JP2002090305A - 表面欠陥検査装置 - Google Patents
表面欠陥検査装置Info
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- JP2002090305A JP2002090305A JP2000284238A JP2000284238A JP2002090305A JP 2002090305 A JP2002090305 A JP 2002090305A JP 2000284238 A JP2000284238 A JP 2000284238A JP 2000284238 A JP2000284238 A JP 2000284238A JP 2002090305 A JP2002090305 A JP 2002090305A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】被検査体の両面に現れるような程度の悪い欠陥
の種別、程度を高い精度で判定する。 【解決手段】被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方
向位置及び長手方向位置の両方が所定の範囲内に入って
いる場合、表裏両面の疵は同一疵と判定し、同一疵と判
定された二つの疵の特徴量を統合することによって疵の
種別及び程度の少なくとも一方を判定する判定部１７を
具備する。
の種別、程度を高い精度で判定する。 【解決手段】被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方
向位置及び長手方向位置の両方が所定の範囲内に入って
いる場合、表裏両面の疵は同一疵と判定し、同一疵と判
定された二つの疵の特徴量を統合することによって疵の
種別及び程度の少なくとも一方を判定する判定部１７を
具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、鋼板やアルミニウ
ム等の比較的厚さが薄い被検査体表面の欠陥を検出する
表面検査装置に関する。
ム等の比較的厚さが薄い被検査体表面の欠陥を検出する
表面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】鋼板やアルミニウム等の比較的厚さが薄
い薄板に対してプレスやメッキを行う場合、その処理前
に表面欠陥検査装置により薄板表面の疵の検査を行う。
図７に従来の表面欠陥検査装置の概略構成を示す。
い薄板に対してプレスやメッキを行う場合、その処理前
に表面欠陥検査装置により薄板表面の疵の検査を行う。
図７に従来の表面欠陥検査装置の概略構成を示す。
【０００３】図７に示すように、被検査体１０の表面に
画像入力部１１（１１ａ，１１ｂ）が設置されている。
画像入力部１１は、ＣＣＤカメラやフォトマル（光電子
増倍管）等の画像入力手段と、画像入力手段に被検査体
表面からの光を導くためのレンズ、ミラーや光学的な補
正を行うためのフィルタから構成されている。
画像入力部１１（１１ａ，１１ｂ）が設置されている。
画像入力部１１は、ＣＣＤカメラやフォトマル（光電子
増倍管）等の画像入力手段と、画像入力手段に被検査体
表面からの光を導くためのレンズ、ミラーや光学的な補
正を行うためのフィルタから構成されている。
【０００４】画像入力部１１は、画像処理部１２に接続
されている。画像処理部１２は、画像入力部からの電気
信号を増幅する増幅器、電気的ノイズをカットするフィ
ルタ、画像入力部からのアナログ出力をデジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換器などの入力手段、入力された信号
に対して地合の影響を除くためのシェーディング補正な
ど各種補正処理や空間フィルタなどの前処理部分、得ら
れた画像から２値以上にクラス分けするｎ値化や所定の
しきい値により疵候補を抽出する処理部から構成されて
いる。
されている。画像処理部１２は、画像入力部からの電気
信号を増幅する増幅器、電気的ノイズをカットするフィ
ルタ、画像入力部からのアナログ出力をデジタル信号に
変換するＡ／Ｄ変換器などの入力手段、入力された信号
に対して地合の影響を除くためのシェーディング補正な
ど各種補正処理や空間フィルタなどの前処理部分、得ら
れた画像から２値以上にクラス分けするｎ値化や所定の
しきい値により疵候補を抽出する処理部から構成されて
いる。
【０００５】画像処理部１２が、画像処理部１２で得ら
れた疵候補の長さや幅、面積、被検査体基準線から長手
方向の距離、被検査体基準端部からの幅方向の距離など
の特徴量を演算する特徴量演算部１３に接続されてい
る。特徴量演算部１３は、疵種別判定部１４及び疵程度
判定部１５に接続されている。疵種別判定部１４は、特
徴量演算部１３で得られた疵候補の特徴量から所定のア
ルゴリズムにしたがって疵種別を判定する。また、疵種
別判定部１４は、疵程度判定部１５に接続されている。
疵程度判定部１５は、特徴量演算部１３で得られた疵の
特徴量及び疵種別判定部１４で判定された疵種別から、
疵の程度を判定する。
れた疵候補の長さや幅、面積、被検査体基準線から長手
方向の距離、被検査体基準端部からの幅方向の距離など
の特徴量を演算する特徴量演算部１３に接続されてい
る。特徴量演算部１３は、疵種別判定部１４及び疵程度
判定部１５に接続されている。疵種別判定部１４は、特
徴量演算部１３で得られた疵候補の特徴量から所定のア
ルゴリズムにしたがって疵種別を判定する。また、疵種
別判定部１４は、疵程度判定部１５に接続されている。
疵程度判定部１５は、特徴量演算部１３で得られた疵の
特徴量及び疵種別判定部１４で判定された疵種別から、
疵の程度を判定する。
【０００６】疵種別判定部１４及び疵程度判定部１５
が、疵種別及び疵程度をＣＲＴなどのモニタ、プリン
タ、ランプ、ブザーなどのアナンシエータに出力する結
果出力部１８に接続されている。
が、疵種別及び疵程度をＣＲＴなどのモニタ、プリン
タ、ランプ、ブザーなどのアナンシエータに出力する結
果出力部１８に接続されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の表面欠
陥検査装置では、片面単位で検査をおこなうのが一般的
であり、両面の検査をおこなう場合には検査装置をそれ
ぞれの面に設置することでおこなっている。
陥検査装置では、片面単位で検査をおこなうのが一般的
であり、両面の検査をおこなう場合には検査装置をそれ
ぞれの面に設置することでおこなっている。
【０００８】ところで、鋼板やアルミニウム等の比較的
厚さが薄い被検査体の場合、程度の極めて悪い疵は両面
に現れるのが一般的である。ところが、従来の表面検査
装置では、片面単位で検査しているので、疵程度が悪く
正確に検出を行わなければならない疵であるにもかかわ
らず、疵の種別や程度を正確に判定できない場合があっ
た。
