JP2002033493A - 車載用光検出器における遮光板の組付け方法 - Google Patents

車載用光検出器における遮光板の組付け方法

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JP2002033493A
JP2002033493A JP2000217677A JP2000217677A JP2002033493A JP 2002033493 A JP2002033493 A JP 2002033493A JP 2000217677 A JP2000217677 A JP 2000217677A JP 2000217677 A JP2000217677 A JP 2000217677A JP 2002033493 A JP2002033493 A JP 2002033493A
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shielding plate
light shielding
sensor chip
vehicle
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Norihiro Katayama
片山  典浩
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Denso Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】半導体チップに認識専用マークを設けることな
く遮光板と半導体チップの受光部の相対位置精度を確保
しつつ遮光板を取付けることができる車載用光検出器に
おける遮光板の組付け方法を提供する。 【解決手段】ハウジングの上面にセンサチップ(光I
C)3が配置され、その上方において、入射した光を透
孔を通してセンサチップ3に送る遮光板が配置されてい
る。組立ての際には、ハウジングにセンサチップ3を固
定した状態から、CCDカメラを用いてセンサチップ3
におけるアルミ膜(遮光膜)の境界線L1からセンサチ
ップ3の受光部11の位置を画像認識するとともに遮光
板の透孔の位置または遮光板の外形形状を画像認識しつ
つ、遮光板とセンサチップ3の受光部11の相対位置を
保ちながら遮光板をハウジングの所望の位置に組付け
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は車載用光検出器に
おける遮光板の組付け方法に関するものであり、車載用
光検出器は、例えば、車両空調システム等に使用される
日射センサとして用いることができるものである。
【0002】
【従来の技術】車載用光検出器において、図13に示す
ように、センサチップ100の上に遮光板101と光学
レンズ102が配置され、光を光学レンズ102と遮光
板101の透孔101aを通して半導体チップ100の
受光部(受光素子)103に照射して電気信号に変換し
ている。このとき、遮光板101と半導体チップ100
の受光部103との相対位置を高精度に管理する必要が
あり、半導体チップ100が固定されたハウジングに対
し遮光板101を組付ける際に、半導体チップ100の
受光部103の位置を認識する必要がある。そのため
に、図14に示すように、半導体チップ100の四隅に
アルミなどを用いて認識専用マーク104を設けて画像
認識する方法が考えられる。これは、受光部中心を認識
するのに有効な方法の一つである。
【0003】しかし、受光素子と回路を集積化した光I
Cでは、回路上意味の無いアルミを置くことになり、面
積も大きくなりコストアップとなる。さらに、半導体チ
ップ100の四隅に認識専用マーク104を形成するた
め、認識マーク間の距離が広がり、測定レンジが広くな
り、分解能が悪く精度が劣る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】本発明はこのような背
景の下になされたものであり、その目的は、半導体チッ
プに認識専用マークを設けることなく遮光板と半導体チ
ップの受光部の相対位置精度を確保しつつ遮光板を取付
けることができる車載用光検出器における遮光板の組付
