JP2002031899A - レジスト洗浄剤組成物 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 人体に対する毒性や安全性に問題がなく、環
境にも害がなく、しかもレジストに対して高い溶解力を
洗浄剤を提供する。 【解決手段】 α−ヒドロキシイソ酪酸エステルと臭化
アルキル類とからなるレジスト洗浄剤組成物。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はレジストを除去する
ための洗浄剤組成物に関するものであり、更に詳しくは
金属、プラスチックス、硝子、セラミックス、精密機
械、塗装機器、電機・電子部品、光学部品などの製造時
に用いられるレジストの除去・洗浄に適したレジスト洗
浄剤組成物に関する。

【０００２】

【従来の技術】レジストを使用した製品、機器類、工具
類、容器類等は使用後、各種の有機溶剤にて洗浄され保
存される。従来この洗浄に用いるレジスト洗浄剤組成物
としてアルコール類、ケトン類、エステル類、そして塩
素系、フッ素系の有機溶剤が多量に使用されてきた。

【０００３】特開昭６０−１４９６７５号公報には塩化
メチレン、トリクロロエタン等の塩素系溶剤が、特開平
１−１３２６９４号公報では１，２−ジフルオロエタン
が、特開平２−１７８３９６号公報には１，１−ジクロ
ロ−２，２，２−トリフルオロエタンとジメトキシメタ
ンとの混合物が、そして特開平３−１６７２９８号公報
にはヘキサフルオロベンゼンを主成分とするものなど多
くの塩素系及びフロン系溶剤がレジスト洗浄剤として紹
介されている。これら塩素系及びフロン系溶剤は、発ガ
ン性の疑い、及びオゾン層の破壊等の懸念が払拭された
わけではなく、環境及び地球温暖化問題と安全性の観点
から使用規制される方向に進んでいる。この問題点を克
服するために、グリコールエーテル類或いはグリコール
エーテル類と水との混合物（特開平４−４２９９号公
報）、グリコールエーテル類と炭化水素の混合物（特開
平５−２３９４９５号公報）が紹介されている。しか
し、これらグリコールエーテル類を含むレジスト洗浄剤
組成物には沸点が高く蒸発速度が遅い等の問題が残され
ている。同様の観点から、特開平８−１６５４９５号公
報にはＮ−メチルピロリドン、ジメチルホルムアミド、
ジメチルアセトアミド及びプロピレングリコールモノア
ルキルエーテル、ブチレングリコールモノアルキルエー
テル、ペンタングリコールモノアルキルエーテルから成
るポリイミド洗浄剤を提案している。しかしこれらは、
比較的洗浄溶液として粘度が高く、液切れが悪く、且つ
乾燥性に問題がある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように当該技術分
野では人体に対する毒性や安全性に問題がなく、環境に
も害がなく、しかもレジストに対して高い溶解力を有す
る洗浄剤の開発が重要な課題になっている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明者らは、従来のレ
ジスト洗浄剤が有する欠点を解消し前記の好ましい性質
を有するレジスト洗浄剤組成物を開発すべく鋭意研究を
重ねた結果、α−ヒドロキシイソ酪酸エステルと臭化ア
ルキル類とからなる組成物が優れた洗浄能力を持つこと
を見いだし、本発明に到達した。即ち、本発明はα−ヒ
ドロキシイソ酪酸エステルと臭化アルキル類とからなる
レジスト洗浄剤組成物に関する。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明で使用されるα−ヒドロキ
シイソ酪酸エステルとしては、α−ヒドロキシイソ酪酸
メチル、α−ヒドロキシイソ酪酸エチル及びα−ヒドロ
キシイソ酪酸イソプロピルが例示され、このうちの１種
類をあるいは２種類以上を混合物として使用する。

【０００７】本発明で使用する臭素化アルキル類として
は、１，４−ジブロモブタン、１，３−ジブロモプロパ
ン、２，３−ジブロモー１−プロパノール、臭化ｎ−プ
ロピル、臭化ブチル、臭化オクチルが例示され、このう
ちの１種類をあるいは２種類以上を混合物として使用す
る。

【０００８】本発明の組成物のα−ヒドロキシイソ酪酸
エステルと臭化アルキル類との重量比は９：１〜４：６
が好ましい。本発明の組成物の粘度は０．５〜２．５ｍ
Ｐａ・ ｓの範囲であることが好ましい。また本発明の組
成物の揮発性に関しては、酢酸ブチルの蒸発速度を１０
０とした場合、本発明の組成物の相対蒸発速度（比揮発
度）は１００〜３００であることが好ましい。

【０００９】本発明の組成物は水を６０重量％まで含む
ことができ、また場合によっては界面活性剤や、酸化防
止剤、着色剤及びその他添加剤を併用することができ
る。次に、本発明のレジスト洗浄剤組成物の洗浄効果に
ついて代表的な実施例をもって示すが、本発明はこれら
だけに限定されるものではい。

【００１０】

【実施例】実施例１〜８及び比較例１〜８洗浄試験各種
洗浄剤を用いて洗浄試験を行った。洗浄試験には汎用レ
ジストと同様の組成を持つＵＶ硬化型樹脂を用いて行っ
た。具体的にはエポキシアクリレート樹脂〔（大日本イ
ンキ工業製 、ユニディックＶ−５５０２）、表中
「Ｅ」と表現している〕、およびウレタンアクリレート
樹脂〔（三井化学製、オレスターＲＡ−１４５８）、表
中「Ｕ」と表現している〕を使用した。これら樹脂を酢
酸エチルにて４０％ＮＶＭになるように溶解させ、試験
用樹脂用液とした。この樹脂用液を鋼板（パルテックス
社製、ＰＢ−３１１８）にバーコーダ（Ｎｏ．２０、厚
さ２５μｍ）で塗布し、室温にて１時間風乾して試験片
とした。この試験片を各種洗浄剤溶液に１分から５分間
浸漬し、目視にてその洗浄状態を確認した。結果を表１
から表３にまとめた。

