JP2002029446A - 横行システムを持った作業車両 - Google Patents

横行システムを持った作業車両

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JP2002029446A
JP2002029446A JP2000213581A JP2000213581A JP2002029446A JP 2002029446 A JP2002029446 A JP 2002029446A JP 2000213581 A JP2000213581 A JP 2000213581A JP 2000213581 A JP2000213581 A JP 2000213581A JP 2002029446 A JP2002029446 A JP 2002029446A
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vehicle
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Tsutomu Ueda
勉 上田
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TCM Corp
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 駆動式の前車輪を真横に向くように操舵で
き、前車輪に連動する走行駆動装置の部分をコンパクト
に構成した横行システムを持った作業車両を提供する。 【解決手段】 車体2に、左右一対の前車輪3と左右一
対の後車輪4を、それぞれ90度状に換向可能に設け
た。前車輪3は、それぞれ車体2側に対して縦軸心23
の周りに回動自在に設けた旋回部材22に取り付け、旋
回部材22の回動を行わせる回動装置41を設けた。前
車輪3を、それぞれ前車輪3の旋回範囲3a内に納めた
走行駆動装置30に連動したことで、全体をコンパクト
に構成できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、横行走行に切り換
え得る横行システムを持った作業車両に関するものであ
る。
【0002】
【従来の技術】従来、横行システムを持った車両として
は、大型の運搬車、一部のローダなどに見られ、フォー
クリフトにおいてはリーチ式電気車に存在する。また、
車両の動きに対してマストやフォークが横向きに取り付
けられ、長尺物を扱うサイドフォークリフトはある。し
かし、カウンタータイプのフォークリフトにおいては、
通常の作業に加えて、横行することが可能でサイドフォ
ークと同様の機能を持つものは存在しない。このような
フォークリフトを成立させるためには、駆動輪である前
車輪を真横に向くように操舵しなければならない。
【0003】すなわち、図11で示される従来のフォー
クリフト1は、その車体2の前部に左右一対の前車輪
(駆動輪)3が設けられるとともに、後部に左右一対の
後車輪4が設けられ、そして車体2の前部で上方には運
転席5が設けられる。前記車体2の前端部には上下方向
で伸縮自在なマスト6が、車幅方向の連結軸7を介して
前後方向に回動自在に取り付けられるとともに、前後回
動を行わせるティルトシリンダー8が、車体2とマスト
6との間に設けられる。
【0004】前記マスト6は、フォークリフト1側の左
右一対の外枠9と、この外枠9に案内されて昇降自在な
左右一対の内枠10とからなり、そして外枠9と内枠1
0との間にリフトシリンダー11が設けられる。また内
枠10側に案内されて昇降自在なリフトブラケット12
が設けられるとともに、このリフトブラケット12に上
下一対のフィンガーバを介して、左右一対のフォーク1
3が設けられる。
【0005】前記運転席5には、座席15や、この座席
15の前方に位置されるハンドル16などが配設され、
そして上方には、本体2側から立設されたフロントパイ
プ17やリヤパイプ18を介してヘッドガード19が配
設される。さらに座席15の後方で本体2上にはカウン
ターウエイト20が設けられる。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記した従来
のフォークリフト1では、左右の前車輪3が共通の走行
駆動装置により駆動されていることから、これら前車輪
3を真横に向くように操舵することはできず、以て横行
走行は行えない。
【0007】そこで本発明の請求項1記載の発明は、駆
動式の前車輪を真横に向くように操舵し得、しかも前車