け方法を提供することにある。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明者は、遮光膜(ア
ルミ膜等)により遮光した回路部は反射しやすく、光を
吸収する受光部は反射しにくい点に着目し、これを利用
して受光部と回路部の境界を認識することにより半導体
チップの受光部の位置を認識することができることを見
出した。
【0006】これを基にして、請求項1に記載の発明に
よれば、ハウジングに半導体チップを固定した状態か
ら、撮像装置を用いて半導体チップにおける遮光膜の境
界から半導体チップの受光部の位置が画像認識される。
また、遮光板の透孔の位置または遮光板の外形形状が画
像認識される。そして、遮光板と半導体チップの受光部
の相対位置を保ちながら遮光板がハウジングの所望の位
置に組付けられる。
【0007】よって、半導体チップに認識専用マークを
設けることなく遮光板と半導体チップの受光部の相対位
置精度を確保しつつ遮光板を取付けることができる。ま
た、請求項2に記載の発明によれば、半導体チップの受
光部の位置を画像認識する際に、円形の受光部の周囲に
配置される回路における受光部との円形の境界線から半
導体チップの受光部の位置を画像認識するようにする
と、撮像装置による認識範囲を狭くして分解能を高くで
き高精度な認識を行うことができる。
【0008】また、請求項4に記載の発明によれば、遮
光板はハウジングの上面に接着することによりハウジン
グに固定される。また、請求項5に記載のように、遮光
板の透孔の位置の画像認識に加えて、遮光板に設けたマ
ークを画像認識して平面内の位置を決定するようにする
と、実用上好ましいものとなる。
【0009】
【発明の実施の形態】以下、この発明を具体化した実施
の形態を図面に従って説明する。本実施の形態における
車載用光検出器(光量検出センサ)は、カーエアコンに
おけるオートエアコンシステムに用いられる。このオー
トエアコンシステムは、乗用車の前席での左右の乗員に
独立に温度制御でき、乗員が車室内の温度を希望の温度
に設定すると、左右独立温度制御を行い空調システムの
吹出し温度や風量などを自動調節することにより日射の
当たる側の温度を下げて日射の強さによる影響を自動補
正し、車室内温度を常に一定に保つようになっている。
【0010】図1には、本実施の形態における車載用光
検出器の平面図を示す。図2には、図1のA−A断面図
を示す。また、図3には、図1のB−B断面図を示す。
ただし、図1は、図2,3に示す光学レンズ(フィル
タ)4と遮光板5を取外した状態での平面図である。図
1において遮光板5の配置位置を二点鎖線にて示す。
【0011】図2において、車載用光検出器1は、コネ
クタを兼ねるハウジング2と、センサチップ3と、光学
レンズ4と、遮光板(スリット板)5と、ターミナル6
とを備えている。ハウジング2は、ケース7とホルダ8
から構成され、両部材7,8は共に合成樹脂よりなる。
ケース7は、円筒状をなし、立設した状態で使用され
る。また、ホルダ8は、ケース7内の上部に嵌入されて
いる。ここで、ハウジング2がケース7とホルダ8にて
構成されていることから、ケース7を共通部材とし、ホ
ルダ8(受光素子実装部とコネクタ部)を光検出器の仕
様毎に変えて用いることができる。
【0012】図2に示すように、ケース7の外周面には
取付け爪9が設けられており、車載用光検出器1が自動
車のダッシュパネル10の取付け孔10aに対し図2
中、X方向に挿入され、取付け爪9の外方への付勢力に
より本光検出器1がダッシュパネル10に取付けられ
る。
【0013】ホルダ8の上面中央部にはセンサチップ3
が配置されている。また、ホルダ8には検出信号を外部
に出力するための外部出力端子としてのターミナル6が
インサート成形され、ホルダ8の中にターミナル6を埋
設した構造となっている。ターミナル6の一端がホルダ
8の上面に露出し、ターミナル6の他端がホルダ8の下
面から突出している。
【0014】図1(図4参照)において、四角形状のセ
ンサチップ3には、方位角が「0」の基準となる軸Lce
ntの左側に右検出用フォトダイオードDR が、右側に左
検出用フォトダイオードDL が配置されるとともに、基
準となる軸Lcentの上に、中央検出用フォトダイオード
DC1及びDC2が配置されている。フォトダイオードDR
