JP2002020125A - 溶融ガラス用攪拌機 - Google Patents

溶融ガラス用攪拌機

Info

Publication number
JP2002020125A
JP2002020125A JP2001126076A JP2001126076A JP2002020125A JP 2002020125 A JP2002020125 A JP 2002020125A JP 2001126076 A JP2001126076 A JP 2001126076A JP 2001126076 A JP2001126076 A JP 2001126076A JP 2002020125 A JP2002020125 A JP 2002020125A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stirrer
molten glass
drive shaft
glass
melting point
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
JP2001126076A
Other languages
English (en)
Inventor
Walther Hermann
ヴァルザー ヘルマン
Hans-Peter Dr Martinz
マルチンツ ハンス‐ペーター
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Plansee SE
Original Assignee
Plansee SE
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Plansee SE filed Critical Plansee SE
Publication of JP2002020125A publication Critical patent/JP2002020125A/ja
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01FMIXING, e.g. DISSOLVING, EMULSIFYING OR DISPERSING
    • B01F27/00Mixers with rotary stirring devices in fixed receptacles; Kneaders
    • B01F27/05Stirrers
    • B01F27/07Stirrers characterised by their mounting on the shaft
    • B01F27/071Fixing of the stirrer to the shaft
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B5/00Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture
    • C03B5/16Special features of the melting process; Auxiliary means specially adapted for glass-melting furnaces
    • C03B5/167Means for preventing damage to equipment, e.g. by molten glass, hot gases, batches
    • C03B5/1672Use of materials therefor
    • C03B5/1675Platinum group metals
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B5/00Melting in furnaces; Furnaces so far as specially adapted for glass manufacture
    • C03B5/16Special features of the melting process; Auxiliary means specially adapted for glass-melting furnaces
    • C03B5/18Stirring devices; Homogenisation
    • C03B5/187Stirring devices; Homogenisation with moving elements
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B7/00Distributors for the molten glass; Means for taking-off charges of molten glass; Producing the gob, e.g. controlling the gob shape, weight or delivery tact
    • C03B7/08Feeder spouts, e.g. gob feeders
    • C03B7/092Stirring devices; Homogenisation

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Waste-Gas Treatment And Other Accessory Devices For Furnaces (AREA)
  • Mixers Of The Rotary Stirring Type (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)

Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】ガラス溶解窯の雰囲気に対しても、溶融ガラス
に対しても優れた耐食性を示し溶融ガラスを許容限度以
上に汚染することのないガラス用攪拌機を提供する。 【解決手段】溶融ガラス用攪拌機の攪拌素子1は、高融
点の金属又は高融点の金属合金でできた回転軸部分3を
持つ。攪拌素子用の駆動軸2は、例えば鉄又はニッケル
ベースのODS合金のような別種の金属材料からなる。
攪拌素子と駆動軸との接合箇所は、溶融ガラスを入れた
とき通常溶融ガラス表面11のある範囲に存在する。運
転中溶融ガラスにより覆われる駆動軸の末端範囲又は回
転軸部分3の範囲は、白金ジャケット5により覆われて
いる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、機械的に互いに接
続された攪拌素子と駆動軸から成る、溶融ガラス用攪拌
機に関し、その際攪拌機は、機械的に相互に接続された
攪拌素子と駆動軸とから成り、その際攪拌素子が高融点
の金属又は高融点の金属合金から成り、駆動軸が別種の
金属材料から成る、溶融ガラス用攪拌機に関する。
【0002】
【従来の技術】溶融ガラスを溶融窯内で工業的に調製す
るには、溶融物を対流させる必要があり、通常攪拌装置
により促進される。増大するガラス需要及びガラス製造
の経済性を絶えず改善することへの要求から、益々大量
の溶融ガラスが製造され、そのためガラス用攪拌機の機
械的強度及び耐用期間に対する要求も増している。その
他に加工速度を上げるため、溶融物を要望通りに高温に
すること、さらには選択された腐食性の物質を添加した
特殊ガラスの多様性が原因して溶融ガラスを不所望に汚
染しないために、攪拌機の耐食性に対する要求も増大し
ている。
【0003】ガラスは通常密閉された窯空間内で溶融さ
れ、この溶融物の上方に熱した腐食性のガス雰囲気が形
成される。窯空間の外側から駆動される溶融ガラス用攪
拌機は窯空間の天井を突き抜けており、まず第1に駆動
軸が窯内の雰囲気に曝され、他方本来の攪拌素子は駆動
軸の端部で溶融ガラス自体に曝される。これは、ガラス
用攪拌機に使用された材料が、1つには窯雰囲気による
腐食ストレスに対し、また1つには応力の点で明らかに
異なっている溶融ガラスによる腐食ストレスに対し耐性
でなければならないことを意味する。更にまた攪拌機に
使用された材料が溶融ガラスを汚染することがあっては
ならない。
【0004】これら全ての種々の腐食ストレスに傑出し
て対応し、また溶融ガラスを汚染することのない材料は
白金である。しかし白金の欠点は、価格が極めて高いこ
とにある。従って表面が完全に白金でできている攪拌機
は、テレビのパネルを製造するための特に高価なガラス
を製造する場合や、ガラスセラミックス製の調理器部品
を製造する溶融ガラスセラミックスの場合及び中空構造
の攪拌機又は白金で被覆されたモリブデンコアの形の限
定された分野のみで使用できるものである。
【0005】セラミックス材製の攪拌機は、確かに窯の
雰囲気に優れた耐食性を示すが、溶融ガラスに対する耐
性が低く、かつ溶融ガラスをセラミックス粒子で汚染す
る。この攪拌機の造形可能性は、金属製の攪拌機に比べ
て著しく低く、しかもその熱衝撃耐性が著しく劣ること
になる。従って価格的に極めて有利であるにも拘わら
ず、セラミックス材から成る攪拌機もごく限定して使用
できるに過ぎない。
【0006】高融点の金属及びその合金、特にモリブデ
ンも同様にガラス用攪拌機に使用されている。溶融ガラ
スに対しモリブデンの耐食性は優れており、大抵の用途
に対し溶融ガラスの汚染は無視できる。しかしモリブデ
ンは空気/酸素に対して及び腐食性のガス状媒質に、と
りわけ400℃以上の温度で著しく反応し易く、そのた
めモリブデン製のガラス用攪拌機の場合、溶融ガラスの
外側の、腐食性の窯の雰囲気内にある駆動軸は、補助的
措置により腐食から保護しなければならない。
【0007】これを達成するための1つの方策が、例え
ばドイツ特許出願公開第2500793号明細書に記載
されており、それによると、純モリブデン製のガラス用
攪拌機の場合、駆動軸は溶融物中に完全に浸っている白
金又は白金合金製の管により若干の間隔をおいて囲ま
れ、白金の管とモリブデンの回転軸との間隙に不活性ガ
スが流される。この場合、腐食性の窯の雰囲気に曝され
る駆動軸の全長を白金の管により被覆したとすると、こ
のガラス用攪拌機をやはり極めて高価なものになってし
まう。更に不活性ガスによる洗浄は、ガラスの製造プロ
セスを高価なものとし、かつ溶融ガラスに不所望な気泡
を封入することになる。
【0008】腐食性の窯の雰囲気ならびに溶融ガラスに
対し優れた耐食性を示すもう1つのガラス用攪拌機を提
供する可能性は、例えば米国特許第3539691号明
細書に記載のとおり、ガラス用攪拌機を分割し、かつ異
なる材料製の部分を形成することにある。この文献によ
れば、攪拌機端部の、本来の攪拌組織を好ましくはモリ
ブデン製の攪拌機の端部に形成し、一方駆動軸は攪拌組
織に至る迄溶融ガラス中に浸る区間も含めて、銅又は鉄
合金のような別の材料から製造する。このガラス用攪拌
機の場合、双方の攪拌機の部品の交点が溶融ガラス中に
あり、溶融ガラスが、まず第1に腐食性の窯の雰囲気に
対し耐性な材料からなる駆動軸の区間を著しく腐食し、
それにより短時日中にガラス用攪拌機が故障する欠点が
ある。更に溶融ガラス中に浸る駆動軸の区間は、溶融ガ
ラスの温度でもなお十分な機械的強度を駆動軸に保証す
るため、その内部まで冷却しなければならない。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】従って本発明の課題
は、原価が安く、それにもかかわらず窯の雰囲気に対し
ても、また溶融ガラスに対しても優れた耐食性を示し、
従って溶融ガラスを許容限度以上に汚染することのない
ガラス用攪拌機を提供することにある。更に攪拌機の機
