JP2002048651A - 半導体温度検出方法およびその回路 - Google Patents

半導体温度検出方法およびその回路

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JP2002048651A
JP2002048651A JP2000237104A JP2000237104A JP2002048651A JP 2002048651 A JP2002048651 A JP 2002048651A JP 2000237104 A JP2000237104 A JP 2000237104A JP 2000237104 A JP2000237104 A JP 2000237104A JP 2002048651 A JP2002048651 A JP 2002048651A
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semiconductor
temperature
voltage
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Toru Matsumoto
徹 松本
Yasuhiro Mori
泰浩 森
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Nippon Precision Circuits Inc
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    • G01MEASURING; TESTING
    • G01KMEASURING TEMPERATURE; MEASURING QUANTITY OF HEAT; THERMALLY-SENSITIVE ELEMENTS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01K7/00Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements
    • G01K7/01Measuring temperature based on the use of electric or magnetic elements directly sensitive to heat ; Power supply therefor, e.g. using thermoelectric elements using semiconducting elements having PN junctions

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 ダーリントン接続されたバイポーラトランジ
スタからなる半導体温度センサーを用いた半導体温度検
出回路において、温度センサーの出力を比較する基準電
圧の製造時のバラツキを自動的に補償できる半導体温度
検出回路を提供する。 【解決手段】 ダーリントン接続されたバイポーラトラ
ンジスタをそれぞれ有する第1および第2半導体温度セ
ンサー(1、2)と、第1および第2半導体温度センサ
ーに相異する定電流(IまたはnxI)を供給する手段
(A)と、第1および第2半導体温度センサーの出力電
圧の比と温度との対応関係(図2)に基づいて温度を検
出する手段(3)と、を備えた半導体温度検出回路。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、調整が必要な基準
電圧を不要とした半導体温度検出方法およびその回路に
関する。特に、本発明は温度検出器機能を有する温度補
償型発信機(TCXO)等の集積回路等に利用すること
ができる半導体温度センサーとAD変換器とからなる半
導体温度検出方法およびその回路に関する。
【0002】
【従来の技術】集積回路で温度検出を行ない温度に相当
するディジタル信号を得る場合、図10の様に半導体温
度センサー11の出力をAD変換器12で変換する構成
が一般的である。半導体温度センサー11としては、図
11の様にダーリントン接続されたトランジスタのエミ
ッタ端子に定電流源を接続した回路が用いられている
(特許公報第2946306号または特開平5−248
962号を参照)。このセンサー11の出力VoutをA