,DL ,DC1, DC2は入射する光の量(日射強度)に
応じた信号をそれぞれ出力する。
【0015】センサチップ3の詳細を図4,5を用いて
説明する。センサチップ3は、受光素子であるフォトダ
イオードDR ,DL ,DC1, DC2に加えて信号処理回路
21を具備した光ICである。センサチップ3は、チッ
プ3の中心に位置する円形の受光領域11と、該領域1
1の周りの円弧状の受光領域12,13,14を有して
いる。各領域11〜14は電気的に絶縁されている。よ
り詳しくは、図5に示すように、シリコン基板15は、
p型シリコン基板15aと、その上のn型エピタキシャ
ル層15bからなり、n型エピタキシャル層15bの表
層部において、p型領域11,12,13,14が形成
されている。p型領域12にてフォトダイオードDR
を、p型領域13にてフォトダイオードDL を、p型領
域14,11にてフォトダイオードDC1, DC2を構成し
ている。よって、各p型領域11〜14がセンサチップ
3での受光部となる。さらに、図4において二点鎖線で
示すように、センサチップ3内での受光部11〜14で
ない場所(受光部の周辺)には信号処理回路21が形成
(集積化)されている。
【0016】図6には、図4のC−C線での縦断面、つ
まり、フォトダイオードDC2及びその周辺部での縦断面
を示す。この図6を用いてセンサチップ3の断面構造を
説明する。
【0017】p型シリコン基板15aの上のn- 型エピ
タキシャル層15bにはpn接合にて分離された多数の
島が区画形成され、各島には受光素子(フォトダイオー
ド)、および、信号処理回路を構成する回路構成用素子
が形成されている。図6の受光素子形成部において、n
- 型エピタキシャル層15bの表層部でのp+ 型領域1
1の端部にはp+ 型領域22が形成されている。シリコ
ン基板15の表面部は薄いシリコン酸化膜23と厚いシ
リコン酸化膜24が形成されるとともに、p+型領域2
2に接するアルミ配線26が配置されている。このフォ
トダイオードDC2以外の他のフォトダイオードDR ,D
L ,DC1においても同様の構成となっている。
【0018】また、信号処理回路21に関し、図6にお
いては、回路構成用素子としてトランジスタ27および
IIL素子28が示されている。図6のIIL素子28
において、p型とn型の不純物拡散領域が形成され、ア
ルミによる配線がなされている。同様に、トランジスタ
27においても、p型とn型の不純物拡散領域が形成さ
れ、アルミによる配線がなされている。
【0019】ここで、信号処理回路を構成するトランジ
スタ27やIIL素子28等の回路構成用素子はシリコ
ン基板15に通常のIC製造に用いられる拡散等により
形成されたものであり、素子としてはトランジスタ2
7、IIL素子28の他にも、抵抗、コンデンサ等の素
子を含む。
【0020】シリコン基板15上に配置したアルミ配線
の上には、TEOS酸化膜31、SOG膜32、TEO
S酸化膜33が形成され、その上には表面保護膜(シリ
コン窒化膜)34が形成されている。さらに、信号処理
回路の形成部(素子27,28等の形成部)の上方には
遮光膜としてのアルミ膜35が配置されている。アルミ
膜35は光による回路構成用素子(27,28)の誤作
動、つまり、信号処理回路の誤作動を防止する機能を有
する。このように、信号処理回路21は遮光膜としての
アルミ膜35にて遮光され、誤作動を防止している。
【0021】そして、外部からフォトダイオードに向け
て光が入射した時には、その光は図6のTEOS酸化膜
33,31、薄いシリコン酸化膜23を通過してp+
領域11に至る。n型エピタキシャル層15bとp+
領域11とのpn接合近傍に光が入ると、電子−正孔対
が発生する。発生した少数キャリア、即ち、p+ 型領域
11およびn型エピタキシャル層15bで発生した電子
および正孔が両領域で互いに逆向きに移動する。このと
き、n型エピタキシャル層15bからp+ 型領域11へ
向かう電流が流れる。この光電流は入射光量に比例して
いる。この光電流(光検出信号)は信号処理回路21に
送られ、信号処理回路21において所定の信号処理が行
われる。
【0022】また、受光部11の周囲における信号処理
回路21上のアルミ膜35の境界(図4中、L1で示
す)が、受光部11の位置(センサチップ3の中心)を