厚さが薄い被検査体の場合、程度の極めて悪い疵は両面
に現れるのが一般的である。ところが、従来の表面検査
装置では、片面単位で検査しているので、疵程度が悪く
正確に検出を行わなければならない疵であるにもかかわ
らず、疵の種別や程度を正確に判定できない場合があっ
た。
【０００９】また一方、鋼板に汚れや処理ムラなどが生
じた場合は、程度の軽い疵であるにもかかわらず、疵の
面積が大きいため程度の悪い疵として誤判定してしまう
場合があった。
じた場合は、程度の軽い疵であるにもかかわらず、疵の
面積が大きいため程度の悪い疵として誤判定してしまう
場合があった。
【００１０】本発明の目的は、被検査体の両面に現れる
ような程度の悪い欠陥の種別、程度を高い精度で判定す
ることができる表面欠陥検査方法を提供することにあ
る。
ような程度の悪い欠陥の種別、程度を高い精度で判定す
ることができる表面欠陥検査方法を提供することにあ
る。
【００１１】また、本発明の別の目的は、程度の軽い欠
陥を程度の悪い欠陥と誤判定することを防ぐことができ
る表面欠陥検査方法を提供することにある。
陥を程度の悪い欠陥と誤判定することを防ぐことができ
る表面欠陥検査方法を提供することにある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】［構成］本発明は、上記
目的を達成するために以下のように構成されている。 （１）本発明（請求項１）に係わる表面欠陥装置は、被
検査体の表裏両面をそれぞれ検査する疵検査部と、この
疵検査部の表裏両面の検出信号に基づいて疵を評価する
判定部とを具備してなることを特徴とする。
目的を達成するために以下のように構成されている。 （１）本発明（請求項１）に係わる表面欠陥装置は、被
検査体の表裏両面をそれぞれ検査する疵検査部と、この
疵検査部の表裏両面の検出信号に基づいて疵を評価する
判定部とを具備してなることを特徴とする。
【００１３】（２）本発明（請求項２）は、被検査体の
表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さな
ど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な
特徴量の内少なくとも一つ以上の特徴量を検出し、該特
徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する
表面欠陥検査装置において、前記被検査体の表裏両面に
検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所
定の範囲内に入っている場合、表裏両面の疵は同一疵と
判定し、表裏両面に検出された疵の検査情報に基づいて
検出された疵を評価する判定部を具備することを特徴と
する。
表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さな
ど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な
特徴量の内少なくとも一つ以上の特徴量を検出し、該特
徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する
表面欠陥検査装置において、前記被検査体の表裏両面に
検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所
定の範囲内に入っている場合、表裏両面の疵は同一疵と
判定し、表裏両面に検出された疵の検査情報に基づいて
検出された疵を評価する判定部を具備することを特徴と
する。
【００１４】（３）本発明（請求項３）は、被検査体の
表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さな
ど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な
特徴量の内少なくとも一つ以上の特徴量を検出し、該特
徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する
表面欠陥検査装置において、前記被検査体の表裏両面に
検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所
定の範囲内に入っている場合、表裏両面の疵は同一疵と
判定し、同一疵と判定された二つの疵の特徴量を統合す
ることによって疵の種別及び程度の少なくとも一方を判
定する判定部を具備することを特徴とする。
表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さな
ど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な
特徴量の内少なくとも一つ以上の特徴量を検出し、該特
徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する
表面欠陥検査装置において、前記被検査体の表裏両面に
検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所
定の範囲内に入っている場合、表裏両面の疵は同一疵と
判定し、同一疵と判定された二つの疵の特徴量を統合す
ることによって疵の種別及び程度の少なくとも一方を判
定する判定部を具備することを特徴とする。
【００１５】（４）本発明（請求項４）は、被検査体の
表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さな
ど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な
特徴量の内少なくとも一つ以上の特徴量を検出し、該特
徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する
表面欠陥検査装置において、検出された疵の種別及び程
度の少なくとも一方と、前記被検査体の表裏両面の疵の
分布とに基づいて、疵の種別及び程度の少なくとも一方
を判定する判定部を具備することを特徴とする。
表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さな
ど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な
特徴量の内少なくとも一つ以上の特徴量を検出し、該特
徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する
表面欠陥検査装置において、検出された疵の種別及び程
度の少なくとも一方と、前記被検査体の表裏両面の疵の
分布とに基づいて、疵の種別及び程度の少なくとも一方
を判定する判定部を具備することを特徴とする。
【００１６】（５）本発明（請求項５）は、被検査体の