D変換器12を用いてディジタル信号に変換させるに
は、図12に示す様にある基準電圧から作られる比較電
圧Vrefとセンサー出力電圧Voutを比較器で比較するこ
とにより、センサー出力電圧Voutに相当するディジタ
ル値を得ている(比較方式AD変換器)。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】図12に示されるよう
な従来の回路では、センサー出力電圧をある基準電圧と
比較することが行なわれている。この基準電圧はバンド
ギャップ・リファレンス等の基準電圧源により生成され
るが、製造上のバラツキによりその電圧が変化するとA
D変換器の出力値が変動してしまう。このため、高精度
の基準電圧源の要求を満たすためには、製造後のトリミ
ング工程等による調整が必要になる。すなわち、従来の
回路では基準電圧の絶対値を利用するので製造時のばら
つきの補償をするための調整工程が必要であり、その分
だけ回路が煩瑣になり工程が増すという問題がある。本
発明は、高精度でかつトリミング等の製造のバラツキの
調整工程が不要な基準電圧を必要とせずに、温度検出の
絶対精度を確保することができる半導体温度検出回路を
提供することを目的とする。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では温度センサー出力電圧と基準電圧を比較
する構成の代わりに、2つの温度センサーの出力電圧を
比較する構成を有する。すなわち、本発明によれば、第
1および第2半導体温度センサーと、第1および第2半
導体温度センサーに相異する定電流を供給する手段と、
第1および第2半導体温度センサーの出力電圧比と温度
との対応関係に基づいて温度を検出する手段と、を備え
た半導体温度検出回路が提供される。本発明の回路にお
いて、第1および第2半導体温度センサーは、同一の半
導体基板上の近い部分に形成されて、相異する段数のダ
ーリントン接続されたバイポーラトランジスタをそれぞ
れ有してもよい。本発明の回路において、温度を検出す
る手段は、第1半導体温度センサーの出力電圧を所定比
でもって分圧する分圧回路と、この分圧回路により分圧
された第1半導体温度センサーの出力電圧を第1入力と
して第2半導体温度センサーの出力電圧を第2入力とし
て入力する比較器と、この比較器の出力を第1および第
2半導体温度センサーの出力電圧比と温度との対応関係
とに基づいて温度を検出する処理回路と、を有してもよ
い。本発明の回路において、分圧回路が複数の所定比で
もって第1半導体温度センサーの出力電圧の分圧を出力
し、比較器が複数の分圧を順次に第1入力に接続して第
2入力と順次に比較するようにしてもよい。あるいは、
本発明の回路において、分圧回路が複数の所定比でもっ
て第1半導体温度センサーの出力電圧の分圧を出力し、
比較器がこの複数と同数存在して、複数の分圧をそれぞ
れの第1入力に接続して第2入力と同時に比較するよう
にしてもよい。本発明の回路において、処理回路は検出
した温度をディジタル信号として出力してもよい。本発
明の回路において、半導体基板はP型またはN型の導電
型であってよい。
【0005】また、本発明によれば、第1および第2半
導体温度センサーを設け、これら第1および第2半導体
温度センサーに相異する定電流を供給し、これら第1お
よび第2半導体温度センサーの出力電圧比と温度との対
応関係を求め、この対応関係に基づいて温度を検出す
る、各ステップを備えた半導体温度検出方法が提供され
る。本発明の方法において、第1および第2半導体温度
センサーを設けるステップはさらに、同一の半導体基板
上でそれぞれ相異する段数のダーリントン接続されたバ
イポーラトランジスタを設ける、ステップを有してもよ
い。本発明の方法において、温度を検出するステップは
さらに、第1半導体温度センサーの出力電圧を所定比で
もって分圧し、分圧された前記第1半導体温度センサー
の出力電圧を第1入力として第2半導体温度センサーの
出力電圧を第2入力として比較し、この比較の結果と第
1および第2半導体温度センサーの出力電圧比と温度と
の対応関係とに基づいて温度を検出する、各ステップを
有してもよい。本発明の方法において、分圧するステッ
プはさらに、複数の所定比でもって分圧し、この複数の
分圧を順次に第1入力として第2入力と順次に比較す
