for 5 minutes in a nitrogen atmosphere. The thickness of the obtained coating film is 48 μm, there is almost no volume reduction, no cracks on the surface, etc. are observed, and at the time of the thermal polymerization curing, the coating layer can give good shape shapeability without flow collapse. did it.

【0075】(UV重合性ペースト及びその硬化)平均
粒子径3.2μmの銅粉末50重量部に、上記ビヒクル
(b−2)7重量部に、実施例1と同様にしてUV重合
性の銅粉体のペースト状導電性樹脂組成物(d−2)を
調製した。得られたそのペースト(d−2)の粘度は、
7.2(Pa・s)であった。次いで、得られたUV硬
化性のペースト(d−2)を実施例1と同様にしてアル
ミナ基板上にバーコーターにて、膜厚50μmに成るよ
うに塗布し、窒素雰囲気下で、実施例1と同様の条件
で、UV露光を行い塗布ペースト層を重合硬化させた。
得られた塗膜厚みは48μmと殆ど体積減少もなく、表
面のひび割れ等も見られず、しかも、そのUV重合硬化
に際して、塗布層は流れ崩れることなく良好な形体賦形
性を付与させることができた。
(UV-Polymerizable Paste and Curing Thereof) To 50 parts by weight of copper powder having an average particle size of 3.2 μm, to 7 parts by weight of the above-mentioned vehicle (b-2), and to carry out UV-polymerizable copper A powdery paste-like conductive resin composition (d-2) was prepared. The viscosity of the obtained paste (d-2) is
7.2 (Pa · s). Then, the obtained UV-curable paste (d-2) was applied on an alumina substrate by a bar coater so as to have a thickness of 50 μm in the same manner as in Example 1. Under the same conditions as described above, UV exposure was performed to polymerize and cure the coating paste layer.
The thickness of the obtained coating film is 48 μm, there is almost no volume reduction, no cracks on the surface, etc. are observed, and at the time of the UV polymerization curing, the coating layer can give good shape shapeability without flow collapse. did it.

【0076】(プレー焼成及び焼結)次いで、アルミナ
基板上にペーストc−2及びd−2を塗布・熱及びUV
重合硬化させた上記試験体のc−2及びd−2を実施例
1と同様の条件でプレー焼成させて、各試験体の塗布層
中の有機ビヒクルを除去するための加熱処理(プレー焼
成)を行った。その結果、実施例1の試験体と同様に、
各試験体の塗布層中のビヒクルの有機樹脂分を完全に熱
分解・揮散除去させることができた。
(Pre-firing and sintering) Then, pastes c-2 and d-2 were applied on an alumina substrate, and heat and UV
Heat treatment for pre-baking the polymerized and cured c-2 and d-2 under the same conditions as in Example 1 to remove the organic vehicle in the coating layer of each test body (pre-baking) Was done. As a result, similar to the test piece of Example 1,
The organic resin component of the vehicle in the coating layer of each test piece could be completely thermally decomposed and volatilized and removed.

【0077】すなわち、実施例1の試験体と同様に、加
熱処理を通しての目視観察では、塗布層上には、残渣や
煤などが見られず、また、その表面及びサンドペーパを
掛けて削りとられた表面のそれぞれを、MEKを湿らせた
ガーゼで拭いたが、ガーゼ上には汚れ成分が付着しなか
った。また、上記したプレー焼成で有機樹脂分を除去し
た試験体のc−2及びd−2を実施例1の試験体と同様
に焼結させた。その結果、目視的に焼結層に剥離、亀裂
等の異常がなく、良好な銅金属光沢を有する焼結層が得
られた。
That is, similar to the test piece of Example 1, in the visual observation through the heat treatment, no residue or soot was found on the coating layer, and the coating layer was shaved off by applying the surface and sandpaper. Each of the washed surfaces was wiped with gauze moistened with MEK, but no stain components adhered to the gauze. Further, the test pieces c-2 and d-2 from which the organic resin component was removed by the above-described pre-baking were sintered in the same manner as the test piece of Example 1. As a result, a sintered layer having good copper metallic luster without visual abnormality in the sintered layer such as peeling or cracking was obtained.

