JP2002031710A

JP2002031710A - カラーフィルタの製造方法

Info

Publication number: JP2002031710A
Application number: JP2000216520A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Iwasaki; 政幸岩崎
Original assignee: Fuji Photo Film Co Ltd
Current assignee: Fujifilm Holdings Corp
Priority date: 2000-07-17
Filing date: 2000-07-17
Publication date: 2002-01-31

Abstract

(57)【要約】【課題】ＲＧＢ画素からなる多色画像上に遮光性感光
性組成物による残膜発生を防止し、遮光性画像形成工程
後において、加熱処理を必要とせず、色純度、光透過性
及び平坦性に優れ、耐熱性及び耐薬品性を有するカラー
フィルタの製造方法を提供する。【解決手段】（１）着色感光性組成物を含有する赤、
緑及び青色の各画素を透明基板１０の上に設けて多色画
像を形成する工程、（２）多色画像形成面に遮光性感光
性組成物を含む層１２を設ける工程、（３）透明基板１
０を通して露光し、多色画像における非画素部の遮光性
感光性組成物を硬化させる工程、（４）現像処理により
非画素部に遮光性画像１４を形成する工程、を含むカラ
ーフィルタの製造方法において、（１）多色画像形成工
程の後に電子線照射を行うカラーフィルタの製造方法で
ある。（１）と（２）の工程の間に電子線照射を行う態
様、及び（４）の工程の後に電子線照射を行う態様が好
ましい。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】カラー液晶ディスプレイやプ
ラズマアドレッシング方式の液晶ディスプレイに用いら
れるカラーフィルタの製造方法に関し、さらに詳しく
は、色純度、光透過性及び平坦性に優れ、多色画像上の
遮光性感光性組成物による残膜のないカラーフィルタの
製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】フルカラーの液晶ディスプレイやプラズ
マアドレッシング方式の液晶ディスプレイ等で使用され
るカラーフィルタは、通常、光モレを防止し、コントラ
ストを向上させる目的で赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）
の各画素の間、即ち、透明基板上の非画素部に遮光性画
像（以下、「ブラックマトリックス」と称することがあ
る。）を設けている。この遮光性画像は、クロム等の金
属膜や感光性樹脂に黒色着色剤等を分散させた遮光性感
光性組成物等を用いて形成する。しかし、クロム等の金
属膜を用いる場合、工程が非常に複雑で歩留りも悪く、
コスト的に問題がある。

【０００３】そこで、感光性樹脂とカーボン等を組合わ
せた遮光性感光性組成物を用いて遮光性画像を形成する
方法が知られている。この場合、遮光性を得るため膜厚
が数μｍ必要となる一方、アライメント誤差等の問題か
ら、遮光性画像とＲ、Ｇ、Ｂ画素による多色画像とは、
ある程度の重なりを持たせる必要があり、カラーフィル
タの表面に凹凸が生じるという問題がある。従って、良
好な平坦性を得るためこれまではその上に平坦化層を設
けたり、表面研磨を行っていた。

【０００４】上記平坦性を上げる目的で、特開平３−２
０９２０３号公報及び特開平４−６９６０２号公報に
は、Ｒ、Ｇ、Ｂ画素による多色画像が形成された基板上
に、黒色感光性樹脂層を溶液塗布法や転写（ラミネーシ
ョン）法等で設けた後、透明基板を通して裏面から全面
均一露光を行い、Ｒ、Ｇ、Ｂ画素自体を露光マスクとし
て、これらの画素の間隙に遮光性画像を形成する、いわ
ゆるセルフアライメント方式による画像形成方法（以
下、「裏露光法」と称することがある。）が開示されて
いる。この方法においては、通常用いられるＲ、Ｇ、Ｂ
画素用の着色剤（顔料等）は、遮光性感光性組成物を硬
化させる紫外線領域の透過率が大きいため、Ｒ、Ｇ、Ｂ
画素による多色画像上にある遮光性感光性組成物が、一
部硬化して画素上に残留するという問題がある。

【０００５】この問題点を解決するため、ＲＧＢ画素形
成用感光性層には、通常、特開平７−２２５３１３号公
報に記載された紫外線吸収剤や、特開平９−２５３６０
号公報に記載された紫外線吸収剤前駆体等を含有する着
色感光性組成物が用いられている。紫外線吸収剤前駆体
の場合は、多色画像形成工程では紫外線吸収性がない
が、その後の加熱（ベーク）工程で紫外線吸収性の物質
に変化し、紫外線吸収能を高めている。

【０００６】しかし、これら紫外線吸収剤や紫外線吸収
前駆体の添加を行っても、遮光性感光性組成物による残
膜の発生は完全に除去できないという問題がある。特
に、転写法においては、ＲＧＢ画素による多色画像形成
後に黒色感光性層（遮光性感光性層）をＲＧＢ画素上に
転写してから裏露光を行うが、現像後において、多色画
像上にに黒色の現像不良（黒残膜）が発生するという問
題がある。

【０００７】さらに、カラーフィルタの製造において
は、裏露光法による遮光性画像形成工程の後で、最終的
に画素の硬度及び耐熱性を向上させるため、ポスト露光
又はポストベークによる硬膜工程を施す。紫外線露光に
より硬膜を行う方法は、着色顔料及び紫外線吸収剤等の
存在が原因となり、長時間の紫外線照射が必要となるの
であまり有効ではない。そこで、一般には、２００℃以
上の高温下、オーブン中で熱処理する方法が行われる。
しかしこの熱処理による方法は、カラーフィルタの色純
度及び光透過性を劣化させ、また、近年の液晶ディスプ
レイの大型化に伴い、高価で、かつ広い設置面積を必要
とする大型オーブンが必要となり不利という問題があ
る。