る、各ステップを有してもよい。あるいは、本発明の方
法において、分圧するステップはさらに、複数の所定比
でもって分圧し、複数の分圧を同時に第1入力として第
2入力と同時に比較する、各ステップを有してもよい。
【0006】本発明の2つの半導体温度センサーは、そ
れぞれダーリントン接続されたバイポーラ型トランジス
タ構成である。この2つの温度センサーの定電流源の電
流値は互いに異なる値に設定されている。従って、2つ
の温度センサーの出力電圧V1とV2は温度Tに対して
変化するがその温度係数は図1のグラフの様に差が現れ
る。温度Tに対する2つの出力電圧比V2/V1の変化
は、図2のグラフに示される様になる。この図2のグラ
フに示される様に電圧比V2/V1は温度依存性を有す
る。
【0007】従って、それぞれの温度センサー出力電圧
V1とV2を比較して用いることにより温度検出が可能
になる。2つのセンサーは、同チップに同形状の素子か
ら構成して近距離に配置にすると、製造バラツキに対し
てそれぞれ同方向の特性変動を示すトラッキング効果が
あり、2つのセンサーの出力比V2/V1を取ると製造
バラツキを互いに打ち消しあい、製造バラツキの影響を
受け難い温度特性を示す。この出力比V2/V1が図2
のグラフである。
【0008】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を実施
例に基づき添付図面を参照して詳細に説明する。図3
は、本発明の一の実施例による温度検出回路の全体構成
を示す。この温度検出回路は2つの温度センサー1と2
および1つのAD変換器3から構成されている。図4
は、温度センサー1の回路を示す。図4の温度センサー
1は従来技術として図11において示されたものと同じ
である。この温度センサー1の回路はダーリントン接続
されたN段(ここでは3段)のPNP型バイポーラトラ
ンジスタTrとそれに定電流Iを供給するための定電流
源Aとから構成されている。ダーリントン接続の最上段
のバイポーラトランジスタTrに定電流Iを供給するた
めに、一対のカレントミラー構成のトランジスタを用い
ている。一対のカレントミラー構成のトランジスタの一
方をダーリントン接続の最上段のバイポーラトランジス
タTrに接続し、他方を定電流源Aに接続している。図
5は、温度センサー2の回路を示す。温度センサー1お
よび2の出力比V2/V1を大きくするために、温度セ
ンサー2の回路のダーリントン接続されたPNP型バイ
ポーラトランジスタTrをN−1段(ここでは2段)程
度にして温度センサー1のN段とは相異させてある。さ
らに、温度係数を変えるため、温度センサー2のダーリ
ントン接続の最上段のトランジスタTrにはセンサー1
に比較してn倍の定電流nxIを供給している。すなわ
ち、図5においては図4と同じカレントミラー構成のト
ランジスタが(n+1)個設けられてい。カレントミラ
ー構成のトランジスタの1つが定電流源Aに、残りのn
個がダーリントン接続の最上段のトランジスタTrに並
列に接続されている。
【0009】温度センサー1の回路はトランジスタ段数
がNであり温度センサー2の回路の段数N−1よりも多
いために、温度センサー1の回路の出力電圧V1は、温
度センサー2の出力電圧V2に比較してより高い。ま
た、温度センサー1の回路の定電流値Iは温度センサー
2の回路の定電流値nxIよりも小さいために、温度セ
ンサー1の回路の1トランジスタ当たりの出力電圧の温
度変化すなわち温度係数の絶対値はより大きくなる。こ
の結果、温度センサー1と温度センサー2の出力V1と
V2の温度特性は図1のグラフに示される様になる。ま
た、温度センサー出力の比(温度センサー2の出力電圧
V2/温度センサー1の出力電圧V1)の温度特性は図
2のグラフに示される様になる。この図2のグラフに示
される温度センサーの出力比V2/V1は、前述したよ
うに製造バラツキの変動を受けにくい温度変化特性を有
する。従って、製造バラツキを補償するための製造後の
トリミング等の調整を行なわなくとも、高い温度検出精
度が可能となる。
【0010】図6は、この実施例の温度検出回路に用い
られるAD変換器3の構成を示す。温度センサー1の出
力V1側を抵抗に接続し、また、比較器Cを駆動するア
ンプampに接続している。このアンプampの出力と
接地GNDの間には複数の抵抗R1、R2、R3、…、
