JP2002090561A - 光合分波器 - Google Patents
光合分波器Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 透過波長特性の改善を実現するために要求さ
れる製造トレランスを高める構造を備えた光合分波器を
提供する。 【解決手段】 入力導波路(110)と第１スラブ導波路(12
0)との間には、透過波長特性を改善するための自由伝搬
領域(160)が設けられている。この自由伝搬領域(160)
は、入力導波路(110)から第１スラブ導波路(120)に向か
って幅が増加している第１部分(161)と、入力導波路(11
0)よりも大きい幅を有する第２部分(162)を備え、入力
導波路(110)から第１スラブ導波路(120)へ向かう光の電
界強度分布は第１部分(161)によって一旦拡げられる
が、逆に第２部分(162)によりその拡がりが制限され
る。これにより、該電界強度分布の変化は導波路幅の変
化に影響されにくくなり、結果的に微細加工の要求精度
が緩和される。
れる製造トレランスを高める構造を備えた光合分波器を
提供する。 【解決手段】 入力導波路(110)と第１スラブ導波路(12
0)との間には、透過波長特性を改善するための自由伝搬
領域(160)が設けられている。この自由伝搬領域(160)
は、入力導波路(110)から第１スラブ導波路(120)に向か
って幅が増加している第１部分(161)と、入力導波路(11
0)よりも大きい幅を有する第２部分(162)を備え、入力
導波路(110)から第１スラブ導波路(120)へ向かう光の電
界強度分布は第１部分(161)によって一旦拡げられる
が、逆に第２部分(162)によりその拡がりが制限され
る。これにより、該電界強度分布の変化は導波路幅の変
化に影響されにくくなり、結果的に微細加工の要求精度
が緩和される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、波長分割多重
（ＷＤＭ：Wavelength Division Multiplexing）伝送シ
ステムに波長選択素子として適用可能なアレイ導波路回
折格子（ＡＷＧ：Arrayed Waveguide Grating）型の光
合分波器に関するものである。
（ＷＤＭ：Wavelength Division Multiplexing）伝送シ
ステムに波長選択素子として適用可能なアレイ導波路回
折格子（ＡＷＧ：Arrayed Waveguide Grating）型の光
合分波器に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ＡＷＧ型の光合分波器（以下、ＡＷＧ回
路という）は、干渉による特定波長の取り出しあるいは
挿入を可能にする波長フィルタとしてＷＤＭ伝送システ
ムにおける波長選択素子に広く利用されている。また、
ＡＷＧ回路は、回折格子ほどの精密な機械加工や、干渉
膜ほどの精密な多層膜形成が不要で、リソグラフィやエ
ッチングなどの一般的な微細加工プロセスで実現できる
ことから、他の光導波路素子との集積の可能性とも併せ
て今後のＷＤＭ伝送システムの中心的な光学部品として
その発展が期待されている。
路という）は、干渉による特定波長の取り出しあるいは
挿入を可能にする波長フィルタとしてＷＤＭ伝送システ
ムにおける波長選択素子に広く利用されている。また、
ＡＷＧ回路は、回折格子ほどの精密な機械加工や、干渉
膜ほどの精密な多層膜形成が不要で、リソグラフィやエ
ッチングなどの一般的な微細加工プロセスで実現できる
ことから、他の光導波路素子との集積の可能性とも併せ
て今後のＷＤＭ伝送システムの中心的な光学部品として
その発展が期待されている。
【０００３】このようなＡＷＧ回路は、単一基板上に、
入力導波路、入力用スラブ導波路、それぞれ長さの異な
るチャネル導波路（フェーズドアレイ）、出力用スラブ
導波路、出力導波路が一体的に作り込まれた構造を備え
る。
入力導波路、入力用スラブ導波路、それぞれ長さの異な
るチャネル導波路（フェーズドアレイ）、出力用スラブ
導波路、出力導波路が一体的に作り込まれた構造を備え
る。
【０００４】また、従来のＡＷＧ回路に対しては種々の
改良が提案されており、例えば信号チャネル間の損失バ
ラツキを低減するため（透過帯域の平坦化）、M.R.Amer
sfoort, et al.,"Passband broadening of integrated
arrayed waveguide filtersusing multimode interfere
nce couplers", ELECTRONICS LETTERS 29th Feb., 199
6, Vol. 32, No. 5には、入力導波路と入力側スラブ導
波路との接続部分に図１２（ａ）に示されたような形状
のマルチモード干渉型カプラ（MMI coupler: MultiMode
Interference coupler、以下ＭＭＩカプラという）が
設けられたＡＷＧ回路（第１従来例）が開示されてい
る。特開平９−２９７２２８号には、入力導波路と入力
側スラブ導波路との接続部分に図１３（ａ）に示された
ようなパラボリック形状導波路が設けられたＡＷＧ回路
（第２従来例）が開示されている。さらに、日本国特許
第３０３９４９１号には、入力導波路と入力側スラブ導
波路との接続部分にテーパー形状導波路とパラボリック
形状導波路とを組み合わせた構造の導波路が設けられた
ＡＷＧ回路（第３従来例）が開示されている。
改良が提案されており、例えば信号チャネル間の損失バ
ラツキを低減するため（透過帯域の平坦化）、M.R.Amer
sfoort, et al.,"Passband broadening of integrated
arrayed waveguide filtersusing multimode interfere
nce couplers", ELECTRONICS LETTERS 29th Feb., 199
6, Vol. 32, No. 5には、入力導波路と入力側スラブ導
波路との接続部分に図１２（ａ）に示されたような形状
のマルチモード干渉型カプラ（MMI coupler: MultiMode
Interference coupler、以下ＭＭＩカプラという）が
設けられたＡＷＧ回路（第１従来例）が開示されてい
る。特開平９−２９７２２８号には、入力導波路と入力
側スラブ導波路との接続部分に図１３（ａ）に示された
ようなパラボリック形状導波路が設けられたＡＷＧ回路
（第２従来例）が開示されている。さらに、日本国特許
第３０３９４９１号には、入力導波路と入力側スラブ導
波路との接続部分にテーパー形状導波路とパラボリック
形状導波路とを組み合わせた構造の導波路が設けられた
ＡＷＧ回路（第３従来例）が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上述のような構造を備
えた従来のＡＷＧ回路（第１〜第３従来例）について検
討した結果、発明者は以下のような課題を発見した。す
なわち、第１従来例に係るＡＷＧ回路は、入力導波路と
入力用スラブ導波路との接続部分に図１２（ａ）に示さ
れたような矩形形状のＭＭＩカプラが設けられている。
この第１従来例に係るＡＷＧ回路において、入力導波路
を伝搬してきた光の電界強度分布は、図１２（ｂ）に示
されたように、上記ＭＭＩカプラが精密に加工された場
合であっても該ＭＭＩカプラ中を伝搬している間に著し
く乱れてしまう。この電界強度分布の乱れは、主にＭＭ
Ｉカプラ内での多重反射に起因しているが、製造される
ＡＷＧ回路それぞれで安定した光学特性を得るために
は、該ＭＭＩカプラの幅や長さなどの加工にはより厳し
い精度が要求される。
えた従来のＡＷＧ回路（第１〜第３従来例）について検
討した結果、発明者は以下のような課題を発見した。す
なわち、第１従来例に係るＡＷＧ回路は、入力導波路と
入力用スラブ導波路との接続部分に図１２（ａ）に示さ
れたような矩形形状のＭＭＩカプラが設けられている。
この第１従来例に係るＡＷＧ回路において、入力導波路
を伝搬してきた光の電界強度分布は、図１２（ｂ）に示
されたように、上記ＭＭＩカプラが精密に加工された場
合であっても該ＭＭＩカプラ中を伝搬している間に著し
く乱れてしまう。この電界強度分布の乱れは、主にＭＭ
Ｉカプラ内での多重反射に起因しているが、製造される
ＡＷＧ回路それぞれで安定した光学特性を得るために
は、該ＭＭＩカプラの幅や長さなどの加工にはより厳し
い精度が要求される。
【０００６】一方、上記第２従来例に係るＡＷＧ回路
は、いずれも図１３（ａ）に示されたようなパラボリッ
ク形状導波路が設けられている。このＡＷＧ回路におい
て、該パラボリック形状導波路中を伝搬する光の電界強
度分布は、図１３（ｂ）に示されたように、当該パラボ
リック形状導波路内での多重反射の影響が低減されてい
るため、ほとんど乱れることはない。しかしながら、当
該パラボリック形状導波路内を伝搬するに従って伝搬光
の電界強度分布は拡がっていく（電界強度分布のピーク
間隔が徐々に拡がる）。このように、パラボリック形状
導波路は、その光出力端面付近でも側面の傾きｄｙ／ｄ
ｘ（図１２（ａ）ではパラボリック形状導波路の長手方
向をｙ軸とし、該長手方向に対して垂直方向をｘ軸とし
ている）が小さいので、この第２従来例においても十分
な加工精度等が達成されていなければ製造されるＡＷＧ
回路それぞれに光学特性のバラツキが生じる可能性があ
る。このことは、同様のパラボリック形状導波路を備え
た第３従来例に係るＡＷＧ回路についても言える。
は、いずれも図１３（ａ）に示されたようなパラボリッ