輪に連動される走行駆動装置の部分をコンパクトに構成
し得る横行システムを持った作業車両を提供することを
目的としたものである。
【0008】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明の請求項1記載の横行システムを持った
作業車両は、車体に、左右一対の前車輪と左右一対の後
車輪が、それぞれ90度状に換向可能に設けられ、左右
一対の前車輪は、それぞれ車体側に対して縦軸心の周り
に回動自在に設けられた旋回部材に取り付けられるとと
もに、旋回部材の回動を行わせる回動装置が設けられ、
左右一対の前車輪は、それぞれ前車輪の旋回範囲内に納
められた走行駆動装置に連動されていることを特徴とし
たものである。
【0009】したがって請求項1の発明によると、通常
走行時には、左右の前車輪ならびに左右の後車輪は前後
方向に向いている。そして通常走行時から横行走行へと
切り換えるとき、まず回動装置を作動させて、旋回部材
を縦軸心の周りに回動させ、前車輪を車体に対して90
度状に換向(真横状に換向)させる。このようにして前
車輪を真横状に換向したのち、走行駆動装置により前車
輪を正逆に駆動させることで、作業車両を左右で横行走
行させ得る。このとき後車輪は、旋回キャスタ形式によ
る追従換向、または前車輪と同様に強制的に換向し得
る。その際に、左右一対の前車輪に連動している走行駆
動装置が、それぞれ前車輪の旋回範囲内に納まっている
ことで、全体をコンパクト化し得る。
【0010】また本発明の請求項2記載の横行システム
を持った作業車両は、上記した請求項1記載の構成にお
いて、左右一対の前車輪は、それぞれ旋回部材に横方向
の車輪軸を介して取り付けられ、前記車体側には、その
駆動軸が縦軸心の部分に下向きに位置される状態で走行
駆動装置が設けられ、前記旋回部材側には、駆動軸を車
輪軸に連動させる回転伝達手段が設けられていることを
特徴としたものである。
【0011】したがって請求項2の発明によると、走行
駆動装置における駆動軸の回転を、回転伝達手段を介し
て車輪軸に伝達し得る。その際に、本体に固定した走行
駆動装置への動力源供給部品の配設を、旋回部材側とは
関係なく行える。
【0012】そして本発明の請求項3記載の横行システ
ムを持った作業車両は、上記した請求項1記載の構成に
おいて、走行駆動装置は、左右一対の旋回部材にそれぞ
れ取り付けられるとともに、その横向きの駆動軸にそれ
ぞれ前車輪が連動連結されていることを特徴としたもの
である。
【0013】したがって請求項3の発明によると、走行
駆動装置における駆動軸の回転を前車輪に伝達し得る。
さらに本発明の請求項4記載の横行システムを持った作
業車両は、上記した請求項1〜3のいずれかに記載の構
成において、車体の前端側にはマストが設けられるとと
もに、このマスト側にはフォークが設けられていること
を特徴としたものである。
【0014】したがって請求項4の発明によると、リフ
ト用レバーを操作することで、フォークをマストに沿っ
て昇降動させ得、以て所期のフォーク作業を行える。
【0015】
【発明の実施の形態】以下に、本発明の第1の実施の形
態を図1〜図6に基づいて説明する。なお、第1の実施
の形態において、前述した従来例(図11)と同一の構
成物またはほぼ同一の構成物については、同一の符号を
付して詳細は省略する。すなわち、1は作業車両の一例
であるフォークリフト、2は車体、3は前車輪(駆動
輪)、4は後車輪(換向輪)、5は運転席、6はマス
ト、7は連結軸、8はティルトシリンダー、9は外枠、
10は内枠、11はリフトシリンダー、12はリフトブ
ラケット、13はフォーク、15は座席、16はハンド
ル、17はフロントパイプ、18はリヤパイプ、19は
ヘッドガード、20はカウンターウエイトをそれぞれ示
す。
【0016】左右一対の前車輪3は、それぞれ車体2に
対して90度状に換向可能(真横状に換向可能)に設け
られている。すなわち、車体2側には上下方向の筒部材
21が固定され、この筒部材21に対して(車体2側に
対して)旋回部材22が、縦軸心23の周りに回動自在
に設けられている。
【0017】ここで旋回部材22は、逆T字状でかつケ
ース状の上位旋回部22Aと、C字状でかつケース状の
下位旋回部22Bとからなり、上位旋回部22Aの下部
に下位旋回部22Bの上部が連結されて一体化されてい
る。そして上位旋回部22Aの上部が筒部材21内に挿
入されて軸受手段24により支持案内されることで、旋
回部材22は縦方向の縦軸心23の周りに回動自在に構
成される。
