JP2002019605A - Temporary stop device for overhead carrying truck and lifting implement for it - Google Patents

Temporary stop device for overhead carrying truck and lifting implement for it

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JP2002019605A
JP2002019605A JP2000209149A JP2000209149A JP2002019605A JP 2002019605 A JP2002019605 A JP 2002019605A JP 2000209149 A JP2000209149 A JP 2000209149A JP 2000209149 A JP2000209149 A JP 2000209149A JP 2002019605 A JP2002019605 A JP 2002019605A
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temporary stop
rail
transport vehicle
stop device
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Junichi Kurokawa
潤一 黒川
Akira Ishikura
明 石倉
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a temporary stop device for an overhead carrying truck and a lifting implement for it capable of suspending the travelling of the overhead carrying truck in a simple operation. SOLUTION: The temporary stop device A is integrally connected to a lifting tool B and lifted so that it is temporarily fixed on a rail R. The temporary stop device A comprises a light reflector 5 having a light reflecting face 5a for reflecting the light L beamed from a light sensor 3 on an overhead carrying truck V and a supporting part 6 installed a magnetic plate M magnetic attracted by a magnet 2 attached on the under surface of the rail R.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造工場等
において、天井に敷設されたレールに、吊下げ状態で走
行する天井搬送車を一時停止させるための装置、及び該
装置を持ち上げて、レールに仮固定させるための持上具
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for temporarily stopping a suspended carrier traveling in a suspended state on a rail laid on a ceiling in a semiconductor manufacturing plant or the like, and an apparatus for lifting the apparatus to lift a rail. The present invention relates to a lifting device for temporarily fixing the lifting device.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の技術を説明するに当たり、本発明
の実施例の図面を援用する。図8に示されるように、半
導体製造工場では、天井WにレールRが敷設されてい
て、多数台の天井搬送車Vが物品(ウェハキャリア)を
搬送するために、前記レールRに案内されて連なった状
態で走行する。これらの天井搬送車Vの車体1には光セ
ンサ装置3が取付けられていて、各天井搬送車Vは、前
記光センサ装置3から常に前方に光Lを発しながら走行
する。そして、前方に存する障害物(例えば、前走する
天井搬送車)からの反射光を受光することにより、当該
障害物との距離が計測される。この距離が設定値以下に
なると、天井搬送車Vは減速し、更には停止する。こう
することによって、天井搬送車Vとその前方に存する障
害物との衝突が防止される。
2. Description of the Related Art Prior art will be described with reference to the drawings of embodiments of the present invention. As shown in FIG. 8, in a semiconductor manufacturing plant, rails R are laid on a ceiling W, and a large number of ceiling transport vehicles V are guided by the rails R to transport articles (wafer carriers). Drive in a row. An optical sensor device 3 is attached to the vehicle body 1 of each of the overhead transport vehicles V. Each of the overhead transport vehicles V travels while constantly emitting light L forward from the optical sensor device 3. Then, by receiving reflected light from an obstacle existing ahead (for example, an overhead traveling vehicle traveling ahead), the distance to the obstacle is measured. When this distance becomes equal to or less than the set value, the overhead transport vehicle V decelerates and further stops. This prevents a collision between the overhead transport vehicle V and an obstacle existing in front of the overhead transport vehicle V.

【0003】前記半導体製造工場において、工場に設置
された各種の半導体製造装置H、或いはレールRの保守
・点検を行う場合、天井搬送車Vの走行を一時的に停止
させる必要がある。本格的な天井搬送車Vの停止は、工
場をあげてのものであるが、ちょっとした停止を行いた
い場合がある。各天井搬送車Vは、床面Fに設置された
制御装置(図示せず)によって制御されていて、各天井
搬送車Vの走行を停止させるためには、前記制御装置を
操作することが必要である。この操作は、制御担当者の
み可能である。
In the above-mentioned semiconductor manufacturing factory, when performing maintenance and inspection of various semiconductor manufacturing apparatuses H or rails R installed in the factory, it is necessary to temporarily stop the traveling of the overhead carrier V. Although the full stoppage of the ceiling transport vehicle V is performed in the whole factory, there is a case where a slight stop is desired. Each ceiling transport vehicle V is controlled by a control device (not shown) installed on the floor F, and it is necessary to operate the control device in order to stop traveling of each ceiling transport vehicle V. It is. This operation can be performed only by the person in charge of control.

【0004】そのため、半導体製造装置H、或いはレー
ルRの保守・点検を行う作業者は、安全面から制御担当
者に対して、天井搬送車Vの走行を停止させてもらうよ
うに依頼する。制御担当者は、半導体製造装置Hの稼働
状況を見て、可能な場合には天井搬送車Vを一時停止さ
せていた。
[0004] Therefore, an operator who performs maintenance / inspection of the semiconductor manufacturing apparatus H or the rail R requests a control person to stop the traveling of the overhead transport vehicle V from the viewpoint of safety. The control person observes the operation status of the semiconductor manufacturing apparatus H and temporarily suspends the overhead transport vehicle V when possible.

【0005】このように、作業者は、自身で天井搬送車
Vを一時停止させることができず、いちいち制御担当者
に依頼する必要があり、作業効率が極めて悪い。
[0005] As described above, the worker cannot suspend the overhead transport vehicle V by himself, and has to request a control person every time, and the work efficiency is extremely poor.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した不
具合に鑑み、装置、或いはレールの保守・点検をする作
業者が、制御担当者に依頼することなく、簡単な操作で
天井搬送車の走行を一時停止させること、及びそれを解
除させることができるようにすることを課題としてい
る。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and a worker who performs maintenance or inspection of a device or a rail can easily operate a ceiling conveyance vehicle without requesting a control person. It is an object of the present invention to temporarily stop traveling and to release the traveling.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
の請求項1ないし5のいずれかに記載の発明は、天井に
敷設されたレールに吊り下げられ、その車体に取付けら
れた光センサ装置から光を発しながら走行し、前方の障
害物との距離が設定値以下になった場合に停止する天井
搬送車を一時停止させるための装置であって、前記天井
搬送車と相対向され、その光センサ装置から発せられる
光を当てて反射させるための光反射面を有し、しかも、
一人の作業者によって持ち上げ可能な軽量材から成る装
置本体と、前記装置本体をレールに吊り下げて仮固定さ
せるための仮固定手段とから構成されていることを特徴
としている。
According to a first aspect of the present invention, there is provided an optical sensor device suspended from a rail laid on a ceiling and mounted on a vehicle body. Traveling while emitting light from, is a device for temporarily stopping the overhead transport vehicle that stops when the distance to the obstacle in front is less than or equal to a set value, facing the overhead transport vehicle, the It has a light reflecting surface for reflecting and reflecting light emitted from the optical sensor device, and
It is characterized by comprising a device main body made of a lightweight material that can be lifted by one worker, and temporary fixing means for temporarily fixing the device main body by suspending the device main body on a rail.