【０００８】また、近年、液晶ディスプレイの携帯性改
良のため、カラーフィルタ用透明基板として、ガラス製
基板に代わり、軽量化されたプラスティック製基板が用
いられるようになってきた。しかし、プラスティック製
基板上にカラーフィルタを形成する場合には、プラステ
ィック製基板の耐熱性が不十分であるため、２００℃以
上の高温下で熱処理を行うことができないという問題が
ある。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来に
おける諸問題を解決し、以下の目的を達成することを課
題とする。即ち、本発明は、Ｒ，Ｇ，Ｂ画素からなる多
色画像上に遮光性感光性組成物による残膜の発生を防止
することができ、遮光性画像形成工程後において、高温
で長時間にわたる加熱処理を必要とせず、色純度、光透
過性及び平坦性に優れ、耐熱性及び耐薬品性を有するカ
ラーフィルタを、高速かつ安価に製造する方法を提供す
ることを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】前記課題を解決するため
の手段は以下の通りである。即ち、＜１＞着色感光性組成物を含有する赤、緑及び青色の
各画素を透明基板上に設けて露光及び現像により多色画
像を形成する工程、該多色画像を形成した面に遮光性感
光性組成物を含む層を設ける工程、該透明基板を通して
露光することにより該多色画像における非画素部の遮光
性感光性組成物を硬化させる工程、現像処理により該非
画素部に遮光性画像を形成する工程、を含むカラーフィ
ルタの製造方法において、該多色画像を形成する工程の
後に、少なくとも電子線照射を行うことを特徴とするカ
ラーフィルタの製造方法である。

【００１１】＜２＞多色画像を形成する工程と該多色
画像を形成した面に遮光性感光性組成物を含む層を設け
る工程との間において、少なくとも電子線照射を行う前
記＜１＞に記載のカラーフィルタの製造方法である。＜３＞遮光性画像を形成する工程の後において、少な
くとも電子線照射を行う前記＜１＞又は＜２＞に記載の
カラーフィルタの製造方法である。＜４＞電子線照射量が１〜５０Ｍｒａｄである前記＜
１＞から＜３＞のいずれかに記載のカラーフィルタの製
造方法である。＜５＞少なくとも光重合開始剤、多官能性モノマー、
バインダー、顔料並びに紫外線吸収剤及び／又は紫外線
吸収剤前駆体を含有する着色感光性組成物を用いる前記
＜１＞から＜４＞のいずれかに記載のカラーフィルタの
製造方法である。

【００１２】

【発明の実施の形態】（カラーフィルタの製造方法）＜電子線照射＞本発明のカラーフィルタの製造方法及び
電子線照射について、図１及び図２を用いて、以下説明
する。図１は、本発明のカラーフィルタの製造方法にお
ける好ましい一実施の形態を表しており、（１）多色画
像を形成する工程と（２）多色画像を形成した面に遮光
性感光性組成物を含む層を設ける工程との間（１）’に
おいて、電子線照射を行うカラーフィルタの製造方法の
工程図である。また、図２は、本発明のカラーフィルタ
の製造方法における好ましい他の実施の形態を表してお
り、（４）遮光性画像を形成する工程の後（４）’にお
いて、電子線照射を行うカラーフィルタの製造方法の工
程図である。図１及び図２において、１０は透明基板、
１２は遮光性感光性組成物を含む層、１４は遮光性画像
（ブラックマトリックス）を表す。

【００１３】本発明のカラーフィルタの製造方法は、少
なくとも下記の工程を含む。即ち、図１及び図２で示す
ように、（１）着色感光性組成物を含有する赤、緑及び
青色の各画素を透明基板上に設けて露光及び現像により
多色画像を形成する工程（以下、「（１）の工程」と称
する場合がある。）、（２）該多色画像を形成した面に
遮光性感光性組成物を含む層を設ける工程（以下、
「（２）の工程」と称する場合がある。）、（３）該透
明基板を通して露光することにより該多色画像における
非画素部の遮光性感光性組成物を硬化させる工程（以
下、「（３）の工程」と称する場合がある。）、（４）
現像処理により該非画素部に遮光性画像を形成する工程
（以下、「（４）の工程」と称する場合がある。）、を
含む。そして、本発明においては、（１）の多色画像を
形成する工程以降において、電子線照射を行うことが好
ましく、（１）多色画像を形成する工程と（２）該多色
画像を形成した面に遮光性感光性組成物を含む層を設け
る工程との間、即ち、図１の（１）’の工程において、
電子線照射を行うことがより好ましい。

【００１４】また、一般に、カラーフィルタの製造方法
においては、（４）現像処理により非画素部に遮光性画
像を形成する工程の後に、Ｒ，Ｇ，Ｂ各画素による多色
画像及び遮光性画像の硬度を高め、耐熱性及び耐薬品性
等を向上させるために、硬膜工程を含む。硬膜工程は、
Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素による多色画像及び遮光性画像に残
存する未反応モノマーの重合反応を進行させ、硬度を高
めることにより各種耐性を向上させることを目的として
行われる。硬膜工程としては、従来から紫外線露光（ポ
スト露光）により行う方法があるが、長時間かけて大量
の紫外線を照射する必要があり有効ではない。また、２
００℃以上の高温にて、オーブン中で熱処理（ポストベ
ーク）する方法もあるが、高温によりカラーフィルタの
色純度及び光透過性等が劣化し、また最近の液晶ディス
プレイの大型化に伴い、装置も大型化し高価であるため
好ましくない。従って、本発明のカラーフィルタの製造
方法においては、（４）現像処理により該非画素部に遮
光性画像を形成する工程の後、即ち、図２の（４）’の
工程において、電子線を照射することによりＲ，Ｇ，Ｂ
各画素及び遮光性画像を、硬膜化することがより好まし
い。また、前記（１）の工程と前記（２）の工程との
間、即ち、図１の（１）’の工程において電子線照射処
理を行い、さらに前記（４）の工程の後、即ち、図２の
（４）’の工程において電子線照射処理を行うことは、
特に好ましい。

【００１５】本発明に用いられる電子線照射装置として
は、エレクトロカーテン型、走査型、プラズマ放電型等
が好適に挙げられ、いずれも使用可能であるが、コンパ
クトな設備を使用する場合には、エレクトロカーテン型
が好ましい。本発明においては、アイ・エレクトロンビ
ーム社製電子線照射装置（ＣＢ／２５０／１５／１ｄ）
を用いた。

【００１６】本発明において、電子線照射装置の加速電
圧としては、２００ｋＶ以上では、基板の損傷が大き
く、また、８０ｋＶより低いと電子線照射装置の照射窓
に電子が蓄積し易く、電子線照射装置の冷却の観点から
好ましくない。従って、８０ｋＶ〜２００ｋＶが好まし
く、９０〜１８０ｋＶがより好ましく、１００〜１５０
ｋＶが特に好ましい。

