JP2002040629A - ペリクル板とペリクルフレームとの接着方法 - Google Patents
ペリクル板とペリクルフレームとの接着方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】ペリクル板の自重による撓みの発生を防止、も
しくは極力抑えることができるペリクル板とペリクルフ
レームとの接着方法を提供する。 【解決手段】合成石英ガラスからなるペリクル板５を、
合成石英ガラスよりも熱膨張係数が大きい材料からなる
ペリクルフレーム３上に接着剤４を介して載置し、２０
℃以下の温度にて接着剤を硬化させる。
しくは極力抑えることができるペリクル板とペリクルフ
レームとの接着方法を提供する。 【解決手段】合成石英ガラスからなるペリクル板５を、
合成石英ガラスよりも熱膨張係数が大きい材料からなる
ペリクルフレーム３上に接着剤４を介して載置し、２０
℃以下の温度にて接着剤を硬化させる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＬＳＩ、超ＬＳＩ
などの半導体素子あるいは液晶表示装置などの製造に用
いられ、とりわけ実質的に波長２２０ｎｍ以下の光を用
いる露光法に好適なペリクルのペリクル板とペリクルフ
レームとの接着方法に関する。
などの半導体素子あるいは液晶表示装置などの製造に用
いられ、とりわけ実質的に波長２２０ｎｍ以下の光を用
いる露光法に好適なペリクルのペリクル板とペリクルフ
レームとの接着方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩや超ＬＳＩなどの半導体素子ある
いは液晶表示装置の製造においては、パターニングの際
に露光原版のパターン形成面にゴミが付着するのを防止
するために、ペリクルを露光原版上に載置して露光作業
を行うのが一般的である。また、これらの素子や装置の
製造に用いられる露光光は、微細化の要求に対して波長
は益々短くなってきており、今日ではＦ２レーザーなど
波長２２０ｎｍ以下の露光光を使用する技術が考案され
ている。
いは液晶表示装置の製造においては、パターニングの際
に露光原版のパターン形成面にゴミが付着するのを防止
するために、ペリクルを露光原版上に載置して露光作業
を行うのが一般的である。また、これらの素子や装置の
製造に用いられる露光光は、微細化の要求に対して波長
は益々短くなってきており、今日ではＦ２レーザーなど
波長２２０ｎｍ以下の露光光を使用する技術が考案され
ている。
【０００３】図７に示すように、ペリクル１は、露光光
を透過する材料からなるペリクル膜２をペリクルフレー
ム３に接着して構成されるのが一般的であるが、従来で
はこのペリクル膜２として、厚さ１μｍ以下の合成樹脂
製の薄膜が使用されている。しかし、従来のペリクル膜
２では、上記したような短波長の光が照射されると合成
樹脂が容易に分解して実用に耐えられないため、上記し
たような短波長の露光光を用いる露光系では、合成石英
ガラスを薄い平板に加工したペリクル板を使用すること
が検討されている。尚、この合成石英ガラスは、例えば
珪素源と酸素源とを気相で反応させてスートと呼ばれる
酸化珪素からなる多孔質を成長させ、焼結して得られる
実質的に酸化珪素のみからなるガラスである
を透過する材料からなるペリクル膜２をペリクルフレー
ム３に接着して構成されるのが一般的であるが、従来で
はこのペリクル膜２として、厚さ１μｍ以下の合成樹脂
製の薄膜が使用されている。しかし、従来のペリクル膜
２では、上記したような短波長の光が照射されると合成
樹脂が容易に分解して実用に耐えられないため、上記し
たような短波長の露光光を用いる露光系では、合成石英
ガラスを薄い平板に加工したペリクル板を使用すること
が検討されている。尚、この合成石英ガラスは、例えば
珪素源と酸素源とを気相で反応させてスートと呼ばれる
酸化珪素からなる多孔質を成長させ、焼結して得られる
実質的に酸化珪素のみからなるガラスである
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、図８は図７
に示したペリクル１の製造工程を説明するための断面図
（図７のＡＡ断面）であるが、先ず同図（ａ）に示すよ
うに、ペリクルフレーム３の上端面に接着剤４を塗布
し、次いで同図（ｂ）に示すように、その上にペリクル
膜２を載置し、接着剤４を硬化させてペリクル膜２とペ
リクルフレーム３とを接着してペリクル１が完成する。
に示したペリクル１の製造工程を説明するための断面図
