JP2002072465A - カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ - Google Patents

カラーフィルタ用感放射線性組成物およびカラーフィルタ

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JP2002072465A JP2000257615A JP2000257615A JP2002072465A JP 2002072465 A JP2002072465 A JP 2002072465A JP 2000257615 A JP2000257615 A JP 2000257615A JP 2000257615 A JP2000257615 A JP 2000257615A JP 2002072465 A JP2002072465 A JP 2002072465A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 顔料の高濃度化を達成でき、高輝度かつ高色
純度であるとともに、現像性に優れており、しかも基板
および遮光層との密着性、耐熱性等に優れた赤色画素を
形成することができるカラーフィルタ用感放射線性組成
物を提供する。 【解決手段】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
脂、(C)多官能性単量体、(D)光重合開始剤並びに
(E)溶剤を含有するカラーフィルタ用感放射線性組成
物であって、(A)着色剤が下記式(1)で表されるラ
テント有機顔料および他の有機顔料を含み、かつ(B)
アルカリ可溶性樹脂が(a)カルボキシル基含有不飽和
単量体、(b)N−位置換マレイミドおよび(c)他の
共重合可能な不飽和単量体からなる共重合体を含むこと
を特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成物。 【化1】 〔式(1)において、各R1 は低級アルキル基またはア
ラルキル基を示す。〕

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、透過型あるいは反
射型のカラー液晶表示装置、カラー撮像管素子等に用い
られるカラーフィルタの製造に有用なカラーフィルタ用
感放射線性組成物および該カラーフィルタ用感放射線性
組成物から形成された赤色画素を備えたカラーフィルタ
に関する。
【0002】
【従来の技術】カラー液晶表示装置、カラー撮像管素子
等に用いられるカラーフィルタの製造方法としては、従
来、感放射線性樹脂の塗膜にフォトマスクを介し放射線
を照射(以下、「露光」という。)して、露光部を硬化
させ、その後現像処理を行なって、塗膜の未露光部を除
去してパターンを形成したのち、染色する方法(染色
法)や、感放射線性樹脂に染料、顔料等の着色剤を混合
した組成物を用い、前記と同様に塗膜形成、露光および
現像処理を行うフォトリソグラフィー法等が知られてい
るが、今日では耐熱性や耐光性の観点から、着色剤に顔
料を用いた顔料分散型感放射線性組成物を用いたフォト
リソグラフィー法が一般に採用されている。近年におい
ては、例えばカラー液晶表示装置の用途が、パーソナル
コンピューター用のみならず、テレビ用、モニター用等
にも広がっており、それに伴い高輝度および高色純度を
達成するために、顔料の高濃度化が必要となっている。
しかし、従来の顔料分散型感放射線性組成物では、光透
過性、現像性、組成物としての保存安定性等の面から顔
料濃度に限界があり、カラーフィルタとしての性能の点
で十分とはいえなかった。
【0003】一方近年に至り、感放射線性組成物中では
溶解状態にあるが、該感放射線性組成物から形成された
画素中で不溶化した顔料として存在する可溶性顔料前駆
体を用いるカラーフィルタ用着色組成物が提案されてい
る(例えば、特開平7−150068号公報、特開平7
−188234号公報、特開平11−305032号公
報等参照)。このような着色組成物によると、顔料成分
が露光時には組成物中で溶解状態にあるため、顔料濃度
を高めることができ、また不溶化した顔料が画素中に微
細な粒子として分散しているため、画素の光透過性が高
く、高輝度、高色純度を容易に達成でき、しかも不溶化
した顔料の平均粒子径が例えば40nm以下と小さいた
め、パターンエッジの形状がシャープとなり、高精細な
画素を形成することができるとともに、未露光部の現像
残渣を低減することもできる。さらに、通常の顔料分散
型感放射線性組成物では、使用される顔料分散剤のロッ
ト差(例えば、平均分子量等のバラツキ)により、現像
性など、カラーフィルタ用感放射線性組成物としての性
能にバラツキを生じたり、顔料の分散に多くの時間を要
しコスト的に不利となる欠点があるが、可溶性顔料前駆
体では、実質上顔料分散剤を必要としないため、前記の
ような問題を回避することもできる。しかしながら、従
来の可溶性顔料前駆体を用いた感放射線性組成物の場
合、可溶性顔料前駆体の溶剤に対する溶解性が十分とは
いえず、溶解力の高い少数の溶剤しか使用することがで
きなかった。また、溶解力の高い溶剤を使用した場合、
感放射線性組成物の塗布性が悪くなる場合が多く、さら
には感放射線性組成物の粘度が低くなる傾向があり、基
板表面上に塗膜を形成する際に十分な膜厚を得ることが
できないという問題があった。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、以上のよう
な事情に鑑みてなされたものであり、その課題は、顔料
の高濃度化を達成でき、高輝度かつ高色純度であるとと
もに、現像性に優れ、しかも基板および遮光層との密着
性、耐熱性等に優れた赤色画素を形成することができる
カラーフィルタ用感放射線性組成物を提供することにあ
る。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明は、(A)着色
剤、(B)アルカリ可溶性樹脂、(C)多官能性単量
体、(D)光重合開始剤並びに(E)溶剤を含有するカ
ラーフィルタ用感放射線性組成物であって、(A)着色
剤が下記式(1)で表されるラテント有機顔料および他
の有機顔料を含み、かつ(B)アルカリ可溶性樹脂が
(a)カルボキシル基含有不飽和単量体、(b)N−位
置換マレイミドおよび(c)他の共重合可能な不飽和単
量体からなる共重合体を含むことを特徴とするカラーフ
ィルタ用感放射線性組成物、
【0006】
【化2】
【0007】〔式(1)において、各R1 は相互に独立
に炭素数1〜4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基ま
たは炭素数7〜12のアラルキル基を示す。〕からな
る。本発明でいう「放射線」は、可視光線、紫外線、遠
紫外線、電子線、X線等を含むものを意味する。
【0008】以下に、本発明について詳細に説明する。(A)着色剤 本発明における着色剤は、前記式(1)で表されるラテ
ント有機顔料(以下、「有機顔料(1)」という。)を
必須成分として含むものである。本発明でいう「ラテン
ト有機顔料」とは、感放射線性組成物中では溶解状態に
あるが、該感放射線性組成物から画素を形成する過程で
不溶化して、該画素中に粒子として分散する性質を有す
る有機顔料を意味する。
【0009】式(1)において、R1 の炭素数1〜4の
直鎖状もしくは分岐状のアルキル基としては、例えば、
メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル
基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、
t−ブチル基等を挙げることができる。また、R1 の炭
素数7〜12のアラルキル基としては、例えば、ベンジ
ル基、o−メチルベンジル基、m−メチルベンジル基、
p−メチルベンジル基、α−メチルベンジル基、フェネ
チル基、等を挙げることができる。式(1)におけるR
1 としては、特に、メチル基、エチル基、ベンジル基等
が好ましい。
【0010】有機顔料(1)は、溶剤に対する溶解性が
比較的低く、例えば、N−メチルピロリドン、シクロペ
ンタノン、シクロヘキサノン、ジメチルケトン、エチレ
ングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテート、ジ
エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセテー
トのような、溶解力の高い特定の溶剤にしか溶解しな
い。しかも、これらの溶剤は塗布性が悪く、スピンコー
ト(回転塗布)する際に、液戻りを生じるおそれがあ
り、また感放射線性組成物としたとき粘度が低く、塗膜
の膜厚を十分厚くすることがやや困難である。これに対
して、有機顔料(1)を他の有機顔料と併用することに
より、感放射線性組成物中および画素中における着色剤
の濃度を高く維持しながらも、着色剤中の有機顔料
(1)の含有率を低減することが可能となるため、前記
溶解力の高い特定の溶剤だけではなく、カラーフィルタ
用感放射線性組成物に通常用いられる、良好な塗布性を
有する溶剤、例えば、3−メトキシプロピルアセテー
ト、3−エトキシプロピオン酸エチル等を使用すること
が可能となり、その結果塗膜の膜厚を十分厚くすること
ができる。また、有機顔料(1)を他の有機顔料と併用
することにより、着色剤中の他の有機顔料の含有率も低
減されるため、該他の有機顔料を分散させるために必要
な顔料分散剤の使用量を少なくできる結果、感放射線性
組成物中の異物の発生や現像時における現像残渣の発生
を抑えることができるとともに、他の有機顔料の分散時
間を短縮することも可能となる。さらには、有機顔料
(1)を他の有機顔料と併用することにより、他の有機
顔料のみの場合に比べて、有機顔料の合計濃度をより高
くすることができ、テレビ用、モニター用等の高輝度、
高色純度を要求される用途に極めて適したものとなる。
有機顔料(1)は、単独で、または式(1)中の2個
のR1 のうち少なくとも1つが異なる2種以上の成分の
混合物として使用することができる。
【0011】また、有機顔料(1)と併用される他の有
機顔料(以下、「有機顔料(α)」という。)として
は、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society
of Dyers and Colourists 社発行) においてピグメント
(Pigment)に分類されている化合物のうち、下記のよう
なカラーインデックス(C.I.)番号が付されているもの
を挙げることができる。C.I.ピグメントイエロー83、
C.I.ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロ
ー138、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメ
ントイエロー150、C.I.ピグメントイエロー155等
の黄色有機顔料;C.I.ピグメントオレンジ71等の橙色
有機顔料;C.I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメ
ントレッド48:2、C.I.ピグメントレッド122、C.