械的強度を保証することにある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明によればこの課題
は、高融点の金属又は高融点の金属合金から成る回転軸
部分と駆動軸との機械的接続部が、作動中に溶融ガラス
の表面があるところにほぼ限定して存在するように、攪
拌素子が回転軸部分を有しており、かつ駆動軸及び/又
は回転軸部分の末端範囲の表面の変動の起こり得る範囲
を囲む長さで白金ジャケットを備えていることにより解
決される。
【0011】攪拌素子に、同様に高融点の金属又は高融
点の金属合金から成る回転軸部分を備えることにより、
駆動軸と攪拌素子との間の接合箇所を、通常溶融ガラス
の表面がガラス用攪拌機に接する範囲内に移動させるこ
とが可能となる。運転中の溶融表面の変動により、攪拌
装置が窯の雰囲気と接触することも、また駆動軸が溶融
ガラスと接触することもないようにするため、接合箇所
の直近の外周にある攪拌機及び/又は駆動軸の区間に白
金ジャケットを設ける。溶融表面の変動は通常それほど
大きくないので、白金ジャケットも比較的短くてもよ
く、そのためこのガラス用攪拌機は極めて価格的に有利
である。
【0012】接合箇所は、溶融表面の変動に配慮し、常
に溶融表面の上方に十分な間隔をおいて配置するとよ
い。この場合攪拌素子の回転軸端部の接合箇所下方にあ
る末端区間のみに白金ジャケットを備えれば足りる。接
合箇所が通常の溶融表面より僅か下方にある場合、接合
箇所の上方の駆動軸末端区間のみに白金被覆を設ける。
【0013】接合箇所が通常の溶融表面の高さにある場
合は、駆動軸の末端区間にも、また攪拌素子の回転軸端
部の末端区間にも白金ジャケットを設ける。
【0014】本発明の特に有利な実施形態では、攪拌素
子の材料はモリブデン又はモリブデン合金であり、駆動
軸の材料は鉄又はニッケルベースのODS(Oxide Dis
persion Strengthened)、即ち酸化物分散強化形合金
である。この種材料の組合せは溶融ガラスに対しても、
また窯の雰囲気に対しても最適な耐食性をもたらす。
【0015】本発明のもう1つの有利な実施形態では、
材料の異なる駆動軸や攪拌素子並びに白金ジャケット
は、相互の接触箇所で拡散遮断層により互いに分離され
る。このようにして窯の雰囲気及び溶融ガラスの作用に
よる異なる材料の全ての不所望な相互反応は排除され
る。
【0016】かかる拡散遮断層として、CVD又はPV
D等の公知の被覆法により、被覆すべき部分に被着した
酸化アルミニウム層が特に好適であることを確認した。
【0017】駆動軸の材料が、アルミニウムを合金元素
として含有する、鉄又はニッケルベースのODS合金で
あると有利である。この前提条件下で、駆動軸の末端範
囲に目的に適った酸化処理を施すだけで、耐久性の密閉
されたAl23からなる薄い表面的な拡散遮断層が得ら
れ、被覆装置により層を施す、付加的な出費を要する措
置を使用することを必要としない。
【0018】本発明によるガラス用攪拌機の構造上の有
利な実施形態としては、回転軸部分の末端範囲がねじ山
を有する段違いの差し込み部を有し、この差し込み部が
駆動軸のねじ溝を有する凹部内にねじ締めされており、
また差し込み部の外側の段違いの部分に、有利にはセラ
ミックス製の2つのリング状パッキン素子がはめ込まれ
ており、それらのパッキン素子の間に回転軸部分又は駆
動軸の末端範囲を被覆する白金スリーブの折り曲げたエ
ッジが挟み込まれている。こうして、価格的に好ましい
簡単な方法で、攪拌素子の軸端に関連して保護しようと
する材料に気密で、優れた白金ジャケットが形成され
る。
【0019】
【発明の実施の形態】本発明を図面に基づき以下に詳述
する。
【0020】溶融ガラス用攪拌機はモリブデンでできて
いる攪拌機1から成り、攪拌機の翼4と、この攪拌機翼
4の相応する穴ぐり内にはめ込まれている回転軸部分3
とから構成される。材料としてモリブデンを使用するこ
とにより、攪拌素子1は溶融ガラスによる腐食ストレス
に対して優れた耐久性を示す。
【0021】攪拌素子1の回転軸部分3の末端範囲はね
じ山を持つ差し込み部7を有し、この差し込み部は攪拌
素子1を駆動する駆動軸2の末端区間内で、ねじ溝を有
する対応する凹部8内にねじ締めされている。溶融ガラ
スの外側の窯雰囲気内にある駆動軸2は、溶融ガラスの
窯の天井を突き抜け、窯空間の外側で駆動される(図示
せず)。駆動軸2は、窯の雰囲気による腐食ストレスに
対して極めて耐久性の鉄基のODS合金でできている。
駆動軸2と攪拌素子1との間の接合箇所は、ガラス用攪
拌機の作動中、通常溶融ガラスの表面11がある箇所の
すぐ上方に位置する。この接合箇所の詳細な構造の実施
形態を図2に拡大して示す。凹部8の横にある駆動軸2
の端部の前面と、攪拌素子1の差し込み部7の外側回転
軸部分3の前面の段差との間に、2つのリング状のセラ
ミックス製パッキン素子9が配置されている。これらの
セラミック製パッキン素子9間に、攪拌素子1の回転軸
部分3の末端範囲を被覆する白金ジャケット5の折り曲
げたエッジ部分が配置されている。攪拌素子1のモリブ
デンと、白金ジャケット5との接触個所の拡散作用を回
避するため、攪拌素子1の表面は少なくとも白金との接
触箇所に酸化アルミニウム製の拡散遮断層6を備えてい
る。凹部8内に差し込み部7をねじ締めする際、折り曲
げた縁を有する白金ジャケット5をセラミック製パッキ
ン素子9の間に気密に挟み込む。その結果、攪拌素子1
の回転軸部分3の末端は、溶融表面11が沈下する場合
にも確実に窯の雰囲気から遮断された儘である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明による溶融ガラス用攪拌機の断面図。
【図2】図1の攪拌機の接合箇所の拡大断面図。
【符号の説明】
1 攪拌素子 2 駆動軸 3 回転軸部分 4 攪拌機翼 5 白金ジャケット 6 拡散遮断層 7 差し込み部 8 凹部 9 パッキン素子 11 溶融物表面