【0018】前記下位旋回部22Bの下端部分には、横
方向の車輪軸25が軸受手段26を介して回動自在に取
り付けられている。左右一対の前車輪3は、そのリム3
Aがそれぞれ車輪軸25の外端に連結具27を介して取
り付けられることで、旋回部材22とともに縦軸心23
の周りに回動自在に設けられている。その際に、縦軸心
23のほぼ真下部分に前車輪3が位置するように構成さ
れている。
【0019】左右一対の前車輪3は、それぞれ前車輪3
の旋回範囲3a内に納められた走行駆動装置に連動され
ている。すなわち、前記筒部材21の上部には(車体2
側には)、その駆動軸31が縦軸心23の部分に下向き
に位置される状態で、電動モータ(走行駆動装置の一
例)30が設けられている。そして前記旋回部材22側
には、駆動軸31を車輪軸25に連動させる回転伝達手
段32が設けられている。
【0020】この回転伝達手段32は、上位旋回部22
A内でかつ縦軸心23上に位置される上位回転軸33
と、この上位回転軸33の上端部分を駆動軸31に連動
させる連動部材34と、この連動部材34の部分に設け
られたブレーキ装置35と、下位旋回部22B内に回転
自在に設けられた縦方向の下位回転軸36と、上位回転
軸33の下端を下位回転軸36の上端に連動させる減速
歯車装置37と、下位回転軸36の下端を車輪軸25の
内端に連動させるベベル歯車装置38などにより、その
一例が構成されている。
【0021】前記車体2側には、前記旋回部材22の回
動を行わせる回動装置が設けられている。すなわち、左
右の旋回部材22はリンク40などにより連結されてお
り、そして共通の旋回シリンダー(回動装置の一例)4
1によって回動が行われ、以て左右の前車輪3は互いに
逆方向に換向して真横状に向くように構成されている。
【0022】前記車体2側にはバッテリ45が搭載され
るとともに、このバッテリ45にはコントローラ46が
付設されている。そして、コントローラ46からのケー
ブル(動力源供給部品)47が、前記電動モータ30に
それぞれ接続されている。その際にケーブル47は、旋
回部材22側とは関係なく、したがって簡素に効率的に
配設し得る。
【0023】左右一対の後車輪4は、それぞれ車体2に
対して90度状に換向可能(真横状に換向可能)に設け
られている。すなわち、左右一対の後車輪4のリム4A
は、それぞれ逆L字状の旋回部材50における縦板部分
に遊転自在に取り付けられ、また旋回部材50における
横板部分は、軸受51と縦軸52とを介して、車体2側
に対して縦軸心53の周りに回動自在に設けられてい
る。その際に縦軸心53のほぼ真下部分に後車輪4が位
置するように構成されている。これにより左右一対の後
車輪4は、追従換向されるように構成されている。
【0024】以下に、上記した第1の実施の形態におけ
る作用を説明する。図1や図2の実線、ならびに図3〜
図5は通常走行時を示している。このとき左右の前車輪
3ならびに左右の後車輪4は前後方向に向いている。こ
のようなフォークリフト1は、運転席5の座席15に座
った作業者がハンドル16を操縦することで、走行動し
得る。
【0025】すなわち、バッテリ45の電力を、コント
ローラ46により制御したのちケーブル47を介して電
動モータ30にそれぞれ供給して、この電動モータ30
を駆動することで、回転伝達手段32などを介して前車
輪3を正逆に駆動させ、以てフォークリフト1を前後で
走行動し得る。
【0026】その際に電動モータ30における駆動軸3
1の回転を、連動部材34、上位回転軸33、減速歯車
装置37、下位回転軸36、ベベル歯車装置38、車輪
軸25を介して前車輪3に伝達し得る。なお、ブレーキ
装置35を作動させることで、適宜に停止し得る。
【0027】そしてリフト用レバーを操作してリフトシ
リンダー11を作動させることで、リフトブラケット1
2などを介して、フォーク13をマスト6に沿って昇降
動させ得、以て所期のフォーク作業を行える。またティ
ルト用レバーを操作しティルトシリンダー8を作動させ
ることで、マスト6を連結軸7の周りで回動(傾倒)さ
せ得、以てリフトブラケット12などを介してフォーク
13の姿勢を変化させ得る。
【0028】このような通常走行時から横行走行へと切
り換えるとき、まずレバー式の横行モードスイッチ(図
示せず)を操作し、レバーを傾けることにより旋回シリ
ンダー41を作動させ、リンク40を介して旋回部材2
2を縦軸心23の周りに回動させ、以て図1や図2の仮
想線、ならびに図6に示すように、前車輪3を車体2に
対して90度状に換向(真横状に換向)させる。