表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さな
ど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な
特徴量の内一つ以上の特徴量を検出し、該特徴量から疵
の種別及び程度の少なくとも一方を判定する表面欠陥検
査装置において、前記被検査体の表裏両面に検出された
疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所定値内の場
合に、表裏の疵は同一疵と判定し、同一疵と判定された
二つの疵の種別及び程度の少なくとも一方から、疵の種
別及び程度の少なくとも一方を判定する判定部を具備す
ることを特徴とする。
表裏の表面を検査し、その検出信号から疵の幅、長さな
ど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性的な
特徴量の内一つ以上の特徴量を検出し、該特徴量から疵
の種別及び程度の少なくとも一方を判定する表面欠陥検
査装置において、前記被検査体の表裏両面に検出された
疵の幅方向位置及び長手方向位置の両方が所定値内の場
合に、表裏の疵は同一疵と判定し、同一疵と判定された
二つの疵の種別及び程度の少なくとも一方から、疵の種
別及び程度の少なくとも一方を判定する判定部を具備す
ることを特徴とする。
【００１７】（６）本発明（請求項６）は、被検査体の
表裏の表面欠陥を検査し、その検出信号から疵の幅、長
さなど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性
的な特徴量の内一つ以上の特徴量を検出し、該特徴量か
ら疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する表面欠
陥検査装置において、前記被検査体の表裏の一方の面に
疵を検出した場合、検出された疵の幅方向位置及び長手
方向位置に対して、所定範囲内に他方の面に疵が検出さ
れなければ、一方の面で検出された疵の種別及び程度の
少なくとも一方を再判定する判定部を具備することを特
徴とする。
表裏の表面欠陥を検査し、その検出信号から疵の幅、長
さなど物理的な特徴量、及び該信号のピーク値など物性
的な特徴量の内一つ以上の特徴量を検出し、該特徴量か
ら疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する表面欠
陥検査装置において、前記被検査体の表裏の一方の面に
疵を検出した場合、検出された疵の幅方向位置及び長手
方向位置に対して、所定範囲内に他方の面に疵が検出さ
れなければ、一方の面で検出された疵の種別及び程度の
少なくとも一方を再判定する判定部を具備することを特
徴とする。
【００１８】［作用］本発明は、上記構成によって以下
の作用・効果を有する。
の作用・効果を有する。
【００１９】薄板の場合、疵は表裏両面に現れるので、
同一疵と判定した疵の特徴量を統合することによって、
被検査体の疵の種別、程度の判定を高精度化することが
できる。
同一疵と判定した疵の特徴量を統合することによって、
被検査体の疵の種別、程度の判定を高精度化することが
できる。
【００２０】また、表裏の疵の分布と、疵の種別及び程
度の少なくとも一方とから、疵の種別、程度の判定を高
精度化することができる。
度の少なくとも一方とから、疵の種別、程度の判定を高
精度化することができる。
【００２１】また、同一疵と判定された疵の種別及び程
度の少なくとも一方から、被検査体内部の疵の種別及び
程度の少なくとも一方を推定することができ、被検査体
の疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
度の少なくとも一方から、被検査体内部の疵の種別及び
程度の少なくとも一方を推定することができ、被検査体
の疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
【００２２】また、程度の悪い疵は、表裏両面に欠陥が
現れるので、検出された疵の位置から所定範囲内に他方
の面に疵が検出されなかったときに、検出された疵を再
判定することで、程度の軽い欠陥を程度の悪い欠陥と誤
判定することがない。例えば、一方の面に程度の悪いと
判定された疵があった場合、裏面に疵が無ければその判
定は誤りであるということが分かる。
現れるので、検出された疵の位置から所定範囲内に他方
の面に疵が検出されなかったときに、検出された疵を再
判定することで、程度の軽い欠陥を程度の悪い欠陥と誤
判定することがない。例えば、一方の面に程度の悪いと
判定された疵があった場合、裏面に疵が無ければその判
定は誤りであるということが分かる。
【００２３】
【発明の実施の形態】本発明の実施の形態を以下に図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００２４】［第１実施形態］図１は、本発明の一実施
形態に係わる表面欠陥検査装置の概略構成を示す図であ
る。図１に示すように、鋼板やアルミニウム等の比較的
厚さが薄い被検査体１０の表面側及び裏面側にそれぞれ
画像入力部１１（１１ａ，１１ｂ）が設置されている。
画像入力部１１は、ＣＣＤカメラやフォトマル（光電子
増倍管）等の画像入力手段と、画像入力手段に被検査体
表面からの光を導くためのレンズ、ミラーや光学的な補
正を行うためのフィルタから構成されている。
形態に係わる表面欠陥検査装置の概略構成を示す図であ
る。図１に示すように、鋼板やアルミニウム等の比較的
厚さが薄い被検査体１０の表面側及び裏面側にそれぞれ
画像入力部１１（１１ａ，１１ｂ）が設置されている。
画像入力部１１は、ＣＣＤカメラやフォトマル（光電子
増倍管）等の画像入力手段と、画像入力手段に被検査体
表面からの光を導くためのレンズ、ミラーや光学的な補
正を行うためのフィルタから構成されている。
【００２５】それぞれの画像入力部１１は、画像処理部
１２（１２ａ，１２ｂ）に接続されている。画像処理部
１２は、画像入力部からの電気信号を増幅する増幅器、
電気的ノイズをカットするフィルタ、画像入力部からの
アナログ出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器な
どの入力手段、入力された信号に対して地合の影響を除
くためのシェーディング補正など各種補正処理や空間フ
ィルタなどの前処理部分、得られた画像から２値以上に
クラス分けするｎ値化や所定のしきい値により疵候補を
抽出する処理部から構成されている。
１２（１２ａ，１２ｂ）に接続されている。画像処理部
１２は、画像入力部からの電気信号を増幅する増幅器、
電気的ノイズをカットするフィルタ、画像入力部からの
アナログ出力をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器な