認識するためのマークとして機能する。
【0023】一方、図1に示すように、センサチップ3
はターミナル6とボンディングワイヤー37にて電気的
に接続されている。また、各ターミナル6の間には保護
素子(コンデンサ)47が配置され、ターミナル6から
高電圧が印加されると、同保護素子47を通してグラン
ド側に逃がすようになっている。
【0024】図2において、センサチップ3の上方にお
いて、ホルダ8の上面には遮光板5がセンサチップ3を
覆うように支持されている。図7にはホルダ8の正面図
を示すとともに、このホルダ8の上面に配置される遮光
板5の詳細を図8に示す。
【0025】図8において、遮光板5は遮光材料よりな
る。本例では遮光板5は樹脂製であるが、他の材料、例
えば金属製であってもよい。遮光板5はその中央部に上
下に貫通する透孔(スリット)38が形成され、透孔3
8は円形をなしている。また、遮光板5には透孔38を
挟んだ両側に穴39a,39bが形成されている。この
穴39a,39bは遮光板5の位置(向き)を認識する
ためのマークとして機能する。図1,2に示すように、
遮光板5は、透孔38の中心がセンサチップ3の中心
(受光部11)と一致する状態で取付けられている。
【0026】ここで、ホルダ8について詳しく説明す
る。図2,7に示すように、ホルダ8は水平方向に広が
るプレート部41を有し、プレート部41の上面中央に
センサチップ3が接着されている。また、プレート部4
1の上面での外周部には側壁部42が立設されている。
この側壁部42はセンサチップ3の配置領域の周りに環
状に形成されている。この側壁部42の内方において防
湿剤(ポッテング剤)43が充填され、防湿剤43にて
センサチップ3およびワイヤー37が覆われている。さ
らに、側壁部42の上面において図1に示すように遮光
板搭載部44a,44bが形成されている。各遮光板搭
載部44a,44bは平面形状として長方形をなし、両
遮光板搭載部44a,44bはセンサチップ3を挟んだ
両側に位置している。さらに、図7に示すように、遮光
板搭載部44a,44bの高さは側壁部42の上面より
も高くなっている。そして、遮光板搭載部44a,44
bの上面において接着剤45(図3参照)により遮光板
5が接着されている。
【0027】ここで、図2の高さH1の遮光板搭載部4
4a,44bが設けられ、その上に遮光板5が組付けら
れている。このように、ハウジング2の中で最も高い遮
光板搭載部44a,44bにおいて遮光板5が接着され
るので、遮光板5がハウジング2と干渉することが防止
される。
【0028】また、図1に示すように、ホルダ8の上面
には3つの穴8a,8b,8cが形成され、この穴8
a,8b,8cはホルダ8(ハウジング2)の中心を認
識するためのマークとして機能する。
【0029】図2において、光学レンズ4は着色ガラス
や樹脂(半透明材)よりなり、お碗型をなしている。こ
の光学レンズ4がホルダ8の外周面に嵌入され、センサ
チップ3の上方においてハウジング2に支持されてい
る。さらに、光学レンズ4の内周面(下面)の中央部に
は凹部46が形成され、この凹部46により光学レンズ
4がレンズ機能を持つことになる。なお、光学レンズ4
にレンズ機能を持たせるために凹レンズの他にもプリズ
ムの集合体レンズ(フレネルレンズ)等を用いてもよ
い。
【0030】そして、図2の光学レンズ4の表面側に照
射された光は光学レンズ4を通過し、遮光板5に照射さ
れる。さらに、遮光板5の透孔38を通過した光はセン
サチップ3のフォトダイオードDR ,DL ,DC1, DC2
(図4参照)に照射される。つまり、光検出器の表面
(光学レンズ4)に照射された光は、レンズ材の屈折率
と形状により光路変更されレンズ4内を進み、センサチ
ップ3に向かって出射され、遮光板5の透孔38を通し
てセンサチップ3に至る。この光照射によりフォトダイ
オードDR ,DL ,DC1, DC2から信号が出力される。
ここで、真上からの光によるセンサチップ3上での光照
射領域に対し、左側からの光はセンサチップ3上での光
照射領域が右側となり、また、右側からの光はセンサチ
ップ3上での光照射領域が左側となる。
【0031】図9には、オートエアコンシステムの電気
的構成図を示す。4つのフォトダイオードDR ,DL ,
