JP2002025909A - 成膜装置用除害装置及びこれを用いた成膜装置における除害方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 毒性、発火、発煙の発生を減少させ、メンテ
ナンスを安全に行える反応装置における成膜装置用除害
装置及びこれを用いた成膜装置における除害方法を得る
こと。 【解決手段】 本発明の一つである除害装置２０は、台
車２１０上にパージガスボンベ２２０、酸化処理ガスボ
ンベ２３０、除害塔２４０が搭載、固定されている。こ
の除害装置２０を成膜装置１のメンテナンス作業などを
行う構成装置部分に配設し、反応装置２から排出され
る、空気と反応すると発火、発煙する物質であるリンを
それぞれの酸化処理ポート装置１０Ａ、１０Ｂで成膜装
置用除害装置２０（図２）から供給される酸化処理ガス
（Ｎ２Ｏ）で酸化処理し、非発火、非発煙化して除害し
た後、前記各配管を取り外して構成装置をメンテナンス
する方法である。除害した後は、パージガスボンベ２２
０からパージガスを同一の酸化処理ポート管１１に流
し、残存している酸化処理ガスをパージする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、反応装置の構成装
置、排気管などのメンテナンス作業を安全に行うための
成膜装置用除害装置(以下、単に「除害装置」と略記する)
及びこれを用いた成膜装置における除害方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】先ず、図を用いて、一般的な半導体装置
の製造工程で使用されている成膜装置を説明する。

【０００３】図３は従来技術の半導体装置の成膜工程に
おいて用いられている成膜装置の構成ブロック図、図４
は酸化処理ポート装置が配設された一部成膜装置の構成
図、図５は図４に示した酸化処理ポート装置の拡大構成
図である。

【０００４】半導体装置の製造工程において、半導体ウ
ェーハの表面に各種の薄膜を成膜する成膜装置がある。
その成膜装置１は、図４に示したように、ＣＶＤ（Ｃｈ
ｅｍｉｃａｌ Ｖａｐｏｒ Ｄｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）装
置、結晶成長装置などの反応装置２を中心に反応ガス供
給源３、減圧ポンプ４、オイルストラップ５、除害塔
６、これらを接続する配管７１、７２、７３、７４、７
５などから構成されている。

【０００５】成膜しようとする半導体ウェーハは反応装
置２に投入され、減圧ポンプ４により減圧された反応装
置２の反応炉内に反応ガス供給源３から所定の反応ガス
を供給し、所定の成膜条件の下に化学反応を起こさせる
ことにより、前記半導体ウェーハの表面に所望の薄膜を
成膜することができる。この成膜中に発生する有害な排
気ガスは減圧ポンプ４で吸気され、除害塔５で有害物質
を除去して外部に排気される。なお、矢印はガスの流れ
を指す。

【０００６】成膜装置１はこのような成膜作業を一定回
数繰り返し行った場合には、その成膜装置１のオイルミ
ストトラップ５、配管７２、７３、７４などの構成装置
のクリーニング、メンテナンスを定期的に、或いは必要
に応じて行う必要がある。

【０００７】即ち、薄膜を成膜しようとする成膜装置１
では、リン元素やヒ素元素を含む反応ガスを用いること
が多く、配管などの構成装置内には、毒性や発火発煙性
の生成物が付着する。例えば、リン元素を含む反応ガス
を使用すると、発火し易い黄隣（Ｐ４構造）や赤燐（Ｐ
２構造）が付着する。

【０００８】このため、成膜装置１の構成装置を取り外
してクリーニングやメンテナンスを行う場合に、接続配
管の取り外し部分から毒性生成物が外部に飛散して衛生
上好ましくないことや、発火、発煙性生成物が大気に触
れて配管などから火や煙を噴き、火災や火傷の危険性が
生じる場合があり、このような好ましくない現象を防止
するために、従来は、前記クリーニング作業やメンテナ
ンス作業を行う前に、反応装置２、減圧ポンプ４、オイ
ルミストトラップ５、配管７２、７３、７４などに窒素
ガス（Ｎ２ ）を長時間にわたって流し、それらの内部
に残留している排気ガスをパージした後、クリーニン
グ、メンテナンスしようとする構成装置を外してクリー
ニング作業やメンテナンス作業を行っていた。

