JP2002044933A - 超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置及びそのコイル製作方法 - Google Patents
超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置及びそのコイル製作方法Info
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- G11B9/1418—Disposition or mounting of heads or record carriers
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- H—ELECTRICITY
- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
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- H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
- H02K41/035—DC motors; Unipolar motors
- H02K41/0352—Unipolar motors
- H02K41/0354—Lorentz force motors, e.g. voice coil motors
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- H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
- H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
- H02K2201/00—Specific aspects not provided for in the other groups of this subclass relating to the magnetic circuits
- H02K2201/18—Machines moving with multiple degrees of freedom
Abstract
(57)【要約】
【課題】 超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆
動装置及びそのコイル製作方法を提供する。 【解決手段】 メディア上部にカンチレバーチップアレ
イを固定配置し、メディアを動かすためにメディアと一
体型でメディアの前後左右の四方に４個のコイルを形成
し、メディアと４個のコイルよりなされたメディア構造
体を搭載するｘ−ｙステージ本体にメディア構造体の四
隅と連結されてメディア構造体を支持する４個の支持台
を設け、この支持台の上段部とメディア構造体の四隅を
連結してメディア構造体をｘ−ｙ方向に動かす４個の駆
動ビームを設け、メディア構造体の回転を防止するため
に支持台間の４辺に設けた回転防止用スチフナを設け、
４個のコイルの各々に対応するように４個のコイルの下
と上に配置された４対の永久磁石及び永久磁石の磁束が
閉ループをなすように４個の永久磁石対で下の永久磁石
と上の永久磁石の端部を接合させた４個のヨークを具備
する。
動装置及びそのコイル製作方法を提供する。 【解決手段】 メディア上部にカンチレバーチップアレ
イを固定配置し、メディアを動かすためにメディアと一
体型でメディアの前後左右の四方に４個のコイルを形成
し、メディアと４個のコイルよりなされたメディア構造
体を搭載するｘ−ｙステージ本体にメディア構造体の四
隅と連結されてメディア構造体を支持する４個の支持台
を設け、この支持台の上段部とメディア構造体の四隅を
連結してメディア構造体をｘ−ｙ方向に動かす４個の駆
動ビームを設け、メディア構造体の回転を防止するため
に支持台間の４辺に設けた回転防止用スチフナを設け、
４個のコイルの各々に対応するように４個のコイルの下
と上に配置された４対の永久磁石及び永久磁石の磁束が
閉ループをなすように４個の永久磁石対で下の永久磁石
と上の永久磁石の端部を接合させた４個のヨークを具備
する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は超小型情報貯蔵機器
用ｘ−ｙステージ電子駆動装置及びそのコイル製作方法
に関する。
用ｘ−ｙステージ電子駆動装置及びそのコイル製作方法
に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近、原子顕微鏡（Ｓｃａｎｎｉｎｇ
Ｐｒｏｂｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ、ＳＰＭ）を用いた
いろいろな原子レベルの新しい現状の発見やあるいはこ
れを用いたデータストレージの開発が活発に行われてい
る。
Ｐｒｏｂｅ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｅ、ＳＰＭ）を用いた
いろいろな原子レベルの新しい現状の発見やあるいはこ
れを用いたデータストレージの開発が活発に行われてい
る。
【０００３】特に、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔ
ｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用
いた数多くの磁気素子が開発されてきた。このような磁
気素子としては、例えば、磁気コンパス、電磁気スキャ
ナ及び電磁気バルブなどがある。
ｒｏ−Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）技術を用
いた数多くの磁気素子が開発されてきた。このような磁
気素子としては、例えば、磁気コンパス、電磁気スキャ
ナ及び電磁気バルブなどがある。
【０００４】図１は、米国特許５，８０８，３０２号に
開示された原子解像度を有する精密位置制御装置の概略
的な構成を示す。図１を参照すれば、従来の精密位置制
御装置はサンプル４１６をＺ方向に動かすボイスコイル
モータ４１７、チップ４１３を各々Ｘ方向及びＹ方向に
動かすボイスコイルモータ４１５、ＤＣ電源４２１、デ
ータ及び制御信号バス４２４及び中央制御装置４２０を
具備する。
開示された原子解像度を有する精密位置制御装置の概略
的な構成を示す。図１を参照すれば、従来の精密位置制
御装置はサンプル４１６をＺ方向に動かすボイスコイル
