JP2002039246A - 減衰付与装置およびこれを用いた案内装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】本発明は、ユニット内に粘性流体を封入するこ
とでストロークの影響を受けずにすみ、構成のコンパク
ト化を図って設計上の制限を少なくでき、減衰効率の向
上化を得られて、より多様な用途に使用範囲が拡大する
減衰付与装置およびこれを用いた案内装置を提供する。 【解決手段】互いに相対運動する２つの部材間に介在さ
れ、これら両部材間に減衰を付与するものにおいて、内
部に粘性流体８を収容する装置本体１と、この装置本体
に転動自在に支持され、かつ少なくともその一部が装置
本体の外部に露出して取付けられた転動体１７と、装置
本体内の粘性流体中に少なくとも一部が浸漬され転動体
とともに回転可能に支持される粘性抵抗発生体である円
盤９とを具備した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、たとえば工作機械
や産業機械に用いられる減衰付与装置と、この減衰付与
装置を備えた位置決めテーブル体である案内装置の改良
に関する。

【０００２】

【従来の技術】工作機械や産業機械において、機械構成
部である、たとえばテーブルを直線的に移動させるため
に、軌道（レール）とベアリングからなる直線ころがり
案内装置が用いられている。

【０００３】一例として、特開平１−１１２０２０号公
報には、ベース上で、ころがり案内によって案内される
移動体（テーブル）とベースとの間に流体槽を形成し、
この流体槽内に収容する流体の粘性によって移動体の振
動を減衰させる技術が開示されている。

【０００４】また、特開平１−１５３８１３号公報に
は、ベアリング側に砥石、軌道側に流体槽を設け、流体
槽の底面と表面とを隙間を介して対向し、この隙間に磁
性流体を充填した振動減衰装置を配置して移動体の振動
を減衰させる技術が開示されている。

【０００５】さらにまた、特開平２−２７９２４２号公
報には、第１、第２の部材間を相対移動する軌道とベア
リングからなる案内機構を備え、相対移動に対して電気
粘性流体の粘性抵抗を任意の粘度で作用させ、移動体の
振動を減衰させる技術が開示されている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】ところで、これらの流
体を用いた技術では、振動の減衰特性が移動体と流体槽
の間隔に大きく影響される。安定した減衰特性を得るた
めには、移動体と流体槽との間隔を一定に保つ必要があ
るが、移動体のストロークが大きくなるにしたがって、
間隔を一定に保持するには困難である。

【０００７】上記流体槽は、少なくとも移動体のストロ
ーク以上の長さが必要であり、そのため装置のスペース
面で機械構成上の制限が生じ易い。そして、移動体のス
トロークが大きくなる影響で必要とする粘性流体の量も
多量になり、装置の製造コストに悪影響を与えている。

【０００８】本発明は上記事情に着目してなされたもの
であり、その目的とするところは、ユニット内に粘性流
体を封入することでストロークの影響を受けずにすみ、
構成のコンパクト化を図って設計上の制限を少なくで
き、減衰効率の向上化を得られて、より多様な用途に使
用範囲が拡大する減衰付与装置およびこれを用いた案内
装置を提供しようとするものである。

【０００９】

【課題を解決するための手段】上記目的を満足するため
本発明は、請求項１として、互いに相対運動する２つの
部材間に介在され、これら両部材間に減衰を付与する減
衰付与装置において、内部に粘性流体を収容する装置本
体と、この装置本体に回転自在に支持され、かつ、少な
くともその一部が装置本体の外部に露出して上記２つの
部材のうちの一方に転接するように取付けられた転動体
と、上記装置本体内の粘性流体中に少なくとも一部が浸
漬され、上記転動体とともに回転可能に支持される粘性
抵抗発生体とを具備したことを特徴とする。

【００１０】請求項２として、ベースと、案内軸受を介
して可動なテーブルを備えた案内装置において、請求項
１記載の減衰付与装置を、上記ベースとテーブルとの間
に介在させたことを特徴とする。

【００１１】以上の課題を解決する手段を採用すること
により、請求項１および請求項２の発明によれば、ユニ
ット内に粘性流体を封入することでストロークの影響を
受けずにすみ、構成のコンパクト化を図って設計上の制
限を少なくでき、減衰効率の向上化を得られて、より多
様な用途に使用範囲が拡大する。