【0029】このとき、電動モータ30は車体2側に設
けられており、そして電動モータ30をフリーとしかつ
ブレーキ装置35を開放動させておくことで、旋回部材
22を介しての前車輪3の90度状の換向は軽く容易に
しかもスムーズに行える。さらに縦軸心23のほぼ真下
部分に前車輪3が位置されていることから、前車輪3な
どはコンパクトにして90度状の換向が行えることにな
る。
【0030】このようにして前車輪3の換向を行ったこ
と、すなわち前車輪3が真横状に換向したことをセンサ
ーで感知して、インジケータランプを点灯させ、これに
より横行モードが可能になる。
【0031】したがってフォークリフト1は、運転席5
の座席15に座った作業者がハンドル16を操縦するこ
とで、前述と同様にして、バッテリ45の電力を、コン
トローラ46により制御したのちケーブル47を介して
電動モータ30にそれぞれ供給して、電動モータ30を
駆動させることで、回転伝達手段32などを介して前車
輪3を正逆に駆動させ、以てフォークリフト1を左右で
横行走行させ得る。その際に、左右一対の後車輪4は追
従回転される。
【0032】このようにして横行走行を行えることで、
たとえば長尺物の搬送を、フォーク13を介して容易に
行える。なお、横行走行における直進性の補正は、レバ
ーを前後に傾けて旋回シリンダー41を微作動させ、前
車輪3の角度を微調整することで容易に行える。
【0033】上述した第1の実施の形態によると、左右
一対の前車輪3が、それぞれ前車輪3の旋回範囲3a内
に納められた縦向きの電動モータ30に連動されている
ことで、全体をコンパクト化し得るとともに、本体2に
固定される電動モータ30へのケーブル47の配設は、
旋回部材22側とは関係なく行え、したがって簡素に効
率的に配設し得る。
【0034】次に、本発明の第2の実施の形態を図7〜
図10に基づいて説明する。なお、第2の実施の形態に
おいて、前述した第1の実施の形態(図1〜図6)と同
一の構成物またはほぼ同一の構成物については、同一の
符号を付して詳細は省略する。
【0035】左右一対の前車輪3は、それぞれ前車輪3
の旋回範囲3a内に納められた走行駆動装置に連動され
ている。すなわち左右一対の前車輪3は、そのリム3A
がそれぞれ油圧モータ(走行駆動装置の一例)61にお
ける横向きの回転フランジ(駆動軸の一例)62に連結
具63を介して直接に取り付けられることで、油圧モー
タ61側に連動連結されている。ここで油圧モータ61
は、旋回範囲3a内に納められる大きさに形成されてい
る。
【0036】そして、油圧モータ61のマウントは、逆
L字状の旋回部材64における縦板部分に横向きで取り
付けられ、また旋回部材64における横板部分は、軸受
装置65と縦軸66とを介して、車体2側に対して縦軸
心67の周りに回動自在に設けられている。その際に縦
軸心67のほぼ真下部分に前車輪3が位置するように構
成されている。
【0037】左右の旋回部材64はリンク40などによ
り連結されており、そして共通の旋回シリンダー(回動
装置)41によって回動が行われ、以て左右の前車輪3
は互いに逆方向に換向して真横状に向くように構成され
ている。
【0038】前記車体2側にはエンジン70が設けられ
るとともに、このエンジン70により駆動される一対の
油圧ポンプ71が設けられている。そして、一個の油圧
モータ61にそれぞれ油圧ポンプ71が対応されるよう
に、すなわち、2ポンプ2モータタイプの油圧駆動シス
テム(HSTシステム)になるように、対応する油圧ポ
ンプ71と油圧モータ61とが配管(油圧ホースなど)
72を介して連通されている。
【0039】以下に、上記した第2の実施の形態におけ
る作用を説明する。図7、図8、ならびに図9は通常走
行時を示している。このとき左右の前車輪3ならびに左
右の後車輪4は前後方向に向いている。したがってエン
ジン70により駆動されている一対の油圧ポンプ71か
らの油圧を、運転席5における正逆制御により、対応し
た油圧モータ61に配管72を介して供給することで、
前車輪3を正逆に駆動させ、以てフォークリフト1を前
後で走行動し得る。
【0040】このような通常走行時から横行走行へと切
り換えるとき、図10に示すように、前車輪3を車体2
に対して90度状に換向(真横状に換向)させる。ここ
で前車輪3は、それぞれ油圧モータ61と一体であるこ
とから、その90度状の換向は容易にスムーズに行え、
さらに縦軸心67が前車輪3のほぼ真上部分に位置され
ることから、前車輪3などはコンパクトにして90度状