（図７のＡＡ断面）であるが、先ず同図（ａ）に示すよ
うに、ペリクルフレーム３の上端面に接着剤４を塗布
し、次いで同図（ｂ）に示すように、その上にペリクル
膜２を載置し、接着剤４を硬化させてペリクル膜２とペ
リクルフレーム３とを接着してペリクル１が完成する。
【０００５】しかし、図９に示すように、上記の製造工
程に従って合成石英ガラスからなるペリクル板５を有す
るペリクル１を作製すると、ペリクル板５は実用上の強
度を確保するために数十μｍ程度の板厚を有しているた
め、その自重によりペリクルフレーム３の中心部分で下
方に撓んでしまう。ペリクル板５の面積が狭い場合には
特に問題はないもの、例えば、本発明者らが試作した１
４９ｍｍ×１２０ｍｍ×０．３ｍｍのペリクル板５で
は、最大撓み量（Ｄ）は数十μｍ〜１００μｍ程度にも
なる。ペリクル板５の板厚は０．０１〜２ｍｍ程度であ
るため、このような撓みが生じると、露光光のペリクル
板５への入射角度が垂直でなくなり、露光光がペリクル
板５の内部で複雑な屈折を起こして露光パターンの寸法
精度に悪影響を及ぼすようになる。
程に従って合成石英ガラスからなるペリクル板５を有す
るペリクル１を作製すると、ペリクル板５は実用上の強
度を確保するために数十μｍ程度の板厚を有しているた
め、その自重によりペリクルフレーム３の中心部分で下
方に撓んでしまう。ペリクル板５の面積が狭い場合には
特に問題はないもの、例えば、本発明者らが試作した１
４９ｍｍ×１２０ｍｍ×０．３ｍｍのペリクル板５で
は、最大撓み量（Ｄ）は数十μｍ〜１００μｍ程度にも
なる。ペリクル板５の板厚は０．０１〜２ｍｍ程度であ
るため、このような撓みが生じると、露光光のペリクル
板５への入射角度が垂直でなくなり、露光光がペリクル
板５の内部で複雑な屈折を起こして露光パターンの寸法
精度に悪影響を及ぼすようになる。
【０００６】従来の合成樹脂製のペリクル膜２では、膜
厚が１μｍ以下と薄く、しかも合成樹脂自体も比重が小
さいことから、上記したような自重による撓みは発生せ
ず、あるいは撓みが発生しても極く僅かであり、さらに
は膜厚が薄いことから、露光光の光路に与える影響は実
質的に無視できた。しかし、今後の微細加工のために合
成石英ガラスからなるペリクル板５を使用するのに伴
い、自重による撓みの問題は重要な課題となってくる。
厚が１μｍ以下と薄く、しかも合成樹脂自体も比重が小
さいことから、上記したような自重による撓みは発生せ
ず、あるいは撓みが発生しても極く僅かであり、さらに
は膜厚が薄いことから、露光光の光路に与える影響は実
質的に無視できた。しかし、今後の微細加工のために合
成石英ガラスからなるペリクル板５を使用するのに伴
い、自重による撓みの問題は重要な課題となってくる。
【０００７】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
ものであり、ペリクル板５の自重による撓みの発生を防
止、もしくは極力抑えることができるペリクル板５とペ
リクルフレーム３との接着方法を提供することを目的と
する。
ものであり、ペリクル板５の自重による撓みの発生を防
止、もしくは極力抑えることができるペリクル板５とペ
リクルフレーム３との接着方法を提供することを目的と
する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明は、合成石英ガラスからなるペリクル板
を、合成石英ガラスよりも熱膨張係数が大きい材料から
なるペリクルフレーム上に接着剤を介して載置し、２０
℃以下の温度にて接着剤を硬化させることを特徴とする
ペリクル板とペリクルフレームとの接着方法（以下、
「第１の接着方法」と呼ぶ）を提供する。尚、この第１
の接着方法において、ペリクルフレーム上にペリクル板
を載置し、ペリクル板に張力を付与した状態で、２０℃
以下の温度にて接着剤を硬化させることが好ましい。
めに、本発明は、合成石英ガラスからなるペリクル板
を、合成石英ガラスよりも熱膨張係数が大きい材料から
なるペリクルフレーム上に接着剤を介して載置し、２０
℃以下の温度にて接着剤を硬化させることを特徴とする
ペリクル板とペリクルフレームとの接着方法（以下、
「第１の接着方法」と呼ぶ）を提供する。尚、この第１
の接着方法において、ペリクルフレーム上にペリクル板
を載置し、ペリクル板に張力を付与した状態で、２０℃
以下の温度にて接着剤を硬化させることが好ましい。
【０００９】同様の目的を達成するために、本発明は、
合成石英ガラスからなるペリクル板と、合成石英ガラス