I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド20
2、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッ
ド207、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメン
トレッド224、C.I.ピグメントレッド254等の赤色
有機顔料。有機顔料(α)としては、色調が赤である有
機顔料(1)と組み合わせたとき、カラーフィルタ用の
赤色画素としての所望の色相が得られるように適宜選定
して使用することができるが、特に、C.I.ピグメントイ
エロー83、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグ
メントレッド177、C.I.ピグメントレッド254等が
好ましい。前記有機顔料(α)は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。また、有機顔料
(α)は、例えば、再結晶法、再沈殿法、溶剤洗浄法、
昇華法、真空加熱法や、これらの組み合わせ等により精
製して使用することができる。
【0012】有機顔料(α)は、所望により、その粒子
表面をポリマーで改質して使用することができる。顔料
の粒子表面を改質するポリマーとしては、例えば、特開
平8−259876号公報等に記載されたポリマーや、
市販の各種の顔料分散用のポリマーまたはオリゴマー等
を挙げることができる。また、有機顔料(α)は、所望
により、分散剤と共に使用することができる。前記分散
剤としては、例えば、カチオン系、アニオン系、ノニオ
ン系、両性、シリコーン系、フッ素系等の界面活性剤を
挙げることができる。前記界面活性剤の例としては、ポ
リオキシエチレンラウリルエーテル、ポリオキシエチレ
ンステアリルエーテル、ポリオキシエチレンオレイルエ
ーテル等のポリオキシエチレンアルキルエーテル類;ポ
リオキシエチレンn−オクチルフェニルエーテル、ポリ
オキシエチレンn−ノニルフェニルエーテル等のポリオ
キシエチレンアルキルフェニルエーテル類;ポリエチレ
ングリコールジラウレート、ポリエチレングリコールジ
ステアレート等のポリエチレングリコールジエステル
類;ソルビタン脂肪酸エステル類;脂肪酸変性ポリエス
テル類;3級アミン変性ポリウレタン類;ポリエチレン
イミン類等のほか、以下商品名で、KP(信越化学工業
(株)製)、ポリフロー(共栄社化学(株)製)、エフ
トップ(トーケムプロダクツ社製)、メガファック(大
日本インキ化学工業(株)製)、フロラード(住友スリ
ーエム(株)製)、アサヒガード、サーフロン(以上、
旭硝子(株)製)、Disperbyk(ビックケミー
・ジャパン(株)製)、ソルスパース(ゼネカ(株)
製)、EFKA(エフカケミカルズ(株)製)等を挙げ
ることができる。これらの界面活性剤は、単独でまたは
2種以上を混合して使用することができる。界面活性剤
の使用量は、全顔料100重量部に対して、通常、50
重量部以下、好ましくは30重量部以下である。
【0013】本発明において、有機顔料(α)の使用割
合は、有機顔料(1)と有機顔料(α)との合計100
重量部に対して、通常、40〜90重量部、好ましくは
50〜80重量部、特に好ましくは60〜70重量部で
ある。この場合、有機顔料(α)の使用割合が40重量
部未満では、顔料濃度を高く設定した場合に有機顔料
(1)の使用量が多くなり、前記したような塗布性の低
い特定の溶剤を多く使用せざるをえないため、塗布性が
低下して膜厚を十分厚くすることが困難となるおそれが
あり、一方90重量部を超えると、有機顔料(1)の使
用量が少なくなり、高いレベルの光透過性、輝度、色純
度を確保することが困難となったり、顔料分散剤の使用
量が多くなって、現像性等が低下するおそれがある。
【0014】(B)アルカリ可溶性樹脂 本発明におけるアルカリ可溶性樹脂は、(a)カルボキ
シル基含有不飽和単量体、(b)N−位置換マレイミド
および(c)他の共重合可能な不飽和単量体(以下、
「(c)他の不飽和単量体」という。)からなる共重合
体(以下、「カルボキシル基含有共重合体(B1)」と
いう。)を必須成分として含むものである。本発明にお
いては、カルボキシル基含有共重合体(B1)を含むア
ルカリ可溶性樹脂を使用することにより、顔料を高濃度
で含有する場合においても、現像性に優れ、未露光部に
現像残渣および地汚れを生じることがない感放射線性組
成物が得られるとともに、基板および遮光層との密着
性、耐熱性等に優れた画素を形成することができる。
【0015】カルボキシル基含有共重合体(B1)にお
いて、(a)カルボキシル基含有不飽和単量体として
は、例えば、(メタ)アクリル酸、クロトン酸、α−ク
ロルアクリル酸、けい皮酸等の不飽和モノカルボン酸
類;マレイン酸、無水マレイン酸、フマル酸、イタコン
酸、無水イタコン酸、シトラコン酸、無水シトラコン
酸、メサコン酸等の不飽和ジカルボン酸またはその無水
物類;3価以上の不飽和多価カルボン酸またはその無水
物類;こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエ
チル〕、フタル酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシ
エチル〕等の2価以上の多価カルボン酸のモノ〔(メ
タ)アクリロイロキシアルキル〕エステル類;ω−カル
ボキシポリカプロラクトンモノ(メタ)アクリレート等
の両末端にカルボキシル基と水酸基とを有するポリマー
のモノ(メタ)アクリレート類等を挙げることができ
る。これらの(a)カルボキシル基含有不飽和単量体の
うち、特に、(メタ)アクリル酸、こはく酸モノ〔2−
(メタ)アクリロイロキシエチル〕等が好ましい。前記
(a)カルボキシル基含有不飽和単量体は、単独でまた
は2種以上を混合して使用することができる。
【0016】また、(b)N−位置換マレイミドとして
は、例えば、N−フェニルマレイミド、N−シクロヘキ
シルマレイミド、N−ベンジルマレイミド、N−スクシ
ンイミジル−3−マレイミドベンゾエート、N−スクシ
ンイミジル−4−マレイミドブチレート、N−スクシン
イミジル−6−マレイミドカプロエート、N−スクシン
イミジル−3−マレイミドプロピオネート、N−(アク
リジニル)マレイミド等を挙げることができる。これら
の(b)N−位置換マレイミドのうち、特に、N−フェ
ニルマレイミド、N−シクロヘキシルマレイミド、等が
好ましい。前記(b)N−位置換マレイミドは、単独で
または2種以上を混合して使用することができる。
【0017】また、(c)他の不飽和単量体としては、
例えば、ポリスチレン、ポリメチル(メタ)アクリレー
ト、ポリ−n−ブチル(メタ)アクリレート、ポリシロ
キサン等の重合体分子鎖の末端にモノ(メタ)アクリロ
イル基を有するマクロモノマー類(以下、単に「マクロ
モノマー類」という。):スチレン、α−メチルスチレ
ン、o−ビニルトルエン、m−ビニルトルエン、p−ビ
ニルトルエン、p−クロルスチレン、o−メトキシスチ
レン、m−メトキシスチレン、p−メトキシスチレン、
o−ビニルベンジルメチルエーテル、m−ビニルベンジ
ルメチルエーテル、p−ビニルベンジルメチルエーテ
ル、o−ビニルベンジルグリシジルエーテル、m−ビニ
ルベンジルグリシジルエーテル、p−ビニルベンジルグ
リシジルエーテル等の芳香族ビニル化合物;インデン、
1−メチルインデン等のインデン類;
【0018】メチル(メタ)アクリレート、エチル(メ
タ)アクリレート、n−プロピル(メタ)アクリレー
ト、i−プロピル(メタ)アクリレート、n−ブチル
(メタ)アクリレート、i−ブチル(メタ)アクリレー
ト、sec−ブチル(メタ)アクリレート、t−ブチル
(メタ)アクリレート、2−ヒドロキシエチル(メタ)
アクリレート、2−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリ
レート、3−ヒドロキシプロピル(メタ)アクリレー
ト、2−ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、3−
ヒドロキシブチル(メタ)アクリレート、4−ヒドロキ
シブチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アクリ
レート、ベンジル(メタ)アクリレート、シクロヘキシ
ル(メタ)アクリレート、フェニル(メタ)アクリレー
ト、2−メトキシエチル(メタ)アクリレート、2−フ
ェノキシエチル(メタ)アクリレート、メトキシジエチ
レングルコール(メタ)アクリレート、メトキシトリエ
チレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシプロ
ピレングルコール(メタ)アクリレート、メトキシジプ
ロピレングルコール(メタ)アクリレート、イソボルニ
ル(メタ)アクリレート、ジシクロペンタジエニル(メ
タ)アクリレート、2−ヒドロキシ−3−フェノキシプ
ロピル(メタ)アクリレート、下記式(2)
【0019】
【化3】 〔式(2)において、R2 は水素原子またはメチル基を
示す。〕で表される単量体(以下、「グリセロール(メ
タ)アクリレート」という。)等の不飽和カルボン酸エ
ステル類;
【0020】2−アミノエチル(メタ)アクリレート、
2−ジメチルアミノエチル(メタ)アクリレート、2−
アミノプロピル(メタ)アクリレート、2−ジメチルア
ミノプロピルアクリレート、3−アミノプロピル(メ
タ)アクリレート、3−ジメチルアミノプロピル(メ
タ)アクリレート等の不飽和カルボン酸アミノアルキル
エステル類;グリシジル(メタ)アクリレート等の不飽
和カルボン酸グリシジルエステル類;酢酸ビニル、プロ
ピオン酸ビニル、酪酸ビニル、安息香酸ビニル等のカル
ボン酸ビニルエステル類;ビニルメチルエーテル、ビニ
ルエチルエーテル、アリルグリシジルエーテル等の不飽
和エーテル類;(メタ)アクリロニトリル、α−クロロ
アクリロニトリル、シアン化ビニリデン等のシアン化ビ
ニル化合物;(メタ)アクリルアミド、α−クロロアク
リルアミド、N−2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリ
ルアミド等の不飽和アミド類;1,3−ブタジエン、イ
ソプレン、クロロプレン等の脂肪族共役ジエン類等を挙
げることができる。
【0021】これらの(c)他の不飽和単量体のうち、
マクロモノマー類、2−ヒドロキシエチル(メタ)アク
リレート、ベンジル(メタ)アクリレート、グリセロー
ル(メタ)アクリレートが好ましい。また、マクロモノ
マー類の中ではポリスチレンマクロモノマー、ポリメチ
ル(メタ)アクリレートマクロモノマーが特に好まし
い。前記(c)他の不飽和単量体は、単独でまたは2種
以上を混合して使用することができる。
【0022】本発明におけるカルボキシル基含有共重合
体(B1)としては、少なくとも1種の(a)カルボ
キシル基含有不飽和単量体と、少なくとも1種の
(b)N−位置換マレイミドと、ポリスチレンマクロ
モノマー、ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノ
マー、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、ベ
ンジル(メタ)アクリレートおよびグリセロール(メ
タ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1種とを
含有し、場合によりスチレン、メチル(メタ)アクリ
レート、アリル(メタ)アクリレート、フェニル(メ
タ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1種をさ
らに含有する単量体混合物の共重合体(以下、「カルボ
キシル基含有共重合体(B1-1)」という。)が好まし
く、さらに好ましくは、(メタ)アクリル酸を必須成
分とし、場合によりこはく酸モノ〔2−(メタ)アクリ
ロイロキシエチル〕をさらに含有するカルボキシル基含
有不飽和単量体と、N−フェニルマレイミドおよびN
−シクロヘキシルマレイミドの群から選ばれる少なくと
も1種と、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチル
(メタ)アクリレートマクロモノマー、2−ヒドロキシ
エチル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリ
レートおよびグリセロール(メタ)アクリレートの群か
ら選ばれる少なくとも1種とを含有し、場合によりス
チレン、メチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)
アクリレートおよびフェニル(メタ)アクリレートの群
から選ばれる少なくとも1種をさらに含有する単量体混
合物の共重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体
(B1-2)」という。)である。
【0023】カルボキシル基含有共重合体(B1-2)の具
体例としては、(メタ)アクリル酸/N−フェニルマレ
イミド/ベンジル(メタ)アクリレート/スチレン共重