どの入力手段、入力された信号に対して地合の影響を除
くためのシェーディング補正など各種補正処理や空間フ
ィルタなどの前処理部分、得られた画像から２値以上に
クラス分けするｎ値化や所定のしきい値により疵候補を
抽出する処理部から構成されている。
【００２６】画像処理部１２が、画像処理部１２で得ら
れた疵候補の長さや幅、面積、被検査体基準線から長手
方向の距離、被検査体基準端部からの幅方向の距離など
の特徴量を演算する特徴量演算部１３（１３ａ，１３
ｂ）に接続されている。
れた疵候補の長さや幅、面積、被検査体基準線から長手
方向の距離、被検査体基準端部からの幅方向の距離など
の特徴量を演算する特徴量演算部１３（１３ａ，１３
ｂ）に接続されている。
【００２７】記憶部１６が、特徴量演算部１３に接続さ
れている。記憶部１６は、疵候補の長さや幅、面積、被
検査体基準線から長手方向の距離、被検査体基準端部か
らの幅方向の距離等の特徴量、並びに疵の種別及び程度
を記憶する。
れている。記憶部１６は、疵候補の長さや幅、面積、被
検査体基準線から長手方向の距離、被検査体基準端部か
らの幅方向の距離等の特徴量、並びに疵の種別及び程度
を記憶する。
【００２８】判定部１７が、記憶部１６に接続されてい
る。判定部１７は、被検査体基準線から長手方向の距
離、被検査体基準端部からの幅方向の距離から疵の同一
性の判定を行うと共に、同一と判定された疵の特徴量を
統合する。
る。判定部１７は、被検査体基準線から長手方向の距
離、被検査体基準端部からの幅方向の距離から疵の同一
性の判定を行うと共に、同一と判定された疵の特徴量を
統合する。
【００２９】疵種別判定部１４及び疵程度判定部１５が
判定部１７に接続されている。疵種別判定部１４は、判
定部１７で同一と判定された疵の特徴量から、所定のア
ルゴリズムにしたがって疵種別を判定する。また、疵種
別判定部１４は、疵程度判定部１５に接続されている。
疵程度判定部１５は、判定部１７で同一と判定された疵
の特徴量、及び疵種別判定部１４で判定された疵種別か
ら、疵の程度を判定する。
判定部１７に接続されている。疵種別判定部１４は、判
定部１７で同一と判定された疵の特徴量から、所定のア
ルゴリズムにしたがって疵種別を判定する。また、疵種
別判定部１４は、疵程度判定部１５に接続されている。
疵程度判定部１５は、判定部１７で同一と判定された疵
の特徴量、及び疵種別判定部１４で判定された疵種別か
ら、疵の程度を判定する。
【００３０】判定部１７が、判定された結果をＣＲＴな
どのモニタ、プリンタ、ランプ、ブザーなどのアナンシ
エータに出力する結果出力部１８に接続されている。
どのモニタ、プリンタ、ランプ、ブザーなどのアナンシ
エータに出力する結果出力部１８に接続されている。
【００３１】次に、画像入力部１１，画像処理部１２，
特徴量演算部１３，従来装置と同様なので説明を省略
し、本装置の判定部１７の動作について説明する。ここ
では、図２に示すような、疵が被検査体にあった場合を
用いて説明する。
特徴量演算部１３，従来装置と同様なので説明を省略
し、本装置の判定部１７の動作について説明する。ここ
では、図２に示すような、疵が被検査体にあった場合を
用いて説明する。
【００３２】記憶部１６に格納された、被検査体表面１
０ａに存在する疵２１の被検査体の基準線からの長手方
向の距離をＬｔ、被検査体裏面１０ｂに存在する疵２２
の被検査体基準線からの長手方向の距離をＬb、疵２
１，２２の被検査体基準端からの幅方向の距離をそれぞ
れＷt，Ｗbとする。
０ａに存在する疵２１の被検査体の基準線からの長手方
向の距離をＬｔ、被検査体裏面１０ｂに存在する疵２２
の被検査体基準線からの長手方向の距離をＬb、疵２
１，２２の被検査体基準端からの幅方向の距離をそれぞ
れＷt，Ｗbとする。
【００３３】そして、判定部１７は、 ｜Ｌt−Ｌb｜≦Ｌs， ｜Ｗt−Ｗb｜≦Ｗs （Ｌs，Ｗsは任意の設定値）が成り立つとき、疵２１と
疵２２とが同一の疵であると判定する。
疵２２とが同一の疵であると判定する。
【００３４】次に、同一な疵と判定した疵に対して、例
えば疵長さとして長い方を採用する、又はまたは表裏面
のＯＲをとり合成された幅、長さを採用するなどして疵
の特徴量を統合する。そして、疵疵種別判定部１４及び
疵程度判定部１５により、同一と判定された疵の統合さ
れた特徴量から、疵の疵種・等級を決定する。
えば疵長さとして長い方を採用する、又はまたは表裏面
のＯＲをとり合成された幅、長さを採用するなどして疵
の特徴量を統合する。そして、疵疵種別判定部１４及び
疵程度判定部１５により、同一と判定された疵の統合さ
れた特徴量から、疵の疵種・等級を決定する。
【００３５】例えば、疵２１及び疵２２が、それぞれ
（長さ３，幅１）、（長さ１，幅１）であった場合、疵
２１及び疵２２を同一の疵として取り扱い、それぞれの
疵の長さ、幅の大きい値ほうを採用し同一の疵として取
り扱い、（長さ３，幅１）の疵として取り扱う。
（長さ３，幅１）、（長さ１，幅１）であった場合、疵
２１及び疵２２を同一の疵として取り扱い、それぞれの
疵の長さ、幅の大きい値ほうを採用し同一の疵として取
り扱い、（長さ３，幅１）の疵として取り扱う。
【００３６】裏面の疵が線状形態の疵（ヘゲなど）であ
り、そのうちの特にひどい部分が表面に現れた場合、表
面では点状形態の疵と認識する場合がある。一般的にヘ
ゲ疵（線状〜面状）は母材の疵なので極めて有害である
が、ドロスや異物付着などの点状疵は表面への付着物な
ので有害度は軽く判断される場合がある。
り、そのうちの特にひどい部分が表面に現れた場合、表
面では点状形態の疵と認識する場合がある。一般的にヘ
ゲ疵（線状〜面状）は母材の疵なので極めて有害である
が、ドロスや異物付着などの点状疵は表面への付着物な
ので有害度は軽く判断される場合がある。
【００３７】ここで表面保証の製品については表を重点
的に検査するが、表が点状疵と判断されると実際はヘゲ
であるにもかかわらず見逃してしまう場合がある。本発
明のように表裏の特徴量を統合して判定するとこのよう
な場合でも有害疵を見逃す危険が少なくなる。
的に検査するが、表が点状疵と判断されると実際はヘゲ
であるにもかかわらず見逃してしまう場合がある。本発
明のように表裏の特徴量を統合して判定するとこのよう
な場合でも有害疵を見逃す危険が少なくなる。
【００３８】［第２の実施形態］本実施形態では、第１
の実施形態に示した判定部と、異なる判定方法を用いた
判定方法について説明する。
の実施形態に示した判定部と、異なる判定方法を用いた
判定方法について説明する。
【００３９】図４は、本発明の第２の実施形態に係わる
表面欠陥検査装置の概略構成を示す構成図である。図４
において、図１と同一な部分には同一符号を付し、その
詳細な説明を省略する。図４に示す装置が、図１に示し
た装置と異なるのは、特徴量演算部１３は、疵種別判定
部１４（１４ａ，１４ｂ）及び疵程度判定部１５が、表
