JP2002090565A - 光導波路 - Google Patents
光導波路Info
- Publication number
- JP2002090565A JP2002090565A JP2000282991A JP2000282991A JP2002090565A JP 2002090565 A JP2002090565 A JP 2002090565A JP 2000282991 A JP2000282991 A JP 2000282991A JP 2000282991 A JP2000282991 A JP 2000282991A JP 2002090565 A JP2002090565 A JP 2002090565A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- groove
- optical waveguide
- filling
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【課題】 毛細管現象を利用して光の進行方向に長い光
導波路のコアを形成する場合に、充填にかかる時間を短
くするとともに確実な形成を実現する。 【解決手段】 毛細管現象を利用してクラッド１０に形
成したコアを形成するための領域である溝１０１にコア
材を充填する場合に、コア領域にコア材を注入するため
の開口部１１１〜１１３を複数設けることで充填にかか
る時間を短くできることから、確実なコアを形成するこ
とが可能となる。
導波路のコアを形成する場合に、充填にかかる時間を短
くするとともに確実な形成を実現する。 【解決手段】 毛細管現象を利用してクラッド１０に形
成したコアを形成するための領域である溝１０１にコア
材を充填する場合に、コア領域にコア材を注入するため
の開口部１１１〜１１３を複数設けることで充填にかか
る時間を短くできることから、確実なコアを形成するこ
とが可能となる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、特に毛細管現象
を利用してコア領域に液体状のコア材を充填し、これを
硬化してコアを形成するときのコア材の充填に適した光
導波路に関する。
を利用してコア領域に液体状のコア材を充填し、これを
硬化してコアを形成するときのコア材の充填に適した光
導波路に関する。
【０００２】
【従来の技術】毛細管現象を利用し光導波路のコアを作
成する従来例として、特開平8-160239号「高分子光導波
路の製造方法」がある。この公報では、コア領域に相当
する溝のパターンが形成された基板と平板基板を密着さ
せ、その隙間に液体状のコア材を毛細管現象を利用して
充填する。この充填後にコア材を硬化させ光導波路を作
成する。充填方法としては、溝の一方の開口部を封止
し、基板を真空におき、封止していない開口部をコア材
溶液に浸し、徐々に気圧を真空から大気圧に上げてい
く、あるいはコア材溶液に浸していない開口部を真空引
きしながらコア材を充填する方法が提案されている。
成する従来例として、特開平8-160239号「高分子光導波
路の製造方法」がある。この公報では、コア領域に相当
する溝のパターンが形成された基板と平板基板を密着さ
せ、その隙間に液体状のコア材を毛細管現象を利用して
充填する。この充填後にコア材を硬化させ光導波路を作
成する。充填方法としては、溝の一方の開口部を封止
し、基板を真空におき、封止していない開口部をコア材
溶液に浸し、徐々に気圧を真空から大気圧に上げてい
く、あるいはコア材溶液に浸していない開口部を真空引
きしながらコア材を充填する方法が提案されている。
【０００３】しかしながら、上記方法では光導波路のコ
アが光の進行方向で著しく長い場合、つまりコアが毛細
管現象の進行方向で著しく長い場合、充填時間が長くな
るあるいは充填が途中で止ま.り所望のコアを形成でき
ないという問題があった。
アが光の進行方向で著しく長い場合、つまりコアが毛細
管現象の進行方向で著しく長い場合、充填時間が長くな
るあるいは充填が途中で止ま.り所望のコアを形成でき
ないという問題があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】上記した従来の光の進
行方向に著しく長い光導波路のコアを形成するには、充
填時間が長くなり、場合によっては充填が途中で止まっ
てしまう恐れがあった。
行方向に著しく長い光導波路のコアを形成するには、充
填時間が長くなり、場合によっては充填が途中で止まっ
てしまう恐れがあった。
【０００５】この発明は、光の進行方向に長い光導波路
のコアを、毛細管現象を利用して形成する場合の充填時
間を短くして確実な光導波路を得ることにある。
のコアを、毛細管現象を利用して形成する場合の充填時
間を短くして確実な光導波路を得ることにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めにこの発明の光導波路では、光の進行方向に長いコア
を形成するための直線状の第１の溝および該溝に連通す
るとともに所定の角度を有する第２の溝を形成し、前記
コアより屈折率の小さい材料で形成した第１のクラッド