DC1, DC2に対し信号処理回路21が接続されている。
信号処理回路21において、左検出用フォトダイオード
DL の出力電流と中央検出用フォトダイオードDC1, D
C2の出力電流の1/2値とが加算されて左受光信号の出
力電流(=IL +1/2・IC1+1/2・IC2)として
抵抗48(抵抗値;R)により電流−電圧変換されてマ
イコン49に送られる。また、右検出用フォトダイオー
ドDR の出力電流と中央検出用フォトダイオードDC1,
DC2の出力電流の1/2値とが加算されて右受光信号の
出力電流(=IR +1/2・IC1+1/2・IC2)とし
て抵抗48(抵抗値;R)により電流−電圧変換されて
マイコン49に送られる。つまり、左検出用フォトダイ
オードDL の出力と感度を下げた中央検出用フォトダイ
オードDC1, DC2の出力により左受光信号V1が得ら
れ、右検出用フォトダイオードDR の出力と感度を下げ
た中央検出用フォトダイオードDC1, DC2の出力により
右受光信号V2が得られる。この両信号V1,V2によ
り、日射の強さと日射が当たっている側(運転席あるい
は助手席)が分かる。具体的には、日射量が出力の総和
(=V1+V2)にて、方位が出力比(=V1/(V1
+V2)またはV2/(V1+V2))にて検出でき
る。
【0032】マイコン49にはエアコンユニット50が
接続され、エアコンユニット50はブロワ、クーラ、ヒ
ータ等を含むものであり、車両のインパネ内に搭載され
ている。マイコン49は前述の2つの信号V1,V2に
基づいて日射量と方位(左右)を検出して、左右の光強
度からエアコンユニット50を制御して日射の当たる側
(運転席あるいは助手席)の吹出し風量を増やし、温度
を下げる。このようにして、カーエアコンの左右独立空
調が行われる。
【0033】次に、車載用光検出器1の組付け工程、特
に、遮光板5の組付け工程を主に説明する。今、車載用
光検出器1を構成する部品である、ケース7とホルダ8
とセンサチップ3と光学レンズ4と遮光板5とが別々に
用意されている。つまり、光検出器の組立てラインにお
いて、トレイに各部品がセットされている。ただし、ホ
ルダ8においてターミナル6はインサート成形にて埋設
済みである。また、この組立てラインにおいて、ロボッ
トアーム等の把持・搬送手段が備えられており、これを
使ってセンサチップ3や遮光板5等を把持および搬送す
ることができるようになっている。ロボットアーム等の
把持・搬送手段はコンピュータの指示にて作動する。こ
のコンピュータはCCDカメラからの撮像信号を入力し
て画像処理を行い、把持・搬送手段に作業指示を与える
ようになっている。
【0034】このような設備を用いて、以下の組立て作
業が行われる。まず、センサチップ3のマウントを行
う。この際、ホルダ8のセンサチップ搭載部に接着剤
(図示略)を適量塗布しておき、このホルダ8をCCD
カメラにより撮像して、その中心位置を画像認識する。
具体的にはホルダ8の上面の穴8a,8b,8c(図1
参照)から中心を認識する。
【0035】一方、センサチップ3を裏面(表層部にp
n接合を形成した面とは反対の面)からCCDカメラに
より撮像して、センサチップ3の外形形状からセンサチ
ップ3の中心位置を画像認識する。そして、センサチッ
プ3を把持・搬送してホルダ8の中心とセンサチップ3
の中心を合わせた状態で、ホルダ8の上面の所定の位置
にセンサチップ3を載置する。そして、接着剤を硬化す
ることによりセンサチップ3を固定する。
【0036】引き続き、図1の保護素子47を接着剤に
て接着する。その後、ターミナル6と、センサチップ3
の電気信号取出し用パッドとの間を、ボンディングワイ
ヤー37で電気接続する。さらに、センサチップ3およ
びワイヤー37を覆うように、防湿剤43を適量塗布し
て硬化する。
【0037】続いて、遮光板5の組付けを行う。この
際、ホルダ8の遮光板搭載部44a,44bに接着剤4
5を適量塗布する。そして、図10に示すように、この
ホルダ8に固定されたセンサチップ3をCCDカメラ5
1により撮像して、センサチップ3の受光部11の位置
(センサ中心)を画像認識する。詳しくは、センサチッ
プ3の適当な位置合せマークとして、センサチップ3の
円形の受光部11(図1参照)の周りのアルミ膜35の