【００１２】

【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の実
施の形態について説明する。図１ないし図３は、第１の
実施の形態の減衰付与装置Ｇを示し、図１は減衰付与装
置の断面図、図２は同装置の平面図、図３は同装置一部
の底面図である。

【００１３】固定側の部材Ａと、移動側の部材Ｂとの間
に、減衰付与装置Ｇが介在されている。ここでは、部材
Ｂに減衰付与装置Ｇが取付けられ、部材Ｂとともに部材
Ａに対して移動するようになっている。

【００１４】減衰付与装置Ｇの装置本体１は、平面視で
ほぼ正方形状をなし、この四隅には装置本体１を部材Ｂ
に取付け固定する図示しない固定ねじが螺挿するための
ねじ孔２が設けられる。

【００１５】装置本体１の上面部には正方形状の開口部
３が設けられていて、上面部は実質的に矩形枠状の肉部
が残されるのみである。この装置本体１の上面開口部３
には上記開口部３の正方形状の部分に対応する略正方形
状のフランジ部と、後述する凹陥部７に対応する略円筒
状の部分とからなる蓋体４のフランジ部が嵌め込まれて
いて、フランジ部の四隅を取付けねじ５によって装置本
体１に取付け固定される。蓋体４周面と装置本体開口部
３周面との間には、上記蓋体４の円筒状部外周面に設け
られた環状溝に嵌め込まれるシール材としてＯリング６
が介在され、互いの間のシールが確保されている。

【００１６】装置本体１は、図１に示すように、その断
面が水平部と垂直部との略逆Ｌ字状に形成されていて、
特に水平部に上面開口部３に連なる凹陥部７が設けられ
る。凹陥部７の上部は蓋体４で閉塞されるところから、
密閉空間、すなわち空間室となっている。

【００１７】この空間室７に、たとえば高粘度の油であ
る粘性流体８が収容されている。上記蓋体４は、空間室
７に粘性流体８を収容する際に開放される。さらに空間
室７には、粘性抵抗発生体である円盤９が収容されてい
て、粘性流体８の液面設定から、全て粘性流体中に浸漬
される。

【００１８】上記円盤９は、垂直な支軸１０の上端部に
取付けられていて、具体的には、スペーサ１１と支軸上
端に螺合するナット１２との間に介在固定される。上記
支軸１０は、空間室７から水平部下面を介して装置本体
１外部に突出しており、上部軸受１３によって装置本体
１に対して回転自在に支持され、かつ、シール材１４に
よって支軸１０と装置本体１との間のシールがなされて
いる。

【００１９】上記支軸１０は、装置本体１外部におい
て、装置本体１の垂直部と並行に延出され、この下端部
は下部軸受１５に支持される。また、下部軸受１５は装
置本体１下端部の穴に嵌合されるとともに、該下端部に
設けられる軸受押え１６によって軸方向に保持されてい
る。

【００２０】装置本体１は空間室７が形成される上部の
み幅方向に広く、これより下部から軸受押え１６と下部
軸受１５が設けられる下端部の幅寸法は狭い。軸受押え
１６と下部軸受１５は装置本体１下端部に水平方向に突
出していて、装置本体上部との間にコ字状の空間部が形
成される。

【００２１】結局、支軸１０は垂直方向に軸支され、上
下端部を除くほとんど大部分は装置本体１から突出して
いる。そして、この突出する支軸１０部位に、円筒状の
転動体１７が一体に嵌め込まれる。

【００２２】上記転動体１７は、軸受用などの金属材か
ら形成されるが、合成樹脂材、セラミック材で形成して
もよく、あるいは金属材その他を用いるとともに、この
周面を滑り止め防止用のゴム材で覆ってもよい。ゴム材
の取付けは接着材を用いて貼付したり、コーティングな
どの手段を採用できる。

【００２３】いずれにしても、転動体１７は、その周面
一部が下部軸受１５と軸受押え１６周面から突出する寸
法径に形成されている。そして、この突出する転動体１
７の周面一部が上記部材Ａに転接するように構成され
る。