の換向が行えることになる。
【0041】このようにして前車輪3の換向を行ったこ
とをセンサーで感知して、インジケータランプを点灯さ
せ、これにより横行モードが可能になる。したがって油
圧ポンプ71からの油圧を、対応した油圧モータ61に
配管72を介して供給することで、前車輪3を正逆に駆
動させ、以てフォークリフト1を左右で横行走行させ得
る。その際に、旋回キャスタ形式である左右一対の後車
輪4は追従換向される。
【0042】上述した第2の実施の形態によると、左右
一対の前車輪3が、それぞれ前車輪3の旋回範囲3a内
に納められた横向きの油圧モータ61に連動されている
ことで、全体をコンパクト化し得る。またフォークリフ
ト1の駆動形式として、2ポンプ2モータタイプの油圧
駆動システムを採用していることで、前述した通常走行
時における旋回は、前車輪3の回転方向、回転数差をハ
ンドルホイールして行うが、横行走行を行うときには旋
回システムを電気的にストップさせる。
【0043】上記した両実施の形態では、作業車両とし
てカウンタータイプのフォークリフト1が示されている
が、作業車両としては、大型の運搬車、ローダ、サイド
フォークリフトなどであっても同様に作用し得るもので
ある。
【0044】上記した第1実施の形態では、左右一対の
前車輪3が、それぞれ前車輪3の旋回範囲3a内に納め
られた縦向きの電動モータ30に連動されているが、走
行駆動装置としては油圧モータを採用してもよい。この
場合にも、全体をコンパクト化し得るとともに、本体2
に固定される油圧モータへの配管(動力源供給部品)
は、旋回部材22側とは関係なく行え、したがって簡素
に効率的に配管し得る。
【0045】上記した第2実施の形態では、左右一対の
前車輪3が、それぞれ前車輪3の旋回範囲3a内に納め
られた油圧モータ61に連動されているが、走行駆動装
置としては電動モータを採用してもよい。
【0046】上記した両実施の形態では、左右一対の後
車輪4として、追従換向される旋回キャスタ形式が採用
されているが、これは前車輪3と同様にして、シリンダ
ーなどにより強制的に換向される形式を採用してもよ
い。また、左右一対の後車輪4のうち、一方の後車輪4
をハンドルホイールによるステア形式、他方の後車輪4
を旋回キャスタ形式としてもよく、この場合、横行走行
に切り換える際、一方の後車輪4を、シリンダーなどに
より強制的に換向させる。
【0047】
【発明の効果】上記した本発明の請求項1によると、左
右の前車輪ならびに左右の後車輪が前後方向に向いてい
る通常走行時から横行走行へと切り換えるとき、まず回
動装置を作動させて、旋回部材を縦軸心の周りに回動さ
せ、前車輪を車体に対して90度状に換向(真横状に換
向)できる。このようにして前車輪を真横状に換向した
のち、走行駆動装置により前車輪を正逆に駆動させるこ
とで、作業車両を左右で横行走行でき、このとき後車輪
は、旋回キャスタ形式による追従換向、または前車輪と
同様に強制的に換向できる。その際に、左右一対の前車
輪に連動している走行駆動装置を、それぞれ前車輪の旋
回範囲内に納めていることで、全体をコンパクトに構成
できる。
【0048】また上記した本発明の請求項2によると、
走行駆動装置における駆動軸の回転を、回転伝達手段を
介して車輪軸に伝達できる。その際に、本体に固定した
走行駆動装置への動力源供給部品の配設を、旋回部材側
とは関係なく行うことができ、したがって簡素に効率的
に配設できる。
【0049】そして上記した本発明の請求項3による
と、走行駆動装置における駆動軸の回転を前車輪に伝達
でき、ここで前車輪は、それぞれ走行駆動装置と一体で
あることから、その90度状の換向は容易にスムーズに
行うことができる。
【0050】さらに上記した本発明の請求項4による
と、通常走行時には、左右の前車輪ならびに左右の後車
輪は前後方向に向いており、そしてリフト用レバーを操
作することで、フォークをマストに沿って昇降動させて
所期のフォーク作業を行うことができる。このように通
常のフォーク作業が可能な形式でありながら、駆動式の
前車輪を真横状に向くように操舵して横行走行を行うこ
とができ、たとえば長尺物の搬送を、フォークを介して
容易に行うことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態を示し、横行システ
ムを持った作業車両の通常走行時の側面図である。
【図2】同横行システムを持った作業車両の前車輪部分
の一部切り欠き正面図である。
【図3】同横行システムを持った作業車両の前車輪部分
