JP2002031646A - 電気検査用導電シート及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】被検査物のパターンに無関係に使用でき、且
つ、従来よりも高精細パターンに対応可能な電気検査用
導電シート及びその製造方法を提供することを目的とす
る。 【解決手段】絶縁基板３１１上に導電パターン３２１を
形成し、導電パターン３２１が形成された絶縁基板３１
１を所定枚数積層し、加熱・加圧成型して積層ブロック
３３０を作製する。積層ブロック３３０を切断線でスラ
イスすると、絶縁シート３３１の所定位置に導電パター
ン３２１が所定厚に切断された電極３２１ａが埋め込ま
れた電気検査用導電シート３００が得られる。さらに、
電極３２１ａの片端面または両端面にめっき被膜を形成
し、めっき被膜が形成された電気検査用導電シートを得
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、プリント配線板等
の配線基板の電気検査に使用される、電気検査用導電シ
ート及びその製造方法に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】プリント基板および各種半導体パッケー
ジ用基板（ＴＡＢ、ＢＧＡ、ＣＳＰ等）の電気検査治具
には、スプリングプローブを使ったもの、リジッドプロ
ーブを使ったもの、配線変換板を使ったものなどがあ
る。実際の電気検査時には打痕防止や被検査物の凹凸吸
収のため、これらの治具と被検査物の間に分散型異方性
導電ゴムシートを挟んで接触を保つようにすることが多
い。

【０００３】分散型異方性導電ゴムシートは、シリコン
系ゴムのベース中に金属粒子、炭素粒子、金属線、炭素
繊維あるいはメッキなどによって導電性を付加した微粒
子などの導電性粒子が分散されたものである。ゴムの中
に分散されている導電性粒子は、解放状態ではゴムベー
スによって間隙が確保されているために導通はないが、
シートの表裏からプレスなどで圧縮されるとゴムベース
による間隙が押しつぶされて導電性粒子同士が直接接触
し、圧縮された部分のみ表裏が導通状態になるというも
のである。

【０００４】導電性粒子をゴムベース中に均一に分散さ
せたものを均一分散型異方性導電ゴムシートと呼ぶ。均
一分散型異方性導電ゴムシートは、被検査物となる製品
のパターンに無関係に使用できる利点がある。しかし、
被検査物のパターン以外の部分にも導電物粒子が存在す
るために、絶縁抵抗が低くなる傾向があり、またシート
面内の分解能も現状では２５０μｍ程度が限界となって
いる。

【０００５】導電性粒子を被検査物のパターンに合わせ
て偏在させる偏在型異方性導電ゴムシートは、被検査物
パターンで間隙となる部分の導電性粒子密度が低くなる
ため絶縁抵抗を高くすることができ、またシート面内の
分解能も現状で１２０μｍ程度にすることができる。し
かし導電性粒子の偏在化プロセスが必要なことと、それ
ぞれの被検査物のパターンに合わせて個別に対応する必
要があることなどから、コスト高になるという問題点を
有する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を解決するためになされたものであり、被検査物のパタ
ーンに無関係に使用でき、且つ、従来よりも高精細パタ
ーンに対応可能な電気検査用導電シート及びその製造方
法を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明に於いて上記課題
を達成するために、まず請求項１においては、配線基板
の電気的不良の有無を検査する電気検査用導電シートで
あって、所定の位置に配置された複数の導電性材料の間
が、絶縁材料によって絶縁されてなり、その両面が切断
面となっていることを特徴とする電気検査用導電シート
としたものである。

【０００８】また、請求項２においては、配線基板の電
気的不良の有無を検査する電気検査用導電シートであっ
て、線状の導電性材料が形成された絶縁基板が積層され
てなり、その両面が切断面となっていることを特徴とす
る電気検査用導電シートとしたものである。

【０００９】また、請求項３においては、配線基板の電
気的不良の有無を検査する電気検査用導電シートであっ
て、絶縁層と線状の導電性材料が交互に形成されてな
り、その両面が切断面となっていることを特徴とする電
気検査用導電シートとしたものである。

【００１０】また、請求項４においては、両面から露出
する前記導電性材料の少なくとも一方の面にめっきが施
されていることを特徴とする請求項１乃至請求項３記載
の電気検査用導電シートとしたものである。