【００１７】本発明において、電子照射装置による電子
線照射量としては、１Ｍｒａｄより少ないと硬膜反応が
不十分であり、また５０Ｍｒａｄより大きいと基板の着
色が起こりカラーフィルタとしての色特性が劣化し問題
となる。従って、１〜５０Ｍｒａｄが好ましく、５〜４
０Ｍｒａｄがより好ましく、１５〜３０Ｍｒａｄが特に
好ましい。

【００１８】また、本発明において、電子線照射雰囲気
としては窒素中が好ましく、酸素濃度が３００ｐｐｍ以
下であることがより好ましい。これは、酸素が存在する
と、ラジカル重合反応を阻害するためである。

【００１９】前記（１）の工程と（２）の工程との間、
即ち、（１）’の工程において行う電子線照射の時間と
しては、１秒〜３０分が好ましく、１０秒〜２０分がよ
り好ましく、３０秒〜５分が特に好ましい。また、
（１）’の工程において、電子線照射の温度としては、
０〜１００℃が好ましく、１０〜８０℃がより好まし
く、室温〜５０℃が特に好ましい。

【００２０】（４）の工程の後、即ち（４）’の工程で
行う電子線照射の時間としては、１秒〜３０分が好まし
く、１０秒〜２０分がより好ましく、３０秒〜５分が特
に好ましい。また、電子線照射の際の温度としては、０
〜１００℃が好ましく、１０〜８０℃がより好ましく、
室温〜５０℃が特に好ましい。これにより、前記従来の
オーブン中での熱処理が、２００℃にて２０分以上の時
間を要したのと比較して、大幅に工程時間を短縮し、熱
による画素の色劣化等を防止し、遮光性着色組成物によ
る残膜も防止することが可能となる。また、電子線照射
装置の設置面積も狭くてすみ、製造ラインがコンパクト
に、かつ比較的安価に実現できる。さらに、高温での熱
処理を必要としないため、カラーフィルタの透明基板と
して、ガラス基板だけでなく、プラスチック基板も使用
することが可能となる。

【００２１】次に、本発明のカラーフィルタの製造方法
における工程（１）〜（４）について説明する。＜（１）の工程−多色画像形成工程−＞本発明のカラー
フィルタの製造方法に含まれる（１）の工程とは、着色
感光性組成物を含有する赤、緑及び青色の各画素を透明
基板上に設けて、露光及び現像により多色画像を形成す
る工程である。前記着色感光性組成物は、少なくとも光
重合開始剤、多官能性モノマー、バインダー、顔料並び
に紫外線吸収剤及び／又は紫外線吸収剤前駆体を含有す
る。以下、前記着色感光性組成物について説明する。

【００２２】−着色感光性組成物− 前記着色感光性組成物に含有される光重合開始剤として
は、約３００〜５００ｎｍの範囲に少なくとも約５０の
分子吸光係数を有する成分を少なくとも１種含有してい
ることが好ましい。例えば、特開平２−４８６６４号、
特開平１−１５２４４９号、特開平２−１５３３５３号
の各公報に記載されているような芳香族ケトン類、ロフ
ィン２量体、ベンゾイン、ベンゾインエーテル類、ポリ
ハロゲン類、及びこれらの２種以上の組み合わせ、など
がある。好ましくは、４，４’−ビス（ジエチルアミ
ノ）ベンゾフェノンと２−（ｏ−クロロフェニル）−
４，５−ジフェニルイミダゾール２量体の組み合わせ、
４−［ｐ−Ｎ，Ｎ−ジ（エトキシカルボニルメチル）−
２，６−ジ（トリクロロメチル）−ｓ−トリアジン］で
ある。光重合開始剤の含有量は、着色感光性組成物の全
固形分に対し、０．２〜１０重量％が好ましい。

【００２３】前記着色感光性組成物に含有される多官能
性モノマーとしては、多官能性アクリレートモノマー等
が好ましく、例えば、特開昭６０−２５８５３９号公報
に記載されている（メタ）アクリル酸エステル、ウレタ
ン（メタ）アクリレート、（メタ）アクリル酸アミド、
アリル化合物、ビニルエステル等が好適に挙げられる。
その中でも、（メタ）アクリル酸エステルがより好まし
い。多官能性モノマーの量としては、着色感光性組成物
の全固形分に対し、１０〜６０重量％が好ましい。

【００２４】前記バインダーとしては、顔料分散性が良
く、また、多官能性モノマー、光重合開始剤との相溶性
が良く、アルカリ現像液溶解性、塗布液調製時の有機溶
剤溶解性、強度、軟化温度等が適当であるものが好まし
い。例えば、（メタ）アクリル酸と（メタ）アクリル酸
エステルとの共重合体、スチレン／無水マレイン酸共重
合体、及び該共重合体とアルコール類との反応物等が好
適に挙げられる。その中でも、（メタ）アクリル酸と
（メタ）アクリル酸エステルとの共重合体等のアクリレ
ート系樹脂がより好ましい。分子量としては、５０００
〜２０００００が好ましい。バインダーの量としては、
全固形分の２０〜８０質量％が好ましい。

【００２５】前記着色感光性組成物に含有される顔料
は、感光性層中に均一に分散されており、５μｍ以下の
粒径のものが好ましく、粒径が１μｍ以下のものがより
好ましく、０．５μｍ以下の粒径のものが特に好まし
い。

【００２６】前記顔料の具体例としては、ビクトリア・
ピュアーブルーＢＯ（Ｃ．Ｉ．４２５９５）、オーラミ
ン（Ｃ．Ｉ．４１０００）、ファット・ブラックＨＢ
（Ｃ．Ｉ．２６１５０）、モノライト・エローＧＴ
（Ｃ．Ｉ．ピグメントエロー１２）、パーマネント・エ
ローＧＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー１７）、パーマ
ネント・エローＨＲ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・エロー８
３）、パーマネント・カーミンＦＢＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメ
ント・レッド１４６）、ホスターバームレッドＥＳＢ
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・バイオレット１９）、パーマネ
ント・ルビーＦＢＨ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・レッド１
１）ファステル・ピンクＢスプラ（Ｃ．Ｉ．ピグメント
・レッド８１）モナストラル・ファースト・ブルー
（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブルー１５）、モノライト・フ
ァースト・ブラックＢ（Ｃ．Ｉ．ピグメント・ブラック
１）及びカーボンが好適に挙げられる。