【０００９】しかし、毒性生成物や発火、発煙性生成物
は完全には取りきれず、依然として構成装置内に残留、
蓄積して、危険性が生じる場合があった。

【００１０】この危険性を更に除去するために、図４に
示したように、成膜装置１の各構成装置のクリーニング
作業やメンテナンス作業を必要とする部分に酸化処理ポ
ート装置１０（１０Ａ、１０Ｂ）を接続して、反応装置
２から排気される排気ガスを通過させ、この通過中の排
気ガスに、例えば、亜酸化窒素ガスを供給して、排気ガ
ス中に含まれている毒性生成物や発火、発煙性生成物を
酸化し、非毒性生成物や非発火、非発煙性生成物とする
処理を行い、その後、クランプ１４、１５を外して構成
装置、図示の例では、オイルミストトラップ５を取り外
し、クリーニング作業やメンテナンス作業を行うように
している。

【００１１】前記酸化処理ポート装置１０は、図５に示
したような構造で構成されている。即ち、この酸化処理
ポート装置１０は、中央に配置されている酸化処理ポー
ト管１１とこの酸化処理ポート管１１の両端部に配設さ
れているＬ型ハンドバルブ１２、１３とから構成されて
いる。

【００１２】酸化処理ポート管１１は比較的短い中空の
管であり、その両端部には雌ネジが切られている。酸化
処理ポート管１１の中央部分からは上下に一対の中空細
管１１１、１１２が形成されており、その先端部に継ぎ
手１１４、１１５が取り付けられている。また、これら
の細管１１１、１１２の中間部にはハンドバルブ１１
６、１１７が取り付けられている。

【００１３】Ｌ型ハンドバルブ１２、１３は左右対称的
なＬ型構造の中空管１２１、１３１で構成されており、
中空管の一端及び下端には雄ネジが切られており、コー
ナ部にはバルブを開閉するためのハンドル１２２、１３
２が取り付けられている。酸化処理ポート管１１とＬ型
ハンドバルブ１２、１３との内径及び外径のそれぞれの
直径は同一寸法のものである。

【００１４】酸化処理ポート管１１の両端部にはＬ型ハ
ンドバルブ１２、１３がそれぞれクランプ１４、１５で
締結されており、酸化処理ポート管１１の上の細管１１
１の端部に固定されている継ぎ手１１４には、後記の成
膜装置用除害装置２０の排気管６１に接続されているフ
レキシブル管６６が、そして酸化処理ポート管１１の下
の細管１１２の端部に固定されている継ぎ手１１５に
は、後記の成膜装置用除害装置２０の供給配管２３１の
先端部に接続されているフレキシブル管２３４が接続さ
れる。

【００１５】また、Ｌ型ハンドバルブ１２、１３の下端
部にも、それぞれフレキシブル管１６、１７が接続され
る。

【００１６】図４には、この酸化処理ポート装置１０が
図３に図示した成膜装置１のオイルミストトラップ５の
前後の配管７３、７４に装着した状態を示している。説
明の便宜上、減圧ポンプ４とオイルミストトラップ５と
の間に装着した酸化処理ポート装置１０を符号１０Ａ
で、オイルミストトラップ５と除害塔６との間に装着し
た酸化処理ポート装置１０を符号１０Ｂで区別した。前
記のフレキシブル管１６、１７は、図４においては、図
３における配管７３、７４にそれぞれ相当する。なお、
酸化処理ポート装置１０Ａの前後でフレキシブル管７３
を符号７３Ａ、７３Ｂで示し、酸化処理ポート装置１０
ＢのＬ型ハンドバルブ１２はオイルミストトラップ５の
出口側に直接接続されており、Ｌ型ハンドバルブ１３に
は直接フレキシブル管７４が接続されている状態で示し
た。

【００１７】この成膜装置１で通常の成膜作業を行う場
合には、酸化処理ポート装置１０Ａ、１０Ｂのそれぞれ
のＬ型ハンドバルブ１２、１３を開にし、ハンドバルブ
１１６、１１７を閉にし、反応装置２から排気された排
気ガスが配管７２、減圧ポンプ４、配管７３Ａ、酸化処
理ポート装置１０Ａ、配管７３Ｂ、オイルミストトラッ
プ５、酸化処理ポート装置１０Ｂ、配管７４を通じて除
害塔６で有害生成物が除外されて配管７５から外部へ排
気される。