ク形状導波路が設けられている。このＡＷＧ回路におい
て、該パラボリック形状導波路中を伝搬する光の電界強
度分布は、図１３（ｂ）に示されたように、当該パラボ
リック形状導波路内での多重反射の影響が低減されてい
るため、ほとんど乱れることはない。しかしながら、当
該パラボリック形状導波路内を伝搬するに従って伝搬光
の電界強度分布は拡がっていく（電界強度分布のピーク
間隔が徐々に拡がる）。このように、パラボリック形状
導波路は、その光出力端面付近でも側面の傾きｄｙ／ｄ
ｘ（図１２（ａ）ではパラボリック形状導波路の長手方
向をｙ軸とし、該長手方向に対して垂直方向をｘ軸とし
ている）が小さいので、この第２従来例においても十分
な加工精度等が達成されていなければ製造されるＡＷＧ
回路それぞれに光学特性のバラツキが生じる可能性があ
る。このことは、同様のパラボリック形状導波路を備え
た第３従来例に係るＡＷＧ回路についても言える。
【０００７】この発明は、以上のような課題を解決する
ためになされたものであり、信号チャネル間における損
失バラツキの低減等、透過波長特性の改善を実現するた
めに要求される加工精度等を緩和する構造、すなわち製
造トレランスを高める構造を備えた光合分波器を提供す
ることを目的としている。
ためになされたものであり、信号チャネル間における損
失バラツキの低減等、透過波長特性の改善を実現するた
めに要求される加工精度等を緩和する構造、すなわち製
造トレランスを高める構造を備えた光合分波器を提供す
ることを目的としている。
【０００８】
【課題を解決するための手段】この発明に係る光合分波
器は、基板と、該基板上にそれぞれ設けられた、１又は
それ以上の入力導波路、第１スラブ導波路、複数のチャ
ネル導波路、第２スラブ導波路、及び各信号チャネルご
とに設けられた複数の出力導波路とを備え、ＷＤＭ伝送
システムに波長選択素子として適用可能なＡＷＧ型の光
合分波器である。
器は、基板と、該基板上にそれぞれ設けられた、１又は
それ以上の入力導波路、第１スラブ導波路、複数のチャ
ネル導波路、第２スラブ導波路、及び各信号チャネルご
とに設けられた複数の出力導波路とを備え、ＷＤＭ伝送
システムに波長選択素子として適用可能なＡＷＧ型の光
合分波器である。
【０００９】この発明に係る光合分波器において、上記
第１及び第２スラブ導波路は、それぞれ所定のスラブ長
を有する。なお、スラブ長は、一般的に各スラブ導波路
のレンズ面として機能する光入力端の焦点距離に相当す
る。また、上記入力導波路は、信号チャネルとして所定
波長間隔ごとに設定されたチャネル波長を有する信号そ
れぞれを第１スラブ導波路に導くための導波路であっ
て、第１スラブ導波路の光入力端面にその光出力端が接
続されている。上記チャネル導波路は、互いに異なる長
さを有する導波路であって、入力導波路とともに第１ス
ラブ導波路を挟むように該第１スラブ導波路の光出力端
面にそれぞれの光入力端が接続される一方、出力導波路
とともに第２スラブ導波路を挟むように該第２スラブ導
波路の光入力端面にそれぞれの光出力端が接続された状
態で基板上に平面的に配列されている。さらに、上記出
力導波路は、第２スラブ導波路の光出力端面にそれぞれ
の光入力端が接続された状態で基板上に平面的に配列さ
れた導波路であって、所定波長間隔ごとに設定されたチ
ャネル波長を有する信号それぞれを個別に取り出すため
の導波路である。
第１及び第２スラブ導波路は、それぞれ所定のスラブ長
を有する。なお、スラブ長は、一般的に各スラブ導波路
のレンズ面として機能する光入力端の焦点距離に相当す
る。また、上記入力導波路は、信号チャネルとして所定
波長間隔ごとに設定されたチャネル波長を有する信号そ
れぞれを第１スラブ導波路に導くための導波路であっ
て、第１スラブ導波路の光入力端面にその光出力端が接
続されている。上記チャネル導波路は、互いに異なる長
さを有する導波路であって、入力導波路とともに第１ス
ラブ導波路を挟むように該第１スラブ導波路の光出力端
面にそれぞれの光入力端が接続される一方、出力導波路
とともに第２スラブ導波路を挟むように該第２スラブ導
波路の光入力端面にそれぞれの光出力端が接続された状
態で基板上に平面的に配列されている。さらに、上記出
力導波路は、第２スラブ導波路の光出力端面にそれぞれ
の光入力端が接続された状態で基板上に平面的に配列さ
れた導波路であって、所定波長間隔ごとに設定されたチ
ャネル波長を有する信号それぞれを個別に取り出すため
の導波路である。
【００１０】特に、この発明に係る光合分波器は、上記
入力導波路と第１スラブ導波路との間に設けられた導波
路であって、該入力導波路を伝搬してきた光の基底モー
ドの一部を高次モードに結合させるための自由伝搬領域
を備える。この自由伝搬領域は、入力導波路の光出力端
から該第１スラブ導波路の光入力端面に向かって幅が増
加するよう所定の曲線に沿って伸びた側面を有する第１
部分と、該第１部分と該第１スラブ導波路との間に設け
られかつ該入力導波路よりも大きい幅を有する第２部分
から構成されている。したがって、第１部分は、回折効
果により該入力導波路の光出力端から第１スラブ導波路
の光入力端面に向かって伝搬する光の電界強度分布を拡
げるよう機能する。一方、第２部分は、互いに略平行な
側面を有する導波路であり、該第１部分を通過した光の
電界強度分布の拡がりを制限するよう機能する。入力導
波路と第１スラブ導波路との間に配置される自由伝搬領
域を以上のような構造を有する第１及び第２部分で構成
することにより、所望の光学特性、例えば透過波長特性
の改善（信号チャネル間における損失バラツキの低減）
を実現するために要求される製造誤差の許容範囲がより
広くなり、微細加工等の要求精度が緩和される。
入力導波路と第１スラブ導波路との間に設けられた導波
路であって、該入力導波路を伝搬してきた光の基底モー
ドの一部を高次モードに結合させるための自由伝搬領域
を備える。この自由伝搬領域は、入力導波路の光出力端
から該第１スラブ導波路の光入力端面に向かって幅が増
加するよう所定の曲線に沿って伸びた側面を有する第１
部分と、該第１部分と該第１スラブ導波路との間に設け
られかつ該入力導波路よりも大きい幅を有する第２部分
から構成されている。したがって、第１部分は、回折効
果により該入力導波路の光出力端から第１スラブ導波路
の光入力端面に向かって伝搬する光の電界強度分布を拡
げるよう機能する。一方、第２部分は、互いに略平行な
側面を有する導波路であり、該第１部分を通過した光の
電界強度分布の拡がりを制限するよう機能する。入力導
波路と第１スラブ導波路との間に配置される自由伝搬領
域を以上のような構造を有する第１及び第２部分で構成
することにより、所望の光学特性、例えば透過波長特性
の改善（信号チャネル間における損失バラツキの低減）
を実現するために要求される製造誤差の許容範囲がより
広くなり、微細加工等の要求精度が緩和される。
【００１１】なお、上記所定の曲線は、指数関数で表さ
れる曲線であることが好ましい。特に、上記第２部分も
この曲線に沿って側面が伸びるよう加工すれば、上記自
由伝搬領域を連続した側面を有する導波路として形成す
ることができるからである。この場合、該自由伝搬領域
の側面は、該自由伝搬領域の光入力端面から離れるに従
って略平行な関係により近づくため、該自由伝搬領域に
おける入力導波路側が上記第１部分として機能し、該自
由伝搬領域における第１スラブ導波路側が上記第２部分
として機能する。
れる曲線であることが好ましい。特に、上記第２部分も
この曲線に沿って側面が伸びるよう加工すれば、上記自
由伝搬領域を連続した側面を有する導波路として形成す
ることができるからである。この場合、該自由伝搬領域
の側面は、該自由伝搬領域の光入力端面から離れるに従
って略平行な関係により近づくため、該自由伝搬領域に
おける入力導波路側が上記第１部分として機能し、該自
由伝搬領域における第１スラブ導波路側が上記第２部分
として機能する。
【００１２】上記曲線としては、一例として、以下の式
によって与えられる。すなわち、基板表面に一致するｘ
−ｚ座標系において、ｘ軸に平行な面である第１部分の
光入力端面及び光出力端面における各中心点（ｘs，
ｚs）、（ｘe，ｚe）を通過する基準線Ｘｐ（ｚ）は、
によって与えられる。すなわち、基板表面に一致するｘ
−ｚ座標系において、ｘ軸に平行な面である第１部分の
光入力端面及び光出力端面における各中心点（ｘs，
ｚs）、（ｘe，ｚe）を通過する基準線Ｘｐ（ｚ）は、
【００１３】
【数４】 なる式で与えられ、第１部分のｘ軸に平行な幅ｗ（ｚ）
は、
は、
【数５】 ｗs：第１部分の光入力端面の幅 ｗe：第１部分の光出力端面の幅 α ：指数係数 なる式で与えられ、このとき曲線は
【数６】 なる式で与えられる（図４参照）。ただし、第１及び第
２部分のいずれも以上のように定義された曲線に沿って
側面が伸びるよう、自由伝搬領域が一体的に加工される
場合、すなわち、ｗeが該自由伝搬領域の光出力端面の
幅である場合、幅が（１−Δ）ｗe〜ｗeである部分（第
１スラブ導波路の光入力端面の法線方向とｚ軸が一致す
る場合には上記曲線の傾きｄｚ／ｄｘの絶対値がｗe／
λ0以上となる部分）が第２部分として機能する。ただ
し、Δはスカラ量λ0／ｗeで与えられる微小変化率であ
って、λ0は中心チャネル波長である。
２部分のいずれも以上のように定義された曲線に沿って
側面が伸びるよう、自由伝搬領域が一体的に加工される
場合、すなわち、ｗeが該自由伝搬領域の光出力端面の
幅である場合、幅が（１−Δ）ｗe〜ｗeである部分（第
１スラブ導波路の光入力端面の法線方向とｚ軸が一致す