【0078】実施例3 200mlビーカーに、参考例3で得られたメチルメタ
アクリル系重合体の低重合体(a−3)の70重量部
と、エチレングリコールジメタクリレート30重量部と
を採り、十分均一になるまで攪拌混合させて本発明に用
いるアクリル系のバインダー樹脂組成物(ビヒクル)の
(b−3)を得た。得られた、ビヒクル(b−3)の粘
度は、23℃で7.8(Pa・s)であった。
Example 3 In a 200 ml beaker, 70 parts by weight of the low-polymer (a-3) of the methyl methacrylic polymer obtained in Reference Example 3 and 30 parts by weight of ethylene glycol dimethacrylate were taken, and then sufficiently charged. The mixture was stirred and mixed until it became uniform to obtain (b-3) an acrylic binder resin composition (vehicle) used in the present invention. The viscosity of the obtained vehicle (b-3) was 7.8 (Pa · s) at 23 ° C.

【0079】(熱重合性ペースト及びその硬化)このビ
ヒクル(b−3)15重量部に、実施例1において、ラ
ジカル開始剤を0.45重量部とした以外は、実施例1
と同様にして銅粉体のペースト状導電性樹脂組成物(c
−3)を調製した。得られたそのペースト(c−3)の
粘度は、7.2(Pa・s)であった。
(Thermopolymerizable Paste and Its Curing) Example 1 was repeated except that the radical initiator was changed to 0.45 part by weight in Example 1 to 15 parts by weight of the vehicle (b-3).
In the same manner as in the above, a copper powder paste-like conductive resin composition (c
-3) was prepared. The viscosity of the obtained paste (c-3) was 7.2 (Pa · s).

【0080】次いで、上記ペースト(c−3)をアルミ
ナ基板上にバーコーターにて、膜厚50μmに成るよう
に塗布し、窒素雰囲気下で、120℃で5分間加熱重合
を行った。得られた塗膜厚みは49μmと殆ど体積減少
もなく、表面のひび割れ等も見られなく、しかも、その
熱重合硬化に際して、塗布層は流れ崩れることなく良好
な形体賦形性を付与させることができた。
Next, the paste (c-3) was applied on an alumina substrate with a bar coater so as to have a thickness of 50 μm, and was heated and polymerized at 120 ° C. for 5 minutes in a nitrogen atmosphere. The thickness of the obtained coating film is 49 μm, there is almost no volume reduction, no cracks on the surface, etc. are observed, and during the thermal polymerization curing, the coating layer is able to give good shape shapeability without collapse. did it.

【0081】(UV重合性ペースト及びその硬化)この
ビヒクル(b−3)15重量部に、実施例1において、
ラジカル開始剤を0.45重量部とした以外は、実施例
1と同様にして銅粉体のペースト状導電性樹脂組成物
(c−3)を調製した。得られたそのペースト(c−
3)の粘度は、7.5(Pa・s)であった。次いで、
得られたUV硬化性のペースト(d−3)を実施例1と
同様にしてアルミナ基板上にバーコーターにて、膜厚5
0μmに成るように塗布し、窒素雰囲気下で、実施例1
と同様の条件で、UV露光を行い塗布ペースト層を重合
硬化させた。得られた塗膜厚みは49μmと殆ど体積減
少もなく、表面のひび割れ等も見られず、しかも、その
UV重合硬化に際して、塗布層は流れ崩れることなく良
好な形体賦形性を付与させることができた。
(UV Polymerizable Paste and Curing Thereof) In Example 1, 15 parts by weight of this vehicle (b-3)
A paste-form conductive resin composition of copper powder (c-3) was prepared in the same manner as in Example 1 except that the radical initiator was changed to 0.45 parts by weight. The obtained paste (c-
The viscosity of 3) was 7.5 (Pa · s). Then
The obtained UV-curable paste (d-3) was coated on an alumina substrate in the same manner as in Example 1 with a bar coater to a thickness of 5
Example 1 was applied to a thickness of 0 μm under a nitrogen atmosphere.
Under the same conditions as described above, UV exposure was performed to polymerize and cure the coating paste layer. The thickness of the obtained coating film is 49 μm, there is almost no volume decrease, no cracks on the surface, etc. are observed, and at the time of the UV polymerization curing, the coating layer is able to give good shape shapeability without flow collapse. did it.