【００１８】次に、この成膜装置１の除害作業を行う場
合には、前記Ｌ型ハンドバルブ１２、１３やハンドバル
ブ１１６、１１７の開閉状態で、先ず、窒素ガス源（不
図示）から反応装置２に窒素ガスを供給して、内部に存
在する有害生成物を含む排気ガスを長時間掛けてパージ
する。

【００１９】次に、各Ｌ型ハンドバルブ１２、１３を閉
じ、各ハンドバルブ１１６、１１７を開き、各継ぎ手１
１５から酸素を含むガス、例えば、亜酸素窒素ガス（Ｎ
２Ｏ）を供給し、各酸化処理ポート管１１で発火、発煙
性生成物や毒性生成物を酸化し、各継ぎ手１１４から残
存ガスを外部排気ラインに排気する。

【００２０】この除害作業が終了すると、酸化処理ポー
ト装置１０Ａのクランプ１４及び酸化処理ポート装置１
０Ｂ側のクランプ１５を外すことにより配管７３Ｂ及び
オイルミストトラップ５を安全に外すことができ、これ
らのクリーニング作業、メンテナンス作業、或いは部品
や構成装置の交換作業を行うことができる。

【００２１】なお、このような酸化処理ポート装置１０
及び除害作業については、本出願人が特許出願し、平成
１０年５月１５日に公開された特開平１０−１２５５６
６号「機器接続配管」に詳細が開示されているので参照
されたい。

【００２２】

【発明が解決しようとする課題】しかし、例えば、リン
（Ｐ）を含んだ反応ガスを使用した成膜作業を行った場
合、反応装置２の下流の減圧ポンプ４周りの配管７Ｃ、
オイルストラップ５周りの配管７Ｄ、除害塔５の配管７
Ｅなどを外す時、残留しているリンと空気が反応し、発
火、発煙が発生する場合がある。

【００２３】本発明はこのような課題を解決しようとす
るものであって、前記のような除害作業を安全に行える
除害装置及びこれを用いた成膜装置における除害方法を
得ることを目的とするものである。

【００２４】

【課題を解決するための手段】それ故、請求項１に記載
の発明では、除害装置を、供給配管が接続されているパ
ージガスボンベと、供給配管が接続されている酸化処理
ガスボンベと、排気ガス導入管及び排気ガス排出管が接
続されている除害塔と、前記パージガスボンベ、前記酸
化処理ガスボンベ及び除害塔とを載置し、搬送できる台
車とを具備せしめて構成し、前記課題を解決している。

【００２５】そして請求項２に記載の発明では、除害装
置を、請求項１に記載の除害装置における前記パージガ
スボンベの前記供給配管と前記酸化処理ガスボンベの供
給配管との各先端部を共通の配管に接続した構成を採っ
て、前記課題を解決している。

【００２６】また、請求項３に記載の発明では、除害装
置を、請求項１に記載の除害装置における前記パージガ
スボンベの前記供給配管と前記酸化処理ガスボンベの供
給配管にレギュレータとフローメータとを装着して、前
記課題を解決している。

【００２７】そしてまた、請求項４に記載の発明では、
請求項２に記載の除害装置における前記パージガスボン
ベの前記供給配管と前記酸化処理ガスボンベの供給配管
との前記共通配管の先端部に第１のフレキシブル管を、
そして前記除害塔の前記排気ガス導入管の先端部に第２
のフレキシブル管を接続して構成し、前記課題を解決し
ている。

