JP2002031531A - レートセンサ - Google Patents

レートセンサ

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JP2002031531A
JP2002031531A JP2000215747A JP2000215747A JP2002031531A JP 2002031531 A JP2002031531 A JP 2002031531A JP 2000215747 A JP2000215747 A JP 2000215747A JP 2000215747 A JP2000215747 A JP 2000215747A JP 2002031531 A JP2002031531 A JP 2002031531A
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JP
Japan
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anode
rate sensor
cathode
grid
input
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JP2000215747A
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English (en)
Inventor
Sokichi Hayashi
宗吉 林
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Tamagawa Seiki Co Ltd
Original Assignee
Tamagawa Seiki Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、真空下で陰極から陽極に流れる電
子流のコリオリの加速度による偏位を検出して角速度の
入力を検出することを目的とする。 【解決手段】 本発明によるレートセンサは、真空容器
(1)内の陰極(4)からグリッド(5)を経て陽極(6)の各陽極
部(9A、9B)に電子流(20)を流し、角速度入力時の電子流
(20)の偏位を検出する構成である。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、レートセンサに関
し、特に、真空容器内の陰極から陽極に流れる電子流の
流れが外部からの角速度入力によるコリオリの加速度に
よって偏位することを検出し、レートの検出を行うよう
にするための新規な改良に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、用いられていたこの種のレートセ
ンサとしては、代表的な構成として、特公平1−562
75号公報、特開平1−167671号公報、特開昭6
3−81270号公報等に開示されているガスレートセ
ンサを挙げることができる。すなわち、図示していない
が数十ミクロンの細線からなる少なくとも2本のホット
ワイヤを用い、このホットワイヤに対して気体ポンプか
ら吐出される脈流ガスを供給し、外部からの角速度入力
により発生するコリオリの加速度によって偏位するガス
流による各ホットワイヤ間の抵抗値変化を用いてレート
検出を行っていた。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】従来のレートセンサ
は、以上のように構成されていたため、次のような課題
が存在していた。 (1) ガス流がノズルとホットワイヤ間を走査する時
間で制限されるため、周波数特性は20〜30Hzが限
度であった。 (2) また、機械的に固定した場合には、ケーシング
内に内蔵した気体ポンプの機能が低下することになるた
め、Oリング等で固定する必要があった。 (3) また、気体ポンプは所定の周期で駆動するた
め、騒音や振動が発生していた。 (4) また、組立後に検出特性を調整する場合、各ホ
ットワイヤの位置を調整することは極めて困難であっ
た。 (5) また、金属のケーシングで覆うため、このケー
シングの表面にマーキングを施さないと、入力軸の方向
が判別不能であった。
【0004】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、真空容器内の陰極から陽極
に流れる電子流の流れが外部からの角速度入力によるコ
リオリの加速度によって偏位することを検出し、レート
の検出を行うようにしたレートセンサを提供することを
目的とする。
【0005】
【課題を解決するための手段】本発明によるレートセン
サは、真空容器内に設けられ互いに間隔をあけて順次配
設された陰極、グリッド及び陽極と、前記陽極に設けら
れ互いに電気的に絶縁されて独立した第1、第2陽極部
とを備え、前記陰極からグリッドを介して前記各陽極部
に向かう電子流がコリオリの加速度により偏位した状態
を前記各陽極部によって電気的に検出する構成であり、
また、前記真空容器は、基板にキャップ状容器が結合さ
れて構成されている。
【0006】
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明によるレ
ートセンサの好適な実施の形態について説明する。図1
において符号1で示されるものは、内部が真空に保たれ
ている真空容器であり、この真空容器1は基板2と透明
なキャップ状容器3とから構成されている。前記基板2