【0082】(プレー焼成及び焼結)次いで、ガラス基
板上にペーストc−3及びd−3を塗布・熱及びUV重
合硬化させた上記試験体のc−3及びd−3を実施例1
と同様の条件でプレー焼成させて、各試験体の塗布層中
の有機ビヒクルを除去するための加熱処理(プレー焼
成)を行った。その結果、実施例1の試験体と同様に、
各試験体の塗布層中のビヒクルの有機樹脂分を完全に熱
分解・揮散除去させることができ、同様に、加熱処理を
通しての目視観察や、塗布素中のMEKを湿らせたガーゼ
での拭いで、残査、コーキング質が確認されなかった。
また、上記したプレー焼成で有機樹脂分を除去した試験
体のc−3及びd−3を実施例1の試験体と同様に焼結
させた。その結果、目視的に焼結層に剥離、亀裂等の異
常がなく、良好な銅金属光沢を有する焼結層が得られ
た。
(Pre-firing and sintering) Next, pastes c-3 and d-3 were applied on a glass substrate, heat- and UV-polymerized and cured to obtain the test specimens c-3 and d-3 in Example 1.
Pre-baking was carried out under the same conditions as described above, and a heat treatment (pre-baking) for removing the organic vehicle in the coating layer of each specimen was performed. As a result, similar to the test piece of Example 1,
The organic resin component of the vehicle in the coating layer of each specimen can be completely thermally decomposed and volatilized and removed. Similarly, visual observation through heat treatment and wiping of MEK in the coating element with gauze moistened No residue and no coking quality were confirmed.
Further, the test pieces c-3 and d-3 from which the organic resin component had been removed by the above-mentioned pre-baking were sintered in the same manner as the test piece of Example 1. As a result, a sintered layer having good copper metallic luster without visual abnormality in the sintered layer such as peeling or cracking was obtained.

【0083】実施例4 実施例1で得られたビヒクル(b−1)10重量部に、
平均粒径2μmのガラスフリット7重量部と、平均粒子
径3.2μmの銅粉末45重量部とした以外は実施例1
のペースト(d−1)と同様にして、ZnO−B
−SiO系、のガラスフリット入りのUV重合性の銅
粉体のペースト状導電性樹脂組成物を調製し、アルミナ
基板上にバーコーターにて、膜厚30μmに成るように
塗布し、窒素雰囲気下で、実施例1と同様の条件で、U
V露光を行い塗布ペースト層を重合硬化(キュア)させ
た。次いで、キュアさせたこの塗布ペースト上に、実施
例1で同様に調製したUV重合性の銅粉体のペースト状
導電性樹脂組成物(d−2)を、バーコーターにて、膜
厚50μmに成るように塗布し、窒素雰囲気下で、実施
例1と同様の条件で、UV露光を行い塗布ペースト層を
重合硬化させて、導電性ペーストの積層体を形成させ
た。
Example 4 To 10 parts by weight of the vehicle (b-1) obtained in Example 1,
Example 1 except that 7 parts by weight of glass frit having an average particle size of 2 μm and 45 parts by weight of copper powder having an average particle size of 3.2 μm were used.
Paste (d-1) and in the same manner, ZnO-B 2 O 3
A paste-like conductive resin composition of a UV-polymerizable copper powder containing a glass frit of an SiO 2 system is prepared, applied to an alumina substrate with a bar coater so as to have a thickness of 30 μm, and then exposed to a nitrogen atmosphere. Under the same conditions as in Example 1, U
V exposure was performed, and the applied paste layer was polymerized and cured (cured). Next, on the cured coating paste, the paste-form conductive resin composition (d-2) of the UV-polymerizable copper powder prepared in the same manner as in Example 1 was coated with a bar coater to a film thickness of 50 μm. Then, under a nitrogen atmosphere, under the same conditions as in Example 1, UV exposure was performed to polymerize and cure the applied paste layer, thereby forming a conductive paste laminate.

【0084】(積層体のプレー焼成及び焼結)次いで、
この基板上の積層体を窒素雰囲気下の常温から350℃
まで30分間で昇温させ、350℃で30分間、加熱処
理を行った。その結果、目視的に積層塗布層に剥離、亀
裂等を発生させることなく積層塗布層中のビヒクルの有
機樹脂分を完全に熱分解・揮散除去させることができ
た。次いで、窒素雰囲気下の870℃で40分間保持さ
せて焼結したとこら目視的に焼結層に剥離、亀裂等の異
常がなく、良好な金属銅光沢を有していた。
(Play firing and sintering of laminate)
The laminate on this substrate is heated from normal temperature under nitrogen atmosphere to 350 ° C.
And heated at 350 ° C. for 30 minutes. As a result, the organic resin component of the vehicle in the laminated coating layer could be completely thermally decomposed and volatilized and removed without visually causing peeling, cracking, etc. in the laminated coating layer. Next, the sintered layer was held at 870 ° C. for 40 minutes in a nitrogen atmosphere and sintered. The sintered layer had no abnormalities such as peeling and cracking, and had good metallic copper luster.