る場合には上記曲線の傾きｄｚ／ｄｘの絶対値がｗe／
λ0以上となる部分）が第２部分として機能する。ただ
し、Δはスカラ量λ0／ｗeで与えられる微小変化率であ
って、λ0は中心チャネル波長である。
【００１４】さらに、この発明に係る光合分波器におい
て、上記基板上に設けられた導波路（上述の入力導波
路、自由伝搬領域、第１及び第２スラブ導波路、チャネ
ル導波路、出力導波路などを含む）に相当するコアと、
該コアを覆うように該基板上に設けられたクラッドとの
比屈折率差は１％以上であることが好ましい。加えて、
上記入力導波路、上記チャネル導波路、上記出力導波路
は、いずれも５．５μｍ以下の幅（コア幅）を有するの
が好ましい。コア（各導波路に相当）への光の閉じ込め
効果が大きくなり、自由伝搬領域などの微細加工等の要
求精度がより緩和されるからである。また、光の閉じ込
め効果の向上によりコア幅をより小さくすることが可能
になるため、より多くのチャネル導波路を基板上に設け
ることができるからである。いわゆる「埋め込み限界」
と呼ばれる製造プロセス上の制約として、隣接するコア
の理論上の最小間隔をより小さくすることができるの
で、光学特性の優れた光合分波器が得られる。
て、上記基板上に設けられた導波路（上述の入力導波
路、自由伝搬領域、第１及び第２スラブ導波路、チャネ
ル導波路、出力導波路などを含む）に相当するコアと、
該コアを覆うように該基板上に設けられたクラッドとの
比屈折率差は１％以上であることが好ましい。加えて、
上記入力導波路、上記チャネル導波路、上記出力導波路
は、いずれも５．５μｍ以下の幅（コア幅）を有するの
が好ましい。コア（各導波路に相当）への光の閉じ込め
効果が大きくなり、自由伝搬領域などの微細加工等の要
求精度がより緩和されるからである。また、光の閉じ込
め効果の向上によりコア幅をより小さくすることが可能
になるため、より多くのチャネル導波路を基板上に設け
ることができるからである。いわゆる「埋め込み限界」
と呼ばれる製造プロセス上の制約として、隣接するコア
の理論上の最小間隔をより小さくすることができるの
で、光学特性の優れた光合分波器が得られる。
【００１５】この発明に係る光合分波器は、上記入力導
波路の光出力端と上記自由伝搬領域における第１部分の
光入力端との間に設けられたＭＭＩカプラをさらに備え
てもよい。このような構造は、従来の光合分波器と比較
して微細加工等の要求精度をより緩和させることを可能
にするとともに、当該光合分波器の透過波長特性をさら
に改善させることを可能にする。
波路の光出力端と上記自由伝搬領域における第１部分の
光入力端との間に設けられたＭＭＩカプラをさらに備え
てもよい。このような構造は、従来の光合分波器と比較
して微細加工等の要求精度をより緩和させることを可能
にするとともに、当該光合分波器の透過波長特性をさら
に改善させることを可能にする。
【００１６】なお、入力導波路と第１スラブ導波路との
間に自由伝搬領域が設けられた構造、及び該自由伝搬領
域とともにＭＭＩカプラが設けられた構造のいずれにお
いても、上記入力導波路の光出力端は、上記第１スラブ
導波路の光入力端面から２．０μｍ以上離間しているこ
と、すなわち、該自由伝搬領域あるいは該自由伝搬領域
とＭＭＩカプラのいずれかの全長が２．０μｍ以上であ
るのが好ましい。これにより、自由伝搬領域と第１スラ
ブ導波路との接続部分に生じ易い加工なまり（この接続
部分を構成する自由伝搬領域の光出力端面近傍及び第１
スラブ導波路の光入力端面近傍の両方で形状がなまって
しまう）を抑制すると同時に、ＣＶＤ（Chemical Vapor
Deposition）技術やＦＨＤ（Flame Hydrolysis Deposi
tion）技術を利用してコア隙間へのクラッド埋め込み性
の良好な自由伝搬領域を製造することができるからであ
る。
間に自由伝搬領域が設けられた構造、及び該自由伝搬領
域とともにＭＭＩカプラが設けられた構造のいずれにお
いても、上記入力導波路の光出力端は、上記第１スラブ
導波路の光入力端面から２．０μｍ以上離間しているこ
と、すなわち、該自由伝搬領域あるいは該自由伝搬領域
とＭＭＩカプラのいずれかの全長が２．０μｍ以上であ
るのが好ましい。これにより、自由伝搬領域と第１スラ
ブ導波路との接続部分に生じ易い加工なまり（この接続
部分を構成する自由伝搬領域の光出力端面近傍及び第１
スラブ導波路の光入力端面近傍の両方で形状がなまって
しまう）を抑制すると同時に、ＣＶＤ（Chemical Vapor
Deposition）技術やＦＨＤ（Flame Hydrolysis Deposi
tion）技術を利用してコア隙間へのクラッド埋め込み性
の良好な自由伝搬領域を製造することができるからであ
る。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、この発明に係る光合分波器
の各実施形態を、図１〜図１１を参照しながら説明す
る。なお、各図において、同一部分には同一の番号を付
して重複する説明は省略する。
の各実施形態を、図１〜図１１を参照しながら説明す
る。なお、各図において、同一部分には同一の番号を付
して重複する説明は省略する。
【００１８】図１は、この発明に係る光合分波器の構成
を示す平面図である。この図１に示されたように、当該
光合分波器は、石英ガラス基板１００上に光導波路部分
が一体的に形成された光部品である。すなわち、基板１
００上には、１又はそれ以上の入力導波路１１０、第１
スラブ導波路１２０（入力用スラブ導波路）、複数のチ
ャネル導波路１３０、第２スラブ導波路１４０（出力用
スラブ導波路）及び複数の出力導波路１５０が設けられ
ている。特に、この発明に係る光合分波器では、入力導
波路１１０と第１スラブ導波路１２０との間に特殊な形
状を有する自由伝搬領域１６０が設けられていることを
特徴としている。
を示す平面図である。この図１に示されたように、当該
光合分波器は、石英ガラス基板１００上に光導波路部分
が一体的に形成された光部品である。すなわち、基板１
００上には、１又はそれ以上の入力導波路１１０、第１
スラブ導波路１２０（入力用スラブ導波路）、複数のチ
ャネル導波路１３０、第２スラブ導波路１４０（出力用
スラブ導波路）及び複数の出力導波路１５０が設けられ
ている。特に、この発明に係る光合分波器では、入力導
波路１１０と第１スラブ導波路１２０との間に特殊な形
状を有する自由伝搬領域１６０が設けられていることを
特徴としている。
【００１９】上記第１スラブ導波路１２０は、当該光合
分波器へ入力される光の入射角度に対して角度θをなす
よう配置されており、また、第１及び第２スラブ導波路
１２０、１４０は、スラブ長ｆを有する。なお、スラブ
長は、第１及び第２スラブ導波路１２０、１４０おのお
のにおける光入力端面に位置する凸レンズ面の焦点距離
に相当する。また、上記入力導波路１１０は、信号チャ
ネルとして所定波長間隔ごとに設定されたチャネル波長
を有する各信号を第１スラブ導波路１２０に導くための
導波路であって、この入力導波路１１０の光出力端は第
１スラブ導波路１２０に光入力端面に接続されている。
上記チャネル導波路１３０は、互いに異なる長さを有す
る導波路であって、基板１００上に平面的に配列されて
いる。これらチャネル導波路１３０は、入力導波路１１
０とともに第１スラブ導波路１２０を挟むように該第１
スラブ導波路１２０の光出力端面にそれぞれの光入力端
が間隔ｄごとに離間した状態で接続される一方、出力導
波路１５０とともに第２スラブ導波路１４０を挟むよう
に該第２スラブ導波路１４０の光入力端面１４０ａにそ
れぞれの光出力端が間隔ｄごとに離間した状態で接続さ
れている。さらに、上記出力導波路１５０は、第２スラ
ブ導波路１４０の光出力端面に光入力端が接続された状
態で上記基板１００上に平面的に配列された導波路であ
って、所定波長間隔ごとに設定されたチャネル波長を有
する各信号に対応して、すなわち各信号チャネルに対応
して設けられている。なお、図１に示された光合分波器
は、入力導波路１１０、第１スラブ導波路１２０、チャ
ネル導波路１３０、第２スラブ導波路１４０及び出力導
波路１５０の順に光が伝搬する４０チャネルの信号分離
を可能にするＡＷＧ回路として説明されているが、各信
号チャネルに対応して複数の入力導波路を設けることに
より、信号合波を可能にするＡＷＧ回路も実現できる。
分波器へ入力される光の入射角度に対して角度θをなす
よう配置されており、また、第１及び第２スラブ導波路
１２０、１４０は、スラブ長ｆを有する。なお、スラブ
長は、第１及び第２スラブ導波路１２０、１４０おのお
のにおける光入力端面に位置する凸レンズ面の焦点距離
に相当する。また、上記入力導波路１１０は、信号チャ
ネルとして所定波長間隔ごとに設定されたチャネル波長
を有する各信号を第１スラブ導波路１２０に導くための
導波路であって、この入力導波路１１０の光出力端は第
１スラブ導波路１２０に光入力端面に接続されている。
上記チャネル導波路１３０は、互いに異なる長さを有す
る導波路であって、基板１００上に平面的に配列されて
いる。これらチャネル導波路１３０は、入力導波路１１
０とともに第１スラブ導波路１２０を挟むように該第１
スラブ導波路１２０の光出力端面にそれぞれの光入力端
が間隔ｄごとに離間した状態で接続される一方、出力導
波路１５０とともに第２スラブ導波路１４０を挟むよう
に該第２スラブ導波路１４０の光入力端面１４０ａにそ
れぞれの光出力端が間隔ｄごとに離間した状態で接続さ
れている。さらに、上記出力導波路１５０は、第２スラ
ブ導波路１４０の光出力端面に光入力端が接続された状