境界線L1を用いる。つまり、アルミ膜35により遮光
した回路部は反射しやすく、光を吸収する受光部は反射
しにくいので、受光部と回路部の境界の反射率の差から
円形のアルミ膜35の境界線L1、即ち、受光部11の
位置を画像認識する。そして、この円形の受光部11
(アルミ膜35の境界線L1)からその中心位置を割り
出す。
【0038】一方、図11に示すように、遮光板5をC
CDカメラ52により撮像して、遮光板5の透孔38の
中心位置を画像認識するとともに、マーク用穴39a,
39b(図8参照)を画像認識する。そして、図12に
示すように、遮光板5を把持・搬送してセンサチップ3
での円形の受光部11(アルミ膜35の境界線L1)の
中心と遮光板5の透孔38の中心を合わせた状態で、ホ
ルダ8の遮光板搭載部44a,44bの上に遮光板5を
載置する。そして、接着剤45を硬化することにより遮
光板5がホルダ8の遮光板搭載部44a,44bの上に
接着され(固定され)、ホルダ8(ハウジング2)に組
付けられる。
【0039】このとき、遮光板5の取付けの際の平面内
の位置の決定に関して、遮光板5の透孔38と二つのマ
ーク用穴39a,39bを認識することにより、遮光板
5の位置決めが容易となり、センサチップ3の中心に対
し前後左右のズレが少なくセンサチップ3と遮光板5の
透孔38の位置合わせ精度が高い。
【0040】なお、遮光板5の透孔38の位置を画像認
識する代わりに、遮光板5の外形形状を画像認識しても
よい。その後、ホルダ8をケース7に嵌合にて組付け、
このハウジング2に光学レンズ4を嵌合にて組付ける。
このとき、上述したように遮光板5をズレることなく所
望の位置に組付けることができ、平面内の位置に大きな
ズレがある場合には遮光板5が光学レンズ4と干渉(接
触)してしまうが、本例ではこれを回避することができ
る。また、遮光板5において平面内の位置にズレがある
と、遮光板5とハウジング2の隙間から光(外乱光)が
入ってしまうが、本例ではこれを回避することができ
る。
【0041】このように、本実施の形態は下記の特徴を
有する。 (イ)遮光板5の組付け方法として、図10〜図12に
示すように、ホルダ8(ハウジング2)にセンサチップ
3を固定した状態から、CCDカメラ(撮像装置)5
1,52を用いてセンサチップ3におけるアルミ膜(遮
光膜)35の境界からセンサチップ3の受光部11の位
置を画像認識するとともに遮光板5の透孔38の位置ま
たは遮光板5の外形形状を画像認識しつつ、遮光板5と
センサチップ3の受光部11の相対位置を保ちながら遮
光板5をホルダ8の所望の位置に組付けるようにした。
よって、センサチップ3に認識専用マークを設けること
なく遮光板5とセンサチップ3の受光部11の相対位置
精度を確保しつつ遮光板5を取付けることができる。詳
しくは、図14の従来方式では回路上意味の無いアルミ
(104)を置くことにより面積の増大やコストアップ
を招いていたが、本実施形態では 認識専用マークを設
けておらずチップ面積の増大は無く、また、コストアッ
プを招くことも無い。 (ロ)センサチップ3の受光部11の位置を画像認識す
る際に、受光素子DC2の円形の受光部11の周囲に配置
される信号処理回路21における当該受光部11との円
形の境界線L1からセンサチップ3の受光部11の位置
を画像認識するようにした。よって、図14の従来方式
では半導体チップ100の四隅に認識専用マーク104
を形成するため測定レンジが広くなり分解能が悪く精度
が劣っていたが、本実施形態では、認識マークとして、
チップ中心の受光部11の周囲に形成されるアルミ膜境
界線L1を用いることにより、必要最小限の認識範囲で
済み、測定誤差が少なくなり、精度よくセンサチップ3
の受光部11の位置を認識することができる。即ち、カ
メラによる認識範囲を狭くして分解能を高くでき高精度
な認識を行うことができる。 (ハ)図8のごとく、遮光板5の透孔38の位置の画像
認識に加えて、遮光板5に設けたマークとしての穴39
a,39bを画像認識して平面内の位置を決定するよう
にしたので、正確に遮光板5の位置を認識でき、実用上
好ましいものとなる。
【0042】これまでの説明においては受光素子として
フォトダイオードを用いてきたが、他にも例えばフォト