面及び裏面側に設けられた特徴量演算部１３（１３ａ，
１３ｂ）に接続されていることである。また、後述する
テーブル１９が、判定部１７に接続されている。
表面欠陥検査装置の概略構成を示す構成図である。図４
において、図１と同一な部分には同一符号を付し、その
詳細な説明を省略する。図４に示す装置が、図１に示し
た装置と異なるのは、特徴量演算部１３は、疵種別判定
部１４（１４ａ，１４ｂ）及び疵程度判定部１５が、表
面及び裏面側に設けられた特徴量演算部１３（１３ａ，
１３ｂ）に接続されていることである。また、後述する
テーブル１９が、判定部１７に接続されている。
【００４０】ここでは、図３に示すような、疵が被検査
体にあった場合を用いて説明する。疵の集合３１，３２
から所定の疵種別、程度のものを抽出し、検出面（表面
側，裏面側）に係わらず、物理的な位置で統合、再配置
し、その分布から所定のアルゴリズムに従って疵種別、
程度を判定する。具体的には、被検査材の検査面に関わ
らず、特徴量演算部１３で得られた特徴量から疵種別判
定部１４（１４ａ，１４ｂ）及び疵程度判定部１５（１
５ａ，１５ｂ）により疵の種別及び程度の少なくとも一
方を判定する。
体にあった場合を用いて説明する。疵の集合３１，３２
から所定の疵種別、程度のものを抽出し、検出面（表面
側，裏面側）に係わらず、物理的な位置で統合、再配置
し、その分布から所定のアルゴリズムに従って疵種別、
程度を判定する。具体的には、被検査材の検査面に関わ
らず、特徴量演算部１３で得られた特徴量から疵種別判
定部１４（１４ａ，１４ｂ）及び疵程度判定部１５（１
５ａ，１５ｂ）により疵の種別及び程度の少なくとも一
方を判定する。
【００４１】隣接する疵との距離が所定値以下である疵
の集合３１，３２から、それぞれ所定の疵種別、程度の
ものを抽出する。被検査材の検査面に関わらず、疵の種
別及び程度の少なくとも一方の情報が記載された分布図
を作成する。
の集合３１，３２から、それぞれ所定の疵種別、程度の
ものを抽出する。被検査材の検査面に関わらず、疵の種
別及び程度の少なくとも一方の情報が記載された分布図
を作成する。
【００４２】被検査体表面１０ａに存在する疵３１の被
検査体の基準線からの長手方向の距離をＬｔ、被検査体
裏面１０ｂに存在する疵集合３２の被検査体基準線から
の長手方向の距離をＬb、疵集合３１，３２の被検査体
基準端からの幅方向の距離をそれぞれＷt，Ｗbとする。
検査体の基準線からの長手方向の距離をＬｔ、被検査体
裏面１０ｂに存在する疵集合３２の被検査体基準線から
の長手方向の距離をＬb、疵集合３１，３２の被検査体
基準端からの幅方向の距離をそれぞれＷt，Ｗbとする。
【００４３】そして、判定部１７は、 ｜Ｌt−Ｌb｜≦Ｌs， ｜Ｗt−Ｗb｜≦Ｗs （Ｌs，Ｗsは任意の設定値）が成り立つとき、疵集合３
１と疵集合３２とが同一の疵集合であると判定する。
１と疵集合３２とが同一の疵集合であると判定する。
【００４４】次に、同一な疵集合と判定した疵集合に対
して、所定のアルゴリズムに従って、疵の種別、程度を
判定する。すなわち、同一疵と判定した疵２１，２２に
対して、それぞれの疵種別、程度からテーブル１９に格
納された所定のルールにより、被処理体内部の疵種別、
程度を再判定する。
して、所定のアルゴリズムに従って、疵の種別、程度を
判定する。すなわち、同一疵と判定した疵２１，２２に
対して、それぞれの疵種別、程度からテーブル１９に格
納された所定のルールにより、被処理体内部の疵種別、
程度を再判定する。
【００４５】次に、より具体的な例をあげて本実施形態
をより詳細に説明する。先ず、第１の例について説明す
る。酸洗ラインでは反応が過剰に進行すると“変色”と
呼ばれる過酸洗が発生する。これは次工程の冷間圧延で
圧延すると判別できなくなり無害である。しかし“変
色”はその名の通り黒っぽく色が変わっており部分的に
見ると“ヘゲ”や“汚れ”など有害欠陥と判定されてし
まう。“変色”は酸洗槽の広い範囲で発生するため本発
明のような疵の分布を考慮した判定を行えば“変色”の
判断が可能となる。また“変色”は表裏同時に発生する
ため、表裏両面の疵による判定を行えばより確実に“変
色”を判定できる。具体的には、例えば表裏のＮ1ｍ内
に“ヘゲ”または“汚れ”などがＮ2個以上あれば対象
疵を“変色”に変更する。
をより詳細に説明する。先ず、第１の例について説明す
る。酸洗ラインでは反応が過剰に進行すると“変色”と
呼ばれる過酸洗が発生する。これは次工程の冷間圧延で
圧延すると判別できなくなり無害である。しかし“変
色”はその名の通り黒っぽく色が変わっており部分的に
見ると“ヘゲ”や“汚れ”など有害欠陥と判定されてし
まう。“変色”は酸洗槽の広い範囲で発生するため本発
明のような疵の分布を考慮した判定を行えば“変色”の
判断が可能となる。また“変色”は表裏同時に発生する
ため、表裏両面の疵による判定を行えばより確実に“変
色”を判定できる。具体的には、例えば表裏のＮ1ｍ内
に“ヘゲ”または“汚れ”などがＮ2個以上あれば対象
疵を“変色”に変更する。
【００４６】次に、第２の例について説明する。例えば
圧延ロールに異物が付着すると、異物の一部が板に転写
され異物付着等の欠陥が生じる。一方、欠陥が転写され
た面の反対側の面にはこの異物に押し出される形で凸状
の疵が発生するが、圧延ロールの異物がとれるまで周期
的に疵が発生する。ＣＧＬラインなどではこのような凸
状の点状疵はドロスと判断するが、本発明を適用すれば
これは異物と判断可能となる。
圧延ロールに異物が付着すると、異物の一部が板に転写
され異物付着等の欠陥が生じる。一方、欠陥が転写され
た面の反対側の面にはこの異物に押し出される形で凸状
の疵が発生するが、圧延ロールの異物がとれるまで周期
的に疵が発生する。ＣＧＬラインなどではこのような凸
状の点状疵はドロスと判断するが、本発明を適用すれば
これは異物と判断可能となる。
【００４７】一般的に表面検査装置は判定閾値を超えた
信号のうち幅方向または長手方向に連続したものをひと
かたまりとして扱い、このかたまりの特徴量から疵種を
判定する。一方、疵の中にはそれぞれ独立した疵が一定
の範囲内に分布する場合があり、これらをひとまとまり
として疵種・等級を定義するものがある。
信号のうち幅方向または長手方向に連続したものをひと
かたまりとして扱い、このかたまりの特徴量から疵種を
判定する。一方、疵の中にはそれぞれ独立した疵が一定
の範囲内に分布する場合があり、これらをひとまとまり
として疵種・等級を定義するものがある。
【００４８】次に、第３の例について説明する。短い
（概ね１ｍｍ前後）スリ疵状のものを単独では“スクラ
ッチ”と呼ぶが、これは板と何かが接触してこすられて
発生する。“スクラッチ”は極めて小さい疵であるため
ブリキのような極薄板では有害であるが、冷延鋼板など
では単独の場合あまり問題とならない場合がある。しか
し、この“スクラッチ”がコイルの先端または尾端に密