モータ４１７、チップ４１３を各々Ｘ方向及びＹ方向に
動かすボイスコイルモータ４１５、ＤＣ電源４２１、デ
ータ及び制御信号バス４２４及び中央制御装置４２０を
具備する。
【０００５】このような精密位置制御装置を適用する前
記のような装置の最も大きい問題は、電力損失が大きい
ということである。一般に電磁気型の装置は大きい変位
を有する反面、このための高い電流が要求される。半導
体工程技術を用いた装置の場合の大部分が薄膜のコイル
（数〜数十ミクロン）を用いるのでコイルの高い抵抗に
より実質的に大変位駆動が難しくて消費電力も大きい。
記のような装置の最も大きい問題は、電力損失が大きい
ということである。一般に電磁気型の装置は大きい変位
を有する反面、このための高い電流が要求される。半導
体工程技術を用いた装置の場合の大部分が薄膜のコイル
（数〜数十ミクロン）を用いるのでコイルの高い抵抗に
より実質的に大変位駆動が難しくて消費電力も大きい。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明はＳＰＭ技術を
用いたナノストレージ装置の開発に必須であり、コイル
の厚さを数十から数百ミクロン単位まで製作して大変位
駆動が可能であると同時に電力損失を減らしうる超小型
情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置及びそのコ
イル製作方法を提供することにその目的がある。
用いたナノストレージ装置の開発に必須であり、コイル
の厚さを数十から数百ミクロン単位まで製作して大変位
駆動が可能であると同時に電力損失を減らしうる超小型
情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置及びそのコ
イル製作方法を提供することにその目的がある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記のような目的を達成
するために本発明によれば、情報を記録するメディアが
搭載されるｘ−ｙステージと、ｘ−ｙステージを弾力的
に支持するものであって、ｘ−ｙステージのコーナー部
分に備えられる多数の駆動ビームを含む支持手段と、前
記ｘ−ｙステージの第１方向ｘとこれに直交する第２方
向ｙへの運動力を提供するものであって、前記ｘ−ｙス
テージに形成される複数のコイルと固定された位置で前
記コイルに磁界を形成する複数の永久磁石を具備する電
磁駆動部と、前記メディアの各セルに貯蔵された情報を
記録したり読出すために前記メディア上部に固定配置さ
れたカンチレバーチップアレイと、前記ｘ−ｙステージ
の回転を防止するために前記駆動ビームを相互連結する
ように前記ｘ−ｙステージの周辺に備えられる複数の回
転防止用スチフナとを具備したことを特徴とする超小型
情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置が提供され
る。
するために本発明によれば、情報を記録するメディアが
搭載されるｘ−ｙステージと、ｘ−ｙステージを弾力的
に支持するものであって、ｘ−ｙステージのコーナー部
分に備えられる多数の駆動ビームを含む支持手段と、前
記ｘ−ｙステージの第１方向ｘとこれに直交する第２方
向ｙへの運動力を提供するものであって、前記ｘ−ｙス
テージに形成される複数のコイルと固定された位置で前
記コイルに磁界を形成する複数の永久磁石を具備する電
磁駆動部と、前記メディアの各セルに貯蔵された情報を
記録したり読出すために前記メディア上部に固定配置さ
れたカンチレバーチップアレイと、前記ｘ−ｙステージ
の回転を防止するために前記駆動ビームを相互連結する
ように前記ｘ−ｙステージの周辺に備えられる複数の回
転防止用スチフナとを具備したことを特徴とする超小型
情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置が提供され
る。
【０００８】本発明の一実施例によれば、前記メディア
は前記ｘ−ｙステージの上面に形成され、前記コイルは
前記ｘ−ｙステージの底面に形成され、そして他の実施
例によれば、前記メディアは前記ｘ−ｙステージの上面
の中央部分に形成され、前記コイルはｘ−ｙステージの
上面で前記メディアの周辺に形成される。
は前記ｘ−ｙステージの上面に形成され、前記コイルは
前記ｘ−ｙステージの底面に形成され、そして他の実施
例によれば、前記メディアは前記ｘ−ｙステージの上面
の中央部分に形成され、前記コイルはｘ−ｙステージの
上面で前記メディアの周辺に形成される。
【０００９】また、本発明の実施例によれば、前記支持
手段は前記駆動ビームが各々連結される４個のコーナー
部分を有する四角枠状支持ビームと、前記支持ビームの
底面に接触されるステージベースとを具備し、特に前記
支持手段は、前記駆動ビームが各々連結される複数の支
持台、前記支持台が設けられるステージベースを具備す
る。
手段は前記駆動ビームが各々連結される４個のコーナー
部分を有する四角枠状支持ビームと、前記支持ビームの
底面に接触されるステージベースとを具備し、特に前記
支持手段は、前記駆動ビームが各々連結される複数の支
持台、前記支持台が設けられるステージベースを具備す
る。
【００１０】また、本発明の望ましい実施例によれば、
前記各駆動ビームは前記第１方向に延びるｘ方向の部分
と第２方向に延びるｙ方向の部分を含み、前記スチフナ
は前記ｘ方向の部分とｙ方向の部分との連結部分に連結
され、さらには前記各駆動ビームは互いに並んでいるｘ
方向の部分と、ｙ方向の部分とを具備して全体的に四角
枠状である。
前記各駆動ビームは前記第１方向に延びるｘ方向の部分
と第２方向に延びるｙ方向の部分を含み、前記スチフナ
は前記ｘ方向の部分とｙ方向の部分との連結部分に連結
され、さらには前記各駆動ビームは互いに並んでいるｘ
方向の部分と、ｙ方向の部分とを具備して全体的に四角
枠状である。
【００１１】また、前記のような目的を達成するために
本発明に係る超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子
駆動装置のコイル製作方法の一類型は、（１） 基板に
ＩＣＰＲＩＥ法でトレンチを掘った後に熱酸化工程でパ
ッシべーション層を覆う段階と、（２） トレンチを金
属物質で充填する段階と、（３） ポリシングで前記ト
レンチ上部に露出された金属を除去して前記トレンチに
充填された金属によるコイルを完成する段階とを含む。
本発明に係る超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子