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 機械的に相互に接続された攪拌素子
    (1)と駆動軸(2)とから成り、攪拌素子(1)が高
    融点の金属又は高融点の金属合金から成り、駆動軸
    (2)が別種の金属材料から成る溶融ガラス用攪拌機に
    おいて、高融点の金属又は高融点の金属合金から成る回
    転軸部分(3)と駆動軸(2)との機械的接続が、作動
    中に溶融ガラスの表面(11)があるところにほぼ限定
    して存在するように、攪拌素子(1)が回転軸部分
    (3)を有しており、かつ駆動軸(2)及び/又は回転
    軸部分(3)の末端範囲の溶融ガラス表面(11)の変
    動の起こり得る範囲を囲む長さで、白金ジャケット
    (5)を備えていることを特徴とする溶融ガラス用攪拌
    機。
  2. 【請求項2】 攪拌素子(1)と駆動軸(2)との接続
    が溶融ガラスのすぐ外側で行われることを特徴とする請
    求項1記載の攪拌機。
  3. 【請求項3】 攪拌素子(1)の材料がモリブデン又は
    モリブデン合金であり、駆動軸(2)の材料が鉄又はニ
    ッケルベースのODS合金であることを特徴とする請求
    項1又は2記載の攪拌機。
  4. 【請求項4】 材料の異なる駆動軸(2)と攪拌素子
    (1)並びに白金ジャケット(5)が、相互の接触箇所
    で拡散遮断層(6)により互いに分離されていることを
    特徴とする請求項3記載の攪拌機。
  5. 【請求項5】 拡散遮断層(6)が酸化アルミニウム層
    であることを特徴とする請求項4記載の攪拌機。
  6. 【請求項6】 鉄又はニッケルベースのODS合金がア
    ルミニウムを含有していることを特徴とする請求項3乃
    至5の1つに記載の攪拌機。
  7. 【請求項7】 回転軸部分(3)の末端範囲がねじ山を
    有する段違いの差し込み部(7)を有し、この差し込み
    部が駆動軸(2)のねじ溝を有する凹部(8)内にねじ
    締めされており、かつ差し込み部(7)の外側の段違い
    の部分に、有利にはセラミックス製の2つのリング状の
    パッキン素子(9)がはめ込まれており、それらのパッ
    キン素子の間に回転軸部分(3)又は駆動軸(2)の末
    端範囲を被覆する白金スリーブ(5)の折り曲げたエッ
    ジが挟み込まれていることを特徴とする請求項1乃至6
    の1つに記載の溶融ガラス用攪拌機。
JP2001126076A 2000-05-02 2001-04-24 溶融ガラス用攪拌機 Withdrawn JP2002020125A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
AT0032300U AT4238U1 (de) 2000-05-02 2000-05-02 Rührer für glasschmelzen
AT323/2000 2000-05-02