態で上記基板１００上に平面的に配列された導波路であ
って、所定波長間隔ごとに設定されたチャネル波長を有
する各信号に対応して、すなわち各信号チャネルに対応
して設けられている。なお、図１に示された光合分波器
は、入力導波路１１０、第１スラブ導波路１２０、チャ
ネル導波路１３０、第２スラブ導波路１４０及び出力導
波路１５０の順に光が伝搬する４０チャネルの信号分離
を可能にするＡＷＧ回路として説明されているが、各信
号チャネルに対応して複数の入力導波路を設けることに
より、信号合波を可能にするＡＷＧ回路も実現できる。
【００２０】（第１実施形態）図２は、この発明に係る
光合分波器の第１実施形態における光出力部分（図１の
光出力部分に相当）の導波路構成を示す平面図である。
この第１実施形態に係る光合分波器において、自由伝搬
領域１６０は、入力導波路１１０中を伝搬してきた光の
基底モードの一部を高次モードに結合するための導波路
として機能する。また、自由伝搬領域１６０は、入力導
波路１１０を伝搬してきた光の電界強度分布を拡げるた
めの第１部分１６１と、この第１部分を伝搬してきた光
の電界強度分布の拡がりを制限するための第２部分１６
２により構成されている。
光合分波器の第１実施形態における光出力部分（図１の
光出力部分に相当）の導波路構成を示す平面図である。
この第１実施形態に係る光合分波器において、自由伝搬
領域１６０は、入力導波路１１０中を伝搬してきた光の
基底モードの一部を高次モードに結合するための導波路
として機能する。また、自由伝搬領域１６０は、入力導
波路１１０を伝搬してきた光の電界強度分布を拡げるた
めの第１部分１６１と、この第１部分を伝搬してきた光
の電界強度分布の拡がりを制限するための第２部分１６
２により構成されている。
【００２１】なお、図２に示された自由伝搬領域１６０
の形状は、第１スラブ導波路１２０の光入力端面に対し
て法線方向をｚ軸とし、該法線に直交する方向をｘ軸と
したｘ−ｚ座標平面（基板１００の表面に一致）上に投
影されている。第１部分１６１は、入力導波路１１０の
光出力端面に面した幅ｗsの光入力端面（当該自由伝搬
領域１６０の光入力端面１６０ａと一致）と幅ｗeの光
出力端面を有するとともに、その側面は幅ｗ（ｚ）が増
加するよう所定の曲線に沿って伸びている。一方、第２
部分１６２は、第１部分１６１の光出力端面に面した光
入力端面と第１スラブ導波路１２０の光入力端面に面し
た光出力端面（当該自由伝搬領域１６０の光出力端面１
６０ｂと一致）とを有し、その側面は幅ｗeで互いに略
平行に伸びている。このように、自由伝搬領域１６０が
上記第１及び第２部分１６１、１６２で構成されること
により、所望の光学特性、例えば透過波長特性の改善
（信号チャネル間における損失バラツキの低減）を実現
するために要求される製造誤差の許容範囲がより広くな
り、微細加工等の要求精度が緩和される。
の形状は、第１スラブ導波路１２０の光入力端面に対し
て法線方向をｚ軸とし、該法線に直交する方向をｘ軸と
したｘ−ｚ座標平面（基板１００の表面に一致）上に投
影されている。第１部分１６１は、入力導波路１１０の
光出力端面に面した幅ｗsの光入力端面（当該自由伝搬
領域１６０の光入力端面１６０ａと一致）と幅ｗeの光
出力端面を有するとともに、その側面は幅ｗ（ｚ）が増
加するよう所定の曲線に沿って伸びている。一方、第２
部分１６２は、第１部分１６１の光出力端面に面した光
入力端面と第１スラブ導波路１２０の光入力端面に面し
た光出力端面（当該自由伝搬領域１６０の光出力端面１
６０ｂと一致）とを有し、その側面は幅ｗeで互いに略
平行に伸びている。このように、自由伝搬領域１６０が
上記第１及び第２部分１６１、１６２で構成されること
により、所望の光学特性、例えば透過波長特性の改善
（信号チャネル間における損失バラツキの低減）を実現
するために要求される製造誤差の許容範囲がより広くな
り、微細加工等の要求精度が緩和される。
【００２２】なお、図３は、図１中の線Ｉ−Ｉに沿った
当該光合分波器、特に自由伝搬領域１６０近傍の断面構
造を示す図であり、石英ガラス基板１００上には入力導
波路１１０、第１スラブ導波路１２０、チャネル導波路
１３０、第２スラブ導波路１４０、出力導波路１５０、
及び自由伝搬領域１６０などに相当するコア、該コアを
覆うクラッド１０２が設けられている。導波路として機
能するコアにはＧｅＯ 2が添加されており、該ＧｅＯ2の
添加量は、チャネル導波路１３０の曲率半径の低減及び
導波路間隔の低減を可能にするため（光の閉じ込め効率
の向上）、コアとクラッドとの比屈折率差は１％以上で
ある。基板１００は、石英ガラス基板に代え、シリコン
基板と該シリコン基板上に成膜されたガラス層とを備え
た構造であってもよい。このガラス層の上にＧｅＯ2が
添加されたコア（導波路）を形成することによっても同
様の作用・効果が得られる。
当該光合分波器、特に自由伝搬領域１６０近傍の断面構
造を示す図であり、石英ガラス基板１００上には入力導
波路１１０、第１スラブ導波路１２０、チャネル導波路
１３０、第２スラブ導波路１４０、出力導波路１５０、
及び自由伝搬領域１６０などに相当するコア、該コアを
覆うクラッド１０２が設けられている。導波路として機
能するコアにはＧｅＯ 2が添加されており、該ＧｅＯ2の
添加量は、チャネル導波路１３０の曲率半径の低減及び
導波路間隔の低減を可能にするため（光の閉じ込め効率
の向上）、コアとクラッドとの比屈折率差は１％以上で
ある。基板１００は、石英ガラス基板に代え、シリコン
基板と該シリコン基板上に成膜されたガラス層とを備え
た構造であってもよい。このガラス層の上にＧｅＯ2が
添加されたコア（導波路）を形成することによっても同
様の作用・効果が得られる。
【００２３】この第１実施形態では、上記第１部分１６
１とともに上記第２部分１６２も指数関数で表される曲
線に沿って側面が伸びるよう加工することで、上記自由
伝搬領域１６０が連続した側面を有する導波路として形
成されている。この場合、該自由伝搬領域１６０の側面
は、該自由伝搬領域１６０の光入力端面１６０ａから離
れるに従って略平行な関係により近づくため、該自由伝
搬領域１６０における入力導波路１１０側が上記第１部
分１６１として機能するとともに、該自由伝搬領域１６
０における第１スラブ導波路１２０側が上記第２部分１
６２として機能する。
１とともに上記第２部分１６２も指数関数で表される曲
線に沿って側面が伸びるよう加工することで、上記自由
伝搬領域１６０が連続した側面を有する導波路として形
成されている。この場合、該自由伝搬領域１６０の側面
は、該自由伝搬領域１６０の光入力端面１６０ａから離
れるに従って略平行な関係により近づくため、該自由伝
搬領域１６０における入力導波路１１０側が上記第１部
分１６１として機能するとともに、該自由伝搬領域１６
０における第１スラブ導波路１２０側が上記第２部分１
６２として機能する。
【００２４】図４は、上記曲線の一例を説明するための
図である。この図に示された自由伝搬領域１６０の形状
は、第１スラブ導波路１２０の光入力端面に対して法線
方向をｚ軸とし、該法線に直交する方向をｘ軸としたｘ
−ｚ座標平面（基板１００の表面に一致）上に投影され
ている。また、図４に示された自由伝搬領域１６０は、
その中心軸が第１スラブ導波路１２０の光入力端面に対
して所定角度だけ傾いている。なお、図２には、その中
心軸と第１スラブ導波路１２０の光入力端面とが直交す
る自由伝搬領域１６０が示されている。
図である。この図に示された自由伝搬領域１６０の形状
は、第１スラブ導波路１２０の光入力端面に対して法線
方向をｚ軸とし、該法線に直交する方向をｘ軸としたｘ
−ｚ座標平面（基板１００の表面に一致）上に投影され
ている。また、図４に示された自由伝搬領域１６０は、
その中心軸が第１スラブ導波路１２０の光入力端面に対
して所定角度だけ傾いている。なお、図２には、その中
心軸と第１スラブ導波路１２０の光入力端面とが直交す
る自由伝搬領域１６０が示されている。
【００２５】すなわち、基板１００の表面に一致するｘ
−ｚ座標系において、ｘ軸に平行な面である自由伝搬領
域１６０の光入力端面１６０ａ（第１部分１６１の光入
力端面に一致）及び光出力端面１６０ｂ（第２部分１６
２の光出力端面に一致）における各中心点（ｘs，
ｚs）、（ｘe，ｚe）を通過する基準線Ｘｐ（ｚ）は、
−ｚ座標系において、ｘ軸に平行な面である自由伝搬領
域１６０の光入力端面１６０ａ（第１部分１６１の光入
力端面に一致）及び光出力端面１６０ｂ（第２部分１６
２の光出力端面に一致）における各中心点（ｘs，
ｚs）、（ｘe，ｚe）を通過する基準線Ｘｐ（ｚ）は、
【００２６】
【数７】 なる式で与えられ、当該自由伝搬領域１６０のｘ軸に平
行な幅ｗ（ｚ）は、
行な幅ｗ（ｚ）は、
【数８】 ｗs：自由伝搬領域１６０の光入力端面１６０ａの幅 ｗe：自由伝搬領域１６０の光出力端面１６０ｂの幅 α ：指数係数 なる式で与えられ、自由伝搬領域１６０の側面形状を規
定する曲線は
定する曲線は
【数９】 なる式で与えられる。このとき、自由伝搬領域１６０の
光入力端面１６０ａからｘ軸方向の幅が（１−Δ）ｗe
となる領域までが第１部分１６１に相当し、ｘ軸方向の
幅が（１−Δ）ｗe〜ｗeの領域が第２部分１６２に相当
する。また、第１スラブ導波路１２０の光入力端面の法
線方向とｚ軸が一致する場合は、上記曲線Ｘl（ｚ）及
びＸu（ｚ）の各傾きｄｚ／ｄｘの絶対値がｗe／λ0ま
での領域が第１部分１６１に相当し、傾きｄｚ／ｄｘの
絶対値がｗe／λ0以上となる領域が第２部分に相当す
る。ただし、Δはスカラ量λ0／ｗeで与えられる微小変