駆動装置のコイル製作方法の一類型は、（１） 基板に
ＩＣＰＲＩＥ法でトレンチを掘った後に熱酸化工程でパ
ッシべーション層を覆う段階と、（２） トレンチを金
属物質で充填する段階と、（３） ポリシングで前記ト
レンチ上部に露出された金属を除去して前記トレンチに
充填された金属によるコイルを完成する段階とを含む。
【００１２】前記本発明の超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙ
ステージ電子駆動装置のコイル製作方法で、前記（２）
段階は、電気メッキ法によりなされることが望ましい。
また、前記のような目的を達成するために本発明に係る
超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置のコ
イル製作方法の他の類型は、（１）基板にＩＣＰＲＩＥ
法で所定深さ以上のトレンチを掘った後、熱酸化工程で
パッシべーション層を覆う段階と、（２）前記トレンチ
とパッシべーション層が形成された基板上に金属を蒸着
して表面にのみ金属を覆った後、この表面金属膜を電極
として第１次電気メッキを行って前記トレンチには金属
が充填されていない第１金属層を形成する段階と、
（３）前記基板の背面を前記トレンチが露出されるよう
に蝕刻し、前記第１次金属層を電極として第２次電気メ
ッキを行って前記トレンチ内に第２金属を蒸着する段階
と、（４）前記第１金属層を研磨して除去することによ
ってコイルを完成する段階とを含むことを特徴とする超
小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置のコイ
ル製作方法を含む。
ステージ電子駆動装置のコイル製作方法で、前記（２）
段階は、電気メッキ法によりなされることが望ましい。
また、前記のような目的を達成するために本発明に係る
超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置のコ
イル製作方法の他の類型は、（１）基板にＩＣＰＲＩＥ
法で所定深さ以上のトレンチを掘った後、熱酸化工程で
パッシべーション層を覆う段階と、（２）前記トレンチ
とパッシべーション層が形成された基板上に金属を蒸着
して表面にのみ金属を覆った後、この表面金属膜を電極
として第１次電気メッキを行って前記トレンチには金属
が充填されていない第１金属層を形成する段階と、
（３）前記基板の背面を前記トレンチが露出されるよう
に蝕刻し、前記第１次金属層を電極として第２次電気メ
ッキを行って前記トレンチ内に第２金属を蒸着する段階
と、（４）前記第１金属層を研磨して除去することによ
ってコイルを完成する段階とを含むことを特徴とする超
小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置のコイ
ル製作方法を含む。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しながら本発明
に係る超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装
置を詳細に説明する。
に係る超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装
置を詳細に説明する。
【００１４】図２を参照すれば、本発明に係るｘ−ｙス
テージを有する超小型情報貯蔵機器はカンチレバー１、
金属配線２、金属パッド３、ｘ−ｙステージ４及び情報
貯蔵用メディア５を具備する。
テージを有する超小型情報貯蔵機器はカンチレバー１、
金属配線２、金属パッド３、ｘ−ｙステージ４及び情報
貯蔵用メディア５を具備する。
【００１５】前記ｘ−ｙステージ４はスプリング機能を
有するｘ方向の部分８ｘ及びｙ方向の部分８ｙを有する
複数の駆動ビーム８により支持されており、後述される
電磁駆動装置によりｘ−ｙ方向に移動する。前記ｘ−ｙ
ステージ４を支持する駆動ビーム８は前記ｘ−ｙステー
ジの移動によって適切に弾性変形される。
有するｘ方向の部分８ｘ及びｙ方向の部分８ｙを有する
複数の駆動ビーム８により支持されており、後述される
電磁駆動装置によりｘ−ｙ方向に移動する。前記ｘ−ｙ
ステージ４を支持する駆動ビーム８は前記ｘ−ｙステー
ジの移動によって適切に弾性変形される。
【００１６】前記カンチレバー１の先端部にはマイクロ
チップ（図示せず）が付着されていてｘ−ｙステージ４
上に備えられた情報貯蔵用メディア５に情報を記録した
り読出しうる。金属配線２は各カンチレバー１と金属パ
ッド３を電気的に連結し、金属パッド３は情報記録／読
出しのための回路（図示せず）と連結される端子であ
る。そして、電子駆動装置によりｘ−ｙステージ４がｘ
−ｙ方向に移動し、情報貯蔵用メディア５がｘ−ｙステ
ージ４と一体的にｘ方向あるいはｙ方向に移動すること
によって、情報貯蔵用メディア５の各セル（情報貯蔵単
位）は、カンチレバー１との相対的な位置を変化させな
がらカンチレバー１のチップを通じて回路（図示せず）
と信号（情報）を交換する。このような電気的な結線構
造は一般的なＭＥＭＳ技術により容易に具現されうるた
めにここでは具体的な説明を省略する。
チップ（図示せず）が付着されていてｘ−ｙステージ４
上に備えられた情報貯蔵用メディア５に情報を記録した
り読出しうる。金属配線２は各カンチレバー１と金属パ
ッド３を電気的に連結し、金属パッド３は情報記録／読
出しのための回路（図示せず）と連結される端子であ
る。そして、電子駆動装置によりｘ−ｙステージ４がｘ
−ｙ方向に移動し、情報貯蔵用メディア５がｘ−ｙステ
ージ４と一体的にｘ方向あるいはｙ方向に移動すること
によって、情報貯蔵用メディア５の各セル（情報貯蔵単
位）は、カンチレバー１との相対的な位置を変化させな
がらカンチレバー１のチップを通じて回路（図示せず）
と信号（情報）を交換する。このような電気的な結線構
造は一般的なＭＥＭＳ技術により容易に具現されうるた
めにここでは具体的な説明を省略する。
【００１７】このように情報貯蔵メディア５の各セルと
カンチレバー１のマイクロチップ（図示せず）との位置
制御は情報貯蔵メディア５の位置移動によりなされ、こ
の情報貯蔵メディア５の位置移動を可能にするのがｘ−
ｙステージ４である。このようなｘ−ｙステージ４は後
述される電磁駆動装置により駆動される。
カンチレバー１のマイクロチップ（図示せず）との位置
制御は情報貯蔵メディア５の位置移動によりなされ、こ
の情報貯蔵メディア５の位置移動を可能にするのがｘ−
