JP2002026263A - 保護回路、保護回路素子及び発光デバイス - Google Patents

保護回路、保護回路素子及び発光デバイス

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JP2002026263A
JP2002026263A JP2000204116A JP2000204116A JP2002026263A JP 2002026263 A JP2002026263 A JP 2002026263A JP 2000204116 A JP2000204116 A JP 2000204116A JP 2000204116 A JP2000204116 A JP 2000204116A JP 2002026263 A JP2002026263 A JP 2002026263A
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Nobuo Kobayashi
信夫 小林
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Sanken Electric Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 静電破壊耐圧を向上することができ、かつ静
電破壊防止動作を高速化することができる保護回路、保
護回路素子及び発光デバイスを提供する。 【解決手段】 第1の電源端子31と第2の電源端子3
2との間の発光ダイオード素子1に保護回路2が配設さ
れている。保護回路2は、互いに逆向きで直列に接続さ
れた第1及び第2の保護ダイオード素子21、22と、
互いに逆向きの第1のトランジスタ23、24とを少な
くとも備えて構成されている。これらの保護素子は発光
ダイオード素子1に電気的に並列に接続されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、保護回路、保護回
路素子及び発光デバイスに関し、特に発光ダイオード素
子の静電破壊の防止に好適な保護回路、この保護回路を
基板に搭載した保護回路素子、及びこの保護回路素子と
発光ダイオード素子とを備えて構成される発光デバイス
に関する。さらに詳細には、本発明は、発光ダイオード
素子の静電破壊耐性に優れ、かつ高速な静電破壊防止動
作を実現することができる保護回路、保護回路素子及び
発光デバイスに関する。
【0002】
【従来の技術】近年、半導体発光素子として、窒化ガリ
ウム(GaN)系化合物半導体材料(窒化物化合物半導
体材料)を使用した発光ダイオード素子が注目されてい
る。この発光ダイオード素子においては、365nm〜
550nmの範囲内の波長の光を発光させることができ
る。
【0003】この種のGaN系化合物半導体材料を使用
した発光ダイオード素子は、約30Vのサージ電圧によ
り破壊されてしまい、予期せぬ静電気に対して充分な静
電破壊耐圧を備えていないので、搬送時や実装時の取り
扱いには様々な制限を受けやすい。そこで、通常は、発
光ダイオード素子に保護回路を備え、発光ダイオード素
子を静電気から保護する手段が講じられている。
【0004】図20に示す保護回路は、発光ダイオード
素子100よりも降伏電圧が低い保護ダイオード素子
(低電圧ダイオード素子)101を備えている。この保
護ダイオード素子101は、発光ダイオード素子100
と逆極性において、発光ダイオード素子100に電気的
に並列に接続されている。保護ダイオード素子101
は、順方向のサージ電圧すなわち発光ダイオード素子1
00のアノード領域側に入力される正のサージ電圧(又
はカソード領域側に入力される負のサージ電圧)に対し
て、ツェナブレークダウンによりサージ電圧を吸収し、
発光ダイオード素子100の静電破壊を防止することが
できる。
【0005】また、保護ダイオード素子101は、逆方
向のサージ電圧すなわち発光ダイオード素子100のカ
ソード領域側に入力される正のサージ電圧(又はアノー
ド領域側に入力される負のサージ電圧)に対して、順方
向電流によりサージ電圧を吸収し、発光ダイオード素子
100の静電破壊を防止することができる。しかしなが
ら、保護ダイオード素子101の順方向電圧値が約0.
6V程度と低いので、静電破壊を防止することはできる
ものの、構成するデバイスによっては不都合が生じる。
【0006】図21に発光ダイオード素子100で構成
されたダイナミック点燈回路を示す。このダイナミック
点燈回路は、X方向に伸びる信号配線Lx1〜Lx3
と、Y方向に伸びる信号配線Ly1〜Ly3との交差部
に点燈セルC11〜C33を行列状に配列している。信
号配線Lx1〜Lx3のそれぞれは、スイッチ素子Sx
1〜Sx3のそれぞれを通して電源111に接続されて
いる。信号配線Ly1〜Ly3のそれぞれは、負荷素子
112を介在させ、スイッチ素子Sy1〜Sy3のそれ
ぞれを通して電源111に接続されている。
【0007】点燈セルC11〜C33は、上記図20に
示す回路構成と同様で、いずれも発光ダイオード素子1
00と、この発光ダイオード素子100に逆方向で並列
に接続された保護ダイオード素子101とを備えて構成
されている。
【0008】しかしながら、このように構成されるダイ
ナミック点燈回路においては、スイッチ素子Sx2及び
Sy2を導通させ、点燈セルC22を点燈させた場合、
保護ダイオード素子101の順方向電圧が低いので、点
燈セルC23の発光ダイオード素子100、点燈セルC
33の保護ダイオード素子101、点燈セルC32の発
光ダイオード素子100のそれぞれに異常電流が流れて
しまい、点燈セルC32を誤点燈させてしまう。同様
に、点燈セルC23の発光ダイオード素子100、点燈
セルC13の保護ダイオード素子101、点燈セルC1
2の発光ダイオード素子100のそれぞれに異常電流が
流れてしまい、点燈セルC12を誤点燈させてしまう。
なお、発光ダイオード素子100の逆方向耐圧として
は、最低限5Vは確保する必要がある。
【0009】図22に上記ダイナミック点燈回路におけ
る不具合を解決するための保護回路を示す。この保護回
路は互いに逆方向に直列接続された、すなわち各々のア
ノード領域が直接接続された2個の保護ダイオード素子
102及び103を備え、この2個の保護ダイオード素
子102及び103は発光ダイオード素子100に電気
的に並列に接続されている。このような保護回路をダイ
ナミック点燈回路に適用した場合には、保護回路におい
て異常電流の通り抜けがなくなるので、誤点燈を防止す
ることができる。
【0010】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記発
光ダイオード素子100の保護回路においては、以下の
点について配慮がなされていなかった。すなわち、保護
回路の保護ダイオード素子102、103はサージ電流
がpn接合の表面側に集中して流れる、つまりサーフェ
イスブレークダウンによりサージ電圧を吸収するために
破壊し易く、電流容量を増加して静電破壊耐圧を向上に
はpn接合の周辺長を増加する必要がある。ところが、
pn接合の周辺長の増加はpn接合面積の増加になり、
結果としてpn接合容量(寄生容量)が増加してしま
う。このため、過渡的なサージ電圧が保護ダイオード素
子102や103に入力された場合、すなわち瞬間的に
大きなサージ電圧(dv/dtの大きなサージ電圧)が
入力された場合、サージ電圧を瞬時に吸収することがで
きず、保護機能が充分に働かないので、発光ダイオード
素子100に静電破壊を生じる恐れがあった。
【0011】特に、GaN系化合物半導体材料を使用し
た発光ダイオード素子100においては、静電破壊耐圧
が低いので、静電破壊を生じ易かった。
【0012】本発明は上記課題を解決するためになされ
たものである。従って、本発明の目的は、静電破壊耐圧
を向上することができ、かつ静電破壊防止動作を高速化
することができる保護回路を提供することである。特に
本発明の目的は、発光ダイオード素子、さらにはGaN
系化合物半導体材料を使用した発光ダイオード素子の静
電破壊耐圧の向上に好適な保護回路を提供することであ
る。
【0013】さらに、本発明の目的は、上記保護回路を
搭載した保護回路素子を提供することである。
【0014】さらに、本発明の目的は、上記保護回路素
子及び発光ダイオード素子を実装した発光デバイスを提
供することである。
【0015】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の第1の特徴は、第1の電極端子と第2の電
極端子との間に、互いに逆向きで直列に接続された第1
及び第2の保護ダイオード素子と、第1の電極端子に第
1の主電極領域が、第2の電極端子に第2の主電極領域
がそれぞれ接続され、第1の制御電極領域が第1の保護
ダイオード素子と第2の保護ダイオード素子との間に接
続された第1のトランジスタと、第1の電極端子に第3
の主電極領域が、第2の電極端子に第4の主電極領域が
それぞれ接続され、第2の制御電極領域が第1の保護ダ
イオード素子と第2の保護ダイオード素子との間に接続
され、第1のトランジスタと逆方向の第2のトランジス
タとを少なくとも備えた保護回路としたことである。こ
こで、「互いに逆向きで直列に接続された第1及び第2
の保護ダイオード素子」には、第1の保護ダイオード素
子のカソード領域と第2の保護ダイオード素子のカソー
ド領域とが接続された場合、第1の保護ダイオード素子
のアノード領域と第2の保護ダイオード素子のアノード
領域とが接続された場合のいずれもが含まれる。「第1
及び第2の保護ダイオード素子」とは、少なくとも互い