【００２７】さらに黄色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントイエロー20、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー24、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー83、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロ
ー86、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー93、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントイエロー109、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー110、
Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー117、Ｃ．Ｉ．ピグメント
イエロー125、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー137、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー138、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエ
ロー139、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー147、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントイエロー148、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー15
3、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー、Ｃ．Ｉ．ピグメント
イエロー154、Ｃ．Ｉ．ピグメントイエロー166、Ｃ．
Ｉ．ピグメントイエロー168等が好ましい。

【００２８】オレンジ顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トオレンジ36、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ43、Ｃ．
Ｉ．ピグメントオレンジ51、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレン
ジ55、Ｃ．Ｉ．ピグメントオレンジ59、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントオレンジ61等が好ましい。

【００２９】赤色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントレ
ッド9、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド97、Ｃ．Ｉ．ピグメ
ントレッド122、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド123、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド149、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド1
68、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド177、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トレッド180、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド192、Ｃ．Ｉ．
ピグメントレッド215、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド216、
Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド217、Ｃ．Ｉ．ピグメントレ
ッド220、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド223、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントレッド224、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド226、Ｃ．
Ｉ．ピグメントレッド227、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド2
28、Ｃ．Ｉ．ピグメントレッド240、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トレッド48:1等が好ましい。

【００３０】バイオレット顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントバイオレット19、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレッ
ト23、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット29、Ｃ．Ｉ．ピ
グメントバイオレット30、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレ
ット37、Ｃ．Ｉ．ピグメントバイオレット40、Ｃ．Ｉ．
ピグメントバイオレット50等が好ましい。

【００３１】青色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブ
ルー15、Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー15:6、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントフ゛ルー22、Ｃ．Ｉ．ピグメントフ゛ルー60、
Ｃ．Ｉ．ピグメントブルー64等が好ましい。緑色顔料と
しては、Ｃ．Ｉ．ピグメントグリーン7、Ｃ．Ｉ．ピグ
メントグリーン36等が好ましい。ブラウン顔料として
は、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン23、Ｃ．Ｉ．ピグメン
トブラウン25、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラウン26等が好ま
しい。黒色顔料としては、Ｃ．Ｉ．ピグメントブラック
7、等が好ましい。

【００３２】前記顔料は、単独で使用しても、混合して
使用してもよく、その量は着色感光性組成物の全固形分
において０〜７０％が好ましく、０〜５０％がより好ま
しい。

【００３３】前記着色感光性組成物に含有される紫外線
吸収剤としては、下記一般式（Ｉ）で表されるクマリン
系化合物を用いることが好ましい。下記一般式（Ｉ）で
表されるクマリン系化合物は、光吸収性が良好で、着色
感光性組成物の光重合を阻害することがない。

【００３４】

【化１】

【００３５】上記一般式（Ｉ）において、Ｒ₁は、少な
くとも１つのヒドロキシアルキル基で置換されたアミノ
基又は上記一般式（II）で表される基を表す。Ｒ₂は、
水素原子、アルキル基、アラルキル基、アリール基、ア
ルコキシ基、アラルキルオキシ基、アリールオキシ基、
ハロゲン原子、アミノ基又は前記Ｒ₁で表される置換基
を表す。Ｒ₂が、Ｒ₁で表される少なくとも１つのヒドロ
キシアルキル基で置換されたアミノ基である場合には、
Ｒ₁及びＲ₂は同一であっても、異なっていてもよい。Ｒ
₃は、置換基を有してもよいアルキレン基を表す。Ｒ
₄は、水素原子、アルキル基、アラルキル基、アリール
基、アルコキシアルキル基、アラルキルオキシアルキル
基、アリールオキシアルキル基又は、ＨＯ−Ｒ₃−で表
される基を表す。Ｒ₃及びＲ₄は、窒素原子を含んだ５員
又は６員のヘテロ環を形成していてもよい。

【００３６】前記紫外線吸収剤として、前記一般式
（Ｉ）で表されるクマリン系化合物の具体例は、特開平
７−２２５３１３号公報に記載されているが、本発明は
なんらこれらに限定されるものではない。

【００３７】前記着色感光性組成物に含有される紫外線
吸収剤前駆体とは、通常の状態では紫外線吸収能が比較
的低いが、過熱処理により紫外線吸収剤としての機能を
発揮し得る化合物のことをいい、下記一般式（III）で
表される化合物が好適に挙げられる。

【００３８】

【化２】

【００３９】上記一般式（III）において、Ａは、上記
一般式（IV）で表される基を表す。上記一般式（IV）に
おいて、Ｒ₁は、置換若しくは無置換のアルキルカルボ
ニル基、置換若しくは無置換のアラルキルカルボニル
基、置換若しくは無置換のアリールカルボニル基又は置
換若しくは無置換のアルコキシカルボニル基を表す。Ｒ
₂は、水素原子、置換若しくは無置換のアルキルカルボ
ニル基、置換若しくは無置換のアラルキルカルボニル
基、置換若しくは無置換のアリールカルボニル基又は置
換若しくは無置換のアルコキシカルボニル基を表す。Ｒ
₃は、水素原子又は低級アルキル基を表す。

【００４０】カルボニル基の炭素原子を除き、上記アル
キル基、アラルキル基、アリール基、アルコキシ基は炭
素数１〜１５が好ましく、１〜７がより好ましい。置換
基としてはハロゲン原子、ヒドロキシ基、低級アルキル
オキシ基アリールオキシ基が好ましい。

【００４１】上記一般式（III）で表される紫外線吸収
剤前駆体の具体例は、特開平０９−２５３６０号公報に
記載されているが、本発明は何らこれらに限定されるも
のではない。

【００４２】上記紫外線吸収剤前駆体の添加量として
は、着色感光性組成物の全固形分に対して、０．１〜３
０％が好ましく、０．１〜２５％がより好ましい。この
際、種類の異なる化合物を２種以上混合して使用しても
よい。

【００４３】前記着色感光性組成物には、その他の成分
として、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチ
レングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコ
ールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエ
チルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノエチルエーテル等のいわゆ
るセロソルブ類、およびこれらの酢酸エステル、酢酸エ
チル、酢酸ｎ−プロピル、酢酸ｉ−プロピル、酢酸ｎ−
ブチル、酢酸ｉ−ブチル等の酢酸エステル類、ベンゼ
ン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類、メチル
エチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シ
クロヘキサノンなどのケトン類、エタノール、プロパノ
ール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノー
ル、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリ
セリン等のアルコール類等の溶剤や、公知の分散助剤、
熱重合禁止剤等を添加することができる。