と、前記第１のクラッド上に固着するとともに、前記第
１および第２の溝の合流点より離れたこれら溝のそれぞ
れ対向した位置に第1および第2の開口部を形成した第２
のクラッドとを備え、前記第1および第2の開口部より前
記コアを形成するための液状の樹脂材を注入して該樹脂
材を前記第１および第２の溝に充填させ、前記樹脂材が
硬化した後の前記第１の溝内に前記コアを形成してなる
ことを特徴とする上記した手段により、毛細管現象を利
用してクラッドに形成したコアを形成するための溝にコ
ア材を充填する場合に、コア領域にコア材を注入するた
めの開口部を複数設けたことで充填にかかる時間を短く
できることから、確実なコアの形成が実現可能となる。
めにこの発明の光導波路では、光の進行方向に長いコア
を形成するための直線状の第１の溝および該溝に連通す
るとともに所定の角度を有する第２の溝を形成し、前記
コアより屈折率の小さい材料で形成した第１のクラッド
と、前記第１のクラッド上に固着するとともに、前記第
１および第２の溝の合流点より離れたこれら溝のそれぞ
れ対向した位置に第1および第2の開口部を形成した第２
のクラッドとを備え、前記第1および第2の開口部より前
記コアを形成するための液状の樹脂材を注入して該樹脂
材を前記第１および第２の溝に充填させ、前記樹脂材が
硬化した後の前記第１の溝内に前記コアを形成してなる
ことを特徴とする上記した手段により、毛細管現象を利
用してクラッドに形成したコアを形成するための溝にコ
ア材を充填する場合に、コア領域にコア材を注入するた
めの開口部を複数設けたことで充填にかかる時間を短く
できることから、確実なコアの形成が実現可能となる。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態につ
いて、図面を参照しながら詳細に説明する。
いて、図面を参照しながら詳細に説明する。
【０００８】図１は、この発明の第１の実施の形態につ
いて説明するために展開して示した正面図である。すな
わち、図１（Ａ）は下面クラッド、（Ｂ）は上面クラッ
ドであり、これらを一体的に重ね合わせることによって
クラッドを構成する。
いて説明するために展開して示した正面図である。すな
わち、図１（Ａ）は下面クラッド、（Ｂ）は上面クラッ
ドであり、これらを一体的に重ね合わせることによって
クラッドを構成する。
【０００９】下面クラッド１０には、直線状の溝１０１
とこの溝１０１より連続し、所定の角度で枝分かれした
溝１０２，１０３を形成する。溝１０２，１０３のそれ
ぞれの先端１０４，１０５は、例えば溝１０１と平行の
位置関係に形成する。
とこの溝１０１より連続し、所定の角度で枝分かれした
溝１０２，１０３を形成する。溝１０２，１０３のそれ
ぞれの先端１０４，１０５は、例えば溝１０１と平行の
位置関係に形成する。
【００１０】上面クラッド１１には、開口部１１１〜１
１３をそれぞれ形成する。下面クラッド１０と上面クラ
ッド１１を重ね合わせたときに、開口部１１１は溝１０
１の一端部１０６に、開口部１１２は先端１０４に，開
口部１１３は先端１０５にそれぞれ対向する位置に形成
する。
１３をそれぞれ形成する。下面クラッド１０と上面クラ
ッド１１を重ね合わせたときに、開口部１１１は溝１０
１の一端部１０６に、開口部１１２は先端１０４に，開
口部１１３は先端１０５にそれぞれ対向する位置に形成
する。
【００１１】図２（Ａ）は、下面クラッド１０と上面の
クラッド１１を密着して重ね合わせた状態を示し、図２
（Ｂ）は、図２（Ａ）のａ−ａ’〜ｆ −ｆ ’の断面図
をそれぞれ示す。
クラッド１１を密着して重ね合わせた状態を示し、図２
（Ｂ）は、図２（Ａ）のａ−ａ’〜ｆ −ｆ ’の断面図
をそれぞれ示す。
【００１２】これにより、溝１０１〜１０３は、上面ク
ラッド１１とにより隙間となり、こが光導波路のコアを
形成するためのコア材の充填領域となる。この例では直
線の溝１０１は光を伝播するコア部にあたり、図中矢印
方向に向かって光を伝播する。開口部１１１〜１１３は
コア材を充填するための注入口として使用する。このた
め溝１０２，１０３は光の伝播に影響しないよう溝１０
２，１０３にそれぞれ鋭角で接していることが望まし
い。
ラッド１１とにより隙間となり、こが光導波路のコアを
形成するためのコア材の充填領域となる。この例では直
線の溝１０１は光を伝播するコア部にあたり、図中矢印
方向に向かって光を伝播する。開口部１１１〜１１３は
コア材を充填するための注入口として使用する。このた
め溝１０２，１０３は光の伝播に影響しないよう溝１０
２，１０３にそれぞれ鋭角で接していることが望まし
い。
【００１３】次に、図３を用い溝１０１，１０２にコア
材を充填しコアを形成する方法について図３を用いて説
明する。
材を充填しコアを形成する方法について図３を用いて説
明する。
【００１４】下面クラッド１０と上面クラッド１１を真
空中で密着させた後、液体状のコア材３１を開口部１１
１〜１１３にそれぞれ滴下する。液体状のコア材３１と
しては紫外線や熱によって硬化するプラスチック系、シ
リコーン系の樹脂があり、硬化後の透過率が高く、光の
屈折率がクラッドより高い材料を用いる。
空中で密着させた後、液体状のコア材３１を開口部１１