【００１１】また、請求項５においては、再溶融可能な
被覆材でコートした多数の導電性線材を束ね、被覆材を
溶融し、再度硬化した後に前記導電性材料が露出するよ
うにスライスすることを特徴とする電気検査用導電シー
トの製造方法としたものである。

【００１２】また、請求項６においては、線状の導電性
材料が形成された絶縁基板を積層し、前記導電性材料が
露出するようにスライスすることを特徴とする電気検査
用導電シートの製造方法としたものである。

【００１３】また、請求項７においては、絶縁層と線状
の導電性材料を交互に積層し、前記導電性材料が露出す
るようにスライスすることを特徴とする電気検査用導電
シートの製造方法としたものである。

【００１４】さらにまた、請求項８においては、露出し
た前記導電性線材の少なくとも一方の面にめっきを施す
ことを特徴とする請求項５乃至請求項７記載の電気検査
用導電シートの製造方法としたものである。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につき
説明する。図１（ｂ）は本発明の請求項１の電気検査用
導電シートの一実施例を示す斜視図、図２（ｂ）は本発
明の請求項１の電気検査用導電シートの他の実施例を示
す斜視図、図１（ｃ）は図１（ｂ）の電気検査用導電シ
ートの斜視図をＡ−Ａ線で切断した構成断面図、図２
（ｃ）は図２（ｂ）の電気検査用導電シートの斜視図を
Ａ−Ａ線で切断した構成断面図である。図１（ａ）及び
図２（ａ）は請求項１の電気検査用導電シートの製造方
法の概略を示したものである。

【００１６】電気検査用導電シート１００は、図１
（ｂ）及び（ｃ）に示すように、絶縁性の材料からなる
絶縁シート４１ａに電極１１ａが埋め込まれた構造であ
る。電気検査用導電シート２００は、図２（ｂ）及び
（ｃ）に示すように、絶縁性の材料からなる絶縁シート
２２１に電極２１２ａが埋め込まれた構造である。

【００１７】電気検査用導電シート１００の製造方法に
ついて述べる。まず、所定位置に貫通孔２２が形成され
た２ヶの保持板２１ａ及び２１ｂが対向して固定治具３
１に固定されており、導電性線材１１をそれぞれの保持
板２１ａ及び２１ｂの貫通孔２２に挿入し、２ヶの保持
板２１ａ及び２１ｂの所定位置に配列された導電性線材
１１を得る。

【００１８】ここで、保持板２１ａ及び２１ｂに形成す
る貫通孔２２の配列パターンは、各種の格子状配列や個
別製品の電極配列パターンに合わせた配列である。貫通
孔２２の形成方法としては、ドリルなどによる機械加
工、レーザー加工、エッチングプロセスなどがある。ま
た、保持板２１ａ及び２１ｂは固定治具３１によって、
互いに平行に、所定の距離をおいて配置される。導電性
線材１１は保持板２１ａ及び２１ｂの同じ位置にある貫
通孔２２に一本または一束ずつ通されている。導電性線
材１１は銅、金などの各種の金属線、カーボンファイバ
ーなどの導電性の材質で作られており、必要に応じて絶
縁被覆または酸化膜が形成されている。また、導電性線
材１１のそれぞれの両端は図示せぬ固定治具により、一
定の張力がかかった状態で保持されている。

【００１９】次に、保持板２１ａと保持板２１ｂの間に
絶縁性の樹脂を流し込み硬化させて絶縁性充填物４１を
形成する（図１（ａ）参照）。絶縁性充填物４１は導電
性線材１１を保持、保護し、隣接する導電性線材１１ど
うしを絶縁する役割を持つ。絶縁性充填物４は、シリコ
ン系ゴムなどの各種のゴムまたはエポキシ系樹脂などの
各種の樹脂であり、最初は流体で保持板２１ａと保持板
２１ｂの間に流し込まれて脱泡処理を施した後、熱、光
等により硬化させる。