【００２４】このようにして部材Ａと部材Ｂとの間に減
衰付与装置Ｇが介設されていて、固定側の部材Ａに対し
て移動側の部材Ｂが減衰付与装置Ｇとともに直線方向
（図１で紙面に垂直な方向、図２、図３で上下方向）に
移動する。

【００２５】転動体１７の周面一部が部材Ａに転接し
て、支軸１０が一体に回転する。支軸１０に取付け固定
される円盤９が一体に回転し、この回転にともなって空
間室７に収容される粘性流体８から粘性抵抗を受ける。

【００２６】すなわち、減衰付与装置Ｇは相対運動する
部材Ａ，Ｂ間に介在して上述のように発生する粘性抵抗
により両者間に減衰を付与し、部材Ｂの移動にともなう
振動である変位を抑制する方向に力を作用させて、振動
を確実に抑制する。

【００２７】減衰付与装置Ｇとして、ユニット内に粘性
流体８を封入することにより構成のコンパクト化を図る
ことができ、設計上の制限が少なくなる。移動側部材Ｂ
の移動距離（ストローク）の影響を受けずにすみ、減衰
効率を確保して、より多用な用途に使用範囲を拡大でき
る。

【００２８】上記装置Ｇでは、円盤９の直径を転動体１
７の直径よりも大きく設定した。すなわち、２つの回転
体における外周の速度比は径の比であり、移動側部材Ｂ
の速度は転動体１７の外周の速度と等しいため、円盤９
の外周の速度は移動側部材Ｂの速度を円盤９と転動体１
７の比で増幅したものとなる。粘性流体８の粘性抵抗は
速度に比例するので、より効率的に減衰効果を得られ
る。

【００２９】なお、上記移動側部材Ｂは基本的に金属材
から構成されていて、この部材Ｂに転接する減衰付与装
置Ｇの転動体１７も同じ金属材から構成される。この場
合、金属同士の接触であるが、適切な接触圧力となるよ
う設定することにより、すべりが生じることがない。

【００３０】また、上述したように、たとえば転動体１
７を金属材、合成樹脂材等から構成し、その表面にゴム
膜を貼着もしくはコーティングすることにより、すべり
の発生する余地が全くない。

【００３１】減衰付与装置Ｇとして、上述の実施の形態
の構成のほかに、種々の変形例が考えられる。たとえ
ば、支軸１０と転動体１７を別体の部品として構成した
が、これに限定されるものではなく、一体化してもよ
い。支軸１０に円盤９を取付けたが、たとえばこれらの
間に継手を介在させて、支軸１０と円盤９の中心軸を独
立したものとしてもよい。

【００３２】移動側部材Ｂは必ずしも直線方向に移動す
るばかりでなく、部材Ａを曲線状に変えて曲線方向の移
動としてもよく、あるいは部材Ａを円筒体にしてこの周
面に沿って円運動を行うようにしてもよい。

【００３３】粘性流体８として高粘度の油を用いたが、
減衰付与装置Ｇの用途に応じて流体の粘度と種類を選択
すればよい。高粘度を得られる流体であるならば、油以
外の流体であってもよい。

【００３４】装置本体１は、支軸１０下端を支持する下
部軸受１５と軸受押え１６を取付ける部位の幅寸法を空
間室７が設けられる上部の幅寸法よりも狭く形成した
が、これに限定されるものではなく、同一の幅寸法に拡
大してもよい。

【００３５】図４は、図１ないし図３に示す第１の実施
の形態の変形例である。同一部品には同番号を付して、
新たな説明は省略する。（以下、同じ）減衰付与装置Ｇ
として、先に説明したものをそのまま用いる。ここで
は、固定側部材Ａａおよび移動側部材Ｂａの形状が異な
るところから、減衰付与装置Ｇを上下逆の状態にして取
付けられる。

【００３６】転動体１７が固定側部材Ａａに転接し、移
動側部材Ｂａの移動にともなって転動することは変りが
なく、したがって円盤９が粘性流体８中に回転して部材
Ｂの移動にともなう振動の減衰効率を確保できる。

【００３７】特にこの場合は、支軸１０と空間室７との
シールをなすシール材１４が、空間室７に収容される粘
性流体８に浸漬されずにすみ、したがってシール性能が
低く摩擦の小さい廉価なものを使用できる。