が直列に接続されていて、これら抵抗間には複数の抵抗
タップA1、A2、A3、…、が設けられている。この
タップからの温度センサー1の分圧出力が得られ、比較
器Cにおいて温度センサー2の出力V2と比較され、こ
の比較器Cの出力により処理回路Sが温度を検出してデ
ジタル化してデジタル信号Dを出力する。
【0011】センサー1の分圧出力は抵抗タップA1、
A2、A3、…、から生成される。例えば、抵抗タップ
A1から出力される分圧は、センサー1の出力V1にA
1の分圧比(1−R1/Rtotal)を乗じた値である。
ここで、R1は抵抗R1の抵抗値であり、Rtotalはア
ンプampと接地GND間の全抵抗R1、R2、R3、
…、の総計の抵抗値である。n(n=1、2、3、…)
番目の抵抗タップAn(図示しない)から出力される分
圧は、センサー1の出力V1にその分圧比(1−Rn/
total)を乗じた値である。ここで、Rnは抵抗R
1、R2、R3、…、Rn(図示しない)の抵抗値の和
であり、Rtotalはアンプampと接地GND間の全抵
抗R1、R2、R3、…、の総計の抵抗値である。図2
のグラフに温度Tに対するセンサー出力比V2/V1の
関係が示されている。この関係に基づいて、あらかじめ
検出したい温度範囲を所定数に分割し、個々の範囲内の
温度tの出力比αに等しい分圧比(1−Rn/
total)のタップAnを、検出したい温度範囲の分割
数だけ設けておく。そして、図6に示すように、比較器
Cを時分割的にその1つの入力をタップA1、A2、A
3、…、に順次接続させて、各タップAnからの出力V
1の所定比の分圧電圧と温度センサー2の出力V2の比
較を行う。
【0012】図6において、各タップA1、A2、A
3、…、を所定の時間間隔で順次に上から下へ(または
逆に下から上へ)と走査して行き、比較器Cの一方の入
力端子に各タップから所定の分圧比により分圧されたセ
ンサー1の出力V1を順次に供給して行く。比較器Cの
他方の入力端子にはセンサー2の出力V2を供給してお
く。このようにして走査して行き、分圧されたセンサー
1の出力V1がセンサー2の出力V2と同じになる所に
達すると、比較器Cの出力が反転する。例えば、比較器
Cの出力が正から負へまたは論理高から論理低へまたは
これらの逆方向に反転する。この時のタップAnの分圧
比と同じ出力比αに対応する温度tが図2のグラフの対
応関係から得られる。このようにして出力比αに対応す
る温度tを処理回路Sにより図2のグラフの関係に基づ
いて検出して、ディジタル信号Dとして出力する。
【0013】図7は、本発明の他の実施例によるAD変
換器3の構成を示す。このAD変換器では、検出したい
温度範囲の分割数に等しい数だけの複数の比較器C1、
C2、C3、…、を設けている。各比較器C1、C2、
C3、…、の一方の入力端子には各抵抗タップA1、A
2、A3、…、からセンサー1の分圧された出力V1が
順に接続されている。各比較器C1、C2、C3、…、
の他方の入力端子にはセンサー2からの出力V2が接続
されている。各比較器C1、C2、C3、…、の出力端
子は処理回路Sに接続されている。この処理回路Sは各
比較器C1、C2、C3、…、の出力を同時に処理して
いる。
【0014】処理回路Sは、複数の比較器C1、C2、
C3、…、の出力中でその値が反転している所(例え
ば、正から負または2進値高から2進値低またはこれら
の逆へ)の比較器Cn(図示しない)を、その直前およ
び直後の比較器の出力値から見つける。この出力値が反
転している所の比較器Cnは、センサー1の出力値V1
の分圧値とセンサー2の出力値V2とが一致している所
のタップAnに接続されていると解される。従って、あ
らかじめ図2に示されるグラフの対応関係に基づいて、
このタップAnの分圧比αに対応する温度tを検出した
温度とすることができる。処理回路Sは、複数の比較器
C1、C2、C3、…、の出力を監視して、これらの比
較器の出力中でその値が反転している所の比較器Cnを
検出し、その比較器Cnに接続されているタップAnの
分圧比αに対応する温度tを検出する。処理回路Sは、
この検出された温度tを表すディジタル信号Dを出力す
る。図7のAD変換器のその他の構成は図6と同じであ
るから同じ参照符号を付して説明を省略する。図7の実
施例では、複数の比較器を用いてセンサー1の出力電圧