ｙステージ４である。このようなｘ−ｙステージ４は後
述される電磁駆動装置により駆動される。
【００１８】図３Ａを参照すれば、本発明の第１実施例
に係るｘ−ｙステージ電子駆動装置は、ｘ−ｙステージ
４に搭載されたメディア５を動かすためのコイル６と上
下４対の永久磁石９、１０及びこの永久磁石９、１０の
閉ループを構成するためのヨーク１１、そしてｘ−ｙス
テージ４の回転防止用スチフナ７及び駆動ビーム８を含
む。前記コイル６は後述されるタイプ１、２の２つの形
態とすることができる。
に係るｘ−ｙステージ電子駆動装置は、ｘ−ｙステージ
４に搭載されたメディア５を動かすためのコイル６と上
下４対の永久磁石９、１０及びこの永久磁石９、１０の
閉ループを構成するためのヨーク１１、そしてｘ−ｙス
テージ４の回転防止用スチフナ７及び駆動ビーム８を含
む。前記コイル６は後述されるタイプ１、２の２つの形
態とすることができる。
【００１９】図３Ｂ及び図３Ｃを参照すれば、ｘ−ｙス
テージ４の中央部分にメディア５が形成されており、そ
の上下左右にコイル６が形成されている。ｘ−ｙステー
ジ４の外郭には四角枠状の支持ビーム１４が形成され、
前記支持ビーム１４は後述されるベース１３（図４Ａ参
照）に結合される。図３Ｄに示したように、ｘ−ｙステ
ージ４の四隅部分にはｘ−ｙステージ４のｘ−ｙ方向の
移動を許すために、弾性的に支持するｘ方向部分８ｘと
ｙ方向部分８ｙを有する駆動ビーム８が備えられてお
り、前記駆動ビーム８は前記支持ビーム１４のコーナー
部分１４ａの内側に連結されている。
テージ４の中央部分にメディア５が形成されており、そ
の上下左右にコイル６が形成されている。ｘ−ｙステー
ジ４の外郭には四角枠状の支持ビーム１４が形成され、
前記支持ビーム１４は後述されるベース１３（図４Ａ参
照）に結合される。図３Ｄに示したように、ｘ−ｙステ
ージ４の四隅部分にはｘ−ｙステージ４のｘ−ｙ方向の
移動を許すために、弾性的に支持するｘ方向部分８ｘと
ｙ方向部分８ｙを有する駆動ビーム８が備えられてお
り、前記駆動ビーム８は前記支持ビーム１４のコーナー
部分１４ａの内側に連結されている。
【００２０】前記スチフナ７は前記ｘ−ｙステージ４の
各辺に並んで一定間隔をおいて位置し、各スチフナ７の
端部は１つの駆動ビーム８のｘ方向部分８ｘとｙ方向部
分８ｙの連結部分に連結される。
各辺に並んで一定間隔をおいて位置し、各スチフナ７の
端部は１つの駆動ビーム８のｘ方向部分８ｘとｙ方向部
分８ｙの連結部分に連結される。
【００２１】図４Ａを参照すれば、メディア５はシリコ
ンよりなるｘ−ｙステージ４に搭載され、ｘ−ｙステー
ジ４はステージベース１３にその底面が接触する支持ビ
ーム１４によりベース１３から浮かんだ状態で支持され
る。ｘ−ｙステージ４の周りに備えられ、その両端が駆
動ビーム８に連結されるスチフナ７はｘ−ｙステージ４
と支持ビーム１４との間に位置し、ｘ−ｙステージ４が
ｘ方向及びｙ方向の以外の方向に回転することを防止す
る。
ンよりなるｘ−ｙステージ４に搭載され、ｘ−ｙステー
ジ４はステージベース１３にその底面が接触する支持ビ
ーム１４によりベース１３から浮かんだ状態で支持され
る。ｘ−ｙステージ４の周りに備えられ、その両端が駆
動ビーム８に連結されるスチフナ７はｘ−ｙステージ４
と支持ビーム１４との間に位置し、ｘ−ｙステージ４が
ｘ方向及びｙ方向の以外の方向に回転することを防止す
る。
【００２２】本発明の第２実施例に係るｘ−ｙステージ
電子駆動装置を示す図４Ｂを参照すれば、ｘ−ｙステー
ジ４に対するｘ−ｙ方向の移動力を生じるコイル６がｘ
−ｙステージ４の底面に形成され、情報が記録されるメ
ディア５はｘ−ｙステージ４の上面に形成されうる。こ
のような構造によれば、メディア５の面積拡大による情
報貯蔵容量の増大が可能になる。
電子駆動装置を示す図４Ｂを参照すれば、ｘ−ｙステー
ジ４に対するｘ−ｙ方向の移動力を生じるコイル６がｘ
−ｙステージ４の底面に形成され、情報が記録されるメ
ディア５はｘ−ｙステージ４の上面に形成されうる。こ
のような構造によれば、メディア５の面積拡大による情
報貯蔵容量の増大が可能になる。
【００２３】前記の構造で永久磁石９、１０は、図４Ａ
及び図４Ｂに示したように、巻かれたコイル６の半分に
のみ磁場がかかるように配置される。したがって、図４
Ｃに示したように、コイル６に電流ｉを流せばステージ
の厚さ方向にかかる磁場Ｂによって電流と磁場に垂直の
方向にローレンツ力Ｆが発生し、この力によってメディ
ア５が搭載されているｘ−ｙステージ４がｘ−ｙ方向に
動く。この時、互いに向き合っている他のコイル６にも
電流を同時に流す場合に２倍の駆動力で駆動させること
ができる。また、互いに向き合っている他のコイル６に
電流を流さない場合には、ステージ駆動時にこのコイル
６に発生する誘導起電力を用いて駆動量を検出すること
ができる。
及び図４Ｂに示したように、巻かれたコイル６の半分に
のみ磁場がかかるように配置される。したがって、図４
Ｃに示したように、コイル６に電流ｉを流せばステージ
の厚さ方向にかかる磁場Ｂによって電流と磁場に垂直の
方向にローレンツ力Ｆが発生し、この力によってメディ
ア５が搭載されているｘ−ｙステージ４がｘ−ｙ方向に
動く。この時、互いに向き合っている他のコイル６にも
電流を同時に流す場合に２倍の駆動力で駆動させること
ができる。また、互いに向き合っている他のコイル６に
電流を流さない場合には、ステージ駆動時にこのコイル
６に発生する誘導起電力を用いて駆動量を検出すること
ができる。
【００２４】図５Ａは、本発明の第３実施例に係るｘ−
ｙステージ電子駆動装置の概略的な斜視図であり、図５
Ｂはこれに適用されるｘ−ｙステージの概略的な斜視図
であり、図５Ｃは図５ＢのＢ部分の拡大平面図である。
ｙステージ電子駆動装置の概略的な斜視図であり、図５
Ｂはこれに適用されるｘ−ｙステージの概略的な斜視図
であり、図５Ｃは図５ＢのＢ部分の拡大平面図である。
【００２５】図５Ａないし図５Ｃを参照すれば、第３実
施例に係るｘ−ｙステージ電子駆動装置で、前述した実
施例の説明で言及された前記支持ビーム１４が除去さ
れ、その代りにｘ−ｙステージ４のコーナー部分の各駆
動ビーム８に連結される４つの支持台１４ａ'を備えて
いる。この支持台１４ａ'は前述した実施例での支持ビ
ーム１４のコーナー部分１４ａに該当する。前記支持台
１４ａ'はベース１３上に固定され、したがってｘ−ｙ
ステージ４は前記支持台１４ａ'によりベース１３から
所定距離離隔した状態で支持される。そして、ｘ−ｙス