に直列に接続された2個の保護ダイオード素子という意
味で使用され、互いに直列に接続された2個の保護ダイ
オード素子を含む3個以上の保護ダイオード素子を直列
に接続する場合も含まれる。「第1及び第2のトランジ
スタ」には、バイポーラトランジスタ、絶縁ゲート型電
界効果トランジスタ等が少なくとも含まれる。第1のト
ランジスタは、第1の主電極領域をエミッタ領域、第2
の主電極領域をコレクタ領域、第1の制御電極領域をベ
ース領域とするバイポーラトランジスタであることが好
ましく、同様に第2のトランジスタは、第3の主電極領
域をコレクタ領域、第4の主電極領域をエミッタ領域、
第2の制御電極領域をベース領域とするバイポーラトラ
ンジスタであることが好ましい。特に、サージ電圧を瞬
時に吸収するためには、第1のトランジスタ、第2のト
ランジスタはいずれもnpn型バイポーラトランジスタ
とすることが好ましい。
【0016】このように構成される本発明の第1の特徴
に係る保護回路においては、第1及び第2のトランジス
タは、第1及び第2の保護ダイオード素子に比べて、電
流容量を増加させることができる。従って、過大なサー
ジ電圧は第1及び第2のトランジスタにより吸収するこ
とができるので、静電破壊耐圧を向上することができ
る。さらに、第1及び第2の保護ダイオード素子は、電
流容量を第1及び第2のトランジスタで確保し、接合面
積を減少して接合容量(寄生容量)を低減することがで
きるので、瞬時にサージ電圧を吸収し、静電破壊防止動
作の高速化を実現することができる。さらに、第1及び
第2のトランジスタをバイポーラトランジスタとするこ
とにより、pn接合部の表面側だけでなく、バルク領域
をサージ電圧の吸収経路とすることができるので、より
一層電流容量を増加させて静電破壊耐圧を向上すること
ができる。特に、npn型バイポーラトランジスタは、
電子が担体として機能しているので、pnp型バイポー
ラトランジスタに比べて動作速度が速くなり、静電破壊
防止動作のより一層の高速化を実現することができる。
さらに、少なくとも第1及び第2の保護ダイオード素子
を互いに逆方向になるように接続したので、正のサージ
電圧、負のサージ電圧のいずれも吸収することができ、
保護回路に異常電流が流れることを防止することができ
る。従って、例えば、従来技術において説明した、図2
1に示すダイナミック点燈回路において、点燈セルの誤
点燈を防止することができる。
【0017】本発明の第2の特徴は、上記本発明の第1
の特徴に係る保護回路において、第1の電極端子に第5
の主電極領域及び第3の制御電極が、第2の電極端子に
第6の主電極領域がそれぞれ接続された第3のトランジ
スタと、第1の電極端子に第7の主電極領域が、第2の
電極端子に第8の主電極領域及び第4の制御電極がそれ
ぞれ接続された第4のトランジスタとをさらに備えたこ
とである。ここで、第3のトランジスタ、第4のトラン
ジスタのそれぞれは絶縁ゲート型電界効果トランジスタ
であることが好ましい。
【0018】このような本発明の第2の特徴に係る保護
回路においては、第1及び第2のトランジスタ例えばバ
イポーラトランジスタに比べて接合容量が小さい第3及
び第4のトランジスタ例えば絶縁ゲート型電界効果トラ
ンジスタを備え、この絶縁ゲート型電界効果トランジス
タによりサージ電圧を高速に吸収することができるの
で、より一層静電破壊防止動作の高速化を実現すること
ができる。
【0019】本発明の第3の特徴は、上記本発明の第1
の特徴又は第2の特徴に係る保護回路を、基板に搭載し
た保護回路素子としたことである。ここで、「基板」と
は、シリコン基板、化合物半導体基板、配線基板、絶縁
基板等、保護回路を搭載できる基板という意味で使用さ
れる。例えば、基板に半導体基板を使用し、この半導体
基板の主面部に配設されたダイオード素子を第1及び第
2の保護ダイオード素子として、同様に主面部に配設さ
れたトランジスタを第1及び第2のトランジスタとして
使用し、保護回路を構成することができ、このような場
合に保護回路素子は半導体チップとして構成することが
できる。
【0020】このような本発明の第3の特徴に係る保護
回路素子においては、静電破壊耐圧を向上することがで
き、かつ静電破壊防止動作の高速化を実現することがで
きる。
【0021】本発明の第4の特徴は、上記本発明の第3
の特徴に係る保護回路素子と、第1の電極端子にカソー
ド領域が、第2の電極端子にアノード領域が接続された
発光ダイオード素子とを備えた発光デバイスとしたこと
である。ここで、「発光ダイオード素子」には、例えば
GaN系化合物半導体材料を利用した発光ダイオード素
子が少なくとも含まれる。また、「発光ダイオード素
子」には、保護回路素子とは別の独立した基板(例えば
半導体基板等)で構成された発光ダイオード素子、保護
回路素子と共通の基板に構成された発光ダイオード素子
等が少なくとも含まれる。
【0022】このような本発明の第4の特徴に係る発光
デバイスにおいては、発光ダイオード素子の静電破壊耐
圧を向上することができ、かつ静電破壊防止動作の高速
化を実現することができる。
【0023】
【発明の実施の形態】次に、図面を参照して、本発明に
係る保護回路、保護回路素子及び発光デバイスを、本発
明の第1乃至第3の実施の形態により説明する。以下の
図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は
類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なもの
であり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等
は現実のものとは異なることに留意すべきである。従っ
て、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断す
べきものである。また図面相互間においても互いの寸法
の関係や比率が異なる部分が含まれていることは勿論で
ある。
【0024】(第1の実施の形態) [保護回路の回路構成]図1に示すように、本発明の第
1の実施の形態に係る発光デバイス10は、発光ダイオ
ード素子1と、この発光ダイオード素子1の静電破壊を
防止する保護回路素子20とを備えて構成されている。
【0025】本発明の第1の実施の形態において、発光
ダイオード素子1には、青色に発光し、約30V程度の
静電破壊耐圧を有する、GaN系化合物半導体材料を使
用した発光ダイオード素子を使用することができる。
【0026】本発明の第1の実施の形態において、保護
回路素子20は、発光ダイオード素子1が配設された基
板(半導体チップ)とは別の独立した基板で構成されて
おり、外付け素子として構成されている。この保護回路
素子20は、少なくとも保護回路2を搭載しており、こ
の保護回路2は、第1の電極端子31と第2の電極端子
32との間に、互いに逆向きで直列に接続された第1の
保護ダイオード素子21及び第2の保護ダイオード素子
22と、第1の電極端子31に第1の主電極領域が、第
2の電極端子に第2の主電極領域がそれぞれ接続され、
第1の制御電極領域が第1の保護ダイオード素子21と
第2の保護ダイオード素子22との間に接続された第1
のトランジスタ23と、第1の電極端子31に第3の主
電極領域が、第2の電極端子32に第4の主電極領域が
それぞれ接続され、第2の制御電極領域が第1の保護ダ
イオード素子21と第2の保護ダイオード素子22との
間に接続され、第1のトランジスタ23と逆方向の第2
のトランジスタ24とを備えて構成されている。
【0027】第1の電極端子31は、発光ダイオード素
子1のアノード領域に電気的に接続されており、アノー
ド電極端子として使用されている。第2の電極端子32
は、発光ダイオード素子1のカソード領域に電気的に接
続されており、カソード電極端子として使用されてい
る。
【0028】第1の保護ダイオード素子21、第2の保
護ダイオード素子22のそれぞれは、静電破壊を生じる
ような過大なサージ電圧を発光ダイオード素子1よりも
先に吸収することができるように、発光ダイオード素子
1の逆方向耐圧(降伏電圧)よりも低い逆方向耐圧を有
するダイオード素子(低電圧ダイオード素子)により形
成されている。例えば、第1の保護ダイオード素子2
1、第2の保護ダイオード素子22は、いずれも10V
〜25V程度の逆方向耐圧を備えていることが好まし
い。
【0029】本発明の第1の実施の形態において、第1
の保護ダイオード素子21と第2の保護ダイオード素子
22とは、互いに電流方向が逆向きになるように、互い
のカソード領域が電気的に直列に接続されている。第1
の保護ダイオード素子21のアノード領域は第1の電極
端子31に電気的に接続されている。第2の保護ダイオ
ード素子22のアノード領域は第2の電極端子32に電
気的に接続されている。そして、第1の保護ダイオード
素子21のカソード領域、第2の保護ダイオード素子2
2のカソード領域のそれぞれは、カソード電位を制御す
る(導通、非導通を制御する)第3の電極端子33に電
気的に接続されている。
【0030】第1のトランジスタ23、第2のトランジ
スタ24は、本発明の第1の実施の形態において、pn
p型バイポーラトランジスタにより構成されている。す
なわち、第1のトランジスタ23は、第1の主電極領域
をp型エミッタ領域、第2の主電極領域をp型コレクタ
領域、第1の制御電極領域を第3の電極端子33に接続
されたn型ベース領域として構成されている。第2のト
ランジスタ24は、第3の主電極領域をp型コレクタ領
域、第4の主電極領域をp型エミッタ領域、第2の制御