には、互いに間隔をあけて陰極4、グリッド5及び陽極
6が順次配設され、これらは一直線上に位置している。
【0007】前記陰極4の基板2から外部へ導出された
陰極端子4a、4bには電池等からなる第1電源7が接
続されている。前記グリッド5のグリッド端子5aは電
池等からなる第2電源8に接続され、前記陽極6は、絶
縁部9で絶縁されて第1、第2陽極部9A、9Bで構成
されている。
【0008】前記各陽極部9A、9Bに接続された各陽
極端子9a、9bは、電池等からなる第3電源10に接
続され、各々第1、第2電流検出器11、12が接続さ
れている。
【0009】前述の構成において、陰極4、グリッド5
及び陽極6に通電した状態とすると、陰極4から発生し
た電子流20は、グリッド5を経て陽極6の各陽極部9
A、9Bに到達し、各電流検出器11、12には所要の
第1、第2電流Ip1、Ip2が流れる。
【0010】前述の状態において、真空容器1に対して
外部から入力角速度ωが発生しない状態下では、電子流
20が各陽極部9A、9Bに均等に供給されるため、各
電流検出器11、12の電流値は同一である。次に、外
部から入力角速度ωが発生した場合には、電子流20が
コリオリの加速度によって偏位し、第1陽極部9Aより
も第2陽極部9Bに向けて流れることにより、各電流I
1、Ip2は、Ip1>Ip2となり、入力角速度の方向
及び大きさを検出することができる。また、前記入力角
速度ωの入力軸は、図3で示されるように互いに直交す
る二軸を設定することができる。また、この真空容器1
は、ガラス等の透明な真空管に類似した構成となり、内
部の陰極4、グリッド5及び陽極6が外部から透視でき
る状態であるため、マーキングを施すことなく、入力軸
の決定を行うことができる。
【0011】
【発明の効果】本発明によるレートセンサは、以上のよ
うに構成されているため、次のような効果を得ることが
できる。 (1) 真空下で電子線が流れるため、周波数特性は数
KHz以上可能となる。 (2) 機械的に動作するものがないため、直接機械的
な据付けが可能である。 (3) 機械的に動作するものがないため、振動及び騒
音がない。 (4) 従来のような極細線のホットワイヤを扱う必要
がなくなり、製造が容易である。 (5) 容器内が透視できるため、従来のように入力軸
のマーキングを付ける必要がなく、外観での判断がで
き、装置への取付けが容易となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるレートセンサを示す透視構成図で
ある。
【図2】図1の要部を示す構成図である。
【図3】図1の入力軸を示す説明図である。
【図4】図1の電気的構成図である。
【図5】図2の電子流とコリオリの加速度との関係を示
す説明図である。
【符号の説明】
1 真空容器 2 基板 3 キャップ容器 4 陰極 5 グリッド 6 陽極 9A、9B 第1、第2陽極部 20 電子流
フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 真空容器(1)内に設けられ互いに間隔を
    あけて順次配設された陰極(4)、グリッド(5)及び陽極
    (6)と、前記陽極(6)に設けられ互いに電気的に絶縁され
    て独立した第1、第2陽極部(9A,9B)とを備え、前記陰
    極(4)からグリッド(5)を介して前記各陽極部(9A,9B)に
    向かう電子流(20)がコリオリの加速度により偏位した状
    態を前記各陽極部(9A,9B)によって電気的に検出する構
    成としたことを特徴とするレートセンサ。
  2. 【請求項2】 前記真空容器(1)は、基板(2)にキャップ
    状容器(3)が結合されて構成されていることを特徴とす
    る請求項1記載のレートセンサ。
JP2000215747A 2000-07-17 2000-07-17 レートセンサ Withdrawn JP2002031531A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7964113B2 (en) 2002-03-22 2011-06-21 Nichia Corporation Nitride phosphor and production process thereof, and light emitting device

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7964113B2 (en) 2002-03-22 2011-06-21 Nichia Corporation Nitride phosphor and production process thereof, and light emitting device
US8058793B2 (en) 2002-03-22 2011-11-15 Nichia Corporation Nitride phosphor and production process thereof, and light emitting device
US8076847B2 (en) 2002-03-22 2011-12-13 Nichia Corporation Nitride phosphor and production process thereof, and light emitting device

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