テージ４上に形成されるコイル６は前述した実施例と同
じく後述されるタイプ１、２の２種の形態とすることが
できる。部材番号１２は前記コイル６に連結されるパッ
ドまたは電極を示す。
施例に係るｘ−ｙステージ電子駆動装置で、前述した実
施例の説明で言及された前記支持ビーム１４が除去さ
れ、その代りにｘ−ｙステージ４のコーナー部分の各駆
動ビーム８に連結される４つの支持台１４ａ'を備えて
いる。この支持台１４ａ'は前述した実施例での支持ビ
ーム１４のコーナー部分１４ａに該当する。前記支持台
１４ａ'はベース１３上に固定され、したがってｘ−ｙ
ステージ４は前記支持台１４ａ'によりベース１３から
所定距離離隔した状態で支持される。そして、ｘ−ｙス
テージ４上に形成されるコイル６は前述した実施例と同
じく後述されるタイプ１、２の２種の形態とすることが
できる。部材番号１２は前記コイル６に連結されるパッ
ドまたは電極を示す。
【００２６】このような構造のｘ−ｙステージ電子駆動
装置ではスチフナ７はｘ−ｙステージの回転を防止する
のに非常に重要である。図６ａないし図７は、各々スチ
フナがある場合とない場合においてコイルによるメディ
ア本体の動きを解釈した結果を示す。スチフナ７を入れ
ることによって、図７に示したように、Ｔｘ、Ｔｙに比
べてＲｚの周波数、すなわち駆動モードを分離できるよ
うになる。
装置ではスチフナ７はｘ−ｙステージの回転を防止する
のに非常に重要である。図６ａないし図７は、各々スチ
フナがある場合とない場合においてコイルによるメディ
ア本体の動きを解釈した結果を示す。スチフナ７を入れ
ることによって、図７に示したように、Ｔｘ、Ｔｙに比
べてＲｚの周波数、すなわち駆動モードを分離できるよ
うになる。
【００２７】図８Ａないし図８Ｄは、図４に示した２種
の形態のコイル中でタイプ１に係る製造方法を示す。以
下、タイプ１コイルの製造方法について説明すれば次の
通りである。
の形態のコイル中でタイプ１に係る製造方法を示す。以
下、タイプ１コイルの製造方法について説明すれば次の
通りである。
【００２８】まず、図８Ａに示したように、基板２０に
高周波誘導結合型プラズマの反応性イオンエッチング
（ＩＣＰＲＩＥ）などを用いてトレンチを掘った後、図
８Ｂに示したように熱酸化工程でパッシべーション層２
１を覆う。
高周波誘導結合型プラズマの反応性イオンエッチング
（ＩＣＰＲＩＥ）などを用いてトレンチを掘った後、図
８Ｂに示したように熱酸化工程でパッシべーション層２
１を覆う。
【００２９】次に、図８Ｃに示したように、ＣＶＤ法や
電気メッキ法でトレンチ中に金属が充填されるように金
属２２、２２'を蒸着する。電気メッキ法の場合、トレ
ンチの端部部分に電界が集中して膜の成長速度が速くな
り、これによりトレンチが閉塞される恐れもあるので注
意しなければならない（メッキ液の組成を変えたりパル
ス電源を用いることが望ましい）。
電気メッキ法でトレンチ中に金属が充填されるように金
属２２、２２'を蒸着する。電気メッキ法の場合、トレ
ンチの端部部分に電界が集中して膜の成長速度が速くな
り、これによりトレンチが閉塞される恐れもあるので注
意しなければならない（メッキ液の組成を変えたりパル
ス電源を用いることが望ましい）。
【００３０】次に、ポリシングでトレンチ上部に蒸着さ
れた金属２２'を除去して図８Ｄに示したようにコイル
２２を完成する。また、図９Ａないし図９Ｆは、図４で
示した２種の形態のコイル中でタイプ２に係る製造方法
を示す。２種のコイル中でタイプ１に比べてタイプ２の
場合がもっと厚いコイルを得られる。以下、タイプ２コ
イルの製造方法について説明すれば次の通りである。
れた金属２２'を除去して図８Ｄに示したようにコイル
２２を完成する。また、図９Ａないし図９Ｆは、図４で
示した２種の形態のコイル中でタイプ２に係る製造方法
を示す。２種のコイル中でタイプ１に比べてタイプ２の
場合がもっと厚いコイルを得られる。以下、タイプ２コ
イルの製造方法について説明すれば次の通りである。
【００３１】まず、図９Ａに示したように、基板２０に
ＩＣＰＲＩＥなどを用いて深くトレンチを掘った後、熱
酸化工程でパッシべーション層２１を覆う。この場合に
トレンチが貫通すればコイル形状のトレンチが支持され
ず下に落ちるので貫通はしないこととする。
ＩＣＰＲＩＥなどを用いて深くトレンチを掘った後、熱
酸化工程でパッシべーション層２１を覆う。この場合に
トレンチが貫通すればコイル形状のトレンチが支持され
ず下に落ちるので貫通はしないこととする。
【００３２】次に、図９Ｂに示したように蒸着法により
パッシべーション層２１の表面にのみ表面金属膜２３を
形成し、この表面金属膜２３を電極として図９Ｃに示し
たように、１次で電気メッキにより金属層２２を形成す
る。この場合にトレンチの端部部分に電界が集中して膜
の成長速度が速くなり、これによってトレンチが閉塞さ
れる。
パッシべーション層２１の表面にのみ表面金属膜２３を
形成し、この表面金属膜２３を電極として図９Ｃに示し
たように、１次で電気メッキにより金属層２２を形成す
る。この場合にトレンチの端部部分に電界が集中して膜
の成長速度が速くなり、これによってトレンチが閉塞さ
れる。
【００３３】次に、図９Ｄに示したように、背面を軽く
エッチングしてトレンチが露出されれば蝕刻を止め、図
９Ｅに示したように前記金属層２２を電極として再びメ
ッキをしてトレンチ内に金属２４を蒸着させる。このよ
うにすれば、最初にメッキした金属２２が種子になって
金属２４がトレンチ中に満ちて上がる。
エッチングしてトレンチが露出されれば蝕刻を止め、図
９Ｅに示したように前記金属層２２を電極として再びメ
ッキをしてトレンチ内に金属２４を蒸着させる。このよ
うにすれば、最初にメッキした金属２２が種子になって
金属２４がトレンチ中に満ちて上がる。
【００３４】次に、最初の金属２２を研磨で除去すれ
ば、図９Ｆに示したように、コイル２４が完成される。
また、図１０Ａないし図１０Ｄは従来の半導体工程技術
を用いて製作される薄膜コイル（タイプ３）を製作する
方法を示した図面である。このタイプ３のコイルを製作
する方法は、まず図１０Ａに示したように、基板２０に
電気メッキのための種子金属層２５を蒸着する。
ば、図９Ｆに示したように、コイル２４が完成される。
また、図１０Ａないし図１０Ｄは従来の半導体工程技術
を用いて製作される薄膜コイル（タイプ３）を製作する
方法を示した図面である。このタイプ３のコイルを製作
する方法は、まず図１０Ａに示したように、基板２０に
電気メッキのための種子金属層２５を蒸着する。