【0085】比較例1 比較例1においては、実施例2において用いたMw11
00のメチルメタクリル系重合体の低重合体(a−2)
に代えて、Mw500未満のものを用いてビヒクルを調
製した。その結果、ビヒクルはしゃぶしゃぶ状で、塗布
性が著しく低下し、しかも、溶剤性、塗布後のキュアを
最適にさせるため、重合性多官能モノマーをビヒクル成
分として組合わせることができず、その結果、ペースト
の賦形性を著しく低下させた。
Comparative Example 1 In Comparative Example 1, Mw 11 used in Example 2 was used.
Low methyl methacrylic polymer (a-2)
A vehicle was prepared using one having a Mw of less than 500 instead of. As a result, the vehicle is shabu-shabu, the applicability is remarkably reduced, and furthermore, in order to optimize solvent properties and cure after application, it is not possible to combine a polymerizable polyfunctional monomer as a vehicle component. The shapeability of the paste was significantly reduced.

【0086】比較例2 比較例2においては、実施例3において用いたMw74
00のメチルメタクリル系重合体の低重合体(a−3)
に代えて、Mw10000を超えるMw11000のも
のを用いてビヒクルを調製した。その結果、塗布後のペ
ースト層をキュアさせて、塗布ペースト層に形体賦形性
を発揮させる多官能モノマーを組合わせ配合量も増加さ
せることになり、ビヒクルコストを経済的に不利にさせ
るだけでなく、塗布性、粉体の充填量を低下させること
になり、そのために溶剤を添加さた溶剤型ビヒクルとな
る。
Comparative Example 2 In Comparative Example 2, Mw 74 used in Example 3 was used.
Low methyl methacrylic polymer (a-3)
The vehicle was prepared using Mw 11,000 exceeding Mw 10000 instead of As a result, the paste layer after application is cured, and the combination amount of the polyfunctional monomer that exerts shape-forming properties on the application paste layer is increased, so that only the vehicle cost is disadvantageously economically reduced. In addition, the coatability and the amount of powder to be filled are reduced, and therefore, a solvent-type vehicle to which a solvent is added is obtained.

【0087】[0087]

【発明の効果】以上から、本発明によれば、導電性樹脂
ペーストにおいて、そのバインダー樹脂組成物(ビヒク
ル)が、Mwが500〜10000程度の低重合体の
(メタ)アクリル系重合体と、熱硬化又はUV硬化性の
低分子量の重合性多官能モノマーとを含有する流動粘性
体として形成されている。これによって、このビヒクル
は、無溶剤であるが、溶剤性を兼ね備えた塗布性に優
れ、また、塗布後の塗布層を重合硬化されて、導電性無
機粉体に賦形性を賦与させ、しかも、低温度で容易に熱
分解除去されることから、塗布層は、気泡孔や、亀裂
や、撓みや、収縮等の発生が防止されて、良好な焼結性
を発揮させる導電性樹脂ペーストを提供することができ
る。
As described above, according to the present invention, in the conductive resin paste, the binder resin composition (vehicle) is a low polymer (meth) acrylic polymer having a Mw of about 500 to 10,000, It is formed as a fluid viscous material containing a thermosetting or UV curable low molecular weight polymerizable polyfunctional monomer. Thereby, although this vehicle is solventless, it is excellent in coatability having both solvent properties, and the coating layer after coating is polymerized and cured to impart shapeability to the conductive inorganic powder, and Since the coating layer is easily thermally decomposed and removed at a low temperature, the coating layer is formed of a conductive resin paste that exhibits good sinterability by preventing the occurrence of bubble pores, cracks, bending, and shrinkage. Can be provided.

【0088】また、従来法の溶剤型のビヒクルに比較し
て、ペースト中の導電性無機粉体の充填量を高められる
ことから、塗布層のプレー焼成及び焼結時の熱収縮等を
低減させることができ、寸法安定性に優れた導電性焼結
体を形成することができる。
Further, since the filling amount of the conductive inorganic powder in the paste can be increased as compared with the conventional solvent-type vehicle, the heat shrinkage during the pre-firing and sintering of the coating layer can be reduced. Thus, a conductive sintered body having excellent dimensional stability can be formed.