の一部切り欠き側面図である。
【図4】同横行システムを持った作業車両の前車輪部分
の平面図である。
【図5】同横行システムを持った作業車両の通常走行時
の概略平面図である。
【図6】同横行システムを持った作業車両の横行走行時
の概略平面図である。
【図7】本発明の第2の実施の形態を示し、横行システ
ムを持った作業車両の前車輪部分の一部切り欠き正面図
である。
【図8】同横行システムを持った作業車両の前車輪部分
の平面図である。
【図9】同横行システムを持った作業車両の通常走行時
の概略平面図である。
【図10】同横行システムを持った作業車両の横行走行
時の概略平面図である。
【図11】従来例を示し、フォークリフトの側面図であ
る。
【符号の説明】
1 フォークリフト(作業車両) 2 車体 3 前車輪 3a 旋回範囲 4 後車輪 5 運転席 6 マスト 12 リフトブラケット 13 フォーク 15 座席 16 ハンドル 21 筒部材 22 旋回部材 23 縦軸心 25 車輪軸 30 電動モータ(走行駆動装置) 31 駆動軸 32 回転伝達手段 33 上位回転軸 34 連動部材 35 ブレーキ装置 36 下位回転軸 37 減速歯車装置 38 ベベル歯車装置 40 リンク 41 旋回シリンダー(回動装置) 45 バッテリ 46 コントローラ 47 ケーブル 50 旋回部材 53 縦軸心 61 油圧モータ(走行駆動装置) 62 回転フランジ(駆動軸) 64 旋回部材 67 縦軸心 70 エンジン 71 油圧ポンプ 72 配管

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 車体に、左右一対の前車輪と左右一対の
    後車輪が、それぞれ90度状に換向可能に設けられ、左
    右一対の前車輪は、それぞれ車体側に対して縦軸心の周
    りに回動自在に設けられた旋回部材に取り付けられると
    ともに、旋回部材の回動を行わせる回動装置が設けら
    れ、左右一対の前車輪は、それぞれ前車輪の旋回範囲内
    に納められた走行駆動装置に連動されていることを特徴
    とする横行システムを持った作業車両。
  2. 【請求項2】 左右一対の前車輪は、それぞれ旋回部材
    に横方向の車輪軸を介して取り付けられ、前記車体側に
    は、その駆動軸が縦軸心の部分に下向きに位置される状
    態で走行駆動装置が設けられ、前記旋回部材側には、駆
    動軸を車輪軸に連動させる回転伝達手段が設けられてい
    ることを特徴とする請求項1記載の横行システムを持っ
    た作業車両。
  3. 【請求項3】 走行駆動装置は、左右一対の旋回部材に
    それぞれ取り付けられるとともに、その横向きの駆動軸
    にそれぞれ前車輪が連動連結されていることを特徴とす
    る請求項1記載の横行システムを持った作業車両。
  4. 【請求項4】 車体の前端側にはマストが設けられると
    ともに、このマスト側にはフォークが設けられているこ
    とを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の横行シ
    ステムを持った作業車両。
JP2000213581A 2000-07-14 2000-07-14 横行システムを持った作業車両 Pending JP2002029446A (ja)

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EP01941075A EP1304279A1 (en) 2000-07-14 2001-06-15 Working vehicle with traversing system
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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TWI500792B (zh) * 2011-12-22 2015-09-21 Canon Anelva Corp Control apparatus and a film forming method of a sputtering apparatus, a sputtering apparatus

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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