【００３５】次に、図１０Ｂに示したように、フォトリ
ソグラフィー工程でコイルが形成される領域を除いては
残りの部分を覆うマスク２６を形成する。次に、図１０
Ｃに示したように、電気メッキ法でマスク２６により露
出された領域にコイル用金属２７を蒸着しマスク２６を
除去する。
ソグラフィー工程でコイルが形成される領域を除いては
残りの部分を覆うマスク２６を形成する。次に、図１０
Ｃに示したように、電気メッキ法でマスク２６により露
出された領域にコイル用金属２７を蒸着しマスク２６を
除去する。
【００３６】次に、前記コイル用金属２７により覆われ
ない金属層２５の部分を除去して、図１０Ｄに示したよ
うにコイル２７を完成する。そして図１１はタイプ１の
コイルを実際に製作したものを撮った写真であって、図
８Ｃの工程が終わった後の基板断面を撮った写真であ
り、図１２はタイプ２のコイルを実際に製作したことを
撮った写真であって、図９Ｃの工程が終わった後の基板
断面を撮った写真である。
ない金属層２５の部分を除去して、図１０Ｄに示したよ
うにコイル２７を完成する。そして図１１はタイプ１の
コイルを実際に製作したものを撮った写真であって、図
８Ｃの工程が終わった後の基板断面を撮った写真であ
り、図１２はタイプ２のコイルを実際に製作したことを
撮った写真であって、図９Ｃの工程が終わった後の基板
断面を撮った写真である。
【００３７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る超小
型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置は、情報
を記録するメディアの各セルに貯蔵された情報を記録し
たり読出すために、メディア上部にカンチレバーチップ
アレイを固定配置し、メディアを動かすためにメディア
と一体型でメディアの前後左右の四方に４個のコイルを
形成し、メディアと４個のコイルとよりなされたメディ
ア構造体を搭載するｘ−ｙステージ本体にメディア構造
体の四隅と連結されてメディア構造体を支持する４個の
支持台を設け、この支持台の上段部とメディア構造体の
四隅を連結してメディア構造体がｘ−ｙ方向に動くよう
にする４個の駆動ビームを設け、メディア構造体の回転
を防止するために支持台間の４辺に設けた回転防止用ス
チフナを設け、４個のコイルの各々に対応するように４
個のコイルの下と上に配置された４対の永久磁石及び永
久磁石の磁束が閉ループをなすように４個の永久磁石対
で下の永久磁石と上の永久磁石との端部を接合させた４
個のヨークを具備する。
型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置は、情報
を記録するメディアの各セルに貯蔵された情報を記録し
たり読出すために、メディア上部にカンチレバーチップ
アレイを固定配置し、メディアを動かすためにメディア
と一体型でメディアの前後左右の四方に４個のコイルを
形成し、メディアと４個のコイルとよりなされたメディ
ア構造体を搭載するｘ−ｙステージ本体にメディア構造
体の四隅と連結されてメディア構造体を支持する４個の
支持台を設け、この支持台の上段部とメディア構造体の
四隅を連結してメディア構造体がｘ−ｙ方向に動くよう
にする４個の駆動ビームを設け、メディア構造体の回転
を防止するために支持台間の４辺に設けた回転防止用ス
チフナを設け、４個のコイルの各々に対応するように４
個のコイルの下と上に配置された４対の永久磁石及び永
久磁石の磁束が閉ループをなすように４個の永久磁石対
で下の永久磁石と上の永久磁石との端部を接合させた４
個のヨークを具備する。
【００３８】こうすることによって、第一に、厚いコイ
ルを製作できる。タイプ１の場合に特殊な添加剤を入れ
たメッキ液を必要とするが、タイプ２の場合に簡単なメ
ッキ液で製作が可能でありもっと厚いコイルが製作可能
で、コイルを必要とするデバイスの電力損失問題、発熱
問題が解決可能である。
ルを製作できる。タイプ１の場合に特殊な添加剤を入れ
たメッキ液を必要とするが、タイプ２の場合に簡単なメ
ッキ液で製作が可能でありもっと厚いコイルが製作可能
で、コイルを必要とするデバイスの電力損失問題、発熱
問題が解決可能である。
【００３９】次に、前記の工法を用いた大変位（１００
ミクロン）駆動型アクチュエータの製作が可能である。
本ディバイスの場合、コイルの厚さを数十から数百ミク
ロンまで製作できて前記の問題を解決でき、電磁デバイ
スの電力損失を減らしうる。
ミクロン）駆動型アクチュエータの製作が可能である。
本ディバイスの場合、コイルの厚さを数十から数百ミク
ロンまで製作できて前記の問題を解決でき、電磁デバイ
スの電力損失を減らしうる。
【図１】米国特許５，８０８，３０２号に開示された原
子解像度を有する精密位置制御装置の概略的な構成図を
示す。
子解像度を有する精密位置制御装置の概略的な構成図を
示す。
【図２】ｘ−ｙステージを有する本発明に係る超小型情
報貯蔵機器の概略的な構成を示す斜視図である。
報貯蔵機器の概略的な構成を示す斜視図である。
【図３Ａ】図２の超小型情報貯蔵機器で情報を記録した
り読出すために位置移動時に必要なｘ−ｙステージを駆
動するための本発明の第１実施例に係る超小型情報貯蔵
機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置の概略的な分解斜視
図である。
り読出すために位置移動時に必要なｘ−ｙステージを駆
動するための本発明の第１実施例に係る超小型情報貯蔵
機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置の概略的な分解斜視
図である。
【図３Ｂ】図３Ａに示した情報貯蔵機器用ｘ−ｙステー
ジ電子駆動装置に適用されるｘ−ｙステージの概略的な
斜視図である。
ジ電子駆動装置に適用されるｘ−ｙステージの概略的な
斜視図である。
【図３Ｃ】図３Ｂに示したｘ−ｙステージの概略的な平
面図である。
面図である。
【図３Ｄ】図３ＣのＡ部分の概略的な拡大図である。
【図４Ａ】図３Ａに示した超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙ
ステージ電子駆動装置の概略的な断面図である。
ステージ電子駆動装置の概略的な断面図である。
【図４Ｂ】拡張された面積のメディアを有するｘ−ｙス
テージが適用された本発明の第２実施例に係るｘ−ｙス
テージ電子駆動装置の概略的な断面図である。
テージが適用された本発明の第２実施例に係るｘ−ｙス
テージ電子駆動装置の概略的な断面図である。