集して発生すると、通常これはＰＯＲ（巻き戻しリー
ル）で板と板が接触して発生する“ヒッキマーク”と呼
ばれる疵となる。
（概ね１ｍｍ前後）スリ疵状のものを単独では“スクラ
ッチ”と呼ぶが、これは板と何かが接触してこすられて
発生する。“スクラッチ”は極めて小さい疵であるため
ブリキのような極薄板では有害であるが、冷延鋼板など
では単独の場合あまり問題とならない場合がある。しか
し、この“スクラッチ”がコイルの先端または尾端に密
集して発生すると、通常これはＰＯＲ（巻き戻しリー
ル）で板と板が接触して発生する“ヒッキマーク”と呼
ばれる疵となる。
【００４９】“スクラッチ”は概ね上流工程での疵であ
るが、“ヒッキマーク”は自ラインでの機械または制御
設備の不具合によるものであるので疵種を正確に当てる
ことはトラブルの早期発見に役立つ。本発明のような疵
の位置情報、分布などから疵種を判定すれば“スクラッ
チ”と“ヒッキマーク”とを区別して判定することが可
能となる。
るが、“ヒッキマーク”は自ラインでの機械または制御
設備の不具合によるものであるので疵種を正確に当てる
ことはトラブルの早期発見に役立つ。本発明のような疵
の位置情報、分布などから疵種を判定すれば“スクラッ
チ”と“ヒッキマーク”とを区別して判定することが可
能となる。
【００５０】具体的にはコイルの先端Ｎ1ｍまたは尾端
Ｎ2ｍ内にＮ3個以上の“スクラッチ”があればこれを
“ヒッキマーク”に変更する。等級は例えばＮ4個（Ｎ4
＞Ｎ3）以上検出すればＤ級、それ以下ならＣ級などと
判定する。なお、“スクラッチ”と“ヒッキマーク”と
を区別して判定する場合、あえて表裏両面の疵情報を統
合して判定する必要は無い。
Ｎ2ｍ内にＮ3個以上の“スクラッチ”があればこれを
“ヒッキマーク”に変更する。等級は例えばＮ4個（Ｎ4
＞Ｎ3）以上検出すればＤ級、それ以下ならＣ級などと
判定する。なお、“スクラッチ”と“ヒッキマーク”と
を区別して判定する場合、あえて表裏両面の疵情報を統
合して判定する必要は無い。
【００５１】［第３の実施形態］本実施形態では、第１
の実施形態に示した疵判定部と、異なる判定方法を用い
た判定方法について説明する。
の実施形態に示した疵判定部と、異なる判定方法を用い
た判定方法について説明する。
【００５２】図４は、本発明の第３実施形態に係わる表
面欠陥検査装置の概略構成を示す構成図である。図４に
おいて、図１と同一な部分には同一符号を付し、その詳
細な説明を省略する。図４に示す装置が、図１に示した
装置と異なるのは、特徴量演算部１３は、疵種別判定部
１４（１４ａ，１４ｂ）及び疵程度判定部１５が、表面
及び裏面側に設けられた特徴量演算部１３（１３ａ，１
３ｂ）に接続されていることである。また、後述するテ
ーブル１９が、判定部１７に接続されている。
面欠陥検査装置の概略構成を示す構成図である。図４に
おいて、図１と同一な部分には同一符号を付し、その詳
細な説明を省略する。図４に示す装置が、図１に示した
装置と異なるのは、特徴量演算部１３は、疵種別判定部
１４（１４ａ，１４ｂ）及び疵程度判定部１５が、表面
及び裏面側に設けられた特徴量演算部１３（１３ａ，１
３ｂ）に接続されていることである。また、後述するテ
ーブル１９が、判定部１７に接続されている。
【００５３】次に、本装置の動作を、図２に示すよう
な、疵が被検査体にあった場合を用いて説明する。それ
ぞれの、被検査材の検査面に関わらず、特徴量演算部１
３で得られた特徴量から疵種別判定部１４（１４ａ，１
４ｂ）及び疵程度判定部１５により疵の種別及び程度の
少なくとも一方を判定する。
な、疵が被検査体にあった場合を用いて説明する。それ
ぞれの、被検査材の検査面に関わらず、特徴量演算部１
３で得られた特徴量から疵種別判定部１４（１４ａ，１
４ｂ）及び疵程度判定部１５により疵の種別及び程度の
少なくとも一方を判定する。
【００５４】被検査体表面１０ａに存在する疵２１の被
検査体の基準線からの長手方向の距離をＬｔ、被検査体
裏面１０ｂに存在する疵２２の被検査体基準線からの長
手方向の距離をＬb、疵２１，２２の被検査体基準端か
らの幅方向の距離をそれぞれＷt，Ｗbとする。そして、
判定部１７は、 ｜Ｌt−Ｌb｜≦Ｌs， ｜Ｗt−Ｗb｜≦Ｗs （Ｌs，Ｗsは任意の設定値）が成り立つとき、疵２１と
疵２２とが同一の疵であると判定する。
検査体の基準線からの長手方向の距離をＬｔ、被検査体
裏面１０ｂに存在する疵２２の被検査体基準線からの長
手方向の距離をＬb、疵２１，２２の被検査体基準端か
らの幅方向の距離をそれぞれＷt，Ｗbとする。そして、
判定部１７は、 ｜Ｌt−Ｌb｜≦Ｌs， ｜Ｗt−Ｗb｜≦Ｗs （Ｌs，Ｗsは任意の設定値）が成り立つとき、疵２１と
疵２２とが同一の疵であると判定する。
【００５５】次に、判定部１７は、同一疵と判定した疵
２１，２２に対して、それぞれの疵種別、程度からテー
ブル１９に格納された所定のルールにより、被処理体内
部の疵種別、程度を再判定する。
２１，２２に対して、それぞれの疵種別、程度からテー
ブル１９に格納された所定のルールにより、被処理体内
部の疵種別、程度を再判定する。
【００５６】例えば、表面側の疵種及び程度がＡ，Ｄ
級、裏面側の疵種及び程度がＢ，Ｃ級であった場合に、
表１に示すようなテーブルを参照して、被処理対内部の
疵種及び程度がＡ，Ｄ級と判断することができる。
級、裏面側の疵種及び程度がＢ，Ｃ級であった場合に、
表１に示すようなテーブルを参照して、被処理対内部の
疵種及び程度がＡ，Ｄ級と判断することができる。
【００５７】
【表１】
【００５８】このようにすれば、疵２１と疵２２との両
方が共に程度の悪い疵であった場合、表裏共に程度が悪
いので疵部表面のみならず内部の品質の程度も悪いと推
定することができる。このようにして被検査体の疵の種
別、程度の判定を高精度化することができる。
方が共に程度の悪い疵であった場合、表裏共に程度が悪
いので疵部表面のみならず内部の品質の程度も悪いと推
定することができる。このようにして被検査体の疵の種
別、程度の判定を高精度化することができる。
【００５９】疵検査で例えばＡ〜Ｄ級にランク分けする
が、穴や大ヘゲなどをさらにひどい疵としてＥ級判定す
る場合がある。このＥ級の疵は、単に信号レベルが高い
とか面積が大きいなどでは判断できないが、例えば表裏
ともにＤ級以下であればＥ級である確率は高くなるの
で、このような場合を判断するのに有効である。
が、穴や大ヘゲなどをさらにひどい疵としてＥ級判定す
る場合がある。このＥ級の疵は、単に信号レベルが高い
とか面積が大きいなどでは判断できないが、例えば表裏
ともにＤ級以下であればＥ級である確率は高くなるの
で、このような場合を判断するのに有効である。
【００６０】あるいは片面が「ヘゲ」、「帯ヘゲ」、
「線ヘゲ」など比較的面積の広いヘゲ系欠陥と判定し、
反対面が点状欠陥である場合、これはヘゲの特にひどい