【0089】また、従来法ペーストとは異なり、有機ビ
ヒクルを除去させるプレー焼成を不活性雰囲気下で行え
ることから、特に、銅等の耐酸化性の低い導電性金属及
び/又はその合金粉体の導電性、燒結性及び基板との密
着性等を低下させない。
Further, unlike the conventional paste, the pre-baking for removing the organic vehicle can be performed in an inert atmosphere, and therefore, in particular, a conductive metal such as copper and the like and / or an alloy powder thereof having low oxidation resistance is used. It does not decrease conductivity, sintering property and adhesion to the substrate.

【0090】しかも、無溶剤型であることから、ペース
ト調製時、その塗布・プレー焼成時における揮発、分解
飛散する有機揮発成分を低下させられることから、作業
環境及び地球環境保全の立場から、環境汚染を低減でき
る導電性樹脂ペーストを提供できる。
Moreover, since it is a solventless type, it is possible to reduce the organic volatile components which are volatilized and decomposed and scattered during paste preparation, coating and pre-firing, and therefore, from the standpoint of working environment and global environmental protection, A conductive resin paste capable of reducing contamination can be provided.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 4J011 PA03 PA05 PA69 PB27 PC02 QA13 QA17 QA23 QA24 QB19 QB20 SA06 SA15 SA22 SA25 SA27 SA28 SA34 SA45 SA54 SA61 SA63 SA64 SA65 SA83 SA84 UA01 VA01 WA01 4J026 AA45 AA48 AC09 AC33 AC34 BA28 BA29 BA30 BB01 DB36 FA05 GA07 GA08  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page F term (reference) 4J011 PA03 PA05 PA69 PB27 PC02 QA13 QA17 QA23 QA24 QB19 QB20 SA06 SA15 SA22 SA25 SA27 SA28 SA34 SA45 SA54 SA61 SA63 SA64 SA65 SA83 SA84 UA01 VA01 WA01 4J026 AA45 AC29 AC33 AC29 BA30 BB01 DB36 FA05 GA07 GA08