合体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メ
タ)アクリロイロキシエチル〕/N−フェニルマレイミ
ド/ベンジル(メタ)アクリレート/スチレン共重合
体、(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)
アクリロイロキシエチル〕/N−フェニルマレイミド/
スチレン/アリル(メタ)アクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/N−シクロヘキシルマレイミド/ベン
ジル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体、(メ
タ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロ
イロキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/ス
チレン/アリル(メタ)アクリレート共重合体、(メ
タ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロ
イロキシエチル〕/N−シクロヘキシルマレイミド/ベ
ンジル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体、(メ
タ)アクリル酸/N−フェニルマレイミド/2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル(メタ)ア
クリレート/スチレン共重合体、(メタ)アクリル酸/
N−フェニルマレイミド/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/グリセロールモノ(メタ)アクリレート/スチレン
共重合体等を挙げることができる。
【0024】カルボキシル基含有共重合体(B1)中の
(a)カルボキシル基含有不飽和単量体の共重合割合
は、通常、5〜50重量%、好ましくは10〜40重量
%である。この場合、カルボキシル基含有不飽和単量体
の共重合割合が5重量%未満では、得られる感放射線性
組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向
があり、一方50重量%を超えると、アルカリ現像液に
対する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像
する際に、画素の基板からの脱落を来たしやすくなる傾
向がある。また、カルボキシル基含有共重合体(B1)
中の(b)N−位置換マレイミドの共重合割合は、通
常、5〜40重量%、好ましくは10〜30重量%であ
る。この場合、(b)N−位置換マレイミドの共重合割
合が5重量%未満では、現像残渣が発生しやすくなる傾
向があり、一方40重量%を超えると、基板に対する密
着性が低下する傾向がある。さらに、カルボキシル基含
有共重合体(B1)中の(c)他の不飽和単量体の共重
合割合は、通常、30〜90重量%、好ましくは40〜
80重量%である。この場合、(c)他の不飽和単量体
の共重合割合が30重量%未満では、基板に対する密着
性が低下する傾向があり、一方90重量%を超えると、
アルカリ現像液に対する溶解性が低下する傾向がある。
【0025】本発明におけるカルボキシル基含有共重合
体(B1)のゲルパーミエーションクロマトグラフィー
(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラン)で測定した
ポリスチレン換算重量平均分子量(以下、「Mw」とい
う。)は、好ましくは20,000以下、さらに好まし
くは3,000〜20,000、特に好ましくは5,0
00〜20,000である。また、カルボキシル基含有
共重合体(B1)のガラス転移温度(以下、「Tg」と
いう。)は、好ましくは110℃以上、さらに好ましく
は110〜200℃、特に好ましくは110〜180℃
である。本発明においては、感放射線性組成物に使用さ
れるカルボキシル基含有共重合体(B1)のMwを2
0,000以下とし、かつ(B)共重合体のTgを11
0℃以上とすることにより、十分な耐熱性を保持しつ
つ、画素を形成する際のポストベーク時の感放射線性組
成物の流動性が良好となって、画素の形状が順テーパー
状となり、画素の機械的強度と耐熱性を両立させること
が可能となる。なお、画素の形状が逆テーパー状になる
と、画素の機械的強度と耐熱性を両立させることが困難
となるのみならず、表示パネルを作製するために配向膜
をラビングする際に、画素に引っ掛かって剥がれるおそ
れもある。カルボキシル基含有共重合体(B1)のMw
とTgとの組み合わせとしては、さらに好ましくはMw
が3,000〜20,000でTgが110〜200℃
であり、特に好ましくはMwが5,000〜20,00
0でTgが110〜180℃である。なお、カルボキシ
ル基含有共重合体(B1)のゲルパーミエーションクロ
マトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラ
ン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、
「Mn」という。)は、好ましくは1,500〜10,
000である。また、カルボキシル基含有共重合体(B
1)のMwとMnの比(Mw/Mn)は、通常、1〜
5、好ましくは1〜4である。本発明において、カルボ
キシル基含有共重合体(B1)は、単独でまたは2種以
上を混合して使用することができる。
【0026】本発明においては、場合により、カルボキ
シル基含有共重合体(B1)と共に、他のアルカリ可溶
性樹脂を併用することができる。他のアルカリ可溶性樹
脂としては、(A)着色剤に対しカルボキシル基含有共
重合体(B1)と協働してバインダーとして作用し、か
つスペーサーを形成する際の現像処理工程において用い
られる現像液、特に好ましくはアルカリ現像液に対して
可溶性を有するものであれば、特に限定されるものでは
ないが、例えば、カルボキシル基、フェノール性水酸
基、スルホン酸等の酸性官能基を有する不飽和単量体と
他の共重合可能な不飽和単量体(以下、「(β)他の不
飽和単量体」という。)との共重合体を挙げることがで
きる。
【0027】他のアルカリ可溶性樹脂において、カルボ
キシル基含有不飽和単量体(以下、「(α)カルボキシ
ル基含有不飽和単量体」という。)としては、例えば、
カルボキシル基含有共重合体(B1)について例示した
(a)カルボキシル基含有不飽和単量体と同様の化合物
を挙げることができる。これらの(α)カルボキシル基
含有不飽和単量体のうち、特に、(メタ)アクリル酸、
こはく酸モノ〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕
等が好ましい。前記(α)カルボキシル基含有不飽和単
量体は、単独でまたは2種以上を混合して使用すること
ができる。
【0028】また、フェノール性水酸基含有不飽和単量
体としては、例えば、o−ヒドロキシスチレン、m−ヒ
ドロキシスチレン、p−ヒドロキシスチレン、o−ヒド
ロキシ−α−メチルスチレン、m−ヒドロキシ−α−メ
チルスチレン、p−ヒドロキシ−α−メチルスチレン等
を挙げることができる。これらのフェノール性水酸基含
有不飽和単量体は、単独でまたは2種以上を混合して使
用することができる。また、スルホン酸基含有不飽和単
量体としては、例えば、イソプレンスルホン酸、p−ス
チレンスルホン酸等を挙げることができる。これらのス
ルホン酸基含有重合性不飽和単量体は、単独でまたは2
種以上を混合して使用することができる。
【0029】また、(β)他の不飽和単量体としては、
例えば、カルボキシル基含有共重合体(B1)について
例示した(c)他の不飽和単量体と同様の化合物を挙げ
ることができる。これらの(β)他の不飽和単量体のう
ち、特に、マクロモノマー類、2−ヒドロキシエチル
(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレー
ト、グリセロール(メタ)アクリレートが好ましい。ま
た、マクロモノマー類の中ではポリスチレンマクロモノ
マー、ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー
が特に好ましい。前記(β)他の不飽和単量体は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0030】他のアルカリ可溶性樹脂としては、(α)
カルボキシル基含有不飽和単量体と(β)他の不飽和単
量体との共重合体(以下、「他のカルボキシル基含有共
重合体」という。)が好ましく、さらに好ましくは少
なくとも1 種の(α)カルボキシル基含有不飽和単量体
と、ポリスチレンマクロモノマー、ポリメチル(メ
タ)アクリレートマクロモノマー、2−ヒドロキシエチ
ル(メタ)アクリレート、ベンジル(メタ)アクリレー
トおよびグリセロール(メタ)アクリレートの群から選
ばれる少なくとも1種とを含有し、場合によりスチレ
ン、メチル(メタ)アクリレート、アリル(メタ)アク
リレート、フェニル(メタ)アクリレートの群から選ば
れる少なくとも1種をさらに含有する単量体混合物の共
重合体(以下、「カルボキシル基含有共重合体(b
1)」という。)であり、特に好ましくは、(メタ)
アクリル酸を必須成分とし、場合によりこはく酸モノ
〔2−(メタ)アクリロイロキシエチル〕をさらに含有
するカルボキシル基含有不飽和単量体と、ポリスチレ
ンマクロモノマー、ポリメチル(メタ)アクリレートマ
クロモノマー、2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレ
ート、ベンジル(メタ)アクリレートおよびグリセロー
ル(メタ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも1
種とを含有し、場合によりスチレン、メチル(メタ)
アクリレート、アリル(メタ)アクリレートおよびフェ
ニル(メタ)アクリレートの群から選ばれる少なくとも
1種をさらに含有する単量体混合物の共重合体(以下、
「カルボキシル基含有共重合体(b1-1)」という。)で
ある。
【0031】カルボキシル基含有共重合体(b1-1)の具
体例としては、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)
アクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体、
(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレート/
ポリメチル(メタ)アクリレートマクロモノマー共重合
体、(メタ)アクリル酸/ベンジル(メタ)アクリレー
ト/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/こはく酸モノ〔2−(メタ)アク
リロイロキシエチル〕/ベンジル(メタ)アクリレート
/グリセロールモノ(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート共重合体、(メタ)アクリル酸/2−ヒドロ
キシエチル(メタ)アクリレート/スチレン共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート/ベンジル(メタ)アクリレート共重合体、
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート/フェニル(メタ)アクリレート共重合体
(メタ)アクリル酸/2−ヒドロキシエチル(メタ)ア
クリレート/ベンジル(メタ)アクリレート/ポリスチ
レンマクロモノマー共重合体、(メタ)アクリル酸/2
−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート/ベンジル
(メタ)アクリレート/ポリメチル(メタ)アクリレー
トマクロモノマー共重合体等を挙げることができる。
【0032】本発明における他のカルボキシル基含有共
重合体中の(α)カルボキシル基含有不飽和単量体の共
重合割合は、通常、5〜50重量%、好ましくは10〜
40重量%である。この場合、(α)カルボキシル基含
有不飽和単量体の共重合割合が5重量%未満では、カル
ボキシル基含有不飽和単量体(B1)中の(a)カルボ
キシル基含有不飽和単量体の共重合割合や他のカルボキ
シル基含有共重合体の使用量によっては、得られる感放
射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解性が低下す
る傾向があり、一方50重量%を超えると、カルボキシ
ル基含有不飽和単量体(B1)中の(a)カルボキシル
基含有不飽和単量体の共重合割合や他のカルボキシル基
含有共重合体の使用量によっては、アルカリ現像液に対
する溶解性が過大となり、アルカリ現像液により現像す
る際に、画素の基板からの脱落を来たしやすくなる傾向
がある。
【0033】他のアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエー
ションクロマトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラ
ヒドロフラン)で測定したポリスチレン換算重量平均分
子量(以下、「Mw」という。)は、好ましくは20,
000以下、さらに好ましくは3,000〜20,00
0、特に好ましくは5,000〜20,000である。
また、当該他のアルカリ可溶性樹脂のガラス転移温度
(以下、「Tg」という。)は、好ましくは110℃以
上、さらに好ましくは110〜200℃、特に好ましく
は110〜180℃である。当該他のアルカリ可溶性樹
脂のMwとTgとの組み合わせとしては、さらに好まし
くはMwが3,000〜20,000でTgが110〜
200℃であり、特に好ましくはMwが5,000〜2
0,000でTgが110〜180℃である。なお、当
該他のアルカリ可溶性樹脂のゲルパーミエーションクロ
マトグラフィー(GPC、溶出溶媒:テトラヒドロフラ
ン)で測定したポリスチレン換算数平均分子量(以下、
「Mn」という。)は、好ましくは1,500〜10,
000である。また、当該他のアルカリ可溶性樹脂のM
wとMnの比(Mw/Mn)は、通常、1〜5、好まし
くは1〜4である。前記他のアルカリ可溶性樹脂は、単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0034】本発明において、カルボキシル基含有共重
合体(B1)の使用量は、(A)着色剤100重量部に
対して、通常、10〜1,000重量部、好ましくは2
0〜500重量部である。この場合、カルボキシル基含
有共重合体(B1)の使用量が10重量部未満では、例
えば、アルカリ現像性が低下したり、未露光部の基板上
あるいは遮光層上に地汚れや膜残りが発生するおそれが
あり、一方1,000重量部を超えると、相対的に着色
剤濃度が低下するため、画素として目的とする色濃度を
達成することが困難となるおそれがある。
【0035】また、他のアルカリ可溶性樹脂の使用割合
は、カルボキシル基含有共重合体(B1)と他のアルカ
リ可溶性樹脂との合計100重量部に対して、通常、6
0重量部以下、好ましくは40重量部以下である。この
場合、他のアルカリ可溶性樹脂の使用割合が60重量部
を超えると、現像性、画素の基板や遮光層との密着性、
画素の耐熱性等が低下する傾向がある。
【0036】(C)多官能性単量体 本発明における多官能性単量体は、2個以上の重合性不
飽和結合を有する単量体である。多官能性単量体として
は、例えば、エチレングリコール、プロピレングリコー
ル等のアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレート
類;ポリエチレングリコール、ポリプロピレングリコー
ル等のポリアルキレングリコールのジ(メタ)アクリレ
ート類;グリセリン、トリメチロールプロパン、ペンタ
エリスリトール、ジペンタエリスリトール等の3価以上
の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類または
それらのジカルボン酸変性物;ポリエステル、エポキシ
樹脂、ウレタン樹脂、アルキド樹脂、シリコーン樹脂、
スピラン樹脂等のオリゴ(メタ)アクリレート類;両末
端ヒドロキシポリ−1,3−ブタジエン、両末端ヒドロ
キシポリイソプレン、両末端ヒドロキシポリカプロラク
トン等の両末端ヒドロキシル化重合体のジ(メタ)アク
リレート類や、トリス〔2−(メタ)アクリロイロキシ
エチル〕フォスフェート等を挙げることができる。
【0037】これらの多官能性単量体のうち、3価以上
の多価アルコールのポリ(メタ)アクリレート類または
それらのジカルボン酸変性物が好ましく、具体的には、
トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタ
エリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタ
エリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタ
エリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、下記式
(3)
【0038】
【化4】 〔式(3)において、各R3 は相互に独立に水素原子ま
たはメチル基を示す。〕
【0039】で表される化合物等が好ましく、特に、ト
リメチロールプロパントリアクリレート、ペンタエリス
リトールトリアクリレートおよびジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレートが、スペーサの強度が高く、かつ
未露光部の基板上および遮光層上に地汚れ、膜残り等を
発生し難い点で好ましい。これらの多官能性単量体は、
単独でまたは2種以上を混合して使用することができ
る。
【0040】本発明における多官能性単量体の使用量
は、(B)アルカリ可溶性樹脂100重量部に対して、
通常、5〜500重量部、好ましくは20〜300重量
部である。この場合、多官能性単量体の使用量が5重量
部未満では、画素の強度が低下する傾向があり、一方5
00重量部を超えると、例えば、アルカリ現像性が低下
したり、未露光部の基板上あるいは遮光層上に地汚れ、
膜残り等が発生しやすくなる傾向がある。
【0041】本発明においては、多官能性単量体の一部
を、1個の重合性不飽和結合を有する単官能性単量体で
置き換えることもできる。前記単官能性単量体として
は、例えば、前記(B)アルカリ可溶性樹脂について例
示したカルボキシル基含有不飽和単量体、他の不飽和単
量体や、N−ビニルサクシンイミド、N−ビニルピロリ
ドン、N−ビニルフタルイミド、N−ビニル−2−ピペ
リドン、N−ビニル−ε−カプロラクタム、N−ビニル
ピロール、N−ビニルピロリジン、N−ビニルイミダゾ
ール、N−ビニルイミダゾリジン、N−ビニルインドー
ル、N−ビニルインドリン、N−ビニルベンズイミダゾ
−ル、N−ビニルカルバゾール、N−ビニルピペリジ
ン、N−ビニルピペラジン、N−ビニルモルホリン、N
−ビニルフェノキサジン等のN−ビニル誘導体類;N−
(メタ)アクリロイルモルフォリンのほか、市販品とし
て、M−5300、M−5400、M−5600(商品
名、東亞合成(株)製)等を挙げることができる。これ
らの単官能性単量体は、単独でまたは2種以上を混合し
て使用することができる。単官能性単量体の使用割合
は、多官能性単量体と単官能性単量体の合計に対して、
通常、90重量%以下、好ましくは50重量%以下であ
る。この場合、単官能性単量体の使用割合が90重量%
を超えると、画素の強度が低下する傾向がある。
【0042】(D)光重合開始剤 本発明における光重合開始剤は、可視光線、紫外線、遠
紫外線、電子線、X線等の露光により、前記(C)多官
能性単量体および場合により使用される単官能性単量体
の重合を開始しうる活性種を発生することができる化合
物である。このような光重合開始剤としては、例えば、
アセトフェノン系化合物、ビイミダゾール系化合物、ト
リアジン系化合物、ベンゾイン系化合物、ベンゾフェノ
ン系化合物、α−ジケトン系化合物、多核キノン系化合
物、キサントン系化合物、ジアゾ系化合物等を挙げるこ
とができる。本発明において、光重合開始剤は、単独で
または2種以上を混合して使用することができるが、本
発明における光重合開始剤としては、アセトフェノン系
化合物、ビイミダゾール系化合物およびトリアジン系化
合物の群から選ばれる少なくとも1種が好ましい。
【0043】本発明における光重合開始剤の一般的な使
用量は、(C)多官能性単量体と単官能性単量体との合
計100重量部に対して、通常、0.01〜80重量
部、好ましくは1〜60重量部である。この場合、光重
合開始剤の使用量が0.01重量部未満では、露光によ
る硬化が不十分となり、画素パターンが所定の配列に従
って配置された画素アレイを得ることが困難となるおそ
れがあり、一方80重量部を超えると、画素が現像時に
基板から脱落しやすくなる傾向がある。
【0044】本発明における好ましい光重合開始剤のう
ち、アセトフェノン系化合物の具体例としては、1−フ
ェニル−2−ヒドロキシ−2−メチルプロパン−1−オ
ン、1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−メチル
−2−モルフォリノプロパン−1−オン、1−(4−モ
ルフォリノフェニル)−2−ベンジル−2−ジメチルア
ミノブタン−1−オン、1−ヒドロキシシクロヘキシル
・フェニルケトン、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフ
ェニルエタン−1−オン等を挙げることができる。
【0045】これらのアセトフェノン系化合物のうち、
特に、1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−メチ
ル−2−モルフォリノプロパン−1−オン、1−(4−
モルフォリノフェニル)−2−ベンジル−2−ジメチル
アミノブタン−1−オンが好ましい。前記アセトフェノ
ン系化合物は、単独でまたは2種以上を混合して使用す
ることができる。
【0046】本発明において、光重合開始剤としてアセ
トフェノン系化合物を使用する場合の使用量は、(C)
多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部
に対して、通常、0.01〜80重量部、好ましくは1
〜60重量部、さらに好ましくは1〜30重量部であ
る。この場合、アセトフェノン系化合物の使用量が0.
01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、
画素パターンが所定の配列に従って配置された画素アレ
イを得ることが困難となるおそれがあり、一方80重量
部を超えると、画素が現像時に基板から脱落しやすくな
る傾向がある。
【0047】また、ビイミダゾール系化合物の具体例と
しては、2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラキス(4−エトキシカルボニル
フェニル)−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラキス(4−エトキシカルボニルフェニル)−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2−クロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4−ジクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビス(2,4,
6−トリクロロフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2−ブロモフェニル)−4,4’,5,5’−テト
ラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,2’−ビ
ス(2,4−ジブロモフェニル)−4,4’,5,5’
−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール、2,
2’−ビス(2,4,6−トリブロモフェニル)−4,
4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダ
ゾール等を挙げることができる。
【0048】これらのビイミダゾール系化合物のうち、
2,2’−ビス(2−クロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾー
ル、2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−
4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイ
ミダゾール、2,2’−ビス(2,4,6−トリクロロ
フェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−
1,2’−ビイミダゾールがさらに好ましく、特に2,
2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール
が好ましい。前記ビイミダゾール系化合物は、溶剤に対
する溶解性に優れ、未溶解物、析出物等の異物を生じる
ことがなく、しかも感度が高く、少ないエネルギー量の
露光により硬化反応を十分進行させるとともに、未露光
部で硬化反応が生じることがないため、露光後の塗膜
は、現像液に対して不溶性の硬化部分と、現像液に対し
て高い溶解性を有する未硬化部分とに明確に区分され、
それにより、アンダーカットのない画素パターンが所定
の配列に従って配置された高精細な画素アレイを形成す
ることができる。前記ビイミダゾール系化合物は、単独
でまたは2種以上を混合して使用することができる。
【0049】本発明において、光重合開始剤としてビイ
ミダゾール系化合物を使用する場合の使用量は、(C)
多官能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部
に対して、通常、0.01〜40重量部、好ましくは1
〜30重量部、さらに好ましくは1〜20重量部であ
る。この場合、ビイミダゾール系化合物の使用量が0.