１〜１１３にそれぞれ滴下する。液体状のコア材３１と
しては紫外線や熱によって硬化するプラスチック系、シ
リコーン系の樹脂があり、硬化後の透過率が高く、光の
屈折率がクラッドより高い材料を用いる。
【００１５】滴下された後に、気圧を真空から大気圧に
変化することで毛細管現象を促進し、開口部１１１に滴
下されたコア材３１は矢印ａ１方向に溝１０１を進行す
る。開口部１１２に滴下されたコア材３１は、溝１０２
を矢印ｂ１方向に進行して溝１０１まで達し、さらに溝
１０１を矢印ｂ２、ｂ３方向にそれぞれ進行し、矢印ｂ
２方向に進行したコア材３１は、開口部１１１に滴下さ
れたコア材と合流する。開口部１１３に滴下されたコア
材は溝１０３を矢印ｃ１方向に進行して溝１０１まで達
し、さらに溝１０１を矢印ｃ２、ｃ３方向にそれぞれ進
行し、矢印ｃ２方向に進行したコア材３１は、開口部１
１２に滴下されたコア材と合流する。
変化することで毛細管現象を促進し、開口部１１１に滴
下されたコア材３１は矢印ａ１方向に溝１０１を進行す
る。開口部１１２に滴下されたコア材３１は、溝１０２
を矢印ｂ１方向に進行して溝１０１まで達し、さらに溝
１０１を矢印ｂ２、ｂ３方向にそれぞれ進行し、矢印ｂ
２方向に進行したコア材３１は、開口部１１１に滴下さ
れたコア材と合流する。開口部１１３に滴下されたコア
材は溝１０３を矢印ｃ１方向に進行して溝１０１まで達
し、さらに溝１０１を矢印ｃ２、ｃ３方向にそれぞれ進
行し、矢印ｃ２方向に進行したコア材３１は、開口部１
１２に滴下されたコア材と合流する。
【００１６】次に、コア材３１が充填された後、これを
硬化させ断面ｃ−ｃ’とｆ−ｆ’で切断し、この切断面
を研磨して光導波路を完成する。なお、この光導波路で
は断面ｃ−ｃ’のコア３０１が光の入射口、断面ｆ−
ｆ’のコア３０１が出射口となる。
硬化させ断面ｃ−ｃ’とｆ−ｆ’で切断し、この切断面
を研磨して光導波路を完成する。なお、この光導波路で
は断面ｃ−ｃ’のコア３０１が光の入射口、断面ｆ−
ｆ’のコア３０１が出射口となる。
【００１７】この実施の形態では、コア３０１を形成す
るための溝の途中にも液体状の注ぎ口を設けることで、
溝の末端までの距離を短くでき、コア材３１の充填時間
の短縮化を図ることができる。
るための溝の途中にも液体状の注ぎ口を設けることで、
溝の末端までの距離を短くでき、コア材３１の充填時間
の短縮化を図ることができる。
【００１８】図４は、この発明の第２の実施の形態につ
いて説明するための説明図であり、第１の実施の形態と
同一の構成部分には同一の符号を付して、ここでの説明
は省略する。
いて説明するための説明図であり、第１の実施の形態と
同一の構成部分には同一の符号を付して、ここでの説明
は省略する。
【００１９】この実施の形態は、下面クラッド１０の溝
１０１と連通するとともに、下面クラッド１０の側端面
４０１まで形成した溝４０２，４０３を形成した部分の
構成が図１と異なる。この溝４０２，４０３は、コア材
３１を充填する際の空気の逃げ口あるいは真空引きする
際の口として利用する。また、溝１０１も下面クラッド
１０の側端面４０４まで形成する。
１０１と連通するとともに、下面クラッド１０の側端面
４０１まで形成した溝４０２，４０３を形成した部分の
構成が図１と異なる。この溝４０２，４０３は、コア材
３１を充填する際の空気の逃げ口あるいは真空引きする
際の口として利用する。また、溝１０１も下面クラッド
１０の側端面４０４まで形成する。
【００２０】図４におけるコア材３１を充填について図
５を用いて説明する。大気圧中で下面クラッド１０と上
面クラッド１１を密着させた後、開口部１１１〜１１３
に液体状のコア材３１を滴下する。この場合、溝４０
２，４０３、１０１がそれぞれ側端面まで形成されてい
ることから、大気圧中でも毛細管現象によってコア材３
１が図５の各矢印に沿って充填される。
５を用いて説明する。大気圧中で下面クラッド１０と上
面クラッド１１を密着させた後、開口部１１１〜１１３
に液体状のコア材３１を滴下する。この場合、溝４０
２，４０３、１０１がそれぞれ側端面まで形成されてい
ることから、大気圧中でも毛細管現象によってコア材３
１が図５の各矢印に沿って充填される。
【００２１】コア材３１が充填された後、コア材３１を
硬化させ断面ａ−ａ’とｂ−ｂ’で切断し、その断面を
研磨し光導波路を完成する。この光導波路では断面ａ−
ａ’のコア３０１が光の入射口、断面ｂ−ｂ’のコア３
０１が出射口となる。
硬化させ断面ａ−ａ’とｂ−ｂ’で切断し、その断面を
研磨し光導波路を完成する。この光導波路では断面ａ−
ａ’のコア３０１が光の入射口、断面ｂ−ｂ’のコア３
０１が出射口となる。
【００２２】また、溝４０２と溝１０１との交点および
溝４０３と溝１０１との交点は、コア材３１の充填時の
進行の合流点と一致するように設定する。例えば、図６
（Ａ）の場合のように、交点がコア材充填時の進行の合
流点から外れてしまうと充填されない部分６１が残って
しまう。合流点の正確な位置が設定できない場合には、
図６（Ｂ）の６２あるいは（Ｃ）の６３に示すように、
交点付近での幅が広い形状とすることで、充填の進行速
度を遅くし合流点と一致させる。
溝４０３と溝１０１との交点は、コア材３１の充填時の