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】導電性焼結体を形成させるに用いる導電性
無機粉体を含有するペースト状樹脂組成物において、 (A)重量平均分子量Mwが500〜10000で、ガ
ラス転移温度(Tg)が−80〜50℃の(メタ)アク
リル系重合体と (B)分子量が100〜5000で、重合性不飽和基が
2〜6個を有する重合性多官能モノマーと、 (C)平均粒子径が0.1〜20μmである少なくとも
1種の導電性金属及び/又はその合金粉体と、を含有す
る塗布性、賦形性及び焼結性に優れることを特徴とする
ペースト状導電性樹脂組成物。
1. A paste-like resin composition containing a conductive inorganic powder used for forming a conductive sintered body, comprising: (A) a weight average molecular weight Mw of 500 to 10,000 and a glass transition temperature (Tg) of (M) acrylic polymer at −80 to 50 ° C .; (B) a polymerizable polyfunctional monomer having a molecular weight of 100 to 5,000 and having 2 to 6 polymerizable unsaturated groups; and (C) an average particle diameter. A paste-like conductive resin composition containing at least one kind of conductive metal having a diameter of 0.1 to 20 μm and / or an alloy powder thereof and having excellent coatability, shapeability and sinterability. .
【請求項2】前記ペースト状樹脂組成物が、前記(A)
100重量部に対して、前記(B)10〜900重量部
と、前記(C)100〜9000重量部を含有し、且つ
前記(A)と前記(B)とを含む樹脂組成物の粘度(2
3℃)が、0.01〜10Pa・sであることを特徴と
する請求項1に記載のペースト状導電性樹脂組成物。
2. The paste-like resin composition according to claim 2, wherein
The viscosity of the resin composition containing 10 to 900 parts by weight of (B) and 100 to 9000 parts by weight of (C), and containing (A) and (B), relative to 100 parts by weight. 2
(3 ° C.) is 0.01 to 10 Pa · s. The paste-like conductive resin composition according to claim 1, wherein
【請求項3】前記導電性無機粉体が、金、銀、白金、パ
ラジウム、アルミニウム、銅、ニッケル、タングステ
ン、モリブデン、チタニウムの群から選ばれた少なくと
も1種の金属粉体及び/又はその少なくとも2種元素か
らなる合金粉体であることを特徴とする請求項1又は2
に記載のペースト状導電性樹脂組成物。
3. The method according to claim 1, wherein the conductive inorganic powder is at least one metal powder selected from the group consisting of gold, silver, platinum, palladium, aluminum, copper, nickel, tungsten, molybdenum and titanium, and / or at least one of the metal powders. 3. An alloy powder comprising two elements.
3. The paste-like conductive resin composition according to item 1.
【請求項4】前記導電性無機粉体が、請求項3に記載す
る導電性無機粉体の何れかと、ガラスフリットとの組合
わせであることを特徴とする請求項1又は2に記載のペ
ースト状導電性樹脂組成物。
4. The paste according to claim 1, wherein the conductive inorganic powder is a combination of any one of the conductive inorganic powders described in claim 3 and a glass frit. Conductive resin composition.
【請求項5】前記ガラスフリットが、Bi−BO
−SiO系、BO−SiO−Al−Li
O系、PbO−BO−SiO系、PbO−ZnO
−BO−SiO系の群から選ばれた少なくとも1種
のガラス粉体であることを特徴とする請求項4に記載の
ペースト状導電性樹脂組成物。
5. The glass frit is made of Bi 2 O 3 —BO.
2 -SiO 2 system, BO 2 -SiO 2 -Al 2 O 3 -Li
2 O system, PbO-BO 2 -SiO 2 system, PbO-ZnO
-BO 2 -SiO 2 based paste-like conductive resin composition according to claim 4, characterized in that at least one glass powder selected from the group of.
【請求項6】導電性無機粉体を含有するペースト状樹脂
組成物を用いて導電性焼結体を形成させる方法におい
て、 (A)重量平均分子量Mwが500〜10000で、ガ
ラス転移温度(Tg)が−80〜50℃の範囲にある
(メタ)アクリル系重合体と、(B)分子量が100〜
5000で、重合性不飽和基が2〜6個を有する光重合
性多官能モノマーと、UV系重合開始剤とを含有する粘
度(23℃)が、0.01〜10Pa・sであるビヒク
ル樹脂組成物を調製し、 前記樹脂組成物に、(C)平均粒子径が0.1〜20μ
mの範囲にある導電性金属及び/又はその合金粉体とを
含有させてペースト状樹脂組成物とし、 次いで、塗布後の前記ペースト状樹脂組成物に、UV照
射下にて、UV重合硬化させ、 次いで、不活性雰囲気下で、温度250〜550℃の熱
履歴下に塗布されたペースト層中のビヒクル樹脂組成物
を揮発・熱分解させて飛散除去させ、更なる昇温下に焼
結させることを特徴とする導電性焼結体の形成方法。
6. A method for forming a conductive sintered body using a paste-like resin composition containing a conductive inorganic powder, comprising: (A) a weight average molecular weight Mw of 500 to 10,000 and a glass transition temperature (Tg) ) Is in the range of -80 to 50 ° C, and (B) the molecular weight is 100 to
A vehicle resin having a viscosity (23 ° C.) of 0.01 to 10 Pa · s containing a photopolymerizable polyfunctional monomer having 2 to 6 polymerizable unsaturated groups and a UV polymerization initiator; A composition is prepared, and (C) an average particle diameter of 0.1 to 20 μm is added to the resin composition.
m to form a paste-like resin composition containing a conductive metal and / or an alloy powder thereof. Then, the paste-like resin composition after application is cured by UV polymerization under UV irradiation. Then, under an inert atmosphere, the vehicle resin composition in the paste layer applied under a thermal history of a temperature of 250 to 550 ° C. is volatilized and thermally decomposed to be scattered and removed, and then sintered at a further elevated temperature. A method for forming a conductive sintered body, comprising:
【請求項7】導電性無機粉体を含有するペースト状樹脂
組成物を用いて導電性焼結体を形成させる方法におい
て、 熱重合系の重合開始剤を添加した(A)重量平均分子量
Mwが500〜10000で、ガラス転移温度(Tg)
が−80〜50℃の範囲にある(メタ)アクリル系重合
体に、 (B)分子量が100〜5000で、重合性不飽和基が
2〜6個を有する重合性多官能モノマーと、(C)平均
粒子径が0.1〜20μmの範囲にある導電性金属及び
/又はその合金粉体とを含有させてペースト状樹脂組成
物とし、 次いで、塗布後の前記ペースト状樹脂組成物を、温度8
0〜180℃の加熱下に熱重合硬化させ、 次いで、不活性雰囲気下で、温度250〜550℃の熱
履歴下に前記塗布ペースト層中のビヒクル樹脂組成物を
揮発・熱分解させて飛散除去させ、更なる昇温下に焼結
させることを特徴とする導電性焼結体の形成方法。
7. A method for forming a conductive sintered body using a paste-like resin composition containing a conductive inorganic powder, wherein a (A) weight-average molecular weight Mw to which a thermal polymerization-type polymerization initiator is added is added. 500 to 10,000, glass transition temperature (Tg)
(B) a polymerizable polyfunctional monomer having a molecular weight of 100 to 5000 and having 2 to 6 polymerizable unsaturated groups; A) a conductive resin having an average particle size in the range of 0.1 to 20 μm and / or an alloy powder thereof to obtain a paste-like resin composition; 8
Thermal polymerization and curing under heating at 0 to 180 ° C, and then, under an inert atmosphere, under thermal history at a temperature of 250 to 550 ° C, volatilization and thermal decomposition of the vehicle resin composition in the coating paste layer to thereby remove and scatter. And sintering at a further elevated temperature.
【請求項8】前記ペースト状樹脂組成物が、前記(A)
100重量部に対して、前記(B)10〜900重量部
で、前記(C)100〜9000重量部であることを特
徴とする請求項11又は12に記載の導電性焼結体の形
成方法。
8. The method according to claim 1, wherein the paste-like resin composition comprises (A)
The method for forming a conductive sintered body according to claim 11 or 12, wherein the amount of (B) is 10 to 900 parts by weight and the amount of (C) is 100 to 9000 parts by weight with respect to 100 parts by weight. .
JP2000291344A 2000-09-26 2000-09-26 Paste-like conductive resin composition and method for forming sintered body thereof Expired - Fee Related JP3785480B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000291344A JP3785480B2 (en) 2000-09-26 2000-09-26 Paste-like conductive resin composition and method for forming sintered body thereof

