JP2002030133A - 光半導体用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置 - Google Patents

光半導体用エポキシ樹脂組成物及び光半導体装置

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JP2002030133A
JP2002030133A JP2000215169A JP2000215169A JP2002030133A JP 2002030133 A JP2002030133 A JP 2002030133A JP 2000215169 A JP2000215169 A JP 2000215169A JP 2000215169 A JP2000215169 A JP 2000215169A JP 2002030133 A JP2002030133 A JP 2002030133A
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epoxy resin
optical semiconductor
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curing agent
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Ikuo Nakasuji
郁雄 中筋
Hiroshi Yamanaka
浩史 山中
Takanori Kushida
孝則 櫛田
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Panasonic Electric Works Co Ltd
Original Assignee
Matsushita Electric Works Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 基本性能となる優れた透明性を維持した上で
ボイドの少ない優れた成形性を有する光半導体用エポキ
シ樹脂組成物を提供する。 【解決手段】 以下のA〜E成分を含有する。 A成分:エポキシ樹脂 B成分:硬化剤 C成分:硬化促進剤 D成分:離型剤 E成分:下記一般式(1)で示す化合物 【化1】

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、LED(発光ダイ
オード)、フォトトランジスタ、フォトダイオード、C
CD(電荷結合デバイス(または素子))、EPROM
(消去可能なプログラマブル読出し専用メモリ)に代表
される発光素子あるいは受光素子などの光半導体素子を
封止するために用いられる光半導体用エポキシ樹脂組成
物及びこれを用いた光半導体装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】光半導体素子を封止して光半導体装置を
形成するにあたっては、透明性、密着性、耐湿性、電気
絶縁性、耐熱性などに優れる点から、エポキシ樹脂組成
物を封止材料として用いた樹脂封止が主流となってい
る。その中でも、エポキシ樹脂組成物によるトランスフ
ァーモールド成形での樹脂封止は、作業性並びに量産性
の面でも優れている。このような光半導体分野で使用さ
れるエポキシ樹脂組成物には、基本性能として使用波長
での透明性(光透過性)や耐湿性及び成形工程で発生す
るボイドの低減が要求されるものである。
【0003】そして、従来では特にボイドの発生を低減
させるために、高軟化点樹脂を使用したり、エポキシ樹
脂/硬化剤の当量比を調整したりすることにより、成形
温度でのエポキシ樹脂組成物の溶融粘度を高めてモール
ド時に巻き込むボイドを低減する方法、もしくはエポキ
シ樹脂組成物のゲル化時間を長めに調整して成形保持圧
によるボイドの極小化を図る方法が一般的に行われてい
る。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来の方
法では、成形時の熱時剛性の低下により成形性が低下し
たり成形サイクルの低下を引き起こしたりすることがあ
り、ボイドの発生を低減することが難しかった。
【0005】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、基本性能となる優れた透明性を維持した上で、ボ
イドの少ない優れた成形性を有する光半導体用エポキシ
樹脂組成物及びこれを用いた光半導体装置を提供するこ
とを目的とするものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項1に係る
光半導体用エポキシ樹脂組成物は、以下のA〜E成分を
含有して成ることを特徴とするものである。 A成分:エポキシ樹脂 B成分:硬化剤 C成分:硬化促進剤 D成分:離型剤 E成分:下記一般式(1)で示す化合物
【0007】
【化3】
【0008】また本発明の請求項2に係る光半導体用エ
ポキシ樹脂組成物は、請求項1の構成に加えて、E成分