化率であって、λ0は中心チャネル波長（μｍ）であ
る。
光入力端面１６０ａからｘ軸方向の幅が（１−Δ）ｗe
となる領域までが第１部分１６１に相当し、ｘ軸方向の
幅が（１−Δ）ｗe〜ｗeの領域が第２部分１６２に相当
する。また、第１スラブ導波路１２０の光入力端面の法
線方向とｚ軸が一致する場合は、上記曲線Ｘl（ｚ）及
びＸu（ｚ）の各傾きｄｚ／ｄｘの絶対値がｗe／λ0ま
での領域が第１部分１６１に相当し、傾きｄｚ／ｄｘの
絶対値がｗe／λ0以上となる領域が第２部分に相当す
る。ただし、Δはスカラ量λ0／ｗeで与えられる微小変
化率であって、λ0は中心チャネル波長（μｍ）であ
る。
【００２７】次に、発明者は信号波長間隔Δλが１００
ＧＨｚ、中心チャネル波長（ＣＨ２０）が１．５３０５
μｍである４０チャネル信号分離を可能にするＡＷＧ回
路を設計した。
ＧＨｚ、中心チャネル波長（ＣＨ２０）が１．５３０５
μｍである４０チャネル信号分離を可能にするＡＷＧ回
路を設計した。
【００２８】設計されたＡＷＧ回路において、基板１０
０と各導波路部分との比屈折率差は１．５％、スラブ長
ｆは８０００μｍ、各導波路の幅（コア幅）は４．３μ
ｍ、第１及び第２スラブ導波路１２０、１４０のスラブ
長は８０００μｍ、基板１００のサイズは２０ｍｍ×２
０ｍｍ、基板１００の厚みは０．５ｍｍ、チャネル導波
路１３０の端部間隔ｄは１２．０μｍ、チャネル導波路
１３０の本数は１８０、第１スラブ導波路１２０の設置
角度θは８０゜、各チャネル導波路１３０間の長さの差
ΔＬは３６．７０２μｍに設定されている。
０と各導波路部分との比屈折率差は１．５％、スラブ長
ｆは８０００μｍ、各導波路の幅（コア幅）は４．３μ
ｍ、第１及び第２スラブ導波路１２０、１４０のスラブ
長は８０００μｍ、基板１００のサイズは２０ｍｍ×２
０ｍｍ、基板１００の厚みは０．５ｍｍ、チャネル導波
路１３０の端部間隔ｄは１２．０μｍ、チャネル導波路
１３０の本数は１８０、第１スラブ導波路１２０の設置
角度θは８０゜、各チャネル導波路１３０間の長さの差
ΔＬは３６．７０２μｍに設定されている。
【００２９】なお、第１実施形態として設計されたＡＷ
Ｇ回路の第１サンプルにおける自由伝搬領域１６０は、
図５（ａ）に示されたような平面形状を有しており、そ
の側面は、指数係数αが＋１．４、光入力端面１６０ａ
の幅ｗsが４．３μｍ、光出力端面１６０ｂの幅ｗeが２
０μｍ、全長が１８０μｍであるとき数式９で与えられ
る曲線Ｘl（ｚ）及びＸu（ｚ）それぞれに沿って伸びる
形状を有する。ただし、ｗeは２０μｍ、中心チャネル
波長は１．５３０５μｍであることから、Δ＝λ0／ｗe
は０．０７６５２５となる。したがって、この第１サン
プルにおいて、幅ｗs（＝４．３μｍ）の光入力端面１
６０ａから幅（１−０．０７６５２５）×２０μｍとな
る領域までが当該自由伝搬領域１６０の第１部分１６１
に相当し、幅（１−０．０７６５２５）×２０μｍとな
る位置から幅２０μｍの光出力端面１６０ｂ間での領域
が当該自由伝搬領域１６０の第２部分１６２に相当す
る。
Ｇ回路の第１サンプルにおける自由伝搬領域１６０は、
図５（ａ）に示されたような平面形状を有しており、そ
の側面は、指数係数αが＋１．４、光入力端面１６０ａ
の幅ｗsが４．３μｍ、光出力端面１６０ｂの幅ｗeが２
０μｍ、全長が１８０μｍであるとき数式９で与えられ
る曲線Ｘl（ｚ）及びＸu（ｚ）それぞれに沿って伸びる
形状を有する。ただし、ｗeは２０μｍ、中心チャネル
波長は１．５３０５μｍであることから、Δ＝λ0／ｗe
は０．０７６５２５となる。したがって、この第１サン
プルにおいて、幅ｗs（＝４．３μｍ）の光入力端面１
６０ａから幅（１−０．０７６５２５）×２０μｍとな
る領域までが当該自由伝搬領域１６０の第１部分１６１
に相当し、幅（１−０．０７６５２５）×２０μｍとな
る位置から幅２０μｍの光出力端面１６０ｂ間での領域
が当該自由伝搬領域１６０の第２部分１６２に相当す
る。
【００３０】一方、比較例として設計されたＡＷＧ回路
の第２サンプルは、図５（ｂ）に示されたように、自由
伝搬領域が存在せず、幅４．３μｍの入力導波路１１０
が直接第１スラブ導波路１２０に接続された構造を備え
る。
の第２サンプルは、図５（ｂ）に示されたように、自由
伝搬領域が存在せず、幅４．３μｍの入力導波路１１０
が直接第１スラブ導波路１２０に接続された構造を備え
る。
【００３１】図６は、上述のように設計された第１サン
プルについて、第２０番目の出力導波路（ＣＨ２０）を
中心とした各出力導波路における損失スペクトルの測定
結果を示している。また、図７は、上述のように設計さ
れた第２サンプルについて、第２０番目の出力導波路
（ＣＨ２０）を中心とした各出力導波路における損失ス
ペクトルの測定結果を示している。これら図６及び図７
を比較すると、第１実施形態に係る第１サンプルの方
が、各チャネル波長間の損失バラツキが低下しているこ
とが分かる。
プルについて、第２０番目の出力導波路（ＣＨ２０）を
中心とした各出力導波路における損失スペクトルの測定
結果を示している。また、図７は、上述のように設計さ
れた第２サンプルについて、第２０番目の出力導波路
（ＣＨ２０）を中心とした各出力導波路における損失ス
ペクトルの測定結果を示している。これら図６及び図７
を比較すると、第１実施形態に係る第１サンプルの方
が、各チャネル波長間の損失バラツキが低下しているこ
とが分かる。
【００３２】次に、このように各チャネル間における損
失バラツキの低減など透過波長特性が改善される構造を
備えた第１実施形態に係る光合分波器について、製造誤
差と特性変化の関係を説明する。
失バラツキの低減など透過波長特性が改善される構造を
備えた第１実施形態に係る光合分波器について、製造誤
差と特性変化の関係を説明する。
【００３３】一般に、ＡＷＧ回路の製造では、フォトリ
ソグラフィ工程やエッチング工程などで寸法誤差（加工
誤差）が生じたり、また、膜付け工程で導波路であるコ
アとクラッドとの比屈折率差Δｎの設計値からのずれが
生じ、得られたＡＷＧ回路の光学特性が劣化する可能性
がある。このことは、定性的に図８（ａ）〜図８（ｃ）
により説明される。
ソグラフィ工程やエッチング工程などで寸法誤差（加工
誤差）が生じたり、また、膜付け工程で導波路であるコ
アとクラッドとの比屈折率差Δｎの設計値からのずれが
生じ、得られたＡＷＧ回路の光学特性が劣化する可能性
がある。このことは、定性的に図８（ａ）〜図８（ｃ）
により説明される。
【００３４】すなわち、導波路であるコアの幅が適正値
よりも狭くなりかつ比屈折率差Δｎが適正値よりも低く
なったＡＷＧ回路では、あるＣＨの出力導波路における
透過スペクトルには、図８（ａ）に示されたように、い
くつかのピークが現れる。また、コアの幅及び比屈折率
差Δｎとの適正値であるＡＷＧ回路では、あるＣＨの出
力導波路における透過スペクトルは、図８（ｂ）に示さ
れたように、ピーク付近が平坦になる。逆に、コアの幅
が適正値よりも広くなりかつ比屈折率差Δｎが適正値よ
りも高くなったＡＷＧ回路では、あるＣＨの出力導波路
における透過スペクトルは、図８（ｃ）に示されたよう
に、よりピークが高くなる。
よりも狭くなりかつ比屈折率差Δｎが適正値よりも低く
なったＡＷＧ回路では、あるＣＨの出力導波路における
透過スペクトルには、図８（ａ）に示されたように、い
くつかのピークが現れる。また、コアの幅及び比屈折率
差Δｎとの適正値であるＡＷＧ回路では、あるＣＨの出
力導波路における透過スペクトルは、図８（ｂ）に示さ
れたように、ピーク付近が平坦になる。逆に、コアの幅
が適正値よりも広くなりかつ比屈折率差Δｎが適正値よ
りも高くなったＡＷＧ回路では、あるＣＨの出力導波路
における透過スペクトルは、図８（ｃ）に示されたよう
に、よりピークが高くなる。
【００３５】このように、適正値で設計されたＡＷＧ回
路であっても、実際の製造では製造誤差をなくすことは
現実的ではない。むしろ、加工精度等の許容度を高くす
る方がより現実的である。
路であっても、実際の製造では製造誤差をなくすことは
現実的ではない。むしろ、加工精度等の許容度を高くす
る方がより現実的である。
【００３６】そこで、発明者は、特開平９−２９７２２
８号公報に示されたパラボリック形状導波路を有するＡ
ＷＧ回路と、この従来のＡＷＧ回路と同じ条件で製造さ
れた第１実施形態に係るＡＷＧ回路の各製造トレランス
について検証した。なお、従来のＡＷＧ回路におけるパ
ラボリック形状導波路は、上記特開平９−２９７２２８
号公報の図６に示されたような平面形状を有しており、
その構造パラメータは、光入力端面の幅が７μｍ、パラ
ボリック形状を規定するパラメータＡが１．０、全長が
２５０μｍである。一方、第１実施形態に係るＡＷＧ回
路において、自由伝搬領域は、図５（ａ）に示されたよ
うな平面形状を有しており、その側面は、指数係数αが
＋２．１、光入力端面の幅が７μｍ、光出力端面の幅が
３２μｍ、全長が５００μｍであるとき数式９で与えら
れる曲線Ｘl（ｚ）及びＸu（ｚ）それぞれに沿って伸び
る形状を有する。
８号公報に示されたパラボリック形状導波路を有するＡ
ＷＧ回路と、この従来のＡＷＧ回路と同じ条件で製造さ
れた第１実施形態に係るＡＷＧ回路の各製造トレランス
について検証した。なお、従来のＡＷＧ回路におけるパ
ラボリック形状導波路は、上記特開平９−２９７２２８
号公報の図６に示されたような平面形状を有しており、
その構造パラメータは、光入力端面の幅が７μｍ、パラ
ボリック形状を規定するパラメータＡが１．０、全長が
２５０μｍである。一方、第１実施形態に係るＡＷＧ回