01重量部未満では、露光による硬化が不十分となり、
画素パターンが所定の配列に従って配置された画素アレ
イを得ることが困難となるおそれがあり、一方40重量
部を超えると、現像する際に、画素が基板から脱落しや
すくなる傾向がある。
【0050】−水素供与体− 本発明においては、光重合開始剤としてビイミダゾール
系化合物を用いる場合、下記する水素供与体を併用する
ことが、感度をさらに改良することができる点で好まし
い。ここでいう「水素供与体」とは、露光によりビイミ
ダゾール系化合物から発生したラジカルに対して、水素
原子を供与することができる化合物を意味する。本発明
における水素供与体としては、下記で定義するメルカプ
タン系化合物、アミン系化合物等が好ましい。前記メル
カプタン系化合物は、ベンゼン環あるいは複素環を母核
とし、該母核に直接結合したメルカプト基を1個以上、
好ましくは1〜3個、さらに好ましくは1〜2個有する
化合物(以下、「メルカプタン系水素供与体」とい
う。)からなる。また、前記アミン系化合物は、ベンゼ
ン環あるいは複素環を母核とし、該母核に直接結合した
アミノ基を1個以上、好ましくは1〜3個、さらに好ま
しくは1〜2個有する化合物(以下、「アミン系水素供
与体」という。)からなる。なお、これらの水素供与体
は、メルカプト基とアミノ基とを同時に有することもで
きる。
【0051】以下、これらの水素供与体について、より
具体的に説明する。メルカプタン系水素供与体は、ベン
ゼン環あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することが
でき、またベンゼン環と複素環との両者を有することが
でき、これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成
しても形成しなくてもよい。また、メルカプタン系水素
供与体は、メルカプト基を2個以上有する場合、少なく
とも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、残り
のメルカプト基の1個以上がアルキル、アラルキルまた
はアリール基で置換されていてもよく、さらには少なく
とも1個の遊離メルカプト基が残存する限りでは、2個
の硫黄原子がアルキレン基等の2価の有機基を介在して
結合した構造単位、あるいは2個の硫黄原子がジスルフ
ィドの形で結合した構造単位を有することができる。さ
らに、メルカプタン系水素供与体は、メルカプト基以外
の箇所で、カルボキシル基、アルコキシカルボニル基、
置換アルコキシカルボニル基、フェノキシカルボニル
基、置換フェノキシカルボニル基、ニトリル基等によっ
て置換されていてもよい。
【0052】このようなメルカプタン系水素供与体の具
体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール、2−
メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾ
イミダゾール、2,5−ジメルカプト−1,3,4−チ
アジアゾール、2−メルカプト−2,5−ジメチルアミ
ノピリジン等を挙げることができる。これらのメルカプ
タン系水素供与体のうち、2−メルカプトベンゾチアゾ
ール、2−メルカプトベンゾオキサゾールが好ましく、
特に2−メルカプトベンゾチアゾールが好ましい。
【0053】次に、アミン系水素供与体は、ベンゼン環
あるいは複素環をそれぞれ1個以上有することができ、
またベンゼン環と複素環との両者を有することができ、
これらの環を2個以上有する場合、縮合環を形成しても
形成しなくてもよい。また、アミン系水素供与体は、ア
ミノ基の1個以上がアルキル基または置換アルキル基で
置換されてもよく、またアミノ基以外の箇所で、カルボ
キシル基、アルコキシカルボニル基、置換アルコキシカ
ルボニル基、フェノキシカルボニル基、置換フェノキシ
カルボニル基、ニトリル基等によって置換されていても
よい。
【0054】このようなアミン系水素供与体の具体例と
しては、4、4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェ
ノン、4、4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ン、4−ジエチルアミノアセトフェノン、4−ジメチル
アミノプロピオフェノン、エチル−4−ジメチルアミノ
ベンゾエート、4−ジメチルアミノ安息香酸、4−ジメ
チルアミノベンゾニトリル等を挙げることができる。こ
れらのアミン系水素供与体のうち、4,4’−ビス(ジ
メチルアミノ)ベンゾフェノン、4,4’−ビス(ジエ
チルアミノ)ベンゾフェノンが好ましく、特に4,4’
−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノンが好ましい。
アミン系水素供与体は、ビイミダゾール系化合物以外の
光重合開始剤の場合においても、増感剤としての作用を
有するものである。
【0055】本発明において、水素供与体は、単独でま
たは2種以上を混合して使用することができるが、1種
以上のメルカプタン系水素供与体と1種以上のアミン系
水素供与体とを組み合わせて使用することが、形成され
たスペーサーが現像時に基板から脱落し難く、またスペ
ーサーの強度および感度も高い点で好ましい。メルカプ
タン系水素供与体とアミン系水素供与体との組み合わせ
の具体例としては、2−メルカプトベンゾチアゾール/
4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン、2
−メルカプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエ
チルアミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオ
キサゾール/4,4’−ビス(ジメチルアミノ)ベンゾ
フェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾール/4,
4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン等を挙げ
ることができ、さらに好ましい組み合わせは、2−メル
カプトベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルア
ミノ)ベンゾフェノン、2−メルカプトベンゾオキサゾ
ール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ
ンであり、特に好ましい組み合わせは、2−メルカプト
ベンゾチアゾール/4,4’−ビス(ジエチルアミノ)
ベンゾフェノンである。メルカプタン系水素供与体とア
ミン系水素供与体との組み合わせにおけるメルカプタン
系水素供与体とアミン系水素供与体との重量比は、通
常、1:1〜1:4、好ましくは1:1〜1:3であ
る。
【0056】本発明において、水素供与体をビイミダゾ
ール系化合物と併用する場合の使用量は、(C)多官能
性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対し
て、好ましくは0.01〜40重量部、さらに好ましく
は1〜30重量部、特に好ましくは1〜20重量部であ
る。この場合、水素供与体の使用量が0.01重量部未
満であると、感度の改良効果が低下する傾向があり、一
方40重量部を超えると、現像時に画素が基板から脱落
しやすくなる傾向がある。
【0057】また、前記トリアジン系化合物の具体例と
しては、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s
−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロ
メチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフ
ラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロ
ロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2
−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミ
ノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−
(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4
−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチ
ル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)
−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジ
ン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス
(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル
基を有するトリアジン系化合物を挙げることができる。
これらのトリアジン系化合物のうち、特に2−[2−
(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−
ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジンが好まし
い。前記トリアジン系化合物は、単独でまたは2種以上
を混合して使用することができる。
【0058】本発明において、光重合開始剤としてトリ
アジン系化合物を使用する場合の使用量は、(C)多官
能性単量体と単官能性単量体との合計100重量部に対
して、好ましくは0.01〜40重量部、さらに好まし
くは1〜30重量部、特に好ましくは1〜20重量部で
ある。この場合、トリアジン系化合物の使用量が0.0
1重量部未満であると、露光による硬化が不十分とな
り、画素パターンが所定の配列に従って配置された画素
アレイを得ることが困難となるおそれがあり、一方40
重量部を超えると、現像時に画素が基板から脱落しやす
くなる傾向がある。
【0059】(E)溶剤 本発明における溶剤としては、前記(A)〜(D)成分
や後述する添加剤成分を溶解または分散し、かつこれら
の成分と反応せず、適度の揮発性を有するものである限
り、適宜に選択して使用することができる。このような
溶剤の具体例としては、3−メトキシプロピルアセテー
ト、3−エトキシプロピルアセテート等の3−アルコキ
シプロピルアセテート類;3−メトキシプロピオン酸メ
チル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシ
プロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル
等の3−アルコキシプロピオン酸エステル類;
【0060】エチレングリコールモノメチルエーテル、
エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリ
コールモノ−n−プロピルエーテル、エチレングリコー
ルモノ−n−ブチルエーテル、ジエチレングリコールモ
ノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエ
ーテル、ジエチレングリコールモノ−n−プロピルエー
テル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテ
ル、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリ
エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレング
リコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモ
ノエチルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−プ
ロピルエーテル、プロピレングリコールモノ−n−ブチ
ルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプ
ロピレングリコールモノ−n−プロピルエーテル、ジプ
ロピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、トリプ
ロピレングリコールモノメチルエーテル、トリプロピレ
ングリコールモノエチルエーテル等の(ポリ)アルキレ
ングリコールモノアルキルエーテル類;エチレングリコ
ールモノメチルエーテルアセテート、エチレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート、ジエチレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテート、ジエチレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコー
ルモノエチルエーテルアセテート等の(ポリ)アルキレ
ングリコールモノアルキルエーテルアセテート類;
【0061】ジエチレングリコールジメチルエーテル、
ジエチレングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレ
ングリコールジエチルエーテル、テトラヒドロフラン等
の他のエーテル類;メチルエチルケトン、2−ヘプタノ
ン、3−ヘプタノン等の他のケトン類;2−ヒドロキシ
プロピオン酸メチル、2−ヒドロキシプロピオン酸エチ
ル等の乳酸アルキルエステル類;2−ヒドロキシ−2−
メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチル、ヒド
ロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン
酸メチル、3−メチル−3−メトキシブチルアセテー
ト、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、
酢酸エチル、酢酸n−プロピル、酢酸i−プロピル、酢
酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、酢
酸i−ペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチ
ル、酪酸n−プロピル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブ
チル、ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン
酸n−プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチ
ル、2−オキソブタン酸エチル等の他のエステル類;ト
ルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類;N,N−ジメ
チルホルムアミド、N,N−ジメチルアセトアミド等の
アミド類等を挙げることができる。これらの溶剤は、単
独でまたは2種以上を混合して使用することができる。
また、溶剤の溶解力を向上させるため、前記溶剤と共
に、N−メチルピロリドン、シクロペンタノン、シクロ
ヘキサノン、ジメチルケトン、エチレングリコールモノ
−n−ブチルエーテルアセテートおよびジエチレングリ
コールモノ−n−ブチルエーテルアセテートの群から選
ばれる少なくとも1種を補助的に併用することもでき
る。
【0062】3−アルコキシプロピルアセテート類およ
び3−アルコキシプロピオン酸エステル類の群、特に好
ましくは3−メトキシプロピルアセテートおよび3−エ
トキシプロピオン酸エチルは、感放射線性組成物におけ
る有機顔料(α)以外の構成成分に対する溶解性、有機
顔料(α)の分散性、感放射線性組成物の塗布性等の観
点から、顔料濃度の比較的低いレベルから高いレベルま
での広い範囲で特に好ましい溶剤である。この場合に使
用される溶剤としては、3−アルコキシプロピルアセテ
ート類および3−アルコキシプロピオン酸エステル類の
群、特に好ましくは3−メトキシプロピルアセテートお
よび3−エトキシプロピオン酸エチルの群から選ばれる
少なくとも1種が、好ましくは40重量%以上、さらに
好ましくは60〜95重量%、特に好ましくは80〜9
5重量%を含み、場合により、N−メチルピロリドン、
シクロペンタノン、シクロヘキサノン、ジメチルケト
ン、エチレングリコールモノ−n−ブチルエーテルアセ
テートおよびジエチレングリコールモノ−n−ブチルエ
ーテルアセテートの群から選ばれる少なくとも1種を好
ましくは60重量%以下、さらに好ましくは5〜40重
量%、特に好ましくは5〜20重量%を含むものが望ま
しい。
【0063】さらに、感放射線性組成物における有機顔
料(α)以外の構成成分に対する溶解性、有機顔料
(α)の分散性、感放射線性組成物の塗布性等の観点か
ら、プロピレングリコールモノメチルエーテル、エチレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレ
ングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレ
ングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジエチレ
ングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコール
メチルエチルエーテル、2−ヘプタノン、3−ヘプタノ
ン、2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、3−メトキシ
プロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチ
ル、3−メチル−3−メトキシブチルプロピオネート、
酢酸n−ブチル、酢酸i−ブチル、ぎ酸n−ペンチル、
酢酸i−ペンチル、プロピオン酸n−ブチル、酪酸エチ
ル、酪酸i−プロピル、酪酸n−ブチル、ピルビン酸エ
チル等の1種以上も好ましく使用される。
【0064】本発明においては、前記溶剤と共に、ベン
ジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニル
アセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1−
オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコール、
酢酸ベンジル、安息香酸エチル、しゅう酸ジエチル、マ
レイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エチレ
ン、炭酸プロピレン、エチレングリコールモノフェニル
エーテルアセテート等の高沸点溶剤を併用することもで
きる。これらの高沸点溶剤は、単独でまたは2種以上を
混合して使用することができる。
【0065】本発明における溶剤の使用量は、特に限定
されるものではないが、感放射線性組成物の塗布性、安
定性等の観点から、感放射線性組成物の溶剤を除いた各
成分の合計濃度が、好ましくは、1〜50重量%、さら
に好ましくは5〜40重量%、特に好ましくは10〜3
0重量%となる量が望ましい。また、本発明における感
放射線性組成物の粘度は、好ましくは4〜40cps、
さらに好ましくは4〜30cps、特に好ましくは5〜
20cpsであることが望ましい。このような粘度範囲
を採用することにより、膜厚が比較的薄い画素(膜厚
が、例えば1.5μm程度)から膜厚が比較的厚い画素
(膜厚が、例えば3μm程度)までを容易に形成するこ
とができる。
【0066】添加剤 本発明における感放射線性組成物は、必要に応じて、種
々の添加剤を含有することもできる。前記添加剤として
は、感放射線性組成物のアルカリ現像液に対する溶解特
性をより改善し、かつ現像後の未溶解物の残存をより抑
制する作用等を示す、有機酸または有機アミノ化合物
(但し、前記水素供与体を除く。)等を挙げることがで
きる。
【0067】−有機酸− 前記有機酸としては、分子中に1個以上のカルボキシル
基を有する、脂肪族カルボン酸あるいはフェニル基含有
カルボン酸が好ましい。前記脂肪族カルボン酸の例とし
ては、ぎ酸、酢酸、プロピオン酸、酪酸、吉草酸、ピバ
ル酸、カプロン酸、ジエチル酢酸、エナント酸、カプリ
ル酸等の脂肪族モノカルボン酸類;しゅう酸、マロン
酸、こはく酸、グルタル酸、アジピン酸、ピメリン酸、
スベリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、ブラシル酸、
メチルマロン酸、エチルマロン酸、ジメチルマロン酸、
メチルこはく酸、テトラメチルこはく酸、シクロヘキサ
ンジカルボン酸、イタコン酸、シトラコン酸、マレイン
酸、フマル酸、メサコン酸等の脂肪族ジカルボン酸類;
トリカルバリル酸、アコニット酸、カンホロン酸等の脂
肪族トリカルボン酸類等を挙げることができる。
【0068】また、前記フェニル基含有カルボン酸とし
ては、例えば、カルボキシル基が直接フェニル基に結合
した化合物や、カルボキシル基が炭素鎖を介してフェニ
ル基に結合した化合物等を挙げることができる。フェニ
ル基含有カルボン酸の例としては、安息香酸、トルイル
酸、クミン酸、ヘメリト酸、メシチレン酸等の芳香族モ
ノカルボン酸類;フタル酸、イソフタル酸、テレフタル
酸等の芳香族ジカルボン酸類;トリメリット酸、トリメ
シン酸、メロファン酸、ピロメリット酸等の3価以上の
芳香族ポリカルボン酸類や、フェニル酢酸、ヒドロアト
ロパ酸、ヒドロけい皮酸、マンデル酸、フェニルこはく
酸、アトロパ酸、けい皮酸、シンナミリデン酸、クマル
酸、ウンベル酸等を挙げることができる。
【0069】これらの有機酸のうち、アルカリ溶解性、
後述する溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上および
遮光層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、
脂肪族カルボン酸としては、脂肪族ジカルボン酸類が好
ましく、特に、マロン酸、アジピン酸、イタコン酸、シ
トラコン酸、フマル酸、メサコン酸等が好ましく、また
フェニル基含有カルボン酸としては、芳香族ジカルボン
酸類が好ましく、特にフタル酸が好ましい。前記有機酸
は、単独でまたは2種以上を混合して使用することがで
きる。有機酸の使用量は、感放射線性組成物の全量に対
して、通常、15重量%以下、好ましくは10重量%以
下である。この場合、有機酸の使用量が15重量%を超
えると、画素の基板に対する密着性が低下する傾向があ
る。
【0070】−有機アミノ化合物− また、前記有機アミノ化合物としては、分子中に1個以
上のアミノ基を有する、脂肪族アミンあるいはフェニル
基含有アミンが好ましい。前記脂肪族アミンの例として
は、n−プロピルアミン、i−プロピルアミン、n−ブ
チルアミン、i−ブチルアミン、sec−ブチルアミ
ン、t−ブチルアミン、n−ペンチルアミン、n−ヘキ
シルアミン等のモノ(シクロ)アルキルアミン類;メチ
ルエチルアミン、ジエチルアミン、メチルn−プロピル
アミン、エチルn−プロピルアミン、ジ−n−プロピル
アミン、ジ−i−プロピルアミン、ジ−n−ブチルアミ
ン、ジ−i−ブチルアミン、ジ−sec−ブチルアミ
ン、ジ−t−ブチルアミン等のジ(シクロ)アルキルア
ミン類;
【0071】ジメチルエチルアミン、メチルジエチルア
ミン、トリエチルアミン、ジメチルn−プロピルアミ
ン、ジエチルn−プロピルアミン、メチルジ−n−プロ
ピルアミン、エチルジ−n−プロピルアミン、トリ−n
−プロピルアミン、トリ−i−プロピルアミン、トリ−
n−ブチルアミン、トリ−i−ブチルアミン、トリ−s
ec−ブチルアミン、トリ−t−ブチルアミン等のトリ
(シクロ)アルキルアミン類;2−アミノエタノール、
3−アミノ−1−プロパノール、1−アミノ−2−プロ
パノール、4−アミノ−1−ブタノール等のモノ(シク
ロ)アルカノールアミン類;
【0072】ジエタノールアミン、ジ−n−プロパノー
ルアミン、ジ−i−プロパノールアミン、ジ−n−ブタ
ノールアミン、ジ−i−ブタノールアミン等のジ(シク
ロ)アルカノールアミン類;トリエタノールアミン、ト
リ−n−プロパノールアミン、トリ−i−プロパノール
アミン、トリ−n−ブタノールアミン、トリ−i−ブタ
ノールアミン等のトリ(シクロ)アルカノールアミン
類;3−アミノ−1,2−プロパンジオール、2−アミ
ノ−1,3−プロパンジオール、4−アミノ−1,2−
ブタンジオール、4−アミノ−1,3−ブタンジオー