【0008】請求項1に記載の発明の場合、多数台の天
井搬送車は、天井に敷設されたレールに吊り下げられ、
連なった状態で走行する。これらの天井搬送車を一時停
止させる場合、作業者は、一時停止装置を持ち上げて、
レールに仮固定させる。このとき、一時停止装置の光反
射面は、天井搬送車の車体に取付けられた光センサ装置
と相対向するように配置される。前記光センサ装置から
発せられる光が光反射面に当たって反射されることによ
り、天井搬送車と一時停止装置との距離が計測される。
この距離が設定値以下になると、天井搬送車が減速さ
れ、更には停止される。このようにして、作業者は、制
御担当者に依頼することなく、自身で天井搬送車を一時
停止させることができる。また、一時停止装置はレール
に仮固定されているのみであり、該一時停止装置をレー
ルから取り外すだけで、再び天井搬送車を走行させるこ
とができる。
[0008] In the case of the first aspect of the present invention, a large number of ceiling transport vehicles are hung on rails laid on the ceiling,
Drive in a row. When suspending these overhead transport vehicles, the operator lifts the suspension device,
Temporarily fix to the rail. At this time, the light reflecting surface of the temporary stop device is disposed so as to face the optical sensor device attached to the vehicle body of the overhead conveyance vehicle. By the light emitted from the optical sensor device hitting the light reflecting surface and being reflected, the distance between the overhead transport vehicle and the temporary stop device is measured.
When this distance becomes equal to or less than the set value, the overhead conveyance vehicle is decelerated and further stopped. In this way, the worker can temporarily stop the overhead carrier without requesting the control person. Further, the temporary stop device is only temporarily fixed to the rail, and the overhead transport vehicle can be run again just by removing the temporary stop device from the rail.

【0009】請求項2に記載の発明の場合、作業者は、
レールに貼り付けられた磁石と、装置本体の上面に取付
けられた磁性板とを磁気吸着させるだけで済むため、操
作が簡単である。また、レールの任意の位置で一時停止
装置を仮固定できる。そして、もし、天井搬送車が一時
停止装置に衝突した場合であっても該装置が滑ることに
よって、両者が損傷することが防止される。
In the case of the invention described in claim 2, the worker
The operation is simple because it is only necessary to magnetically attract the magnet attached to the rail and the magnetic plate attached to the upper surface of the apparatus main body. Further, the temporary stop device can be temporarily fixed at an arbitrary position on the rail. And even if the overhead carrier collides with the temporary stop device, both devices are prevented from being damaged by slipping of the device.

【0010】請求項3に記載の発明の場合、作業者は、
一時停止装置をレールに無造作に仮固定させた場合であ
っても、前記光反射面がレールの長手方向に対してほぼ
直交する状態で配置される。このため、一時停止装置の
位置合わせが容易であると共に、天井搬送車から発せら
れた光が前記光反射面に確実に反射され、前記天井搬送
車と一時停止装置との距離の計測精度が高められる。
In the case of the invention described in claim 3, the worker
Even if the temporary stop device is temporarily temporarily fixed to the rail, the light reflecting surface is arranged in a state substantially perpendicular to the longitudinal direction of the rail. For this reason, the positioning of the temporary stop device is easy, and the light emitted from the overhead transport vehicle is reliably reflected on the light reflecting surface, and the measurement accuracy of the distance between the overhead transport vehicle and the temporary stop device is improved. Can be

【0011】一時停止装置の装置本体が発泡樹脂材から
成る場合、その外側面を清掃することが困難である。し
かし、請求項4に記載の発明の場合、前記装置本体が柔
軟性のある塗料で塗装されているため、外側面の拭き掃
除が可能である。この結果、該装置がクリーンルームで
使用される場合であっても、その清浄度を悪化させるこ
とが防止される。
When the device main body of the temporary stop device is made of a foamed resin material, it is difficult to clean the outer surface thereof. However, in the case of the invention described in claim 4, since the apparatus main body is coated with a flexible paint, the outer side surface can be wiped and cleaned. As a result, even when the device is used in a clean room, it is possible to prevent the cleanliness from being deteriorated.

【0012】請求項5に記載の発明の場合、何らかの原
因で、天井搬送車の光センサ装置が作動しなかったと
き、天井搬送車がそのまま走行し、一時停止装置に衝突
するおそれがある。しかし、天井搬送車の車体の前面部
に接触式の搬送車停止スイッチが取付けられていて、一
時停止装置の光反射面が前記搬送車停止スイッチを作動
させることができるだけの堅さを有している場合、天井
搬送車の前面部と一時停止装置の光反射面が当接された
ときに、前記搬送車停止スイッチが作動して天井搬送車
の走行が停止される。このため、両者の損傷が最小に抑
えられる。
In the case of the invention described in claim 5, when the optical sensor device of the overhead transport vehicle does not operate for some reason, the overhead transport vehicle may travel as it is and collide with the temporary stop device. However, a contact type transport vehicle stop switch is mounted on the front part of the vehicle body of the overhead transport vehicle, and the light reflecting surface of the temporary stop device has sufficient rigidity to activate the transport vehicle stop switch. In this case, when the front surface of the overhead transport vehicle is brought into contact with the light reflecting surface of the temporary stop device, the transport vehicle stop switch is operated to stop traveling of the overhead transport vehicle. For this reason, damage to both is minimized.

【0013】また、課題を解決するための請求項6に記
載の発明は、装置本体に被引掛部が設けられた請求項1
に記載の一時停止装置をレールに仮固定させるために、
前記一時停止装置をレールの部分まで持ち上げるための
持上具であって、棒状の持上具本体の上端部には、前記
被引掛部に引っ掛けられる引掛部が設けられていて、前
記一時停止装置に対してワンタッチで着脱されることを
特徴としている。
According to a sixth aspect of the present invention for solving the problems, the apparatus main body is provided with a hooked portion.
In order to temporarily fix the temporary stop device described in the above to the rail,
A lifting device for lifting the temporary stopping device to a rail portion, wherein a hook portion to be hooked on the hooked portion is provided at an upper end portion of a rod-shaped lifting device main body, wherein the temporary stopping device is provided. It is characterized in that it can be attached and detached with one touch.

【0014】請求項6に記載の発明の場合、一時停止装
置の装置本体に被引掛部が設けられていて、棒状の持上
具本体の上端部には前記被引掛部に引っ掛けられる引掛
部が設けられている。作業者は、一時停止装置をレール
に仮固定させる場合、持上具の引掛部を一時停止装置の
装置本体の被引掛部に引っ掛け、該持上具と一体になっ
た一時停止装置を持ち上げる。一時停止装置の装置本体
の被引掛部に、持上具の引掛部をワンタッチで引っ掛け
ることができる。一時停止装置をレールから取り外す場
合、上記と逆の操作が行われる。天井搬送車のレールは
高所に敷設されるため、一時停止装置を仮固定する作業
を的確に行うことができない場合がある。しかし、この
持上具を使用することにより、作業者は、一時停止装置
をレールに仮固定したり、レールから取り外したりする
操作を簡単に、しかも的確に行うことができる。
In the case of the invention according to claim 6, a hooked portion is provided on the device main body of the temporary stop device, and a hook portion hooked on the hooked portion is provided at an upper end portion of the rod-shaped lifting tool main body. Is provided. When the temporary stop device is temporarily fixed to the rail, the operator hooks the hook of the lifting device on the hooked portion of the device main body of the temporary stop device, and lifts the temporary stop device integrated with the lifting device. The hook of the lifting device can be hooked on the hooked portion of the device main body of the temporary stop device with one touch. When removing the suspension device from the rail, the reverse operation is performed. Since the rails of the overhead transport vehicle are laid at a high place, the work of temporarily fixing the temporary stop device may not be able to be performed accurately. However, by using this lifting tool, the operator can easily and accurately perform the operation of temporarily fixing the temporary stop device to the rail or removing it from the rail.