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2000291344A JP3785480B2 (en) 2000-09-26 2000-09-26 Paste-like conductive resin composition and method for forming sintered body thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2002097215A true JP2002097215A (en) 2002-04-02
JP3785480B2 JP3785480B2 (en) 2006-06-14

Family

ID=18774427

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2000291344A Expired - Fee Related JP3785480B2 (en) 2000-09-26 2000-09-26 Paste-like conductive resin composition and method for forming sintered body thereof

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3785480B2 (en)

Cited By (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006299008A (en) * 2005-04-18 2006-11-02 Jsr Corp Inorganic particle-containing composition, transfer film, and method for manufacturing plasma display panel
KR100927465B1 (en) 2002-12-24 2009-11-19 재단법인 포항산업과학연구원 Sludge Electrodewatering Filter Fabric Manufacturing Method
JP2010520934A (en) * 2007-03-09 2010-06-17 ドウジン セミケム カンパニー リミテッド Black conductive paste composition, interfering electromagnetic wave shielding filter including the same, and display device
WO2010071363A2 (en) * 2008-12-17 2010-06-24 에스에스씨피 주식회사 Electrode for a solar cell, manufacturing method thereof, and solar cell
JP4933674B1 (en) * 2011-08-20 2012-05-16 仁 新井 Copper paste for electrodes.
KR101200196B1 (en) 2010-11-18 2012-11-13 금호석유화학 주식회사 Conductive paste compositions
WO2019230455A1 (en) * 2018-05-31 2019-12-05 横浜ゴム株式会社 Conductive paste and solar cell
CN112912971A (en) * 2018-10-19 2021-06-04 藤仓化成株式会社 Conductive paste
WO2024018991A1 (en) * 2022-07-20 2024-01-25 綜研化学株式会社 Lactic acid-vinyl copolymer, binder composition, and paste for use in sintering

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101015223B1 (en) * 2008-06-10 2011-02-18 에스에스씨피 주식회사 Non-solvent type conductive paste composition and preparation of electrode using the same