【００３８】また、減衰付与装置Ｇを上下逆にして用い
たが、こればかりでなく、固定側部材Ａと移動側部材Ｂ
との構造に応じて、たとえば斜めに傾斜した状態で取付
けてもよく、あるいは横に倒した水平状態に取付けても
よい。

【００３９】図５は、第２の実施の形態を示していて、
ここでは減衰付与装置を構成する円盤９Ａを対象として
いる。すなわち、上記円盤９Ａは、所定の肉厚を有する
板体であって、中心部に支軸の上端部に嵌め込まれる孔
部２０が設けられている。そして、円盤９Ａの周端部に
所定間隔を存して、複数のフィン２１が取付けられてい
る。これらフィン２１は板片状であって、円盤９Ａの中
心部に向かって放射状に、かつ円盤の上下両面に取付け
られている。

【００４０】このような円盤９Ａであれば、粘性流体８
内で回転したときフィン２１の存在によって、より大き
な粘性抵抗を受け、移動側部材Ｂにおける振動減衰効果
がさらに向上する。

【００４１】この実施の形態の円盤９Ａを先に説明した
第１の実施の形態の円盤９に置き換えてもよく、あるい
はこれ以降で説明する実施の形態の円盤として用いても
何ら支障がない。

【００４２】図６は、第３の実施の形態の減衰付与装置
Ｇａを示す。装置本体１ａに設けられる空間室７ａの上
下方向寸法が第１の実施の形態のものよりも厚くなるよ
うに変更して、容積をより大きく設定する。装置本体１
ａの上下方向寸法は拡大できないので、その分、転動体
１７ａの軸方向長さが短くなるのはやむを得ない。

【００４３】上下方向寸法を拡大させた空間室７ａの底
面に、所定肉厚で、適宜な直径に形成された円環状の第
１の突出体２２が取付け固定される。この第１の突出体
２２と同一寸法の円環状で所定肉厚の第２の突出体２３
が蓋体４の下面に適宜な手段で取付けられ、第１の突出
体２２に対して所定の間隙を存して対向している。

【００４４】支軸１０ａは、その上端部が蓋体４の下面
に近接する位置まで延出され、同様に支軸１０ａ周囲を
上方へ突出させた装置本体１ａ中央部に軸受１３を介し
て回転自在に支持される。支軸１０ａの上端部にスペー
サ１１とナット１２が嵌め込まれ、かつこれらの間に円
盤９ａが介在固定されることは変りがない。

【００４５】上記円盤９ａは、装置本体１ａの支軸支持
部周囲で下方に折曲され、さらに第１、第２の突出体２
２，２３の対向隙間に介在するように水平に折曲され
る。換言すれば、円盤９ａは断面略ハット状に形成され
ていて、第１、第２の突出体２２，２３の隙間に介在す
る部分と、上下方向に折曲された下部側一部が空間室７
ａに収容される粘性流体８に浸漬される。

【００４６】粘性流体８の液面は、装置本体１ａの支軸
支持部上端縁よりも下位に設定され、支持部上端縁と円
盤９ａとの間に亘って補助シール材２４が設けられ、軸
受１３側に粘性流体８が侵入しないようにシールしてい
る。

【００４７】このように、円盤９ａの少なくとも一部を
第１、第２の突出体２２，２３相互の微小隙間に介在さ
せたから、移動側部材Ｂの移動にともなって円盤が回転
するとき、粘性流体８の粘性抵抗を受けて振動減衰効果
が得られる。

【００４８】なお説明すれば、移動側部材Ｂが移動にと
もなって円盤９ａが上下方向に振動して隙間の大きさが
変化しようとすると、円盤９ａと第１、第２の突出体２
２，２３相互との狭小の隙間に存在する粘性流体８が抵
抗して、変位を抑制する作用をなす。

【００４９】上記粘性流体８において、いわゆるスクイ
ーズ効果が発揮されることとなり、その結果、部材Ｂの
移動方向に対する振動を抑制することは勿論、上下方向
の振動も抑制して、より振動減衰特性の向上化を図れ
る。

