JP2002029006A - Laminated structure, support fixture, tank, stirring container, and method for manufacturing laminated structure - Google Patents
Laminated structure, support fixture, tank, stirring container, and method for manufacturing laminated structureInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、強度、加工性、耐
食性、耐摩耗性、および耐久性に優れた積層構造体、そ
の積層構造体を備えた半導体ウエハ等の支持治具、腐食
性薬液のタンクおよび腐食性薬液の攪拌容器ならびに積
層構造体の製造方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laminated structure having excellent strength, workability, corrosion resistance, abrasion resistance, and durability, a support jig for a semiconductor wafer or the like provided with the laminated structure, and a corrosive chemical. And a method for producing a laminated structure.
【０００２】[0002]
【従来の技術】シリコン等の半導体ウエハは、パーティ
クル等の不純物の混入を極力避ける必要がある。このた
め、腐食性薬液等の各種処理時に使用されるウエハ支持
治具についても、パーティクルや不純物が付着しにくい
工夫が凝らされたウエハ支持治具が用いられる。従来、
用いられていたウエハ支持治具は、平行に配置された複
数の石英ガラス製の支持部に溝を切り、その複数の溝に
ウエハの端部をはさんで立てた状態で支持していた。こ
のような支持方法によれば、パーティクルが付着しにく
く、エッチング液等の薬液による溶出イオンの汚染がな
いウエハの保持ができる。2. Description of the Related Art It is necessary to minimize contamination of semiconductor wafers such as silicon with impurities such as particles. For this reason, a wafer support jig that is devised so that particles and impurities are hardly attached thereto is also used for a wafer support jig used in various processes such as a corrosive chemical solution. Conventionally,
The used wafer support jig cuts grooves in a plurality of quartz glass support portions arranged in parallel, and supports the plurality of grooves with the ends of the wafer sandwiched therebetween. According to such a supporting method, it is possible to hold the wafer without particles adhered thereto and without contamination of eluted ions by a chemical solution such as an etching solution.
【０００３】しかしながら、石英ガラス製のウエハ支持
治具の場合、石英ガラス製の支持部に切られた溝にウエ
ハが軽く当る程度で、双方いずれかがわずかに欠けて微
量のパーティクルが飛散する状態が発生する。また、薬
液により、石英ガラスがわずかながらエッチングされる
場合があり、溝の精度が低下して、ウエハ支持治具の耐
久性が劣化する場合があった。このため、上記のような
石英ガラス製の部材に溝加工を施した後、フッ素樹脂コ
ーティングを施したウエハ支持治具が用いられる傾向に
ある。この場合、溝にはフッ素樹脂コーティングが施さ
れているので、上記のように、ウエハに傷がついたり、
パーティクルが発生したりすることがなくなる。However, in the case of a wafer support jig made of quartz glass, the wafer is lightly hitting a groove cut in a support portion made of quartz glass, and either of them is slightly chipped and a small amount of particles are scattered. Occurs. Further, the quartz glass may be slightly etched by the chemical solution, and the accuracy of the groove may be reduced, and the durability of the wafer supporting jig may be deteriorated. For this reason, there is a tendency to use a wafer support jig in which a groove is formed on the above quartz glass member and then a fluororesin coating is applied. In this case, since the groove is coated with a fluororesin, the wafer may be damaged,
No particles are generated.
【０００４】また、溝が設けられたフッ素樹脂成形体を
ピーク(PEEK:Poly-Ether-Ether-Kethon)製等のボルトで
本体に固定する構造が考案された。このウエハ支持治具
では、ウエハが接触する部分はフッ素樹脂成形品に加工
された溝なので、パーティクル等によってウエハが汚染
されることがなくなる。Further, a structure has been devised in which a fluororesin molded body provided with a groove is fixed to a main body with bolts made of PEEK (Poly-Ether-Ether-Kethon) or the like. In this wafer support jig, the portion in contact with the wafer is a groove formed in a fluororesin molded product, so that the wafer is not contaminated by particles or the like.
【０００５】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
フッ素樹脂成形品は柔らかいので簡単に変形が生じてし
まう。また、本体にねじ止めしているＰＥＥＫ製のねじ
は、エッチング液等によって腐食される。また、長期間
の使用で、フッ素樹脂成形体の本体へのねじ止めにガタ
が生じるようになる。このため、位置が正確に対応して
いるはずの溝が外れたり、溝どうしがずれてしまい、ウ
エハの保持に問題を生じてしまう。また、ウエハに付着
した薬液が、フッ素樹脂成形体と本体との間の隙間に浸
入して、そのまま残ってしまうという問題も生じた。こ
れを防止するために、接着剤を用いてフッ素樹脂成形体
を本体に固定することが考えられる。しかしながら、接
着剤は長期間の使用により接着力が低下し、かつ接着剤
からウエハ等にとって好ましくない不純物が出る。上記
の接合の問題を解決する手段として、単一のフッ素樹脂
成形体から押出し成形等によってウエハ支持治具全体を
製造する方法が考えられる。しかしながら、フッ素樹脂
成形体のみでは強度が不足し、変形等が生じるため、耐
久性のあるウエハ支持治具を得ることができない。ま
た、金型のコストが製造コストを押し上げ、安価なウエ
ハ支持治具とすることができない。However, the above-mentioned fluororesin molded product is soft and easily deformed. Further, the PEEK screw screwed to the main body is corroded by an etching solution or the like. In addition, with use for a long period of time, looseness occurs in screwing the fluororesin molded body to the main body. For this reason, the grooves whose positions should accurately correspond to each other come off, or the grooves shift, which causes a problem in holding the wafer. In addition, there is also a problem that the chemical solution attached to the wafer enters the gap between the fluororesin molded body and the main body and remains as it is. In order to prevent this, it is conceivable to fix the fluororesin molded body to the main body using an adhesive. However, the adhesive has a reduced adhesive strength due to long-term use, and undesired impurities come out of the adhesive for wafers and the like. As a means for solving the above-mentioned bonding problem, a method of manufacturing the entire wafer support jig by extrusion molding or the like from a single fluororesin molded body is considered. However, the strength of the fluororesin molded article alone is insufficient, and deformation or the like occurs, so that a durable wafer support jig cannot be obtained. In addition, the cost of the mold increases the manufacturing cost, so that an inexpensive wafer support jig cannot be provided.
【０００６】なお、従来のように、溝を掘った石英ガラ
スにフッ素樹脂コーティングを施したウエハ支持治具
は、省スペースをはかるために溝ピッチを密にする場
合、溝壁から溝底にいたるまで溝に沿って均一な厚さの
フッ素樹脂コーティングを施すことが困難になる。ま
た、ウエハ径の増大に比例して増大するウエハ上端部の
ふらつき範囲を所定範囲内に抑制するために、溝加工精
度を向上しようとしても、上記厚さの不均一のために目
標を達成できない。すなわち、粗加工された溝に厚くフ
ッ素樹脂をコーティングして、その後、精度よくフッ素
樹脂コーティング部分を機械加工しようとしても、部分
的に厚くフッ素樹脂コーティングを形成することができ
ない。このため、フッ素樹脂コーティングの後に機械加
工をすると母材が露出する部分を生じてしまい、目的を
達成することができない。[0006] As in the prior art, a wafer supporting jig in which a grooved quartz glass is coated with a fluororesin, when the groove pitch is made dense to save space, goes from the groove wall to the groove bottom. It is difficult to apply a uniform thickness of the fluororesin coating along the groove. Further, in order to suppress the fluctuation range of the upper end portion of the wafer, which increases in proportion to the increase of the wafer diameter, within a predetermined range, even if an attempt is made to improve the groove processing accuracy, the target cannot be achieved due to the unevenness of the thickness. . That is, even if the groove which has been roughly processed is coated with the fluororesin thickly and then the fluororesin coated portion is machined with high accuracy, the fluororesin coating cannot be formed partially thick. For this reason, if machining is performed after the fluororesin coating, a portion where the base material is exposed occurs, and the object cannot be achieved.