よりも熱膨張係数が大きい材料からなるペリクルフレー
ムとを接着剤を介して接合し、ペリクル板とペリクルフ
レームとを垂直に立てた状態で、２０℃以下の温度にて
接着剤を硬化させることを特徴とするペリクル板とペリ
クルフレームとの接着方法（以下、「第２の接着方法」
と呼ぶ）を提供する。
合成石英ガラスからなるペリクル板と、合成石英ガラス
よりも熱膨張係数が大きい材料からなるペリクルフレー
ムとを接着剤を介して接合し、ペリクル板とペリクルフ
レームとを垂直に立てた状態で、２０℃以下の温度にて
接着剤を硬化させることを特徴とするペリクル板とペリ
クルフレームとの接着方法（以下、「第２の接着方法」
と呼ぶ）を提供する。
【００１０】また、同様の目的を達成するために、本発
明は、合成石英ガラスからなるペリクル板上に、接着剤
を介して合成石英ガラスよりも熱膨張係数が大きい材料
からなるペリクルフレームを載置し、２０℃以下の温度
にて接着剤を硬化させることを特徴とするペリクル板と
ペリクルフレームとの接着方法（以下、「第３の接着方
法」と呼ぶ）を提供する。
明は、合成石英ガラスからなるペリクル板上に、接着剤
を介して合成石英ガラスよりも熱膨張係数が大きい材料
からなるペリクルフレームを載置し、２０℃以下の温度
にて接着剤を硬化させることを特徴とするペリクル板と
ペリクルフレームとの接着方法（以下、「第３の接着方
法」と呼ぶ）を提供する。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明に関して図面を参照
して説明する。
して説明する。
【００１２】本発明に係る各接着方法において、合成石
英ガラスからなるペリクル板として、従来よりこの種の
ペリクルに使用されているものを特に制限無く使用する
ことができる。
英ガラスからなるペリクル板として、従来よりこの種の
ペリクルに使用されているものを特に制限無く使用する
ことができる。
【００１３】また、ペリクルフレームは、上記の合成石
英ガラスよりも熱膨張係数の大きな材料から形成された
ものであれば、特に制限されるものではない。即ち、合
成石英ガラスの線膨張係数は、室温（２０℃）で約５．
７×１０-7（℃-1）であり、この値よりも大きな熱膨張
係数を有する材料を所定形状に加工したペリクルフレー
ムを用いる。具体的な材料として、従来よりペリクルフ
レームとして広く使用されているアルミニウム、チタ
ン、シリコン、ニッケル合金（例えば、登録商標「イン
バール」；Ｎｉ３６％、Ｆｅ６４％）を始めとする各種
金属の他、例えばＳｉＯ2（４６％）／ＭｇＯ（１７
％）／Ａｌ2Ｏ3（１６％）を主成分とするセラミックス
（例えば、コーニング・インコーポレーテッド製「マコ
ール」；線膨張係数９０×１０-7℃-1（２０〜３００℃
での平均値））、ＳｉＯ2（６５％）／ＣａＯ（２５
％）／Ａｌ2Ｏ3（１０％）からなるセラミックス（例え
ば、旭硝子（株）製「ローテックＰタイプ」；同５８×
１０-7℃-1）などを好適に使用することができる。
英ガラスよりも熱膨張係数の大きな材料から形成された
ものであれば、特に制限されるものではない。即ち、合
成石英ガラスの線膨張係数は、室温（２０℃）で約５．
７×１０-7（℃-1）であり、この値よりも大きな熱膨張
係数を有する材料を所定形状に加工したペリクルフレー
ムを用いる。具体的な材料として、従来よりペリクルフ
レームとして広く使用されているアルミニウム、チタ
ン、シリコン、ニッケル合金（例えば、登録商標「イン
バール」；Ｎｉ３６％、Ｆｅ６４％）を始めとする各種
金属の他、例えばＳｉＯ2（４６％）／ＭｇＯ（１７
％）／Ａｌ2Ｏ3（１６％）を主成分とするセラミックス
（例えば、コーニング・インコーポレーテッド製「マコ
ール」；線膨張係数９０×１０-7℃-1（２０〜３００℃
での平均値））、ＳｉＯ2（６５％）／ＣａＯ（２５
％）／Ａｌ2Ｏ3（１０％）からなるセラミックス（例え
ば、旭硝子（株）製「ローテックＰタイプ」；同５８×
１０-7℃-1）などを好適に使用することができる。
【００１４】ペリクルフレームとするには、例えば、上
記の材料からなる板材からエンドミルを用いて例えば長
方形状に所定の枠厚で切り取り、高さ方向の平行度を出
すためにダイヤモンドや酸化セリウム、シリカ、アルミ
ナなどからなる砥粒を用いて上下端面を鏡面研磨すれば
よい。
記の材料からなる板材からエンドミルを用いて例えば長
方形状に所定の枠厚で切り取り、高さ方向の平行度を出
すためにダイヤモンドや酸化セリウム、シリカ、アルミ
ナなどからなる砥粒を用いて上下端面を鏡面研磨すれば
よい。