【0015】[0015]

【発明の実施の形態】以下、実施形態を挙げて本発明を
更に詳細に説明する。図1は本発明に係る一時停止装置
Aが、レールRの下面に取付けられた状態の斜視図、図
2は一時停止装置Aの斜視図、図3は一時停止装置Aと
持上具Bとを分離させた状態の斜視図、図4は一時停止
装置Aの平面図、図5は一時停止装置Aの光反射部5及
び支持部6から、補強板9a,9b 及び磁性板Mを分離さ
せた状態の斜視図、図6は図4のX−X線拡大断面図、
図7は図4のY−Y線拡大断面図である。最初に、図1
を参照しながら、本実施例のレールRと天井搬送車Vに
ついて簡単に説明し、次に、図2ないし図7を参照しな
がら、本発明に係る一時停止装置Aと、それをレールR
に取付けるための持上具Bについて説明する。本実施例
の天井搬送車Vは、天井W(図8参照)に敷設されたレ
ールRに吊り下げられた状態で、その車体1に内装され
たリニアモータ(図示せず)で駆動されて走行する。こ
のため、図1に示されるように、レールRの下面には、
その長手方向に沿って磁石2が貼り付けられている。天
井搬送車Vを構成する車体1の前面部には、光センサ装
置3(図8参照)が取付けられていて、該光センサ装置
3から前方に、常に光Lが発せられている。天井搬送車
Vの直前に障害物が存する場合、発せられた光Lが前記
障害物に当たって反射され、その反射光が、再び光セン
サ装置3に受光されることによって、天井搬送車Vと障
害物との距離が計測される。この距離が設定値以下にな
ると、天井搬送車Vが減速され、更には停止される。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described in more detail with reference to embodiments. FIG. 1 is a perspective view showing a state in which a temporary stop device A according to the present invention is mounted on the lower surface of a rail R, FIG. 2 is a perspective view of the temporary stop device A, and FIG. FIG. 4 is a plan view of the temporary stop device A, and FIG. 5 is a diagram illustrating a state in which the reinforcing plates 9a and 9b and the magnetic plate M are separated from the light reflecting portion 5 and the support portion 6 of the temporary stop device A. FIG. 6 is an enlarged sectional view taken along line XX of FIG. 4,
FIG. 7 is an enlarged sectional view taken along line YY of FIG. First, FIG.
, The rail R and the overhead transport vehicle V of the present embodiment will be briefly described. Next, with reference to FIGS. 2 to 7, a temporary stop device A according to the present invention and the rail R
The lifting tool B for attaching to the device will be described. The overhead transport vehicle V of the present embodiment is driven by a linear motor (not shown) mounted on the vehicle body 1 to travel while being suspended on a rail R laid on the ceiling W (see FIG. 8). I do. For this reason, as shown in FIG.
The magnet 2 is attached along the longitudinal direction. An optical sensor device 3 (see FIG. 8) is attached to the front surface of the vehicle body 1 constituting the overhead transport vehicle V, and light L is always emitted forward from the optical sensor device 3. When an obstacle is present immediately before the overhead transport vehicle V, the emitted light L is reflected on the obstacle, is reflected, and the reflected light is received by the optical sensor device 3 again. Is measured. When this distance becomes equal to or less than the set value, the overhead transport vehicle V is decelerated and further stopped.

【0016】前記天井搬送車Vの車体1における高さ方
向の所定位置には、その全周に亘って接触式の搬送車停
止スイッチ(バンパスイッチ4)が取付けられている。
このバンパスイッチ4は、テープ状のスイッチが僅かな
隙間を介して二重に巻き付けられていて、外側のスイッ
チが押し付けられると、内側のスイッチと接触すること
により作動する構成であり、天井搬送車Vの車体1より
も僅かに突出されている。このバンパスイッチ4が作動
すると、天井搬送車Vは停止される。
A contact type stop switch (bumper switch 4) is attached to the ceiling carrier V at a predetermined position in the vehicle body 1 in the height direction over the entire circumference thereof.
The bumper switch 4 has a configuration in which a tape-shaped switch is double-wound through a small gap, and when the outer switch is pressed, the tape-shaped switch comes into contact with the inner switch to operate. V slightly protrudes from the vehicle body 1. When the bumper switch 4 is operated, the overhead transport vehicle V is stopped.

【0017】次に、一時停止装置Aについて説明する。
図2及び図3に示されるように、この一時停止装置A
は、天井搬送車Vの光センサ装置3から発せられる光L
を当てて反射させるための光反射部5と、該光反射部5
を支持するための支持部6とから構成されている。本実
施例の場合、前記光反射部5と前記支持部6とは軽量な
発泡樹脂材(例えば、発泡ポリエチレン、発泡ポリスチ
レン等)から成る。
Next, the temporary stop device A will be described.
As shown in FIG. 2 and FIG.
Is the light L emitted from the optical sensor device 3 of the overhead transport vehicle V
A light reflecting portion 5 for applying light to reflect light,
And a supporting portion 6 for supporting the. In the case of this embodiment, the light reflecting portion 5 and the support portion 6 are made of a lightweight foamed resin material (for example, foamed polyethylene, foamed polystyrene, or the like).

【0018】最初に、光反射部5について説明する。こ
の光反射部5は略長方形状のプレートであり、その幅、
及び高さは、天井搬送車Vの光センサ装置3から発せら
れる光Lの広がり幅に対応している。図5及び図6に示
されるように、前記光反射部5の上端部には、持上具B
(後述)を着脱可能に連結するための2つの挿通孔7が
設けられている。2つの挿通孔7の間隔は、持上具Bの
2本の連結ピン28(図3参照)の間隔と同一であり、
その内径は、前記連結ピン28のフランジ部28aの外
径よりも少し大きい。前記持上具Bの各連結ピン28
が、対応する挿通孔7に挿通されることにより、一時停
止装置Aと持上具Bとが一体に連結される。また、前記
各挿通孔7の上下の部分には、それぞれボルト挿通孔8
が設けられている。
First, the light reflecting section 5 will be described. The light reflecting portion 5 is a substantially rectangular plate having a width,
And the height correspond to the spread width of the light L emitted from the optical sensor device 3 of the overhead transport vehicle V. As shown in FIGS. 5 and 6, a lifting tool B is provided at the upper end of the light reflecting portion 5.
Two insertion holes 7 for detachably connecting (described later) are provided. The interval between the two insertion holes 7 is the same as the interval between the two connecting pins 28 (see FIG. 3) of the lifting tool B,
The inner diameter is slightly larger than the outer diameter of the flange 28a of the connecting pin 28. Each connecting pin 28 of the lifting tool B
Is inserted into the corresponding insertion hole 7, whereby the temporary stop device A and the lifting device B are integrally connected. In addition, bolt insertion holes 8 are provided at upper and lower portions of the respective insertion holes 7 respectively.
Is provided.