【０００７】このため、半導体装置製造の業界から、強
度、加工性、耐食性、耐摩耗性、および耐久性に優れた
半導体ウエハ支持治具の開発が強く要望されるようにな
った。For this reason, there has been a strong demand from the semiconductor device manufacturing industry for the development of a semiconductor wafer support jig having excellent strength, workability, corrosion resistance, abrasion resistance, and durability.
【０００８】また、類似した問題として、腐食性薬液を
貯蔵するタンクの蓋と本体との突き合わせフランジ部に
設けるＯリング溝の問題がある。内面コーティングのみ
では、Ｏリング溝を形成するために必要なフッ素樹脂厚
さを得ることはできず、腐食問題に対処することができ
ない。そこで、化学工業分野から、高信頼のシールがで
きる適切なタンクの開発が望まれてきた。A similar problem is that of an O-ring groove provided in a flange portion where a lid of a tank storing a corrosive chemical solution and a main body abut against each other. With only the inner surface coating, the fluororesin thickness required for forming the O-ring groove cannot be obtained, and the corrosion problem cannot be dealt with. Therefore, the development of an appropriate tank capable of providing a highly reliable seal has been desired from the chemical industry field.
【０００９】また、腐食性薬液の攪拌容器においては、
攪拌翼に近い攪拌容器内面に摩耗が生じる問題がある。
この摩耗においては、フッ素樹脂コーティングが摩耗に
よって消失して、母材が露出して腐食が激しく生じてし
まう。このため、攪拌容器の摩耗に対処しうる、適切な
攪拌容器の開発が要望されるようになってきた。[0009] In a stirring vessel for a corrosive chemical solution,
There is a problem that abrasion occurs on the inner surface of the stirring vessel close to the stirring blade.
In this abrasion, the fluororesin coating disappears due to the abrasion, the base material is exposed, and severe corrosion occurs. For this reason, the development of a suitable stirring vessel capable of coping with the wear of the stirring vessel has been demanded.
【００１０】そこで、本発明の第一の目的は、パーティ
クルや薬液の汚染を受けることがなく、かつ強度、加工
性、耐食性および耐久性に優れた積層構造体、その積層
構造体の製造方法およびその積層構造体を備える支持治
具を提供することにある。Accordingly, a first object of the present invention is to provide a laminated structure which is not contaminated by particles or chemicals and which is excellent in strength, workability, corrosion resistance and durability, a method for producing the laminated structure, and An object of the present invention is to provide a support jig including the laminated structure.
【００１１】また、本発明の第二の目的は、タンク部材
をタンク本体に取り付ける構造であって、上記特性を有
する積層構造体を有するタンクを提供することにある。
さらに、本発明の第三の目的は、上記特性を有する積層
構造体を有する攪拌容器を提供することにある。It is a second object of the present invention to provide a tank having a structure in which a tank member is attached to a tank body and having a laminated structure having the above characteristics.
Further, a third object of the present invention is to provide a stirring vessel having a laminated structure having the above characteristics.
【００１２】[0012]
【課題を解決するための手段】本発明の積層構造体は、
母材と、母材に施されたフッ素樹脂コーティングと、フ
ッ素樹脂コーティング上に融着によって固定されたフッ
素樹脂成形体とを備える（請求項１）。The laminated structure of the present invention comprises:
It comprises a base material, a fluororesin coating applied to the base material, and a fluororesin molded body fixed on the fluororesin coating by fusion.
【００１３】フッ素樹脂コーティングは融着によって母
材に密着しているので、上記構成により、フッ素樹脂成
形体は、ＰＥＥＫ製のねじ等を用いることなく母材に固
定される。フッ素樹脂成形体は任意の厚さとすることが
でき、機械加工によって、簡単に、（ａ）半導体ウエハ
用の溝や、（ｂ）Ｏリング用の溝を形成することができ
る。これらの溝は高精度で形成することができ、しか
も、母材と溝との間に、腐食に関して弱点になる部分、
たとえば、ＰＥＥＫ製のねじ等を有しない。また、フッ
素樹脂コーティングとフッ素樹脂成形体とは融着されて
いるので、隙間がなく、ウエハに付着した薬液がこの隙
間に浸入してそのまま残ることがなくなる。このため、
この積層構造体は、腐食性薬液中においても耐食性に優
れ、したがって耐久性にも優れている。母材には、石英
ガラスや金属等、高強度で耐久性に優れた安価な材料を
用い、長期間にわたって耐久性を維持することができ
る。なお、フッ素樹脂成形体の形状は、板状でも、ブロ
ック状でもよい。Since the fluororesin coating adheres to the base material by fusion, the fluororesin molded body is fixed to the base material without using a PEEK screw or the like by the above configuration. The fluororesin molded body can have an arbitrary thickness, and (a) a groove for a semiconductor wafer and (b) a groove for an O-ring can be easily formed by machining. These grooves can be formed with high precision, and between the base material and the grooves, the parts that are weak points for corrosion,
For example, it does not have a PEEK screw or the like. Further, since the fluororesin coating and the fluororesin molded body are fused, there is no gap, so that the chemical solution attached to the wafer does not enter the gap and remain as it is. For this reason,
This laminated structure has excellent corrosion resistance even in a corrosive chemical solution, and therefore has excellent durability. As the base material, a high-strength and inexpensive material having excellent durability such as quartz glass or metal is used, and the durability can be maintained for a long period of time. In addition, the shape of the fluororesin molded body may be a plate shape or a block shape.
【００１４】また、このフッ素樹脂成形体に耐摩耗性に
優れたフッ素樹脂を用いることにより、耐摩耗の機能を
得ることができる。上記フッ素樹脂成形体の表面にさら
にフッ素樹脂をコーティングして耐摩耗性をいっそう向
上することも可能である。Further, by using a fluororesin having excellent abrasion resistance for the fluororesin molded body, a function of abrasion resistance can be obtained. It is also possible to further improve the wear resistance by further coating the surface of the fluororesin molded body with a fluororesin.
【００１５】上記本発明の積層構造体では、母材は表面
に凹凸を有し、フッ素樹脂成形体は嵌め合い部を有し、
凹凸に沿うフッ素樹脂コーティング上にその嵌め合い部
を嵌め合わされ融着によって固定されたフッ素樹脂成形
体とを備える（請求項２）。In the laminated structure of the present invention, the base material has irregularities on the surface, the fluororesin molded body has the fitting portion,
And a fluororesin molded body whose fitting portion is fitted onto the fluororesin coating along the irregularities and fixed by fusion.
【００１６】上記のようにフッ素樹脂成形体が嵌め合い
部を有し、嵌め合い後に融着することにより、高精度で
フッ素樹脂成形体を固定することができる。このため、
例えば、加工したフッ素樹脂成形体を固定しても十分な
精度を得ることが可能となる。As described above, the fluororesin molded body has the fitting portion and is fused after the fitting, so that the fluororesin molded body can be fixed with high accuracy. For this reason,
For example, sufficient accuracy can be obtained even if the processed fluororesin molded body is fixed.