【００４４】−透明基板− 本発明のカラーフィルタの製造方法において、（１）の
工程では、前記着色感光性組成物を含有する画素を透明
基板上に設ける。該透明基板としては、ガラス基板、プ
ラスチック基板等が好ましく用いられる。また、液晶デ
ィスプレイの携帯性及び強度の観点から、プラスチック
製基板がより好ましく、例えば、ポリエステルフィル
ム、ポリアリレートフィルム、ポリカーボネートフィル
ム、ポリイミドフィルム、アクリレート樹脂フィルム、
ポリエステルサルフォンフィルム等で、膜厚が５０〜２
５０μｍのものが特に好ましい。

【００４５】−多色画像形成工程− 本発明のカラーフィルタの製造方法に含まれる（１）の
工程は、前記着色感光性組成物を含有する赤、緑及び青
色の各画素を透明基板上に設けて、露光及び現像により
多色画像を形成する工程である。即ち、（１）の工程
は、前記着色感光性組成物を透明基板上に設ける工程、
所望のフォトマスクを介して露光する工程、不要部を現
像除去し透明基板上に所望の画素を作成する工程、該基
板上の画素を加熱処理する工程を含み、色相の異なる顔
料ごとに、これらの工程を複数回繰り返すことにより、
多色画像を形成することができる。例えば、赤（Ｒ）、
緑（Ｇ）、青（Ｂ）の各画素からなる多色画像の場合
は、Ｒ，Ｇ，Ｂ画素それぞれについて前記工程を繰り返
すことにより画像形成が行われる。

【００４６】前記着色感光性組成物を透明基板上に設け
る方法としては、スピン塗布法、ロールコート法等によ
り塗布し、乾燥する方式、あらかじめ仮支持体に該感光
性樹脂組成物層を設けた層転写材料を用いる方式等が好
適に挙げられる。その中でも、工程の安定性、膜厚の均
一性等の観点から、層転写法が好ましい。具体的には、
特開平４−２０８９４０号公報に開示された、仮支持体
への接着力が小さい分離層及び感光性樹脂層を有する転
写材料、特開平５−１７３３２０号公報に開示された、
仮支持体上に熱可塑性樹脂層、中間層及び感光性樹脂層
を有し、該仮支持体と熱可塑性樹脂層の間の接着力が最
も小さい感光性転写材料、特開平５−７２７２４号公報
に開示された熱可塑性樹脂層、分離層及び感光性樹脂層
を有し、該熱可塑性樹脂層と分離層の間の接着力が最も
小さい転写材料、特開平５−８０５０３号公報に開示さ
れた仮支持体の上に熱可塑性樹脂層、中間層及び感光性
樹脂層を有し、該仮支持体と熱可塑性樹脂層の間の接着
力が最も小さい感光性転写材料等を用いることができ
る。

【００４７】透明基板上に所望の着色感光性組成物層を
設けた後、所定のフォトマスクを介してパターン露光を
行う。この場合に用いる露光光源は、超高圧水銀灯、キ
セノン灯等の公知の光源が用いられる。

【００４８】上記パターン露光の後、不要部を現像によ
り除去する。この場合に使用する現像液については、特
開平０９−２５３６０号公報に詳しく記載されている
が、アルカリ性物質の希薄水溶液、又は該水溶液に水と
混和性の有機溶剤を少量添加したものが好ましい。

【００４９】上記現像後、加熱処理により各画素を硬化
させるとともに、画素中に含まれる紫外線吸収剤前駆体
を分解し、紫外線吸収剤へと変化させる。熱処理は、コ
ンベクションオーブン、ホットプレート、赤外線ヒータ
ー等の公知の装置を用いて行われる。熱処理条件は、紫
外線吸収剤前駆体が紫外線吸収剤として十分に紫外線吸
収機能を発揮するように選択される。具体的には１２０
℃〜３００℃が好ましく、１３０℃〜２５０℃がより好
ましい。加熱時間としては、１分〜２００分が好まし
い。

【００５０】さらに、上記露光前における着色感光性組
成物層の３６５ｎｍの透過率と、上記加熱処理後におけ
る３６５ｎｍの透過率の比としては、１：０．９９〜
１：０．００００１が好ましく、１：０．５〜１：０．
００００１がより好ましく、１：０．１〜１：０．００
００１が特に好ましい。また、最終的に熱処理後の画素
の３６５ｎｍにおける透過率は、２％以下であることが
好ましい。２％を超えると裏露光方式におけるフォトマ
スクとしての機能が低下する場合がある。従って、前記
紫外線吸収剤及び前記紫外線吸収剤前駆体は、前記透過
率が２％以下となるよう添加することが好ましい。

【００５１】本発明における前記（１）’の工程での電
子線照射は、上記加熱処理が終了し、多色画像が形成さ
れた後に行われる。この電子線照射により、遮光性感光
性組成物が、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素上に一部残留すること
を防止できる。

【００５２】＜（２）の工程−遮光性感光性組成物を含
む層を設ける工程−＞本発明のカラーフィルタの製造方
法に含まれる（２）の工程は、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素から
なる多色画像を形成した面に遮光性感光性組成物を含む
層を設ける工程である。前記遮光性感光性組成物として
は、特開平０７−２８２３６号公報に記載された遮光性
感光性樹脂組成物が好ましく、該遮光性感光性樹脂組成
物に含有されるバインダー、光重合開始剤、付加重合性
モノマー、着色剤等については、該公報に詳しく記載が
ある。

【００５３】前記遮光性感光性組成物を、前記多色画像
を形成した面に設ける方法としては、公知の方法を用い
ることができる。例えば、スピナー、ホワイラー、ロー
ラーコーター、カーテンコーター、ナイフコーター、ワ
イヤーバーコーター、エクストルーダー等を用いて塗布
し、乾燥させ遮光性感光性樹脂層を多色画像を形成した
面に設けることができる。また、仮支持体上に遮光性感
光性組成物層を設けた遮光性感光性転写材料を用いて、
基板上に転写する方式が好適に挙げられる。具体的な転
写材料としては特開平４−２０８９４０、特開平５−７
２７２４、特開平５−８０５０３、特開平５−１７３３
２０に記載の転写材料が用いられる。