【００２０】次に、図１（ａ）の切断線でスライスする
と、図１（ｂ）及び（ｃ）に示すように、絶縁性充填物
４１からなる絶縁シート４１ａの所定位置に導電性線材
１１が切断されて形成された電極１１ａが埋め込まれた
電気検査用導電シート１００が形成される。スライス面
に凹凸や切り屑がある場合には必要に応じて、スライス
面の片側または両側を研磨する。あらかじめ保持板２１
ａと保持板２１ｂ間の距離を調整しておけば、導電シー
ト１００を必要枚数スライスして作製することが出来
る。

【００２１】電気検査用導電シート１００の電極１１ａ
の配列パターンは、保持板２１ａ及び２１ｂに形成して
おいた貫通孔２２の配列パターンで決まる。貫通孔２２
の配列パターンを各種の格子状にしておけば、製品のパ
ターンに関係なく使用可能な電気検査用導電シート１０
０ができる。また、貫通孔２２の配列パターンを個別製
品のパターンに合わせておけば、個別製品対応の電気検
査用導電シート１００の作製が可能である。

【００２２】また、電気検査用導電シート１００は、図
１（ｃ）に示すように、各電極１１ａの両端部が絶縁シ
ート４１ａの両面に現れているため、絶縁シート４１ａ
の両面で電気的な導通がとれ、隣接する電極１１ａ間の
絶縁は絶縁性充填物４１の絶縁特性で決定される。ま
た、電気検査用導電シート１００面内の分解能は隣接す
る電極１１ａの最小間隔によることになる。

【００２３】電気検査用導電シート１００の電極１１ａ
の最小間隔は、保持板２１ａ及び２１ｂに形成できる貫
通孔２２の最小間隔で決まる。例えば、現在実用されて
いるドリル刃には直径５０μｍ程度のものがあり、これ
を使用すれば間隔１００μｍ程度の貫通孔を形成するこ
とができる。直径４０μｍ程度の金属線も存在し、導電
性線材１１として利用することが出来る。従って現状で
は電気検査用導電シート１００の電極１１ａの間隔は１
００μｍ程度にすることが可能である。

【００２４】電気検査用導電シート２００の製造方法に
ついて述べる。図２（ａ）に示す導電性線材２１２が絶
縁被覆材２１１で被覆された多数の被覆導電性線材２１
０を図示せぬ固定治具によって固定し、被覆導電性線材
束を作製する。必要に応じて各被覆導電性線材２１０の
両端部に一定の張力をかけて固定する。この状態で被覆
導電性線材束の絶縁被覆材２１１を再溶融・硬化処理し
て、被覆導電性線材ブロック２２０を作製する。

【００２５】ここで、導電性線材２１２は銅、金などの
各種金属線またはカーボンファイバーなどの導電性の材
質で作られており、金属線である場合には必要に応じて
酸化被膜を形成しておいても良い。また絶縁被覆材２１
１は再溶融・硬化が可能な各種のゴムまたは各種の樹脂
で作られている。

【００２６】さらに、図２（ａ）の切断線でスライスす
ると、図２（ｂ）及び（ｃ）に示すように、絶縁被覆材
２１１からなる絶縁シート２２１の所定位置に導電性線
材２１２が切断されて形成された電極２１２ａが埋め込
まれた電気検査用導電シート２００を得ることができ
る。スライス面に凹凸や切り屑がある場合には、必要に
応じてスライス面の片側または両側を研磨する。あらか
じめ被覆導電性線材ブロック２２０の長さを調整してお
けば、電気検査用導電シート２００を必要枚数スライス
することが出来る。

【００２７】電気検査用導電シート２００の電極２１２
ａの配列パターンは、絶縁被覆材２１１の断面形状やサ
イズを選ぶことにより、電極２１２ａの配列パターンを
制御することが出来る。図２（ａ）−１に示すような断
面形状が円形の絶縁被覆材２１１を使用した場合には、
三角形の頂点に電極２１２ａがある三角格子状の配列パ
ターンとなる。隣接する電極３１２ａの間の距離は、絶
縁被覆材２１１の厚みにより制御する。また絶縁被覆材
２１１の断面形状を楕円形にした場合には歪んだ三角格
子状の配列パターンを作ることが可能である。