電極領域を第3の電極端子33に接続されたn型ベース
領域として構成されている。
【0031】[保護回路の静電破壊防止動作]次に、図
1に示す保護回路2の静電破壊防止動作を説明する。
【0032】(1)第1の電極端子31に過大な正のサ
ージ電圧が入力された場合:第1の電極端子31に第2
の保護ダイオード素子22の逆方向耐圧を越えるような
正のサージ電圧が入力されると、サージ電流は、第1の
保護ダイオード素子21を通過し、第2の保護ダイオー
ド素子22においてツェナブレークダウンが生じ、第2
の保護ダイオード素子22のツェナ電圧にクランプされ
る。第2の保護ダイオード素子22の導通により、サー
ジ電圧は吸収されるが、第1の保護ダイオード素子21
にも、サージ電流が流れ、第1の保護ダイオード素子2
1において接合電位以上の順方向電圧降下が生じる。こ
のため、双方のカソード領域の中点の電位、つまり第3
の電極端子33の電位が、第2の電極端子32の電位に
対して上昇する。また、第3の電極端子33の電位は、
第1の電極端子32の電位に対して下降する。この電位
の変化に基づいて、第1のトランジスタ(pnp型バイ
ポーラトランジスタ)23の第1の制御電極領域(n型
ベース領域)と第1の主電極領域との間(ベース領域−
エミッタ領域間)が順方向にバイアスされ、第1のトラ
ンジスタ23が導通する。同時に、第1のトランジスタ
(pnp型バイポーラトランジスタ)23の第1の制御
電極領域(n型ベース領域)と第2の主電極領域との間
(ベース領域−コレクタ領域間)が順方向に深くバイア
スされる。この第1のトランジスタ23の導通により、
正のサージ電流は第1のトランジスタ23をバイパスと
して第2の電極端子32に流れ、発光ダイオード素子1
をサージ電圧から保護することができる。
【0033】なお、第2の電極端子32に過大な負のサ
ージ電圧が入力された場合も、ここで説明する保護回路
2の静電破壊防止動作と同様に、発光ダイオード素子1
をサージ電圧から保護することができる。
【0034】(2)第2の電極端子32に過大な正のサ
ージ電圧が入力された場合:第2の電極端子32に第1
の保護ダイオード素子21の逆方向耐圧を越えるような
正のサージ電圧が入力されると、このサージ電流は、第
2の保護ダイオード素子22を通過し、第1の保護ダイ
オード素子21がツェナブレークダウンすることによ
り、第1の保護ダイオード素子21のツェナ電圧にクラ
ンプされる。第1の保護ダイオード素子21の導通によ
り、サージ電圧は吸収されるが、第2の保護ダイオード
素子22にも、サージ電流が流れ、第2の保護ダイオー
ド素子22において接合電位以上の順方向電圧降下が生
じる。このため、第2の保護ダイオード素子22及び第
1の保護ダイオード素子21のカソード領域間の電位、
つまり第3の電極端子33の電位が第1の電極端子31
の電位に対して上昇する。第3の電極端子33の電位
は、第2の電極端子32の電位に対して下降する。この
電位変化に基づいて第2のトランジスタ(pnp型バイ
ポーラトランジスタ)24の第2の制御電極領域(n型
ベース領域)と第4の主電極領域との間(ベース領域−
エミッタ領域間)が順方向にバイアスされ、第2のトラ
ンジスタ24が導通する。同時に、第2のトランジスタ
(pnp型バイポーラトランジスタ)24の第2の制御
電極領域(n型ベース領域)と第3の主電極領域との間
(ベース領域−コレクタ領域間)が順方向に、深くバイ
アスされる。この第2のトランジスタ24の導通によ
り、正のサージ電流は第2のトランジスタ24をバイパ
スとして第1の電極端子31に流れ、発光ダイオード素
子1をサージ電圧から保護することができる。
【0035】なお、第1の電極端子31に過大な負のサ
ージ電圧が入力された場合も、ここで説明する保護回路
2の静電破壊防止動作と同様に、発光ダイオード素子1
をサージ電圧から保護することができる。
【0036】このように構成される本発明の第1の実施
の形態に係る保護回路2においては、第1のトランジス
タ23及び第2のトランジスタ24は、第1の保護ダイ
オード素子21及び第2の保護ダイオード素子22に比
べて、電流容量を増加させることができる。従って、過
大なサージ電圧は第1のトランジスタ23及び第2のト
ランジスタ24により吸収することができるので、静電
破壊耐圧を向上することができる。さらに、第1の保護
ダイオード素子21及び第2の保護ダイオード素子22
は、電流容量を第1のトランジスタ23及び第2のトラ
ンジスタ24で確保し、pn接合面積を減少してpn接
合容量(寄生容量)を低減することができるので、瞬時
にサージ電圧を吸収し、静電破壊防止動作の高速化を実
現することができる。さらに、第1のトランジスタ23
及び第2のトランジスタ24をバイポーラトランジスタ
とすることにより、pn接合部の表面側だけでなく、バ
ルク領域をサージ電圧の吸収経路とすることができるの
で、より一層電流容量を増加させて静電破壊耐圧を向上
することができる。
【0037】前述の図22に示す保護回路の保護ダイオ
ード素子102及び103のすべての電流容量レベル
と、本発明の第1の実施の形態に係る保護回路2のすべ
ての構成素子の電流容量レベルとを等しく設定した場
合、本発明の第1の実施の形態に係る保護回路2のすべ
ての構成素子のpn接合容量を約70%程減少すること
ができるを、本発明者は既に確認済みである。
【0038】さらに、本発明の第1の実施の形態に係る
保護回路2は、少なくとも第1の保護ダイオード素子2
1及び第2の保護ダイオード素子22を互いに逆方向に
なるように接続したので、正のサージ電圧、負のサージ
電圧のいずれも吸収することができ、異常電流が流れる
ことを防止することができる。従って、例えば前述の図
21に示すダイナミック点燈回路に本発明の第1の実施
の形態に係る保護回路2を適用した場合には、点燈セル
の誤点燈を防止することができる。
【0039】[保護回路素子の素子構造]次に、保護回
路素子20の具体的な素子構造を説明する。図2及び図
3に示すように、保護回路素子20は、基板40に保護
回路2を搭載することにより構成されている。基板40
は、本発明の第1の実施の形態に係る保護回路素子20
において、シリコン単結晶からなるp型半導体基板41
と、このp型半導体基板41の表面上に配設されたn型
エピタキシャル層42とを主体として構成されている。
n型エピタキシャル層42の周辺領域には、p型半導体
基板41に電気的に接続され、かつp型半導体基板41
に比べて高不純物密度に設定されたp型分離領域43が
配設されている。
【0040】保護回路2の第1の保護ダイオード素子2
1は、n型エピタキシャル層42の主面部に配設され、
p型半導体基板41に比べて高不純物密度のp型半導体
領域45Aをアノード領域として、同様にn型エピタキ
シャル層42の主面部に配設され、n型エピタキシャル
層42に比べて高不純物密度のn型半導体領域46をカ
ソード領域として構成されている。図2に示すように、
n型半導体領域46はT字型の平面形状により形成され
ており、このn型半導体領域46の中央部分はp型半導
体領域45Aと比較的長いpn接合面積を確保して第1
の保護ダイオード素子21を構成している。p型半導体
領域45Aは、n型エピタキシャル層42の表面上に絶
縁膜50を介在させて配設されたアノード領域51に、
絶縁膜50に配設された接続孔(符号は付けない。)を
通して電気的に接続されている。このアノード領域51
は第1の電極端子31に電気的に接続されるようになっ
ている。アノード領域51には、例えばアルミニウム
(Al)膜、又はSiやCuが添加されたAl合金膜を
使用することができる。絶縁膜50には例えばシリコン
酸化膜、シリコン窒化膜等の単層膜や、それらを組み合
わせて積層した複合膜を使用することができる。n型半
導体領域46は、同様に絶縁膜50を介在して配設され
たカソード領域52に、絶縁膜50に配設された接続孔
(符号は付けない。)を通して電気的に接続されてい
る。このカソード領域52は第3の電極端子33に電気
的に接続されるようになっている。カソード領域52
は、アノード領域51と同一層に形成され、同一導電性
材料により形成されている。
【0041】第2の保護ダイオード素子22は、n型エ
ピタキシャル層42の主面部において第1の保護ダイオ
ード素子21のp型半導体領域45Aとは離間して配設
され、p型半導体基板41に比べて高不純物密度のp型
半導体領域45Bをアノード領域として、第1の保護ダ
イオード素子21のn型半導体領域46を兼用し、この
n型半導体領域46をカソード領域として構成されてい
る。アノード領域のp型半導体領域45A、45Bのそ
れぞれは同一層(製造方法としては同一工程)で形成さ
れている。上記のようにn型半導体領域46はT字型の
平面形状により形成されており、このn型半導体領域4
6の3カ所の各々の端部において、合計3個のp型半導
体領域45B(1)〜45B(3)とpn接合を構成し
ており、第2の保護ダイオード素子22は電気的に並列
接続された合計3個の保護ダイオード素子により構成さ
れている。
【0042】すなわち、第1の保護ダイオード素子21
から第2の保護ダイオード素子22にサージ電流を分散
させて流すことができるので、第2の保護ダイオード素
子22それ自体の静電破壊を防止することができる。ま
た、第2の保護ダイオード素子22から第1の保護ダイ
オード素子21にサージ電流を徐々に収束することがで
きるので、第1の保護ダイオード素子21それ自体の静
電破壊を防止することができる。
【0043】p型半導体領域45Bは、p型分離領域4
3、p型半導体基板41のそれぞれを通して、p型半導