進行の合流点と一致するように設定する。例えば、図６
（Ａ）の場合のように、交点がコア材充填時の進行の合
流点から外れてしまうと充填されない部分６１が残って
しまう。合流点の正確な位置が設定できない場合には、
図６（Ｂ）の６２あるいは（Ｃ）の６３に示すように、
交点付近での幅が広い形状とすることで、充填の進行速
度を遅くし合流点と一致させる。
【００２３】この実施の形態では、側端面まで形成され
ている溝４０２，４０３、１０１から真空引きを行うと
より一層の充填時間の短縮化を図ることができる。
ている溝４０２，４０３、１０１から真空引きを行うと
より一層の充填時間の短縮化を図ることができる。
【００２４】図７は、この発明の第３の実施の形態につ
いて説明するための説明図である。この実施の形態は、
光導波路のコア３０１内に光ファイバ７０１を挿入した
点にある。
いて説明するための説明図である。この実施の形態は、
光導波路のコア３０１内に光ファイバ７０１を挿入した
点にある。
【００２５】ここで、光ファイバ７０１の屈折率を光導
波路のコア３０１の屈折率より高くすることで、コア３
０１の光を光ファイバ７０１に結合させる。光ファイバ
７０１の取り出し口は、コア材の充填に使用するときの
空気の逃げ口と兼用すれば良い。
波路のコア３０１の屈折率より高くすることで、コア３
０１の光を光ファイバ７０１に結合させる。光ファイバ
７０１の取り出し口は、コア材の充填に使用するときの
空気の逃げ口と兼用すれば良い。
【００２６】図７の光導波路の作成方法としては、下面
クラッド１０に光ファイバ７０１を挿入した後、下面ク
ラッド１０と上面クラッド１１を密着させ、コア材３１
１を滴下、充填、硬化の工程後、断面ａ−ａ’の位置で
切断し、その切断面を研磨し光導波路を完成する。ａ−
ａ‘の断面のコア３０１は光の入射口となり光ファイバ
７０１の端面７０２が出射口となる。
クラッド１０に光ファイバ７０１を挿入した後、下面ク
ラッド１０と上面クラッド１１を密着させ、コア材３１
１を滴下、充填、硬化の工程後、断面ａ−ａ’の位置で
切断し、その切断面を研磨し光導波路を完成する。ａ−
ａ‘の断面のコア３０１は光の入射口となり光ファイバ
７０１の端面７０２が出射口となる。
【００２７】また、光ファイバ７０１に希土類イオン等
のレーザ活性物質を添加し、光ファイバ７０１の両端に
ファイバ・グレーティング等の反射要素を配置し共振器
構造にすることにより、光導波路に励起光を入射するこ
とでファイバレーザを構成することもできる。
のレーザ活性物質を添加し、光ファイバ７０１の両端に
ファイバ・グレーティング等の反射要素を配置し共振器
構造にすることにより、光導波路に励起光を入射するこ
とでファイバレーザを構成することもできる。
【００２８】また、光ファイバ７０１の挿入について図
８（Ｂ）に示すように、下面クラッド１０に光ファイバ
７０１を嵌め込んだ後、図８（Ｃ）に示すように下面ク
ラッド１０と上面クラッド１１を密着させるが、下面ク
ラッド１０をシリコーン樹脂のような柔軟性の材料で形
成する場合には、溝の上部の径を光ファイバ７０１の径
以下となる形状にすることで、光ファイバ７０１を溝に
いったん嵌め込んだ後は、光ファイバ７０１が溝から外
れるのを防止することができる。
８（Ｂ）に示すように、下面クラッド１０に光ファイバ
７０１を嵌め込んだ後、図８（Ｃ）に示すように下面ク
ラッド１０と上面クラッド１１を密着させるが、下面ク
ラッド１０をシリコーン樹脂のような柔軟性の材料で形
成する場合には、溝の上部の径を光ファイバ７０１の径
以下となる形状にすることで、光ファイバ７０１を溝に
いったん嵌め込んだ後は、光ファイバ７０１が溝から外
れるのを防止することができる。
【００２９】この実施の形態では、コア内に光ファイバ
を挿入した場合、開口部の一部を光ファイバの挿入口、
取り出し口と兼用することも可能となる。
を挿入した場合、開口部の一部を光ファイバの挿入口、
取り出し口と兼用することも可能となる。
【００３０】図９、図１０はこの発明の第４の実施の形
態について説明するための説明図である。図９（Ａ）は
光導波路の下面クラッド１０を、（Ｂ）は上面クラッド
１１を示し、図１０は光ファイバ１００１をリング状に
して挿入した状態を示す。第３の実施の形態との違い
は、光導波路のコアを光の進行方向でリング状にした点
にある。
態について説明するための説明図である。図９（Ａ）は
光導波路の下面クラッド１０を、（Ｂ）は上面クラッド
１１を示し、図１０は光ファイバ１００１をリング状に
して挿入した状態を示す。第３の実施の形態との違い
は、光導波路のコアを光の進行方向でリング状にした点
にある。
【００３１】図１０の光ファイバ１００１を、ファイバ
レーザの構成としこれをリング状にすることで、光導波
路に入射した励起光は光ファイバ１００１に吸収される
までリング内を循環する。
レーザの構成としこれをリング状にすることで、光導波
路に入射した励起光は光ファイバ１００１に吸収される
までリング内を循環する。
【００３２】また、図１０の断面ａ−ａ’とｂ−ｂ’の
2箇所を切断すれば、波長の異なる２種類の励起光を光
導波路に入射することが可能となる。