【００２８】更に、請求項５に記載の発明では、反応装
置の排気側にそれぞれ配管で接続されて配設されている
減圧ポンプ、オイルストラップなどの構成装置のそれぞ
れの間に配設された酸化処理ポート装置を備えている成
膜装置において、前記酸化処理ポート装置が、酸化処理
ポート管と、その酸化処理ポート管の両端部にそれぞれ
装着されたバルブと、前記酸化処理ポート管の中間部の
ほぼ対称的な位置に形成され、そしてそれぞれにバルブ
が装着されており、一方が前記酸化処理ポート管内で酸
化処理するガスを供給する供給管と、他方が前記酸化処
理ポート管内で酸化処理されたガスを排気する排気管と
で構成されており、除害しようとする前記構成装置の上
流側及び下流側に配設されている前記酸化処理ポート装
置のそれぞれの前記供給管に請求項４に記載の前記第１
のフレキシブル管を接続し、そしてそれぞれの前記排気
管に請求項４に記載の前記第２のフレキシブル管を接続
し、前記酸化処理ガスボンベから前記第１のフレキシブ
ル管を通じて前記酸化処理ポート管内に酸化処理ガスを
供給し、前記酸化処理ポート管内で酸化処理された排気
ガスを前記第２のフレキシブル管を通じて前記除害塔で
発火性生成物或いは毒性生成物を除去する反応装置にお
ける除害方法を採って、前記課題を解決している。

【００２９】従って、請求項１に記載の発明の除害装置
によれば、作業者が成膜装置の各構成装置の除害しなけ
ればならない箇所に除害作業に必要な酸化処理ガスボン
ベ、パージガスボンベ、除害塔を一括して、しかも迅速
に、そして容易に運搬することができる。

【００３０】そして、請求項２に記載の発明の除害装置
によれば、請求項１に記載の除害装置の作用に加えて、
外部装置に接続する管の本数を削減でき、簡素化でき
る。

【００３１】また、請求項３に記載の発明の除害装置に
よれば、請求項１に記載の除害装置の作用に加えて、成
膜装置の各構成装置の除害しなければならない箇所にお
うじて流すガス量を容易に正しく調整することができ
る。

【００３２】そしてまた、請求項４に記載の発明の除害
装置によれば、請求項２に記載の除害装置の作用に加え
て、外部装置に接続する管の先端部にフレキシブル管を
接続したことにより、接続場所に制限があっても、接続
作業の能率を上げることができる。

【００３３】更に、請求項５に記載の発明の除害方法に
よれば、成膜装置の配管などの構成装置を外すこと無
く、そして極めて安全、容易に除害作業を行うことがで
き、構成装置のクリーニング作業、メンテナンス作業を
安全に行うことができる。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下、図を用いて本発明の一実施
形態の除害装置及びこれを用いた成膜装置における除害
方法を説明する。

【００３５】図１は本発明の一実施形態の除害装置の構
成図、そして図２は酸化処理ポート装置が装着された一
部成膜装置に、図１に示した除害装置を接続して除害作
業を行う状態を示した構成図である。

【００３６】先ず、図１を用いて、本発明の一実施形態
の除害装置の構成を説明する。

【００３７】図１において、符号２０は全体として除害
装置を指す。この除害装置２０はハンドル２１１付きの
台車２１０で移動できる構造で構成されていて、台車２
１０上にパージガスボンベ２２０、酸化処理ガスボンベ
２３０、除害塔２４０が搭載、固定されている。

【００３８】パージガスとしては、例えば、窒素ガスを
挙げることができ、パージガスボンベ２２０には供給配
管２２１が接続されていて、その供給配管２２１にレギ
ュレータ２２２とフローメータ２２３が装着されてい
る。

【００３９】また、酸化処理ガスとしては、例えば、リ
ンを除去する場合には、亜酸化窒素ガスを挙げることが
でき、酸化処理ガスボンベ２３０には供給配管２３１が
接続されていて、その供給配管２３１にもレギュレータ
２３２とフローメータ２３３が装着されている。

【００４０】そしてフローメータ２２３の下流側の供給
配管２２１はフローメータ２３３の下流側の供給配管２
３１に接続されている。その下流側の供給配管２３１の
先端部には酸化処理ポート装置１０の継ぎ手１１４に接
続される継ぎ手２３５付きのフレキシブル管２３４が接
続される。

【００４１】除害塔２４０には排気管２４１、２４２が
接続されており、その内の排気管６１には複数個のハン
ドバルブ２４３とフィルタ２４４が、排気管２４２には
ハンドバルブ２４５が装着されている。その下流側の先
端部には酸化処理ポート装置１０の継ぎ手１１５に接続
される継ぎ手２４７付きのフレキシブル管２４６が接続
される。