【0019】前記光反射部5の正面側(光反射面5aの
側)の上部で、2つの挿通孔7の周囲には、1枚の正面
側補強板9aが取付けられ、同じく背面側で各挿通孔7
の周囲には、2枚の背面側補強板9bが取付けられる。
本実施例の各補強板9a,9bはステンレス板より成り、
各挿通孔7に持上具Bの連結ピン28が挿通されたり、
該持上具Bにより一時停止装置Aが持ち上げられたりす
るときに、光反射面5a、或いは各挿通孔7が損傷する
ことを防止するためのものである。各補強板9a,9b の
構成は殆ど同一なので、ここでは正面側の補強板9aに
ついてのみ説明する。そして、同一の部材には同一の符
号を付すと共に、正面側の補強板9aを構成する部材に
は添字「a」を付し、背面側の補強板9bを構成する部
材には添字「b」を付すことによって、両者を区別す
る。図5及び図6に示されるように、正面側の補強板9
aにおいて、光反射部5の各挿通孔7及び各ボルト挿通
孔8と対応する部分には、それぞれ挿通孔11a、及び
ボルト挿通孔12aが設けられている。前記補強板9a
の背面側(光反射面5aに密着される側)で、前記各ボ
ルト挿通孔12aと対応する部分には、それぞれナット
部材13が固着されている。そして、光反射部5に設け
られた各ボルト挿通孔8における光反射面5aの部分に
は、前記ナット部材13を嵌め込むためのざぐり孔8a
が設けられている。
On the front side of the light reflecting portion 5 (on the side of the light reflecting surface 5a), around the two insertion holes 7, one front side reinforcing plate 9a is attached. Insertion hole 7
, Two back side reinforcing plates 9b are attached.
Each reinforcing plate 9a, 9b of this embodiment is made of a stainless steel plate,
The connection pin 28 of the lifting tool B is inserted into each of the insertion holes 7,
This is to prevent the light reflecting surface 5a or each of the insertion holes 7 from being damaged when the suspending device A is lifted by the lifting tool B. Since the structures of the reinforcing plates 9a and 9b are almost the same, only the front reinforcing plate 9a will be described here. The same members are denoted by the same reference numerals, the members forming the front reinforcing plate 9a are denoted by the suffix “a”, and the members forming the rear reinforcing plate 9b are denoted by the suffix “b”. To distinguish them from each other. As shown in FIG. 5 and FIG.
In FIG. 5A, an insertion hole 11a and a bolt insertion hole 12a are provided at portions corresponding to the respective insertion holes 7 and the respective bolt insertion holes 8 of the light reflection portion 5. The reinforcing plate 9a
A nut member 13 is fixed to a portion corresponding to each of the bolt insertion holes 12a on the back side (side in close contact with the light reflection surface 5a). A counterbore 8 a for fitting the nut member 13 is formed in the light reflecting surface 5 a of each bolt insertion hole 8 provided in the light reflecting portion 5.
Is provided.

【0020】各補強板9a,9b は、予め、各ボルト挿通
孔8に樹脂材から成るスペーサ14が挿通された後、光
反射部5の正面側(光反射面5a)及び背面側に密着さ
れる。そして、背面側から補強板取付ねじ15が挿通さ
れ、ナット部材13に螺合して締め付けられることによ
って固定される。各補強板取付ねじ15が過度に締め付
けられても、予め挿通されたスペーサ14によって一定
以上締め付けられることが防止され、発泡樹脂材から成
る光反射部5を損傷させることはない。
The reinforcing plates 9a and 9b are brought into close contact with the front side (light reflecting surface 5a) and the back side of the light reflecting portion 5 after a spacer 14 made of a resin material is inserted into each bolt insertion hole 8 in advance. You. Then, the reinforcing plate mounting screw 15 is inserted from the back side, and screwed to the nut member 13 to be fixed by being tightened. Even if each reinforcing plate mounting screw 15 is excessively tightened, it is prevented from being tightened more than a predetermined amount by the spacer 14 inserted in advance, and the light reflecting portion 5 made of a foamed resin material is not damaged.

【0021】また、図1及び図2に示されるように、前
記光反射面5aにおいて、天井搬送車Vのバンパスイッ
チ4と対応する部分には、前記バンパスイッチ4を作動
させるためのバンパスイッチ作動板16が貼り付けられ
ている。このバンパスイッチ作動板16は、発泡樹脂材
より堅いプレート(例えば、樹脂板、金属板等)より成
る。
As shown in FIGS. 1 and 2, a bumper switch actuation for actuating the bumper switch 4 is provided on a portion of the light reflecting surface 5a corresponding to the bumper switch 4 of the overhead transport vehicle V. A plate 16 is attached. The bumper switch operation plate 16 is made of a plate (for example, a resin plate, a metal plate, or the like) that is harder than the foamed resin material.

【0022】次に、図2ないし図7を参照しながら、支
持部6について説明する。この支持部6は、略直方体状
のブロックであり、平面視における長手方向が、前記光
反射部5の幅方向に対してほぼ直角にして接着されてい
る(図4参照)。図5及び図7に示されるように、この
支持部6の上面には、磁性板Mを取付けるための取付凹
部17が設けられている。そして、前記支持部6の上部
で、前記取付凹部17の底面近傍の部分には、前記支持
部6の幅方向に沿って3本のボルト挿通孔18が設けら
れている。これらの各ボルト挿通孔18は、磁性板Mを
支持部6に固定するための各取付ボルト19を挿通させ
るためのものである。この磁性板Mは、軽量化のため薄
い磁性ステンレス板より成り、長方形状の上面(磁気吸
着面21)の周囲にスカート部22a,22b が下方に延
設された構成である。そして、幅方向の両端部から延設
された一対のスカート部22aには、上記した各ボルト
挿通孔18に対応するボルト挿通孔23が設けられてい
る。
Next, the support portion 6 will be described with reference to FIGS. The support portion 6 is a substantially rectangular parallelepiped block, and is adhered such that the longitudinal direction in plan view is substantially perpendicular to the width direction of the light reflection portion 5 (see FIG. 4). As shown in FIGS. 5 and 7, a mounting recess 17 for mounting the magnetic plate M is provided on the upper surface of the support 6. Further, three bolt insertion holes 18 are provided in the upper part of the support part 6 near the bottom surface of the mounting recess 17 along the width direction of the support part 6. Each of these bolt insertion holes 18 is for inserting each mounting bolt 19 for fixing the magnetic plate M to the support portion 6. The magnetic plate M is made of a thin magnetic stainless steel plate for weight reduction, and has a configuration in which skirt portions 22a and 22b extend downward around a rectangular upper surface (magnetic attraction surface 21). A pair of skirt portions 22a extending from both ends in the width direction are provided with bolt insertion holes 23 corresponding to the above-described bolt insertion holes 18, respectively.