【００５４】前記遮光性感光性組成物により形成された
遮光膜の厚さは、１〜３μｍ以下が好ましい。１μｍ未
満では遮光膜中の顔料濃度が高くなり、現像性が悪化す
る。また、３μｍを越えると現像性悪化、画像形成再現
性悪化等の問題が発生する。この遮光膜の膜厚は上記の
範囲において、任意に設定可能である。特にカラーフィ
ルター製造時には、完成品カラーフィルターの平坦性が
良好であることが好ましいため、その他の着色層（赤、
青、緑の各画素等）と同じ膜厚に設定することが好まし
い。

【００５５】＜（３）の工程−裏露光工程−＞本発明の
カラーフィルタの製造方法に含まれる（２）の工程は、
透明基板を通して露光することにより、前記多色画像に
おける非画素部の遮光性感光性組成物を硬化させる工程
である。即ち、（３）の工程は、多色画像及び遮光性感
光性組成物を設けた面と異なる面の方向から透明基板を
通して露光（裏露光）を行い、多色画像における各画素
が存在しない部分にある遮光性感光性組成物を硬化させ
る工程である。従って、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素上に存在す
る遮光性感光性組成物は、該画素がフォトマスクの機能
を果たすため、露光の際に実質的には硬化せず、引き続
く現像処理により除去することが可能となる。

【００５６】前記裏露光において用いる光源は、遮光性
感光性組成物の感光性に応じて選択される。例えば、超
高圧水銀灯、キセノン灯、カーボンアーク灯、アルゴン
レーザー等の公知の物が好適に挙げられる。また、特願
平４−１５０６９１号公報記載のように、４００ｎｍ以
上の波長の光透過率が２％以下である光学フィルター等
を併用してもよい。

【００５７】＜（４）の工程−現像工程−＞本発明のカ
ラーフィルタの製造方法において、（４）の工程は、現
像処理により非画素部に遮光性画像を形成する工程であ
る。前記露光工程を経た後、露光により硬化していない
不要部、即ち、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素上にある遮光性感光
性組成物を現像により除去する工程である。（４）の工
程で用いる現像液としては、（１）の工程において、
Ｒ，Ｇ，Ｂ画素による多色画像形成の際と同様のものが
好適に挙げられる。特に、アルカリ性物質の希薄水溶
液、又は該水溶液に水と混和性の有機溶剤を少量添加し
たものが好ましい。

【００５８】（４）の工程により、遮光性画像が形成さ
れた後、図２の（４）’で示したように、前述の電子線
照射により硬膜することが好ましい。紫外線露光（ポス
ト露光）により行う方法や、熱処理（ポストベーク）す
る方法による硬膜と比較して、色純度及び光透過性によ
る劣化もなく、また高速で安価に硬膜化することが可能
となる。

【００５９】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
るが、本発明は、なんらこれらに限定されるものではな
い。

【００６０】（実施例１）＜遮光性感光性転写材料の作成＞厚さ１００μｍのポリ
エチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、下記
表１に示した熱可塑性樹脂層処方Ｈ１からなる塗布液を
塗布・乾燥させ、乾燥膜厚が２０μｍの熱可塑性樹脂層
を設けた。

【００６１】

【表１】

【００６２】次に、前記熱可塑性樹脂層上に、下記表２
で示した中間層処方Ｂ１から成る塗布液を塗布・乾燥さ
せ、乾燥膜厚が１．６μｍ厚の分離性を有する中間層を
設けた。

【００６３】

【表２】

【００６４】前記熱可塑性樹脂層及び中間層を有する仮
支持体の上に、下記表３で示した遮光性感光性樹脂層処
方Ｋ１からなる塗布液を塗布・乾燥させ、乾燥膜厚が２
μｍの遮光性感光性樹脂層を形成した。

【００６５】

【表３】

【００６６】さらに、上記遮光性感光性樹脂層の上にポ
リプロピレン（厚さ１２μｍ）の被覆シートを圧着し、
遮光性感光性転写材料を作成した。この遮光性感光性樹
脂層の感光波長は３５０〜４２０ｎｍであり、光源に超
高圧水銀灯を用いた場合の主感光波長は、３６５ｎｍ
（ｉ線）と４０５ｎｍ（ｈ線）であった。また、ＯＤ
（光学濃度）は２．０であった（マクベス濃度計を用い
て測定した）。

【００６７】＜着色感光性転写材料の作成＞また、下記
表４に示した組成で、赤（Ｒ１）、緑（Ｇ１）、青（Ｂ
１）の各色について着色感光層用塗布液を作成した。こ
こで用いた化合物１（紫外線吸収剤）の構造式を以下に
示す。

【００６８】

【表４】

【００６９】

【化３】

【００７０】前記遮光性感光性転写材料と同様の、熱可
塑性樹脂及び中間層を有する仮支持体の上に、上記着色
感光層用塗布液を塗布・乾燥させ、乾燥膜厚が２μｍの
感光性樹脂層を形成した。さらに、感光性樹脂層の上に
ポリプロピレン（厚さ１２μｍ）の被膜シートを圧着
し、Ｒ１，Ｇ１，Ｂ１それぞれについて、着色感光性転
写材料を作成した。

【００７１】＜カラーフィルタの製造＞まず、Ｒ１の感
光性転写材料の被覆シートを剥離し、１．１ｍ厚さのガ
ラス基板と該感光性樹脂層面をラミネーター（大成ラミ
ネータ（株）製ＶＰ−ＩＩ）を用いて加圧（０．８ｋｇ
／ｃｍ²）及び加熱（１３０℃）して貼り合わせ、続い
て仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持
体を除去した。その後、所定のフォトマスクを介して超
高圧水銀灯を用い、２０ｍＪ／ｃｍ²で露光した。その
後、アルカリ現像液（ＣＤ：フジハントエレクトロニク
ステクノロジー（株）社製）の重量比１：１０の水希
釈液で現像し、非硬化部を除去し、Ｒ画素を作成した。
引き続き、この基板上に同様にして、Ｇ１及びＢ１の感
熱転写材料を転写し、Ｇ，Ｂの各画素を形成した。この
ようにして、基板上にＲ、Ｇ、Ｂ画素から成る多色画像
を形成した。