【００５０】さらに、支軸１０ａと装置本体１ａ上端部
をシールするシール材１４および補助シール材２４が粘
性流体８の液面から上方に突出して全く浸漬されずにす
む設定であるから、各シール材１４，２４のシール特性
が低くてすむ。

【００５１】なお、この実施の形態において、第１の突
出体２２と、第２の突出体２３を備えたことにより減衰
性能を特に高めるようにしたが、必要とされる減衰性能
に応じ、いずれか一方を省いてもよい。また、装置本体
１ａ および／もしくは 蓋体４と一体化してもよい。
要は、円盤９ａの少なくとも一部に対して狭小の隙間を
形成できるような構成であればよい。

【００５２】図７は、第４の実施の形態の減衰付与装置
Ｇｂを示す。多少簡略化した図に表しているが、基本的
には、先に図６で説明した第３の実施の形態の減衰付与
装置Ｇａに近似的な構成である。

【００５３】すなわち、第１の突出体２２ｂと第２の突
出体２３ｂで狭小の隙間を形成し、円盤９ｂの一部を介
在させたことは変りがない。ここでは、各突出体２２
ｂ，２３ｂともに、アクチュエータ２５を介して装置本
体１ｂと蓋体４とに支持されることが特徴である。

【００５４】各アクチュエータ２５は、たとえば電歪素
子や、磁歪素子などからなり、それぞれ上下方向に伸縮
自在である。図示しない制御装置と電気的に接続されて
いて、各突出体２２ｂ，２３ｂと円盤９ｂとの隙間を可
変にする。

【００５５】このような構成であれば、円盤９ｂと各突
出体２２ｂ，２３ｂの隙間を変化して粘性流体８の粘性
抵抗を変化させることができ、付加する減衰能を調整す
る機能を有する。

【００５６】すなわち、移動側部材Ｂの移動速度を上げ
る場合は、各アクチュエータ２５を最大限収縮させて円
盤９ｂと各突出体２２ｂ，２３ｂとの隙間を拡大保持す
る。隙間が大きくなれば、粘性流体８の粘性抵抗が小さ
くなって移動側部材Ｂの駆動源に対する負荷が低減す
る。

【００５７】部材Ｂの位置決め動作の最終段階に至って
各アクチュエータ２５を通常状態に伸張させることで、
より狭い隙間となり、粘性流体８の粘性抵抗が大となっ
て部材Ｂの整定を早期化できる。すなわち、アクチュエ
ータ２５の使用により振動抑制に加えて、制動の補助機
能を有することとなる。

【００５８】図８は、第５の実施の形態の減衰付与装置
Ｇｃを示す。ここでは、蓋体４のみ、その下面に円環状
の絶縁体２６を介して円環状の電極２７が取付けられて
おり、これら絶縁体２６と電極２７が下方に突出すると
ころから、円盤９ｃは先に図７で説明したものと同様、
断面が略ハット状に形成されている。

【００５９】この円盤９ｃと支軸１０ｃは導電性材料か
ら形成されていて、たとえばモータの回転軸にブラシを
接触させて回転体から電流をとる構成と同様、支軸１０
ｃから電流をとるように構成される。支軸１０ｃと電極
２７はともに、電圧を制御可能な電源に接続されてい
る。

【００６０】空間室７ｃには電気粘性流体８ｃが収容さ
れていて、支軸１０ｃを介して円盤９ｃと電極２７との
間に直流電圧を印加すると、これらの間に存在する電気
粘性流体８ｃは電圧値に応じて粘度が変化するようにな
っている。

【００６１】このようにして、円盤９ｃと電極２７とに
直流電圧を印加して電気粘性流体８ｃの粘度を調整する
ことにより、円盤９ｃに対する必要な減衰効率を得ら
れ、振動抑制に加えて制動の補助として利用できる。

【００６２】図９は、第５の実施の形態における第１の
変形例の減衰付与装置Ｇｃ１を示している。基本的に
は、図８で示したように電気粘性流体８ｃと、絶縁体２
６を介して電極２７を備えるとともに、支軸１０ｃと円
盤９ｃは導電性材料から形成し、かつ支軸１０ｃと電極
２７は電圧を制御可能な電源に接続する。