【００１５】上記のペリクル板とペリクルフレームとを
接着するには、紫外線硬化型接着剤、二液混合型接着剤
等を用いることができる。接着剤の種類には特に制限は
なく、従来より使用されているものを適宜選択すること
ができる。
接着するには、紫外線硬化型接着剤、二液混合型接着剤
等を用いることができる。接着剤の種類には特に制限は
なく、従来より使用されているものを適宜選択すること
ができる。
【００１６】（第１の接着方法）本発明に係る第１の接
着方法は、図１に示すように、先ず、ペリクルフレーム
３の上端面に接着剤４を塗布し、その上にペリクル板５
を載置する。この状態では、従来と同様にペリクル板５
の自重による撓みが発生している。次いで、ペリクルフ
レーム３とペリクル板５とを恒温槽１０に収容し、恒温
槽１０の内部を２０℃以下、好ましくは−２０〜２０℃
の温度に維持し、接着剤４を硬化させる。
着方法は、図１に示すように、先ず、ペリクルフレーム
３の上端面に接着剤４を塗布し、その上にペリクル板５
を載置する。この状態では、従来と同様にペリクル板５
の自重による撓みが発生している。次いで、ペリクルフ
レーム３とペリクル板５とを恒温槽１０に収容し、恒温
槽１０の内部を２０℃以下、好ましくは−２０〜２０℃
の温度に維持し、接着剤４を硬化させる。
【００１７】このとき、ペリクルフレーム３は、ペリク
ル板５よりも熱膨張係数が大きい材料から形成されてい
るために、２０℃以下の低温下に置かれることにより、
ペリクル板５に比べて収縮量が大きく、相対的に小さく
なった状態でペリクル板５と接着される。そして、接着
後に恒温槽１０から取り出され、一般的な作業温度であ
る２０℃を越す温度下に戻されると、今度はペリクルフ
レーム３の方がペリクル板５よりも膨張量が大きくな
り、ペリクル板５をその全周にわたり外方に引っ張る。
その結果、ペリクル板５は、当初の撓んでいた状態から
平面となる。
ル板５よりも熱膨張係数が大きい材料から形成されてい
るために、２０℃以下の低温下に置かれることにより、
ペリクル板５に比べて収縮量が大きく、相対的に小さく
なった状態でペリクル板５と接着される。そして、接着
後に恒温槽１０から取り出され、一般的な作業温度であ
る２０℃を越す温度下に戻されると、今度はペリクルフ
レーム３の方がペリクル板５よりも膨張量が大きくな
り、ペリクル板５をその全周にわたり外方に引っ張る。
その結果、ペリクル板５は、当初の撓んでいた状態から
平面となる。
【００１８】上記したペリクルフレーム５の収縮および
膨張の程度は、より低温で接着剤４を硬化させた方が大
きくなる。従って、恒温槽１０の温度は、２０℃以下で
あれば制限されるものではないが、０℃以下とすること
がより好ましい。
膨張の程度は、より低温で接着剤４を硬化させた方が大
きくなる。従って、恒温槽１０の温度は、２０℃以下で
あれば制限されるものではないが、０℃以下とすること
がより好ましい。
【００１９】一般的な露光工程においては、雰囲気温度
が２０℃以下になることはないことから、ペリクル板５
は平面を維持した状態で使用される。むしろ、露光光の
照射により、ペリクルフレーム３は昇温するため、接着
後に恒温槽１０から取り出したときよりもペリクル板５
を外方に引っ張る作用が大きくなり、撓みをより改善し
て良好な露光を実現する。
が２０℃以下になることはないことから、ペリクル板５
は平面を維持した状態で使用される。むしろ、露光光の
照射により、ペリクルフレーム３は昇温するため、接着
後に恒温槽１０から取り出したときよりもペリクル板５
を外方に引っ張る作用が大きくなり、撓みをより改善し
て良好な露光を実現する。
【００２０】尚、本第１の接着方法において、ペリクル
板５に張力を付与した状態で接着剤４を硬化させること
により、撓み量をより小さく抑えることができるように
なる。ペリクル板５に張力を付与する方法としては、例
えば下記の方法を例示することができる。
板５に張力を付与した状態で接着剤４を硬化させること
により、撓み量をより小さく抑えることができるように
なる。ペリクル板５に張力を付与する方法としては、例
えば下記の方法を例示することができる。
【００２１】図２に示すように、ペリクルフレーム３よ
りも大径の合成石英ガラス板５ａを用い、その外周端縁
の適所（ここでは９０°の位相で４箇所）を適当なクラ
ンプ２０で挟持し、このクランプ２０を合成石英ガラス
板５ａの外側方向に引っ張り、この状態を維持したまま
接着剤を塗布したペリクルフレーム３に載置し、上記に
従って２０℃以下の温度にてペリクルフレーム３と合成