【００２８】また、図２（ａ）−２に示すような断面形
状が三角形の絶縁被覆材２３１を使用した場合には、六
角形の頂点に電極２１２ａがある六角格子状の配列パタ
ーンとなる。隣接する電極２１２ａ間の距離は、絶縁被
覆材２３１の厚さにより制御する。また絶縁被覆材２３
１の断面形状の三角形の辺の長さを選ぶ事により歪んだ
六角格子状の配列パターンを作ることも可能である。

【００２９】また、図２（ａ）−３に示すような断面形
状が四角形の絶縁被覆材２４１を使用した場合には、四
角形の頂点に電極２１２ａがある四角格子状の配列パタ
ーンとなる。隣接する電極２１２ａ間の距離は、絶縁被
覆材２４１の厚さにより制御する。また絶縁被覆材２４
１の断面形状の四角形の辺の長さを選ぶ事により歪んだ
四角格子状の配列パターンを作ることも可能である。

【００３０】また、電気検査用導電シート２００は、図
２（ｃ）に示すように、各電極２１２ａの両端部が絶縁
シート２２１の両面に現れているため、絶縁シート２２
１の両面で電気的な導通がとれ、隣接する電極２１２ａ
間の絶縁は絶縁被覆材２１１の絶縁特性で決定される。
また、電気検査用導電シート２００面内の分解能は隣接
する電極２１２ａの最小間隔によることになる。

【００３１】電気検査用導電シート２００の電極２１２
ａの最小間隔は、導電性線材２１２の直径と絶縁被覆材
２１１の厚さで決まる。現在、直径４０μｍ程度の導電
性線材が存在し、膜厚２０μｍ程度の絶縁被覆材を施す
ことが可能である。従って現状では電気検査用導電シー
ト２００の電極２１２ａの間隔を８０μｍ程度にまです
ることが可能である。

【００３２】図３（ｃ）は本発明の請求項２記載の電気
検査用導電シートの一実施例を示す斜視図で、図２
（ｄ）は図２（ｃ）の電気検査用導電シートの斜視図を
Ａ−Ａ線で切断した構成断面図である。図３（ａ）〜
（ｂ）は請求項６記載の電気検査用導電シートの製造方
法の概略を示したものである。

【００３３】請求項２記載の電気検査用導電シート３０
０は、図３（ｃ）及び（ｄ）に示すように、絶縁性の材
料からなる絶縁シート３３１に電極３２１ａが埋め込ま
れた構造である。

【００３４】電気検査用導電シート３００の製造方法に
ついて述べる。まず、絶縁基板３１１上に導電パターン
３２１を形成する（図３（ａ）参照）。絶縁基板３１１
は、エポキシ樹脂やポリイミド樹脂等で形成された絶縁
シート基材が使用されるが、メッキ、スパッタ、蒸着等
による金属層の形成及びエッチング等によるパターニン
グに耐えることができ、所定の絶縁性を有するものであ
ればよい。導電パターン３２１はメッキ、スパッタ、蒸
着等により絶縁基板３１１上に銅の金属層を形成した
後、フォトエッチング等によりパターンニング処理して
形成され、導電パターン３２１の材料は銅が一般的であ
るが、所定の導通性を有するものであればよい。

【００３５】次に、導電パターン３２１が形成された絶
縁基板３１１を所定枚数積層し、加熱・加圧成型して積
層ブロック３３０を作製する（図３（ｂ）参照）。絶縁
基板３１１を積層する際各絶縁基板３１１の間にプリプ
レグシートまたは接着剤等を入れてやると、強固な積層
ブロック３３０を得ることができ、絶縁基板３１１の材
質選択幅が広がる。加熱・加圧条件は使用する絶縁基板
３１１、プリプレグシート、接着剤等の材質により最適
条件を設定する。

【００３６】次に、積層ブロック３３０を図３（ｂ）の
切断線でスライスすると、絶縁シート３３１の所定位置
に導電パターン３２１が所定厚に切断された電極３２１
ａが埋め込まれた電気検査用導電シート３００が得られ
る（図３（ｃ）及び（ｄ）参照）。スライス面に凹凸や
切り屑がある場合には、必要に応じてスライス面の片側
又は両側を研磨する。電気検査用導電シート３００の電
極３２１ａの配列パターンは絶縁基板３１１上の導電パ
ターン３２１の配置と絶縁基板３１１の厚みを適宜設定
することにより、あらゆるパターン配列の電気検査用導
電シート３００を得ることができる。この方式の場合導
電パターン３２１はフォトプロセスで形成するため、電
極３２１ａの最小間隙は１０〜２０μｍ程度にすること
ができ、高密度の電極３２１ａ配列パターンを有する電
気検査用導電シート３００を得ることができる。