部分が反対面に現れたものである可能性が極めて高いた
め反対面の点状欠陥を「ヘゲ」として疵種別、程度を再
判定する。
「線ヘゲ」など比較的面積の広いヘゲ系欠陥と判定し、
反対面が点状欠陥である場合、これはヘゲの特にひどい
部分が反対面に現れたものである可能性が極めて高いた
め反対面の点状欠陥を「ヘゲ」として疵種別、程度を再
判定する。
【００６１】本実施形態は、表裏の疵を判定する方法と
しては、第１の実施形態で説明した方法が理想的であ
る。しかし、現実問題としては処理能力の問題等から本
発明の処理を使用しても、同等の効果が得られる。
しては、第１の実施形態で説明した方法が理想的であ
る。しかし、現実問題としては処理能力の問題等から本
発明の処理を使用しても、同等の効果が得られる。
【００６２】［第４の実施形態］本実施形態では、第
１，第２，及び第３の実施形態に示した疵判定部と、異
なる判定方法を用いた判定方法について説明する。
１，第２，及び第３の実施形態に示した疵判定部と、異
なる判定方法を用いた判定方法について説明する。
【００６３】図５は、本発明の第４実施形態に係わる表
面欠陥検査装置の概略構成を示す構成図である。図５に
おいて、図４と同一な部分には同一符号を付し、その詳
細な説明を省略する。ただし、判定部１７の動作は、図
４に示した装置と異なる本実施形態では、図６に示すよ
うな、疵が被検査体にあった場合の判定部１７の動作に
ついて説明する。被検査体表面１０ａに存在する疵５１
の被検査体基準位置からの長手方向の距離をＬt、被検
査体裏面１０ｂに存在する疵の被検査体基準位置からの
長手方向の距離をＬｂ、疵の被検査体基準部からの幅方
向の距離をそれぞれＷｔ、Ｗｂとする。そして、反対面
のＬt±Ｌs又はＷｔ±Ｗｓ（Ｌs，Ｗsは任意の設定値）
の少なくとも一つの条件を満足する範囲に所定の疵種
別、程度の疵が存在するか調べ、この有無により被検査
体表面１０ａの疵５１の疵種別、程度を再判定する。
面欠陥検査装置の概略構成を示す構成図である。図５に
おいて、図４と同一な部分には同一符号を付し、その詳
細な説明を省略する。ただし、判定部１７の動作は、図
４に示した装置と異なる本実施形態では、図６に示すよ
うな、疵が被検査体にあった場合の判定部１７の動作に
ついて説明する。被検査体表面１０ａに存在する疵５１
の被検査体基準位置からの長手方向の距離をＬt、被検
査体裏面１０ｂに存在する疵の被検査体基準位置からの
長手方向の距離をＬｂ、疵の被検査体基準部からの幅方
向の距離をそれぞれＷｔ、Ｗｂとする。そして、反対面
のＬt±Ｌs又はＷｔ±Ｗｓ（Ｌs，Ｗsは任意の設定値）
の少なくとも一つの条件を満足する範囲に所定の疵種
別、程度の疵が存在するか調べ、この有無により被検査
体表面１０ａの疵５１の疵種別、程度を再判定する。
【００６４】例えば、被検査体の片側の面のみに疵を検
出した場合には、誤検出であると判定する。このように
すれば、疵５１が何らかの要因により程度の悪い疵と判
定されても、反対面に所定の疵種別又は程度の疵が存在
しないとき、疵５１の疵種別、程度を再判定することが
できる。例えば、鋼板のエッジ部に「線状マーク」と呼
ばれるマークが発生することがあるがこれはほとんどの
場合無害である。しかし表面検査装置によってはこれを
「帯ヘゲ」と判定してしまうことがある。この場合、
「線状マーク」は連続して発生するため疵長さが長くな
り極めて有害な等級として判定されてしまう。このよう
なケースの場合、程度の悪い帯ヘゲであれば反対面にも
何らかの疵が現れるが、「線状マーク」の場合反対面に
も疵があるケースはまれである。
出した場合には、誤検出であると判定する。このように
すれば、疵５１が何らかの要因により程度の悪い疵と判
定されても、反対面に所定の疵種別又は程度の疵が存在
しないとき、疵５１の疵種別、程度を再判定することが
できる。例えば、鋼板のエッジ部に「線状マーク」と呼
ばれるマークが発生することがあるがこれはほとんどの
場合無害である。しかし表面検査装置によってはこれを
「帯ヘゲ」と判定してしまうことがある。この場合、
「線状マーク」は連続して発生するため疵長さが長くな
り極めて有害な等級として判定されてしまう。このよう
なケースの場合、程度の悪い帯ヘゲであれば反対面にも
何らかの疵が現れるが、「線状マーク」の場合反対面に
も疵があるケースはまれである。
【００６５】したがって本発明を適用すれば、例えば反
対面に疵がないので検出された疵は程度の軽い「帯ヘ
ゲ」または第２の実施形態に記載した処理（疵の分布に
よる判定）を利用して「線状マーク」に変更することが
可能となる。
対面に疵がないので検出された疵は程度の軽い「帯ヘ
ゲ」または第２の実施形態に記載した処理（疵の分布に
よる判定）を利用して「線状マーク」に変更することが
可能となる。
【００６６】なお、本発明は、上記実施形態に限定され
るものではない。例えば、光学手段による疵の検出装置
に限らず、磁気や渦電流を用いた探傷装置など、疵の種
別及び程度の少なくとも一方を判定可能なすべての装置
に本発明を適用することができる。その他、本発明の要
旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することが可
能である。
るものではない。例えば、光学手段による疵の検出装置
に限らず、磁気や渦電流を用いた探傷装置など、疵の種
別及び程度の少なくとも一方を判定可能なすべての装置
に本発明を適用することができる。その他、本発明の要
旨を逸脱しない範囲で、種々変形して実施することが可
能である。
【００６７】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、薄
板の場合、程度の悪い疵は表裏両面に現れるので、同一
疵と判定した疵の特徴量を統合することによって、被検
査体の疵の種別、程度の判定を高精度化することができ
る。
板の場合、程度の悪い疵は表裏両面に現れるので、同一
疵と判定した疵の特徴量を統合することによって、被検
査体の疵の種別、程度の判定を高精度化することができ
る。
【００６８】また、表裏の疵の分布と、疵の種別及び程
度の少なくとも一方と、疵の種別、程度の判定を高精度
化することができる。
度の少なくとも一方と、疵の種別、程度の判定を高精度
化することができる。
【００６９】また、同一疵と判定された疵の種別及び程
度の少なくとも一方から、被検査体内部の疵の種別及び
程度の少なくとも一方を推定することができ、被検査体
の疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
度の少なくとも一方から、被検査体内部の疵の種別及び
程度の少なくとも一方を推定することができ、被検査体
の疵の種別、程度の判定を高精度化することができる。
【００７０】また、程度の悪い疵は、表裏両面に欠陥が
現れるので、検出された疵の位置から所定範囲内に他方