2箇所を切断すれば、波長の異なる２種類の励起光を光
導波路に入射することが可能となる。
【００３３】
【発明の効果】以上説明したように、この発明の光導波
路では、光の進行方向に著しく長いコアをもつ光導波路
の作成する場合に、コアとなる領域にコア材を注入する
ための複数の開口部を設けたことで充填に要する時間を
短くできることから確実なコアの形成を実現することが
できる。
路では、光の進行方向に著しく長いコアをもつ光導波路
の作成する場合に、コアとなる領域にコア材を注入する
ための複数の開口部を設けたことで充填に要する時間を
短くできることから確実なコアの形成を実現することが
できる。
【図１】この発明の第１の実施の形態について説明する
ための説明図。
ための説明図。
【図２】図１の（Ａ），（Ｂ）を密着した状態について
説明するための正面図。
説明するための正面図。
【図３】図２のコア材充填について説明するための説明
図
図
【図４】この発明の第２の実施の形態について説明する
ための説明図。
ための説明図。
【図５】図４のコア材の充填について説明するための説
明図。
明図。
【図６】図５のコア材充填領域の形状について説明する
ための説明図。
ための説明図。
【図７】この発明の第３の実施の形態について説明する
ための説明図。
ための説明図。
【図８】図７の実施の形態の光ファイバの挿入に適した
コア形状について説明するため説明図。
コア形状について説明するため説明図。
【図９】この発明の第４の実施の形態について説明する
ための説明図。
ための説明図。
【図１０】この発明の第４の実施の形態について説明す
るための説明図。
るための説明図。
１０…下面クラッド、１０１〜１０３，４０２，４０３
…溝、１１…上面クラッド、１１１〜１１３…開口部、
７０１，１００１…光ファイバ。
…溝、１１…上面クラッド、１１１〜１１３…開口部、
７０１，１００１…光ファイバ。
Claims (7)
- 【請求項１】 光の進行方向に長いコアを形成するため
の直線状の第１の溝および該溝に連通するとともに所定
の角度を有する第２の溝を形成し、前記コアより屈折率
の小さい材料で形成した第１のクラッドと、 前記第１のクラッド上に固着するとともに、前記第１お
よび第２の溝の合流点より離れたこれら溝のそれぞれ対
向した位置に第1および第2の開口部を形成した第２のク
ラッドとを備え、 前記第1および第2の開口部より前記コアを形成するため
の液状の樹脂材を注入して該樹脂材を前記第１および第
２の溝に充填させ、前記樹脂材が硬化した後の前記第１
の溝内に前記コアを形成してなることを特徴とする光導
波路。 - 【請求項２】 前記樹脂材を真空引きして前記第１およ
び第２の溝に充填するための第3の溝を前記第１のクラ
ッドに形成してなる特徴とする請求項１に記載の光導波
路。 - 【請求項３】 前記第１の溝内に光ファイバの全部また
は一部が埋め込まれていることを特徴とする請求項１ま
たは２記載の光導波路。 - 【請求項４】 第1の溝に直行する方向に前記コアを切
断面は、前記コアに対する光の入射口をまたは出射口と
したことを特徴とする請求項１または２に記載の光導波
路。 - 【請求項５】 第1の溝に直行する方向に前記コアを切
断面に、前記光ファイバの挿入口または取り出し口とし
たことを特徴する請求項１または２に記載の光導波路。 - 【請求項６】 前記第1および第2のクラッドは、柔軟性
の材料で、前記コアの断面形状が多角形であるととも
に、その一辺は光ファイバの径以下であることを特徴と
する請求項３記載または４に記載の光導波路。 - 【請求項７】 前記コアは光の進行方向でリング状にな
っていることを特徴とする請求項１〜６のいずかれに記
載の光導波路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000282991A JP2002090565A (ja) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | 光導波路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000282991A JP2002090565A (ja) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | 光導波路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002090565A true JP2002090565A (ja) | 2002-03-27 |
Family
ID=18767412
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000282991A Pending JP2002090565A (ja) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | 光導波路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002090565A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004184480A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Fuji Xerox Co Ltd | 高分子光導波路の製造方法 |