【００６３】絶縁体２６は空間室７ｃ底面と蓋体４下面
に設けられていて、それぞれ電極２７を支持している。
すなわち、電極２７は円盤９ｃの上下両面に狭小の間隙
を存して配置される。

【００６４】そして、上下の電極２７と、支軸１０ｃと
の間に印加する電圧量によって電気粘性流体８ｃの粘度
を変化させ、所望の減衰能を得られる。円盤９ｃの上下
両面に対して電極２７を備えたので、これらの間に介在
する電気粘性流体８ｃの粘性抵抗を直接調整でき、より
大きな減衰能を得られる。

【００６５】図１０は、上記第５の実施の形態における
第２の変形例の減衰付与装置Ｇｃ２を示している。基本
的には、先に図９で説明したように、空間室７ｃに電気
粘性流体８ｃを収容することと、円盤９ｃの上下両面に
間隙を存して電極２７が備えられることは変りがない。

【００６６】ここでは、円盤９ｃを絶縁材から構成し、
支軸１０ｃには何らの電気的な接続も施されていない。
円盤９ｃの平面形状は、たとえば図１１（ａ）もしくは
（ｂ）に示すようになっている。

【００６７】図１１（ａ）に示す円盤９ｃは、各電極２
７と対向する周端部に複数のスリット２８が所定間隔を
存して設けられていて、帯状の片部が放射状に残される
形状である。図１１（ｂ）に示す円盤９ｃは、各電極２
７と対向する周端部に所定直径の複数の貫通孔２９が所
定間隔を存して設けられている。

【００６８】部材Ｂの移動にともなって円盤９ｃが回転
し、かつ上下の電極２７間に電圧が印加されて電気粘性
流体８ｃの粘度が変化する。円盤９ｃには、スリット２
８もしくは貫通孔２９が設けられているところから、電
界の透過を妨げない。したがって、電気粘性流体８ｃの
粘性抵抗が効率よく、かつ確実に変化する。

【００６９】図１２（ａ）は、第６の実施の形態の減衰
付与装置Ｇｄを示す。円盤９ｄは磁性材料から形成され
ており、かつ空間室７ｄには磁性流体８ｄが収容される
一方、蓋体４には絶縁層３０を介して電磁石連結部３１
が設けられる。この電磁石連結部３１の下面に所定間隔
を存して鉄心が設けられコイルが巻装された、複数の電
磁石３２を備えている。

【００７０】図１２（ｂ）に示すように、複数の電磁石
３２は、電流を流したときに一つ置きに同じ極性となる
ように形成される。換言すれば、隣り合う電磁石３２が
Ｓ極とＮ極となる、互いに極性が異なる配置である。

【００７１】支軸１０ｄを介して円盤９ｄと、複数の電
磁石３２に電流を流すと、図１２（ｃ）に示すように隣
り合う電磁石３２と、電磁石連結部３１および円盤９ｄ
とで磁気回路が構成される。特に、円盤９ｄと電磁石３
２間には電流に応じた磁場が生じ、これら円盤９ｄと電
磁石３２との隙間に介在する磁性流体８ｄは磁場の強さ
に応じた粘度となる。

【００７２】このようにして、電磁石３２に対する電流
値に応じて磁性流体８ｄの粘性抵抗を変えることがで
き、所望の減衰能を得られるとともに、制動の補助とし
ても利用できる。

【００７３】図１３（ａ）（ｂ）は、第７の実施の形態
の減衰付与装置Ｇｅを案内装置Ｓに備えた例を示す。上
記案内装置Ｓとして、ボールねじ駆動のテーブル体を適
用する。

【００７４】はじめに、テーブル体Ｓの構成について説
明する。固定側部材に相当するベース４０を備えてい
て、この長手方向の一端でかつ幅方向の中央部上に支持
台４１が取付けられ、この支持台４１と対向する長手方
向の他端に軸受支持台４２が配置される。

【００７５】これら支持台４１と軸受支持台４２に亘っ
てボールねじねじ軸４３が挿入される。支持台４１には
図示しない軸受が設けられていて、ボールねじねじ軸４
３の一端部を軸受を介して支持する。軸受支持台４２に
も図示しない軸受が設けられていて、ボールねじねじ軸
４３の他端部を軸受を介して支持する。