【００１１】なお、判定は以下の基準に従った。評価判
定； 溶液粘度：２５℃でのＢ型粘度計による測定結果 （○）０．５〜２．５mPa⁴s （△）０．４９mPa⁴s 以下、２．６〜５．０mPa⁴s 以上 （×）５．１mPa⁴s 以上 比揮発度：酢酸ブチルの蒸発速度を１００としたときの
相対蒸発速度 （○）１００〜３００ （△）５０〜９９、３０１以上、 （×）４９以下

【００１２】 表１ 実施例 １ ２ ３ ４ ５ ６ ７ ８ 洗浄剤(Wt%) ＨＢＭ 70 70 60 60 60 60 50 50 臭化プロピル 30 30 40 40 0 0 50 50 臭化イソプロピル 0 0 0 0 40 40 0 0 ＵＶ硬化樹脂 Ｅ Ｕ Ｅ Ｕ Ｅ Ｕ Ｅ Ｕ 洗浄性 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 洗浄液粘度 2.11 2.11 1.87 1.87 1.8 1.8 1.63 1.63 (mPa・s/25℃) ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 比揮発度 203 203 278 278 280 280 338 338 ○ ○ ○ ○ ○ ○ △ △ 臭気 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 毒性 ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ ○ 総合判定 ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ◎ ○ ○ Ｅ：エポキシアクリレート樹脂（大日本インキ工業、ユニデックＶ−５５０２） Ｕ：ウレタンアクリレート樹脂（三井化学、オイレスターＲＡ−１４５８） ＨＢＭ：α−ヒドロキシイソ酪酸メチル

【００１３】 表２ 比較例 １ ２ ３ ４ ５ ６ 洗浄剤 ＰＥ ＰＥ ＢＣ ＢＣ ＮＭＰ ＮＭＰ ＵＶ硬化樹脂 Ｅ Ｕ Ｅ Ｕ Ｅ Ｕ 洗浄性 × × ○ ○ ○ ○ 洗浄液粘度 0.88 0.88 3.2 3.2 1.65 1.65 (mPa・s/25℃) ○ ○ △ △ ○ ○ 比揮発度 100 100 9 9 <1 <1 ○ ○ × × × × 臭気 △ △ △ △ △ △ 毒性 ○ ○ × × ○ ○ 総合判定 × × × × × × Ｅ：エポキシアクリレート樹脂（大日本インキ工業、ユニデックＶ−５５０２） Ｕ：ウレタンアクリレート樹脂（三井化学、オイレスターＲＡ−１４５８） ＰＥ：パークロロエチレン ＢＣ：ブチルセロソルブ

【００１４】 表３ 比較例 ７ ８ ９ １０ 洗浄剤 ＨＢＭ ＨＢＭ 乳酸エチル 乳酸エチル ＵＶ硬化樹脂 Ｅ Ｕ Ｅ Ｕ 洗浄性 ○ ○ ○ ○ 洗浄液粘度 2.82 2.82 2.71 2.71 (mPa・s/25℃) △ △ △ △ 比揮発度 37 37 22 22 × × × × 臭気 ○ ○ △ △ 毒性 ○ ○ ○ ○ 総合判定 × × × × Ｅ：エポキシアクリレート樹脂（大日本インキ工業、ユニデックＶ−５５０２） Ｕ：ウレタンアクリレート樹脂（三井化学、オイレスターＲＡ−１４５８） ＨＢＭ：α−ヒドロキシイソ酪酸メチル

【００１５】

【発明の効果】本発明のレジスト洗浄剤は人体に対する
毒性や安全性に問題がなく、環境にも害がなく、レジス
ト洗浄剤として好適な粘度と揮発性を有し、しかもレジ
ストに対して高い溶解力を有する。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/304 ６４７ Ｈ０１Ｌ 21/30 ５７２Ｂ Ｆターム(参考） 2H096 AA25 AA26 AA27 AA28 LA03 LA16 4H003 DA05 DA09 DA12 DA14 DA15 DA16 ED27 ED28 FA01 FA03 FA30 5F046 MA02

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 α−ヒドロキシイソ酪酸エステルと臭化
   アルキル類とからなることを特徴とするレジスト洗浄剤
   組成物。
2. 【請求項２】 α−ヒドロキシイソ酪酸エステルがα−
   ヒドロキシイソ酪酸メチル、α−ヒドロキシイソ酪酸エ
   チル、α−ヒドロキシイソ酪酸イソプロピル又はα−ヒ
   ドロキシイソ酪酸ブチルである請求項１記載のレジスト
   洗浄剤組成物。
3. 【請求項３】 臭化アルキル類が１，４−ジブロモブタ
   ン、１，３−ジブロモプロパン、２，３−ジブロモ−１
   −プロパノール、臭化ｎ−プロピル、臭化ブチル又は臭
   化オクチルである請求項１記載のレジスト洗浄剤組成
   物。
4. 【請求項４】 α−ヒドロキシイソ酪酸エステルと臭化
   アルキル類との重量比が９：１〜４：６である請求項１
   記載のレジスト洗浄剤組成物。
5. 【請求項５】 洗浄剤組成物の粘度が０．５〜２．５ｍ
   Ｐａ・ ｓである請求項１記載のレジスト洗浄剤組成物。
6. 【請求項６】 酢酸ブチルの蒸発速度を１００とした
   時、洗浄剤組成物の相対蒸発速度（比揮発度）が１００
   〜３００である請求項１記載のレジスト洗浄剤組成物。