路において、自由伝搬領域は、図５（ａ）に示されたよ
うな平面形状を有しており、その側面は、指数係数αが
＋２．１、光入力端面の幅が７μｍ、光出力端面の幅が
３２μｍ、全長が５００μｍであるとき数式９で与えら
れる曲線Ｘl（ｚ）及びＸu（ｚ）それぞれに沿って伸び
る形状を有する。
【００３７】以上のように構成された従来のＡＷＧ回路
と第１実施形態に係るＡＷＧ回路についての測定結果が
図９に示されている。この図９中の横軸は、導波路であ
るコア幅の誤差（μｍ）を示し、縦軸は、ＣＨの出力導
波路における透過スペクトルのピーク平坦度（ｄＢ）を
示している。なお、透過スペクトルの平坦度は、図８
（ａ）に示された透過強度ａとｂの差によって与えられ
る。また、図９中、グラフＧ１００は、第１実施形態に
係るＡＷＧ回路についての測定結果、グラフＧ２００
は、従来のＡＷＧ回路についての測定結果をそれぞれ示
している。
と第１実施形態に係るＡＷＧ回路についての測定結果が
図９に示されている。この図９中の横軸は、導波路であ
るコア幅の誤差（μｍ）を示し、縦軸は、ＣＨの出力導
波路における透過スペクトルのピーク平坦度（ｄＢ）を
示している。なお、透過スペクトルの平坦度は、図８
（ａ）に示された透過強度ａとｂの差によって与えられ
る。また、図９中、グラフＧ１００は、第１実施形態に
係るＡＷＧ回路についての測定結果、グラフＧ２００
は、従来のＡＷＧ回路についての測定結果をそれぞれ示
している。
【００３８】図９に示された測定結果からも分かるよう
に、グラフＧ２００と比較してグラフ２００の方がより
平坦な範囲が広く、すなわち製造トレランスが高いこと
は明らかである。
に、グラフＧ２００と比較してグラフ２００の方がより
平坦な範囲が広く、すなわち製造トレランスが高いこと
は明らかである。
【００３９】従来のＡＷＧ回路におけるパラボリック形
状導波路の場合、図１０（ａ）に示されたように、該導
波路部の幅が入力導波路と接続された光入力端面からス
ラブ導波路に接続された光出力端面に向かって大きくな
っているため、入力導波路を伝搬した光の電界強度分布
は、該光の伝搬とともに拡がってしまう。このことか
ら、従来のＡＷＧ回路におけるパラボリック形状導波路
は、導波路幅の誤差変動の影響をより受けやすい構造で
あることが分かる。
状導波路の場合、図１０（ａ）に示されたように、該導
波路部の幅が入力導波路と接続された光入力端面からス
ラブ導波路に接続された光出力端面に向かって大きくな
っているため、入力導波路を伝搬した光の電界強度分布
は、該光の伝搬とともに拡がってしまう。このことか
ら、従来のＡＷＧ回路におけるパラボリック形状導波路
は、導波路幅の誤差変動の影響をより受けやすい構造で
あることが分かる。
【００４０】一方、第１実施形態に係るＡＷＧ回路で
は、入力導波路１１０を伝搬した光の電界強度分布は、
自由伝搬領域１６０の第１部分１６１において一旦拡が
るものの、第２部分１６２においてその拡がりが制限さ
れている。このように、第２部分ではもともと伝搬光の
電界強度分布の変動が起こり難くなっているので、導波
路幅の誤差変動の影響は受けにくい。このことからも、
この発明に係る光合分波器によれば、従来技術よりも遥
かに微細加工等の要求精度が緩和されることが分かる。
は、入力導波路１１０を伝搬した光の電界強度分布は、
自由伝搬領域１６０の第１部分１６１において一旦拡が
るものの、第２部分１６２においてその拡がりが制限さ
れている。このように、第２部分ではもともと伝搬光の
電界強度分布の変動が起こり難くなっているので、導波
路幅の誤差変動の影響は受けにくい。このことからも、
この発明に係る光合分波器によれば、従来技術よりも遥
かに微細加工等の要求精度が緩和されることが分かる。
【００４１】（第２実施形態）次に、図１１は、この発
明に係る光合分波器の第２実施形態における光出力部分
（図１の光出力部分に相当）の導波路構成を示す平面図
である。
明に係る光合分波器の第２実施形態における光出力部分
（図１の光出力部分に相当）の導波路構成を示す平面図
である。
【００４２】この第２実施形態も、基本的な構造は第１
実施形態と同じであるが、入力導波路１１０の光出力端
と自由伝搬領域１６０における第１部分１６１の光入力
端（自由伝搬領域１６０の光入力端面１６０ａに一致）
との間に、ＭＭＩカプラ１７０が設けられた点で異なっ
ている。このような構造が図１に示されたようなＡＷＧ
回路に採用されることにより、従来のＡＷＧ回路よりも
製造トレランスが高く、また、透過波長特性もさらに改
善可能なＡＷＧ回路が得られる。
実施形態と同じであるが、入力導波路１１０の光出力端
と自由伝搬領域１６０における第１部分１６１の光入力
端（自由伝搬領域１６０の光入力端面１６０ａに一致）
との間に、ＭＭＩカプラ１７０が設けられた点で異なっ
ている。このような構造が図１に示されたようなＡＷＧ
回路に採用されることにより、従来のＡＷＧ回路よりも
製造トレランスが高く、また、透過波長特性もさらに改
善可能なＡＷＧ回路が得られる。
【００４３】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、透過波
長特性を改善するための導波路であって、入力導波路か
ら第１スラブ導波路に向かって幅が増加するよう所定の
曲線に沿って伸びた側面を有する第１部分と、該第１部
分と第１スラブ導波路との間に設けられかつ入力導波路
よりも大きい幅を有する第２部分とを備えた自由伝搬領
域が、入力導波路と第１スラブ導波路)との間に設けら
れている。入力導波路から第１スラブ導波路へ向かう光
の電界強度分布は第１部分により一旦拡げられるが、逆
に第２部分により該伝搬光の電界強度分布の拡がりは制
限されるため、該電界強度分布の変化は導波路幅の変化
に影響されにくくなり、結果的に微細加工の要求精度が
緩和されるという効果がある。
長特性を改善するための導波路であって、入力導波路か
ら第１スラブ導波路に向かって幅が増加するよう所定の
曲線に沿って伸びた側面を有する第１部分と、該第１部
分と第１スラブ導波路との間に設けられかつ入力導波路
よりも大きい幅を有する第２部分とを備えた自由伝搬領
域が、入力導波路と第１スラブ導波路)との間に設けら
れている。入力導波路から第１スラブ導波路へ向かう光
の電界強度分布は第１部分により一旦拡げられるが、逆
に第２部分により該伝搬光の電界強度分布の拡がりは制
限されるため、該電界強度分布の変化は導波路幅の変化
に影響されにくくなり、結果的に微細加工の要求精度が
緩和されるという効果がある。
【図１】この発明に係る光合分波器の構成を示す平面図
である。
である。
【図２】この発明に係る光合分波器の第１実施形態とし
て主に光入力部分における導波路構造を示す平面図であ
る。
て主に光入力部分における導波路構造を示す平面図であ
る。
【図３】図１中に示された線Ｉ−Ｉに沿った当該光合分
波器の断面構造を示す図である。
波器の断面構造を示す図である。
【図４】自由伝搬領域の形状の一例を説明するための図
である。
である。
【図５】この発明に係る光合分波器の第１実施形態とし
て製造されたサンプル（ａ）及び比較例として製造され
たサンプル（ｂ）それぞれの、光入力部分の導波路構造
を示す平面図である。
て製造されたサンプル（ａ）及び比較例として製造され
たサンプル（ｂ）それぞれの、光入力部分の導波路構造
を示す平面図である。
【図６】図５（ａ）に示された導波路構造を有する第１
実施形態に係る光合分波器の損失スペクトルである。
実施形態に係る光合分波器の損失スペクトルである。
【図７】図５（ｂ）に示された導波路構造を有する比較
例である光合分波器の損失スペクトルである。
例である光合分波器の損失スペクトルである。
【図８】導波路の幅（コア幅）やコアとクラッドの比屈
折率差の違いによる製造プロセスにおける加工誤差の影
響度の違いを説明するためのグラフである。
折率差の違いによる製造プロセスにおける加工誤差の影
響度の違いを説明するためのグラフである。
【図９】第１実施形態に係る光合分波器と従来の光合分
波器のそれぞれについて、透過波長特性への加工誤差の
影響度（測定結果）を示すグラフである。
波器のそれぞれについて、透過波長特性への加工誤差の
影響度（測定結果）を示すグラフである。
【図１０】この発明に係る光合分波器における作用を説
明するための図である。
明するための図である。
【図１１】この発明に係る光合分波器の第２実施形態と
して主に光入力部分における導波路構造を示す平面図で
ある。
して主に光入力部分における導波路構造を示す平面図で
ある。
【図１２】第１従来例に係るＡＷＧ回路の一部及び電界
強度分布を立体的に示す図である。
強度分布を立体的に示す図である。
【図１３】第２従来例に係るＡＷＧ回路の一部及び電界
強度分布を立体的に示す図である。
強度分布を立体的に示す図である。
１００…ＡＷＧ回路（光合分波器）、１１０…入力導波
路、１２０…入力側スラブ導波路、１３０…チャネル導
波路、１４０…出力側スラブ導波路、１６０…自由伝搬
領域、１６０ａ…自由伝搬領域の光入力端面（第１部分
の光入力端面に一致）、１６０ｂ…自由伝搬領域の光出
力端面（第２部分の光出力端面及び第２スラブ導波路の
光入力端面に一致）、１６１…第１部分、１６２…第２
部分、１７０…マルチモード干渉型カプラ。
路、１２０…入力側スラブ導波路、１３０…チャネル導
波路、１４０…出力側スラブ導波路、１６０…自由伝搬
領域、１６０ａ…自由伝搬領域の光入力端面（第１部分
の光入力端面に一致）、１６０ｂ…自由伝搬領域の光出
力端面（第２部分の光出力端面及び第２スラブ導波路の