【００４２】次に、図２を用いて、本発明の除害装置２
０を用いて成膜装置における有害生成物の除害方法を説
明する。

【００４３】図２は図４に示した成膜装置１の酸化処理
ポート装置１０Ｂに図１に示した本発明の除害装置２０
を接続した状態を示したものである。即ち、除害装置２
０の酸化処理ガスボンベ２３０のフレキシブル管２３４
の継ぎ手２３５を酸化処理ポート装置１０Ｂの継ぎ手１
１５に接続し、除害塔２４０のフレキシブル管２４６の
継ぎ手２４７を酸化処理ポート装置１０Ｂの継ぎ手１１
４に接続する。

【００４４】次に、この図２に示した成膜装置１の内の
オイルミストトラップ５を交換する場合の除害作業を説
明する。除害作業及び交換作業は次の手順で行う。

【００４５】１．除害装置２０の全てのハンドバルブ２
４３、２４５を開にする。

【００４６】２．酸化処理ポート装置１０Ｂのハンドバ
ルブ１１６、１１７を開にする。

【００４７】３．除害装置２０の酸化処理ガスボンベ２
３０の元栓バルブ（不図示）を開にし、レギュレータ２
３２の圧力を調整する。

【００４８】４．フローメータ２３３を調整し、酸化処
理ガス（Ｎ２ Ｏ）を酸化処理ポート管１１に流し、除
害した酸化処理済みガス及び余分な酸化処理ガスを除害
塔２４０へ流し、排気管２４２から工場内の除害装置
（不図示）へ排出するようにし、酸化処理による除害作
業を開始する。 ５．酸化処理終了後、フローメータ２３３を閉じ、レギ
ュレータ２３２をフリーにし、酸化処理ガスボンベ２３
０の元栓バルブを閉める。 ６．次に、パージガスボンベ２２０の元栓バルブ（不図
示）を開ける。 ７．レギュレータ２２２を調整する。 ８．フローメータ２２３を調整し、パージガス（Ｎ２
ガス）を酸化処理ポート管１１に流し、残留している酸
化処理ガスを除害塔２４０へ流し、排出する。 ９．フローメータ２２３を閉にする。

【００４９】１０．レギュレータ２２２をフリーにす
る。

【００５０】１１．パージガスボンベ２２０を閉にす
る。

【００５１】１２．ハンドバルブ１１６、１１７を閉
じ、酸化処理ポート装置１０Ｂの除害塔２４０の排気管
２４１のハンドバルブ２４３、２４５を閉にする。

【００５２】１３．酸化処理ポート装置１０Ｂのそれぞ
れのフレキシブル管２４６、２３４をそれぞれのハンド
バルブ１１６、１１７から外す。

【００５３】１４．次に、酸化処理ポート装置１０Ａに
ついても、前記の手順で除害作業を行う。

【００５４】以上で成膜装置１内に残留しているリンな
どの発火、発煙性物質を酸化、除去できたので、 １５．酸化処理ポート装置１０Ａクランプ１５、酸化処
理ポート装置１０Ｂのクランプ１４を外し、順次、外し
た部分にメクラ蓋をする。

【００５５】１６．酸化処理ポート装置１０ＡのＬ型ハ
ンドバルブ１３から酸化処理ポート装置１０Ｂの Ｌ型
ハンドバルブ１２までのオイルミストトラップ５、配管
７３Ｂなどを外す。

【００５６】１７．その後、新品のオイルミストトラッ
プ５、配管などを交換する。

【００５７】１８．部品交換作業の終了後、分解した構
成装置を元の状態に組み立てる。

【００５８】以上の手順で一連の部品の交換作業が完了
する。クリーニング作業、メンテナンス作業についても
同様である。

【００５９】

【発明の効果】以上、説明したように、本発明のによれ
ば、クリーニング作業、メンテナンス作業時の毒性、発
火、発煙の発生を除去でき、クリーニング作業、メンテ
ナンス作業の安全性を確保できるとともに、成膜装置の
クリーニング作業、メンテナンス作業を行わなければな
らない構成装置部分へ酸化処理ガスボンベ、パージガス
ボンベ及び除害塔を同時に台車で運搬できるので、機動
力が増し、酸化処理ガス供給用の管及びパージガス供給
用の管を引き回す必要がないなど、数々の優れた効果が
得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施形態の除害装置の構成図であ
る。