ル、3−ジメチルアミノ−1,2−プロパンジオール、
3−ジエチルアミノ−1,2−プロパンジオール、2−
ジメチルアミノ−1,3−プロパンジオール、2−ジエ
チルアミノ−1,3−プロパンジオール等のアミノ(シ
クロ)アルカンジオール類;β−アラニン、2−アミノ
酪酸、3−アミノ酪酸、4−アミノ酪酸、2−アミノイ
ソ酪酸、3−アミノイソ酪酸等のアミノカルボン酸類等
を挙げることができる。
【0073】また、フェニル基含有アミンとしては、例
えば、アミノ基が直接フェニル基に結合した化合物、ア
ミノ基が炭素鎖を介してフェニル基に結合した化合物等
を挙げることができる。フェニル基含有アミンの例とし
ては、アニリン、o−メチルアニリン、m−メチルアニ
リン、p−メチルアニリン、p―エチルアニリン、1−
ナフチルアミン、2−ナフチルアミン、N,N−ジメチ
ルアニリン、N,N−ジエチルアニリン、p−メチル−
N,N−ジメチルアニリン等の芳香族アミン類;o−ア
ミノベンジルアルコール、m−アミノベンジルアルコー
ル、p−アミノベンジルアルコール、p−ジメチルアミ
ノベンジルアルコール、p−ジエチルアミノベンジルア
ルコール等のアミノベンジルアルコール類;o−アミノ
フェノール、m―アミノフェノール、p―アミノフェノ
ール、p−ジメチルアミノフェノール、p−ジエチルア
ミノフェノール等のアミノフェノール類;m−アミノ安
息香酸、p―アミノ安息香酸、p−ジメチルアミノ安息
香酸、p−ジエチルアミノ安息香酸等のアミノ安息香酸
(誘導体)類等を挙げることができる。
【0074】これらの有機アミノ化合物のうち、後述す
る溶媒に対する溶解性、未露光部の基板上あるいは遮光
層上における地汚れや膜残りの防止等の観点から、脂肪
族アミンとしては、モノ(シクロ)アルカノールアミン
類およびアミノ(シクロ)アルカンジオール類が好まし
く、特に、2−アミノエタノール、3−アミノ−1−プ
ロパノール、5−アミノ−1−ペンタノール、3−アミ
ノ−1,2−プロパンジオール、2−アミノ−1、3−
プロパンジオール、4−アミノ−1、2−ブタンジオー
ル等が好ましく、またフェニル基含有アミンとしては、
アミノフェノール類が好ましく、特に、o−アミノフェ
ノール、m−アミノフェノール、p−アミノフェノール
等が好ましい。前記有機アミノ化合物は、単独でまたは
2種以上混合して使用することができる。有機アミノ化
合物の使用量は、感放射線性組成物の全量に対して、通
常、15重量%以下、好ましくは10重量%以下であ
る。この場合、有機アミノ化合物の使用量が15重量%
を超えると、画素の基板との密着性が低下する傾向があ
る。
【0075】また、前記以外の添加剤としては、例え
ば、銅フタロシアニン誘導体等の青色顔料誘導体や黄色
顔料誘導体等の分散助剤;ガラス、アルミナ等の充填
剤;ポリビニルアルコール、ポリエチレングリコールモ
ノアルキルエーテル類、ポリ(フロロアルキルアクリレ
ート)類等の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、
アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラ
ン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メ
トキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−
3−アミノプロピル・メチル・ジメトキシシラン、N−
(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキ
シシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3
−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリ
シドキシプロピル・メチル・ジメトキシシラン、2−
(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキ
シシラン、3−クロロプロピル・メチル・ジメトキシシ
ラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メ
タクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカ
プトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,
2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノー
ル)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止
剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキ
シフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコ
キシベンゾフェノン類等の紫外線吸収剤;ポリアクリル
酸ナトリウム等の凝集防止剤;1,1’−アゾビス(シ
クロヘキサン−1−カルボニトリル)、2−フェニルア
ゾ−4−メトキシ−2,4−ジメチルバレロニトリル等
の熱ラジカル発生剤等を挙げることができる。
【0076】カラーフィルタの形成方法 次に、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成物を用
いて、カラーフィルタを形成する方法について説明す
る。前記カラーフィルタは、本発明のカラーフィルタ用
感放射線性組成物から形成された赤色画素を備えたもの
である。まず、基板表面上に、必要に応じて、画素を形
成する部分を区画するように遮光層を形成し、この基板
上に、(A)着色剤を含有する感放射線性組成物を塗布
したのち、プレベークを行って溶剤を蒸発させ、塗膜を
形成する。次いで、この塗膜にフォトマスクを介して露
光したのち、好ましくはアルカリ性現像液を用いて現像
して、塗膜の未露光部を溶解除去し、その後ポストベー
クすることにより、赤色の画素パターンが所定の配列で
配置された画素アレイを形成する。
【0077】その後、緑色または青色の顔料が分散され
た各感放射線性組成物を用い、前記と同様にして、各感
放射線性組成物の塗布、プレベーク、露光、現像および
ポストベークを行って、緑色の画素アレイおよび青色の
画素アレイを同一基板上に形成することにより、赤色、
緑色および青色の三原色の画素アレイが基板上に配置さ
れたカラーフィルタを得る。但し、基板表面上への各色
の画素の形成順は前記の場合に限定されるものではな
く、赤色画素、緑色画素および青色画素は任意の順で形
成することができる。また、前述したカラーフィルタに
は、必要に応じて、ブラックマトリックスを形成するこ
とができる。
【0078】前記緑色の画素アレイおよび青色の画素ア
レイあるいはブラックマトリックスを形成する際に使用
される感放射線性組成物は、通常、(i)着色剤、(i
i)アルカリ可溶性樹脂、(iii) 多官能性単量体、(i
v)光重合開始剤および(v)溶剤を含有し、必要に応
じて添加剤をさらに含有する組成物からなる。前記
(i)着色剤は、得られるカラーフィルタの用途に応じ
て適宜選定され、顔料、染料あるいは天然色素の何れで
もよいが、カラーフィルタには高精細な発色と耐熱性が
求められることから、(i)着色剤としては、発色性が
高く、かつ耐熱性の高い着色剤、特に耐熱分解性の高い
着色剤が好ましく、通常、顔料、特に好ましくは有機顔
料(以下、「有機顔料(β)」という。)および/また
はカーボンブラックが用いられる。
【0079】有機顔料(β)としては、例えば、カラー
インデックス(C.I.;The Societyof Dyers and Colour
ists 社発行) においてピグメント(Pigment)に分類さ
れている化合物、具体的には、下記のようなカラーイン
デックス(C.I.)番号が付されているものを挙げること
ができる。C.I.ピグメントレッド48:1、C.I.ピグメ
ントレッド48:2、C.I.ピグメントレッド122、C.
I.ピグメントレッド177、C.I.ピグメントレッド20
2、C.I.ピグメントレッド206、C.I.ピグメントレッ
ド207、C.I.ピグメントレッド209、C.I.ピグメン
トレッド224、C.I.ピグメントレッド254等の赤色
有機顔料;C.I.ピグメントバイオレット19、C.I.ピグ
メントバイオレット23、C.I.ピグメントバイオレット
29、C.I.ピグメントバイオレット32、C.I.ピグメン
トバイオレット36、C.I.ピグメントバイオレット38
等の紫色有機顔料;C.I.ピグメントイエロー83、C.I.
ピグメントイエロー110、C.I.ピグメントイエロー1
38、C.I.ピグメントイエロー139、C.I.ピグメント
イエロー150、C.I.ピグメントイエロー155等の黄
色有機顔料;C.I.ピグメントブルー15、C.I.ピグメン
トブルー15:3、C.I.ピグメントブルー15:4、C.
I.ピグメントブルー15:6等の青色有機顔料;C.I.ピ
グメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36等の
緑色有機顔料;C.I.ピグメントブラック1、C.I.ピグメ
ントブラック7等の黒色有機顔料。これらの有機顔料
(β)は、単独でまたは2種以上を混合して使用するこ
とができる。また、有機顔料(β)は、例えば、再結晶
法、再沈殿法、溶剤洗浄法、昇華法、真空加熱法や、こ
れらの組み合わせ等により精製して使用することができ
る。
【0080】また、(i)着色剤として使用される無機
顔料の具体例としては、酸化チタン、硫酸バリウム、炭
酸カルシウム、亜鉛華、硫酸鉛、黄色鉛、亜鉛黄、べん
がら(赤色酸化鉄(III))、カドミウム赤、群青、紺青、
酸化クロム緑、コバルト緑、アンバー、チタンブラッ
ク、合成鉄黒、カーボンブラック等を挙げることができ
る。これらの無機顔料は、単独でまたは2種以上を混合
して使用することができる。(i)着色剤としては、画
素を形成する場合、好ましくは1種以上の有機顔料
(β)が使用され、またブラックマトリックスを形成す
る場合、好ましくは2種以上の有機顔料(β)および/
またはカーボンブラックが使用される。
【0081】有機顔料(β)および前記無機顔料は、所
望により、それらの粒子表面をポリマーで改質して使用
することができる。顔料の粒子表面を改質するポリマー
としては、例えば、特開平8−259876号公報等に
記載されたポリマーや、市販の各種の顔料分散用のポリ
マーまたはオリゴマー等を挙げることができる。また、
(i)着色剤は、所望により、分散剤と共に使用するこ
とができる。このような分散剤としては、例えば、前記
有機顔料(α)について例示したものと同様の界面活性
剤を挙げることができる。(i)着色剤に対する界面活
性剤の使用量は、(i)着色剤100重量部に対して、
通常、50重量部以下、好ましくは30重量部以下であ
る。
【0082】また、前記(ii)アルカリ可溶性樹脂とし
ては、例えば、(B)アルカリ可溶性樹脂として例示し
たカルボキシル基含有共重合体(B1)および他のアル
カリ可溶性樹脂と同様のものを挙げることができ、前記
(iii)多官能性単量体、(iv)光重合開始剤および
(v)溶剤としては、例えば、それぞれ前記(C)多官
能性単量体、(D)光重合開始剤および(E)溶剤と同
様のものを挙げることができ、さらに前記添加剤として
は、例えば、本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成
物について例示した添加剤と同様のものを挙げることが
できる。
【0083】本発明のカラーフィルタ用感放射線性組成
物を用いてカラーフィルタを形成する際に使用される基
板としては、例えば、ガラス、シリコン、ポリカーボネ
ート、ポリエステル、芳香族ポリアミド、ポリアミドイ
ミド、ポリイミド等を挙げることができる。また、これ
らの基板には、所望により、シランカップリング剤等に
よる薬品処理、プラズマ処理、イオンプレーティング、
スパッタリング、気相反応法、真空蒸着等の適宜の前処
理を施しておくこともできる。感放射線性組成物を基板
に塗布する際には、回転塗布、流延塗布、ロール塗布等
の適宜の塗布法を採用することができる。塗布厚さは、
乾燥後の膜厚として、通常、0.1〜10μm、好まし
くは0.2〜8.0μm、特に好ましくは0.2〜6.