体基板41の裏面上に配設された裏面カソード領域60
に電気的に接続されている。この裏面カソード領域60
は第2の電極端子32に電気的に接続されている。裏面
カソード領域60には、例えば、Alの他タングステン
(W)、モリブデン(Mo)等を使用することができ
る。
【0044】第1のトランジスタ23は、第1の保護ダ
イオード素子21のp型半導体領域45Aを第1の主電
極領域(p型エミッタ領域)として、p型半導体基板4
1を第2の主電極領域(p型コレクタ領域)として、n
型エピタキシャル層42を第1の制御電極領域(n型ベ
ース領域)として構成されている。n型エピタキシャル
層42は、第1の保護ダイオード素子21、第2の保護
ダイオード素子22のそれぞれのカソード領域として使
用されるn型半導体領域46に電気的に接続されてお
り、このn型半導体領域46を通して第3の電極端子3
3に電気的に接続されている。
【0045】第2のトランジスタ24は、第1の保護ダ
イオード素子21のp型半導体領域45Aを第3の主電
極領域(p型コレクタ領域)として、p型半導体基板4
1を第4の主電極領域(p型エミッタ領域)として、n
型エピタキシャル層42を第2の制御電極領域(n型ベ
ース領域)として構成されている。
【0046】このように構成される本発明の第1の実施
の形態に係る保護回路素子20においては、上記保護回
路2を基板40に搭載しているので、静電破壊耐圧を向
上することができ、かつ静電破壊防止動作の高速化を実
現することができる。
【0047】さらに、本発明の第1の実施の形態に係る
保護回路素子20においては、第1の保護ダイオード素
子21のカソード領域としてのn型半導体領域46と、
第2の保護ダイオード素子22のカソード領域としての
n型半導体領域46とを兼用したので、第1の保護ダイ
オード素子21及び第2の保護ダイオード素子22の占
有面積を縮小することができる。同様に、第1の保護ダ
イオード素子21のアノード領域としてのp型半導体領
域45Aと、第1のトランジスタ23の第1の主電極領
域及び第2のトランジスタ24の第3の主電極領域とを
兼用したので、第1の保護ダイオード素子21、第1の
トランジスタ23及び第2のトランジスタ24の占有面
積を縮小することができる。従って、保護回路素子20
の高集積化を実現することができ、保護回路素子20の
小型化を実現することができる。
【0048】[発光デバイスの構造]次に、上記保護回
路素子20と発光ダイオード素子1との接続構造、並び
に保護回路素子20及び発光ダイオード素子1を実装し
た発光デバイスの構造を説明する。
【0049】(1)保護回路素子20と発光ダイオード
素子1との接続構造:図4乃至図6に示す保護回路素子
20は、上記図2及び図3に示す保護回路素子20の保
護回路2と基本的には同一の構造及び機能を有してお
り、さらに基板40に発光ダイオード素子1を実装する
領域を備え、この基板40上に発光ダイオード素子1を
実装した状態にある。
【0050】図4中上側及び図6に示すように、保護回
路素子20においては、基板40上に発光素子側アノー
ド領域53と、発光素子側カソード領域54とを備えて
いる。発光素子側アノード領域53は、アノード領域5
1に電気的に接続されており、保護回路2の第1の保護
ダイオード素子21のp型半導体領域45Aに電気的に
接続されている。発光素子側カソード領域54は、その
直下の絶縁膜50に形成された接続孔(符号は付けな
い。)を通してp型分離領域43に電気的に接続され、
このp型分離領域43、p型半導体基板41のそれぞれ
を介在させて裏面カソード領域60に電気的に接続され
ている。発光素子側アノード領域53、発光素子側カソ
ード領域54は、いずれもアノード領域51、カソード
領域52等と同一層に形成され、かつ同一導電性材料に
より形成されている。
【0051】そして、発光ダイオード素子1は、その構
造を明確に図示していないが、GaN系化合物半導体基
板(GaNチップ)10にpn接合を形成することによ
り構成されている。このGaN系化合物半導体基板10
上にはアノード領域11及びカソード領域12が配設さ
れている。アノード領域11は、マイクロバンプ電極領
域13を通して保護回路素子20の発光素子側アノード
領域53に電気的に接続されている。カソード領域12
は、マイクロバンプ電極領域13を通して発光素子側カ
ソード領域54に電気的に接続されている。本発明の第
1の実施の形態においては、保護回路素子20への発光
ダイオード素子1の実装はいわゆるフリップチップ方式
のフェースダウンタイプで行われている。
【0052】なお、保護回路素子20において、アノー
ド領域51、カソード領域52のそれぞれは外部端子
(ボンディングパッド)としての機能も備えている。
【0053】(2)発光デバイスの第1のデバイス構
造:次に、本発明の第1の実施の形態に係る発光デバイ
スの第1のデバイス構造を説明する。図7に示すよう
に、発光デバイス7は、保護回路素子20と、この保護
回路素子20上に実装された発光ダイオード素子1と、
保護回路素子20を底面上に搭載するカップ型のカソー
ド領域板70と、保護回路素子20の側部に配設された
第1の電極端子(電極領域リードピン)31と、カソー
ド領域板70の底面下に接合された第2の電極端子(電
極領域リードピン)32と、保護回路素子20の他の側
部に配設された第3の電極端子(電源リードピン)33
と、第1の電極端子31と保護回路素子20のアノード
領域51との間を電気的に接続するワイヤ74と、第3
の電極端子33とカソード領域52との間を電気的に接
続するワイヤ74と、少なくとも保護回路素子20及び
発光ダイオード素子1を封止する封止体75とを少なく
とも備えて構成されている。
【0054】保護回路素子20の裏面カソード領域60
とカソード領域板70との間は、例えばAgペースト等
の導電性接着剤により電気的かつ機械的に接続されてい
る。
【0055】このカソード領域板70には、例えば、A
l、Cu、或いは、Cu−Fe,Cu−Cr,Cu−N
i−Si,Cu−Sn等の銅合金、Ni−Fe、Fe−
Ni−Co等のニッケル・鉄合金、或いは銅とステンレ
スの複合材料等を用いることが可能である。さらに、こ
れらの金属にNiメッキやAuメッキ等を施したものな
どから構成しても良い。第1の電極端子31、第2の電
極端子32、第3の電極端子33もこれらの導電性材料
により形成することができる。ワイヤ74には例えばA
uワイヤ、Cuワイヤ、Alワイヤ等を使用することが
できる。
【0056】樹脂体75は、例えば発光ダイオード素子
1から発光される光を透過することができる透明な樹脂
により形成されている。この樹脂体75の上部は、半球
形状により構成されており、凸型レンズとしての機能を
備えている。
【0057】(3)発光デバイスの第2のデバイス構
造:次に、本発明の第1の実施の形態に係る発光デバイ
スの第2のデバイス構造を説明する。図8及び図9に示
すように、発光デバイス8は、保護回路素子20と、こ
の保護回路素子20上に実装された発光ダイオード素子
1と、保護回路素子20を実装し、表面上に第1の電極
端子31、第2の電極端子32及び第3の電極端子33
が配設された配線基板80と、第1の電極端子31と保
護回路素子20のアノード領域51との間を電気的に接
続するワイヤ84と、第3の電極端子33とカソード領
域52との間を電気的に接続するワイヤ84と、配線基
板80上において少なくとも保護回路素子20及び発光
ダイオード素子1を封止する封止体85とを少なくとも
備えて構成されている。
【0058】配線基板80には、例えばエポキシ系樹脂
基板等の樹脂基板、セラミックス基板、導電性基板の表
面及び裏面に絶縁板を張り合わせた基板等を使用するこ
とができる。第1の電極端子31、第2の電極端子3
2、第3の電極端子33のそれぞれは、この配線基板8
0の表面上に電極領域パターンとして形成されており、
例えばCu膜、Cu合金膜、高融点金属膜等の配線材料
により形成されている。第2の電極端子32は保護回路
素子20の実装領域まで引き伸ばされており、この第2
の電極端子32の引き伸ばされた領域に例えばAgペー
スト等の導電性接着剤を介在させて保護回路素子20の
裏面カソード領域60が電気的にかつ機械的に接続され
ている。ワイヤ84には例えばAuワイヤ、Cuワイ
ヤ、Alワイヤ等を使用することができる。
【0059】樹脂体85は、樹脂体75と同様に、例え
ば発光ダイオード素子1から発光される光を透過するこ
とができる透明な樹脂により形成されている。
【0060】このように構成される本発明の第1の実施
の形態に係る発光デバイス7、8のそれぞれにおいて
は、上記保護回路2を搭載した保護回路素子20を備え
ているので、発光ダイオード素子1の静電破壊耐圧を向
上することができ、かつ静電破壊防止動作の高速化を実
現することができる。
【0061】[保護回路素子20の変形例]次に、本発
明の第1の実施の形態に係る保護回路2、保護回路素子
20並びに発光デバイス7又は8の変形例を説明する。
【0062】(1)第1の変形例:本発明の第1の実施
の形態の第1の変形例に係る保護回路素子20は、図1
0に示すように、保護回路2の第1の保護ダイオード素
子21、第2の保護ダイオード素子22のそれぞれのカ
ソード領域としてのn型半導体領域46の平面形状を方
形形状としたものである。図2及び図3に示す第2の保
護ダイオード素子22は3個の並列接続された保護ダイ
オード素子により形成されていたが、図10に示す第2
の保護ダイオード素子22は1個の保護ダイオード素子
により形成されている。