の含有量がA成分とB成分の総量に対して0.01〜
0.1phrであることを特徴とするものである。
【0009】また本発明の請求項3に係る光半導体用エ
ポキシ樹脂組成物は、請求項1又は2の構成に加えて、
E成分として下記(2)で示す化合物を用いて成ること
を特徴とするものである。
【0010】
【化4】
【0011】また本発明の請求項4に係る光半導体用エ
ポキシ樹脂組成物は、請求項1乃至3の構成に加えて、
A成分とB成分とE成分とをプレ反応させることを特徴
とするものである。
【0012】また本発明の請求項5に係る光半導体用エ
ポキシ樹脂組成物は、請求項4のプレ反応において、B
成分/A成分の当量比が0.01〜0.2であることを
特徴とするものである。
【0013】また本発明の請求項6に係る光半導体用エ
ポキシ樹脂組成物は、請求項4のプレ反応において、A
成分/B成分の当量比が0.01〜0.2であることを
特徴とするものである。
【0014】本発明の請求項7に係る光半導体装置は、
請求項1乃至6のいずれかに記載の光半導体用エポキシ
樹脂組成物により封止して成ることを特徴とするもので
ある。
【0015】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を説明
する。
【0016】本発明の光半導体用エポキシ樹脂組成物の
A成分であるエポキシ樹脂としては、1分子中に2個以
上のエポキシ基を有していれば特に制限はないが、比較
的着色の少ないものを用いるのが好ましく、具体的に
は、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノール
F型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、
オルトクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、脂環式エ
ポキシ樹脂、トリグリシジルイソシアヌレート、脂肪族
系エポキシ樹脂などを例示することができる。また、上
記エポキシ樹脂の芳香格部に水素添加したエポキシ樹脂
などを用いることもできる。本発明では上記のようなエ
ポキシ樹脂を単独で用いてもよいしあるいは複数種併用
してもよい。
【0017】本発明の光半導体用エポキシ樹脂組成物の
B成分である硬化剤としては、エポキシ樹脂と反応する
ものであれば特に制限はないが、比較的着色の少ないも
のを用いるのが好ましく、具体的には、無水ヘキサヒド
ロフタル酸、無水テトラヒドロフタル酸等の酸無水物、
フェノール、クレゾール、キシレノール、レゾールシン
等とホルムアルデヒドとを縮合重合させて得られるノボ
ラック型フェノール樹脂、液状ポリメルカプタンやポリ
サルファイド樹脂などのポリメルカプタン系硬化剤など
を例示することができる。これらの他に、アミン系硬化
剤も使用可能であるが、硬化時の変色が大きいため使用
する際には添加量などに注意を要するものである。本発
明では上記のような硬化剤を単独で用いてもよいしある
いは複数種併用してもよい。
【0018】本発明の光半導体用エポキシ樹脂組成物の
C成分である硬化促進剤としては、エポキシ樹脂と硬化
剤の反応を促進させる作用があるものであれば特に制限
はないが、比較的着色の少ないものを用いるのが好まし
く、具体的には、トリフェニルフォスフィン、ジフェニ
ルフォスフィンなどの有機フォスフィン系硬化促進剤、
1,8−ジアザビシクロ(5,4,0)ウンデセン−
7、トリエタノールアミン、ベンジルジメチルアミン等
の三級アミン系硬化促進剤、テトラフェニルホスホニウ
ム・テトラフェニルボレート、テトラフェニルホスホニ
ウム・ブロマイド等の有機塩類、1−ベンジル−2−イ
ミダゾールなどのイミダゾール類などを例示することが
できる。本発明では上記のような硬化促進剤を単独で用
いてもよいしあるいは複数種併用してもよい。
【0019】本発明の光半導体用エポキシ樹脂組成物の
D成分である離型剤としては、他の成分と相溶するもの
であれば特に制限はないが、比較的着色の少ないものを
用いるのが好ましく、具体的には、ラウリル酸アマイド
等の飽和脂肪酸モノアマイド類、オレイン酸アマイド等
の不飽和脂肪酸モノアマイド類、N−ステアリン酸アマ
イド等の置換アマイド類、メチロールステアリン酸アマ
イド等のメチロールアマイド類、メチレンビスステアリ
ン酸アマイドやエチレンビスオレイン酸アマイド等の不
飽和脂肪酸ビスアマイド類、m−キシレンビスステアリ
ン酸アマイド等の芳香族系ビスアマイド類等の脂肪族ア
マイド、直鎖飽和型高級アルコールのエチレンオキサイ
ド及び/又はプロピレンオキサイド付加物などを例示す
ることができる。本発明では上記のような離型剤を単独
で用いてもよいしあるいは複数種併用してもよい。
【0020】本発明の光半導体用エポキシ樹脂組成物の
E成分はエポキシ樹脂と硬化剤を反応させる際に触媒と
して作用する化合物であって、上記一般式(1)で示さ
れるものを用いることができる。一般式(1)における