【００１７】上記本発明の積層構造体では、フッ素樹脂
コーティングが主として溶融性フッ素樹脂からなり、フ
ッ素樹脂成形体が実質的に不溶融性のフッ素樹脂からな
る（請求項３）。具体的には、上記の各フッ素樹脂は、
例えば、フッ素樹脂コーティングがＰＦＡからなり、フ
ッ素樹脂成形体がＰＴＦＥからなることが望ましい（請
求項４）。In the laminated structure of the present invention, the fluororesin coating is mainly composed of a fusible fluororesin, and the fluororesin molded body is substantially composed of an infusible fluororesin (claim 3). Specifically, each of the above fluororesins is
For example, it is desirable that the fluororesin coating is made of PFA and the fluororesin molded body is made of PTFE (claim 4).
【００１８】溶融性フッ素樹脂（ＰＦＡ）は融点（３１
０℃程度）を超える温度に加熱されると溶融するので、
母材に対して塗装を行い、融点以上の温度に加熱するこ
とによりコーティングすることができる。この塗装は数
回にわたって行うことができ、厚さの調整が可能であ
る。融着によって、不溶融性のフッ素樹脂成形体（ＰＴ
ＦＥ）をフッ素樹脂コーティングの上に固定するには、
上記フッ素樹脂コーティングを行った後、両者を互いに
押し付け、フッ素樹脂成形体も含めて全体を不溶融性フ
ッ素樹脂の融点を超える温度、例えば３６５℃〜４２０
℃の範囲内に加熱する。不溶融性フッ素樹脂のＰＴＦＥ
は、融点以上に加熱されても、実質的に溶融状態になら
ない。このフッ素樹脂成形体は、３８０℃で粘度が１０
9ポイズ以上あることが望ましく、さらに望ましくは、
１０10〜１０11ポイズの範囲にあることが望ましい。３
６５℃〜４２０℃という温度は、溶融性フッ素樹脂の融
点を超える温度であるが、コーティングされた溶融性フ
ッ素樹脂は、粘着力が強いので流れることはない。上記
融着されたフッ素樹脂成形体ＰＴＦＥに対して、機械加
工によって溝等を付加することができる。この結果、加
工性が良好で、強度、耐久性、耐食性に優れた積層構造
体を得ることができる。Melting fluororesin (PFA) has a melting point (31).
(About 0 ° C.)
The base material can be coated by coating and heating to a temperature equal to or higher than the melting point. This coating can be performed several times, and the thickness can be adjusted. By fusion, an infusible fluororesin molding (PT
To fix FE) on the fluororesin coating,
After performing the above-mentioned fluororesin coating, both are pressed against each other, and the whole including the fluororesin molded body exceeds the melting point of the infusible fluororesin, for example, 365 ° C. to 420 °
Heat to within ° C. PTFE of non-melting fluororesin
Is not substantially in a molten state even when heated to a melting point or higher. This fluororesin molding has a viscosity of 10 at 380 ° C.
It is desirable that there be 9 poise or more, more desirably,
It is desirable to be in the range of 10 10 to 10 11 poise. 3
The temperature of 65 ° C. to 420 ° C. is a temperature exceeding the melting point of the fusible fluororesin, but the coated fusible fluororesin does not flow because of its strong adhesive force. Grooves and the like can be added to the fused fluororesin molded body PTFE by machining. As a result, a laminated structure having good workability and excellent strength, durability, and corrosion resistance can be obtained.
【００１９】上記本発明の積層構造体では、フッ素樹脂
成形体に機械加工によって作られた溝を有している（請
求項５）。In the laminated structure of the present invention, the fluororesin molded body has a groove formed by machining.
【００２０】このフッ素樹脂成形体にウエハ用の溝や、
Ｏリング溝を機械加工することにより、不純物を混入さ
せない、耐食性、耐久性、強度に優れたウエハ支持治
具、タンク部材等を得ることができる。A groove for a wafer,
By machining the O-ring groove, it is possible to obtain a wafer support jig, a tank member, and the like that do not mix impurities and have excellent corrosion resistance, durability, and strength.
【００２１】上記本発明の積層構造体を備える支持治具
では、母材が、半導体ウエハを支持する支持治具母材で
あり、フッ素樹脂成形体には、半導体ウエハを止める溝
が設けられている（請求項６）。In the supporting jig provided with the laminated structure of the present invention, the base material is a supporting jig base material for supporting the semiconductor wafer, and the fluororesin molded body is provided with a groove for stopping the semiconductor wafer. (Claim 6).
【００２２】上記のように、ウエハを止める溝ピッチが
たとえ狭くても、フッ素樹脂成形体の部分に、その溝を
精度よく加工することができる。また、母材との間にPE
EK製ねじ等の腐食に関して弱点となる箇所が生じない。
また、フッ素樹脂コーティングにフッ素樹脂成形体が融
着された場合には、隙間がないので、薬液が隙間に浸入
してそのまま残る状態を避けることができる。さらに、
接着剤を用いることなく、フッ素樹脂成形体をフッ素樹
脂コーティングに固定することができるので、不純物が
ウエハを汚染する可能性は小さい。母材には、石英ガラ
スや金属等の高強度で耐久性の高い、安価な材料を用い
ることができる。このため、パーティクルや薬液の汚染
を生じることがなく、ウエハ把持状態が良好な、高品質
の支持治具の状態を長期間にわたって維持することがで
きる。なお、上記ウエハ支持治具は、ウエハを支持する
ものならばすべて上記本発明のウエハ支持治具に該当す
る。上記凹凸にならった溝の形成に際しては、通常、フ
ッ素樹脂成形体に対して機械加工が必要であるが、機械
加工を行わない場合であっても、フッ素樹脂成形体の表
面に溝または凹凸があるかぎり、本発明のウエハ支持治
具に該当する。As described above, even if the pitch of the grooves for holding the wafer is narrow, the grooves can be accurately formed on the fluororesin molded body. Also, PE between the base material
No weak spots for corrosion such as EK screws.
Further, when the fluororesin molded body is fused to the fluororesin coating, there is no gap, so that it is possible to avoid a state where the chemical solution enters the gap and remains as it is. further,
Since the fluororesin molded body can be fixed to the fluororesin coating without using an adhesive, the possibility that impurities will contaminate the wafer is small. As the base material, a high-strength, highly durable, inexpensive material such as quartz glass or metal can be used. For this reason, the contamination of the particles and the chemical solution does not occur, and the state of the high-quality support jig in which the wafer gripping state is good and which can be maintained for a long period of time. Note that the wafer support jig corresponds to the wafer support jig of the present invention as long as it supports a wafer. When forming the grooves following the irregularities, usually, machining is required for the fluororesin molded body, but even when machining is not performed, grooves or irregularities are formed on the surface of the fluororesin molded body. As far as possible, it corresponds to the wafer support jig of the present invention.
【００２３】上記本発明の積層構造体を備えるタンクで
は、母材が腐食性薬液を格納するためのタンクの母材で
あり、フッ素樹脂コーティングがタンク母材の内面に施
されたフッ素樹脂コーティングであり、フッ素樹脂成形
体は、タンクのシール部に位置するフッ素樹脂コーティ
ング上に固定されたフッ素樹脂成形体である（請求項
７）。In the tank provided with the laminated structure of the present invention, the base material is a base material of the tank for storing the corrosive chemical, and the fluororesin coating is a fluororesin coating applied to the inner surface of the tank base material. In this case, the fluororesin molded body is a fluororesin molded body fixed on a fluororesin coating located at a seal portion of the tank (claim 7).