【００７６】上記支持台４１の外面側に正逆回転駆動す
るモータ４４が取付けられていて、この回転軸が継手を
介して上記ボールねじねじ軸４３の一端部に連結され
る。なお、回転軸と継手はともに図示しない。したがっ
て、モータ４４はボールねじねじ軸４３を回転駆動す
る。

【００７７】ボールねじねじ軸４３の中途部には、図示
しないボールねじナットが、その内部を循環する図示し
ない多数のボールを介して螺合し、該ボールねじナット
はナットブラケット４５に固定されている。このナット
ブラケット４５は、移動側部材に相当するテーブル４６
の下面略中央部に適宜な手段で取付け固定される。

【００７８】上記テーブル４６は、その長手方向寸法が
支持台４１と軸受支持台４２との相互間隔寸法よりも短
く形成され、したがってボールねじねじ軸４３の回転に
ともなって支持台４１と軸受支持台４２との相互間隔の
範囲内で移動自在である。

【００７９】さらに、ベース４６上にはボールねじねじ
軸４３の左右両側に沿って転がり案内軸受の一種である
リニアガイドのレール４７が設けられていて、ここにそ
れぞれ２個ずつリニアガイド用のベアリング４８が、ベ
アリング４８内を循環する図示しない多数のボールを介
して嵌め込まれている。上記ベアリング４８はテーブル
４６の左右両側部下面に設けられていて、テーブルの移
動にともなってレール４７上を移動し、この移動ガイド
をなす。

【００８０】このようにして構成されるテーブル体Ｓで
あり、上記テーブル４６の左右両側部下面で上記ベアリ
ング４８相互間に減衰付与装置である摩擦付加ユニット
Ｇｅが設けられる。この摩擦付加ユニットＧｅは全体に
断面コ字状をなし、それぞれレール４７に対して跨設さ
れる。

【００８１】図１４（ａ）（ｂ）は摩擦付加ユニットＧ
ｅの具体的な構成を示している。ここでは、先に図６で
説明した第３の実施の形態の減衰付与装置Ｇａを２組、
組み合わせてなる。

【００８２】それぞれの減衰付与装置Ｇａの転動体１７
ａがレール４７の側面に転接しており、レールを左右か
ら挟んだ状態で転動可能である。これら対向する転動体
１７ａ相互間の距離をレール４７の幅寸法よりもわずか
に狭くなるように設定して、予圧を与えている。

【００８３】このようにして摩擦付加ユニットＧｅは、
実質的に、先に説明した減衰付与装置Ｇａを組み合わせ
て構成するものであるから、テーブル４６の移動にとも
なう振動の減衰効果に加え、上下方向の振動減衰効果も
得られる。

【００８４】図１５は、第８の実施の形態の摩擦付与ユ
ニットＧｆを示していて、この摩擦付加ユニットは案内
装置であるテーブル体Ｓに備えられる。すなわち、テー
ブル体Ｓのレール４７に跨設される摩擦付加ユニットＧ
ｆは、先に第７の実施の形態の図１４（ａ）（ｂ）で説
明した摩擦付加ユニットＧｅを置き換えたものである。

【００８５】具体的には、レール４７上面に転動体１７
ｆが水平状態で転接しており、この両端部から支軸１０
ｆが突出している。それぞれの支軸１０ｆの端部に円盤
９ｆが取付けられている。

【００８６】これら円盤９ｆは垂直方向に取付けられる
ことになり、かつ左右両側に第１、第２の突出体２２
ｆ，２３ｆが狭小の間隙を存して取付けられる。当然、
これらを収容する空間室７ｆのそれぞれには粘性流体８
ｆが収容され、円盤９ｆが浸漬される。

【００８７】このような構成であると、上記テーブル４
６の移動にともなって転動体１７ｆがレール４７上面を
転動し、両側の円盤９ｆが回転する。円盤９ｆに対して
左右両側に第１、第２の突出体２２ｆ，２３ｆが配置さ
れ、これらの間に粘性流体８ｆが介在するところから、
進行方向についての振動減衰に加え、左右方向の振動減
衰にも効果がある。