四つのRは総てが同じであっても良いし一部又は全部が
異なっていてもよいが、この中でもRがCH3である上
記(2)で示されるものを用いるのが好ましく、これに
より、RがCH3以外のものに比べて、構成単位が最も
コンパクトになるためにエポキシ樹脂と硬化剤の反応を
促進させる効果を大きくすることができるものであり、
しかも、反応時の立体障害が小さくて反応し易いもので
あり、エポキシ樹脂や硬化剤との反応性を高くすること
ができるものである。このE成分はエポキシ樹脂と硬化
剤をプレ反応させる、つまり、エポキシ樹脂と硬化剤の
二成分を他の成分と混合する前に予め混合して反応させ
る場合に、エポキシ樹脂及び硬化剤と一緒に混合して用
いるのが好ましい。
【0021】本発明の光半導体用エポキシ樹脂組成物に
は上記A〜E成分の他に必要に応じて、変色防止剤、劣
化防止剤、染料、シリカ等の無機充填材、シラン系カッ
プリング剤等のカップリング剤、変性剤、可塑剤、希釈
剤などを配合しても良い。
【0022】そして、本発明の光半導体用エポキシ樹脂
組成物は上記のA〜E成分及びその他の成分を溶解混合
又はミキサーやブレンダー等で均一に混合した後、三本
ロールなどで溶融混練し、これを冷却・固化した後、粉
砕し、さらに必要ならばタブレット状に打錠することに
より製造することができる。また、性状が室温で液状の
場合は、上記溶解混合又は溶融混練までで製造すること
ができる。
【0023】A成分であるエポキシ樹脂とB成分である
硬化剤の配合割合は、エポキシ樹脂と硬化剤の当量比が
エポキシ樹脂/硬化剤=0.8〜2にするのが好まし
く、これにより、光半導体用エポキシ樹脂組成物の硬化
不足や耐湿性低下などの基本性能の低下を防止すること
ができる。また、C成分である硬化促進剤の配合割合
は、光半導体用エポキシ樹脂組成物の全量に対して0.
05〜5重量%にするのが好ましい。硬化促進剤の配合
量が0.05重量%未満であれば、エポキシ樹脂と硬化
剤の反応を十分に促進させることができず、成形サイク
ルが悪化して生産性が悪化する恐れがある。また、硬化
促進剤の配合量が5重量%を超えると、ゲル化時間が短
くなりすぎるために、ボイドの発生や未充填部分の発生
などの成形性の悪化を引き起こす恐れがある。
【0024】さらに、D成分である離型剤の配合割合
は、光半導体用エポキシ樹脂組成物の全量に対して0.
01〜3重量%にするのが好ましい。離型剤の配合量が
0.01重量%未満であれば、離型剤を配合した効果
(成形品の離型性向上)が十分に得られず、成形サイク
ルが悪化して生産性が悪化する恐れがある。また、離型
剤の配合量が3重量%を超えると、成形品(封止樹脂)
と光半導体素子やリードフレームとの密着性が低下した
り成形品の強度が低下して耐クラック性が低下したりす
る恐れがある。
【0025】また、E成分である上記(1)で示す化合
物の配合割合は、A成分であるエポキシ樹脂とB成分で
ある硬化剤の総量(合計量)に対して0.01〜0.1
phrにするのが好ましい。E成分の配合量が0.01
phr未満であれば、エポキシ樹脂と硬化剤の反応を十
分に促進させることができず、成形サイクルが悪化して
生産性が悪化する恐れがある。また、E成分の配合量が
0.1phrを超えると、エポキシ樹脂と硬化剤の反応
が進みすぎてゲル化時間が短くなりすぎるためにボイド
の発生や未充填部分の発生などの成形性の悪化を引き起
こす恐れがある。
【0026】また、上記のようにA〜E成分と他の成分
とを混合して光半導体用エポキシ樹脂組成物を調製する
にあたって、A成分の一部又は全部とB成分の一部又は
全部とE成分とを、その他の成分と混合する前に予め混
合することによって、A成分の一部又は全部とB成分の
一部又は全部とE成分とを予めプレ反応させるのが好ま
しい。プレ反応は、A成分の一部又は全部とB成分の一
部又は全部を100〜150℃のバス中でディスパーに
て溶解混合し、この後、E成分を添加して混合し、E成
分を添加後に1〜8時間反応させるようにして行う。こ
のようにA成分の一部又は全部とB成分の一部又は全部
とE成分とをプレ反応させることによって、成形後にA
成分とB成分との硬化不足(反応不足)を防止すること
ができ、成形品の強度低下や耐クラック性低下を防止す
ることができるものである。
【0027】上記のプレ反応時において、エポキシ樹脂
と硬化剤の当量比が1:1もしくはその近傍の割合で
は、反応中にゲル化が起こりやすいために、エポキシ樹
脂と硬化剤の当量比は硬化剤/エポキシ樹脂=0.01
〜0.2もしくはエポキシ樹脂/硬化剤=0.01〜
0.2に調整するのが好ましく、これによりエポキシ樹
脂と硬化剤の反応中にゲル化が起こりにくくなって、ボ
イドの発生や未充填部分の発生などの成形性の悪化を引
き起こしにくくすることができる。
【0028】そして、上記の光半導体用エポキシ樹脂組
成物を用いて光半導体装置を製造するにあたっては、光
半導体用エポキシ樹脂組成物がタブレットなどの固形の
場合はトランスファーモールド成形により光半導体素子