石英ガラス５ａとを接着する。そして、接着後、ペリク
ルフレーム３の外側に突出する余分の延出部分をレーザ
などにより切除することにより、ペリクルが得られる。
尚、合成石英ガラス板５ａの平面形状は、図示される円
形に限らず、正方形や長方形、あるいは多角形とするこ
とができる。
りも大径の合成石英ガラス板５ａを用い、その外周端縁
の適所（ここでは９０°の位相で４箇所）を適当なクラ
ンプ２０で挟持し、このクランプ２０を合成石英ガラス
板５ａの外側方向に引っ張り、この状態を維持したまま
接着剤を塗布したペリクルフレーム３に載置し、上記に
従って２０℃以下の温度にてペリクルフレーム３と合成
石英ガラス５ａとを接着する。そして、接着後、ペリク
ルフレーム３の外側に突出する余分の延出部分をレーザ
などにより切除することにより、ペリクルが得られる。
尚、合成石英ガラス板５ａの平面形状は、図示される円
形に限らず、正方形や長方形、あるいは多角形とするこ
とができる。
【００２２】また、図示は省略するが、クランプ２０に
代えて、合成石英ガラス板５ａの外周縁端を押圧するこ
とによっても、同様に張力を付与することができる。
代えて、合成石英ガラス板５ａの外周縁端を押圧するこ
とによっても、同様に張力を付与することができる。
【００２３】さらに、図３に示すように、接着剤４を介
してペリクル板５を載置したペリクルフレーム５を、ガ
ス導入管３１を備える基板３０に装着し、ペリクルフレ
ーム３とペリクル板５とで形成される空間Ｓに窒素ガス
などの不活性ガス３２を供給して空間Ｓの圧力を高めた
状態で、上記に従って２０℃以下の温度にて接着剤を硬
化させてもよい。また、図示は省略するが、基板３０に
大径の開口部を設け、ペリクル板５の裏面に不活性ガス
３２を吹き付けてもよい。
してペリクル板５を載置したペリクルフレーム５を、ガ
ス導入管３１を備える基板３０に装着し、ペリクルフレ
ーム３とペリクル板５とで形成される空間Ｓに窒素ガス
などの不活性ガス３２を供給して空間Ｓの圧力を高めた
状態で、上記に従って２０℃以下の温度にて接着剤を硬
化させてもよい。また、図示は省略するが、基板３０に
大径の開口部を設け、ペリクル板５の裏面に不活性ガス
３２を吹き付けてもよい。
【００２４】（第２の接着方法）上記第１の接着方法
は、ペリクルフレーム３の上にペリクル板５を載置した
状態で接着する構成であり、接着時におけるペリクル板
５の自重による若干の撓みの発生は避けられない。その
ため、撓みをより抑えるために図２および図３に示した
ようなペリクル板５に張力を付与することが好ましい。
は、ペリクルフレーム３の上にペリクル板５を載置した
状態で接着する構成であり、接着時におけるペリクル板
５の自重による若干の撓みの発生は避けられない。その
ため、撓みをより抑えるために図２および図３に示した
ようなペリクル板５に張力を付与することが好ましい。
【００２５】そこで、本第２の接着方法では、図４に示
すように、ペリクルフレーム３とペリクル板５とを重力
Ｇが作用しない方向、すなわち垂直に立てた状態で恒温
槽１０に収容し、２０℃以下、好ましくは−２０〜２０
℃の温度にて接着剤４を硬化させる。これにより、ペリ
クル板５には自重による撓みが実質的に発生しなくな
る。また、本第２の接着方法によれば、図２および図３
に示したような張力を付与する必要が無くなり、工程並
びに装置構成が簡便になる。
すように、ペリクルフレーム３とペリクル板５とを重力
Ｇが作用しない方向、すなわち垂直に立てた状態で恒温
槽１０に収容し、２０℃以下、好ましくは−２０〜２０
℃の温度にて接着剤４を硬化させる。これにより、ペリ
クル板５には自重による撓みが実質的に発生しなくな
る。また、本第２の接着方法によれば、図２および図３
に示したような張力を付与する必要が無くなり、工程並
びに装置構成が簡便になる。
【００２６】（第３の接着方法）同じく接着時における
ペリクル板５の自重による撓みを発生させないために、
本第３の接着方法では、図５に示すように、基板４０の
上にペリクル板５を載置し、その上に、接着剤４を介し
てペリクルフレーム３を載置して恒温槽１０に収容し、
２０℃以下、好ましくは−２０〜２０℃の温度にて接着
剤４を硬化させる。
ペリクル板５の自重による撓みを発生させないために、
本第３の接着方法では、図５に示すように、基板４０の
上にペリクル板５を載置し、その上に、接着剤４を介し
てペリクルフレーム３を載置して恒温槽１０に収容し、
２０℃以下、好ましくは−２０〜２０℃の温度にて接着
剤４を硬化させる。
【００２７】