【0023】図7に示されるように、この磁性板Mが、
支持部6の上面に設けられた取付凹部17に取付けられ
ると、前記支持部6のボルト挿通孔18と、前記磁性板
Mの一対のスカート部22aに設けられたボルト挿通孔
23とは、連通状態に配置される。そして、これらのボ
ルト挿通孔18,23に、各スペーサ24が嵌合され
る。各スペーサ24の長さは、支持部6の幅とほぼ同一
である。続いて、図5に示されるように、支持部6の幅
方向の一方側から、前記各スペーサ24に取付ボルト1
9が挿通され、他方側の突出部分に六角ナット25が螺
合されて締め付けられる。各六角ナット25が過度に締
め付けられても、予め挿通されたスペーサ24によって
一定以上締め付けられることが防止され、発泡樹脂材か
ら成る支持部6を損傷させることはない。
As shown in FIG. 7, this magnetic plate M
When mounted on the mounting recess 17 provided on the upper surface of the support portion 6, the bolt insertion hole 18 of the support portion 6 and the bolt insertion hole 23 provided on the pair of skirt portions 22a of the magnetic plate M communicate with each other. Placed in a state. Then, each spacer 24 is fitted into these bolt insertion holes 18 and 23. The length of each spacer 24 is substantially the same as the width of the support 6. Subsequently, as shown in FIG. 5, the mounting bolt 1 is attached to each of the spacers 24 from one side in the width direction of the support portion 6.
9 is inserted, and a hexagon nut 25 is screwed into the protruding portion on the other side and tightened. Even if each hexagon nut 25 is excessively tightened, it is prevented from being tightened more than a predetermined amount by the spacer 24 inserted in advance, and the support portion 6 made of a foamed resin material is not damaged.

【0024】上記した、前記光反射部5の上面と前記支
持部6の上面とは、ほぼ同一平面内に存している。更
に、発泡樹脂材から成る光反射部5と支持部6とは、そ
の全面が柔軟性に富む塗料(例えば、水性のアクリル系
樹脂エマルジョンペイント等)によって塗装されてい
る。こうすることによって、前記光反射部5と前記支持
部6の外側面を拭き掃除することができる。この塗料
は、天井搬送車Vの光センサ装置3から発せられる光L
の反射率を上げるために、白色系の色彩にすることが望
ましい。
The upper surface of the light reflecting portion 5 and the upper surface of the supporting portion 6 are substantially in the same plane. Further, the entire surface of the light reflecting portion 5 and the supporting portion 6 made of a foamed resin material is coated with a paint having high flexibility (for example, an aqueous acrylic resin emulsion paint or the like). By doing so, the outer surfaces of the light reflecting portion 5 and the supporting portion 6 can be wiped and cleaned. This paint is the light L emitted from the optical sensor device 3 of the ceiling transport vehicle V.
In order to increase the reflectance of the color, it is desirable to use a white color.

【0025】次に、持上具Bについて説明する。図3に
示されるように、この持上具Bは、長い棒状の操作棒部
26の上端部に、連結板27が水平にして固着されたも
のである。図8に示されるように、前記操作棒部26の
長さは、床面FからレールRの下面までの高さ(本実施
例の場合、約4m)に対応している。図6に示されるよ
うに、この連結板27における操作棒部26と反対側の
面には、正面側及び背面側の補強板9a,9b の挿通孔1
1a,11b 、及び光反射部5の挿通孔7に挿通される2
本の連結ピン28が取付けられている。各連結ピン28
の先端部には、それらの軸径よりも僅かに大きなフラン
ジ部28aが設けられている。図9に示されるように、
前記各連結ピン28が対応する挿通孔7に挿通されて、
一時停止装置Aと持上具Bとが一体に連結されたとき
に、正面側の補強板9aと連結板27とが密着する。し
かも、各連結ピン28のフランジ部28aが、光反射部
5の背面から突出された状態で連結されている。このた
め、各連結ピン28の抜け止めが図られる。そして、操
作棒部26の下半部には、作業者が持上具Bを操作する
ときに滑らないようにするための滑り止め部26aが設
けられている。
Next, the lifting tool B will be described. As shown in FIG. 3, the lifting tool B has a connecting plate 27 fixed horizontally to the upper end of a long rod-shaped operation rod 26. As shown in FIG. 8, the length of the operation rod portion 26 corresponds to the height from the floor surface F to the lower surface of the rail R (about 4 m in the present embodiment). As shown in FIG. 6, on the surface of the connecting plate 27 opposite to the operation rod 26, the insertion holes 1 of the reinforcing plates 9a and 9b on the front side and the back side are provided.
1a, 11b, and 2 inserted through the insertion hole 7 of the light reflecting portion 5
The connecting pins 28 are attached. Each connecting pin 28
Are provided with flange portions 28a slightly larger than their shaft diameters. As shown in FIG.
Each of the connection pins 28 is inserted into the corresponding insertion hole 7,
When the temporary stop device A and the lifting device B are integrally connected, the reinforcing plate 9a on the front side and the connecting plate 27 come into close contact with each other. Moreover, the flange portions 28 a of the connection pins 28 are connected in a state of protruding from the back surface of the light reflection portion 5. Therefore, the connection pins 28 are prevented from coming off. The lower half portion of the operation rod portion 26 is provided with a non-slip portion 26a for preventing a worker from slipping when operating the lifting tool B.

【0026】本発明に係る一時停止装置A、及びその持
上具Bの作用について説明する。作業者は、図3に示さ
れるように、床面Fにおいて一時停止装置Aの光反射部
5に設けられた各挿通孔7に、持上具Bの2本の連結ピ
ン28を挿通させる。一時停止装置Aと持上具Bとを連
結させるとき、作業者は、持上具Bの2本の連結ピン2
8を、対応する挿通孔7に挿通させるだけで済むため、
ワンタッチで連結させることができる。そして、図8に
示されるように、持上具Bの操作棒部26を操作して、
一時停止装置A全体を持ち上げる。本実施例の一時停止
装置Aを構成する光反射部5と支持部6は、発泡樹脂材
から成るため軽量(本実施例の場合、約1.5kg)で
あり、作業者が一人であっても容易に持ち上げることが
できる。しかも、各連結ピン28のフランジ部28a
が、一時停止装置Aの光反射部5の背面側から突出して
いるため抜け止めが図られており、持ち上げ途中に一時
停止装置Aが落下するおそれはない(図9参照)。
The operation of the suspension device A according to the present invention and the lifting device B thereof will be described. As shown in FIG. 3, the worker inserts the two connection pins 28 of the lifting tool B into the respective insertion holes 7 provided in the light reflecting portion 5 of the temporary stop device A on the floor F. When connecting the suspending device A and the lifting device B, the operator needs two connecting pins 2 of the lifting device B.
8 only needs to be inserted through the corresponding insertion hole 7,
Can be connected with one touch. Then, as shown in FIG. 8, by operating the operation rod portion 26 of the lifting tool B,
Lift the entire suspension device A. Since the light reflecting portion 5 and the supporting portion 6 constituting the temporary stop device A of the present embodiment are made of a foamed resin material, the light reflecting portion 5 and the supporting portion 6 are lightweight (about 1.5 kg in the case of the present embodiment). Can also be lifted easily. Moreover, the flange portion 28a of each connecting pin 28
However, since it protrudes from the back side of the light reflecting portion 5 of the temporary stop device A, it is prevented from falling off, and there is no possibility that the temporary stop device A falls during lifting (see FIG. 9).