光入力端面に一致）、１６１…第１部分、１６２…第２
部分、１７０…マルチモード干渉型カプラ。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年３月７日（２００１．３．７）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項８
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２０】（第１実施形態）図２は、この発明に係る
光合分波器の第１実施形態における光入力部分（図１の
光入力部分に相当）の導波路構成を示す平面図である。
この第１実施形態に係る光合分波器において、自由伝搬
領域１６０は、入力導波路１１０中を伝搬してきた光の
基底モードの一部を高次モードに結合するための導波路
として機能する。また、自由伝搬領域１６０は、入力導
波路１１０を伝搬してきた光の電界強度分布を拡げるた
めの第１部分１６１と、この第１部分を伝搬してきた光
の電界強度分布の拡がりを制限するための第２部分１６
２により構成されている。
光合分波器の第１実施形態における光入力部分（図１の
光入力部分に相当）の導波路構成を示す平面図である。
この第１実施形態に係る光合分波器において、自由伝搬
領域１６０は、入力導波路１１０中を伝搬してきた光の
基底モードの一部を高次モードに結合するための導波路
として機能する。また、自由伝搬領域１６０は、入力導
波路１１０を伝搬してきた光の電界強度分布を拡げるた
めの第１部分１６１と、この第１部分を伝搬してきた光
の電界強度分布の拡がりを制限するための第２部分１６
２により構成されている。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００３８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００３８】図９に示された測定結果からも分かるよう
に、グラフＧ２００と比較してグラフＧ１００の方がよ
り平坦な範囲が広く、すなわち製造トレランスが高いこ
とは明らかである。
に、グラフＧ２００と比較してグラフＧ１００の方がよ
り平坦な範囲が広く、すなわち製造トレランスが高いこ
とは明らかである。
【手続補正４】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４０
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４０】一方、第１実施形態に係るＡＷＧ回路で
は、図１０（ｂ）に示されたように、入力導波路１１０
を伝搬した光の電界強度分布は、自由伝搬領域１６０の
第１部分１６１において一旦拡がるものの、第２部分１
６２においてその拡がりが制限されている。このよう
に、第２部分ではもともと伝搬光の電界強度分布の変動
が起こり難くなっているので、導波路幅の誤差変動の影
響は受けにくい。このことからも、この発明に係る光合
分波器によれば、従来技術よりも遥かに微細加工等の要
求精度が緩和されることが分かる。
は、図１０（ｂ）に示されたように、入力導波路１１０
を伝搬した光の電界強度分布は、自由伝搬領域１６０の
第１部分１６１において一旦拡がるものの、第２部分１
６２においてその拡がりが制限されている。このよう
に、第２部分ではもともと伝搬光の電界強度分布の変動
が起こり難くなっているので、導波路幅の誤差変動の影
響は受けにくい。このことからも、この発明に係る光合
分波器によれば、従来技術よりも遥かに微細加工等の要
求精度が緩和されることが分かる。
【手続補正５】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４１】（第２実施形態）次に、図１１は、この発
明に係る光合分波器の第２実施形態における光入力部分
（図１の光入力部分に相当）の導波路構成を示す平面図
である。
明に係る光合分波器の第２実施形態における光入力部分
（図１の光入力部分に相当）の導波路構成を示す平面図
である。
Claims (8)
- 【請求項１】 基板と、 前記基板上に設けられた、それぞれ所定のスラブ長を有
する第１及び第２スラブ導波路と、 前記基板上に設けられた導波路であって、前記第１スラ
ブ導波路内に光を導くための１又はそれ以上の入力導波
路と、 前記第２スラブ導波路の光出力端面にそれぞれの光入力
端が接続された状態で前記基板上に平面的に配列された
導波路であって、信号チャネルとして所定波長間隔ごと
に設定されたチャネル波長を有する信号それぞれに対応
して設けられた複数の出力導波路と、 前記入力導波路とともに前記第１スラブ導波路を挟むよ
うに該第１スラブ導波路の光出力端面にそれぞれの光入
力端が接続される一方、前記出力導波路とともに前記第
２スラブ導波路を挟むように該第２スラブ導波路の光入
力端面にそれぞれの光出力端が接続された状態で前記基
板上に平面的に配列された導波路であって、互いに長さ
の異なる複数のチャネル導波路と、 前記入力導波路と前記第１スラブ導波路との間に設けら
れた導波路であって、該入力導波路の光出力端から該第
１スラブ導波路の光入力端面に向かって幅が増加するよ
う所定の曲線に沿って伸びた側面を有する第１部分と、
該第１部分と該第１スラブ導波路との間に設けられかつ
該入力導波路よりも大きい幅を有する第２部分から構成
された自由伝搬領域とを備えた光合分波器。 - 【請求項２】 基板と、 前記基板上に設けられた、それぞれ所定のスラブ長を有
する第１及び第２スラブ導波路と、 前記基板上に設けられた導波路であって、前記第１スラ
ブ導波路内に光を導くための１又はそれ以上の入力導波
路と、 前記第２スラブ導波路の光出力端面にそれぞれの光入力
端が接続された状態で前記基板上に平面的に配列された
導波路であって、信号チャネルとして所定波長間隔ごと
に設定されたチャネル波長を有する信号それぞれに対応
して設けられた複数の出力導波路と、 前記入力導波路とともに前記第１スラブ導波路を挟むよ
うに該第１スラブ導波路の光出力端面にそれぞれの光入
力端が接続される一方、前記出力導波路とともに前記第
２スラブ導波路を挟むように該第２スラブ導波路の光入
力端面にそれぞれの光出力端が接続された状態で前記基
板上に平面的に配列された導波路であって、互いに長さ
の異なる複数のチャネル導波路と、 前記入力導波路と前記第１スラブ導波路との間に設けら
れかつ該入力導波路を伝搬してきた光の基底モードの一
部を高次モードに結合させるための導波路であって、回
折効果により該入力導波路の光出力端から前記第１スラ
ブ導波路の光入力端面に向かって伝搬する光の電界強度
分布を拡げるための第１部分と、該第１部分を通過した
光の電界強度分布の拡がりを制限するための第２部分か
ら構成された自由伝搬領域とを備える光合分波器。 - 【請求項３】 前記所定の曲線は、指数関数で表される
曲線であることを特徴とする請求項１記載の光合分波
器。 - 【請求項４】 前記基板表面に一致するｘ−ｚ座標系に
おいて、ｘ軸に平行な面である前記第１部分の光入力端
面及び光出力端面における各中心点（ｘs，ｚs）、（ｘ
e，ｚe）を通過する基準線Ｘｐ（ｚ）は、 【数１】 なる式で与えられ、前記第１部分のｘ軸に平行な幅ｗ
（ｚ）は、 【数２】 ｗs：前記第１部分の光入力端面の幅 ｗe：前記第１部分の光出力端面の幅 α ：指数係数 なる式で与えられ、前記第１部分の側面は、 【数３】 なる式で与えられる曲線に沿って伸びていることを特徴
とする請求項３記載の光合分波器。 - 【請求項５】 前記基板上に設けられた導波路に相当す
るコアと、該コアを覆うように該基板上に設けられたク
ラッドとの比屈折率差は１％以上であることを特徴とす
る請求項１〜４のいずれか一項記載の光合分波器。 - 【請求項６】 前記入力導波路、前記チャネル導波路、
前記出力導波路は、いずれも５．５μｍ以下の幅を有す
ることを特徴とする請求項１〜５のいずれか一項記載の
光合分波器。 - 【請求項７】 前記入力導波路の光出力端と前記自由伝
搬領域における第１部分の光入力端との間に設けられた
マルチモード干渉型カプラをさらに備えたことを特徴と
する請求項１〜６のいずれか一項記載の光合分波器。 - 【請求項８】 前記入力導波路の光出力端は、少なくと
も前記自由伝搬領域を介して前記第１スラブ導波路の光
入力端面から２．０μｍ以上離間していることを特徴と
する請求項１〜７記載の光合分波器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000278286A JP3735024B2 (ja) | 2000-09-13 | 2000-09-13 | 光合分波器 |
| US09/848,409 US6633703B2 (en) | 2000-09-13 | 2001-05-04 | Optical multiplexer/demultiplexer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000278286A JP3735024B2 (ja) | 2000-09-13 | 2000-09-13 | 光合分波器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002090561A true JP2002090561A (ja) | 2002-03-27 |
| JP3735024B2 JP3735024B2 (ja) | 2006-01-11 |
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ID=18763472