【図４Ｃ】本発明に係るｘ−ｙステージ電子駆動装置の
駆動原理を説明する図面である。
駆動原理を説明する図面である。
【図５Ａ】本発明の第３実施例に係るｘ−ｙステージ電
子駆動装置の概略的な斜視図である。
子駆動装置の概略的な斜視図である。
【図５Ｂ】図５Ａに示した本発明の第３実施例に係るｘ
−ｙステージ電子駆動装置に適用されるｘ−ｙステージ
の概略的な斜視図である。
−ｙステージ電子駆動装置に適用されるｘ−ｙステージ
の概略的な斜視図である。
【図５Ｃ】図５ＢのＢ部分の概略的な拡大平面図であ
る。
る。
【図６Ａ】各々スチフナがある場合とない場合とにおい
てコイルによるメディア本体の動きを解析した結果であ
って、動き方向と周波数特性を示した図面である。
てコイルによるメディア本体の動きを解析した結果であ
って、動き方向と周波数特性を示した図面である。
【図６Ｂ】各々スチフナがある場合とない場合とにおい
てコイルによるメディア本体の動きを解析した結果であ
って、動き方向と周波数特性を示した図面である。
てコイルによるメディア本体の動きを解析した結果であ
って、動き方向と周波数特性を示した図面である。
【図７】各々スチフナがある場合とない場合とにおいて
コイルによるメディア本体の動きを解析した結果であっ
て、動き方向と周波数特性を示した図面である。
コイルによるメディア本体の動きを解析した結果であっ
て、動き方向と周波数特性を示した図面である。
【図８Ａ】図４に示した２種の形態のコイル中でタイプ
１に係る製造方法を示した図面である。
１に係る製造方法を示した図面である。
【図８Ｂ】図４に示した２種の形態のコイル中でタイプ
１に係る製造方法を示した図面である。
１に係る製造方法を示した図面である。
【図８Ｃ】図４に示した２種の形態のコイル中でタイプ
１に係る製造方法を示した図面である。
１に係る製造方法を示した図面である。
【図８Ｄ】図４に示した２種の形態のコイル中でタイプ
１に係る製造方法を示した図面である。
１に係る製造方法を示した図面である。
【図９Ａ】図４に示した２種の形態のコイル中でタイプ
２に係る製造方法を示した図面である。
２に係る製造方法を示した図面である。
【図９Ｂ】図４に示した２種の形態のコイル中でタイプ
２に係る製造方法を示した図面である。
２に係る製造方法を示した図面である。
【図９Ｃ】図４に示した２種の形態のコイル中でタイプ
２に係る製造方法を示した図面である。
２に係る製造方法を示した図面である。
【図９Ｄ】図４に示した２種の形態のコイル中でタイプ
２に係る製造方法を示した図面である。
２に係る製造方法を示した図面である。
【図９Ｅ】図４に示した２種の形態のコイル中でタイプ
２に係る製造方法を示した図面である。
２に係る製造方法を示した図面である。
【図９Ｆ】図４に示した２種の形態のコイル中でタイプ
２に係る製造方法を示した図面である。
２に係る製造方法を示した図面である。
【図１０Ａ】既存の半導体製造工程技術を用いて製作さ
れる薄膜コイル（タイプ３）を製作する方法を示した図
面である。
れる薄膜コイル（タイプ３）を製作する方法を示した図
面である。
【図１０Ｂ】既存の半導体製造工程技術を用いて製作さ
れる薄膜コイル（タイプ３）を製作する方法を示した図
面である。
れる薄膜コイル（タイプ３）を製作する方法を示した図
面である。
【図１０Ｃ】既存の半導体製造工程技術を用いて製作さ
れる薄膜コイル（タイプ３）を製作する方法を示した図
面である。
れる薄膜コイル（タイプ３）を製作する方法を示した図
面である。
【図１０Ｄ】既存の半導体製造工程技術を用いて製作さ
れる薄膜コイル（タイプ３）を製作する方法を示した図
面である。
れる薄膜コイル（タイプ３）を製作する方法を示した図
面である。
【図１１】タイプ１のコイルを実際に製作したものを撮
った写真であって、図８Ｃの工程が終わった後の基板断
面を撮った写真である。
った写真であって、図８Ｃの工程が終わった後の基板断
面を撮った写真である。
【図１２】タイプ２のコイルを実際に製作したものを撮
った写真であって、図９Ｃの工程が終わった後の基板断
面を撮った写真である。
った写真であって、図９Ｃの工程が終わった後の基板断
面を撮った写真である。
１ カンチレバー ２ 金属配線 ３ 金属パッド ４ ｘ−ｙステージ ５ 情報貯蔵用メディア ８ 駆動ビーム
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 朴 弘 植 大韓民国京畿道龍仁市器興邑農書里山14− １番地三星総合技術院内 (72)発明者 朴 昌 守 大韓民国京畿道龍仁市器興邑農書里山14− １番地三星総合技術院内 (72)発明者 田 鍾 業 大韓民国京畿道水原市八達区梅灘洞990番 地住公２団地アパート111棟105号 Ｆターム(参考） 5H633 BB02 BB17 BB18 BB20 GG03 GG06 GG07 GG08 GG11 GG12 GG13 GG22 HH02 HH04 HH13 HH23 JA01 5H641 BB03 BB06 BB11 BB16 BB18 GG03 GG05 GG06 GG07 GG11 GG12 GG14 GG25 HH02 JA12
Claims (10)
- 【請求項１】情報を記録するメディアが搭載されるｘ−
ｙステージと、 ｘ−ｙステージを弾力的に支持するものであって、ｘ−
ｙステージのコーナー部分に備えられる多数の駆動ビー
ムを含む支持手段と、 前記ｘ−ｙステージの第１方向ｘとこれに直交する第２
方向ｙへの運動力を提供するものであって、前記ｘ−ｙ
ステージに形成される複数のコイルと固定された位置で
前記コイルに磁界を形成する複数の永久磁石を具備する
電磁駆動部と、 前記メディアの各セルに貯蔵された情報を記録したり読
出すために前記メディア上部に固定配置されたカンチレ
バーチップアレイと、 前記ｘ−ｙステージの回転を防止するために前記駆動ビ
ームを相互連結するように前記ｘ−ｙステージの周辺に
備えられる複数の回転防止用スチフナとを具備したこと
を特徴とする超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子
駆動装置。 - 【請求項２】前記メディアは前記ｘ−ｙステージの上面
に形成され、前記コイルは前記ｘ−ｙステージの底面に
形成されることを特徴とする請求項１に記載の超小型情
報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置。 - 【請求項３】前記メディアは前記ｘ−ｙステージの上面