【0027】図8及び図9に示されるように、作業者
は、一時停止装置Aを持ち上げ、保守・点検を行う半導
体製造装置Hの近傍のレールRの下面に接近させる。す
ると、レールRの下面に貼り付けられた磁石2と、一時
停止装置Aの支持部6の上面に取付けられた磁性板Mと
が磁気吸着され、前記一時停止装置AがレールRに仮固
定される。このとき、天井搬送車Vの光センサ装置3か
ら発せられた光Lを確実に反射させるために、一時停止
装置Aの光反射面5aが、レールRの長手方向とほぼ直
交する(換言すれば、天井搬送車Vの前面部と相対向状
態で配置される)ように仮固定されることが望ましい。
本実施例の一時停止装置Aの場合、図4に示されるよう
に、その支持部6に取付けられた磁性板Mの磁気吸着面
21は平面視において長方形状であり、その長辺部21
aは光反射面5aに対して直交している。このため、作
業者が、一時停止装置Aを無造作にレールRに仮固定さ
せた場合であっても、前記光反射面5aをレールRの長
手方向に対してほぼ直交させた位置合わせ状態で仮固定
させることができる。しかも、その状態で、前記磁気吸
着面21のほぼ全面がレールRの磁石2に吸着されるた
め、前記一時停止装置AはレールRに対してもっとも強
固に仮固定される。一時停止装置AがレールRに仮固定
された後、一時停止装置Aの各挿通孔7から持上具Bの
連結ピン28を抜き、一時停止装置Aと持上具Bを分離
させる。
As shown in FIGS. 8 and 9, the operator lifts the temporary stop device A and approaches the lower surface of the rail R near the semiconductor manufacturing apparatus H for performing maintenance and inspection. Then, the magnet 2 attached to the lower surface of the rail R and the magnetic plate M attached to the upper surface of the support 6 of the temporary stop device A are magnetically attracted, and the temporary stop device A is temporarily fixed to the rail R. You. At this time, in order to reliably reflect the light L emitted from the optical sensor device 3 of the ceiling transport vehicle V, the light reflecting surface 5a of the temporary stop device A is substantially orthogonal to the longitudinal direction of the rail R (in other words, , Is disposed in a state of being opposed to the front surface of the ceiling transport vehicle V).
In the case of the temporary stop device A of the present embodiment, as shown in FIG. 4, the magnetic attraction surface 21 of the magnetic plate M attached to the support portion 6 is rectangular in plan view,
a is orthogonal to the light reflection surface 5a. For this reason, even when the worker temporarily temporarily fixes the temporary stop device A to the rail R, the light reflecting surface 5a is temporarily aligned in a position substantially perpendicular to the longitudinal direction of the rail R. Can be fixed. Moreover, in this state, almost the entire surface of the magnetic attraction surface 21 is attracted to the magnet 2 of the rail R, so that the temporary stop device A is temporarily fixed to the rail R most strongly. After the temporary stop device A is temporarily fixed to the rail R, the connecting pin 28 of the lifting device B is pulled out from each insertion hole 7 of the temporary stop device A, and the temporary stop device A and the lifting device B are separated.

【0028】図1及び図8に示されるように、天井搬送
車Vが前方に光Lを発しながら走行し、一時停止装置A
に接近する。該光Lが一時停止装置Aの光反射面5aに
当たり、その反射光が検出されることによって両者の距
離が計測される。この距離が設定値以下になると、前記
天井搬送車Vは自動で減速し、更には停止される。そし
て、該天井搬送車Vは、一時停止されたまま保持され
る。このため、作業者は天井搬送車Vを気にかけること
なく、半導体製造装置Hの保守・点検を行うことができ
る。そして、作業終了後、再び持上具Bを操作して、一
時停止装置AをレールRから取り外す。天井搬送車Vの
前方から障害物(一時停止装置A)が消滅するため、該
天井搬送車Vは、再び自動で走行を開始する。
As shown in FIGS. 1 and 8, the overhead transport vehicle V travels forward while emitting light L, and the suspension device A
Approach. The light L strikes the light reflecting surface 5a of the temporary stop device A, and the distance between the two is measured by detecting the reflected light. When this distance becomes equal to or less than the set value, the overhead transport vehicle V is automatically decelerated and further stopped. Then, the overhead transport vehicle V is held while being temporarily stopped. For this reason, the operator can perform maintenance and inspection of the semiconductor manufacturing apparatus H without worrying about the overhead transport vehicle V. Then, after the work is completed, the lifting device B is operated again to remove the temporary stop device A from the rail R. Since the obstacle (the temporary stop device A) disappears from the front of the overhead transport vehicle V, the overhead transport vehicle V automatically starts running again.

【0029】もし、何らかの原因で、天井搬送車Vと一
時停止装置Aとの距離が設定値以下になっても、前記天
井搬送車Vが停止せずにそのまま走行した場合、該天井
搬送車Vと一時停止装置Aとが衝突することがある。通
常の場合、最初に天井搬送車Vのバンパスイッチ4と光
反射部5の光反射面5aとが当接され、バンパスイッチ
4が作動して天井搬送車Vは停止される。ここで、一時
停止装置Aの光反射部5が柔軟な発泡樹脂材より成る場
合、前記バンパスイッチ4が発泡樹脂材に押し込まれて
しまい、作動しないおそれがある。しかし、本実施例の
一時停止装置Aの光反射面5aには、天井搬送車Vのバ
ンパスイッチ4と相対向する部分に、発泡樹脂材よりも
堅いプレートから成るバンパスイッチ作動板16が取付
けられている。このため、バンパスイッチ4は確実に作
動される。しかも、一時停止装置AとレールRとの仮固
定手段が磁気吸着であるため、一時停止装置Aが天井搬
送車Vと一体になってレールRの長手方向に沿って滑
り、両者の損傷が最小に抑えられる。
If, for some reason, the distance between the overhead transport vehicle V and the temporary stop device A falls below a set value, if the overhead transport vehicle V travels without stopping, the overhead transport vehicle V And the suspension device A may collide. In a normal case, first, the bumper switch 4 of the overhead transport vehicle V comes into contact with the light reflecting surface 5a of the light reflecting section 5, and the bumper switch 4 is operated to stop the overhead transport vehicle V. Here, when the light reflecting portion 5 of the temporary stop device A is made of a flexible foamed resin material, the bumper switch 4 may be pushed into the foamed resin material and may not operate. However, on the light reflecting surface 5a of the temporary stop device A of the present embodiment, a bumper switch operating plate 16 made of a plate harder than a foamed resin material is attached to a portion facing the bumper switch 4 of the ceiling transport vehicle V. ing. For this reason, the bumper switch 4 is reliably operated. In addition, since the temporary fixing device between the temporary stopping device A and the rail R is magnetically attracted, the temporary stopping device A slides along the longitudinal direction of the rail R integrally with the overhead transport vehicle V, and damage to both is minimized. Can be suppressed.