Cited By (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100927465B1 (en) 2002-12-24 2009-11-19 재단법인 포항산업과학연구원 Sludge Electrodewatering Filter Fabric Manufacturing Method
JP2006299008A (en) * 2005-04-18 2006-11-02 Jsr Corp Inorganic particle-containing composition, transfer film, and method for manufacturing plasma display panel
JP2010520934A (en) * 2007-03-09 2010-06-17 ドウジン セミケム カンパニー リミテッド Black conductive paste composition, interfering electromagnetic wave shielding filter including the same, and display device
WO2010071363A2 (en) * 2008-12-17 2010-06-24 에스에스씨피 주식회사 Electrode for a solar cell, manufacturing method thereof, and solar cell
WO2010071363A3 (en) * 2008-12-17 2010-08-05 에스에스씨피 주식회사 Electrode for a solar cell, manufacturing method thereof, and solar cell
KR101200196B1 (en) 2010-11-18 2012-11-13 금호석유화학 주식회사 Conductive paste compositions
JP4933674B1 (en) * 2011-08-20 2012-05-16 仁 新井 Copper paste for electrodes.
WO2019230455A1 (en) * 2018-05-31 2019-12-05 横浜ゴム株式会社 Conductive paste and solar cell
JP2019212394A (en) * 2018-05-31 2019-12-12 横浜ゴム株式会社 Conductive paste and solar cell
CN112204676A (en) * 2018-05-31 2021-01-08 横滨橡胶株式会社 Conductive paste and solar cell
JP7267687B2 (en) 2018-05-31 2023-05-02 東洋アルミニウム株式会社 Conductive paste and solar cell
CN112912971A (en) * 2018-10-19 2021-06-04 藤仓化成株式会社 Conductive paste
US11421116B2 (en) 2018-10-19 2022-08-23 Fujikura Kasei Co., Ltd. Electroconductive paste
CN112912971B (en) * 2018-10-19 2023-09-26 藤仓化成株式会社 conductive paste
WO2024018991A1 (en) * 2022-07-20 2024-01-25 綜研化学株式会社 Lactic acid-vinyl copolymer, binder composition, and paste for use in sintering

Also Published As

Publication number Publication date
JP3785480B2 (en) 2006-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101216920B1 (en) Binder resin composition paste and green sheet
FR2828628A1 (en) Photosensitive conductive paste useful for forming electronics conductors comprises a surface-oxidized metal powder, an acid-functional organic binder, a photosensitive organic compound and a microgel-forming material
KR101118632B1 (en) Composition for fabricating the electrode comprising flake type aluminium and electrode made by the same
KR101738490B1 (en) Photosensitive paste with low temperature hardening and method for forming electrode using the same
JP5828851B2 (en) Photosensitive paste
JP3785480B2 (en) Paste-like conductive resin composition and method for forming sintered body thereof
JP2006210044A (en) Photosensitive dielectric paste and manufacturing method of electronic circuit component using it
TW201940974A (en) Photosensitive composition, composite, electronic component, and method for manufacturing electronic component in which the photosensitive composition is capable of shortening development time and reducing occurrence of residue between lines
JP6742877B2 (en) Conductive paste
JP4886224B2 (en) Binder resin composition, paste and green sheet
JP4298069B2 (en) Conductive paste for circuit drawing and circuit printing method
TW200417531A (en) Terminal electrode compositions for multilayer ceramic capacitors
JP6637087B2 (en) Photosensitive composition and its use
JP2013058403A (en) Conductive paste and conductive particle dispersion paste for solar battery
JP2004228093A (en) Terminal electrode composition for multi-layer ceramic capacitor
JP3932327B2 (en) Paste inorganic powder resin composition and method for forming sintered body thereof
JP6646643B2 (en) Photosensitive composition and its use
JP2005015273A (en) Acrylic resin binder for sintering, various kinds of functional sintered compact obtained using the same and method of manufacturing plasma display panel
JP5858136B2 (en) Photosensitive paste
JP5108437B2 (en) Non-lead glass fine particle dispersion paste composition
WO2005052691A1 (en) Method for forming thick film pattern, method for manufacturing electronic component, and photosensitive paste for photolithography
JP2002270036A (en) Solventless photo-curing conductor paste and manufacturing method for ceramic electronic component
JP2000222940A (en) Photosensitive dielectric paste
WO2008050757A1 (en) Slurry composition for ceramic green sheet and method for producing the same, and multilayer ceramic electronic component and method for manufacturing the same
JP2010235689A (en) Binder resin for inorganic fine particle dispersion, inorganic fine particle dispersion paste composition, and inorganic fine particle dispersion sheet

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20050801

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20050816

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051014

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20051115

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20051227

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20060131

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20060228

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090331

Year of fee payment: 3

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100331

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100331

Year of fee payment: 4

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110331

Year of fee payment: 5

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120331

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120331

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130331

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130331

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140331

Year of fee payment: 8

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees