JP2002086085A - 減圧洗浄乾燥装置 - Google Patents
減圧洗浄乾燥装置Info
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- JP2002086085A JP2002086085A JP2000281295A JP2000281295A JP2002086085A JP 2002086085 A JP2002086085 A JP 2002086085A JP 2000281295 A JP2000281295 A JP 2000281295A JP 2000281295 A JP2000281295 A JP 2000281295A JP 2002086085 A JP2002086085 A JP 2002086085A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来、金属の加工後に付着した油類を除去す
る減圧洗浄乾燥装置における、減圧容器外部から内部へ
貫通し往復動伝達する部位のシール手段としては、往復
動用のＯリングが用いられていたが、摩耗が激しく運転
中に減圧不良で中断したり、Ｏリングを頻繁に交換する
必要があった。これら欠点の排除が課題であった。 【解決手段】 減圧容器貫通部の往復動伝達を、回転動
力軸伝達としてシール性能を改善し、減圧容器内部に回
転動・直動変換手段を形成した。
る減圧洗浄乾燥装置における、減圧容器外部から内部へ
貫通し往復動伝達する部位のシール手段としては、往復
動用のＯリングが用いられていたが、摩耗が激しく運転
中に減圧不良で中断したり、Ｏリングを頻繁に交換する
必要があった。これら欠点の排除が課題であった。 【解決手段】 減圧容器貫通部の往復動伝達を、回転動
力軸伝達としてシール性能を改善し、減圧容器内部に回
転動・直動変換手段を形成した。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、金属材料等の機械
加工後に付着して汚れている油類を除去する洗浄乾燥装
置に関するもであり、とくに減圧タンクの内部と外部と
をシールして往復動する昇降シリンダのシール摩耗の改
善に関する。
加工後に付着して汚れている油類を除去する洗浄乾燥装
置に関するもであり、とくに減圧タンクの内部と外部と
をシールして往復動する昇降シリンダのシール摩耗の改
善に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来は、炭化水素系溶剤を使用して浸漬
洗浄をおこない、これを真空乾燥又は減圧乾燥させる装
置として、図４に示すようなものがあった。図４に於い
て、１は減圧容器であって浸漬洗浄室２と減圧乾燥室３
を結合一体化したものである。浸漬洗浄室２と減圧乾燥
室３との結合部４の近傍内壁に冷却パイプ２１が設けら
れている。減圧容器１は上部に密閉可能な蓋６が取り付
けられ、その近傍の排気管１１を介し真空ポンプ１０に
接続されている。減圧容器１の底部から補助タンク９が
バルブ８を介して排気管７で接続されている。ワークＷ
を昇降手段７０に積載して洗浄液面１５の下に浸漬させ
洗浄する。昇降手段は昇降シリンダ７１で、破線で示さ
れた上方位置まで上下動ができるので、ワークＷを洗浄
剤の中で上下に揺動させて洗浄することができ洗浄の
後、液面上に露出させて保ち、真空ポンプ１０によって
減圧して減圧乾燥ができる。７４は往復動用シール手段
でありＯリングが用いられていたが、摩耗が激しい欠点
があった。
洗浄をおこない、これを真空乾燥又は減圧乾燥させる装
置として、図４に示すようなものがあった。図４に於い
て、１は減圧容器であって浸漬洗浄室２と減圧乾燥室３
を結合一体化したものである。浸漬洗浄室２と減圧乾燥
室３との結合部４の近傍内壁に冷却パイプ２１が設けら
れている。減圧容器１は上部に密閉可能な蓋６が取り付
けられ、その近傍の排気管１１を介し真空ポンプ１０に
接続されている。減圧容器１の底部から補助タンク９が
バルブ８を介して排気管７で接続されている。ワークＷ
を昇降手段７０に積載して洗浄液面１５の下に浸漬させ
洗浄する。昇降手段は昇降シリンダ７１で、破線で示さ
れた上方位置まで上下動ができるので、ワークＷを洗浄
剤の中で上下に揺動させて洗浄することができ洗浄の
後、液面上に露出させて保ち、真空ポンプ１０によって
減圧して減圧乾燥ができる。７４は往復動用シール手段
でありＯリングが用いられていたが、摩耗が激しい欠点
があった。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】減圧容器１の昇降シリ
ンダ７１貫通部位でＯリング７４をシール材として用い
てシールしつつ外部往復動を伝達導入している。Ｏリン
グ７４は、本来の使われ方が固定用シール材として能力
を発揮するものであるから、往復動用のＯリングを用い
ても直動用として用いるかぎり、ねじれが発生したり、
摩耗によってシール能力が低下してその寿命は短い。摩
耗を減らしシール能力向上のためにＯリング７４の摩擦
面に潤滑剤を塗布しても、可燃性洗浄剤の蒸気が侵入結
露して潤滑剤を除去してしまう欠点があった。シール能
力を改善して、減圧容器外部の動力源を内部に伝達し得
る減圧洗浄乾燥装置を提供しようとするのが本発明の目
的である。
ンダ７１貫通部位でＯリング７４をシール材として用い
てシールしつつ外部往復動を伝達導入している。Ｏリン
グ７４は、本来の使われ方が固定用シール材として能力
を発揮するものであるから、往復動用のＯリングを用い
ても直動用として用いるかぎり、ねじれが発生したり、
摩耗によってシール能力が低下してその寿命は短い。摩
耗を減らしシール能力向上のためにＯリング７４の摩擦
面に潤滑剤を塗布しても、可燃性洗浄剤の蒸気が侵入結
露して潤滑剤を除去してしまう欠点があった。シール能
力を改善して、減圧容器外部の動力源を内部に伝達し得
る減圧洗浄乾燥装置を提供しようとするのが本発明の目
的である。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の目的を
達成するために，直動摩擦よりも回転動摩擦のほうがシ
ール材に対しての摩擦が小さく、寿命が永いシール手段
が可能になる事に着眼してなされた。炭化水素系溶剤な
どの可燃性溶剤を洗浄剤として使用し、ワークを減圧下
で浸漬させて洗浄する浸漬洗浄室と、洗浄後のワークを
減圧下で減圧乾燥させる減圧乾燥室とからなる減圧容
器、およびワークを昇降させる昇降手段と真空ポンプな
どの減圧手段とを具備した洗浄乾燥装置に於いて、上記
昇降手段としての動力は、回転力として外部から減圧容
器内に回転動用シール手段を用いて導入伝達される。ピ
ニオンギヤとラックギヤとの構成での回転力を直動に変
換する手段が減圧容器内部に形成された。このようにし
て減圧容器外部に設けた動力源の動力を、回転動用シー
ル手段を用いて減圧容器を貫通させて伝達し、伝えた回
転動力を直動に変換してワークを上下動させ揺動洗浄し
て、洗浄が終了するとワークを更に上方に引き上げて保
ち減圧乾燥させる。このように、動力伝達導入部分での
シール材の使われ方としては、回転動に対する摩擦のほ
うが直動に対する摩擦よりも小さくてシール性能が向上
することを利用している。請求項２に関しては、動力源
である密閉モータ及び、回転力を直動に変換する手段が
減圧容器内に設けられ、減圧容器を貫通させる動力とし
ては、電線密封手段を用いて電力を減圧容器内部に導入
伝達し固定シールしている。
達成するために，直動摩擦よりも回転動摩擦のほうがシ
ール材に対しての摩擦が小さく、寿命が永いシール手段
が可能になる事に着眼してなされた。炭化水素系溶剤な
どの可燃性溶剤を洗浄剤として使用し、ワークを減圧下
で浸漬させて洗浄する浸漬洗浄室と、洗浄後のワークを
減圧下で減圧乾燥させる減圧乾燥室とからなる減圧容
器、およびワークを昇降させる昇降手段と真空ポンプな
どの減圧手段とを具備した洗浄乾燥装置に於いて、上記
昇降手段としての動力は、回転力として外部から減圧容
器内に回転動用シール手段を用いて導入伝達される。ピ
ニオンギヤとラックギヤとの構成での回転力を直動に変
換する手段が減圧容器内部に形成された。このようにし
て減圧容器外部に設けた動力源の動力を、回転動用シー
ル手段を用いて減圧容器を貫通させて伝達し、伝えた回
転動力を直動に変換してワークを上下動させ揺動洗浄し
て、洗浄が終了するとワークを更に上方に引き上げて保
ち減圧乾燥させる。このように、動力伝達導入部分での
シール材の使われ方としては、回転動に対する摩擦のほ
うが直動に対する摩擦よりも小さくてシール性能が向上
することを利用している。請求項２に関しては、動力源
である密閉モータ及び、回転力を直動に変換する手段が
減圧容器内に設けられ、減圧容器を貫通させる動力とし
ては、電線密封手段を用いて電力を減圧容器内部に導入
伝達し固定シールしている。
【０００５】
【発明の実施の形態】本発明による実施の形態を図１に
よって説明する。図１は本発明の一実施形態を示す概略
図で、１は減圧容器であり、下部に円筒状の浸漬洗浄室
２，上部に円筒状の減圧乾燥室３が設けられ、４の結合
部で溶接されて、これらが結合一体化されたものであ
る。結合部４の近傍内壁に冷却パイプ２１が配設されて
いる。
よって説明する。図１は本発明の一実施形態を示す概略
図で、１は減圧容器であり、下部に円筒状の浸漬洗浄室
２，上部に円筒状の減圧乾燥室３が設けられ、４の結合
部で溶接されて、これらが結合一体化されたものであ
る。結合部４の近傍内壁に冷却パイプ２１が配設されて
いる。
【０００６】減圧容器１は、上面にＯリング５によって
密封された蓋６が着脱可能に取り付けられていて、近傍
から真空ポンプ１０が排気管１１を介して接続されてい
る。浸漬洗浄室２の底部から補助タンク９がバルブ８を
介して排出管７で結ばれている。浸漬洗浄室２には、ワ
ークＷが浸漬出来るように可燃性洗浄剤が満たされてい
て、ワークが浸漬された状態での洗浄液面が１５であ
る。
密封された蓋６が着脱可能に取り付けられていて、近傍
から真空ポンプ１０が排気管１１を介して接続されてい
る。浸漬洗浄室２の底部から補助タンク９がバルブ８を
介して排出管７で結ばれている。浸漬洗浄室２には、ワ
ークＷが浸漬出来るように可燃性洗浄剤が満たされてい
て、ワークが浸漬された状態での洗浄液面が１５であ
る。
【０００７】洗浄液面１５が上記冷却パイプ２１の位置
よりも高くなったときは、バルブ８を開いて排出管から
補助タンク９へ洗浄剤を移動させて洗浄液面を調整す
る。また補助タンク９は減圧容器１を保守する場合など
減圧洗浄室２の洗浄液を一時的に、この補助タンクに移
す場合にも用いる。ワークＷは昇降手段７０に積載され
て、浸漬された状態から洗浄液面１５より上方に引き上
げられ破線で示された位置まで上下動が出来るように、
モータ６４の回転動力が内部に伝達されピニオンギヤ６
１とラックギヤ６０との回転動・直動変換手段で直動に
変換される。
よりも高くなったときは、バルブ８を開いて排出管から
補助タンク９へ洗浄剤を移動させて洗浄液面を調整す
る。また補助タンク９は減圧容器１を保守する場合など
減圧洗浄室２の洗浄液を一時的に、この補助タンクに移
す場合にも用いる。ワークＷは昇降手段７０に積載され
て、浸漬された状態から洗浄液面１５より上方に引き上
げられ破線で示された位置まで上下動が出来るように、
モータ６４の回転動力が内部に伝達されピニオンギヤ６
１とラックギヤ６０との回転動・直動変換手段で直動に
変換される。
【０００８】モータ６４の回転軸は、回転動用のシール
材、例えば四ふっ化エチレン樹脂等のＶパッキンや、グ
ラファイトと金属で構成されたメカニカルシールのよう
な回転動用シール手段６３でシールされつつ減圧容器１
を貫通し、動力を減圧容器内部に伝達導入する。四ふっ
化エチレン樹脂等のＶパッキンや、グラファイトと金属
で構成されたメカニカルシールは潤滑剤を必要としない
ので、可燃性洗浄剤の蒸気がシール材に悪い影響は与え
ない。この部分が重要ポイントである。
材、例えば四ふっ化エチレン樹脂等のＶパッキンや、グ
ラファイトと金属で構成されたメカニカルシールのよう
な回転動用シール手段６３でシールされつつ減圧容器１
を貫通し、動力を減圧容器内部に伝達導入する。四ふっ
化エチレン樹脂等のＶパッキンや、グラファイトと金属
で構成されたメカニカルシールは潤滑剤を必要としない
ので、可燃性洗浄剤の蒸気がシール材に悪い影響は与え
ない。この部分が重要ポイントである。
【０００９】このような密封能力の高い軸受けを介して
減圧容器内に伝達された回転力は上記直動に変換され、
ワークＷを上下に往復動させる。ワークＷは浸漬状態で
揺動洗浄され、洗浄後に洗浄液面より上方に引き上げら
れて減圧乾燥される。減圧乾燥室３の内部には可燃性洗
浄剤の蒸気が下方の浸漬洗浄室２から蒸発して上がって
くるので冷却パイプ２１によって洗浄剤蒸気を冷却し凝
集補足し、下方の浸漬洗浄室に戻すとともに、減圧乾燥
室内蒸気量を減らしてワークＷの乾燥促進をしている。
減圧容器内に伝達された回転力は上記直動に変換され、
ワークＷを上下に往復動させる。ワークＷは浸漬状態で
揺動洗浄され、洗浄後に洗浄液面より上方に引き上げら
れて減圧乾燥される。減圧乾燥室３の内部には可燃性洗
浄剤の蒸気が下方の浸漬洗浄室２から蒸発して上がって
くるので冷却パイプ２１によって洗浄剤蒸気を冷却し凝
集補足し、下方の浸漬洗浄室に戻すとともに、減圧乾燥
室内蒸気量を減らしてワークＷの乾燥促進をしている。
【００１０】本発明の他の実施例について図２を用いて
説明する。図２に於いて１６はシャッターであり、減圧
容器の略中央の高さで上下に仕切って減圧乾燥室を小さ
い空間にして、乾燥時の真空度を速く得る様にすると共
に下部の洗浄剤の蒸気が上がってくるのを防ぐ役割を持
っている。シャッター１６は、ワークＷを洗浄し、その
後ワークを実線で示した位置まで引き上げでから閉じる
のあるが減圧容器１とシャッター１６とをシールする為
にパッキン１７が減圧容器１の仕切部位１８に設けられ
ている。シャッター開閉を容易にする為、シャッターレ
ールを減圧容器内部に設けるので減圧容器は角筒形が有
効である。
説明する。図２に於いて１６はシャッターであり、減圧
容器の略中央の高さで上下に仕切って減圧乾燥室を小さ
い空間にして、乾燥時の真空度を速く得る様にすると共
に下部の洗浄剤の蒸気が上がってくるのを防ぐ役割を持
っている。シャッター１６は、ワークＷを洗浄し、その
後ワークを実線で示した位置まで引き上げでから閉じる
のあるが減圧容器１とシャッター１６とをシールする為
にパッキン１７が減圧容器１の仕切部位１８に設けられ
ている。シャッター開閉を容易にする為、シャッターレ
ールを減圧容器内部に設けるので減圧容器は角筒形が有
効である。
【００１１】本発明の第３の実施例について図３を用い
て説明する。密閉モータ６５を減圧容器１の内部に設け
ている。密閉モータに給電するために、例えばハーメテ
ィックシールのような電線封入手段６６で減圧容器１を
貫通して電線６７で電力を外部から減圧容器内部の密閉
モータに供給している。動力伝達部位で減圧容器を動的
シールすることを排除している。なお、揺動洗浄した後
で洗浄剤を補助タンクに移して、上方にワークＷを引き
上げない元のままの位置で減圧乾燥する事も洗浄乾燥装
置を小型にするために有効で、この場合の減圧容器は減
圧洗浄室と減圧乾燥室とを兼ねている。
て説明する。密閉モータ６５を減圧容器１の内部に設け
ている。密閉モータに給電するために、例えばハーメテ
ィックシールのような電線封入手段６６で減圧容器１を
貫通して電線６７で電力を外部から減圧容器内部の密閉
モータに供給している。動力伝達部位で減圧容器を動的
シールすることを排除している。なお、揺動洗浄した後
で洗浄剤を補助タンクに移して、上方にワークＷを引き
上げない元のままの位置で減圧乾燥する事も洗浄乾燥装
置を小型にするために有効で、この場合の減圧容器は減
圧洗浄室と減圧乾燥室とを兼ねている。
【００１２】
【発明の効果】本発明によれば、減圧容器のシールを維
持して動力伝達する従来例に見られる往復動シールの場