【００２４】上記構成により、フッ素樹脂成形体どうし
が接触してシールを形成する。腐食がしにくく、かつ適
度に変形が生じるので、タンク外部から締結力を付与す
ることにより、簡便かつ安定したシールを得ることがで
きる。With the above structure, the fluororesin moldings come into contact with each other to form a seal. Corrosion is hardly caused and deformation occurs moderately. Therefore, a simple and stable seal can be obtained by applying a fastening force from outside the tank.
【００２５】また、上記シール部にＯリングを備える場
合には、フッ素樹脂成形体には、Ｏリングを収納するＯ
リング溝が形成される（請求項８）。When the seal portion is provided with an O-ring, the O-ring for accommodating the O-ring is provided in the fluororesin molded body.
A ring groove is formed (claim 8).
【００２６】上記の構成により、Ｏリング溝を必要なだ
け深く形成しても母材が露出したり、フッ素樹脂部分が
薄くなって腐食が発生する事態を避け、高精度に加工さ
れたＯリング溝を得ることができる。また、上記のよう
に、母材とＯリング溝との間に腐食に関して弱点となる
部分を有していない。このため、高度の耐久性を持っ
て、腐食性薬液の保持と気密性を持続することができ
る。With the above structure, even when the O-ring groove is formed as deep as necessary, the base material is not exposed, and the situation in which the fluororesin portion is thinned to cause corrosion is avoided, and the O-ring processed with high precision is formed. Grooves can be obtained. Further, as described above, there is no portion that is a weak point with respect to corrosion between the base material and the O-ring groove. For this reason, it is possible to maintain the corrosive chemical solution and maintain airtightness with high durability.
【００２７】上記本発明の積層構造体を備える攪拌容器
では、母材が腐食性薬液を攪拌するための攪拌容器の母
材であり、フッ素樹脂コーティングがタンク母材の内面
に施されたフッ素樹脂コーティングであり、フッ素樹脂
成形体は、少なくとも、攪拌容器の下部コーナー内周に
配置されて、フッ素樹脂コーティングに固定されたフッ
素樹脂成形体である（請求項９）。[0027] In the stirring vessel provided with the laminated structure of the present invention, the base material is a base material of the stirring vessel for stirring the corrosive chemical solution, and the fluororesin coating on the inner surface of the tank base material is provided. It is a coating, and the fluororesin molded body is a fluororesin molded body disposed at least on the inner periphery of the lower corner of the stirring vessel and fixed to the fluororesin coating (claim 9).
【００２８】上記の構成により、新たな腐食の問題を発
生することなく、最も樹脂コーティングの摩耗が生じや
すい攪拌容器の下部コーナー部内面を保護することがで
きる。攪拌容器の底部には薬液反応物、薬液析出物等が
沈殿し、攪拌の遠心力により下部コーナー部に集められ
るので、攪拌容器の下部コーナー部内面は、最も摩耗が
生じやすい。With the above configuration, it is possible to protect the inner surface of the lower corner portion of the stirring vessel in which the abrasion of the resin coating is most likely to occur without causing a new corrosion problem. A chemical reaction product, a chemical solution precipitate, and the like precipitate at the bottom of the stirring vessel and are collected in the lower corner by centrifugal force of stirring, so that the inner surface of the lower corner of the stirring vessel is most likely to be worn.
【００２９】本発明の積層構造体の製造方法は、母材上
にフッ素樹脂をコーティングする工程と、コーティング
上にフッ素樹脂成形体を融着によって固定する工程とを
備える（請求項１０）。The method of manufacturing a laminated structure according to the present invention includes a step of coating a base material with a fluororesin, and a step of fixing a fluororesin molded body on the coating by fusion.
【００３０】溶融性フッ素樹脂は融点を超える温度に加
熱されると溶融するので、母材に対して塗装を行い、融
点以上に加熱することでコーティングすることができ
る。この塗装は数回にわたって行うことができ、厚さの
調整が可能である。塗装は、スプレー塗装、粉体塗装な
どどのような塗装を用いてもよい。融着は、加熱と押し
付け保持によって行うことができるので、製品間でのば
らつきが小さく、かつ能率よく製造することができる。Since the fusible fluororesin melts when heated to a temperature exceeding the melting point, the base material can be coated and heated to a temperature above the melting point for coating. This coating can be performed several times, and the thickness can be adjusted. As the coating, any coating such as spray coating and powder coating may be used. Since the fusion can be performed by heating and pressing and holding, variations between products are small and efficient production can be achieved.
【００３１】上記本発明の積層構造体の製造方法では、
コーティングされたフッ素樹脂が主として溶融性フッ素
樹脂であり、フッ素樹脂成形体が実質的に不溶融性フッ
素樹脂であり、融着の工程は、フッ素樹脂のコーティン
グとフッ素樹脂成形体とを両者の融点以上の温度に加熱
する工程を含んでいる（請求項１１）。In the method of manufacturing a laminated structure according to the present invention,
The coated fluororesin is mainly a fusible fluororesin, the fluororesin molded body is substantially an infusible fluororesin, and the step of fusing involves melting the fluororesin coating and the fluororesin molded body with the melting point of both. The method includes a step of heating to the above temperature (claim 11).
【００３２】フッ素樹脂コーティングを行った後、フッ
素樹脂成形体も含めて全体を不溶融性フッ素樹脂の融点
を超える温度、例えば３６５℃〜４２０℃に加熱して、
フッ素樹脂成形体とフッ素樹脂コーティングとを融着す
ることができる。不溶融性フッ素樹脂は、融点以上に加
熱されても、実質的に溶融状態にならない。３６５℃〜
４２０℃という温度は、溶融フッ素樹脂の融点を超える
温度であるが、コーティングされた溶融フッ素樹脂は、
粘着力が強いので流れることはない。このため、不溶融
性フッ素樹脂に適宜、母材の方向に圧力を付加して、溶
融性フッ素樹脂コーティングと強固に融着させることが
できる。After performing the fluororesin coating, the entirety including the fluororesin molded body is heated to a temperature exceeding the melting point of the infusible fluororesin, for example, from 365 ° C. to 420 ° C.
The fluororesin molding and the fluororesin coating can be fused. The infusible fluororesin does not substantially become molten even when heated to a temperature equal to or higher than the melting point. 365 ° C ~
The temperature of 420 ° C. is a temperature exceeding the melting point of the molten fluororesin, but the coated molten fluororesin is
It does not flow because of its strong adhesion. For this reason, pressure can be appropriately applied to the infusible fluororesin in the direction of the base material, and the infusible fluororesin can be firmly fused with the fusible fluororesin coating.
【００３３】上記本発明の積層構造体の製造方法では、
表面に凹凸を有する母材にフッ素樹脂をコーティングす
る工程と、凹凸に沿うコーティング上にフッ素樹脂成形
体の嵌め合い部を嵌め合わせ融着して固定する工程とを
備えている（請求項１２）。In the method for manufacturing a laminated structure according to the present invention,
The method includes a step of coating a base material having irregularities on its surface with a fluororesin, and a step of fitting a fitting portion of a fluororesin molded body onto the coating along the irregularities and fixing it by fusion. .