0μmである。カラーフィルタを作製する際に使用され
る放射線としては、例えば、可視光線、紫外線、遠紫外
線、電子線、X線等を使用することができるが、波長が
190〜450nmの範囲にある放射線が好ましい。放
射線の露光量は、好ましくは10〜10,000J/m
2 である。また、前記アルカリ現像液としては、例え
ば、炭酸ナトリウム、水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ム、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド、コ
リン、1,8−ジアザビシクロ−[5.4.0]−7−
ウンデセン、1,5−ジアザビシクロ−[4.3.0]
−5−ノネン等の水溶液が好ましい。前記アルカリ現像
液には、例えばメタノール、エタノール等の水溶性有機
溶剤や界面活性剤等を適量添加することもできる。現像
処理法としては、シャワー現像法、スプレー現像法、デ
ィップ(浸漬)現像法、パドル(液盛り)現像法等を適
用することができる。現像条件は、常温で5〜300秒
が好ましい。なお、アルカリ現像後は、通常、水洗す
る。また、ブラックマトリックスも、前記画素アレイの
場合と同様にして形成することができる。
【0084】このようにして得られたカラーフィルタ
は、例えば、透過型あるいは反射型のカラー液晶表示装
置、カラー撮像管素子、カラーセンサー等に極めて有用
である。さらに、本発明においては、薄膜トランジスタ
(TFT)方式のカラー液晶表示装置の駆動用基板上
に、前述したようにして画素あるいはそれとブラックマ
トリックスを形成することにより、特に優れた特性を有
するカラー液晶表示装置を作製することができる。
【0085】
【発明の実施の形態】本発明のカラーフィルタ用感放射
線性組成物は、前記(A)着色剤、(B)アルカリ可溶
性樹脂、(C)多官能性単量体、(D)光重合開始剤お
よび(E)溶剤を必須成分として含有するものである
が、好ましい組成物を具体的に例示すると、下記(イ)
〜(ヘ)のとおりである。 (イ) (B)アルカリ可溶性樹脂がカルボキシル基含
有共重合体(B1-1)、さらに好ましくはカルボキシル基
含有共重合体(B1-2)を含むカラーフィルタ用感放射線
性組成物。 (ロ) (C)多官能性単量体がトリメチロールプロパ
ントリアクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリ
レートおよびジペンタエリスリトールヘキサアクリレー
トの群から選ばれる少なくとも1種からなる前記(イ)
のカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ハ) (D)光重合開始剤がアセトフェノン系化合
物、ビイミダゾール系化合物およびトリアジン系化合物
の群から選ばれる少なくとも1種を含む前記(イ)また
は(ロ)のカラーフィルタ用感放射線性組成物。 (ニ) (D)光重合開始剤がビイミダゾール系化合物
および水素供与体を含む前記(イ)または(ロ)のカラ
ーフィルタ用感放射線性組成物。 (ホ) (D)光重合開始剤がさらにアセトフェノン系
化合物およびトリアジン系化合物の群から選ばれる少な
くとも1種を含む前記(ニ)のカラーフィルタ用感放射
線性組成物。 (ヘ) (E)溶剤が3−メトキシプロピルアセテート
および3−エトキシプロピオン酸エチルの群から選ばれ
る少なくとも1種を含む前記(イ)、(ロ)、(ハ)、
(ニ)または(ホ)のカラーフィルタ用感放射線性組成
物。
【0086】また、本発明の好ましいカラーフィルタ
は、 (ト) 前記(イ)〜(ヘ)の何れかのカラーフィルタ
用感放射線性組成物から形成された赤色画素を備えたカ
ラーフィルタ、からなる。
【0087】以下、実施例を挙げて本発明の実施の形態
をさらに具体的に説明する。但し、本発明は、下記実施
例に限定されるものではない。
【実施例】実施例1 〈感放射線性組成物の調製〉(A)着色剤として式
(1)における2個のR1 がメチル基である有機顔料
(1)30重量部とC.I.ピグメントレッド254を11
0重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル
酸/N−フェニルマレイミド/ベンジルメタクリレート
/スチレン共重合体(共重合重量比=20/30/30
/20、Mw=30,000、Mn=10,000)9
0重量部、(C)多官能性単量体としてジペンタエリス
リトールヘキサアクリレート60重量部、(D)光重合
開始剤として2,2’−ビス(2,4−ジクロロフェニ
ル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル−1,2’
−ビイミダゾール10重量部と4,4’−ビス(ジエチ
ルアミノ)ベンゾフェノ10重量部と2−ベンジル−2
−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)
ブタノン−1を50重量部、および(E)溶剤として3
−エトキシプロピオン酸エチル900重量部とシクロヘ
キサノン100重量部を混合して、感放射線性組成物
(R1)を調製した。この感放射線性組成物(R1)の
溶液粘度は、8cpsであった。
【0088】〈画素アレイの形成〉感放射線性組成物
(R1)を、無アルカリガラス製基板の表面上に、スピ
ンコーターを用いて塗布した。このとき、基板のエッジ
部分における感放射線性組成物(R1)の液戻りは観察
されず、塗布性が良好であった。次いで、この基板を9
0℃のクリーンオーブン内で2分間プレベークを行っ
て、膜厚2.0μmの塗膜を形成した。その後、この基
板を室温に冷却したのち、高圧水銀ランプを用い、フォ
トマスクを介して、塗膜に365nm、405nmおよ
び436nmの各波長を含む紫外線を1,000J/m
2 の露光量で露光した。その後、この基板を23℃の
0.04重量%水酸化カリウム水溶液に1分間浸漬して
現像したのち、超純水で洗浄し、風乾した。その後、2
20℃のクリーンオーブン内で30分間ポストベークを
行なって、基板上に赤色のストライプ状画素アレイを形
成した。
【0089】〈カラーフィルタの評価〉得られた画素ア
レイを走査型電子顕微鏡により観察したところ、未露光
部の基板表面が露光部とは明確に区分されて露出してお
り、また透光器を用いて観察したところ、未露光部の基
板表面上に現像残渣および地汚れが認められなかった。
しかも、画素と基板との密着性、画素の耐熱性等にも優
れていた。
【0090】比較例1 〈感放射線性組成物の調製〉(A)着色剤として式
(1)における2個のR1 がメチル基である有機顔料
(1)30重量部とC.I.ピグメントレッド254を11
0重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂としてメタクリル
酸/ベンジルメタクリレート/2−ヒドロキシエチルメ
タクリレート/ポリスチレンマクロモノマー共重合体
(共重合重量比=15/60/15/10、Mw=2
5,000、Mn=10,000)90重量部、(C)
多官能性単量体としてジペンタエリスリトールヘキサア
クリレート60重量部、(D)光重合開始剤として2,
2’−ビス(2,4−ジクロロフェニル)−4,4’,
5,5’−テトラフェニル−1,2’−ビイミダゾール
10重量部と4,4’−ビス(ジエチルアミノ)ベンゾ
フェノ10重量部と2−ベンジル−2−ジメチルアミノ
−1−(4−モルフォリノフェニル)ブタノン−1を5
0重量部、および(E)溶剤として3−エトキシプロピ
オン酸エチル900重量部とシクロヘキサノン100重
量部を混合して、感放射線性組成物(r1)を調製し
た。この感放射線性組成物(r1)の溶液粘度は、7c
psであった。
【0091】〈画素アレイの形成および評価〉感放射線
性組成物(R1)に代えて感放射線性組成物(r1)を
用いた以外は、実施例1と同様にして、基板上に赤色の
ストライプ状画素アレイを形成して、評価を行った。得
られた画素アレイを走査型電子顕微鏡により観察したと
ころ、未露光部の基板表面上に現像残渣が認められた。
また透光器を用いて観察したところ、未露光部の基板表
面上に地汚れが認められた。
【0092】比較例2 〈感放射線性組成物の調製〉(A)着色剤として式
(1)における2個のR1 がメチル基である有機顔料
(1)140重量部、(B)アルカリ可溶性樹脂として
メタクリル酸/N−フェニルマレイミド/ベンジルメタ
クリレート/スチレン共重合体(共重合重量比=20/
30/30/20、Mw=30,000、Mn=10,
000)90重量部、(C)多官能性単量体としてジペ
ンタエリスリトールヘキサアクリレート60重量部、
(D)光重合開始剤として2,2’−ビス(2,4−ジ
クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニ
ル−1,2’−ビイミダゾール10重量部と4,4’−
ビス(ジエチルアミノ)ベンゾフェノ10重量部と2−
ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリ
ノフェニル)ブタノン−1を50重量部、および(E)
溶剤としてシクロペンタノン1,000重量部を混合し
て、感放射線性組成物(r2)を調製した。この感放射
線性組成物(r2)の溶液粘度は、3cpsであった。
【0093】〈画素アレイの形成〉感放射線性組成物
(r2)を、無アルカリガラス製基板の表面上に、スピ
ンコーターを用いて塗布した。このとき、基板のエッジ
部分における感放射線性組成物(r2)の液戻りが著し
く、塗布性が極めて低く、また感放射線性組成物(r
2)の粘度が低いため、基板表面上の塗膜の膜厚を十分
厚くすることができず、基板上に所定の画素アレイを形
成することができなかった。
【0094】
【発明の効果】本発明のカラーフィルタ用感放射線性組
成物は、顔料の高濃度化を達成でき、高輝度かつ高色純
度であるるとともに、現像性に優れており、しかも基板
および遮光層との密着性、耐熱性等に優れた赤色画素を
形成することができ、例えば、パーソナルコンピュータ
ー用、テレビ用、モニター用等に用いられる、透過型あ
るいは反射型のカラー液晶表示装置および薄膜トランジ
スタ(TFT)方式のカラー液晶表示装置や、カラー撮
像管素子、カラーセンサー等に極めて好適に使用するこ
とができる。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 渡邉 毅 東京都中央区築地二丁目11番24号 ジェイ エスアール株式会社内 Fターム(参考) 2H025 AA04 AA10 AA14 AB13 AB20 AC01 AD01 BC13 BC42 CB13 CB41 CB42 CC03 CC11 2H048 BA02 BA12 BA16 BA17 BA25 BA29 BB14 BB42 4H056 DD03 EA16 FA01 FA05

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 (A)着色剤、(B)アルカリ可溶性樹
    脂、(C)多官能性単量体、(D)光重合開始剤並びに
    (E)溶剤を含有するカラーフィルタ用感放射線性組成
    物であって、(A)着色剤が下記式(1)で表されるラ
    テント有機顔料および他の有機顔料を含み、かつ(B)
    アルカリ可溶性樹脂が(a)カルボキシル基含有不飽和
    単量体、(b)N−位置換マレイミドおよび(c)他の
    共重合可能な不飽和単量体からなる共重合体を含むこと
    を特徴とするカラーフィルタ用感放射線性組成物。 【化1】 〔式(1)において、各R1 は相互に独立に炭素数1〜
    4の直鎖状もしくは分岐状のアルキル基または炭素数7
    〜12のアラルキル基を示す。〕
  2. 【請求項2】 (E)溶剤が3−メトキシプロピルアセ
    テートおよび3−エトキシプロピオン酸エチルの群から
    選ばれる少なくとも1種を含むことを特徴とする、請求
    項1に記載のカラーフィルタ用感放射線性組成物。
  3. 【請求項3】 請求項1または請求項2に記載のカラー
    フィルタ用感放射線性組成物から形成された赤色画素を
    備えたことを特徴とするカラーフィルタ。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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CN100350281C (zh) * 2002-12-19 2007-11-21 Jsr株式会社 颜色滤光片用放射线敏感性组合物、着色层形成法及应用
US7311953B2 (en) 2003-08-29 2007-12-25 Hitachi Displays, Ltd. Colored composition for color filter and display using color filters formed of the colored composition
US8158036B2 (en) 2007-11-30 2012-04-17 Cheil Industries Inc. Photosensitive resin composition for color filter and color filter using same

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