【図２】 酸化処理ポート装置が装着された一部成膜装
置に、図１に示した除害装置を接続して除害作業を行う
状態を示した構成図である。

【図３】 来技術の半導体装置の成膜工程において用い
られている成膜装置の構成ブロック図である。

【図４】 酸化処理ポート装置が配設された一部成膜装
置の構成図である。

【図５】 図４に示した酸化処理ポート装置の拡大構成
図である。

【符号の説明】

１…成膜装置、２…反応装置、３…反応ガス供給源、４
…減圧ポンプ、５…オイルストラップ、１０…酸化処理
ポート装置、１１…酸化処理ポート管、１２，１３…Ｌ
型ハンドバルブ、１４，１５…クランプ、１６，１７，
２３４，２４６…フレキシブル管、２０…本発明の一実
施形態の（成膜装置用）除害装置、２１０…台車、２２
０…パージガスボンベ（窒素ガスボンベ）、２２１，２
３１…供給配管、２３０…酸化処理ガスボンベ（亜酸化
窒素ガスボンベ）、２４０…除害塔、２４１，２４２…
排気管、２２２，２３２…レギュレータ、２２３，２３
３…フローメータ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 4D002 AA27 AC10 BA01 BA04 CA07 EA05 HA10 4G075 AA30 AA37 AA57 BA06 BB05 BD14 CA57 4K030 EA12 5F045 EB05 EB06 EB12 EC07 EE04 EG03 EG07 EG08

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 供給配管が接続されているパージガスボ
   ンベと、 供給配管が接続されている酸化処理ガスボンベと、 排気ガス導入管及び排気ガス排出管が接続されている除
   害塔と、 前記パージガスボンベ、前記酸化処理ガスボンベ及び除
   害塔とを載置し、搬送できる台車とを備えた成膜装置用
   除害装置。
2. 【請求項２】 前記パージガスボンベの前記供給配管と
   前記酸化処理ガスボンベの供給配管との各先端部が共通
   の配管に接続されていることを特徴とする請求項１に記
   載の成膜装置用除害装置。
3. 【請求項３】 前記パージガスボンベの前記供給配管と
   前記酸化処理ガスボンベの供給配管にレギュレータとフ
   ローメータとが装着されていることを特徴とする請求項
   １に記載の成膜装置用除害装置。
4. 【請求項４】 前記パージガスボンベの前記供給配管と
   前記酸化処理ガスボンベの供給配管との前記共通配管の
   先端部に第１のフレキシブル管が、そして前記除害塔の
   前記排気ガス導入管の先端部に第２のフレキシブル管が
   接続されていることを特徴とする請求項２に記載の成膜
   装置用除害装置。
5. 【請求項５】 反応装置の排気側にそれぞれ配管で接続
   されて配設されている減圧ポンプ、オイルストラップな
   どの構成装置のそれぞれの間に配設された酸化処理ポー
   ト装置を備えている成膜装置において、 前記酸化処理ポート装置が酸化処理ポート管と、 該酸化処理ポート管の両端部にそれぞれ装着されたバル
   ブと、 前記酸化処理ポート管の中間部のほぼ対称的な位置に形
   成され、そしてそれぞれにバルブが装着されており、一
   方が前記酸化処理ポート管内で酸化処理するガスを供給
   する供給管と、他方が前記酸化処理ポート管内で酸化処
   理されたガスを排気する排気管とで構成されており、 除害しようとする前記構成装置の上流側及び下流側に配
   設されている前記酸化処理ポート装置のそれぞれの前記
   供給管に請求項４に記載の前記第１のフレキシブル管を
   接続し、そしてそれぞれの前記排気管に請求項４に記載
   の前記第２のフレキシブル管を接続し、前記酸化処理ガ
   スボンベから前記第１のフレキシブル管を通じて前記酸
   化処理ポート管内に酸化処理ガスを供給し、前記酸化処
   理ポート管内で酸化処理された排気ガスを前記第２のフ
   レキシブル管を通じて前記除害塔で発火性生成物或いは
   毒性生成物を除去することを特徴とする反応装置におけ
   る除害方法。