【００３４】上記の製造方法によれば、上記のようにフ
ッ素樹脂成形体が嵌め合い部を有し、嵌め合い後に融着
することにより、高精度でフッ素樹脂成形体を固定する
ことができる。このため、例えば、加工したフッ素樹脂
成形体を固定しても十分な精度を得ることが可能とな
る。According to the above manufacturing method, the fluororesin molded body has the fitting portion as described above, and is fused after the fitting, whereby the fluororesin molded body can be fixed with high precision. For this reason, for example, even if the processed fluororesin molded body is fixed, sufficient accuracy can be obtained.
【００３５】上記本発明の積層構造体の製造方法では、
フッ素樹脂成形体を固定した後に、さらに、当該フッ素
樹脂成形体に機械加工によって溝を形成する工程を備え
ている（請求項１３）。In the method for manufacturing a laminated structure according to the present invention,
After fixing the fluororesin molded body, the method further includes a step of forming a groove in the fluororesin molded body by machining.
【００３６】フッ素樹脂成形体を固定した後に機械加工
によって溝を備えることにより、製品の骨格ができた状
態で溝が加工されるので、溝全体の配置の精度を高くす
ることができる。このため、高精度の溝の配置を有する
ウエハ支持治具やタンクのシール部を得ることが可能と
なる。このため、ウエハや薬液にパーティクル等の不純
物を混入させない、耐久性、耐食性に富んだ製品を提供
することが可能となる。By providing the groove by machining after fixing the fluororesin molded body, the groove is processed in a state where the skeleton of the product is formed, so that the arrangement accuracy of the entire groove can be improved. For this reason, it is possible to obtain a wafer support jig and a tank seal having a highly accurate groove arrangement. For this reason, it is possible to provide a product having high durability and corrosion resistance, in which impurities such as particles are not mixed into the wafer or the chemical solution.
【００３７】[0037]
【発明の実施の形態】次に、図面を用いて本発明の実施
の形態について説明する。Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
【００３８】（実施の形態１）図１（ａ）は、本発明の
実施の形態１におけるウエハ支持治具を示す斜視図であ
る。本実施の形態におけるウエハ支持治具１はウエハ支
持部の母材２と、その母材に固定されたフッ素樹脂に設
けられた溝部分３とを有する。ウエハ１１は、平行に配
置されたウエハ支持部に設けられた対向する複数の溝に
差し込まれ支持される。溝３を、支持部２の軸線を含む
断面で切断して見た断面図である図１（ｂ）に基いて、
この溝部の構造を説明する。母材（支持部）２の上にプ
ライマー層５が形成され、そのプライマー層５の上にＰ
ＦＡからなるフッ素樹脂コーティング膜６が形成されて
いる。プライマー層５は、フッ素樹脂コーティング６を
強固に母材２に接合するのに有効である。さらにこのフ
ッ素樹脂コーティング６にＰＴＦＥからなるフッ素樹脂
成形体７が融着されている。このフッ素樹脂成形体７に
は、機械加工によりウエハが差し込まれ支持される溝３
が形成されている。(Embodiment 1) FIG. 1A is a perspective view showing a wafer support jig according to Embodiment 1 of the present invention. The wafer support jig 1 in the present embodiment has a base material 2 of a wafer support portion and a groove portion 3 provided in a fluororesin fixed to the base material. The wafer 11 is inserted into and supported by a plurality of opposing grooves provided in a wafer support portion arranged in parallel. FIG. 1B is a cross-sectional view of the groove 3 taken along a cross section including the axis of the support portion 2.
The structure of this groove will be described. A primer layer 5 is formed on a base material (support portion) 2, and a P layer is formed on the primer layer 5.
A fluororesin coating film 6 made of FA is formed. The primer layer 5 is effective for firmly joining the fluororesin coating 6 to the base material 2. Further, a fluororesin molded body 7 made of PTFE is fused to the fluororesin coating 6. The groove 3 in which the wafer is inserted and supported by machining is
Are formed.
【００３９】上記の構造により、ピッチが狭い溝であっ
ても精度よく溝を設けることができ、薬液を残存させる
ような隙間もなく、また腐食の弱点になる箇所もない。
さらに、強度は母材によって負担させるので、耐久性に
優れ、ウエハが接触する部分はウエハとの衝突によって
欠けたり、またウエハを傷つけることもない。このた
め、高品質のウエハ支持治具を提供することが可能とな
る。With the above structure, even if the pitch is narrow, the groove can be provided with high precision, there are no gaps where a chemical solution remains, and there is no place where corrosion is a weak point.
Further, since the strength is provided by the base material, the durability is excellent, and the portion in contact with the wafer is not chipped by the collision with the wafer, and the wafer is not damaged. Therefore, a high-quality wafer support jig can be provided.
【００４０】次に、図２〜図５を用いてウエハ支持治具
の製造方法について説明する。このウエハ支持治具１の
母材（支持部）２は、石英ガラス、金属等によって製造
する。母材２には、脱脂後にブラスト処理が施され、そ
の後、プライマー層５が形成される（図２）。このプラ
イマー層は、塗装後、乾燥させることによって行う。こ
のプライマー層５の形成により、フッ素樹脂コーティン
グの母材への接合が可能となる。次いで、このプライマ
ー層５の上にフッ素樹脂コーティング６を形成する（図
３）。このコーティングに用いるフッ素樹脂としては、
通常、ＰＦＡを用いる。ＰＦＡは融点が３１０℃程度な
ので、プライマー層を含む母材に塗装後焼成を行い、フ
ッ素樹脂コーティング膜を形成する。ここで、不溶融性
フッ素樹脂ＰＴＦＥを用い、上記ＰＦＡのフッ素樹脂コ
ーティングに融着する（図４）。この不溶融性フッ素樹
脂は、ある程度機械加工が施されていてもよいし、ブロ
ック状のままで、融着後に機械加工を施してもよい。図
５に示す溝は、ＰＴＦＥを融着後に、機械加工によって
溝３を形成した。不溶融性フッ素樹脂は、融点以上に加
熱されてもほとんど変形しない。このため、融着しても
成形体の形状を保つので、融着後に深い溝等を形成する
のに適している。Next, a method of manufacturing a wafer support jig will be described with reference to FIGS. The base material (support portion) 2 of the wafer support jig 1 is made of quartz glass, metal, or the like. The base material 2 is subjected to a blast treatment after degreasing, and thereafter, a primer layer 5 is formed (FIG. 2). This primer layer is formed by drying after coating. The formation of the primer layer 5 enables the bonding of the fluororesin coating to the base material. Next, a fluororesin coating 6 is formed on the primer layer 5 (FIG. 3). As the fluororesin used for this coating,
Usually, PFA is used. Since PFA has a melting point of about 310 ° C., the base material including the primer layer is baked after coating to form a fluororesin coating film. Here, the non-melting fluororesin PTFE is used and fused to the PFA fluororesin coating (FIG. 4). This infusible fluororesin may be machined to some extent, or may be machined after fusing while remaining block-shaped. In the groove shown in FIG. 5, after fusion of PTFE, the groove 3 was formed by machining. The infusible fluororesin hardly deforms even when heated above its melting point. For this reason, since the shape of the molded body is maintained even after fusion, it is suitable for forming a deep groove or the like after fusion.