【0063】(2)第2の変形例:本発明の第1の実施
の形態の第2の変形例に係る保護回路素子20は、図1
1及び図12に示すように、保護回路2の第1の保護ダ
イオード素子21、第2の保護ダイオード素子22のそ
れぞれのカソード領域としてのn型半導体領域46を、
第1の保護ダイオード素子21のアノード領域としての
p型半導体領域45Aを中心として対向するその両側に
配設したものである。すなわち、第1の保護ダイオード
素子21は電気的に並列に接続された2個の保護ダイオ
ード素子により形成され、第2の保護ダイオード素子2
2は同様に電気的に並列に接続された2個の保護ダイオ
ード素子により形成されている。
【0064】さらに、図11及び図12に示す保護回路
素子20においては、第3の電極端子33、並びにこの
第3の電極端子33に接続されるカソード領域52が配
設されていない。基本的には、外部から第3の電極端子
33にカソード電位の供給が無くても、第1の保護ダイ
オード素子21と第2の保護ダイオード素子22との間
にサージ電流が流れれば、カソード領域に電圧降下が発
生し、第1のトランジスタ23又は第2のトランジスタ
24が動作するようになっている。
【0065】(第2の実施の形態)本発明の第2の実施
の形態は、本発明の第1の実施の形態に係る保護回路2
の回路構成を代えた場合を説明するものである。
【0066】[保護回路の回路構成]図13に示すよう
に、本発明の第2の実施の形態に係る発光デバイス10
は、本発明の第1の実施の形態に係る発光デバイス10
と同様に、発光ダイオード素子1と、この発光ダイオー
ド素子1の静電破壊を防止する保護回路素子20とを備
えて構成されている。
【0067】本発明の第2の実施の形態において、保護
回路素子20は少なくとも保護回路2を搭載しており、
この保護回路2は、第1の電極端子31と第2の電極端
子32との間に、互いに逆向きで直列に接続された第1
の保護ダイオード素子21及び第2の保護ダイオード素
子22と、第1の電極端子31に第1の主電極領域が、
第2の電極端子に第2の主電極領域がそれぞれ接続さ
れ、第1の制御電極領域が第1の保護ダイオード素子2
1と第2の保護ダイオード素子22との間に接続された
第1のトランジスタ25と、第1の電極端子31に第3
の主電極領域が、第2の電極端子32に第4の主電極領
域がそれぞれ接続され、第2の制御電極領域が第1の保
護ダイオード素子21と第2の保護ダイオード素子22
との間に接続され、第1のトランジスタ25と逆方向の
第2のトランジスタ26とを備えて構成されている。
【0068】第1の電極端子31は、発光ダイオード素
子1のアノード領域に電気的に接続されており、アノー
ド電極端子として使用されている。第2の電極端子32
は、発光ダイオード素子1のカソード領域に電気的に接
続されており、カソード電極端子として使用されてい
る。
【0069】本発明の第2の実施の形態において、第1
の保護ダイオード素子21と第2の保護ダイオード素子
22とは、互いに電流方向が逆向きになるように、互い
のアノード領域が電気的に直列に接続されている。第1
の保護ダイオード素子21のカソード領域は第1の電極
端子31に電気的に接続されている。第2の保護ダイオ
ード素子22のカソード領域は第2の電極端子32に電
気的に接続されている。そして、第1の保護ダイオード
素子21のアノード領域、第2の保護ダイオード素子2
2のアノード領域のそれぞれは、アノード電位を制御す
る(導通、非導通を制御する)第3の電極端子33に電
気的に接続されている。
【0070】第1のトランジスタ25、第2のトランジ
スタ26は、本発明の第2の実施の形態において、np
n型バイポーラトランジスタにより構成されている。す
なわち、第1のトランジスタ25は、第1の主電極領域
をn型コレクタ領域、第2の主電極領域をn型エミッタ
領域、第1の制御電極領域を第3の電極端子33に接続
されたp型ベース領域として構成されている。第2のト
ランジスタ26は、第3の主電極領域をn型エミッタ領
域、第4の主電極領域をn型コレクタ領域、第2の制御
電極領域を第3の電極端子33に接続されたp型ベース
領域として構成されている。
【0071】[保護回路の静電破壊防止動作]次に、図
13に示す保護回路2の静電破壊防止動作を説明する。
【0072】(1)第1の電極端子31に過大な正のサ
ージ電圧が入力された場合:第1の電極端子31に第1
の保護ダイオード素子21の逆方向耐圧を越えるような
正のサージ電圧が入力されると、このサージ電流は、第
1の保護ダイオード素子21においてツェナブレークダ
ウンにより吸収される。この時、第1の保護ダイオード
素子21及び第2の保護ダイオード素子22に電流が流
れ、双方のアノード領域間の中点の電位、つまり第3の
電極端子33の電位が第1の電極端子31の電位に対し
て、第1の保護ダイオード素子21のツェナ電圧分下降
する。
【0073】また、第3の電極端子33の電位は、第2
の電極端子32の電位に対して、第2の保護ダイオード
素子22の、サージ電流による順方向電圧降下分だけ上
昇する。この電位変化に基づいて第1のトランジスタ
(npn型バイポーラトランジスタ)25の第1の制御
電極領域(p型ベース領域)の電位が変動し、第1の制
御電極領域と第2の主電極領域との間(ベース領域−エ
ミッタ領域間)が順方向にバイアスされ、第1のトラン
ジスタ25が導通する。この第1のトランジスタ25の
導通により、正のサージ電流は第1のトランジスタ25
をバイパスとして第2の電極端子32に流れ、発光ダイ
オード素子1をサージ電圧から保護することができる。
【0074】なお、第2の電極端子32に過大な負のサ
ージ電圧が入力された場合も、ここで説明する保護回路
2の静電破壊防止動作と同様に、発光ダイオード素子1
をサージ電圧から保護することができる。
【0075】(2)第2の電極端子32に過大な正のサ
ージ電圧が入力された場合:第2の電極端子32に第2
の保護ダイオード素子22の逆方向耐圧を越えるような
正のサージ電圧が入力されると、このサージ電流は、第
2の保護ダイオード素子22においてツェナブレークダ
ウンにより吸収される。この時、第2の保護ダイオード
素子22にもサージ電流が流れ、第2の保護ダイオード
素子22の順方向電圧降下が大きくなる。第1の保護ダ
イオード素子21と第2の保護ダイオード素子22のア
ノード領域間の中点の電位、つまり第3の電極端子33
の電位の電位変化に基づいて、第2のトランジスタ(n
pn型バイポーラトランジスタ)26の第2の制御電極
領域(p型ベース領域)の電位が変化し、第2の制御電
極領域と第3の主電極領域との間(ベース領域−エミッ
タ領域間)が順方向にバイアスされ、第2のトランジス
タ26が導通する。この第2のトランジスタ26の導通
により、正のサージ電流は第2のトランジスタ26をバ
イパスとして第1の電極端子31に流れ、発光ダイオー
ド素子1をサージ電圧から保護することができる。
【0076】なお、第1の電極端子31に過大な負のサ
ージ電圧が入力された場合も、ここで説明する保護回路
2の静電破壊防止動作と同様に、発光ダイオード素子1
をサージ電圧から保護することができる。
【0077】このように構成される本発明の第2の実施
の形態に係る保護回路2においては、第1のトランジス
タ25及び第2のトランジスタ26は、第1の保護ダイ
オード素子21及び第2の保護ダイオード素子22に比
べて、電流容量を増加させることができる。従って、過
大なサージ電圧は第1のトランジスタ25及び第2のト
ランジスタ26により吸収することができるので、静電
破壊耐圧を向上することができる。さらに、第1の保護
ダイオード素子21及び第2の保護ダイオード素子22
は、電流容量を第1のトランジスタ25及び第2のトラ
ンジスタ26で確保し、pn接合面積を減少してpn接
合容量(寄生容量)を低減することができるので、瞬時
にサージ電圧を吸収し、静電破壊防止動作の高速化を実
現することができる。さらに、第1のトランジスタ25
及び第2のトランジスタ26をバイポーラトランジスタ
とすることにより、pn接合部の表面側だけでなく、バ
ルク領域をサージ電圧の吸収経路とすることができるの
で、より一層電流容量を増加させて静電破壊耐圧を向上
することができる。
【0078】さらに、本発明の第2の実施の形態に係る
保護回路2は、少なくとも第1の保護ダイオード素子2
1及び第2の保護ダイオード素子22を互いに逆方向に
なるように接続したので、正のサージ電圧、負のサージ
電圧のいずれも吸収することができ、異常電流が流れる
ことを防止することができる。
【0079】そして、本発明の第2の実施の形態に係る
保護回路2は、第1のトランジスタ25、第2のトラン
ジスタ26のそれぞれを電子が担体として機能するnp
n型バイポーラトランジスタとしているので、本発明の
第1の実施の形態に係る保護回路2の第1のトランジス
タ23及び第2のトランジスタ24(pnp型バイポー
ラトランジスタ)に比べて動作速度が速くなり、静電破
壊防止動作のより一層の高速化を実現することができ
る。
【0080】[保護回路素子の素子構造]次に、保護回
路素子20の具体的な素子構造を説明する。図14及び
図15に示すように、保護回路素子20は、基板40に
保護回路2を搭載することにより構成されている。基板
40は、本発明の第2の実施の形態に係る保護回路素子
20において、シリコン単結晶からなるp型半導体基板
41と、このp型半導体基板41の表面上に配設された
n型エピタキシャル層42とを主体として構成されてい
る。n型エピタキシャル層42の周辺領域には、p型半
導体基板41に電気的に接続され、かつp型半導体基板