【００３７】電気検査用導電シート３００は、図３
（ｄ）に示すように、各電極３２１ａの両端部が絶縁シ
ート３３１の両面に現れているため、絶縁シート３３１
の両面で電気的な導通がとれ、隣接する電極３２１ａ間
の絶縁は絶縁基板３１１及び積層の際に用いられるプリ
プレグシート又は接着剤の絶縁特性で決定される。

【００３８】図４（ｃ）は本発明の請求項３記載の電気
検査用導電シートの一実施例を示す斜視図で、図４
（ｄ）は図４（ｃ）の電気検査用導電シートの斜視図を
Ａ−Ａ線で切断した構成断面図である。図４（ａ）〜
（ｂ）は請求項７記載の電気検査用導電シートの製造方
法の概略を示したものである。

【００３９】請求項３記載の電気検査用導電シート４０
０は、図４（ｃ）及び（ｄ）に示すように、絶縁性の材
料からなる絶縁シート４３１に電極４２１ａが埋め込ま
れた構造である。

【００４０】請求項７記載の電気検査用導電シート４０
０の製造方法について述べる。まず、絶縁層４１１上に
導電パターン４２１を形成する（図４（ａ）参照）。絶
縁層４１１はエポキシ樹脂、ポリイミド樹脂等からなる
液状の絶縁性の樹脂溶液を塗布し、加熱、硬化して所定
厚の絶縁樹脂層を形成する方法や、半硬化状態のエポキ
シ樹脂、ポリイミド樹脂等からなる絶縁シートを重ねた
後熱圧着して形成する方法等を用いて形成する。導電パ
ターン４２１は、めっき、スパッタ、蒸着等により絶縁
層４１１上に銅の金属導体層を形成し、エッチング等に
よりパターンニング処理して形成する方法や、導電ペー
ストをスクリーン印刷等によりパターン形成し、加熱硬
化して形成する方法等を用いて形成する。

【００４１】上記、絶縁層４１１及び導電パターン４２
１の形成を所定回数繰り返して積層体を形成し、必要に
応じて加熱・加圧成型して積層ブロック４３０を作製す
る（図４（ｂ）参照）。

【００４２】次に、積層ブロック４３０を図４（ｂ）の
切断線でスライスすると、絶縁シート４３１の所定位置
に導電パターン４２１が所定厚に切断された電極４２１
ａが埋め込まれた電気検査用導電シート４００が得られ
る（図４（ｃ）及び（ｄ）参照）。スライス面に凹凸や
切り屑がある場合には、必要に応じてスライス面の片側
又は両側を研磨する。電気検査用導電シート４００の電
極４２１ａの配列パターンは絶縁層４１１上の導電パタ
ーン４２１の配置と絶縁層４１１の厚みを適宜設定する
ことにより、あらゆるパターン配列の電気検査用導電シ
ート４００を得ることができる。この方式で導電パター
ン４２１をフォトプロセスで形成する場合、電極４２１
ａの最小間隙は１０〜２０μｍ程度にすることができ、
高密度の電極４２１ａ配列パターンを有する電気検査用
導電シート４００を得ることができる。

【００４３】電気検査用導電シート４００は、図４
（ｄ）に示すように、各電極４２１ａの両端部が絶縁シ
ート４３１の両面に現れているため、絶縁シート４３１
の両面で電気的な導通がとれ、隣接する電極４２１ａ間
の絶縁は絶縁層４１１の絶縁特性で決定される。

【００４４】図５（ａ）〜図８（ａ）は本発明の請求項
４記載のめっきが施された電気検査用導電シートの斜視
図を、図５（ｂ）〜図８（ｂ）は図５（ａ）〜図８
（ａ）の電極の片端面にめっきが施された電気検査用導
電シートの斜視図をＡ−Ａ線で切断した構成断面図を、
図５（ｃ）〜図８（ｃ）は図５（ａ）〜図８（ａ）の電
極の両端面にめっきが施された電気検査用導電シートの
斜視図をＡ−Ａ線で切断した構成断面図をそれぞれ示
す。図９（ａ）〜（ｄ）は請求項８記載の電気検査用導
電シートにめっき処理を施す工程の概略を示したもので
ある。