【００４１】なお、ＰＦＡのコーティング膜とＰＴＦＥ
成形体との接合部の端部には、溝状の凹部ができる場合
があるので、その凹部を覆うために、さらにＰＦＡのコ
ーティング膜を形成してもよい。すなわち、（溶融性フ
ッ素樹脂コーティング膜/不溶融性フッ素樹脂成形体）
の接合部の端部全体、または上記（溶融性フッ素樹脂コ
ーティング膜/不溶融性フッ素樹脂成形体）を覆うよう
に、さらに溶融性フッ素樹脂コーティング膜を形成して
もよい。A PFA coating film and PTFE
Since a groove-shaped recess may be formed at the end of the joint with the molded body, a PFA coating film may be further formed to cover the recess. That is, (fusible fluororesin coating film / infusible fluororesin molding)
Further, a fusible fluororesin coating film may be further formed so as to cover the entire end portion of the bonding portion or the above (fusible fluororesin coating film / infusible fluororesin molded article).
【００４２】上記の製造方法によれば、溝が高密度にな
って溝ピッチが狭くなっても、精度よく溝を形成するこ
とができる。とくに、ウエハ支持治具の骨格を組み立て
た後に溝を加工するので、溝間にずれが生じることがな
く、精度のよいウエハ保持をする溝を容易に形成するこ
とができる。また、ＰＥＥＫ製ねじなど部品点数も必要
最小限に抑えることができる。According to the above-described manufacturing method, even if the grooves have a high density and the pitch of the grooves is narrow, the grooves can be accurately formed. In particular, since the grooves are machined after assembling the skeleton of the wafer support jig, there is no gap between the grooves, and the grooves for holding the wafer with high accuracy can be easily formed. Also, the number of components such as PEEK screws can be kept to a minimum.
【００４３】（実施の形態２）図６は、実施の形態１に
おけるウエハ支持部の断面を示す図１（ｂ）に相当する
部分を、嵌め合い構造として、嵌め合い後に融着して固
定する方法を説明する図である。ＰＴＦＥ成形体７に
は、嵌め合い部７ａが設けられている。母材２に設けら
れた凹部２ａには、凹部に沿ってＰＦＡコーティング膜
６がコーティングされ、その上から上記嵌め合い部７ａ
が嵌め合わされる。この後、押し付け力を付加された状
態で、融点以上に加熱されＰＴＦＥ成形体がＰＦＡコー
ティング膜６に固定される。この後、溝を機械加工によ
って形成することにより、高精度の溝配置を得ることが
できる。なお、フッ素樹脂のコーティングには、プライ
マー層は必須であり、前提とされるなので、図６では、
プライマー層は図示していない。(Embodiment 2) FIG. 6 shows a section corresponding to FIG. 1 (b) showing a cross section of a wafer supporting section in Embodiment 1 as a fitting structure, which is fixed by fusion after fitting. It is a figure explaining a method. The PTFE molded body 7 is provided with a fitting portion 7a. The concave portion 2a provided in the base material 2 is coated with a PFA coating film 6 along the concave portion, and the fitting portion 7a is formed thereon.
Are fitted. Thereafter, the PTFE molded body is fixed to the PFA coating film 6 by being heated to a temperature equal to or higher than the melting point while the pressing force is applied. Thereafter, by forming the grooves by machining, a highly accurate groove arrangement can be obtained. In addition, since the primer layer is indispensable and presupposed for the coating of the fluororesin, FIG.
The primer layer is not shown.
【００４４】上記のように、フッ素樹脂成形体の嵌め合
いをした後に融着する場合には、母材に対して精度よく
フッ素樹脂成形体を固定できる。このため、図７に示す
ようにあらかじめ溝３が加工されたフッ素樹脂成形体７
を、フッ素樹脂コーティングの上から嵌め入れ融着する
ことにより、精度のよい溝３の配置を得ることができ
る。このため、ウエハ支持治具を組み上げた後に機械加
工を行うよりも、簡単に溝加工を行うことができる。As described above, when the fluororesin molded body is fused after being fitted, the fluororesin molded body can be accurately fixed to the base material. For this reason, as shown in FIG.
Is fitted over the fluororesin coating and fused to obtain an accurate arrangement of the grooves 3. Therefore, the groove processing can be performed more easily than the mechanical processing after assembling the wafer support jig.
【００４５】上記の構成により、隙間がなく、腐食に対
して弱点となる箇所を設けることなく、高精度で安価な
ウエハ支持治具を提供することができる。このウエハ支
持治具は、ウエハに対して、パーティクル付着や、薬品
汚染をもたらすことがないので、高純度を必要とするウ
エハにとくに適している。According to the above configuration, it is possible to provide a highly accurate and inexpensive wafer support jig without any gaps and without providing a portion that is a weak point against corrosion. Since this wafer support jig does not cause particles to adhere to the wafer and does not cause chemical contamination, it is particularly suitable for wafers requiring high purity.
【００４６】（実施の形態３）図８は、実施の形態３に
おけるタンクの断面図である。図８において、タンク２
０は、本体２０ａと蓋２０ｂとを備え、突合せフランジ
部２６で突き合わせられている。本体２０ａおよび蓋２
０ｂの母材２１には、ともに内面にＰＦＡからなるフッ
素樹脂コーティング２２が施されている。このフッ素樹
脂コーティングにはＰＴＦＥからなるフッ素樹脂成形体
が融着によって固定されている。フランジ部２６では、
密閉構造を形成するために、Ｏリング２５が配置され
る。このＯリングが配置されるＰＴＦＥの箇所には、本
体側および蓋側ともにＯリング溝２４が機械加工によっ
て設けられている。このＯリング溝２４にＯリング２５
を配置して、ねじ（図示せず）で締め付けることによ
り、気密構造を形成することができる。上記のＰＦＡコ
ーティングは、ＰＦＡに限定されず、溶融性フッ素樹脂
ならば何でもよく、例えば、ＦＥＰ等を用いることがで
きる。(Embodiment 3) FIG. 8 is a sectional view of a tank according to Embodiment 3. In FIG. 8, tank 2
Numeral 0 includes a main body 20a and a lid 20b, which are butted by a butting flange portion 26. Main body 20a and lid 2
The base material 21 of Ob has a fluorine resin coating 22 made of PFA on the inner surface. A fluororesin molded body made of PTFE is fixed to the fluororesin coating by fusion. In the flange portion 26,
An O-ring 25 is arranged to form a closed structure. An O-ring groove 24 is provided by machining on both the main body side and the lid side of the PTFE where the O-ring is arranged. This O-ring groove 24 has an O-ring 25
And an airtight structure can be formed by tightening with a screw (not shown). The above-mentioned PFA coating is not limited to PFA, but may be anything as long as it is a fusible fluororesin. For example, FEP or the like can be used.
【００４７】上記のＯリング配置構造によれば、Ｏリン
グ溝２４が設けられるフッ素樹脂成形体２３は、隙間を
生じずに、また、腐食に対して弱点となる箇所を生じず
にタンク内面に固定される。このため、タンク部材とタ
ンク本体との突き合わせフランジ部に耐食性と耐久性と
に優れたＯリング溝を得ることができ、腐食性薬液を貯
蔵するタンクに非常に適した密閉構造を安価に、かつ簡
便に得ることができる。According to the above-described O-ring arrangement structure, the fluororesin molded body 23 in which the O-ring groove 24 is provided can be formed on the inner surface of the tank without forming a gap and without forming a weak point against corrosion. Fixed. For this reason, it is possible to obtain an O-ring groove excellent in corrosion resistance and durability at the butted flange portion between the tank member and the tank body, and to provide a sealed structure very suitable for a tank for storing corrosive chemicals at a low cost, and It can be obtained easily.