【0030】また、発泡樹脂材より成る光反射部5及び
支持部6は、その外側面を拭き掃除することが困難であ
る。しかし、本実施例の一時停止装置Aを構成する光反
射部5と支持部6の外側面には、柔軟性に富む塗料によ
って塗装されている。このため、一時停止装置Aの外側
面を拭き掃除することができ、常に清浄な状態に保持さ
せておくことができる。この結果、一時停止装置Aがク
リーンルームで使用される場合であっても、その清浄度
を悪化させることが防止される。
Further, it is difficult to wipe the outer surfaces of the light reflecting portion 5 and the supporting portion 6 made of a foamed resin material. However, the outer surfaces of the light reflecting portion 5 and the supporting portion 6 constituting the temporary stop device A of the present embodiment are coated with a paint having high flexibility. For this reason, the outer side surface of the temporary stop device A can be wiped and cleaned, and can always be kept in a clean state. As a result, even when the temporary stop device A is used in a clean room, it is possible to prevent the cleanliness from being deteriorated.

【0031】上記したように、本発明に係る一時停止装
置Aは、その装置本体(光反射部5、及び支持部6)を
発泡樹脂材等の軽量材とし、それ以外の部分(磁性板
M、補強板9a,9b 、スペーサ14,24、バンパスイ
ッチ作動板16)を金属材、或いは樹脂材とすることに
よって全体を軽量化させ、作業者が一人であっても持ち
上げることができる重量に定めたものである。
As described above, in the temporary stop device A according to the present invention, the main body (the light reflecting portion 5 and the support portion 6) is made of a lightweight material such as a foamed resin material and the other portions (the magnetic plate M). The reinforcement plates 9a and 9b, the spacers 14 and 24, and the bumper switch operation plate 16) are made of a metal material or a resin material so as to reduce the overall weight so that the weight can be lifted even by one worker. It is a thing.

【0032】本実施例は、天井搬送車Vがリニアモータ
(図示せず)により駆動走行される構成であり、一時停
止装置Aに取付けられた磁性板Mが、レールRの下面に
貼り付けられた磁石2に磁気吸着される場合である。こ
の実施例の場合、レールRにおける任意の位置で、一時
停止装置Aを仮固定させることができるという利点があ
る。しかし、前記レールRが金属から成る場合、一時停
止装置Aの側に磁石が取付けられていても構わない。こ
の場合、レールRの下面に磁石2が貼り付けられていな
くても、一時停止装置AをレールRに仮固定させること
ができる。更に、磁気吸着以外の方法、例えば、吸枝自
在テープ、ホック部材による仮固定であっても構わな
い。
In this embodiment, the overhead transport vehicle V is driven and driven by a linear motor (not shown), and a magnetic plate M attached to a temporary stop device A is attached to the lower surface of the rail R. This is the case where the magnet 2 is magnetically attracted. In the case of this embodiment, there is an advantage that the temporary stop device A can be temporarily fixed at an arbitrary position on the rail R. However, when the rail R is made of metal, a magnet may be mounted on the side of the temporary stop device A. In this case, even if the magnet 2 is not attached to the lower surface of the rail R, the temporary stop device A can be temporarily fixed to the rail R. Further, a method other than the magnetic attraction, for example, a temporary fixing by a freely absorbable tape or a hook member may be used.

【0033】本実施例は、一時停止装置Aの光反射部5
に設けられた挿通孔7に、持上具Bの連結ピン28が挿
通されることによって、両者が一体に連結される構成で
ある。しかし、これ以外の連結手段、例えば、前記光反
射部5の背面側に取付けられた補強板9bに、フック部
材(図示せず)を設け、該フック部材と持上具Bとを引
っ掛けることによって両者を連結させても構わない。
In this embodiment, the light reflecting portion 5 of the temporary stop device A
Are connected integrally by inserting the connection pin 28 of the lifting tool B into the insertion hole 7 provided in the connector. However, a hook member (not shown) is provided on a connecting plate other than this, for example, a reinforcing plate 9b attached to the back side of the light reflecting portion 5, and the hook member and the lifting device B are hooked. Both may be connected.

【0034】[0034]

【発明の効果】本発明に係る一時停止装置は、相対向す
る天井搬送車の光センサ装置から発せられる光を当てて
反射させるための光反射面を有し、しかも、一人の作業
者によって持ち上げ可能な軽量材から成る装置本体と、
前記装置本体をレールに吊り下げて仮固定させるための
仮固定手段とから成る。このため、半導体製造装置、或
いはレールを保守・点検する作業者が、前記装置本体を
持ち上げて、レールに仮固定させるのみという簡単な操
作により、自身で天井搬送車の走行を一時停止させるこ
と、及びそれを解除させることができる。
The temporary stop device according to the present invention has a light reflecting surface for reflecting light emitted from the optical sensor device of the opposing ceiling carrier and reflecting the light. A device body made of possible lightweight material;
Temporary fixing means for temporarily fixing the apparatus main body by suspending it on a rail. For this reason, a semiconductor manufacturing apparatus or an operator who performs maintenance / inspection of the rail, temporarily suspends the traveling of the overhead carrier by itself, by a simple operation of merely lifting the apparatus main body and temporarily fixing the main body to the rail, And release it.

【0035】同じく持上具は、装置本体に被引掛部が設
けられた一時停止装置をレールの部分まで持ち上げるた
めのものであって、棒状の持上具本体の上端部には、前
記被引掛部に引っ掛けられる引掛部が設けられている。
作業者は、持上具本体の引掛部を、一時停止装置の装置
本体の被引掛部に引っ掛けて持ち上げるだけで、前記一
時停止装置を、高所に敷設されたレールに、簡単に、し
かも的確に仮固定させることができる。
Similarly, the lifting device is for lifting a suspension device provided with a hooked portion on the apparatus main body to a rail portion, and the upper end of the rod-shaped lifting device main body is provided with the hooking device. A hook portion is provided to be hooked on the portion.
An operator simply and accurately lifts the hook of the lifting tool main body by hooking the hook on the hooked portion of the apparatus main body of the temporary stop device, and easily and accurately attaches the temporary stop device to the rail laid at a high place. Can be temporarily fixed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る一時停止装置Aが、レールRの下
面に取付けられた状態の斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view of a state in which a temporary stop device A according to the present invention is attached to a lower surface of a rail R.