【実施例】以下、実施例を挙げて本発明を更に説明す
る。
る。
【００２８】（実施例１）コーニング・インコーポレー
テッド製「マコール」からなる板厚６．５ｍｍの平板か
ら、エンドミルを用いて外寸１４９ｍｍ×１２２ｍｍ、
内寸１４５ｍｍ×１１８ｍｍの長方形の枠体を切り出
し、各角部に半径５ｍｍの丸みを付け、さらにダイヤモ
ンド砥粒を用いて上下端面を研磨して高さ５．８ｍｍの
ペリクルフレームを作製した。また、同一寸法のアルミ
フレームも作製した。そして、これらのペリクルフレー
ムの上端面に、ポリブテン系紫外線硬化型接着剤を塗布
し、その上に、厚さ０．３ｍｍで、ペリクルフレームの
外寸に一致する平面形状の合成石英ガラス板を載置し
た。この状態でのペリクル板の最大撓み量は、マコール
フレーム、アルミフレームともに４２μｍであった。
テッド製「マコール」からなる板厚６．５ｍｍの平板か
ら、エンドミルを用いて外寸１４９ｍｍ×１２２ｍｍ、
内寸１４５ｍｍ×１１８ｍｍの長方形の枠体を切り出
し、各角部に半径５ｍｍの丸みを付け、さらにダイヤモ
ンド砥粒を用いて上下端面を研磨して高さ５．８ｍｍの
ペリクルフレームを作製した。また、同一寸法のアルミ
フレームも作製した。そして、これらのペリクルフレー
ムの上端面に、ポリブテン系紫外線硬化型接着剤を塗布
し、その上に、厚さ０．３ｍｍで、ペリクルフレームの
外寸に一致する平面形状の合成石英ガラス板を載置し
た。この状態でのペリクル板の最大撓み量は、マコール
フレーム、アルミフレームともに４２μｍであった。
【００２９】次いで、上記のペリクルフレームおよびペ
リクル板を恒温槽に入れ、温度−２０℃、−１５℃、０
℃、２０℃及び２５℃にて紫外線を照射（３０００Ｊ／
ｃｍ 2）して紫外線硬化型接着剤を硬化させてペリクル
フレームとペリクル板とを接着した。接着後、ペリクル
を恒温槽から取り出し、２０℃で３時間放置した後、２
０℃にてペリクル板の最大撓み量を測定した。測定は、
（株）キーエンス製レーザーフォーカス変位計「ＬＴ−
８１００」を用いて行った。結果を表１並びに図６に示
す。
リクル板を恒温槽に入れ、温度−２０℃、−１５℃、０
℃、２０℃及び２５℃にて紫外線を照射（３０００Ｊ／
ｃｍ 2）して紫外線硬化型接着剤を硬化させてペリクル
フレームとペリクル板とを接着した。接着後、ペリクル
を恒温槽から取り出し、２０℃で３時間放置した後、２
０℃にてペリクル板の最大撓み量を測定した。測定は、
（株）キーエンス製レーザーフォーカス変位計「ＬＴ−
８１００」を用いて行った。結果を表１並びに図６に示
す。
【００３０】
【表１】
【００３１】表１及び図６に示すように、本発明に従っ
て２０℃以下の低温にて接着することによりペリクル板
の撓みを小さくすることができる。また、より低温で接
着するほど、ペリクル板の撓みが小さくなることもわか
る。
て２０℃以下の低温にて接着することによりペリクル板
の撓みを小さくすることができる。また、より低温で接
着するほど、ペリクル板の撓みが小さくなることもわか
る。
【００３２】（実施例２）実施例１にて作製したペリク
ルフレームおよびペリクル板を用い、図４に示すように
ペリクルフレームとペリクル板とを垂直に立てた状態
で、−１０℃にて紫外線を照射してペリクルフレームと
ペリクル板とを接着した。接着後、ペリクルを恒温槽か
ら取り出し、２０℃にて３時間放置した後、２０℃にて
ペリクル板の最大撓み量を測定した。測定の結果、ペリ
クル板の撓みはほぼゼロであった。
ルフレームおよびペリクル板を用い、図４に示すように
ペリクルフレームとペリクル板とを垂直に立てた状態
で、−１０℃にて紫外線を照射してペリクルフレームと
ペリクル板とを接着した。接着後、ペリクルを恒温槽か
ら取り出し、２０℃にて３時間放置した後、２０℃にて
ペリクル板の最大撓み量を測定した。測定の結果、ペリ
クル板の撓みはほぼゼロであった。
【００３３】（実施例３）実施例１にて作製したペリク
ルフレームおよびペリクル板を用い、図５に示すように
ペリクル板上にペリクルフレームを載置した状態で、−
２０℃にて紫外線を照射してペリクルフレームとペリク
ル板とを接着した。接着後、ペリクルを恒温槽から取り
出し、２０℃にて３時間放置した後、２０℃にてペリク
ル板の最大撓み量を測定した。測定の結果、ペリクル板
の撓みはほぼゼロであった。
ルフレームおよびペリクル板を用い、図５に示すように
ペリクル板上にペリクルフレームを載置した状態で、−
２０℃にて紫外線を照射してペリクルフレームとペリク
ル板とを接着した。接着後、ペリクルを恒温槽から取り