V1の複数の分圧値とセンサー2の出力電圧V2を同時
的に比較しているから、順次に走査して比較する第1の
実施例よりも高速に温度検出ができる。
【0015】上述したように本発明の半導体温度検出回
路およびその方法においては、比較用の基準電圧として
温度センサー1の分圧した出力電圧V1を使用してい
る。この温度センサー1の出力電圧V1と温度センサー
2の出力電圧V2は、製造のバラツキにより同方向に特
性が変動するトラッキング効果を有する。このため、2
つの温度センサーの出力電圧比V2/V1を取ると製造
のバラツキが自動的に補償されて打消される。従って、
温度センサー自体のトリミング等の調整やトリミング等
の調整を要するような高精度の基準電圧源は本発明のA
D変換器の比較器には不要となる。
【0016】図8および図9は本発明のさらに別の実施
例を示すものである。図4から図7に示した前述の実施
例の温度センサーは、P型導電型基板を使用した時のP
NPトランジスタで構成されていた。しかし、図8はN
型導電型基板を使用した時の温度センサー1に使用され
るNPNトランジスタTr’の3段ダーリントン接続構
成を示す。N型導電型基板を使用した時の温度センサー
2に使用されるNPNトランジスタの2段ダーリントン
接続構成は、同様にして当業者には容易に構成できるか
ら、説明を省略する。図9にはこの実施例に使用される
AD変換器3の構成を示す。このAD変換器3の比較器
Cの比較電圧用の分圧抵抗R1、R2、…、はVDDと
温度センサー1の出力V1との間に設けられている。
【0017】なお、図4および図5に示した本発明の実
施例では、2つの温度センサー1と2はそれぞれトラン
ジスタが3段、2段のダーリントン接続構成としたが、
この段数に限定する必要は無く、2つの温度センサーの
トランジスタの段数を変えることも可能である。このよ
うに段数を変えると、2つの温度センサーの出力電圧比
も図2のグラフに示されるものと異なることになる。さ
らに、図6等に示す本発明の実施例では、AD変換方式
として比較方式で構成しているが、積分方式でも可能で
ある。例えば、二重積分型では、入力積分を温度センサ
ー1の出力で行ない、基準源積分を温度センサー2の出
力で行なえばよい。
【0018】
【発明の効果】本発明の構成によれば、2つの温度セン
サーを組み合わせてその出力のトラッキング効果を利用
して、製造時のバラツキによる温度検出特性の変動を補
償している。このため、温度センサー自体のトリミング
等の調整やトリミング等の調整を必要とする高絶対精度
の基準電圧源回路が不要になり、製品の小面積化と低消
費電力化を図ることができ、さらに調整工程が省略でき
るから製造コストも低減できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の半導体温度検出方法およびその回路の
原理を説明するための2つの温度センサーの出力電圧と
温度の関係を示すグラフ。
【図2】本発明の半導体温度検出方法およびその回路の
原理を説明するための2つの温度センサーの出力電圧比
と温度の関係を示すグラフ。
【図3】本発明の一実施形態の半導体温度検出回路の全
体構成を示すブロック図。
【図4】本発明の一実施形態の半導体温度検出回路の第
1温度センサーの回路図。
【図5】本発明の一実施形態の半導体温度検出回路の第
2温度センサーの回路図。
【図6】本発明の一実施形態の半導体温度検出回路のA
D変換器の回路図。
【図7】本発明の他の実施形態の半導体温度検出回路の
AD変換器の回路図。
【図8】本発明の別の実施形態の半導体温度検出回路の
第1温度センサーの回路図。
【図9】本発明の別の実施形態の半導体温度検出回路の
AD変換器の回路図。
【図10】従来の半導体温度検出回路の全体構成を示す
ブロック図。
【図11】従来のダーリントン接続されたトランジスタ
温度センサーの回路図。
【図12】従来の半導体温度検出回路に使用されるAD
変換器のブロック図。
【符号の説明】
1 半導体温度センサー 2 半導体温度センサー 3 AD変換器 A1、A2、A3 抵抗タップ C、C1、C2、C3 比較器 R1、R2、R3 抵抗 S 処理回路 amp アンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 27/082 H03B 5/32 Fターム(参考) 2F056 JT06 JT08 5F038 AZ08 BB05 DF03 EZ20 5F082 AA21 BC03 BC08 FA02 5J079 AA04 BA02 CB07 FA02 FA05 FB02 FB05 FB31 FB38 FB48