【図2】一時停止装置Aの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a temporary stop device A.

【図3】一時停止装置Aと持上具Bとを分離させた状態
の斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view of a state in which a suspension device A and a lifting device B are separated.

【図4】一時停止装置Aの平面図である。4 is a plan view of the temporary stop device A. FIG.

【図5】一時停止装置Aの光反射部5及び支持部6か
ら、補強板9a,9b 及び磁性板Mを分離させた状態の斜
視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing a state where a reinforcing plate 9a, 9b and a magnetic plate M are separated from the light reflecting portion 5 and the supporting portion 6 of the temporary stop device A.

【図6】図4のX−X線拡大断面図である。FIG. 6 is an enlarged sectional view taken along line XX of FIG. 4;

【図7】図4のY−Y線拡大断面図である。FIG. 7 is an enlarged sectional view taken along line YY of FIG. 4;

【図8】一時停止装置Aの作用説明図である。FIG. 8 is an operation explanatory view of the temporary stop device A.

【図9】一時停止装置AがレールRに仮固定される状態
の拡大図である。
FIG. 9 is an enlarged view of a state where the temporary stop device A is temporarily fixed to the rail R.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

A:一時停止装置 B:持上具 F:床面(地上) L:光 M:磁性板 R:レール V:天井搬送車 W:天井 1:車体 2:磁石 3:光センサ装置 4:バンパスイッチ(搬送車停止スイッチ) 5:光反射部(装置本体) 5a:光反射面 6:支持部(装置本体) 7:挿通孔(被引掛部) 16:バンパスイッチ作動板(光反射面) 21a:長辺部 26:操作棒部(持上具本体) 28:連結ピン(引掛部) A: Temporary stop device B: Lifting equipment F: Floor surface (ground) L: Light M: Magnetic plate R: Rail V: Ceiling carrier W: Ceiling 1: Body 2: Magnet 3: Optical sensor device 4: Bumper switch (Transport vehicle stop switch) 5: Light reflecting portion (device main body) 5a: Light reflecting surface 6: Supporting portion (device main body) 7: Insertion hole (receiving portion) 16: Bumper switch operating plate (light reflecting surface) 21a: Long side part 26: Operation rod part (lifting device main body) 28: Connecting pin (hook part)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 石倉 明 三重県伊勢市竹ヶ鼻町100番地 神鋼電機 株式会社伊勢事業所内 Fターム(参考) 3F202 CA03 CD05 3F204 AA01 CA05 FA02 FB18 FC01 FC08 FD03 5F031 FA03 GA59 JA06 JA32  ────────────────────────────────────────────────── ─── Continued on the front page (72) Inventor Akira Ishikura 100 Takegahana-cho, Ise-shi, Mie Shinko Electric Co., Ltd.Ise Works F-term (reference) 3F202 CA03 CD05 3F204 AA01 CA05 FA02 FB18 FC01 FC08 FD03 5F031 FA03 GA59 JA06 JA32

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 天井に敷設されたレールに吊り下げら
れ、その車体に取付けられた光センサ装置から光を発し
ながら走行し、前方の障害物との距離が設定値以下にな
った場合に停止する天井搬送車を一時停止させるための
装置であって、 前記天井搬送車と相対向され、その光センサ装置から発
せられる光を当てて反射させるための光反射面を有し、
しかも、一人の作業者によって持ち上げ可能な軽量材か
ら成る装置本体と、 前記装置本体をレールに吊り下げて仮固定させるための
仮固定手段と、 から構成されていることを特徴とする天井搬送車の一時
停止装置。
1. A vehicle which is suspended from a rail laid on a ceiling, travels while emitting light from an optical sensor device mounted on the vehicle body, and stops when a distance from an obstacle in front becomes less than a set value. A device for temporarily stopping the ceiling transport vehicle to be opposed to the ceiling transport vehicle, having a light reflecting surface for reflecting by applying light emitted from the optical sensor device,
Moreover, an apparatus main body made of a lightweight material that can be lifted by one worker, and temporary fixing means for temporarily fixing the apparatus main body by suspending the apparatus main body on a rail, comprising: Pause device.
【請求項2】 前記天井搬送車はリニアモータで走行す
る構成であり、前記レールにはリニアモータを作動させ
るための磁石が貼り付けられていて、 前記仮固定手段は、前記装置本体の上面に取付けられ、
前記磁石に磁気吸着される磁性板であることを特徴とす
る請求項1に記載の天井搬送車の一時停止装置。
2. The apparatus according to claim 1, wherein the ceiling transport vehicle travels with a linear motor, and a magnet for operating the linear motor is attached to the rail, and the temporary fixing unit is provided on an upper surface of the apparatus main body. Mounted,
The suspension device according to claim 1, wherein the suspension device is a magnetic plate that is magnetically attracted to the magnet.
【請求項3】 前記磁性板は平面視において略長方形状
であり、その長辺部が前記光反射面と直交する方向に沿
って取付けられていることを特徴とする請求項2に記載
の天井搬送車の一時停止装置。
3. The ceiling according to claim 2, wherein the magnetic plate has a substantially rectangular shape in a plan view, and a long side thereof is attached along a direction orthogonal to the light reflecting surface. A temporary stop device for the transport vehicle.
【請求項4】 前記装置本体は発泡樹脂材から成り、柔
軟性のある塗料で塗装されていることを特徴とする請求
項1ないし3のいずれかに記載の天井搬送車の一時停止
装置。
4. The temporary stop device for a ceiling transport vehicle according to claim 1, wherein the device main body is made of a foamed resin material and is coated with a flexible paint.
【請求項5】 天井搬送車の車体の前面部に、接触式の
搬送車停止スイッチが取付けられていて、一時停止装置
の光反射面が前記搬送車停止スイッチを作動させること
ができるだけの堅さを有していることを特徴とする請求
項1ないし4のいずれかに記載の天井搬送車の一時停止
装置。
5. A contact-type carrier stop switch is mounted on the front surface of the vehicle body of the overhead carrier, and the light reflecting surface of the temporary stop device is so rigid that the carrier stop switch can be operated. The suspension device for a ceiling transport vehicle according to any one of claims 1 to 4, further comprising:
【請求項6】 装置本体に被引掛部が設けられた請求項
1に記載の一時停止装置をレールに仮固定させるため
に、前記一時停止装置をレールの部分まで持ち上げるた
めの持上具であって、 棒状の持上具本体の上端部には、前記被引掛部に引っ掛
けられる引掛部が設けられていて、前記一時停止装置に
対してワンタッチで着脱されることを特徴とする天井搬
送車の一時停止装置の持上具。
6. A lifting device for lifting a temporary stop device to a rail portion for temporarily fixing the temporary stop device to a rail according to claim 1, wherein a hooked portion is provided on the device main body. An upper portion of the rod-shaped lifting tool main body is provided with a hook portion to be hooked on the hooked portion, and is detachably attached to the suspension device with one touch. Lifting device of the suspension device.
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