41に比べて高不純物密度に設定されたp型分離領域4
3が配設されている。
【0081】保護回路2の第1の保護ダイオード素子2
1は、n型エピタキシャル層42の主面部に配設され、
p型半導体基板41に比べて高不純物密度のp型半導体
領域45をアノード領域として、このp型半導体領域4
5の主面部に配設され、n型エピタキシャル層42に比
べて高不純物密度のn型半導体領域46Aをカソード領
域として構成されている。図14に示すように、n型半
導体領域46Aは円形の平面形状により形成され、p型
半導体領域45はこのn型半導体領域46Aと同心の平
面リング形状により形成されており、n型半導体領域4
6A及びp型半導体領域45は比較的長いpn接合面積
を確保して第1の保護ダイオード素子21を構成してい
る。p型半導体領域45は、n型エピタキシャル層42
の表面上に絶縁膜50を介在させて配設されたアノード
領域51に、絶縁膜50に配設された接続孔(符号は付
けない。)を通して電気的に接続されている。このアノ
ード領域51は第3の電極端子33に電気的に接続され
るようになっている。アノード領域51等は、本発明の
第1の実施の形態に係る保護回路素子20のアノード領
域51等と同様の導電性材料により形成することができ
る。n型半導体領域46Aは、同様に絶縁膜50を介在
して配設されたカソード領域52に、絶縁膜50に配設
された接続孔(符号は付けない。)を通して電気的に接
続されている。このカソード領域52は第1の電極端子
31に電気的に接続されるようになっている。
【0082】第2の保護ダイオード素子22は、第1の
保護ダイオード素子21のp型半導体領域45を兼用
し、このp型半導体領域45をアノード領域として、n
型エピタキシャル層42の主面部において第1の保護ダ
イオード素子21のn型半導体領域46Aとは離間して
配設され、n型エピタキシャル層42に比べて高不純物
密度のn型半導体領域46Bをカソード領域として構成
されている。カソード領域のn型半導体領域46A、4
6Bのそれぞれは同一層(製造方法としては同一工程)
で形成されている。さらに、n型半導体領域46Bは、
p型半導体領域45よりもさらに外周囲において、n型
半導体領域46Aと同心の平面リング形状により形成さ
れており、n型半導体領域46B及びp型半導体領域4
5は比較的長いpn接合面積を確保して第2の保護ダイ
オード素子22を構成している。n型半導体領域46B
は、絶縁膜50を介在して配設されたカソード領域55
に、絶縁膜50に配設された接続孔(符号は付けな
い。)を通して電気的に接続されている。このカソード
領域55は、周囲のp型分離領域43、p型半導体基板
41のそれぞれを通して裏面カソード領域60に電気的
に接続されており、この裏面カソード領域60はさらに
第2の電極端子32に電気的に接続されるようになって
いる。
【0083】上記第1の保護ダイオード素子21、第2
の保護ダイオード素子22のそれぞれを構成するn型半
導体領域46A、p型半導体領域45、n型半導体領域
46Bのそれぞれは同心の円形形状やリング形状で形成
され、さらに中心からその周辺領域に順次配設させてい
るので、第1の保護ダイオード素子21から第2の保護
ダイオード素子22にサージ電流を放射状に分散させて
流すことができ、第2の保護ダイオード素子22それ自
体の静電破壊を防止することができる。また、第2の保
護ダイオード素子22から第1の保護ダイオード素子2
1にサージ電流を徐々に収束することができるので、第
1の保護ダイオード素子21それ自体の静電破壊を防止
することができる。
【0084】第1のトランジスタ25は、第1の保護ダ
イオード素子21のn型半導体領域46Aを第1の主電
極領域(n型コレクタ領域)として、n型エピタキシャ
ル層42を第2の主電極領域(n型エミッタ領域)とし
て、第1の保護ダイオード素子21及び第2の保護ダイ
オード素子22のp型半導体領域45を第1の制御電極
領域(p型ベース領域)として構成されている。n型エ
ピタキシャル層42は、それよりも高不純物密度のn型
半導体領域46C、カソード領域55、p型分離領域4
3、p型半導体基板41のそれぞれを通して裏面カソー
ド領域60に電気的に接続されている。すなわち、n型
エピタキシャル層42は第2の電極端子32に電気的に
接続されている。p型半導体領域45は、第1の保護ダ
イオード素子21、第2の保護ダイオード素子22のそ
れぞれのアノード領域として使用されるp型半導体領域
45と一体的に形成されており、アノード領域51を通
して第3の電極端子33に電気的に接続されている。
【0085】第2のトランジスタ26は、第1の保護ダ
イオード素子21のn型半導体領域46Aを第3の主電
極領域(n型エミッタ領域)として、n型エピタキシャ
ル層42を第4の主電極領域(n型コレクタ領域)とし
て、p型半導体領域45を第2の制御電極領域(p型ベ
ース領域)として構成されている。
【0086】このように構成される本発明の第2の実施
の形態に係る保護回路素子20においては、上記保護回
路2を基板40に搭載しているので、静電破壊耐圧を向
上することができ、かつ静電破壊防止動作のより一層の
高速化を実現することができる。
【0087】さらに、本発明の第2の実施の形態に係る
保護回路素子20においては、第1の保護ダイオード素
子21のアノード領域としてのp型半導体領域45と、
第2の保護ダイオード素子22のアノード領域としての
p型半導体領域45とを兼用したので、第1の保護ダイ
オード素子21及び第2の保護ダイオード素子22の占
有面積を縮小することができる。同様に、第1の保護ダ
イオード素子21のカソード領域としてのn型半導体領
域46Aと、第1のトランジスタ25の第1の主電極領
域及び第2のトランジスタ26の第3の主電極領域とを
兼用したので、第1の保護ダイオード素子21、第1の
トランジスタ25及び第2のトランジスタ26の占有面
積を縮小することができる。従って、保護回路素子20
の高集積化を実現することができ、保護回路素子20の
小型化を実現することができる。
【0088】(第3の実施の形態)本発明の第3の実施
の形態は、本発明の第1の実施の形態に係る保護回路2
にさらに別の保護素子を加え、静電破壊耐圧を向上しつ
つ、静電破壊防止動作をより一層高速化した場合を説明
するものである。
【0089】[保護回路の回路構成]図16に示すよう
に、本発明の第3の実施の形態に係る発光デバイス10
は、本発明の第1の実施の形態に係る発光デバイス10
と同様に、発光ダイオード素子1と、この発光ダイオー
ド素子1の静電破壊を防止する保護回路素子20とを備
えて構成されている。
【0090】本発明の第3の実施の形態において、保護
回路素子20は少なくとも保護回路2を搭載しており、
この保護回路2は、本発明の第1の実施の形態に係る保
護回路2に、第1の電極端子31に第5の主電極領域及
び第3の制御電極が、第2の電極端子32に第6の主電
極領域がそれぞれ接続された第3のトランジスタ27
と、第1の電極端子31に第7の主電極領域が、第2の
電極端子32に第8の主電極領域及び第4の制御電極が
それぞれ接続された第4のトランジスタ28とをさらに
備えて構成されている。
【0091】本発明の第3の実施の形態において、第3
のトランジスタ27、第4のトランジスタ28のそれぞ
れには、例えば絶縁ゲート型電界効果トランジスタ、好
ましはpチャネル型MISFET(金属−絶縁物−半導
体電界効果トランジスタ)を使用することができる。す
なわち、第3のトランジスタ27は、第5の主電極領域
をp型ドレイン領域、第6の主電極領域をp型ソース領
域、第3の制御電極をゲート電極として構成されてい
る。第4のトランジスタ28は、第7の主電極領域をp
型ドレイン領域、第8の主電極領域をp型ソース領域、
第4の制御電極をゲート電極として構成されている。な
お、本発明の第3の実施の形態に係る保護回路2におい
ては、第3のトランジスタ27、第4のトランジスタ2
8のそれぞれにnチャネル型MISFETを使用するこ
とができる。
【0092】[保護回路の静電破壊防止動作]次に、図
16に示す保護回路2の静電破壊防止動作を説明する。
【0093】(1)第1の電極端子31に過大な正のサ
ージ電圧が入力された場合:第1の電極端子31に第2
の保護ダイオード素子22の逆方向耐圧を越えるような
正のサージ電圧が入力されると、このサージ電流は、第
1の保護ダイオード素子21を通過し、第2の保護ダイ
オード素子22においてツェナブレークダウンにより吸
収される。この時、第1の保護ダイオード素子21は、
サージ電流により、大きな順方向電圧降下が生じ、第1
の保護ダイオード素子21と第2の保護ダイオード素子
22とのカソード領域間の中点の電位、つまり第3の電
極端子33の電位が変化する。この電位変化に基づいて
第1のトランジスタ(pnp型バイポーラトランジス
タ)23の第1の制御電極領域(n型ベース領域)に電
圧降下が生じ、第1の制御電極領域と第1の主電極領域
との間(ベース領域−エミッタ領域間)が順方向にバイ
アスされ、第1のトランジスタ23が導通する。この第
1のトランジスタ23の導通により、正のサージ電流は
第1のトランジスタ23をバイパスとして第2の電極端
子32に流れ、発光ダイオード素子1をサージ電圧から
保護することができる。
【0094】さらに、第1の電極端子31に正のサージ
電圧が入力されると、このサージ電圧は第5のトランジ
スタ28の第4の制御電極(ゲート電極)にも印加さ
れ、第4のトランジスタ28が導通する。この第4のト
ランジスタ28の導通により、正のサージ電流は第4の