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2002020125A true JP2002020125A (ja) 2002-01-23

Family

ID=3487519

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001126076A Withdrawn JP2002020125A (ja) 2000-05-02 2001-04-24 溶融ガラス用攪拌機

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6463763B2 (ja)
EP (1) EP1151969A3 (ja)
JP (1) JP2002020125A (ja)
AT (1) AT4238U1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007089249A (ja) * 2005-09-20 2007-04-05 Yayoi Chemical Industry Co Ltd 電動装置及び撹拌機
CN106795025A (zh) * 2014-10-01 2017-05-31 康宁股份有限公司 用于处理玻璃熔体的包括在整体式固态接合部处接合的管道区段的设备和方法
CN106994313A (zh) * 2017-05-15 2017-08-01 机械科学研究总院海西(福建)分院 铝合金半固态制浆用熔入搅拌铝块的浮动式卡接装置

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2003048054A1 (en) * 2001-11-30 2003-06-12 Corning Incorporated Method and apparatus for homogenizing molten glass by stirring
GB0200758D0 (en) * 2002-01-15 2002-02-27 Johnson Matthey Plc High temperature devices and articles
DE102007008102B4 (de) * 2007-02-19 2020-12-03 Umicore Ag & Co. Kg Vorrichtung zum Einsatz in der Glasindustrie und Verfahren
JP5580685B2 (ja) * 2009-08-18 2014-08-27 Hoya株式会社 ガラス製造方法、ガラス溶融炉、ガラス製造装置、ガラスブランク製造方法、情報記録媒体用基板製造方法、情報記録媒体製造方法、ディスプレイ用基板製造方法および光学部品製造方法
US9992917B2 (en) 2014-03-10 2018-06-05 Vulcan GMS 3-D printing method for producing tungsten-based shielding parts
CN104984686B (zh) * 2015-07-23 2017-03-15 江苏鑫复特环保科技有限公司 一种耐高温、高浓度酸的搅拌桨及其制作方法
CN106915051B (zh) * 2017-04-20 2023-01-13 浙江东尼电子股份有限公司 一种高效氟材料押出机