【００７２】上記多色画像を形成した基板に、アイ・エ
レクトロンビーム社製電子線照射装置（ＣＢ２５０／１
５／１８０Ｌ）を用い、加速電圧２００ｋＶで７．５Ｍ
ｒａｄの照射量にて電子線照射を行った。このときガラ
ス基板に変化はなかった。

【００７３】次に、遮光性感光性転写材料の被覆シート
を剥離し、Ｒ、Ｇ、Ｂ画素からなる多色画像の形成され
ている面に、遮光性感光性樹脂層面をラミネータ（大成
ラミネータ（株）製ＶＰ−ＩＩ）を用いて加圧（０．８
ｋｇ／ｃｍ²）、加熱（１３０℃）して貼り合わせ、続
いて仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支
持体を除去した。

【００７４】さらに、ガラス基板を通して、超高圧水銀
灯を用いて全面露光（裏露光）を行った。露光量は、１
００ｍＪ／ｃｍ²であった。その後、１％炭酸ナトリウ
ム水溶液で現像して非硬化部を除去し、Ｒ、Ｇ、Ｂ各画
素の間隙に遮光性画像を形成した。さらに、得られたカ
ラーフィルタに対して、電子線を２００ｋＶにて７．５
ＭＲａｄの照射量で照射し硬膜化を行った。

【００７５】得られたカラーフィルタは、遮光性画像と
Ｒ，Ｇ，Ｂ画素からなる多色画像との重なりがなく、平
坦性は良好であった。また、Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素の上に
は、実質的に遮光性感光性樹脂層による残膜は発生しな
かった。

【００７６】（実施例２）多色画像形成後の電子線照
射、ならびに遮光性画像形成後の電子線照射における電
子線照射量を、１５ＭＲａｄとした以外は、実施例１と
同様にしてカラーフィルタを製造した。得られたカラー
フィルタは、遮光性画像とＲ，Ｇ，Ｂ画素からなる多色
画像との重なりがなく、平坦性は良好であった。また、
Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素の上には、実質的に遮光性感光性樹
脂層による残膜もなかった。

【００７７】（実施例３）多色画像形成後の電子線照
射、ならびに遮光性画像形成後の電子線照射における電
子線照射量を、３０ＭＲａｄとした以外は、実施例１と
同様にしてカラーフィルタを製造した。結果は実施例１
及び２と同様であった。

【００７８】（実施例４）多色画像形成後の電子線照
射、ならびに遮光性画像形成後の電子線照射における電
子線照射量を、５０ＭＲａｄとした以外は、実施例１と
同様にしてカラーフィルタを製造した。結果は実施例１
から３と同様であった。

【００７９】（実施例５）多色画像形成後の電子線照
射、ならびに遮光性画像形成後の電子線照射における電
子線照射量を、６０ＭＲａｄとした以外は、実施例１と
同様にしてカラーフィルタを製造した。多色画像を形成
した基板上に電子線照射したところ、ガラス基板が着色
してしまった。

【００８０】（実施例６）多色画像形成後の電子線照
射、ならびに遮光性画像形成後の電子線照射における電
子線照射量を、１２０ＭＲａｄとした以外は、実施例１
と同様にしてカラーフィルタを製造した。多色画像を形
成した基板上に電子線照射したところ、ガラス基板が強
く着色してしまった。

【００８１】（比較例１）多色画像形成後及び遮光性画
像形成後、ともに電子線を照射しないこと以外は、実施
例１と同様にして、カラーフィルタを製造した。得られ
たカラーフィルタのＲ，Ｇ，Ｂの各画素上には、遮光性
感光性組成物による残膜が発生していた。

【００８２】（実施例７）＜着色感光性転写材料及び遮光性感光性転写材料の作成
＞下記表５に示した組成で、赤（Ｒ２）、緑（Ｇ２）、
青（Ｂ２）の各色について着色感光層用塗布液を作成し
た。また、下記表６に示した組成で、黒（Ｋ２）につい
て遮光性感光性樹脂層用塗布液を作成した。ここで用い
た化合物２（紫外線吸収剤前駆体）の構造式を以下に示
す。

【００８３】

【表５】

【００８４】

【表６】

【００８５】

【化４】

【００８６】実施例１で作成したものと同様の熱可塑性
樹脂層及び中間層を有する仮支持体の上に、上記Ｒ２着
色感光層用塗布液を塗布・乾燥させ、２μｍの乾燥膜厚
を有するＲ２の感光性樹脂層を形成した。得られたＲ２
感光性樹脂層の３６５ｎｍの透過率は８％であった。さ
らに、Ｒ２感光性樹脂層の上にポリプロピレン（厚さ１
２μｍ）の被覆シートを圧着し、Ｒ２感光性転写材料を
作成した。また、Ｇ２，Ｂ２についても、同様にして感
光性転写材料を作成し、Ｂ２についても、同様にして遮
光性感光性転写材料を作成した。

【００８７】＜カラーフィルタの製造＞化合物２を含む
Ｒ２感光性転写材料を用い、その被覆シートを剥離し、
厚さ１．１ｍのガラス基板と該感光性樹脂層面とを、ラ
ミネータ（大成ラミネータ（株）製ＶＰ−ＩＩ）を用い
て加圧（０．８ｋｇ／ｃｍ²）、加熱（１３０℃）して
貼り合わせ、続いて仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面
で剥離し、仮支持体を除去した。その後、所定のフォト
マスクを介して超高圧水銀灯を用い、２０ｍＪ／ｃｍ²
で露光した。露光後、アルカリ現像液（ＣＤ：フジハン
トエレクトロニクステクノロジー（株）社製）の重量
比１：１０の水希釈液で現像し、非硬化部を除去し、Ｒ
画素を作成した。続いて、２２０℃で５分間熱処理を行
い、この画素に含有される紫外線吸収剤前駆体を紫外線
吸収剤に変換した。以下同様にして、Ｇ２、Ｂ２の各色
感光性転写材料を用いて、Ｇ，Ｂ画素を基板上に作成
し、Ｒ，Ｇ，Ｂ画素からなる多色画像を形成した。

【００８８】前記多色画像を形成した基板に、アイ・エ
レクトロンビーム社製電子線照射装置（ＣＢ２５０／１
５／１８０Ｌ）を用い、加速電圧２００ｋＶで７．５Ｍ
ｒａｄの電子線照射を行った。