の面に疵が検出されなかったときに、検出された疵を再
判定することで、程度の軽い欠陥を程度の悪い欠陥と誤
判定することがない。
現れるので、検出された疵の位置から所定範囲内に他方
の面に疵が検出されなかったときに、検出された疵を再
判定することで、程度の軽い欠陥を程度の悪い欠陥と誤
判定することがない。
【図１】第１の実施形態に係わる表面欠陥検査装置の概
略構成を示す図。
略構成を示す図。
【図２】第１の実施形態に係わる検査方法の説明に用い
た、被検査体の疵を示す図。
た、被検査体の疵を示す図。
【図３】第２の実施形態に係わる検査方法の説明に用い
た、被検査体の疵を示す図。
た、被検査体の疵を示す図。
【図４】第２及び３実施形態に係わる表面欠陥検査装置
の概略構成を示す図。
の概略構成を示す図。
【図５】第４実施形態に係わる表面欠陥検査装置の概略
構成を示す図。
構成を示す図。
【図６】第４の実施形態に係わる検査方法の説明に用い
た、被検査体の疵を示す図。
た、被検査体の疵を示す図。
【図７】従来の表面欠陥検査装置の概略構成を示す図。
１０…被検査体 １１…画像入力部 １２…画像処理部 １３…特徴量演算部 １４…疵種別判定部 １５…疵程度判定部 １６…記憶部 １７…判定部 １８…結果出力部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 陶山 恒夫 東京都千代田区丸の内一丁目１番２号 日 本鋼管株式会社内 Ｆターム(参考） 2G051 AA37 AB01 AB02 AB07 AC01 CA03 CA04 CA07 EA11 EA12 EA14 EB01 EB02 EC01 EC05 ED03 FA10
Claims (6)
- 【請求項１】被検査体の表裏両面をそれぞれ検査する疵
検査部と、 この疵検査部の表裏両面の検出信号に基づいて疵を評価
する判定部とを具備してなることを特徴とする表面欠陥
検査装置。 - 【請求項２】被検査体の表裏の表面を検査し、その検出
信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該信号
のピーク値など物性的な特徴量の内少なくとも一つ以上
の特徴量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少
なくとも一方を判定する表面欠陥検査装置において、 前記被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方向位置及
び長手方向位置の両方が所定の範囲内に入っている場
合、表裏両面の疵は同一疵と判定し、 表裏両面に検出された疵の検査情報に基づいて検出され
た疵を評価する判定部を具備することを特徴とする表面
欠陥検査装置。 - 【請求項３】被検査体の表裏の表面を検査し、その検出
信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該信号
のピーク値など物性的な特徴量の内少なくとも一つ以上
の特徴量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少
なくとも一方を判定する表面欠陥検査装置において、 前記被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方向位置及
び長手方向位置の両方が所定の範囲内に入っている場
合、表裏両面の疵は同一疵と判定し、同一疵と判定され
た二つの疵の特徴量を統合する判定部と、 この判定部で同一と判定された二つの疵の統合された特
徴量から疵の種別及び程度の少なくとも一方を判定する
疵種／疵程度判定部とを具備することを特徴とする表面
欠陥検査装置。 - 【請求項４】被検査体の表裏の表面を検査し、その検出
信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該信号
のピーク値など物性的な特徴量の内少なくとも一つ以上
の特徴量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少
なくとも一方を判定する表面欠陥検査装置において、 検出された疵の種別及び程度の少なくとも一方と、前記
被検査体の表裏両面の疵の分布とに基づいて、疵の種別
及び程度の少なくとも一方を判定する判定部を具備する
ことを特徴とする表面欠陥検査装置。 - 【請求項５】被検査体の表裏の表面を検査し、その検出
信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該信号
のピーク値など物性的な特徴量の内少なくとも一つ以上
の特徴量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少
なくとも一方を判定する表面欠陥検査装置において、 前記被検査体の表裏両面に検出された疵の幅方向位置及
び長手方向位置の両方が所定値内の場合に、表裏の疵は
同一疵と判定し、同一疵と判定された二つの疵の種別及
び程度の少なくとも一方から、疵の種別及び程度の少な
くとも一方を判定する判定部を具備することを特徴とす
る表面欠陥検査装置。 - 【請求項６】被検査体の表裏の表面欠陥を検査し、その
検出信号から疵の幅、長さなど物理的な特徴量、及び該
信号のピーク値など物性的な特徴量の内一つ以上の特徴
量を検出し、該特徴量から疵の種別及び程度の少なくと
も一方を判定する表面欠陥検査装置において、 前記被検査体の表裏の一方の面に疵が検出された場合、
検出された疵の幅方向位置及び長手方向位置から、所定
範囲内の他方の面に疵が検出されなければ、一方の面で
検出された疵の種別及び程度の少なくとも一方を再判定
する判定部を具備することを特徴とする表面欠陥検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000284238A JP3669256B2 (ja) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | 表面欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000284238A JP3669256B2 (ja) | 2000-09-19 | 2000-09-19 | 表面欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002090305A true JP2002090305A (ja) | 2002-03-27 |
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ID=18768491
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2000
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