【００４５】図５の１００ａは請求項１記載の電気検査
用導電シート１００の電極１１ａの片端面にめっき被膜
５１ａが形成された電気検査用導電シートを、図５の１
００ｂは請求項１記載の電気検査用導電シート１００の
電極１１ａの両端面にめっき被膜５１ａ及びめっき被膜
５１ｂが形成された電気検査用導電シートをそれぞれ示
したものである。

【００４６】図６の２００ａは請求項１記載の電気検査
用導電シート２００の電極２１２ａの片端面にめっき被
膜２３１ａが形成された電気検査用導電シートを、図６
の２００ｂは請求項１記載の電気検査用導電シート２０
０の電極２１２ａの両端面にめっき被膜２３１ａ及びめ
っき被膜２３１ｂが形成された電気検査用導電シートを
それぞれ示したものである。

【００４７】図７の３００ａは請求項２記載の電気検査
用導電シート３００の電極３２１ａの片端面にめっき被
膜３４１ａが形成された電気検査用導電シートを、図７
の３００ｂは請求項２記載の電気検査用導電シート３０
０の電極３２１ａの両端面にめっき被膜３４１ａ及びめ
っき被膜３４１ｂが形成された電気検査用導電シートを
それぞれ示したものである。

【００４８】図８の４００ａは請求項３記載の電気検査
用導電シート４００の電極４２１ａの片端面にめっき被
膜４４１ａが形成された電気検査用導電シートを、図８
の４００ｂは請求項３記載の電気検査用導電シート４０
０の電極４２１ａの両端面にめっき被膜４４１ａ及びめ
っき被膜４４１ｂが形成された電気検査用導電シートを
それぞれ示したものである。

【００４９】図９（ａ）〜（ｄ）は請求項８記載の電気
検査用導電シートの電極にめっきを施す処理工程の概略
について説明する。めっき処理を施す電気検査用導電シ
ートは上記電気検査用導電シート１００〜４００であ
り、ここでは電気検査用導電シート１００の事例につい
て説明し、残りの電気検査用導電シート２００〜４００
については同じ処理工程であるので、説明は省略する。

【００５０】まず、電気検査用導電シート１００の片面
をめっき用電極板６１に密着させ、めっき用電極板６１
と電極１１ａとの導通がとれるように、めっき用固定治
具７１で電気検査用導電シート１００を固定する（図９
（ａ）参照）。

【００５１】次に、めっき用電極板６１を電極にして電
解めっきを行うと電気検査用導電シート１００の電極１
１ａの片端面にめっき被膜５１ａが形成された電気検査
用導電シート１００ａが得られる（図９（ｂ）参照）。
ここで、このめっき被膜５１ａの材料としては、導電性
を有するものはほとんど使用できるが、電気伝導度を良
くするには銅めっきが、硬度を上げるにはニッケルめっ
きが望ましい。さらに、めっき被膜の厚さ、形状、材質
を選択することにより電極１１ａの先端に種々の性質を
付加することができる。

【００５２】次に、電気検査用導電シート１００ａの電
極１１ａのめっき被膜５１ａをめっき用電極板６１に密
着させ、めっき用電極板６１と電極１１ａとの導通がと
れるように、めっき用固定治具７１で電気検査用導電シ
ート１００ａを固定する（図９（ｃ）参照）。

【００５３】次に、めっき用電極板６１をカソード電極
にして電解めっきを行うと電気検査用導電シート１００
ａの電極１１ａのもう一方の面先端にめっき被膜５１ｂ
が形成され、電極１１ａの両端面にめっき被膜５１ａ及
び５１ｂが形成された電気検査用導電シート１００ｂを
得る（図９（ｄ）参照）。