トランジスタを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】 実施の形態における車載用光検出器の平面
図。
【図2】 図1のA−A断面図。
【図3】 図1のB−B断面図。
【図4】 センサチップの平面図。
【図5】 センサチップの説明図。
【図6】 図4のC−C断面図。
【図7】 ホルダの正面図。
【図8】 遮光板を示す図。
【図9】 オートエアコンシステムの電気的構成図。
【図10】 車載用光検出器の組み立てを説明するため
の図。
【図11】 車載用光検出器の組み立てを説明するため
の図。
【図12】 車載用光検出器の組み立てを説明するため
の図。
【図13】 従来技術を説明するための図。
【図14】 従来技術を説明するための平面図。
【符号の説明】
1…車載用光検出器、2…ハウジング、3…センサチッ
プ、5…遮光板、8…ホルダ、11…受光領域(受光
部)、21…信号処理回路、35…アルミ膜、38…透
孔、51,52…CCDカメラ。

Claims (5)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ハウジング(2)と、 前記ハウジング(2)の上面に配置され、受光素子(D
    R,DL,DC1, DC2)と、遮光膜(35)にて遮光された
    回路(21)とが集積化された半導体チップ(3)と、 前記半導体チップ(3)の上方において、入射した光を
    透孔(38)を通して前記半導体チップ(3)に送る遮
    光板(5)と、を備えた車載用光検出器における遮光板
    の組付け方法であって、 前記ハウジング(2)に半導体チップ(3)を固定した
    状態から、撮像装置(51,52)を用いて前記半導体
    チップ(3)における遮光膜(35)の境界から半導体
    チップ(3)の受光部(11)の位置を画像認識すると
    ともに遮光板(5)の透孔(38)の位置または遮光板
    (5)の外形形状を画像認識しつつ、遮光板(5)と半
    導体チップ(3)の受光部(11)の相対位置を保ちな
    がら遮光板(5)をハウジング(2)の所望の位置に組
    付けるようにしたことを特徴とする車載用光検出器にお
    ける遮光板の組付け方法。
  2. 【請求項2】 請求項1に記載の車載用光検出器におけ
    る遮光板の組付け方法において、 前記半導体チップ(3)の受光部(11)の位置を画像
    認識する際に、円形の受光部(11)の周囲に配置され
    る回路(21)における当該受光部(11)との円形の
    境界線(L1)から半導体チップ(3)の受光部(1
    1)の位置を画像認識するようにしたことを特徴とする
    車載用光検出器における遮光板の組付け方法。
  3. 【請求項3】 請求項1または2に記載の車載用光検出
    器における遮光板の組付け方法において、 前記遮光膜(35)はアルミ膜よりなることを特徴とす
    る車載用光検出器における遮光板の組付け方法。
  4. 【請求項4】 請求項1〜3のいずれか1項に記載の車
    載用光検出器における遮光板の組付け方法において、 前記遮光板(5)をハウジング(2)の上面に接着する
    ことによりハウジング(2)に固定するようにしたこと
    を特徴とする車載用光検出器における遮光板の組付け方
    法。
  5. 【請求項5】 請求項1〜4のいずれか1項に記載の車
    載用光検出器における遮光板の組付け方法において、 遮光板(5)の透孔(38)の位置の画像認識に加え
    て、遮光板(5)に設けたマーク(39a,39b)を
    画像認識して平面内の位置を決定するようにしたことを
    特徴とする車載用光検出器における遮光板の組付け方
    法。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2012060011A (ja) * 2010-09-10 2012-03-22 Denso Corp 光センサ
CN113362703A (zh) * 2021-07-05 2021-09-07 业成科技(成都)有限公司 显示装置及终端设备

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