【００４８】（実施の形態４）図９は、実施の形態４に
おける攪拌容器の断面図である。この攪拌容器３０には
攪拌翼３５が備えられ、薬液３６を攪拌している。この
攪拌容器３０には、内面にＰＦＡからなるフッ素樹脂コ
ーティング３２が形成されている。攪拌翼３５の高さ位
置から下部コーナー域にかかる内周面において、ＰＦＡ
コーティング上にＰＴＦＥからなるフッ素樹脂成形体３
３が融着されている。攪拌容器の底部には薬液反応物、
薬液析出物等が沈殿し、攪拌の遠心力により下部コーナ
ー部に集められるので、攪拌容器の下部コーナー部内面
は、最も摩耗が生じやすい。この部分にＰＴＦＥ成形体
を配することにより、摩耗を効果的に防止することがで
きる。この摩耗防止用のＰＴＦＥの取り付けにあたって
は、隙間を生じず、腐食に対して弱点となる箇所を生じ
ずに、簡便に取り付けることができる。このため、摩耗
対策を施した耐食性に優れた攪拌容器を提供することが
可能となる。(Embodiment 4) FIG. 9 is a sectional view of a stirring vessel according to Embodiment 4. The stirring vessel 30 is provided with a stirring blade 35 for stirring the chemical 36. The stirring vessel 30 has a fluororesin coating 32 made of PFA on the inner surface. On the inner peripheral surface extending from the height position of the stirring blade 35 to the lower corner area, PFA
Fluorine resin molded body 3 made of PTFE on the coating
3 is fused. At the bottom of the stirring vessel, the chemical reaction product,
Since the chemical liquid precipitate and the like are settled and collected at the lower corner by the centrifugal force of stirring, the inner surface of the lower corner of the stirring vessel is most likely to be worn. By arranging the PTFE molded body in this portion, abrasion can be effectively prevented. When attaching the PTFE for preventing abrasion, it is possible to easily attach the PTFE without forming a gap and without generating a portion which is a weak point against corrosion. For this reason, it becomes possible to provide an agitating container which is excellent in corrosion resistance and has taken measures against abrasion.
【００４９】上記において、本発明の実施の形態につい
て説明を行なったが、上記に開示された本発明の実施の
形態は、あくまで例示であって、本発明の範囲はこれら
発明の実施の形態に限定されない。本発明の範囲は、特
許請求の範囲の記載によって示され、さらに特許請求の
範囲の記載と均等の意味および範囲内でのすべての変形
を含む。Although the embodiments of the present invention have been described above, the embodiments of the present invention disclosed above are merely examples, and the scope of the present invention is not limited to these embodiments. Not limited. The scope of the present invention is indicated by the description of the claims, and further includes meanings equivalent to the description of the claims and all modifications within the scope.
【００５０】[0050]
【発明の効果】本発明の積層構造体を用いることによ
り、母材への密着性に優れ、隙間を生じたり、腐食発生
箇所を生じることなく、機械加工が容易な厚い層を得る
ことができる。この積層構造体を用いることにより、高
純度と高耐久性とが要求される半導体ウエハ支持治具を
得ることができる。また、腐食性薬液を貯蔵するタンク
において、タンク部材とタンク本体との突き合わせフラ
ンジ部に耐食性に優れた高耐久性のＯリング溝を得るこ
とができる。この結果、液密性に優れたフランジ部を有
するタンクを得ることができる。さらに、攪拌容器に上
記の積層構造体を適用することにより、新たな腐食問題
を生じることなく、耐摩耗性に優れた攪拌容器を得るこ
とが可能となる。By using the laminated structure of the present invention, it is possible to obtain a thick layer which is excellent in adhesion to the base material, easy to machine without forming a gap or a place where corrosion occurs. . By using this laminated structure, a semiconductor wafer support jig that requires high purity and high durability can be obtained. Further, in a tank for storing a corrosive chemical solution, a highly durable O-ring groove having excellent corrosion resistance can be obtained at the butted flange portion between the tank member and the tank body. As a result, a tank having a flange portion excellent in liquid tightness can be obtained. Furthermore, by applying the above-mentioned laminated structure to a stirring vessel, it becomes possible to obtain a stirring vessel excellent in wear resistance without causing a new corrosion problem.
【図１】（ａ） 実施の形態１におけるウエハ支持治具
を示す斜視図である。（ｂ）（ａ）における溝部の断面
図である。FIG. 1A is a perspective view showing a wafer support jig according to Embodiment 1. FIG. (B) It is sectional drawing of the groove part in (a).
【図２】 母材にプライマー層を形成した段階の断面図
である。FIG. 2 is a cross-sectional view of a stage where a primer layer is formed on a base material.
【図３】 プライマー層の上にフッ素樹脂（ＰＦＡ）コ
ーティングを施した段階の断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view at a stage where a fluororesin (PFA) coating is applied on a primer layer.
【図４】 フッ素樹脂（ＰＦＡ）コーティングの上にフ
ッ素樹脂（ＰＴＦＥ）板を融着した段階の断面図であ
る。FIG. 4 is a cross-sectional view of a stage where a fluororesin (PTFE) plate is fused on a fluororesin (PFA) coating.
【図５】 ＰＴＦＥに機械加工を行い、溝を形成した段
階の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view at the stage when the PTFE is machined to form a groove.
【図６】 実施の形態２におけるＰＴＦＥ成形体を嵌め
合いにより取り付ける方法を説明する断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view for explaining a method of fitting the PTFE molded body according to the second embodiment by fitting.
【図７】 実施の形態２における他のＰＴＦＥ成形体を
嵌め合いにより取り付ける方法を説明する断面図であ
る。FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating a method of fitting another PTFE molded body according to the second embodiment by fitting.
【図８】 実施の形態３におけるタンクの断面図であ
る。FIG. 8 is a sectional view of a tank according to a third embodiment.
【図９】 実施の形態４における攪拌容器の断面図であ
る。FIG. 9 is a sectional view of a stirring vessel according to a fourth embodiment.
１ ウエハ支持治具、２ 母材（支持部）、２ａ 凹
部、３ 溝部、５ プライマ層、６ フッ素樹脂（ＰＦ
Ａ）コーティング層、７ フッ素樹脂（ＰＴＦＥ）成形
体、７ａ ＰＴＦＥ嵌め合い部、１１ ウエハ、１５
母材凸部、１６凹部、２０ タンク、２０ａ 本体、２
０ｂ 蓋、２１ 母材、２２ フッ素樹脂コーティン
グ、２３ フッ素樹脂成形体、２４ Ｏリング溝、２５
Ｏリング、２６ フランジ部、３０ 攪拌容器、３１
母材、３２ フッ素樹脂コーティング、３３ フッ素
樹脂成形体、３５ 攪拌翼、３６ 薬液。1 Wafer support jig, 2 base material (support portion), 2a concave portion, 3 groove portion, 5 primer layer, 6 fluorine resin (PF
A) coating layer, 7 fluororesin (PTFE) molded body, 7a PTFE fitting portion, 11 wafer, 15
Base material protrusion, 16 recess, 20 tank, 20a body, 2
0b lid, 21 base material, 22 fluororesin coating, 23 fluororesin molding, 24 O-ring groove, 25
O-ring, 26 flange, 30 stirring vessel, 31
Base material, 32 fluororesin coating, 33 fluororesin molded body, 35 stirring blade, 36 chemicals.