トランジスタ28をバイパスとして第1の電極端子31
に流れ、発光ダイオード素子1をサージ電圧から保護す
ることができる。
【0095】さらに、第2の電極端子32に正のサージ
電圧が入力されると、第4のトランジスタ28の第7の
主電極領域(p型ソース領域)及び第7の主電極領域ほ
ぼ同電位のチャネルの電位が、第4の制御電極(ゲート
電極)及び第8の主電極領域(p型ドレイン領域)の電
位に対して、上昇する。即ち、このサージ電圧は、第4
のトランジスタ28の第4の制御電極(ゲート電極)
を、第7の主電極領域(p型ソース領域)及びチャネル
に対して、負にバイアスし、第4のトランジスタ28導
通する。この第4のトランジスタ28の導通により、正
のサージ電流は第4のトランジスタ28をバイパスとし
て第2の電極端子32に流れ、発光ダイオード素子1を
サージ電圧から保護することができる。
【0096】なお、第2の電極端子32に過大な負のサ
ージ電圧が入力された場合も、ここで説明する保護回路
2の静電破壊防止動作と同様に、発光ダイオード素子1
をサージ電圧から保護することができる。
【0097】(2)第2の電極端子32に過大な正のサ
ージ電圧が入力された場合:第2の電極端子32に第1
の保護ダイオード素子21の逆方向耐圧を越えるような
正のサージ電圧が入力されると、このサージ電流は、第
2の保護ダイオード素子22を通過し、第1の保護ダイ
オード素子21においてツェナブレークダウンにより吸
収される。この時、第2の保護ダイオード素子22に大
電流が流れ、第2の保護ダイオード素子22の順方向降
下電圧が大きくなる。このため、第3の電極端子33の
電位が、第2の電極端子32に対して降下する。即ち、
第2のトランジスタ(pnp型バイポーラトランジス
タ)24の第2の制御電極領域(n型ベース領域)の電
位が、第2の電極端子32に対して降下し、第2の制御
電極領域と第4の主電極領域との間(ベース領域−エミ
ッタ領域間)が順方向にバイアスされ、第2のトランジ
スタ24が導通する。この第2のトランジスタ24の導
通により、正のサージ電流は第2のトランジスタ24を
バイパスとして第1の電極端子31に流れ、発光ダイオ
ード素子1をサージ電圧から保護することができる。
【0098】さらに、第2の電極端子32に正のサージ
電圧が入力されると、第3のトランジスタ27の第6の
主電極領域(p型ソース領域)及び第6の主電極領域ほ
ぼ同電位のチャネルの電位が、第3の制御電極(ゲート
電極)及び第5の主電極領域(p型ドレイン領域)の電
位に対して、上昇する。即ち、このサージ電圧は、第3
のトランジスタ27の第3の制御電極(ゲート電極)
を、第6の主電極領域(p型ソース領域)及びチャネル
に対して、負にバイアスし、第3のトランジスタ27が
導通する。この第3のトランジスタ27の導通により、
正のサージ電流は第3のトランジスタ27をバイパスと
して第2の電極端子32に流れ、発光ダイオード素子1
をサージ電圧から保護することができる。
【0099】なお、第1の電極端子31に過大な負のサ
ージ電圧が入力された場合も、ここで説明する保護回路
2の静電破壊防止動作と同様に、発光ダイオード素子1
をサージ電圧から保護することができる。
【0100】このように構成される本発明の第3の実施
の形態に係る保護回路2においては、本発明の第1の実
施の形態に係る保護回路2により得られる効果に加え
て、第1のトランジスタ23及び第2のトランジスタ2
4つまりpnp型バイポーラトランジスタに比べて接合
容量が小さい第3のトランジスタ27及び第4のトラン
ジスタ28つまり絶縁ゲート型電界効果トランジスタを
備えているので、この絶縁ゲート型電界効果トランジス
タによりサージ電圧を高速に吸収することができ、静電
破壊耐圧を向上することができるとともに、より一層静
電破壊防止動作の高速化を実現することができる。
【0101】[保護回路素子の素子構造]次に、保護回
路素子20の具体的な素子構造を説明する。図17、図
18及び図19に示すように、保護回路素子20は、基
板40に保護回路2を搭載することにより構成されてい
る。基板40は、本発明の第1の実施の形態に係る保護
回路素子20の基板40と同様に、シリコン単結晶から
なるp型半導体基板41と、このp型半導体基板41の
表面上に配設されたn型エピタキシャル層42とを主体
として構成されている。n型エピタキシャル層42の周
辺領域には、p型半導体基板41に電気的に接続され、
かつp型半導体基板41に比べて高不純物密度に設定さ
れたp型分離領域が配設されている。
【0102】保護回路2の第1の保護ダイオード素子2
1、第2の保護ダイオード素子22、第1のトランジス
タ23、第2のトランジスタ24のそれぞれは、本発明
の第1の実施の形態に係る保護回路2の各素子と同一構
造であるので、ここでの説明は省略する。
【0103】保護回路2の第3のトランジスタ27は、
第1の保護ダイオード素子21のp型半導体領域45A
を第5の主電極領域(p型ソース領域)として、p型分
離領域43を第6の主電極領域(p型ドレイン領域)と
して、n型エピタキシャル層42をチャネル形成領域と
して、絶縁膜50をゲート絶縁膜として、さらにアノー
ド領域51と一体的に形成されたゲート電極56を第3
の制御電極(ゲート電極)として構成されている。第5
の主電極領域(p型半導体領域45A)、ゲート電極5
6のそれぞれは第1の電極端子31に電気的に接続され
るようになっている。第6の主電極領域(p型分離領域
43)はp型半導体基板41、裏面カソード領域60の
それぞれを通して第2の電極端子32に電気的に接続さ
れるようになっている。この第3のトランジスタ27は
いわゆるAlゲート電極型の絶縁ゲート型電界効果トラ
ンジスタにより形成されている。
【0104】同様に、第4のトランジスタ28は、第1
の保護ダイオード素子21のp型半導体領域45Aを第
7の主電極領域(p型ソース領域)として、p型分離領
域43を第8の主電極領域(p型ドレイン領域)とし
て、n型エピタキシャル層42をチャネル形成領域とし
て、絶縁膜50をゲート絶縁膜として、さらにアノード
領域51と同一層に形成されたゲート電極57を第3の
制御電極(ゲート電極)として構成されている。第7の
主電極領域(p型半導体領域45A)は第1の電極端子
31に電気的に接続されるようになっている。第8の主
電極領域(p型分離領域43)、ゲート電極57のそれ
ぞれはp型半導体基板41、裏面カソード領域60のそ
れぞれを通して第2の電極端子32に電気的に接続され
るようになっている。この第4のトランジスタ28は、
第3のトランジスタ27と同様に、Alゲート電極型の
絶縁ゲート型電界効果トランジスタにより形成されてい
る。
【0105】なお、このような構造に必ずしも限定され
るものではないが、本発明の第3の実施の形態に係る保
護回路素子20においては、p型半導体領域45A(ア
ノード領域及びソース領域)を中心として対向する両端
部に、電気的に並列に接続された2個の第4のトランジ
スタ28が配設されている。
【0106】このように構成される本発明の第3の実施
の形態に係る保護回路素子20においては、本発明の第
1の実施の形態に係る保護回路素子20により得られる
効果と同様の効果を得ることができる。
【0107】さらに、本発明の第3の実施の形態に係る
保護回路素子20においては、第1の保護ダイオード素
子21のアノード領域としてのp型半導体領域45Aを
第3のトランジスタ27のソース領域、第4のトランジ
スタ28のドレイン領域として、p型分離領域43を第
3のトランジスタ27のドレイン領域、第4のトランジ
スタ28のソース領域として兼用したので、第1の保護
ダイオード素子21、第3のトランジスタ27及び第4
のトランジスタ26の占有面積を縮小することができ
る。従って、保護回路素子20の高集積化を実現するこ
とができ、保護回路素子20の小型化を実現することが
できる。
【0108】(その他の実施の形態)本発明は上記複数
の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をな
す論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解
すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実
施の形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。
【0109】例えば、本発明に係る保護回路2、保護回
路素子20は、いずれも発光ダイオード素子1だけに限
らず、例えば記憶回路、論理回路等を搭載した半導体集
積回路の信号入力段や信号出力段に配設することができ
る。なお、この半導体集積回路においては、MISFE
T若しくはバイポーラトランジスタ、又はそれらの素子
の混在により回路が構成されている。
【0110】さらに、本発明の第2の実施の形態に係る
保護回路素子20、本発明の第3の実施の形態に係る保
護回路素子20のそれぞれは、本発明の第1の実施の形
態に係る保護回路素子20のように、発光ダイオード素
子1を実装し、封止体75又は85により封止すること
により発光デバイス7又は8として構成することができ
る。
【0111】さらに、本発明の第3の実施の形態に係る
保護回路2の第3のトランジスタ27及び第4のトラン
ジスタ28を、本発明の第2の実施の形態に係る保護回
路2に備えることができる。
【0112】さらに、本発明に係る係る保護回路2にお
いて、さらに抵抗素子(例えば拡散層抵抗やポリシリコ
ン薄膜抵抗等)、容量素子等を保護素子として加えるこ
とができる。
【0113】このように、本発明はここでは記載してい
ない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。従っ
て、本発明の技術的範囲は上記の妥当な特許請求の範囲
に係る発明特定事項によってのみ定められるものであ
る。
【0114】
【発明の効果】本発明は、静電破壊耐圧を向上すること
ができ、かつ静電破壊防止動作を高速化することができ
る保護回路を提供することができる。特に本発明は、発
光ダイオード素子、さらにはGaN系化合物半導体材料
を使用した発光ダイオード素子の静電破壊耐圧の向上に
好適な保護回路を提供することができる。
【0115】さらに、本発明は、上記保護回路を搭載し
た保護回路素子を提供することができる。
【0116】さらに、本発明は、上記保護回路素子及び
発光ダイオード素子を実装した発光デバイスを提供する
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施の形態に係る発光デバイス
の回路図である。
【図2】本発明の第1の実施の形態に係る発光デバイス
の保護回路素子の平面図である。
【図3】図2に示す保護回路素子のF3−F3切断線で
切った断面図である。
【図4】本発明の第1の実施の形態に係る発光デバイス
の保護回路素子の平面図である。
【図5】図4に示す保護回路素子のF5−F5切断線で
切った断面図である。
【図6】図4に示す保護回路素子のF6−F6切断線で
切った断面図である。
【図7】本発明の第1の実施の形態に係る発光デバイス
の第1のデバイス構造を示す一部断面構成図である。
【図8】本発明の第1の実施の形態に係る発光デバイス
の第2のデバイス構造を示す一部断面構成図である。
【図9】図8に示す発光デバイスの平面図である。
【図10】本発明の第1の実施の形態の第1の変形例に
係る保護回路素子の平面図である。
【図11】本発明の第1の実施の形態の第2の変形例に
係る保護回路素子の平面図である。
【図12】図11に示す保護回路素子のF12−F12
切断面で切った断面図である。
【図13】本発明の第2の実施の形態に係る発光デバイ
スの回路図である。
【図14】本発明の第2の実施の形態に係る発光デバイ
スの保護回路素子の平面図である。
【図15】図14に示す保護回路素子のF15−F15
切断線で切った断面図である。
【図16】本発明の第3の実施の形態に係る発光デバイ
スの回路図である。
【図17】本発明の第3の実施の形態に係る発光デバイ
スの保護回路素子の平面図である。
【図18】図17に示す保護回路素子のF18−F18
切断線で切った断面図である。
【図19】図17に示す保護回路素子のF19−F19
切断線で切った断面図である。
【図20】従来技術に係る発光ダイオード素子及び保護
回路の回路図である。
【図21】従来技術に係るダイナミック点燈回路の回路
図である。
【図22】従来技術に係る発光ダイオード素子及び保護
回路の回路図である。
【符号の説明】
1 発光ダイオード素子 2 保護回路 10 GaN系化合物半導体基板 13 マイクロバンプ電極領域 20 保護回路素子 21 第1の保護ダイオード素子 22 第2の保護ダイオード素子 23、25 第1のトランジスタ 24、26 第2のトランジスタ 27 第3のトランジスタ 28 第4のトランジスタ 31 第1の電極端子 32 第2の電極端子 33 第3の電極端子 40 基板 41 p型半導体基板 42 n型エピタキシャル層 43 p型分離領域 45、45A、45B p型半導体領域 46、46A、46B、46C n型半導体領域 11、51 アノード領域 12、52、55 カソード領域 53 発光素子側アノード領域 54 発光素子側カソード領域 56、57 ゲート電極 60 裏面カソード領域 7、8 発光デバイス 70 カソード領域板 75、85 封止体 80 配線基板
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01L 33/00 H01L 27/06 101U Fターム(参考) 5F038 AR01 AR09 BH02 BH04 BH05 BH06 BH07 BH13 BH15 DF01 DF05 DF20 EZ01 EZ02 EZ20 5F041 AA21 AA43 AA44 BB13 BB25 BB26 BB34 CA22 CA40 5F082 AA02 AA08 AA31 BA02 BC03 BC09 BC11 EA22 FA16 GA02 GA04

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 第1の電極端子と第2の電極端子との間
    に、互いに逆向きで直列に接続された第1及び第2の保
    護ダイオード素子と、 前記第1の電極端子に第1の主電極領域が、第2の電極
    端子に第2の主電極領域がそれぞれ接続され、第1の制
    御電極領域が前記第1の保護ダイオード素子と第2の保
    護ダイオード素子との間に接続された第1のトランジス
    タと、 前記第1の電極端子に第3の主電極領域が、第2の電極
    端子に第4の主電極領域がそれぞれ接続され、第2の制
    御電極領域が前記第1の保護ダイオード素子と第2の保
    護ダイオード素子との間に接続され、前記第1のトラン
    ジスタと逆方向の第2のトランジスタとを少なくとも備
    えたことを特徴とする保護回路。
  2. 【請求項2】 前記第1の保護ダイオード素子のカソー
    ド領域と第2の保護ダイオード素子のカソード領域とが
    接続されたことを特徴とする請求項1に記載の保護回
    路。
  3. 【請求項3】 前記第1の保護ダイオード素子のアノー
    ド領域と第2の保護ダイオード素子のアノード領域とが
    接続されたことを特徴とする請求項1に記載の保護回
    路。
  4. 【請求項4】 前記第1のトランジスタは、第1の主電
    極領域をエミッタ領域、第2の主電極領域をコレクタ領
    域、第1の制御電極領域をベース領域とするバイポーラ
    トランジスタであり、 前記第2のトランジスタは、第3の主電極領域をコレク
    タ領域、第4の主電極領域をエミッタ領域、第2の制御
    電極領域をベース領域とするバイポーラトランジスタで
    あることを特徴とする請求項1に記載の保護回路。
  5. 【請求項5】 前記第1のトランジスタ、第2のトラン
    ジスタは、いずれもnpn型バイポーラトランジスタで
    あることを特徴とする請求項4に記載の保護回路。
  6. 【請求項6】 前記第1の電極端子に第5の主電極領域
    及び第3の制御電極が、前記第2の電極端子に第6の主
    電極領域がそれぞれ接続された第3のトランジスタと、 前記第1の電極端子に第7の主電極領域が、前記第2の
    電極端子に第8の主電極領域及び第4の制御電極がそれ
    ぞれ接続された第4のトランジスタとをさらに備えたこ
    とを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載
    の保護回路。
  7. 【請求項7】 前記第3のトランジスタ、第4のトラン
    ジスタのそれぞれは、絶縁ゲート型電界効果トランジス
    タであることを特徴とする請求項6に記載の保護回路。
  8. 【請求項8】 第1の電極端子と第2の電極端子との間
    に、互いに逆向きで直列に接続された第1及び第2の保
    護ダイオード素子と、 前記第1の電極端子に第1の主電極領域が、第2の電極
    端子に第2の主電極領域がそれぞれ接続され、第1の制
    御電極領域が前記第1の保護ダイオード素子と第2の保
    護ダイオード素子との間に接続された第1のトランジス
    タと、 前記第1の電極端子に第3の主電極領域が、第2の電極
    端子に第4の主電極領域がそれぞれ接続され、第2の制
    御電極領域が前記第1の保護ダイオード素子と第2の保
    護ダイオード素子との間に接続され、前記第1のトラン
    ジスタと逆方向の第2のトランジスタとを少なくとも備
    えた保護回路を、基板に搭載したことを特徴とする保護
    回路素子。
  9. 【請求項9】 第1の電極端子と第2の電極端子との間
    に、互いに逆向きで直列に接続された第1及び第2の保
    護ダイオード素子と、前記第1の電極端子に第1の主電
    極領域が、第2の電極端子に第2の主電極領域がそれぞ
    れ接続され、第1の制御電極領域が前記第1の保護ダイ
    オード素子と第2の保護ダイオード素子との間に接続さ
    れた第1のトランジスタと、前記第1の電極端子に第3
    の主電極領域が、第2の電極端子に第4の主電極領域が
    それぞれ接続され、第2の制御電極領域が前記第1の保
    護ダイオード素子と第2の保護ダイオード素子との間に
    接続され、前記第1のトランジスタと逆方向の第2のト
    ランジスタとを少なくとも備えた保護回路を、基板に搭
    載した保護回路素子と、 前記第1の電極端子にカソード領域が、第2の電極端子
    にアノード領域が接続された発光ダイオード素子とを少
    なくとも備えたことを特徴とする発光デバイス。
  10. 【請求項10】 前記発光ダイオード素子は、窒化ガリ
    ウム系化合物半導体材料を利用した発光ダイオード素子
    であることを特徴とする請求項9に記載の発光デバイ
    ス。
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