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000278286A Expired - Fee Related JP3735024B2 (ja) | 2000-09-13 | 2000-09-13 | 光合分波器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3735024B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2004061496A1 (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | アレイ導波路格子型光合分波回路 |
| US6836594B2 (en) | 2001-04-16 | 2004-12-28 | Nec Corporation | Array waveguide grating, array waveguide grating module, optical communication unit and optical communication system |
| WO2005114280A1 (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-01 | Nec Corporation | 光合分波器 |
| WO2006013805A1 (ja) * | 2004-08-02 | 2006-02-09 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | 平面光回路、波動伝搬回路の設計方法およびコンピュータプログラム |
| EP2015117A1 (en) * | 2007-07-13 | 2009-01-14 | Enablence USA Components Inc. | Ultra-Wide Band AWG Multiplexer |
| AT521010B1 (de) * | 2018-06-19 | 2019-10-15 | Fachhochschule Vorarlberg Gmbh | Arrayed Waveguide Grating |
-
2000
- 2000-09-13 JP JP2000278286A patent/JP3735024B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (17)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6836594B2 (en) | 2001-04-16 | 2004-12-28 | Nec Corporation | Array waveguide grating, array waveguide grating module, optical communication unit and optical communication system |
| US6928214B2 (en) | 2001-04-16 | 2005-08-09 | Nec Corporation | Array waveguide grating, array waveguide grating module, optical communication unit and optical communication system |
| US7400800B2 (en) | 2002-12-27 | 2008-07-15 | Ntt Electronics Corporation | Arrayed waveguide grating type optical multiplexer/demultiplexer circuit |
| WO2004061496A1 (ja) * | 2002-12-27 | 2004-07-22 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | アレイ導波路格子型光合分波回路 |
| WO2005114280A1 (ja) * | 2004-05-20 | 2005-12-01 | Nec Corporation | 光合分波器 |
| US8463097B2 (en) | 2004-08-02 | 2013-06-11 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Planar lightwave circuit, design method for wave propagation circuit, and computer program |
| JPWO2006013805A1 (ja) * | 2004-08-02 | 2008-05-01 | 日本電信電話株式会社 | 平面光回路、波動伝搬回路の設計方法およびコンピュータプログラム |
| KR100877132B1 (ko) * | 2004-08-02 | 2009-01-09 | 니폰덴신뎅와 가부시키가이샤 | 평면광회로, 파동전파회로의 설계방법 및 컴퓨터 프로그램 |
| US7856163B2 (en) | 2004-08-02 | 2010-12-21 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Planar lightwave circuit, design method for wave propagation circuit, and computer program |
| JP4773965B2 (ja) * | 2004-08-02 | 2011-09-14 | 日本電信電話株式会社 | 平面光回路、波動伝搬回路の設計方法およびコンピュータプログラム |
| WO2006013805A1 (ja) * | 2004-08-02 | 2006-02-09 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | 平面光回路、波動伝搬回路の設計方法およびコンピュータプログラム |
| US8538222B2 (en) | 2004-08-02 | 2013-09-17 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Planar lightwave circuit, design method for wave propagation circuit, and computer program |
| US8554040B2 (en) | 2004-08-02 | 2013-10-08 | Nippon Telegraph And Telephone Corporation | Planar lightwave circuit, design method for wave propagation circuit, and computer program |
| EP2015117A1 (en) * | 2007-07-13 | 2009-01-14 | Enablence USA Components Inc. | Ultra-Wide Band AWG Multiplexer |
| US7840104B2 (en) | 2007-07-13 | 2010-11-23 | Enablence USA Components, Inc. | Ultra-wide band AWG multiplexer |
| AT521010B1 (de) * | 2018-06-19 | 2019-10-15 | Fachhochschule Vorarlberg Gmbh | Arrayed Waveguide Grating |
| AT521010A4 (de) * | 2018-06-19 | 2019-10-15 | Fachhochschule Vorarlberg Gmbh | Arrayed Waveguide Grating |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| Date | Code | Title | Description |
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| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20051020 |
|
| R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20091028 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20101028 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20111028 Year of fee payment: 6 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20121028 Year of fee payment: 7 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20131028 Year of fee payment: 8 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
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