【００８９】遮光性転写材料として、Ｋ２遮光性感光性
転写材料を用いた以外は、実施例１と同様にして、裏露
光法により遮光性画像を上記で得られた基板上に形成
し、カラーフィルタを製造した。

【００９０】上記カラーフィルタにおいては、遮光性画
像とＲＧＢ画素からなる多色画像との重なりが無く、平
坦性は良好であった。また、Ｒ，Ｇ，Ｂ画素上には、遮
光性感光性組成物による黒残膜は発生しなかった。裏面
露光できる露光量は１００ｍＪ／ｃｍ²まで可能であ
り、十分な裏露光量が得られ、遮光性画像（ブラックマ
トリックス）のＯＤ（光学濃度）は２．３以上であっ
た。

【００９１】（実施例８）多色画像形成後の電子線照
射、ならびに遮光性画像形成後の電子線照射における電
子線照射量を、１５ＭＲａｄとした以外は、実施例７と
同様にしてカラーフィルタを製造した。得られたカラー
フィルタは、遮光性画像とＲ，Ｇ，Ｂ画素からなる多色
画像との重なりがなく、平坦性は良好であった。また、
Ｒ，Ｇ，Ｂの各画素の上には、実質的に遮光性感光性樹
脂層による残膜もなかった。

【００９２】（実施例９）多色画像形成後の電子線照
射、ならびに遮光性画像形成後の電子線照射における電
子線照射量を、３０ＭＲａｄとした以外は、実施例７と
同様にしてカラーフィルタを製造した。結果は実施例７
及び８と同様であった。

【００９３】（実施例１０）多色画像形成後の電子線照
射、ならびに遮光性画像形成後の電子線照射における電
子線照射量を、５０ＭＲａｄとした以外は、実施例１と
同様にしてカラーフィルタを製造した。結果は実施例７
から９と同様であった。

【００９４】（実施例１１）多色画像形成後の電子線照
射、ならびに遮光性画像形成後の電子線照射における電
子線照射量を、６０ＭＲａｄとした以外は、実施例７と
同様にしてカラーフィルタを製造した。多色画像を形成
した基板上に電子線照射したところ、ガラス基板が着色
してしまった。

【００９５】（実施例１２）多色画像形成後の電子線照
射、ならびに遮光性画像形成後の電子線照射における電
子線照射量を、１２０ＭＲａｄとした以外は、実施例７
と同様にしてカラーフィルタを製造した。多色画像を形
成した基板上に電子線照射したところ、ガラス基板が強
く着色してしまった。

【００９６】（比較例２）多色画像形成後及び遮光性画
像形成後ともに電子線を照射しないこと以外は、実施例
７と同様にして、カラーフィルタを製造した。得られた
カラーフィルタのＲ，Ｇ，Ｂの各画素上には、遮光性感
光性組成物による残膜が発生していた。

【００９７】

【発明の効果】本発明によると、Ｒ，Ｇ，Ｂ画素からな
る多色画像上に、遮光性感光性組成物による残膜の発生
を防止することができ、遮光性画像形成工程後におい
て、高温で長時間にわたる加熱処理を必要とせず、色純
度、光透過性及び平坦性に優れ、耐熱性及び耐薬品性を
有するカラーフィルタを、高速かつ安価に製造する方法
を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】多色画像を形成する工程と多色画像を形成し
た面に遮光性感光性組成物を含む層を設ける工程との間
において、電子線照射を行うカラーフィルタの製造方法
の工程図である。

【図２】遮光性画像を形成する工程の後において、電
子線照射を行うカラーフィルタの製造方法の工程図であ
る。

【符号の説明】１０透明基板１２遮光性感光性組成物を含む層１４遮光性画像（ブラックマトリックス）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０２Ｂ 5/00 Ｇ０２Ｂ 5/00 Ｂ４Ｊ０１１Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５Ｇ０２Ｆ 1/1335 ５０５４Ｊ０２６Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０５Ｇ０３Ｆ 7/004 ５０５ 7/40 ５０１ 7/40 ５０１Ｆターム(参考） 2H025 AA00 AA06 AA07 AA08 AA10 AB13 AC01 AD01 BC14 BC42 CB10 CB13 CB14 CB52 CC02 CC12 FA04 FA17 FA22 FA30 2H042 AA09 AA15 AA26 2H048 BA11 BA43 BA45 BA47 BA48 BB02 BB44 2H091 FA02Y FA34Y FB04 GA01 LA15 LA30 2H096 AA00 AA28 BA05 BA20 EA02 EA13 GA08 GA52 HA03 HA30 JA04 4J011 PA22 PA35 PA43 PA65 PA69 PA70 PB24 PB25 PB40 PC02 PC08 QA12 QA14 QA19 QA22 QA26 RA03 RA04 RA17 SA25 SA28 SA74 SA75 SA78 TA02 TA03 TA10 UA06 VA01 WA01 4J026 AA17 AA45 AA54 AC09 BA19 BA28 BA29 BA32 DB06 DB36 GA06

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】着色感光性組成物を含有する赤、緑及び
青色の各画素を透明基板上に設けて露光及び現像により
多色画像を形成する工程、該多色画像を形成した面に遮
光性感光性組成物を含む層を設ける工程、該透明基板を
通して露光することにより該多色画像における非画素部
の遮光性感光性組成物を硬化させる工程、現像処理によ
り該非画素部に遮光性画像を形成する工程、を含むカラ
ーフィルタの製造方法において、該多色画像を形成する
工程の後に、少なくとも電子線照射を行うことを特徴と
するカラーフィルタの製造方法。
【請求項２】多色画像を形成する工程と該多色画像を
形成した面に遮光性感光性組成物を含む層を設ける工程
との間において、少なくとも電子線照射を行う請求項１
に記載のカラーフィルタの製造方法。
【請求項３】遮光性画像を形成する工程の後におい
て、少なくとも電子線照射を行う請求項１又は２に記載
のカラーフィルタの製造方法。
【請求項４】電子線照射量が１〜５０Ｍｒａｄである
請求項１から３のいずれかに記載のカラーフィルタの製
造方法。
【請求項５】少なくとも光重合開始剤、多官能性モノ
マー、バインダー、顔料並びに紫外線吸収剤及び／又は
紫外線吸収剤前駆体を含有する着色感光性組成物を用い
る請求項１から４のいずれかに記載のカラーフィルタの
製造方法。