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2968487A (en) * 1958-05-21 1961-01-17 Saint Gobain Corp Stirring apparatus for molten glass
US3988138A (en) * 1973-07-02 1976-10-26 Owens-Illinois, Inc. Method and apparatus for melting glass-making materials
US3850606A (en) * 1973-07-02 1974-11-26 Owens Illinois Inc Method for melting glass-making materials
GB1476131A (en) * 1974-01-11 1977-06-10 Pilkington Brothers Ltd Stirring
US4536202A (en) * 1983-12-06 1985-08-20 Owens-Corning Fiberglas Corporation Drain bushing
JPH0613409B2 (ja) * 1984-07-26 1994-02-23 株式会社東芝 ガラス撹拌構造体
FR2608148B1 (fr) * 1986-12-12 1992-11-13 Saint Gobain Emballage Moules de verrerie et leur utilisation
DE4326143A1 (de) * 1993-08-04 1993-12-09 Diether Boettger Stirrer- und Plungergeräte für geschmolzenes Glas
GB9405934D0 (en) * 1994-03-25 1994-05-11 Johnson Matthey Plc Coated article

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007089249A (ja) * 2005-09-20 2007-04-05 Yayoi Chemical Industry Co Ltd 電動装置及び撹拌機
CN106795025A (zh) * 2014-10-01 2017-05-31 康宁股份有限公司 用于处理玻璃熔体的包括在整体式固态接合部处接合的管道区段的设备和方法
JP2017530930A (ja) * 2014-10-01 2017-10-19 コーニング インコーポレイテッド 一体化固体継手で結合された管セグメントを備えている、ガラス溶融物処理装置および方法
CN106994313A (zh) * 2017-05-15 2017-08-01 机械科学研究总院海西(福建)分院 铝合金半固态制浆用熔入搅拌铝块的浮动式卡接装置

Also Published As

Publication number Publication date
AT4238U1 (de) 2001-04-25
EP1151969A2 (de) 2001-11-07
EP1151969A3 (de) 2003-12-17
US6463763B2 (en) 2002-10-15
US20020014093A1 (en) 2002-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2002020125A (ja) 溶融ガラス用攪拌機
US8485717B2 (en) Stirrers for minimizing erosion of refractory metal vessels in a glass making system
US8925353B2 (en) Process and system for fining glass
US20090165500A1 (en) Method and Device for Bubble-free Transportation, Homogenization and Conditioning of Molten Glass
KR20090052887A (ko) 내화성 금속 용기의 산화 피팅을 최소화 하기 위한 방법 및장치
US10656024B2 (en) Molten material thermocouple methods and apparatus
WO2010036762A2 (en) Method and apparatus for homogenizing a glass melt
JP7443257B2 (ja) セラミックと金属を接合するためのろう付けプロセス、およびそれを使用した半導体処理と産業機器
JPWO2012133107A1 (ja) 溶融ガラス保持用耐火物、および、溶融ガラス保持用耐火物を用いたガラス製造装置、ならびに、該ガラス製造装置を用いたガラス製造方法
KR102002655B1 (ko) 지지 롤, 지지 롤을 갖는 판 유리의 성형 장치, 및 지지 롤을 사용한 판 유리의 성형 방법
EP1463093B1 (en) Thermal treatment system for semiconductors
JP6284418B2 (ja) ガラス融液の攪拌機構、ガラス溶解用スターラーのカバー及びガラスの製造方法
CN1715222A (zh) 用于玻璃熔炉的电极系统
JPS60216177A (ja) 溶融金属加熱方法及び装置
US7010941B2 (en) Coating of cooled devices
RU2793313C1 (ru) Способ изготовления устройства для получения стеклянного или базальтового волокна
KR102153286B1 (ko) 유리판의 제조 장치 및 유리판의 제조 방법
JPS589944A (ja) 溶融金属精錬用装置
TWI837136B (zh) 接合陶瓷和金屬之硬焊方法及使用彼之半導體製程和工業設備
EP0863228A1 (en) Vertical type CVD apparatus
Coupland et al. New developments in stirrer technology
KR101556759B1 (ko) 플로트 배스용 사이드 실 및 그 제조 방법
JP2003267734A (ja) 溶融ガラス用撹拌装置
WO2003012168A1 (en) Tube, method of coating and use of same
JP2004087766A (ja) 静電チャック

Legal Events

Date Code Title Description
A300 Application deemed to be withdrawn because no request for examination was validly filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300

Effective date: 20080701