【００８８】図１６は、第９の実施の形態の摩擦付与ユ
ニットＧｇを示していて、この摩擦付加ユニットは案内
装置であるテーブル体Ｓに備えられる。すなわち、テー
ブル体Ｓのレール４７に跨設される摩擦付加ユニットＧ
ｇは、先に第７の実施の形態の図１４（ａ）（ｂ）で説
明した摩擦付加ユニットＧｅを置き換えたものである。

【００８９】具体的には、摩擦付加ユニットＧｇは、図
１４（ａ）（ｂ）で説明した第７の実施の形態の摩擦付
与ユニットＧｅと、図１５で説明した第８の実施の形態
の摩擦付与ユニットＧｆとの両方を合体化させている。

【００９０】したがって、レール４７に沿って移動する
テーブル４６の移動方向の振動抑制をなすとともに、上
下方向と左右方向の振動方向も同時に抑制することとな
り、振動減衰効果は著しい。

【００９１】なお、以上は案内装置Ｓとして回転式のモ
ータとボールねじとの組合わせによる駆動のテーブル体
を適用して説明したが、これに限定されるものではな
く、たとえばリニアモータによる駆動のテーブル体にも
適用可能であり、また、案内軸受として転がり軸受とし
たが、これ以外の種々の軸受を用いてもよい。

【００９２】案内装置に備えられる各摩擦付加ユニット
Ｇｅ、Ｇｆ、Ｇｇは、先に説明したものに限定されず、
これ以外の実施の形態で説明した構成の減衰付与装置を
適用してもよい。

【００９３】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、ユ
ニット内に粘性流体を封入することでストロークの影響
を受けずにすみ、構成のコンパクト化を図って設計上の
制限を少なくでき、減衰効率の向上化を得られて、より
多様な用途に使用範囲が拡大するなどの効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態の、減衰付与装置の
断面図。

【図２】同実施の形態に係わる、減衰付与装置の平面
図。

【図３】同実施の形態に係わる、減衰付与装置一部の底
面図。

【図４】同実施の形態の変形例での、減衰付与装置の断
面図。

【図５】本発明の第２の実施の形態の、円盤の平面図と
断面図。

【図６】本発明の第３の実施の形態の、減衰付与装置の
断面図。

【図７】本発明の第４の実施の形態の、減衰付与装置一
部の断面図。

【図８】本発明の第５の実施の形態の、減衰付与装置一
部の断面図。

【図９】同実施の形態の第１の変形例での、減衰付与装
置一部の断面図。

【図１０】同実施の形態の第２の変形例での、減衰付与
装置一部の断面図。

【図１１】同変形例で用いられる円盤の、互いに異なる
構成の平面図。

【図１２】本発明の第６の実施の形態の、減衰付与装置
一部の断面図と、電磁石構成図および磁気回路の構成
図。

【図１３】本発明の第７の実施の形態の、減衰付与装置
を備えた案内装置であるテーブル体の正面図と断面図。

【図１４】同実施の形態の、減衰付与装置の平面図と断
面図。

【図１５】本発明の第８の実施の形態の、案内装置であ
るテーブル体に備えられる減衰付与装置の断面図。

【図１６】本発明の第９の実施の形態の、案内装置であ
るテーブル体に備えられる減衰付与装置の一部を断面に
した平面図。

【符号の説明】

８…粘性流体、 １…装置本体、 １７…転動体、 ９…円盤（粘性抵抗発生体）、 ４０…ベース、 ４６…テーブル。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】互いに相対運動する２つの部材間に介在さ
   れ、これら両部材間に減衰を付与する減衰付与装置にお
   いて、 内部に粘性流体を収容する装置本体と、 この装置本体に回転自在に支持され、かつ、少なくとも
   その一部が装置本体の外部に露出して上記２つの部材の
   うちの一方に転接するように取付けられた転動体と、 上記装置本体内の粘性流体中に少なくとも一部が浸漬さ
   れ、上記転動体とともに回転可能に支持される粘性抵抗
   発生体とを具備したことを特徴とする減衰付与装置。
2. 【請求項２】ベースと、案内軸受を介して可動なテーブ
   ルを備えた案内装置において、 請求項１記載の減衰付与装置を、上記ベースとテーブル
   との間に介在させたことを特徴とする案内装置。