合のような、シール材のねじれ、摩耗劣化でシール材を
頻繁に交換する必要がなくなった。減圧洗浄乾燥装置の
稼働中に減圧不良トラブルが発生して運転中断すること
が無くなって工業的価値が大きい。
持して動力伝達する従来例に見られる往復動シールの場
合のような、シール材のねじれ、摩耗劣化でシール材を
頻繁に交換する必要がなくなった。減圧洗浄乾燥装置の
稼働中に減圧不良トラブルが発生して運転中断すること
が無くなって工業的価値が大きい。
【図１】 本発明による一実施形態の減圧洗浄乾燥装置
を示す概略図。
を示す概略図。
【図２】 本発明による他の実施形態の減圧洗浄乾燥装
置を示す概略図。
置を示す概略図。
【図３】 本発明による他の実施形態の減圧洗浄乾燥装
置を示す概略図。
置を示す概略図。
【図４】 従来の減圧洗浄乾燥装置を示す概略図。
１ 減圧容器 ２ 浸漬洗浄室 ３ 減圧乾燥室 ４ 結合部 ５ Ｏリング ６ 蓋 ７ 排出管 ８ バルブ ９ 補助タンク １０ 真空ポンプ １１ 排気管 １５ 洗浄液面 １６ シャッター １７ パッキン １８ 仕切部位 ６０ ラックギア ６１ ピニオンギア ６３ 回転動用シール手段 ６４ モータ ６５ 密閉モータ ６６ 電線封入手段 ６７ 電線 ７０ 昇降手段 ７１ 昇降シリンダ ７４ 往復動用シール手段 Ｗ ワーク
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 村田 裕康 大阪府大阪市東淀川区西淡路３丁目１番56 号 株式会社三社電機製作所内 Ｆターム(参考） 3B201 AA46 AB08 AB38 BB02 CB01 CC15 CD11 CD36 3L113 AA05 AB10 AC24 AC67 BA01
Claims (2)
- 【請求項１】 炭化水素系などの可燃性溶剤を洗浄剤と
して使用し、ワークを減圧下で洗浄剤に浸漬させる浸漬
洗浄室と、上記浸漬洗浄後のワークを減圧下で減圧乾燥
させる減圧乾燥室とを備えた減圧容器にワークを昇降さ
せる昇降手段を設けた減圧洗浄乾燥装置において、上記
減圧容器の外部に設けた動力源の回転軸を、回転動用シ
ール手段を用いて該減圧容器を貫通させて、内部に回転
力を伝達し、回転力を直動に変換する手段を該減圧容器
内に形成することを特徴とする減圧洗浄乾燥装置。 - 【請求項２】 炭化水素系などの可燃性溶剤を洗浄剤と
して使用し、ワークを減圧下で洗浄剤に浸漬させる浸漬
洗浄室と、上記浸漬洗浄後のワークを減圧下で減圧乾燥
させる減圧乾燥室とを備えた減圧容器にワークを昇降さ
せる昇降手段を設けた減圧洗浄乾燥装置において、上記
減圧容器外部から電線封入手段を用いて該減圧容器を貫
通させて給電し、密閉モータとその回転力を直動に変換
する手段を該減圧容器内に形成することを特徴とする減
圧洗浄乾燥装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000281295A JP2002086085A (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 減圧洗浄乾燥装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000281295A JP2002086085A (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 減圧洗浄乾燥装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002086085A true JP2002086085A (ja) | 2002-03-26 |
Family
ID=18765975