【００５４】このめっき処理工程で電気検査用導電シー
ト１００のスライス工程等により、電極１１ａが絶縁シ
ート４１ａの表面より凹んでしまった場合には、このめ
っきにより電極１１ａの先端を絶縁シート４１ａの表面
の高さまで戻すことができる。さらに、めっき被膜を厚
く付けることにより、図９（ｂ）に示すように電極１１
ａの先端に凸状のめっき被膜５１ａを形成でき、被検査
物の表面に接触しやすくなる。また、めっき被膜は電極
１１ａの先端から少しずつ外側に広がるように付いてゆ
くため、電極１１ａの両端面にめっき被膜が形成された
場合絶縁シート４１ａから抜けにくい構造となる。

【００５５】このめっき被膜の材質を適宜選択したり、
複数種類のめっき処理を組み合わせることにより、電極
１１ａの先端の電気伝導度や硬度、耐摩耗度などの機械
強度を制御することが可能である。

【００５６】さらに、電極１１ａ先端の表面状態を制御
するために薄いめっき被膜を形成することも可能であ
る。表面酸化膜の形成防止のためには、金またはロジウ
ムめっきが望ましい。この金またはロジウムめっきは、
電解めっきでも無電解めっきでも良い。

【００５７】

【発明の効果】本発明の導電シート及びその製造方法に
よれば、導電線材または導電パターンを絶縁材料によっ
て絶縁されたブロックを形成し、該ブロックを所定厚に
切断加工するため、高密度の電極配列パターンを有する
電気検査用導電シートを再現性良く作製でき、かつ従来
よりも高精細な製品に対応可能な電気検査用導電シート
を提供できるという優れた実用上の効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）は、本発明の請求項１記載の電気検査用
導電シートの製造方法の概略を示す説明図である。
（ｂ）は、本発明の請求項１記載の一実施例の電気検査
用導電シート１００の構成を示す斜視図である。（ｃ）
は、（ｂ）記載の電気検査用導電シート１００の斜視図
をＡ−Ａ線で切断した構成断面図である。

【図２】（ａ）は、本発明の請求項５記載の電気検査用
導電シートの製造方法の概略を示す説明図である。
（ｂ）は、本発明の請求項１記載の他の例の電気検査用
導電シート２００の構成を示す斜視図である。（ｃ）
は、（ｂ）記載の電気検査用導電シート２００の斜視図
をＡ−Ａ線で切断した構成断面図である。

【図３】（ａ）は、本発明の請求項６記載の電気検査用
導電シートの製造方法の概略を示す説明図である。
（ｂ）は、本発明の請求項２記載の電気検査用導電シー
ト３００の構成を示す斜視図である。（ｃ）は、（ｂ）
記載の電気検査用導電シート３００の斜視図をＡ−Ａ線
で切断した構成断面図である。

【図４】（ａ）は、本発明の請求項７記載の電気検査用
導電シートの製造方法の概略を示す説明図である。
（ｂ）は、本発明の請求項３記載の電気検査用導電シー
ト４００の構成を示す斜視図である。（ｃ）は、（ｂ）
記載の電気検査用導電シート４００の斜視図をＡ−Ａ線
で切断した構成断面図である。

【図５】（ａ）は、本発明の請求項１記載の電気検査用
導電シート１００の電極１１ａの片面または両面にめっ
き被膜を形成した電気検査用導電シート１００ａ及び１
００ｂの斜視図を示す。（ｂ）は、（ａ）記載の電気検
査用導電シート１００ａの斜視図をＡ−Ａ線で切断した
構成断面図である。（ｃ）は、（ａ）記載の電気検査用
導電シート１００ｂの斜視図をＡ−Ａ線で切断した構成
断面図である。

【図６】（ａ）は、本発明の請求項１記載の電気検査用
導電シート２００の電極２１２ａの片面または両面にめ
っき被膜を形成した電気検査用導電シート２００ａ及び
２００ｂの斜視図を示す。（ｂ）は、（ａ）記載の電気
検査用導電シート２００ａの斜視図をＡ−Ａ線で切断し
た構成断面図である。（ｃ）は、（ａ）記載の電気検査
用導電シート２００ｂの斜視図をＡ−Ａ線で切断した構
成断面図である。