出し、２０℃にて３時間放置した後、２０℃にてペリク
ル板の最大撓み量を測定した。測定の結果、ペリクル板
の撓みはほぼゼロであった。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の接着方法
によれば、ペリクル板の撓みの無いペリクルを製造する
ことができ、ペリクル板を露光原版に対して平行に維持
して良好な露光を実現することができる。
によれば、ペリクル板の撓みの無いペリクルを製造する
ことができ、ペリクル板を露光原版に対して平行に維持
して良好な露光を実現することができる。
【図１】本発明に係る第１の接着方法を説明するための
断面図である。
断面図である。
【図２】第１の方法において、ペリクル板に張力を付与
する方法を示す上面図である。
する方法を示す上面図である。
【図３】第１の方法において、ペリクル板に張力を付与
する他の方法を示す断面図である。
する他の方法を示す断面図である。
【図４】本発明に係る第２の接着方法を説明するための
断面図である。
断面図である。
【図５】本発明に係る第３の接着方法を説明するための
断面図である。
断面図である。
【図６】実施例１により得られたペリクル板の撓み量と
接着温度との関係を示すグラフである。
接着温度との関係を示すグラフである。
【図７】従来のペリクルの一例を示す斜視図である。
【図８】図７に示したペリクルの製造工程を示す断面図
（図７のＡＡ断面図）である。
（図７のＡＡ断面図）である。
【図９】ペリクル板の自重により撓んだ状態を示す断面
図である。
図である。
１ ペリクル ２ ペリクル膜 ３ ペリクルフレーム ４ 接着剤 ５ ペリクル板 ５ａ 合成石英ガラス板 １０ 恒温槽 ２０ クランプ ３０ 基板 ３１ ガス導入管 ３２ 不活性ガス ４０ 基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 岡田 要 神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150番地 旭硝子株式会社内 (72)発明者 菊川 信也 神奈川県横浜市神奈川区羽沢町1150番地 旭硝子株式会社内 (72)発明者 有島 浩 東京都千代田区有楽町一丁目12番１号 旭 硝子株式会社内 (72)発明者 森田 寛 東京都千代田区有楽町一丁目12番１号 旭 硝子株式会社内 (72)発明者 重松 茂人 山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号 三井化学株式会社内 (72)発明者 中川 広秋 山口県玖珂郡和木町和木六丁目１番２号 三井化学株式会社内 Ｆターム(参考） 2H095 BC39
Claims (4)
- 【請求項１】合成石英ガラスからなるペリクル板を、合
成石英ガラスよりも熱膨張係数が大きい材料からなるペ
リクルフレーム上に接着剤を介して載置し、２０℃以下
の温度にて接着剤を硬化させることを特徴とするペリク
ル板とペリクルフレームとの接着方法。 - 【請求項２】ペリクルフレーム上にペリクル板を載置
し、ペリクル板に張力を付与した状態で、２０℃以下の
温度にて接着剤を硬化させることを特徴とする請求項１
記載のペリクル板とペリクルフレームとの接着方法。 - 【請求項３】合成石英ガラスからなるペリクル板と、合
成石英ガラスよりも熱膨張係数が大きい材料からなるペ
リクルフレームとを接着剤を介して接合し、ペリクル板
とペリクルフレームとを垂直に立てた状態で、２０℃以
下の温度にて接着剤を硬化させることを特徴とするペリ
クル板とペリクルフレームとの接着方法。 - 【請求項４】合成石英ガラスからなるペリクル板上に、
接着剤を介して合成石英ガラスよりも熱膨張係数が大き
い材料からなるペリクルフレームを載置し、２０℃以下
の温度にて接着剤を硬化させることを特徴とするペリク
ル板とペリクルフレームとの接着方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000231221A JP2002040629A (ja) | 2000-07-31 | 2000-07-31 | ペリクル板とペリクルフレームとの接着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000231221A JP2002040629A (ja) | 2000-07-31 | 2000-07-31 | ペリクル板とペリクルフレームとの接着方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002040629A true JP2002040629A (ja) | 2002-02-06 |