を封止するようにし、また上記の光半導体用エポキシ樹
脂組成物が液状の場合はキャスティングやポッティング
や印刷などの方法で注型、硬化させて光半導体素子を封
止するようにする。成形温度や成形圧力等の条件は従来
のエポキシ樹脂組成物を用いた光半導体装置の製造方法
と同様にすることができる。
【0029】
【実施例】以下本発明を実施例によって具体的に説明す
る。
【0030】(実施例1〜6、比較例)表1に示す配合
量でA〜E成分及び酸化防止剤をブレンダーで30分間
均一に混合し、この混合物を80℃に加熱したニーダで
溶融混練し、押し出し、冷却後に粉砕機で粉砕すること
によって、粒子径が約5mmのタブレット状の光半導体
用エポキシ樹脂組成物を調製した。尚、実施例1、2は
総ての成分を最初から一緒に混合したものであり、実施
例3、4はエポキシ樹脂の全部と硬化剤の一部とE成分
の全部をプレ反応させた後、この反応物と残りの成分を
混合したものであり、実施例5、6はエポキシ樹脂の一
部と硬化剤の全部とE成分の全部をプレ反応させた後、
この反応物と残りの成分を混合したものである。
【0031】また、A〜E成分及び酸化防止剤としては
以下のものを用いた。 A成分:エポキシ樹脂1(油化シェルエポキシ(株)製
のエピコート1004、当量=925) A成分:エポキシ樹脂2(日産化学工業(株)製のTE
PIC−S、当量=105) B成分:硬化剤1(新日本理化(株)製のTHPA、当
量=152) B成分:硬化剤2(明和化成(株)製のH−3M、当量
=104) C成分:硬化促進剤(1−ベンジル−2−フェニルイミ
ダゾール) D成分:離型剤1(エルカ酸アマイドであって、日本油
脂製のE−10) D成分:離型剤2(下記一般式(3)で示す化合物であ
って、平均でn=50、X=2、Y=20である。)
【0032】
【化5】
【0033】E成分:上記(2)で示す化合物(15%
水溶液にして配合) 酸化防止剤:旭電化製のAO−50 そして、上記の実施例1乃至6及び比較例を以下の方法
により評価した。
【0034】(光透過性)実施例1乃至6及び比較例を
金型温度150℃、注入時間35秒、加圧保持時間15
0秒の条件でトランスファー成形し、さらに150℃、
2時間の条件で成形品をアフターキュアすることによっ
て、厚み1mmのテストピースを作製した。次に、分光
光度計(日立製作所(株)製のU−3400)を用いて
600〜900nmの間で測定波長を変化させるように
してテストピースの光透過率を測定し、この値を光透過
性とした。
【0035】(ガラス転移点)実施例1乃至6及び比較
例を金型温度150℃、注入時間35秒、加圧保持時間
150秒の条件でトランスファー成形し、さらに150
℃、2時間の条件で成形品をアフターキュアすることに
よって、厚み20mm、直径5mmのテストピースを作
製した。次に、TMA(熱力学的分析)により昇温速度
5℃/minでガラス転移点(Tg)を測定した。
【0036】(耐湿信頼性)幅10μm、厚み1μmの
櫛形アルミパターンを形成したTEG(テストエレメン
トグループ)を搭載した42アロイ/銀メッキ製のリー
ドフレームと実施例1乃至6及び比較例とを用いてトラ
ンスファー成形により性能評価用の16DIPパッケー
ジを形成した。トランスファー成形は16DIP金型を
用い、金型温度150℃、注入時間35秒、加圧保持時
間150秒の条件で行った。また、この成形後に150
℃、2時間の条件で成形品をアフターキュアした。
【0037】そして、各実施例及び比較例において、1
0個の16DIPパッケージを121℃、100%RH
の条件下で50時間PCT試験を行い、耐湿信頼性を評
価した。この試験において、オープン不良率が0%のも
のには○を、オープン不良率が5%未満のものには△
を、オープン不良率が5%以上のものには×をそれぞれ
付した。
【0038】(成形性評価)光ピックアップ金型を用い
て金型温度150℃にて実施例1乃至6及び比較例をト
ランスファー成形し、成形品の外観を目視にて観察して
ボイドの発生率を評価した。そして、ボイドの発生率
(不良率)が50ppm以下の場合は○を、ボイドの発
生率が100ppm未満の場合は△を、ボイドの発生率
が100ppm以上の場合は×をそれぞれ付した。
【0039】上記評価の結果を表1に示す。
【0040】
【表1】
【0041】表1から明らかなように、実施例1乃至6
ではボイドの発生率が高くならず、耐湿信頼性が低下せ
ずに光透過性を高くすることができたが、比較例では光
透過性が高くなるもののボイドの発生率が高く成形性が
低下した。
【0042】
【発明の効果】上記のように本発明の請求項1の発明
は、A成分であるエポキシ樹脂、B成分である硬化剤、
C成分である硬化促進剤、D成分である離型剤、E成分
である上記一般式(1)で示す化合物を含有するので、
基本性能となる優れた透明性を維持した上でボイドの少
ない優れた成形性を有するものである。
【0043】また本発明の請求項2の発明は、E成分の
含有量がA成分とB成分の総量に対して0.01〜0.