【図７】（ａ）は、本発明の請求項２記載の電気検査用
導電シート３００の電極３２１ａの片面または両面にめ
っき被膜を形成した電気検査用導電シート３００ａ及び
３００ｂの斜視図を示す。（ｂ）は、（ａ）記載の電気
検査用導電シート３００ａの斜視図をＡ−Ａ線で切断し
た構成断面図である。（ｃ）は、（ａ）記載の電気検査
用導電シート３００ｂの斜視図をＡ−Ａ線で切断した構
成断面図である。

【図８】（ａ）は、本発明の請求項３記載の電気検査用
導電シート４００の電極４２１ａの片面または両面にめ
っき被膜を形成した電気検査用導電シート４００ａ及び
４００ｂの斜視図を示す。（ｂ）は、（ａ）記載の電気
検査用導電シート４００ａの斜視図をＡ−Ａ線で切断し
た構成断面図である。（ｃ）は、（ａ）記載の電気検査
用導電シート４００ｂの斜視図をＡ−Ａ線で切断した構
成断面図である。

【図９】（ａ）〜（ｄ）は、本発明の請求項８記載の電
気検査用導電シートの電極にめっきを施す処理工程の概
略を示す説明図である。

【符号の説明】

１１……導電性線材 １１ａ……電極 ２１ａ、２１ｂ……保持板 ２２……貫通孔 ３１……固定治具 ４１……絶縁性充填物 ４１ａ……絶縁シート ５１ａ、５１ｂ、２３１ａ、２３１ｂ、３４１ａ、３４
１ｂ、４４１ａ、４４１ｂ……めっき被膜 ６１……電解めっき用電極板 ７１……電解めっき用固定治具 １００、２００、３００、４００……電気検査用絶縁シ
ート １００ａ、１００ｂ、２００ａ、２００ｂ、３００ａ、
３００ｂ、４００ａ、４００ｂ……めっき被膜が形成さ
れた電気検査用絶縁シート ２１０、２３０、２４０……被覆導電性線材 ２１１、２３１、２４１……絶縁被覆材 ２１２……導電性線材 ２１２ａ……電極 ２２０……被覆導電性線材ブロック ２２１……絶縁シート ３１１……絶縁基板 ３２１……導電パターン ３２１ａ……電極 ３３０……積層ブロック ３３１……絶縁シート ４１１……絶縁層 ４２１……導電パターン ４２１ａ……電極 ４３０……積層ブロック ４３１……絶縁シート

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 2G011 AA01 AA15 AA16 AB06 AB08 AC14 AC31 AE22 5E051 CA04

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】配線基板の電気的不良の有無を検査する電
   気検査用導電シートであって、所定の位置に配置された
   複数の導電性材料の間が、絶縁材料によって絶縁されて
   なり、その両面が切断面となっていることを特徴とする
   電気検査用導電シート。
2. 【請求項２】配線基板の電気的不良の有無を検査する電
   気検査用導電シートであって、線状の導電性材料が形成
   された絶縁基板が積層されてなり、その両面が切断面と
   なっていることを特徴とする電気検査用導電シート。
3. 【請求項３】配線基板の電気的不良の有無を検査する電
   気検査用導電シートであって、絶縁層と線状の導電性材
   料が交互に形成されてなり、その両面が切断面となって
   いることを特徴とする電気検査用導電シート。
4. 【請求項４】両面から露出する前記導電性材料の少なく
   とも一方の面にめっきが施されていることを特徴とする
   請求項１乃至請求項３記載の電気検査用導電シート。
5. 【請求項５】再溶融可能な被覆材でコートした多数の導
   電性線材を束ね、被覆材を溶融し、再度硬化した後に前
   記導電性材料が露出するようにスライスすることを特徴
   とする電気検査用導電シートの製造方法。
6. 【請求項６】線状の導電性材料が形成された絶縁基板を
   積層し、前記導電性材料が露出するようにスライスする
   ことを特徴とする電気検査用導電シートの製造方法。
7. 【請求項７】絶縁層と線状の導電性材料を交互に積層
   し、前記導電性材料が露出するようにスライスすること
   を特徴とする電気検査用導電シートの製造方法。
8. 【請求項８】露出した前記導電性線材の少なくとも一方
   の面にめっきを施すことを特徴とする請求項５乃至請求
   項７記載の電気検査用導電シートの製造方法。