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1および第2半導体温度センサーと、
    前記第1および第2半導体温度センサーに相異する定電
    流を供給する手段と、前記第1および第2半導体温度セ
    ンサーの出力電圧比と温度との対応関係に基づいて温度
    を検出する手段と、を備えた半導体温度検出回路。
  2. 【請求項2】 前記第1および第2半導体温度センサー
    が、同一の半導体基板上で、相異する段数のダーリント
    ン接続されたバイポーラトランジスタをそれぞれ有する
    請求項1記載の半導体温度検出回路。
  3. 【請求項3】 前記温度を検出する手段が、前記第1半
    導体温度センサーの出力電圧を所定比でもって分圧する
    分圧回路と、前記分圧回路により分圧された前記第1半
    導体温度センサーの出力電圧を第1入力として前記第2
    半導体温度センサーの出力電圧を第2入力として入力す
    る比較器と、前記比較器の出力と前記対応関係とに基づ
    いて温度を検出する処理回路と、を有する請求項1また
    は2記載の半導体温度検出回路。
  4. 【請求項4】 前記分圧回路が複数の前記所定比でもっ
    て分圧を出力し、前記比較器が前記複数の前記分圧を順
    次に前記第1入力に接続して前記第2入力と順次に比較
    する請求項3記載の半導体温度検出回路。
  5. 【請求項5】 前記分圧回路が複数の前記所定比でもっ
    て分圧を出力し、前記比較器が前記複数と同数存在して
    前記複数の分圧をそれぞれの前記第1入力に接続して前
    記第2入力と同時に比較する請求項3記載の半導体温度
    検出回路。
  6. 【請求項6】 前記処理回路が、検出した温度をディジ
    タル信号として出力する請求項3記載の半導体温度検出
    回路。
  7. 【請求項7】 前記半導体基板が、P型またはN型の導
    電型である請求項2乃至6のいずれかに記載の半導体温
    度検出回路。
  8. 【請求項8】 第1および第2半導体温度センサーを設
    け、前記第1および第2半導体温度センサーに相異する
    定電流を供給し、前記第1および第2半導体温度センサ
    ーの出力電圧比と温度の対応関係を求め、前記対応関係
    に基づいて温度を検出する、各ステップを備えた半導体
    温度検出方法。
  9. 【請求項9】 前記第1および第2半導体温度センサー
    を設けるステップがさらに、同一の半導体基板上で相異
    する段数のダーリントン接続されたバイポーラトランジ
    スタをそれぞれ有する前記第1および第2半導体温度セ
    ンサーを設けるステップを有する請求項8記載の半導体
    温度検出方法。
  10. 【請求項10】 前記温度を検出するステップがさら
    に、前記第1半導体温度センサーの出力電圧を所定比で
    もって分圧し、前記分圧された前記第1半導体温度セン
    サーの出力電圧を第1入力として前記第2半導体温度セ
    ンサーの出力電圧を第2入力として比較し、前記比較さ
    れた結果と前記対応関係とに基づいて温度を検出する、
    各ステップを有する請求項9記載の半導体温度検出方
    法。
  11. 【請求項11】 前記分圧するステップがさらに、複数
    の前記所定比でもって分圧し、前記複数の分圧を順次に
    前記第1入力として前記第2入力と順次に比較する、各
    ステップを有する請求項10記載の半導体温度検出方
    法。
  12. 【請求項12】 前記分圧するステップがさらに、複数
    の前記所定比でもって分圧し、前記複数の分圧を同時に
    前記第1入力として前記第2入力と同時に比較する、各
    ステップを有する請求項10記載の半導体温度検出方
    法。
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