1phrであるので、エポキシ樹脂と硬化剤の反応を十
分に促進させることができると共にエポキシ樹脂と硬化
剤の反応が進みすぎないようにすることができ、成形サ
イクルの悪化、ボイドの発生、未充填部分の発生などの
生産性の悪化が生じないようにすることができるもので
ある。
【0044】また本発明の請求項3の発明は、E成分と
して上記(2)で示す化合物を用いるので、構成単位を
よりコンパクトにすることができ、反応性を高くするこ
とができるものである。
【0045】また本発明の請求項4の発明は、A成分と
B成分とE成分とをプレ反応させるので、成形後にA成
分とB成分との硬化不足を防止することができ、成形品
の強度低下や耐クラック性低下を防止することができる
ものである。
【0046】また本発明の請求項5の発明は、請求項4
のプレ反応において、B成分/A成分の当量比が0.0
1〜0.2であるので、プレ反応中にゲル化を起こりに
くくすることができ、ボイドの発生や未充填部分の発生
などの成形性の悪化を引き起こしにくくすることができ
るものである。
【0047】また本発明の請求項6の発明は、請求項4
のプレ反応において、A成分/B成分の当量比が0.0
1〜0.2であるので、プレ反応中にゲル化を起こりに
くくすることができ、ボイドの発生や未充填部分の発生
などの成形性の悪化を引き起こしにくくすることができ
るものである。
【0048】本発明の請求項7の発明は、請求項1乃至
6のいずれかに記載の光半導体用エポキシ樹脂組成物に
より封止するので、透明性に優れてボイドの少ない封止
樹脂を形成することができ、動作不良が少なくて耐久性
を高くすることができるものである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 31/02 H01L 23/30 F 33/00 31/02 B (72)発明者 櫛田 孝則 大阪府門真市大字門真1048番地松下電工株 式会社内 Fターム(参考) 4J002 CD001 EP006 FD147 FD158 FD166 GQ05 4J036 AA01 DA04 DB15 DC01 DD07 FA12 FB07 FB15 GA02 HA13 JA07 4M109 AA01 CA01 CA04 EA02 EB02 EB04 EB09 EC20 GA01 5F041 DA44 5F088 JA06

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 以下のA〜E成分を含有して成ることを
    特徴とする光半導体用エポキシ樹脂組成物。 A成分:エポキシ樹脂 B成分:硬化剤 C成分:硬化促進剤 D成分:離型剤 E成分:下記一般式(1)で示す化合物 【化1】
  2. 【請求項2】 E成分の含有量がA成分とB成分の総量
    に対して0.01〜0.1phrであることを特徴とす
    る請求項1に記載の光半導体用エポキシ樹脂組成物。
  3. 【請求項3】 E成分として下記(2)で示す化合物を
    用いて成ることを特徴とする請求項1又は2に記載の光
    半導体用エポキシ樹脂組成物。 【化2】
  4. 【請求項4】 A成分とB成分とE成分とをプレ反応さ
    せることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載
    の光半導体用エポキシ樹脂組成物。
  5. 【請求項5】 請求項4のプレ反応において、B成分/
    A成分の当量比が0.01〜0.2であることを特徴と
    する光半導体用エポキシ樹脂組成物。
  6. 【請求項6】 請求項4のプレ反応において、A成分/
    B成分の当量比が0.01〜0.2であることを特徴と
    する光半導体用エポキシ樹脂組成物。
  7. 【請求項7】 請求項1乃至6のいずれかに記載の光半
    導体用エポキシ樹脂組成物により封止して成ることを特
    徴とする光半導体装置。
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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