フロントページの続き Ｆターム(参考） 3E070 AA03 AB09 BA01 BA02 DA01 DA18 FA08 FB02 MA02 VA30 4F100 AB01 AG00 AK17B AK17C AK17J AK18B AK18J AL01B AT00A BA03 BA04 BA07 BA10A BA10C BA13 BA26 CC00B DA01 DD01 DD01A DD05C EC03C EC032 EH462 EJ263 EJ65 GB16 GB90 JB02 JK01 JK09 JL00 JL01 5F031 CA02 DA03 HA73 PA26 Continued on the front page F-term (reference) 3E070 AA03 AB09 BA01 BA02 DA01 DA18 FA08 FB02 MA02 VA30 4F100 AB01 AG00 AK17B AK17C AK17J AK18B AK18J AL01B AT00A BA03 BA04 BA07 BA10A BA10C BA13 BA26 CC00B DA01 DD01 DD03E DD GB03 E03 GB02 JK01 JK09 JL00 JL01 5F031 CA02 DA03 HA73 PA26
Claims (13)
たフッ素樹脂成形体とを備える積層構造体。1. A laminated structure comprising: a base material; a fluororesin coating applied to the base material; and a fluororesin molded body fixed on the fluororesin coating by fusion.
素樹脂成形体は嵌め合い部を有し、前記凹凸に沿うフッ
素樹脂コーティング上にその嵌め合い部を嵌め合わされ
融着によって固定されたフッ素樹脂成形体とを備える、
請求項１に記載の積層構造体。2. The base material has irregularities on the surface, the fluororesin molded body has a fitting portion, and the fitting portion is fitted on the fluororesin coating along the irregularities and fixed by fusion. Comprising a fluororesin molded body,
The laminated structure according to claim 1.
溶融性フッ素樹脂からなり、前記フッ素樹脂成形体が実
質的に不溶融性のフッ素樹脂からなる、請求項１または
２に記載の積層構造体。3. The laminated structure according to claim 1, wherein the fluororesin coating is mainly composed of a fusible fluororesin, and the fluororesin molded body is composed of a substantially infusible fluororesin.
テトラフルオロエチレン-ペルフルオロビニルエーテル
共重合体（ＰＦＡ：Tetrafluoroethylene Perfluorovin
yl ether copolymerizations)であり、前記フッ素樹脂
成形体の材質が、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦ
Ｅ：Polytetrafluoroethylene）である、請求項１〜３
のいずれかに記載の積層構造体。4. The material of the fluororesin coating,
Tetrafluoroethylene-perfluorovinyl ether copolymer (PFA: Tetrafluoroethylene Perfluorovin)
yl ether copolymerizations), and the material of the fluororesin molding is polytetrafluoroethylene (PTF).
E: Polytetrafluoroethylene).
The laminated structure according to any one of the above.
て作られた溝を有する、請求項１〜４のいずれかに記載
の積層構造体。5. The multilayer structure according to claim 1, wherein said fluororesin molded body has a groove formed by machining.
持治具母材であり、前記フッ素樹脂成形体には、前記半
導体ウエハを止める溝が設けられている、請求項１〜５
のいずれかに記載の積層構造体を備える支持治具。6. The base material is a support jig base material for supporting a semiconductor wafer, and the fluororesin molded body is provided with a groove for stopping the semiconductor wafer.
A support jig comprising the laminated structure according to any one of the above.
タンクの母材であり、 前記フッ素樹脂コーティングが前記タンク母材の内面に
施されたフッ素樹脂コーティングであり、 前記フッ素樹脂成形体は、前記タンクのシール部に位置
する前記フッ素樹脂コーティング上に固定されたフッ素
樹脂成形体である、請求項１〜５のいずれかに記載の積
層構造体を備えるタンク。7. The base material of a tank for storing a corrosive chemical solution, wherein the base material is a fluorine resin coating applied to an inner surface of the tank base material, A tank comprising the laminated structure according to any one of claims 1 to 5, wherein the tank is a fluororesin molded body fixed on the fluororesin coating located at a seal portion of the tank.
収納するＯリング溝が形成されている、請求項７に記載
のタンク。8. The tank according to claim 7, wherein an O-ring groove for accommodating an O-ring is formed in the fluororesin molded body.
攪拌容器の母材であり、 前記フッ素樹脂コーティングが前記タンク母材の内面に
施されたフッ素樹脂コーティングであり、 前記フッ素樹脂成形体は、少なくとも、前記攪拌容器の
下部コーナー内周に配置されて、前記フッ素樹脂コーテ
ィングに固定されたフッ素樹脂成形体である、請求項１
〜５のいずれかに記載の積層構造体を備える攪拌容器。9. The base material of a stirring vessel for stirring a corrosive chemical solution, the base material is a fluorine resin coating applied to an inner surface of the tank base material, and the fluororesin molding is performed. The body is at least a fluororesin molded body disposed on an inner periphery of a lower corner of the stirring vessel and fixed to the fluororesin coating.
A stirring vessel comprising the laminated structure according to any one of claims 5 to 5.
る工程と、 前記コーティング上にフッ素樹脂成形体を融着によって
固定する工程とを備える、積層構造体の製造方法。10. A method for manufacturing a laminated structure, comprising: a step of coating a fluororesin on a base material; and a step of fixing a fluororesin molded body on the coating by fusion.
主として溶融性フッ素樹脂であり、前記フッ素樹脂成形
体が実質的に不溶融性フッ素樹脂であり、前記融着の工
程は、前記フッ素樹脂のコーティングと前記フッ素樹脂
成形体とを両者の融点以上の温度に加熱する工程を含
む、請求項１０に記載の積層構造体の製造方法。11. The coated fluororesin is mainly a fusible fluororesin, the fluororesin molded body is a substantially infusible fluororesin, and the step of fusing comprises the steps of: The method for producing a laminated structure according to claim 10, further comprising a step of heating the fluororesin molded body to a temperature equal to or higher than the melting point of both.
をコーティングする工程と、 前記凹凸に沿うコーティング上にフッ素樹脂成形体の嵌
め合い部を嵌め合わせ融着して固定する工程とを備え
る、請求項１０または１１に記載の積層構造体の製造方
法。12. A step of coating a base material having irregularities on its surface with a fluororesin, and a step of fitting and fixing a fitting portion of a fluororesin molded body on the coating along the irregularities, and fixing the same. A method for manufacturing a laminated structure according to claim 10.
に、さらに、当該フッ素樹脂成形体に機械加工によって
溝を形成する工程を備える、請求項１０〜１２のいずれ
かに記載の積層構造体の製造方法。13. The production of the laminated structure according to claim 10, further comprising a step of forming a groove in the fluororesin molded body by machining after fixing the fluororesin molded body. Method.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2004035846A (en) * | 2002-07-08 | 2004-02-05 | Asahi Kasei Chemicals Corp | Method for concentrating polymer latex |
| JP2008112804A (en) * | 2006-10-30 | 2008-05-15 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Wafer cassette |
| JP2013091412A (en) * | 2011-10-26 | 2013-05-16 | Hitachi Automotive Systems Ltd | Onboard control device |
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2000
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| JP2008112804A (en) * | 2006-10-30 | 2008-05-15 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | Wafer cassette |
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