の中央部分に形成され、前記コイルはｘ−ｙステージの
上面で前記メディアの周辺に形成されることを特徴とす
る請求項１に記載の超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステー
ジ電子駆動装置。 - 【請求項４】前記支持手段は前記駆動ビームが各々連結
される４個のコーナー部分を有する四角枠状支持ビーム
と、前記支持ビームの底面に接触されるステージベース
とを具備することを特徴とする請求項１に記載の超小型
情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置。 - 【請求項５】前記支持手段は前記駆動ビームが各々連結
される複数の支持台、前記支持台が設けられるステージ
ベースを具備することを特徴とする請求項１に記載の超
小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置。 - 【請求項６】前記各駆動ビームは前記第１方向に延びる
ｘ方向の部分と第２方向に延びるｙ方向の部分を含み、
前記スチフナは前記ｘ方向の部分とｙ方向の部分との連
結部分に連結されることを特徴とする請求項１に記載の
超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置。 - 【請求項７】前記各駆動ビームは互いに並んでいるｘ方
向の部分と、ｙ方向の部分とを具備して全体的に四角枠
状であることを特徴とする請求項６に記載の超小型情報
貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置。 - 【請求項８】（１） 基板にＩＣＰＲＩＥ法でトレンチ
を掘った後に熱酸化工程でパッシべーション層を覆う段
階と、 （２） トレンチを金属物質で充填する段階と、 （３） ポリシングで前記トレンチ上部に露出された金
属を除去して前記トレンチに充填された金属によるコイ
ルを完成する段階とを含むことを特徴とする超小型情報
貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置のコイル製作方
法。 - 【請求項９】前記（２）段階は、電気メッキ法によりな
されることを特徴とする請求項８に記載の超小型情報貯
蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置のコイル製作方
法。 - 【請求項１０】（１） 基板にＩＣＰＲＩＥ法で所定深
さ以上のトレンチを掘った後、熱酸化工程でパッシべー
ション層を覆う段階と、 （２） 前記トレンチとパッシべーション層が形成され
た基板上に金属を蒸着して表面にのみ金属を覆った後、
この表面金属膜を電極として第１次電気メッキを行って
前記トレンチには金属が充填されていない第１金属層を
形成する段階と、 （３） 前記基板の背面を前記トレンチが露出されるよ
うに蝕刻し、前記第１次金属層を電極として第２次電気
メッキを行って前記トレンチ内に第２金属を蒸着する段
階と、 （４） 前記第１金属層を研磨して除去することによっ
てコイルを完成する段階とを含むことを特徴とする超小
型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置のコイル
製作方法。
Applications Claiming Priority (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR20000035333 | 2000-06-26 | ||
| KR2001-25225 | 2001-05-09 | ||
| KR10-2001-0025225A KR100387243B1 (ko) | 2000-06-26 | 2001-05-09 | 초소형 정보저장기기용 ｘ-ｙ 스테이지 전자 구동 장치 및그 코일 제작 방법 |
| KR2000-35333 | 2001-05-09 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002044933A true JP2002044933A (ja) | 2002-02-08 |
Family
ID=36202162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001170573A Ceased JP2002044933A (ja) | 2000-06-26 | 2001-06-06 | 超小型情報貯蔵機器用ｘ−ｙステージ電子駆動装置及びそのコイル製作方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6512313B2 (ja) |
| EP (1) | EP1168334B1 (ja) |
| JP (1) | JP2002044933A (ja) |
| DE (1) | DE60117719T2 (ja) |
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| JP2008100342A (ja) * | 2006-10-17 | 2008-05-01 | Samsung Electronics Co Ltd | マイクロアクチュエータのコイル製造方法 |
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| FR2880980B1 (fr) * | 2005-01-17 | 2007-03-16 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'enregistrement de donnees comportant des micro-pointes dont l'ensemble des extremites libres forme une surface convexe et procede de fabrication |
| FR2880979B1 (fr) * | 2005-01-17 | 2007-03-16 | Commissariat Energie Atomique | Dispositif d'enregistrement de donnees comportant une membrane peripherique de support et procede de fabrication |
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