| JP2005043747A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 高分子光導波路の製造方法 |
| US7029607B2 (en) | 2002-09-20 | 2006-04-18 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Process for producing polymer optical waveguide |
| JP2006326704A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | National Institute For Materials Science | 微細構造パターニング方法 |
| JP2006330423A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Sony Corp | 光導波装置及びその製造方法、並びに光情報処理装置 |
| US7294292B2 (en) | 2002-10-24 | 2007-11-13 | Fuji Xerox Co. Ltd. | Process for producing polymer optical waveguide and resin injecting device |
| US7569168B2 (en) | 2004-01-23 | 2009-08-04 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Method of producing polymer optical waveguide |
| US7582234B2 (en) | 2003-06-04 | 2009-09-01 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Producing method of polymer optical waveguide |
| US7604758B2 (en) | 2003-12-19 | 2009-10-20 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Process for producing polymer optical waveguide |
-
2000
- 2000-09-19 JP JP2000282991A patent/JP2002090565A/ja active Pending
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7029607B2 (en) | 2002-09-20 | 2006-04-18 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Process for producing polymer optical waveguide |
| US7294292B2 (en) | 2002-10-24 | 2007-11-13 | Fuji Xerox Co. Ltd. | Process for producing polymer optical waveguide and resin injecting device |
| JP4534415B2 (ja) * | 2002-11-29 | 2010-09-01 | 富士ゼロックス株式会社 | 高分子光導波路の製造方法 |
| JP2004184480A (ja) * | 2002-11-29 | 2004-07-02 | Fuji Xerox Co Ltd | 高分子光導波路の製造方法 |
| US7582234B2 (en) | 2003-06-04 | 2009-09-01 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Producing method of polymer optical waveguide |
| JP2005043747A (ja) * | 2003-07-24 | 2005-02-17 | Fuji Xerox Co Ltd | 高分子光導波路の製造方法 |
| JP4561059B2 (ja) * | 2003-07-24 | 2010-10-13 | 富士ゼロックス株式会社 | 高分子光導波路の製造方法 |
| US7604758B2 (en) | 2003-12-19 | 2009-10-20 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Process for producing polymer optical waveguide |
| US7569168B2 (en) | 2004-01-23 | 2009-08-04 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Method of producing polymer optical waveguide |