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000281295A Pending JP2002086085A (ja) | 2000-09-18 | 2000-09-18 | 減圧洗浄乾燥装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002086085A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101972751A (zh) * | 2010-06-30 | 2011-02-16 | 张家港市超声电气有限公司 | 慢提拉机构 |
| CN105583188A (zh) * | 2015-12-26 | 2016-05-18 | 重庆市康泽科技开发有限责任公司 | 中药材脱硫装置 |
| CN112139138A (zh) * | 2020-08-20 | 2020-12-29 | 上海城建职业学院 | 一种建筑施工用零件自动化清理装置 |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62129191A (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-11 | ジヤパン・フイ−ルド株式会社 | 洗浄装置 |
| JPH0718478A (ja) * | 1993-07-02 | 1995-01-20 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 電気接点等小物部品の洗浄方法及び減圧乾燥装置 |
| JPH07273073A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Ebara Corp | 真空容器の洗浄方法及び洗浄装置 |
| JPH1034096A (ja) * | 1996-07-19 | 1998-02-10 | Sansha Electric Mfg Co Ltd | 減圧洗浄乾燥装置 |
-
2000
- 2000-09-18 JP JP2000281295A patent/JP2002086085A/ja active Pending
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62129191A (ja) * | 1985-11-28 | 1987-06-11 | ジヤパン・フイ−ルド株式会社 | 洗浄装置 |
| JPH0718478A (ja) * | 1993-07-02 | 1995-01-20 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 電気接点等小物部品の洗浄方法及び減圧乾燥装置 |
| JPH07273073A (ja) * | 1994-03-31 | 1995-10-20 | Ebara Corp | 真空容器の洗浄方法及び洗浄装置 |
| JPH1034096A (ja) * | 1996-07-19 | 1998-02-10 | Sansha Electric Mfg Co Ltd | 減圧洗浄乾燥装置 |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN101972751A (zh) * | 2010-06-30 | 2011-02-16 | 张家港市超声电气有限公司 | 慢提拉机构 |
| CN105583188A (zh) * | 2015-12-26 | 2016-05-18 | 重庆市康泽科技开发有限责任公司 | 中药材脱硫装置 |
| CN105583188B (zh) * | 2015-12-26 | 2018-06-22 | 重庆市康泽科技开发有限责任公司 | 中药材脱硫装置 |
| CN112139138A (zh) * | 2020-08-20 | 2020-12-29 | 上海城建职业学院 | 一种建筑施工用零件自动化清理装置 |
| CN112139138B (zh) * | 2020-08-20 | 2022-01-28 | 上海城建职业学院 | 一种建筑施工用零件自动化清理装置 |
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