Family
ID=18724087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000231221A Pending JP2002040629A (ja) | 2000-07-31 | 2000-07-31 | ペリクル板とペリクルフレームとの接着方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002040629A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005049443A (ja) * | 2003-07-30 | 2005-02-24 | Yamaha Corp | ペリクル装着装置、ペリクルおよびペリクル装着方法 |
| JP2005148620A (ja) * | 2003-11-19 | 2005-06-09 | Asahi Glass Co Ltd | ペリクルおよびペリクル製品群 |
| JP2005165141A (ja) * | 2003-12-04 | 2005-06-23 | Semiconductor Leading Edge Technologies Inc | ペリクルの製造方法 |
| JP2010217698A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Olympus Corp | 薄膜の貼り付け方法、およびそれにより製造されたペリクル光学素子 |
| JP2011095586A (ja) * | 2009-10-30 | 2011-05-12 | Shin-Etsu Chemical Co Ltd | ペリクルおよびその製造方法 |
| JP2016200616A (ja) * | 2015-04-07 | 2016-12-01 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル用フレーム及びそれを用いたペリクル |
| CN109656095A (zh) * | 2017-10-10 | 2019-04-19 | 信越化学工业株式会社 | 护层框架和护层 |
| JP2021067908A (ja) * | 2019-10-28 | 2021-04-30 | Hoya株式会社 | マスクブランク、転写用マスク、及び半導体デバイスの製造方法 |
-
2000
- 2000-07-31 JP JP2000231221A patent/JP2002040629A/ja active Pending
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2010217698A (ja) * | 2009-03-18 | 2010-09-30 | Olympus Corp | 薄膜の貼り付け方法、およびそれにより製造されたペリクル光学素子 |
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| US11199768B2 (en) | 2017-10-10 | 2021-12-14 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Pellicle frame and pellicle |
| US11397379B2 (en) | 2017-10-10 | 2022-07-26 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Pellicle frame and pellicle |
| US11782340B2 (en) | 2017-10-10 | 2023-10-10 | Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. | Pellicle frame and pellicle |
| JP2021067908A (ja) * | 2019-10-28 | 2021-04-30 | Hoya株式会社 | マスクブランク、転写用マスク、及び半導体デバイスの製造方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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