| JP2006326704A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | National Institute For Materials Science | 微細構造パターニング方法 |
| JP4595119B2 (ja) * | 2005-05-23 | 2010-12-08 | 独立行政法人物質・材料研究機構 | 微細構造パターニング方法 |
| JP4525467B2 (ja) * | 2005-05-27 | 2010-08-18 | ソニー株式会社 | 光導波装置及びその製造方法、並びに光情報処理装置 |
| JP2006330423A (ja) * | 2005-05-27 | 2006-12-07 | Sony Corp | 光導波装置及びその製造方法、並びに光情報処理装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101401223B1 (ko) | 광 반도체 장치 및 광 도파로 장치 | |
| US10591694B2 (en) | Photonic chip having a monolithically integrated reflector unit and method of manufacturing a reflector unit | |
| US7242822B2 (en) | Optical connection board and optical signal transmission | |
| US20160291253A1 (en) | Optical device, optical processing device, method for fabricating optical device | |
| US5287424A (en) | Optical fiber coupler with overlapping core-extensions, and manufacturing methods of the same | |
| JP2002090565A (ja) | 光導波路 | |
| CN109690374B (zh) | 在基底边缘处具有波导和波导折射率匹配材料的光耦合器 | |
| US20030077060A1 (en) | Planar lightwave circuit optical waveguide having a circular cross section | |
| US5982970A (en) | Planar optical waveguide having a core with a coating having a hollow space in the coating and a method for forming the waveguide | |
| JP2007183467A (ja) | ミラー付光導波路及びその製造方法 | |
| US7593610B2 (en) | Multi-mode optical coherence device and fabrication method thereof | |
| US6560385B2 (en) | Fiber optic prism coupler, coupling arrangement and fabrication method | |
| JP2002267860A (ja) | 光導波路およびその製造方法 | |
| US7289702B2 (en) | Optical waveguide apparatus | |
| JPH09295355A (ja) | 微小光学素子の端面レンズおよび微小光学素子の端面レンズ形成方法 | |
| JP2001281482A (ja) | 光導波路およびその製造方法 | |
| JP2000019337A (ja) | 光導波路及びその製造方法 | |
| JPH08152538A (ja) | 光導波路の結合構造 | |
| JP2005017761A (ja) | 光導波路および光導波路の製造方法 | |
| US20200142135A1 (en) | Optical module, optical waveguide, and method of manufacturing optical waveguide | |
| JP4474940B2 (ja) | 光導波路モジュール | |
| JP3672421B2 (ja) | 光導波路結合器の形成方法 | |
| JP2002267859A (ja) | 光導波路およびその製造方法 | |
| JP2008083128A (ja) | 光導波路及び光導波路の製造方法 | |
| JPH04204510A (ja) | 導波路型光部品 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20050414 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20050606 |